KR20100110259A - 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치 - Google Patents

Abstract

공압(空壓) 설비를 불필요로 하는 동시에, 공압치의 조정을 용이하게 실행할 수 있는 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 이것을 이용한 부품 반송 장치를 실현한다.
본 발명의 반송 부품의 공압 작용 시스템은, 반송 부품(P)가 반송되는 반송 트랙(11a)과, 이 반송 트랙 위를 향하는 말단 개구부(11c)를 구비한 공압 경로(AR)와, 이 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)가 개구하고, 격벽(隔璧)의 적어도 일부에 가요성(可撓性)의 다이어프램(diaphragm, 17)을 구비한 동작 공간(OS)과, 이 다이어프램(17)을 구동하여 변형시켜서 상기 동작 공간(OS)의 용적을 증감시키는 구동 수단(18)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치{PNEUMATIC ACTION SYSTEM FOR PARTS TO BE CONVEYED AND PARTS CONVEYOR APPARATUS}

본 발명은 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치에 관한 것이며, 특히 공압(空壓, pneumatic pressure)에 의해 반송 부품의 이동, 배제, 자세 변경 등을 실행하는 경우에 가장 적합한 시스템 구성에 관한 것이다.

일반적으로, 제조 라인에서는 전자 부품 등의 부품을 정렬 상태로 공급하기 위한 파츠 피더(parts-feeder)가 각처에서 이용되고 있다. 이 파츠 피더는 통상, 반송 트랙을 따라 진행하는 부품의 반송 자세를 조절하여 조립 장치나 실장 장치 등에 공급한다. 부품을 공급하는 과정에서는, 부품의 양부(良否)를 판별하여 우량품만을 선별하거나, 부품의 자세를 판별하여 정규의 자세에 있는 부품만을 공급하기 위해 반송 트랙 위에서 불량 부품이나 정규의 자세에 없는 부품을 배제하거나, 정규의 자세에 없는 부품의 자세를 변경한다. 이를 위한 선별부나 자세 변경부에는, 종래부터 반송 트랙을 향하는 개구부를 설치하고, 이 개구부로부터 공기를 분출시키는 것으로 부품을 배제하거나 자세를 변경하는 공압을 이용한 방법이 널리 채용되고 있다. 이와 같이 부품에 공압에 의한 작용을 부여할 때에는, 이 공압의 작용을 제어하기 위해, 통상, 컴프레서(compressor) 등으로 형성한 압축 공기를 밸브로 공급하거나 정지하는 방법이 이용된다.

최근에는, 특히 미세한 부품을 대량으로, 또한 고속으로 공급하기 위한 고속 반송 성능이 강하게 요구되고 있으므로, 부품의 양부나 자세를 고속으로 판별하고, 게다가 부품의 배제나 자세 변경도 고속으로 실행할 필요가 생기고 있다. 그러나 상기의 공압에 의해 부품에 작용을 부여하는 방법으로는, 밸브에 의해 공기압의 공급과 정지를 고속으로 변환해도, 밸브로부터 배관을 통해 반송 트랙에 도달하기까지의 경로 길이에 의해 반송 트랙 위에서의 공압을 고속으로 변환할 수 없으며, 이 때문에 본래 공압을 작용시켜야할 부품만이 아니라, 그 전후에 반송되어 오는 공압을 작용시키지 말아야 할 다른 부품에 대해서도 공압을 작용시켜 버리는 문제점이 있다.

그래서, 종래는 상기의 공압의 변환 속도를 높이기 위해, 고속 동작이 가능한 압전식 밸브를 이용하는 방법이나, 반송 트랙에 가까운 위치에 공기의 방출구를 설치하고, 이 방출구를 압전식의 플랩(flap)으로 개폐하는 것으로 반송 트랙 위에서의 공압의 공급과 정지를 고속화하는 방법이 제안되어 있다(아래의 특허문헌 1 및 2 참조).

[특허문헌 1] 일본국 특개 2006-250221호 공보

[특허문헌 2] 일본국 특개 2004-224449호 공보

그러나 앞에서 설명한 방법에서는, 공장 내에서 형성한 압축 공기를 배관을 통해 부품 반송 장치에 공급하기 위해, 컴프레서나 공기 배관 등의 공압 설비를 설치해야만 하는 동시에, 공기 배관과 장치를 접속할 필요가 있기 때문에, 부품 반송 장치를 임의의 장소에 손쉽게 설치하는 것이 어렵다고 하는 문제점이 있다.

또 상기의 공압 설비와 부품 반송 장치를 접속한 후에는, 공압 설비의 공급 압력과, 반송 트랙 위에 설치한 개구부로부터 방출되는 최적인 공압치와의 관계에 따라 공기 배관의 도중에 설치한 레귤레이터(regulator)나 니들 밸브(needle valve) 등을 조정해야만 한다고 하는 번잡한 작업이 필요해졌다.

그래서 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이고, 그 과제는, 공압 설비를 불필요로 하는 동시에, 공압치의 조정을 용이하게 실행할 수 있는 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 이것을 이용한 부품 반송 장치를 실현하는 것에 있다.

이러한 실정에 비추어, 본 발명의 반송 부품의 공압 작용 시스템은, 반송 부품이 반송되는 반송 트랙(11a)과, 이 반송 트랙 위를 향하는 말단 개구부(11c)를 구비한 공압 경로(AR)와, 이 공압 경로의 기단측 개구부(14b)가 개구하고, 격벽의 적어도 일부에 가요성의 다이어프램(diaphragm, 17)을 구비한 동작 공간(OS)과, 이 다이어프램을 구동하여 변형시켜서 상기 동작 공간의 용적을 증감시키는 구동 수단(18)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 구동 수단에 의해 가요성의 다이어프램을 구동하는 것으로 동작 공간의 용적을 증감시킴으로써, 이 동작 공간에 기단(基端, proximal end)이 접속된 공압 경로를 통해 말단 개구부로부터 반송 트랙 위의 반송 부품에 공압을 작용시킬 수 있다. 따라서, 종래와 같이 압축 공기를 공급하는 공압 설비가 불필요해지는 동시에, 이 공압 설비의 공급압에 따라서 반송 트랙 위에서 작용하는 공압을 조정할 필요가 없어지며, 구동 수단의 다이어프램에 대한 구동 형태를 조정하는 것만으로 용이하게 최적인 공압을 반송 부품에 작용시키는 것이 가능해진다. 또 이 구성에 의하면, 다이어프램을 공압 경로 측으로 변형시켜서 반송 부품에 공압을 작용시킨 후에 다이어프램을 바로 반대 측으로 되돌리는 것으로, 공압을 신속하게 정지시킬 수 있기 때문에, 전후에 반송되어 오는 다른 반송 부품에 잘못해서 공압을 작용시킨다고 하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 이 방식에서는, 비교적 큰 반송 부품에 대해서도 유효하게 공압을 작용시킬 수 있다.

본 발명의 일 형태에 있어서는, 상기 다이어프램의 상기 동작 공간을 향하는 면적은, 상기 공압 경로의 단면적 보다도 크다. 이것에 의하면, 다이어프램의 변형량이 미소하여도 동작 공간의 용적을 크게 증감시킬 수 있으므로, 공압을 고속으로 작용시킬 수 있는 동시에 공압치를 넓은 범위로 설정할 수 있다.

또 본 발명의 다른 반송 부품의 공압 작용 시스템은, 반송 부품이 반송되는 반송 트랙(11a)과, 이 반송 트랙 위를 향하는 말단 개구부(11c)를 구비한 공압 경로(AR)와, 이 공압 경로의 기단측 개구부(14b)에 대향 배치되는 가요성의 다이어프램(17)과, 이 다이어프램을 상기 공압 경로의 상기 기단측 개구부에 대해 접근, 이간(離間)하는 방법으로 변형시켜서 음파를 발생시키는 구동 수단(18)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 구동 수단에 의해 다이어프램을 변형시켜서 음파를 발생시킴으로써, 이 음파는 다이어프램과 대향하는 공압 경로의 기단측 개구부로부터 내부로 도입되어 말단 개구부로 향해 전파(傳播)하고, 말단 개구부로부터 반송 부품에 도달하므로, 반송 트랙 위의 반송 부품에 음파에 따라서 변동하는 공압을 작용시킬 수 있다. 따라서, 종래와 같이 압축 공기를 공급하는 공압 설비가 불필요해지는 동시에, 이 공압 설비의 공급압에 따라서 반송 트랙 위에서 작용하는 공압을 조정할 필요가 없어지고, 구동 수단의 다이어프램에 대한 구동 형태를 조정하는 것만으로 용이하게 최적인 공압을 반송 부품에 작용시키는 것이 가능해 진다. 또 이 구성에 의하면, 반송 부품에 음파에 따른 공압이 작용한 후에 이 공압은 신속하게 작아지므로, 전후에 반송되어 오는 다른 부품에 잘못해서 공압을 작용시킨다고 하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 이 방식에서는 비교적 작은 반송 부품에 대해 고속으로 공압을 작용시킬 수 있다.

본 발명의 일 형태에 있어서는, 상기 다이어프램의 변형 가능한 면적은, 상기 공압 경로의 단면적 보다도 크다. 이것에 의하면, 다이어프램이 발생하는 음파가 미약하여도 넓은 면적에서 발생한 음파를 공압 경로를 통해 반송 부품으로 전파(傳播)시킬 수 있으므로, 공압치를 넓은 범위에서 설정할 수 있다.

상기 각 발명에 있어서는, 상기 다이어프램의 외주 측으로부터 상기 공압 경로의 기단측 개구부로 향해 수속(收束)하는 경사 내면을 더 구비한다. 이것에 의하면 다이어프램에 의해 발생한 기압 변동을 경사 내면에 의해 공압 경로의 기단측 개구부에 집중하도록 유도할 수 있으므로, 공압을 효율적으로 반송 부품으로 부여할 수 있다.

상기 각 발명에 있어서는, 상기 구동 수단은 상기 다이어프램에 밀착한 압전 소자로 구성되고, 이 압전 소자에 구동 전압을 인가하는 제어 구동부를 더 구비한다. 이것에 의하면, 제어 구동부에 의해 구동 전압을 압전 소자에 인가하는 것으로, 이 압전 소자가 압전 효과에 의해 변형되고, 점착된 다이어프램을 직접 동작시킬 수 있으므로, 다이어프램의 고속 동작 및 미조정(微調整)이 가능해지기 때문에, 반송 부품에 대한 공압의 작용 타이밍이나 공압치를 정밀하게 또한 적절하게 제어할 수 있다.

이 경우에, 상기 압전 소자는 상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부와는 반대 측의 면 위에 배치되고, 상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부 측의 면 위에는 배치되지 않는 것이 바람직하다. 이것에 의하면, 다이어프램의 기단측 개구부와는 반대 측의 면 위에는 압전 소자가 배치되고, 기단측 개구부 측의 면에는 배치되지 않음으로써, 다이어프램과 공압 경로와의 사이로부터 압전 소자의 배선을 인출할 필요가 없어지므로, 다이어프램과 공압 경로 사이의 동작 공간을 밀폐하기 쉬어 지며, 또 밀폐되지 않을 때까지도 극간(隙間)을 저하하여 효율적인 공압 작용을 실현할 수도 있다.

상기 각 발명에 있어서는, 상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부와는 반대 측을 외부로 개방하는 배변측 개구부가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 다이어프램의 기단측 개구부와는 반대 측이 밀폐되지 않으므로 배압(背壓)이 발생하기 어려워지며, 다이어프램의 변형이 용이해지기 때문에, 공압을 효율적으로 반송 부품에 작용시키는 것이 가능해 진다. 이 경우에, 상기 배변측 개구부의 적어도 일부에 소음경감부재가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해 외부로 누출되는 소음을 저감시킬 수 있다.

본 발명의 상기 반송 부품의 공압 작용 시스템은, 부품 반송 장치에 이용할 수 있다. 이 부품 반송 장치는, 상기의 공압 작용 시스템과, 상기 반송 트랙을 따라 상기 반송 부품을 이동시키는 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. 이러한 부품 반송 장치로서는 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 반송 수단으로서 벨트 컨베이어를 이용한 반송 장치에도 적용할 수 있지만, 특히, 미세한 부품을 고속으로 반송할 수 있는 진동식 부품 반송 장치에 적용하는 것이 효율적이다.

본 발명에 의하면, 공압 설비를 불필요로 하는 동시에, 공압치의 조정을 용이하게 실행할 수 있는 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 이것을 이용한 부품 반송 장치를 실현할 수 있다고 하는 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.

도 1은, 제1 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치의 개략 구성을 모식적으로 도시하는 개략 단면도.
도 2는, 제1 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템에 이용하는 동작 유닛의 내부 구조를 도시하는 단면도(도 2a) 및 외면도(도 2b)를 각각 나누어서 도시한 도면.
도 3은, 제2 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치의 개략 구성을 모식적으로 도시하는 개략 구성도.
도 4는, 제3 실시 형태의 동작 유닛의 종단면도.
도 5는, 제3 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템의 부품 반송 장치로의 설치 구조를 도시하는 분해 사시도(도 5a), 및 이 공압 작용 시스템을 설치하여 이루어지는 부품 반송 장치의 평면도(도 5b)를 각각 나누어서 도시한 도면.
도 6은, 각 실시 형태의 구동 수단의 구동 신호 및 다이어프램의 변위량을 도시하는 타이밍 차트(도 6a) 및 그 부분 확대도(도 6b)를 각각 나누어서 도시한 도면.

다음에, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다.

[제1 실시 형태]

도 1은, 본 발명에 관한 제1 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치의 구성을 모식적으로 도시하는 개략 단면도, 도 2는 동 실시 형태의 동작부의 내부 구조를 도시하는 단면도(도 2a), 및 외관을 도시하는 외관도(도 2b)로 각각 나누어서 도시한 도면이다.

본 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템(10)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 부품 반송 장치의 반송체(11)에 설치된 반송 트랙(11a)을 가진다. 이 반송 트랙(11a)은 도 1에 단면으로 도시되어 있다. 반송 트랙(11a)은 도시(圖示)의 지면과 교차하는 방향으로 연장하고, 이 교차하는 방향을 따라서 반송 부품(P)이 반송된다. 반송 부품(P)의 반송 수단은 특별히 한정되지 않지만, 도시 예에서는 반송체(11)가 반송 트랙(11a)의 연장 방향으로 왕복 진동하는 것으로 반송 부품(P)이 반송 트랙(11a)을 따라서 이동하도록 구성된 진동식 부품 반송 장치를 이용할 수 있다. 이러한 진동식 부품 반송 장치는 주지의 것이며, 예를 들면, 나선형의 반송 트랙을 구비한 보울형의 반송체를 회전 진동기 위에 고정하여 이루어지는 보울형 파츠 피더, 직선형의 반송 트랙을 구비한 연장 형상의 반송체를 왕복 진동기 위에 고정하여 이루어지는 리니어형(linear-shaped) 파츠 피더 등을 예로 들 수 있다. 단, 본 발명은 이와 같은 진동식 부품 반송 장치에 한정하지 않고, 벨트 컨베이어로 부품을 반송하는 장치, 반송 플레이트에 부품을 올려서 반송하는 장치 등, 기정의 반송 트랙을 구비한 것이라면 특별히 한정되지 않는다.

본 실시 형태에서는, 상기 반송체(11)에는 상기 반송 트랙(11a) 위에 개구하는 통기로(11b)가 형성되어 있다. 이 통기로(11b)의 말단 측 개구부(11c)는 반송 트랙(11a) 위를 이동하는 반송 부품(P)에 대해 공압을 부여할 수 있는 위치에 개구하고 있다. 말단 측 개구부(11c)의 개구 위치는 반송 부품(P)에 대해 필요해지는 공압 작용에 따라서 적절하게 설정되지만, 도시 예에서는 반송 부품(P)을 반송 트랙(11a) 위로부터 공압에 의해 도시(圖示)의 화살표와 같이 배제하기 위해, 반송 트랙(11a) 위의 반송 부품(P)의 측면에 대향하는 위치에 개구하고 있다. 실제로, 예를 들면, 공압을 작용시키는 것으로 반송 부품(P)을 다른 반송 트랙에 이동시키는 등, 공압 작용의 목적은 특별히 한정되지 않는다.

통기로(11b)의 상기 말단 측 개구부(11c)와는 반대 측의 개구부에는 통기관(12)의 한쪽의 단부(端部, 12a)가 접속된다. 통기관(12)은 도시 예에서는 가요성 수지 등으로 이루어지는 튜브로 구성되지만, 금속관 등의 강체(剛體)로 구성되어 있어도 되고, 또는 상기 통기관(11b)이 그대로 연장된 구조로 이루어져 있어도 된다.

통기관(12)의 다른 쪽의 단부( 12b)에는 동작 유닛(OP)의 공기 배관용의 커넥터 등으로 이루어지는 출력 측 접속부(14)에 접속되어 있다. 출력 측 접속부(14)는 케이스(筐體, case, 15)의 중심에 개구하는 출력구(15a)에 접속되어 있다. 출력 측 접속부(14)의 내부에는 축 구멍(14a)이 설치되고, 이 축 구멍(shaft hole, 14a)의 기단측 개구부(14b)는 전면 프레임(front surface frame, 15) 및 배면 프레임(back surface frame, 16)으로 이루어지는 케이스의 내부에 개구하고 있다. 전면 프레임(15)에는 배면 프레임(수지 등으로 이루어지는 커버 부재)(16)가 부착되고, 케이스의 내부(도시 예에서는 전면 프레임(15)과 배면 프레임(16)과의 사이)에는 금속 등의 탄성판으로 이루어지는 다이어프램(diaphragm, 17)이 배치된다. 이 다이어프램(17)의 외주부(17a)는 전면 프레임(15)과 배면 프레임(16)과의 사이에 협지되어 눌려서 보호 유지된 상태로 고정되어 있다. 이 외주부(17a)는 전면 프레임(15) 측과 배면 프레임(16) 측에 각각 탄성을 갖는 환상의 패킹(packing, 19a, 19b)을 통해 협지되어 있다. 이것에 의해 다이어프램(17)에 두께 방향의 진동이 발생하기 쉬워지도록 구성된다. 상기 패킹(19a, 19b)으로서는 탄성을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않지만, 고무와 같이 변형하기 쉽게 다이어프램의 변형을 방해하지 않는 탄성 특성을 갖는 것이 바람직하며, 예를 들면, 실리콘 고무나 우레탄 수지 등을 이용할 수 있다.

동작 공간(OS)에 전면 프레임(15)의 내부에는, 상기 다이어프램(17)과 상기 출력구(15a)의 주위에 형성된 원추형으로 구성된 경사 내면(15b)과의 사이에 동작 공간(OS)이 설치되고, 이 동작 공간(OS)은 상기 기단측 개구부(14b)를 통해 축 구멍(14a)과 연통하고 있다. 상기 다이어프램(17)의 동작 공간(OS)을 향하는 면적, 및, 다이어프램(17)이 가능하게 구성되는 면적은, 모두 기단측 개구부(14b)의 개구 단면보다도 크게 구성되어 있다. 이것에 의해 , 다이어프램(17)의 변형에 의해 발생하고, 공압 경로를 통해 반송 부품에 부여되는 공압을 크게 할 수 있다. 또 다이어프램(17)은, 기단측 개구부(14b)와 대향하는 위치를 중심으로 하여 주위에 확대 되도록 배치되어 있다. 경사 내면(15b)은 기단측 개구부(14b)보다도 큰 외경을 구비한 다이어프램(17)의 외주 측으로부터 기단측 개구부(14b)로 향하여 수속(收束) 하도록 구성된다. 이것에 의해, 다이어프램(17)의 변형에 의해 발생한 공기의 압력 변동은 기단측 개구부(14b)에 집중하도록 유도되므로, 이 압력 변동을 후술하는 공압 경로(AR)에 효율적으로 도입할 수 있다.

상기 다이어프램(17)의 표면상에는 압전 소자(18)가 접착 등에 의해 밀착한 상태로 되어 있다. 도시 예에서는 다이어프램의 출력구(15a)와는 반대 측의 면 위에 압전 소자(18)가 배치된다. 이 압전 소자(18)는 PZT 등으로 구성된 압전층(도시 생략)의 앞뒤 양면에 각각 전극층(도시 생략)을 형성한 것으로, 이면(裏面)상의 전극은 다이어프램(17)과 도전 접속된 상태로 이루어져 있다. 또 압전 소자(18)의 표면상의 전극에는 구동 배선(18p)이 도전 접속되고, 다이어프램(17)에는 구동 배선(17p)이 도전 접속된다. 이것에 의해, 구동 배선(17p)과 (18p)과의 사이에 전압을 인가하면, 상기 압전층에 두께 방향의 전계가 인가되기 때문에, 이 압전층은 전계의 강도에 따라서 변형하고, 다이어프램(17)을 두께 방향으로 휘어지도록 이루어져 있다.

또한, 상기와 같이 도전 접속 구조는 특별히 한정되는 것이 아니고, 결과로서 압전 소자(18)에 전계가 인가되는 것으로 다이어프램(7)이 기단측 개구부(14b)에 대해 접근, 이간(離間)하는 방향으로 변형시킬 수 있도록 구성되어 있으면 된다. 단, 압전 소자(18)가 다이어프램(17)의 기단측 개구부(14b)(즉, 동작 공간(OS))와는 반대 측의 면 위에 설치되어 있음으로써, 구동 배선(17p, 18p)이 꺼내기 쉬워지며, 또 동작 공간(OS)을 밀폐하는 것도 용이해진다. 또한, 본 실시 형태에서는 압전 소자(18)가 다이어프램(17)의 한쪽 면 위에만 설치되어 있지만(즉, 유니모르프형(unimorph type)의 압전 구동체를 구성하고 있다.), 다이어프램(17)의 앞뒤 양면에 압전 소자(18)를 설치하여도(즉, 바이모르프형(bimorph type)의 압전 구동체를 구성하여도) 된다. 이와 같이 다이어프램(17)의 앞뒤 양면 위에 모두 압전 소자를 설치하는 것으로, 다이어프램(17)의 변형량을 증대시킬 수 있다. 이 경우, 앞뒤의 압전 소자에는 다이어프램(17)을 동일 방향으로 변형시키도록 각각 구동 전압을 인가한다.

상기의 구동 배선(17p, 18p)은 배면 프레임(16)에 설치된 개구 통로(16a)를 통과하여 외부로 인출되어 있다. 또 이 개구 통로(16a)는 다이어프램(17)의 배면 측(기단측 개구부(14b)와는 반대 측)에 설치되는 배후 공간(BS)을 외부로 개방하는 배면 개구부로 이루어져 있다. 이것에 의해, 다이어프램(17)에 배압(背壓)(동작 공간(OS)과는 반대의 압력, 즉, 다이어프램(17)의 기단측 개구부(14b) 측으로의 변형에 의해 동작 공간(OS)이 정압(positive pressure)이 되었을 때에는 부압(nagative pressure)이 되고, 반대의 변형에 의해 동작 공간(OS)이 부압이 되었을 때에는 정압이 된다)이 작용하기 어려워지므로, 다이어프램(17)의 변형이 용이해지고, 그 결과 공압을 더욱 효율적으로 반송 부품(P)에 부여하는 것이 가능해진다.

상기 반송 트랙(11a)에는, 발광 소자(light-emitting element, D1)와 수광 소자(light-receiving element,D2)로 이루어지는 검출부(DT)가 설치되어 있다. 이 검출부(DT)는 반송 트랙(11a) 위를 이동하는 반송 부품(P)이 기정의 조건을 충족한 것인지의 여부를 판정하기 위한 검출 신호를 생성한다. 도시 예에서는, 도시 실선으로 예시한 바와 같이, 반송 부품(P)이 수직으로 긴 자세에 있을 때에는 수광 소자(D2)는 발광 소자(D1)의 빛을 검출하지 않고, 도시 점선으로 예시한 바와 같이, 반송 부품(P)이 수평으로 긴 자세에 있을 때에는 수광 소자(D2)는 발광 소자(D1)의 빛을 검출한다. 수광 소자(D2)의 출력은 제어부(SC)에 송출되고, 제어부(SC)에서는 상기 검출부(DT)의 출력에 따라서 반송 부품(P)이 배제해야 하는 것인지의 여부를 판정하며, 이 판정 결과에 따라서 구동부(DC)에 제어 신호를 보낸다. 구동부(DC)는 후술하는 바와 같이 구동 전압(Vd)을 압전 소자(18)에 인가한다.

상기의 구성에 있어서, 통기로(11b), 통기관(12) 및 출력 측 접속부(14)의 축 구멍(14a)은, 공압 경로(AR)를 구성한다. 이 공압 경로(AR)의 말단 측 개구부는 상기 말단 개구부(11b)이고, 기단측 개구부는 상기 기단측 개구부(14b)이다. 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)는 상기 동작 공간(OS)에 개구하고, 상기 동작 공간(OS)의 격벽의 일부는 상기 다이어프램(17)에 의해 구성된다.

압전 소자(18)는 구동부(DC)에서의 구동 신호를 구동 배선(17p, 18p)을 통해 받고, 압전 효과에 의해 다이어프램(17)을 두께 방향(도 1의 좌우 방향), 즉, 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)에 대해 접근, 이간하는 방향으로 변형시킨다. 이것에 의해 동작 공간(OS) 내의 기체는 같은 방향으로 압축되고, 동작 공간(OS) 내에 종파(縱波), 즉 음파를 발생시킨다. 이 음파는 상기의 원추형의 경사 내면(15b)에 의해 기단측 개구부(14b)를 향해 집음(集音) 되고, 공압 경로(AR) 내를 전파(傳播)해 가며, 최종적으로 말단 개구부(11c)로부터 반송 트랙(11a) 위로 방출되어 반송 부품(P)에 공압(음압(音壓))으로서 작용한다.

본 실시 형태의 경우, 공압 경로(AR)의 단면적 보다도 다이어프램(17)의 유효 면적(다이어프램(17)의 동작 공간(OS)을 향하는 부분의 면적, 또는 다이어프램(17)의 변형 가능한 면적)이 크기 때문에, 다이어프램(17)이 약간 변형하여도 공압 경로(AR)를 통해 말단 측 개구부(11c)에서의 기체의 출입량을 충분히 크게 할 수 있다.

또 본 실시 형태에서는, 공압 경로(AR)의 기단 측에 접속된 동작 공간(OS)이 폐쇄 공간으로 이루어져 있으므로, 다이어프램(17)의 변형에 의한 동작 공간의 용적 변화분이 그대로 말단 개구부(11c)에서의 기체의 도출량 또는 도입량과 대략 일치하므로, 반송 부품(P)에 대한 공압 작용의 조정, 설정이 용이해 진다. 다이어프램(17)의 진동 주파수가 비교적 낮은 경우, 동작 공간(OS) 내의 기체는 다이어프램(17)에 의해 공압 경로(AR) 내로 밀어내고, 이것에 의해 말단 개구부(11c)로부터 공기가 반송 부품(P)으로 향해 분사되는 것으로 공압이 작용한다. 또 다음 순간에는 다이어프램(17)이 반대 측으로 돌아가기 위해 동작 공간(OS) 내는 부압으로 되어, 이것에 의해 반송 부품(P)에 분사되는 기체는 신속하게 정지된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 전면 프레임(15)의 내측에 설치된 경사 내면(15b)이 다이어프램(17)에서 발생한 기압 변동을 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)에 집중시키도록 구성되므로, 공압 경로(AR) 내를 전파하는 기압 변동의 강도를 높일 수 있다. 따라서, 최종적으로 반송 부품(P)으로 공압을 효율적으로 부여할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 동작 공간(OS)이 밀폐 공간으로 이루어져 있지만, 동작 공간(OS)이 엄밀히 폐쇄 공간으로 이루어져 있지 않은 경우라도, 다이어프램(17)에서 발생한 기압 변동(음파)은 공압 경로(AR) 내를 전파하고, 반송 부품(P)에 공압(음압)으로서 작용하는 것이 가능하다. 특히, 다이어프램(17)의 진동 주파수가 비교적 높은 경우, 공압 경로(AR) 내에 큰 기체의 흐름은 발생하지 않고 음파가 전파해가는 것으로, 말단 개구부(11c)로부터 음파가 방출되고, 이 음파는 반송 부품(P)에 작용한다. 이 음압에 의한 반송 부품(P)으로의 작용 레벨은, 반송 부품(P)이 경량의 것인 경우에는, 반송 부품(P)을 이동시키기에 충분한 것이 된다.

[제 2 실시 형태]

도 3은 제2 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템(10') 및 부품 반송 장치를 도시하는 개략 구성도이다. 이 실시 형태에 있어서, 상기 제1 실시 형태와 같은 부분에는 동일 부호를 부여하고, 그것에 대한 설명은 생략한다.

이 실시 형태에서는, 반송체(11')의 반송 트랙(11a')은, 말단 개구부(11c')의 개구하는 경사진 제1의 반송면(11x)과, 이 제1의 반송면(11x)과 대향하고, 반대 측으로 경사하는 제2의 반송면(11y)을 구비하고 있다. 그리고 말단 측 개구부(11c')로부터 방출되는 공압에 의해, 도시 실선으로 예시하는 바와 같이 제1의 반송면(11x) 위에 편향한 자세로 반송되어 온 반송 부품(P)을, 도시 2점 쇄선으로 예시하는 바와 같이 제2의 반송면(11y) 위에 편향한 자세로 반전시킬 수 있다. 여기서, 말단 측 개구부(11c')는 반송 부품(P)을 용이하게 반전시킬 수 있도록, 반송 트랙(11a) 위에 반송 부품(P)의 측면 상부에 대향하는 위치에 개구하고 있다.

[제3 실시 형태]

다음에, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 관한 제3 실시 형태의 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치에 대해 설명한다.

도 4는 본 실시 형태의 동작 유닛(OP')의 내부 구조를 도시하는 종단면도이다. 본 실시 형태의 동작 유닛(OP')은, 전면 프레임(15')과 배면 프레임(16')으로 이루어지는 케이스의 내부에, 패킹(19a', 19b')을 통해 외주부(17a)가 지지된 다이어프램(17) 및 이 면(面) 위에 설치된 압전 소자(18)가 배치되고, 다이어프램(17) 보다도 공압 경로(접속 커넥터(14')) 측에 동작 공간(OS)이 설치되며, 반대 측에 배후 공간(BS)이 설치되어 있는 점에서, 제1 실시 형태의 동작 유닛(OR)과 같다. 또 전면 프레임(15')에 경사 내면(15b')도 동일하게 설치되어 있다. 따라서, 아래에서는 제1 실시 형태와 다른 점만을 기술한다.

동작 유닛(OP')에서는 전면 프레임(15')의 내부에 상기 동작 공간(OS)에 연통하는 기단 통기로(15a')가 설치되고, 이 기단 통기로(15a')는 기단측 개구부(15c')에서 동작 공간(OS)에 개구한다. 이 기단측 개구부(15c')는 본 실시 형태에서의 공압 경로(AR)의 기단측 개구부에 상당한다. 또 기단 통기로(15a')는 다이어프램(17)(동작 공간(OS))의 중심부 위의 위치로부터 다이어프램(17)(동작 공간(OS))의 외주면 측으로 향해 다이어프램(17)을 따라 연장하여 전면 프레임(15')의 외주부로부터 접속 커넥터(14')를 통해 외부로 접속된다.

또 이 실시 형태에서는, 배후 공간(BS)으로부터 구동 배선(17p, 18p)이 도출되어 있지만, 이 돌출부는 시일재(sealing materal, 19c') 등에 의해 밀폐되어 있다. 또 배면 프레임(16')의 다이어프램(17)(배후 공간(BS))의 중심부 위의 위치에 배면 개구부(16a')가 형성되어 있다. 이 배면 개구부(16a')는 배후 공간(BS)의 중심부에 개구하고 있는 점에서 배압(背壓)의 발생을 더욱 효율적으로 방지할 수 있다. 또한, 배면 개구부(16a')는 소음 경감부재(16b')에 의해 피복되어 있다. 이 소음 경감 부재(16b')는 통상은 다공질의 수지, 금속, 세라믹 등이라고 한 다공질재로 구성되어 있어도 되고, 또는 일반적인 소음경감 장치와 같은 배플 판(baffle plate) 등을 내장한 구조를 가질 수도 있다. 단, 효율적인 급배기와 충분한 소음경감 작용을 가능하게 하면서 콤팩트하게 구성하기 위해서는 전자인 것이 바람직하다. 또한, 도시 예에서는 소음 경감 부재(16b')는 배면 프레임(16')의 상기 배면 개구부(16a')의 내측 개구 테두리 위에 부착되어 있지만, 외측 개구 테두리 위에 부착되어 있어도 되고, 또는 배면 개구부(16a')의 내부에 삽입 배치되어 있어도 된다.

본 실시 형태의 동작 유닛(OP')에는 배면 프레임(16')에 일체적으로 결합부(16s', 16s')가 설치되고, 이 결합부(16s')는 도 5a에 도시하는 지지대(8)의 결합 홈(8s)에 결합 가능하게 구성된다. 지지대(8)는 복수의 동작 유닛(OP')을 장착 가능하게 구성되어 있다.

도 5b는 부품 반송 장치의 일 예를 도시하는 평면도이다. 이 장치는, 도시하지 않은 설치대 위에 코일스프링 등의 방진 부재를 통해 지지된 기대(3) 위에, 보울형의 파츠 피더(4)와, 리니어형 파츠 피더(5) 및 (6)가 설치되어 이루어지는 복합형 부품 공급 장치이다. 보울형 파츠 피더(4)는, 도시하지 않은 회전 진동기 위에 설치된 보울형의 반송체(42)를 가지고 있다. 이 반송체(42)는, 내부에 바닥부(42a)와, 이 바닥부(42a)의 주위 내면 위에 형성된 나선형의 반송 트랙(42b)을 구비하고, 바닥부(42a) 위에 배치된 도시하지 않은 부품을 상기 반송 트랙(42a)을 따라 위쪽으로 반송하도록 구성되어 있다.

한편, 리니어형 파츠 피더(5) 및 (6)은 도시하지 않은 직선 진동기 위에 설치된 반송체(52, 62)를 가지고, 반송체(52) 위에 설치된 직선형의 반송 트랙(52a)과 반송체(62) 위에 설치된 직선형의 반송 트랙(62a)은 서로 반대 방향으로 직선형으로 부품을 반송하도록 구성된다.

반송 트랙(42b)의 말단(42c)은 상기 반송 트랙(52a)에 부품을 배출하도록 이루어져 있다. 또 반송체(52)에는 반송 트랙(52a)을 따라 복수의 부품 선별부가 설치되고, 각 부품 선별부에 설치된 검출부(DT)로 부품의 양부(良否), 자세의 양부를 검출하도록 구성된다. 또 다른 부품 선별부에서는, 상시 공압을 반송 트랙(52a) 위에 미치게 하여 불량 자세에 있는 부품만을 자동적으로 배제하는 장소가 설치되며, 이 장소(예를 들면, 도시의 UDT로 예시하는 장소)에서는 상기 검출부(DT)가 설치되어 있지 않다.

상기 반송 트랙(52a)을 따라 설치된 복수의 부품 선별부에서는, 앞의 각 실시 형태에서 설명한 공압 작용 시스템에 의해 반송 부품에 공압이 작용하고, 이것에 의해 반송 부품이 반송 트랙(52a)으로부터 배제되거나, 반송 트랙(52a) 위에서의 자세가 변경된다. 그리고 반송 트랙(52a)으로부터 배제된 반송 부품은, 인접하는 반송 트랙(62a)에 낙하하고, 반송 트랙(62a) 위를 반송 트랙(52a)의 반송 방향과는 반대 방향으로 반송되어 가고, 바로 반송 트랙(62a)의 말단에서 상기 반송체(42)의 부품 수취부(42d)로 배출된다. 부품 수취부(42d)에 배출된 반송 부품은 다시 반송 트랙(42b)의 도중에 합류하고, 반송 트랙(42b)을 따라서 반송되어 간다.

본 실시 형태에서는, 기대(基臺, 3) 위에, 상기와 같은 제어부(SC) 및 구동부(DC)와, 상기의 지지대(8)에 결합 지지된 복수의 동작 유닛(OP')이 배치되어 있다. 복수의 동작 유닛(OP')은 상기의 복수의 부품 선별부에 대응하여 설치된다. 또 제어부(SC) 및 구동부(DC)는, 상기의 검사부(DT)에 접속되는 동시에 이 검사부(DT)에 대응하는 동작 유닛(OP')에 후술하는 바와 같이 제어한다. 또 검사부(DT)가 설치되어 있지 않은 부품 선별부에서는, 후술하는 바와 같이, 대응하는 동작 유닛(OP')을 상시 연속적으로 구동하는 것으로, 공압을 미칠 수 있는 위치에 반송되어 오는 모든 부품에 공압을 작용시킬 수 있도록 구성된다.

본 실시 형태에서는, 부품 반송 장치에 공압 설비를 접속할 필요가 없는 동시에, 복수의 동작 유닛(OP')을 지지대(8)에 의해 콤팩트하게 설치할 수 있으므로, 특히 소형 장치에 이용하는 경우에 바람직하다.

또한, 본 실시 형태의 각 특징점은, 특히 모순이 생기지 않는 한, 제1 실시 형태나 제2 실시 형태의 특징점과 임의의 조합으로 실시하는 것이 가능하다.

[동작 유닛의 제어 구동 방법]

다음에, 상기와 같이 구성되어 각 실시 형태에서의 동작 유닛(OP, OP')의 제어 구동 방법의 일 예를 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6a는 다이어프램(17)의 구동수단인 압전 소자(18)에 인가하는 구동 전압(Vd)의 시간 변화를 도시하는 타이밍 차트, 도 6b는 도 6a의 구동 전압(Vd)의 파형(波形)의 일부를 확대하여 도시하는 구동 파형도, 도 6c는 구동 전압(Vd)에 의해 발생하는 다이어프램(17)의 변위(D)(다이어프램(17)의 중앙부의 두께 방향으로의 변위량)과, 이것에 수반하는 동작 공간(OS)의 압력(P)의 시간 변화를 도시하는 그래프이다. 또한, 도 6에 도시하는 파형에 있어서, 압전 소자(18)는, 인가되는 구동 전압(Vd)이 정(正)의 값인 경우(Vd> 0)에는, 상기 다이어프램(17)을 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b) 측으로 변형시키도록 작용하고, 부(負)의 구동 전압(Vd)(Vd<0)인 경우에는, 상기 다이어프램(17)을 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)와는 반대 측으로 변형시키도록 작용하는 것으로 한다.

이 예에서는, 제어부(SC)의 제어 신호에 의해 구동부(DC)가 구동 전압(Vd)을 압전 소자(18)에 인가한다. 이때, 예를 들면, 동작 유닛(OP)의 대기 시(반송 부품(P)에 공압 작용을 부여하지 않는 경우)는 부의 구동 전압 Vd=-V2(V2>0)을 미리 인가해 두고, 동작 유닛(OP)의 동작시(반송 부품(P)에 공압을 작용시킬 경우)에 정의 구동 전압 Vd=+V1(V1>0)을 인가한다. 따라서, 상기 대기시에는 다이어프램(17)은 기단측 개구부(14b)와는 반대 측으로 변형하고 있고, 상기 동작시에는 다이어프램(17)은 기단측 개구부(14b)의 쪽으로 변형한다. 이와 같이 하는 것으로, 반송 트랙(11a) 위의 공압의 작용을 신속하게 반송 부품(P)에 부여할 수 있고, 다이어프램을 저하할 수 있는 동시에, 공압력을 크게 할 수 있다.

구동 전압 +V1-V2의 절댓값은 적절히 설정할 수 있지만, V1> V2, 즉, 정의 구동전압 +V1의 절댓값을 부의 구동 전압 -V2의 절댓값보다 크게 하는 것이 바람직하다. 이것에 의해 대기시에서의 압전 소자(18)로의 부하를 저하할 수 있는 동시에, 동작시에서의 반송 부품(P)으로의 공압 작용을 충분히 확보할 수 있다.

여기서, 정의 구동 전압 +V1을 증감시키는 것으로 다이어프램(17)의 변위량을 증감시켜서 공압 작용의 대소를 조정할 수 있다. 또 정의 구동 전압 +V1의 인가 기간(t1)을 증감시키는 것이라도, 다이어프램(17)의 변위량을 증감시켜서 공압 작용의 대소를 조정할 수 있다. 이것에 의해, 종래의 공압 설비를 이용한 경우에 레귤레이터를 설치하거나, 스피드 컨트롤러 등으로 공압의 미조정(微調整)을 실행할 필요가 없으며, 현장 설치시의 공압 조정이 매우 용이해진다고 하는 이점이 있다. 또한, 도시 예에서는, 다이어프램(17)의 진동 주기(T) 및 동작 간격(t2)은 특별히 한정되지 않지만, 이것들은 부품 반송 장치의 반송 속도의 최대값(반송 부품(P)의 반송 간격의 최소값)에 따라서 미리 설정해 두는 것이 바람직하다.

여기서 동작 유닛(OP)의 대기시에서는, 구동 전압 Vd=0으로 하고, 동작시에서 초기에 구동 전압 Vd=-V2을 일시적으로 인가하고나서 구동 전압 Vd=+V1을 인가하도록 하여도 된다. 이 경우에는, 대기시에서의 다이어프램(17)의 부하를 더욱 절감할 수 있다.

단, 본 발명은 상기와 같은 구동 형태에 한정되는 것이 아니고, 결과로서 다이어프램(17)이 동작 공간(OS)의 용적을 증감시키거나, 다이어프램(17)이 공압 경로(AR)의 기단측 개구부(14b)에 대해 접근, 이간하는 방향으로 변형하거나, 또는 다이어프램(17)이 두께 방향으로 진동하도록 되어 있으면 된다.

어쨌든, 도 6c에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 다이어프램(17)의 두께 방향의 변위(D)에 의해 동작 공간(OS) 내의 압력(P)이 상하로 변동한다. 여기서, 도 6c에는 구동 파형을 도시 점선으로 예시하고 있다. 그리고 이 압력 변동에 따라서 공압 경로(AR)에 발생하는 기체(공기)의 흐름 또는 음파의 전반(傳搬)에 의해 반송 트랙(11a) 위의 반송 부품(P)에 공압이 작용한다. 이때, 반송 부품(P)에 부여되는 공압은, 다이어프램(17)의 변형의 복귀에 따라서 발생하는 부압에 의해 신속하게 정지되거나, 또는 음파로서 신속하게 소실되므로, 전후로 반송되어 오는 다른 반송 부품에 영향을 주기 어렵다. 또 고속으로 다이어프램(17)을 변형시키는 것으로, 반송 트랙(11a) 위를 고속으로 이동하는 반송 부품에 대해서도 용이하게 대응할 수 있기 때문에, 부품 반송 장치의 고속화를 방해할 우려도 없다.

또 반송 부품(P)에 작용하는 공압력은, 구동 전압(Vd)의 절댓값이 인가 시간(t1)을 제어하는 것으로 용이하게 조정할 수 있다. 또한, 도 6b 및 도 6c에 도시하는 구동 파형 및 다이어프램의 변위(D) 및 동작 공간(OS)의 압력(P)에 있어서, 인가 시간 t1은 0.05~0.5ms, t2는 0.1~1.0ms 정도로 할 수 있으므로, 반송 속도 3000~4000개/분 정도의 고속 반송에서도 충분히 대응할 수 있다. 또한, 위에서 설명한 바와 같이 상시 반송 부품에 공압을 미치는 부품 선별부에 대해서는, 도 6b에 도시한 것과 같은 구동 파형을 연속하여 주기적으로 인가한다. 이 경우, 이 파형의 주기는, 위에서 설명한 바와 같이 부품 반송 장치의 부품의 반송 속도에 대응하는 반송 부품의 통과 주기에 비해 대폭 짧게 할 수 있으므로, 모든 반송 부품에 대해 확실하게 공압을 미칠 수 있다.

상기 구성에 있어서, 실제로 공압 작용 시스템을 제조하여 실험을 실행하였다. 동작 유닛(A)에서는, 압전 소자로서 직경 Φ 25㎜, 두께 t=0.1㎜의 PZT제의 압전체를 구비한 것을, 다이어프램으로서 직경 Φ 32㎜, 두께 t=0.1㎜의 황동제 금속판에 접착한 것을 이용하고, 동작 유닛(B)에서는, 압전 소자로서 직경 Φ 30㎜, 두께 t=0.1㎜의 PZT제의 압전체를 구비한 것을 다이어프램으로서 직경 Φ 35㎜, 두께 t=0.1㎜의 황동제 금속판에 접착한 것을 이용하며, 동작 유닛(C)에서는 압전 소자로서 직경 Φ 30㎜, 두께 t=0.1㎜의 PZT제의 압전체를 구비한 것을 다이어프램으로서 직경 Φ 41㎜, 두께 t=0.1㎜의 황동제 금속판에 접착한 것을 이용하였다. 또 모든 동작 유닛에서도 다이어프램과 압전 소자의 적층체의 공진 주파수는 1.5KHz이다.

실험 대상 피가공물은 팁 저항(가로 1㎜ × 세로 0.5m × 두께 0.35㎜)을 이용하고, 진동기 주파수는 303Hz, 피더(상기 부품 반송 장치(5))의 공급 능력은 4000개/분에서 실험하였다. 부품 선별부로서는, 불량 자세의 배제부, 앞뒤 선별부를 포함한다. 이것에 의해, 가장 소형의 상기 동작 유닛(A)에서도 지장없이 부품을 선별할 수 있고, 선별 대상 이외의 부품에 대해서는 선별되지 않는 등의 일도 확인되었다. 피가공물의 사이즈로서는 동작 유닛(B, C)과 같이 다이어프램(17)의 면적을 크게 하는 것으로, 가로 세로 두께가 각각 5㎜ 정도까지 대응 가능하다. 또 연속하여 공압을 미치는 부품 선별부에서도 확실하게 이 자세의 부품을 모두 배제할 수 있다.

또한, 본 발명의 반송 부품의 공압 작용 시스템 및 부품 반송 장치는, 위에서 설명한 도시 예에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러 가지 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 공압을 작용시키는 것으로 반송 부품을 배제하거나, 자세를 변경하도록 구성하고 있지만, 반송 부품을 다른 반송 트랙 등으로 이동시키거나, 또는 반송 부품을 일시적으로 말단 개구부에 흡인 보호 유지하여 반송을 정지시키거나 하는 등, 본 발명의 공압 작용 시스템은, 반송 부품에 대한 여러 가지의 작용 형태를 실현하는 경우에 이용할 수 있다. 또 상기 다이어프램은 금속 박판으로 구성되어 있지만, 수지나 고무제의 다이어프램을 이용해도 된다. 또한, 상기 구동 수단은 압전 소자를 이용하고 있지만, 다이어프램을 기계적으로 변형시킬 수 있는 것이라면, 전자 구동체나 크랭크 기구 등이어도 되며, 압전 소자 그 자체로 구성되는 다이어프램 등, 다이어프램 자체가 스스로 변형 가능하게 구성되는 것이어도 된다.

10…공압 작용 시스템 11…반송체
11a…통기로 11b…말단 측 개구부
12…통기관 13…동작 유닛
14…출력 측 접속부 14a…축 구멍(shaft hole)
14b…기단측 개구부
15…전면 프레임(front surface frame)
15a…출력구 15b…경사 내면
16…배면 프레임(back surface frame)
17…다이어프램(diaphragm)
17p, 18p…구동 배선 18…압전 소자
19a, 19b…패킹(packing)
DC…구동부 DT…검출부
SC…제어부 AR…공압 경로
OP, OP'…동작 유닛 OS…동작 공간
BC…배후 공간 P…반송 부품

Claims (10)

1. 반송 부품이 반송되는 반송 트랙(11a)과,
   상기 반송 트랙 위를 향하는 말단 개구부(11c)를 구비한 공압 경로(AR)와,
   상기 공압 경로의 기단측 개구부(14b)가 개구하고, 격벽의 적어도 일부에 가요성의 다이어프램(17)을 구비한 동작 공간(OS)과,
   상기 다이어프램을 구동하여 변형시켜서 상기 동작 공간의 용적을 증감시키는 구동 수단(18)을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 부품의 공압 작용 시스템.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 다이어프램의 상기 동작 공간을 향하는 면적은, 상기 공압 경로의 단면적 보다도 큰 것을 특징으로 하는 반송 부품의 공압 작용 시스템.
   
3. 반송 부품이 반송되는 반송 트랙(11a)과,
   상기 반송 트랙 위를 향하는 말단 개구부(11c)를 구비한 공압 경로(AR)와,
   상기 공압 경로의 기단측 개구부(14b)에 대향 배치되는 가요성의 다이어프램(17)과,
   상기 다이어프램을 상기 공압 경로의 상기 기단측 개구부에 대해 접근, 이간하는 방향으로 변형시켜서 음파를 발생시키는 구동 수단(18)을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 부품의 공압 작용 시스템.
   
4. 제 3항에 있어서,
   상기 다이어프램의 변형 가능한 면적은, 상기 공압 경로의 단면적 보다도 큰 것을 특징으로 하는 반송 부품의 공압 작용 시스템.
   
5. 제 2항 또는 제 4항에 있어서,
   상기 다이어프램의 외주 측으로부터 상기 공압 경로의 기단측 개구부를 향하여 수속(收束)하는 경사 내면을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반송부품의 공압 작용 시스템.
   
6. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 구동 수단은 상기 다이어프램에 밀착한 압전 소자로 구성되고,
   이 압전 소자에 구동 전압을 인가하는 억제 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 부품의 공압 작용 시스템.
   
7. 제 6항에 있어서,
   상기 압전 소자는 상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부와는 반대 측의 면(面) 위에 배치되고, 상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부 측의 면 위에는 배치되지 않는 것을 특징으로 하는 반송부품의 공압 작용 시스템.
   
8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 다이어프램의 상기 기단측 개구부와는 반대 측을 외부로 개방하는 배변측 개구부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송부품의 공압 작용 시스템.
   
9. 제 8항에 있어서,
   상기 배면측 개구부의 적어도 일부에 소음 경감 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송부품의 공압 작용 시스템.
   
10. 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 기재된 공압 작용 시스템과, 상기 반송 트랙에 따라 상기 반송 부품을 이동시키는 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 부품 반송 장치.

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