KR20100107414A - 잉크젯 기록 장치, 패턴 형성 방법 및 컬러 필터 제조 방법 - Google Patents

Abstract

(과제) 잉크젯 방식으로 컬러 필터의 각 화소를 형성하는 경우에, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제한다.
(해결 수단) 화소 에어리어 (24-1) 는, 25 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한, 그 노즐들은 4 개의 지류 공급로 (116a ∼ 116d) 로부터 잉크가 공급된다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-2) 에 대해서도 25 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한, 그 노즐들은 4 개의 지류 공급로 (116b ∼ 116e) 로부터 잉크가 공급된다. 이와 같이, 각 화소 에어리어 (24) 는, 복수의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 그 복수의 노즐들은 복수의 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급된다.

Description

잉크젯 기록 장치, 패턴 형성 방법 및 컬러 필터 제조 방법{INKJET RECORDING APPARATUS, METHOD FOR FORMING PATTERN AND METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER}

본 발명은 잉크젯 기록 장치, 패턴 형성 방법 및 컬러 필터 제조 방법에 관한 것이고, 특히 기판 상의 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴의 각 화소에 잉크를 토출하는 잉크젯 기록 장치, 패턴 형성 방법 및 컬러 필터 제조 방법에 관한 것이다.

액정 패널용 컬러 필터의 제조에, 비용을 절감하는 것을 목적으로 하여 잉크젯 프린터를 이용하는 것이 행해지고 있다. 그러나, 잉크젯 프린터는 노즐 사이에서 잉크의 토출량에 편차가 생기므로, 잉크젯 프린터를 이용하여 제조된 컬러 필터에 있어서 각 화소의 잉크량에 편차가 생겨 농담 (濃淡) 불균일이 발생하는 것이 과제로 되어 있다.

또한, 액정 패널의 고밀도화에 대응하여 잉크젯 프린터의 노즐 배치를 고밀도화할 필요가 있어, 노즐을 2 차원 배치한 매트릭스 헤드를 갖는 잉크젯 프린터를 컬러 필터의 제조에 이용하는 것이 제안되어 있다 (특허문헌 1, 특허문헌 2, 특허문헌 3).

그리고, 특허문헌 1 에는, 매트릭스 헤드를 이용하여 노즐 사이의 토출량 편차에 의한 농도 불균일을 보정하는 방법이 개시되어 있다. 여기서는, 소정 패턴을 인자 (印字) 하여 그 패턴의 흡광도를 측정하고, 그 결과에 기초하여 토출 밀도를 보정하는 방법으로 농도 불균일을 보정하였다. 그리고, 복수 노즐을 사용하여 1 화소를 형성함으로써, 노즐 사이의 토출량 편차에 의한 농도 불균일을 완화시키는 것이 개시되어 있다.

일본 공개특허공보 평10-315510호 일본 공개특허공보 2002-96474호 일본 공개특허공보 2008-143015호

그러나, 매트릭스 헤드에서는 노즐이 주기적으로 배치되어 있기 때문에, 그 주기에 따른 토출량 편차가 발생하기 쉬워, 이것을 고려하지 않고서 보정이나 복수 노즐을 이용하더라도 보정량이 커져, 현실적인 답이 존재하지 않는다. 또한, 복수 노즐을 이용함으로써, 오히려 편차가 커질 가능성도 있다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있고, 토출량의 보정을 필요로 하지 않거나, 또는 토출량의 보정에 필요한 보정량을 적게 하여 보정을 용이하게 할 수 있는, 잉크젯 기록 장치, 패턴 형성 방법 및 컬러 필터 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 1 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 1 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

청구항 2 에 나타내는 바와 같이 청구항 1 에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 선택 수단은, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되도록 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 한다.

이로써, 공통 공급로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 3 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 3 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 환류로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

청구항 4 에 나타내는 바와 같이 청구항 3 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 상기 선택 수단이, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 환류로로 잉크를 환류하도록 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 한다.

이로써, 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 5 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되며, 또한 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는, 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 5 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되고 또한 적어도 2 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 및 공통 환류로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

청구항 6 에 나타내는 바와 같이 청구항 5 에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 선택 수단은, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되고, 또한 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 환류로로 잉크를 환류하도록, 상기 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 한다.

이로써, 공통 공급로 내의 노즐 위치 및 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

청구항 7 에 나타내는 바와 같이 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 이동 수단은, 제 1 방향 및 그 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키고, 상기 잉크젯 헤드는, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 2 차원적으로 배열되며, 상기 제 2 방향으로 소정의 노즐열의 노즐을 투영시켰을 때의 투영 노즐 사이에, 다른 노즐열의 투영 노즐이 배치되도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 8 에 나타내는 바와 같이 청구항 1 내지 6 중 어느 한 항에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 이동 수단은, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판을 1 회만 제 1 방향으로 상대 이동시키고, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 복수의 노즐이 상기 기판의 화소 패턴의 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향에 대응하는 길이에 걸쳐서 배열되고, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 2 차원적으로 배열되며, 상기 제 2 방향으로 소정의 노즐열의 노즐을 투영시켰을 때의 투영 노즐 사이에 다른 노즐열의 투영 노즐이 배치되도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 9 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 9 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배의 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 10 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 10 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 11 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 압력실로부터의 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되며, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과, 상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 11 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배의 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 내의 노즐 위치 및 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

청구항 12 에 나타내는 바와 같이 청구항 9 내지 11 중 어느 한 항에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 이동 수단은, 제 1 방향과 그 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키고, 상기 잉크젯 헤드는, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 배열되며, 상기 제 2 방향으로 각 노즐을 투영시켰을 때에 각 노즐열의 인접 노즐이 인접 투영 노즐이 되고, 또한 단 (端) 에 있는 노즐의 투영 노즐이 인접 노즐열의 반대단 노즐의 투영 노즐과 인접하도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 13 에 나타내는 바와 같이 청구항 9 내지 11 중 어느 한 항에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 이동 수단은, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판을 1 회만 제 1 방향으로 상대 이동시키고, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 복수의 노즐이 상기 기판의 화소 패턴의 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향에 대응하는 길이에 걸쳐서 배열되고, 각 노즐열은 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 배열되고, 상기 제 2 방향으로 각 노즐을 투영시켰을 때에 각 노즐열의 인접 노즐이 인접 투영 노즐이 되며, 또한 단에 있는 노즐의 투영 노즐이 인접 노즐열의 반대단 노즐의 투영 노즐과 인접하도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 14 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드로서, 소정 수의 색마다 구비된 잉크젯 헤드와,

잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 토출시키는 제어 수단으로서, 상기 각 화소의 제 1 방향의 배열이, 상기 소정 수의 색이 주기적인 규칙으로 번갈아 반복되는 배열이 되도록 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비하고, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 공통 공급로를 따라서 인접하는 노즐의 상기 제 1 방향의 간격 D 가, 상기 격벽의 상기 제 1 방향의 치수를 P₁, 상기 화소 패턴의 상기 제 1 방향의 치수를 P₂, 상기 색의 개수를 C, n 을 정수로 하면, n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₂ ＜ D ＜ n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₁ × C ＋ P₂ × (C - 1) 의 관계를 만족하는 간격으로 배치되고, 상기 제어 수단은, 상기 공통 공급로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않는 것을 특징으로 한다.

청구항 14 에 기재된 발명에 의하면, 공통 공급로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않도록 하였기 때문에, 크로스토크를 저감할 수 있고, 토출량을 안정시킬 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 15 에 기재된 잉크젯 기록 장치는, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드로서, 소정 수의 색마다 구비된 잉크젯 헤드와, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 토출시키는 제어 수단으로서, 상기 각 화소의 제 1 방향의 배열이, 상기 소정 수의 색이 주기적인 규칙으로 번갈아 반복되는 배열이 되도록 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비하고, 상기 잉크젯 헤드는, 상기 공통 환류로를 따라서 인접하는 노즐의 상기 제 1 방향의 간격 D 가, 상기 격벽의 상기 제 1 방향의 치수를 P₁, 상기 화소 패턴의 상기 제 1 방향의 치수를 P₂, 상기 색의 개수를 C, n 을 정수로 하면, n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₂ ＜ D ＜ n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₁ × C ＋ P₂ × (C - 1) 의 관계를 만족하는 간격으로 배치되고, 상기 제어 수단은, 상기 공통 환류로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않는 것을 특징으로 한다.

청구항 15 에 기재된 발명에 의하면, 공통 환류로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않도록 하였기 때문에, 크로스토크를 저감할 수 있고, 토출량을 안정시킬 수 있다.

청구항 16 에 나타내는 바와 같이 청구항 14 또는 15 에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 화소 패턴의 각 화소는, 세로 방향 및 가로 방향을 갖고, 상기 제 1 방향은, 상기 각 화소의 가로 방향과 평행한 것을 특징으로 한다.

청구항 17 에 나타내는 바와 같이 청구항 3, 4, 5, 6, 10, 11, 15 중 어느 한 항에 기재된 잉크젯 기록 장치에 있어서, 상기 공통 공급로와 상기 공통 환류로 사이에서 잉크를 순환시키기 위한 송액 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 18 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 18 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 19 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 19 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 환류로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 20 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되며, 또한 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는, 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 20 에 기재된 발명에 의하면, 적어도 2 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되고, 또한 적어도 2 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는, 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 및 공통 환류로에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 21 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록, 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 21 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배의 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 22 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 22 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배의 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 23 에 기재된 패턴 형성 방법은, 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고, 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과, 잉크의 토출 대상인 기판으로서, 그 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과, 상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되며, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 그 노즐의 개수의 정수배가 되도록 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과, 상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 23 에 기재된 발명에 의하면, 1 개의 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 정수배, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 동일한 수 또는 그 정수배의 개수의 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키도록 하였기 때문에, 공통 공급로 내의 노즐 위치 및 공통 환류로 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화하여, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 청구항 24 에 기재된 컬러 필터 제조 방법은, 투명 기판 상에 차광성을 갖는 격벽을 형성하는 공정과, 개구부를 둘러싸는 상기 격벽에 발액 처리를 실시하는 공정과, 청구항 18 내지 23 중 어느 한 항에 기재된 패턴 형성 방법을 사용하여 상기 개구부의 내측에 잉크를 부여하는 화소 형성 공정과, 상기 잉크가 부여된 상기 개구부에 투명 보호막을 형성하는 보호막 형성 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 24 에 기재된 발명에 의하면, 농담 불균일이 없는 컬러 필터를 제조할 수 있다.

본 발명에 의하면, 각 화소의 잉크량의 편차를 억제할 수 있고, 토출량의 보정을 필요로 하지 않거나, 또는 보정량을 적게 하여 용이하게 할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 컬러 필터 제조 장치의 전체 구성도.
도 2 는 격벽 (22) 이 형성된 컬러 필터 기판 (20) 을 나타내는 도면.
도 3 은 화소 형성부 (13) 의 구성도.
도 4 는 헤드 이동 기구 (60) 를 나타내는 사시도.
도 5 는 헤드 모듈 (52) 의 노즐면을 나타내는 개략도.
도 6 은 헤드 모듈 (52) 의 잉크의 유로를 나타내는 모식도.
도 7 은 잉크실 유닛의 입체적 구성을 나타내는 단면도.
도 8 은 노즐 배치의 상세도.
도 9 는 화소 형성부 (13) 의 시스템 구성을 나타내는 요부 블록도.
도 10 은 컬러 필터의 제조 공정을 나타내는 플로우차트.
도 11 은 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 (支流) 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 12 는 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 13 은 헤드 모듈 (52) 의 잉크의 유로를 나타내는 모식도.
도 14 는 노즐 배치의 상세도.
도 15 는 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 16 은 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 17 은 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 18 은 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 와의 대응 관계를 나타내는 도면.
도 19 는 화소 에어리어 (24) 의 1 개의 열 (列) 과 지류 공급로 (116) 에 연이어 통해 있는 노즐 (100) 을 나타낸 도면.
도 20 은 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.
도 21 은 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.
도 22 는 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.
도 23 은 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.
도 24 는 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.
도 25 는 노즐 배치와 화소 에어리어 (24) 의 관계를 나타내는 도면.

이하, 첨부 도면에 따라서 본 발명의 바람직한 실시형태에 관해서 설명한다.

[컬러 필터 제조 장치의 구성]

도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 컬러 필터 제조 장치의 전체 구성도이다.

본 실시형태에 관련된 컬러 필터 제조 장치 (10) 는, 도 2 에 나타내는 컬러 필터 기판 (20) 상에 격벽 (22) 을 형성하고, 격벽의 개구부인 화소 에어리어 (24) 에 잉크를 부여하여 컬러 필터 (26) 를 제조하는 장치이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 컬러 필터 제조 장치 (10) 는, 컬러 필터 기판 (20) 상에 격벽 (22) 을 형성하는 격벽 형성부 (11) 와, 격벽 (22) 에 발잉크 처리를 실시하는 발액 처리부 (12) 와, 화소 에어리어 (24) 에 잉크를 부여하는 화소 형성부 (13) 와, 잉크가 부여된 화소 에어리어 (24) 에 투명 보호막을 형성하는 보호막 형성부 (14) 를 포함하여 구성된다.

격벽 형성부 (11) 는, 컬러 필터 기판 (20) 상에, 블랙 매트릭스의 기능을 가진 차광성을 갖는 격벽 (22) 을 형성한다. 여기서는, 컬러 필터 기판 (20) 으로서 투명한 유리 기판을 사용한 예로 설명한다. 그러나, 컬러 필터 기판 (20) 의 소재는 유리에 한정되는 것은 아니고, 다른 소재여도 된다.

이 격벽 (22) 은, 공지된 컬러 필터용 블랙 매트릭스와 같은 소재를 사용하고, 마찬가지로 공지된 방법 (예를 들어, 일본 공개특허공보 2006-17980호, 일본 공개특허공보 2007-193090호 참조) 에 의해 형성하면 된다.

도 2(a) 는 격벽 (22) 이 형성된 컬러 필터 기판 (20) 의 일부를 확대한 도면이고, 도 2(b) 는, 도 2(a) 의 A-A 선을 따른 단면도이다. 이와 같이, 격벽 (22) 의 개구부에, 잉크를 부여하기 위한 화소 에어리어 (24) 가 형성된다.

발액 처리부 (12) 는, 격벽 (22) 에 발잉크 처리를 실시한다. 격벽 (22) 에 발잉크 처리가 실시되어 있으므로, 화소 에어리어 (24) 에 부여한 잉크가 격벽 (22) 을 넘어서 넘치는 일이 없다. 따라서, 인접한 화소 사이에서 상이한 잉크가 서로 혼합되어 색이 변화되는 것을 방지할 수 있다. 이 발잉크 처리는, 공지된 발잉크 처리 방법 (예를 들어, 일본 공개특허공보 2002-62420호 참조) 을 적용할 수 있다. 또, 발잉크성을 구비한 재질을 사용하여 격벽 (22) 을 형성하면, 발액 처리부 (12) 를 생략할 수 있다.

화소 형성부 (13) 는, 화소 에어리어 (24) 에 빨강 (R), 초록 (G), 파랑 (B) 의 각 색 잉크를 잉크젯 방식으로 토출하여 부여한다. 도 2(c) 는, 화소 에어리어 (24) 에 각 색 잉크가 부여된 컬러 필터 (26) 의 일부를 확대한 도면이다. 화소 형성부 (13) 의 상세한 내용에 관해서는 후술한다.

보호막 형성부 (14) 는, 잉크가 부여된 화소 에어리어 (24) 상에 투명 보호막을 형성한다. 투명 보호막은, 잉크가 부여된 화소 에어리어 (24) 를 보호하고, 컬러 필터 (26) 의 평탄성이나 내열성을 향상시키기 위한 기능을 가지고 있다.

또, 컬러 필터 제조 장치 (10) 내의 각 부로 컬러 필터 기판 (20) 을 반송하는 것은, 도시하지 않은 반송 수단에 의해 자동적으로 실시해도 되고, 작업자가 실시해도 된다.

여기서, 화소 형성부 (13) 의 상세한 내용에 관해서 설명한다. 도 3 은, 화소 형성부 (13) 의 구성도이다. 도 3 에 나타내는 바와 같이, 화소 형성부 (13) 는, 컬러 필터 기판 (20) 이 탑재되는 플래튼 (32) 과, 컬러 필터 기판 (20) 을 향하여 잉크를 토출하는 인자부 (51) 와, 잉크 내에 함유되는 유기 용제를 제거하는 예비 처리부 (34) 와, 활성 에너지선을 조사하여 잉크를 경화시키는 조사 경화부 (36) 와, 가열 처리를 실시하여 잉크를 경화시키는 가열 경화부 (38) 를 포함하여 구성되어 있다.

플래튼 (32) 은, 컬러 필터 기판 (20) 의 폭보다 넓은 폭 치수를 가지고 있다. 플래튼 (32) 의 기판 유지면에는 다수의 흡인구멍 (도 4 의 33) 이 형성되어 있다. 플래튼 (32) 의 하면에는 흡착 챔버 (42) 가 형성되어 있다. 이 흡착 챔버 (42) 를 팬 (44) 에 의해 흡인하여 부압 (負壓) 으로 함으로써, 플래튼 (32) 상의 컬러 필터 기판 (20) 이 흡착 유지된다. 또, 흡인 흡착 방식을 대신하여, 정전 흡착 방식을 채용해도 된다. 플래튼 (32) 은, 도시하지 않은 반송 기구에 의해 도 3 의 화살표 방향으로 반송된다.

인자부 (51) 의 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 는, 압전 액츄에이터 방식, 정전 액츄에이터 방식, 써멀 액츄에이터 방식, 정전 흡인 방식 등의, 일반적인 잉크젯 방식을 이용할 수 있다. 잉크의 자유도, 헤드 수명 등을 고려하면 압전 액츄에이터 방식이 특히 바람직하다.

각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 는, 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향 (도 3 의 화살표 방향 : 부 (副) 주사 방향) 을 따라서, 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향 상류측에서부터 빨강 (R), 초록 (G), 파랑 (B) 의 순으로 배치되어 있다. 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 는, 후술하는 헤드 이동 기구 (60) 에 의해, 컬러 필터 기판 (20) 의 폭 방향 (부주사 방향과 직교하는 방향 : 주 (主) 주사 방향) 으로 왕복 이동시킬 수 있다. 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 는, 컬러 필터 기판 (20) 의 폭 방향으로 컬러 필터 기판 (20) 을 주사시켜 폭 방향에 대한 잉크 토출을 실시한다 (주주사). 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 에 의한 컬러 필터 기판 (20) 의 폭 방향의 1 회의 잉크 토출을 마치면, 컬러 필터 기판 (20) 을 반송 방향으로 소정량만큼 이동 (부주사) 시켜, 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 에 의한 다음 토출 영역의 컬러 필터 기판 (20) 의 폭 방향에 대한 잉크 토출을 실시한다. 이 동작을 반복하여 컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소 에어리어 (24) 에 각 색의 잉크를 부여할 수 있다.

잉크 저장부 (54) 는, 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 에 공급되는 잉크를 저장한다. 잉크 저장부 (54) 는, 예를 들어, 각 잉크 (적색 잉크, 녹색 잉크, 청색 잉크) 를 각각 저장하는 복수의 잉크 탱크로 이루어진다.

다음으로, 헤드 이동 기구 (60) 에 관해서 설명한다. 헤드 이동 기구 (60) 는, 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 에 관해서 각각 동일한 구성으로 구비되어 있기 때문에, 여기서는, 대표적으로 인자 헤드 (50R) 의 헤드 이동 기구 (60) 에 대해서 설명한다.

도 4 는, 헤드 이동 기구 (60) 를 나타내는 사시도이다. 헤드 이동 기구 (60) 는, 헤드 (50R) 를 주주사 방향으로 주사 이동시키는 것으로, 드라이브 스크루 (62), 가이드 레일 (63), 구동 지지부 (64), 지지부 (65), 캐리지 (66) 로 구성되어 있다.

가이드 레일 (63) 은, 헤드 (50R) 의 이동을 가이드하기 위한 것이다. 가이드 레일 (63) 은, 캐리지 (66) 에 형성된 관통구멍에 삽입 통과되고, 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향과 직교하도록 배치되어 있다.

드라이브 스크루 (62) 는, 가이드 레일 (63) 과 소정의 간격을 갖도록, 가이드 레일 (63) 과 평행하게 배치되어 있다. 드라이브 스크루 (62) 는, 캐리지 (66) 에 형성된 암나사부와 맞물리는 수나사부를 갖는 볼 나사 등으로 구성되고, 드라이브 스크루 (62) 가 회전하면 캐리지 (66) 가 이동한다.

또한, 드라이브 스크루 (62) 및 가이드 레일 (63) 은, 컬러 필터 제조 장치 (10) 에서 사용 가능한 최대의 컬러 필터 기판 (20) 의 화상 형성 영역의 전체 폭을 캐리지 (66) 가 이동 가능하도록, 충분한 길이를 갖는다.

구동 지지부 (64) 및 지지부 (65) 는, 드라이브 스크루 (62) 를 정역 (正逆) 회전 가능한 상태로 지지함과 함께, 가이드 레일 (63) 을 이동하지 않도록 지지하기 위한 것이다. 구동 지지부 (64) 는, 드라이브 스크루 (62) 및 가이드 레일 (63) 의 일단에 배치되어 있고, 도시하지 않은 모터 등의 구동원에 의해 드라이브 스크루 (62) 를 구동한다. 또한, 지지부 (65) 는, 드라이브 스크루 (62) 및 가이드 레일 (63) 의, 구동 지지부 (64) 와는 반대측의 단부에 배치되어 있다. 구동 지지부 (64) 및 지지부 (65) 는, 화소 형성부 (13) 의 도시하지 않은 케이스체에 지지되어 있다.

캐리지 (66) 는, 드라이브 스크루 (62) 및 가이드 레일 (63) 에 의해서 이동할 수 있도록 지지되어 있다. 구동 지지부 (64) 에 의해 드라이브 스크루 (62) 가 정역 회전되면, 캐리지 (66) 는, 가이드 레일 (63) 로 안내되면서, 주주사 방향 (X 방향) 으로 왕복 이동한다.

헤드 (50R) 는 캐리지 (66) 의 하면에 장착되며, 헤드 (50R) 는 캐리지 (66) 의 이동에 수반하여 이동된다.

또한, 헤드 이동 기구 (60) 의 기구에 관해서는 이 예에 한정되는 것은 아니고, 그 밖의 공지된 이동 기구를 사용해도 된다.

도 3 으로 되돌아가, 플래튼 (32) 에 의해 형성되는 반송로 상에서 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향에 있어서 인자부 (51) 의 하류측에는, 예비 처리부 (34), 조사 경화부 (36), 및 가열 경화부 (38) 가 형성되어 있다.

예비 처리부 (34) 는, 원적외선 히터, 니크롬선 히터 등을 포함하여 구성되어 있다. 예비 처리부 (34) 는, 컬러 필터 기판 (20) 상에 토출된 잉크 내에 함유되는 유기 용제를 건조시켜서 제거한다.

조사 경화부 (36) 는, 활성 에너지선을 발하는 조사 에너지원을 포함하여 구성된다. 조사 경화부 (36) 는, 예비 처리부 (34) 에서 유기 용제가 제거된 컬러 필터 기판 (20) 상의 잉크에 활성 에너지선을 조사하여 경화시킨다. 조사 에너지원이나 조사 시간은, 잉크의 특성에 따라서 적절히 설정하면 된다.

또한, 가열 경화부 (38) 는, 적외선 히터 등을 포함하여 구성된다. 가열 경화부 (38) 는, 조사 경화부 (36) 에서 경화된 잉크에, 추가로 가열 처리를 실시하여 열에 의한 경화 처리를 행한다. 이 가열 온도 및 가열 시간에 관해서는, 잉크의 조성이나 화소의 두께 등의 특성에 따라서 적절히 설정하면 된다. 또, 조사 경화부 (36) 를 생략하고, 예비 처리부 (34) 에 의한 예비 가열 후, 가열 경화부 (38) 만 가지고 경화시킬 수도 있다.

[인자 헤드 모듈]

다음으로, 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 를 구성하는 헤드 모듈 (52) 에 관해서 설명한다. 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 는, 복수의 헤드 모듈 (52) 을 조합함으로써 구성되어 있다. 또, 잉크색마다 형성되어 있는 각 인자 헤드 (50R, 50G, 50B) 의 구조는 공통되어 있기 때문에, 이하, 이들을 대표하여 부호 50 에 의해서 인자 헤드를 나타내는 것으로 한다.

도 5 는, 인자 헤드 (50) 를 구성하는 헤드 모듈 (52) 을, 컬러 필터 기판 (20) 과 대향하는 노즐면 (잉크 토출면) 측에서 본 도면이다.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 1 개의 헤드 모듈 (52) 은, 32 × 64 개의 노즐로 이루어지는 2 차원 노즐 배치를 가지고 있다. 노즐 (100) 의 각 열은, 잉크젯 헤드 (30) 의 이동 방향 (X 방향) 에 대하여 각도

만큼 경사를 갖는 W 방향으로 배치되어 있다. 노즐 (100) 의 각 행은, 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향 (Y 방향) 에 대하여 각도 γ 만큼 경사를 갖는 V 방향으로 배치되어 있다.

도 6 은, 도 5 에 나타낸 헤드 모듈 (52) 의 잉크의 유로를 나타내는 모식도이다.

도 6 에 나타내는 바와 같이, 지류 공급로 (공통 공급로 : 116) 는, 1 개의 지류 공급로 (116) 가 2 열의 노즐열에 잉크를 공급하도록 1 노즐열 걸러서 배치되어 있다. 각 노즐 (100) 은 각각 지류 공급로 (116) 와 연이어 통해 있다. 각 지류 공급로 (116) 는 본류 (本流) 공급로 (126) 와 연이어 통해 있다. 본류 공급로 (126) 는, 도시하지 않은 공급 탱크로부터 이송되어 온 잉크를 각 지류 공급로 (116) 에 공급한다.

또한, 지류 환류로 (공통 환류로 : 128) 는, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 2 열의 노즐열로부터 잉크가 환류되도록, 지류 공급로 (116) 와 번갈아 1 노즐열 걸러서 배치되어 있다. 각 지류 환류로 (128) 는 본류 환류로 (129) 와 연이어 통해 있다. 본류 환류로 (129) 는 각 지류 환류로 (128) 로부터의 잉크를 도시하지 않은 회수 탱크로 이송한다.

공급 탱크 및 회수 탱크의 각각의 내부를 대기 개방한 상태에서, 공급 탱크와 회수 탱크의 위치의 고저차를 조정함으로써, 잉크 유량을 제어할 수 있다. 또, 각 탱크 내의 압력을 조정하여 잉크 유량을 제어해도 된다. 또한, 도시하지 않은 송액 수단을 사용하여, 회수 탱크로부터 공급 탱크로 잉크를 이송함으로써, 잉크를 순환시켜도 된다.

도 7 은, 도 6 에 나타내는 노즐 (100), 지류 공급로 (116), 및 지류 환류로 (128) 의 Y 방향에서의 단면도이다.

각 노즐 (100) 에 대응하여 형성되어 있는 압력실 (112) 은, 그 평면 형상이 개략적으로 정방형으로 되어 있고, 대각선 상의 양 모서리부에 공급 스로틀 (114) 과 노즐 연통로 (124) 가 형성되어 있다. 도 7 에 나타내는 바와 같이, 각 압력실 (112) 은 공급 스로틀 (114) 을 통해 지류 공급로 (116) 와 연이어 통해 있다. 또, 각 압력실 (112) 은 노즐 연통로 (124) 를 통해 노즐 (100) 과 연이어 통해 있다.

또, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 지류 공급로 (116) 는, 1 개의 지류 공급로 (116) 가 2 열의 노즐열에 잉크를 공급하도록 배치되어 있고, 1 개의 지류 공급로 (116) 에는, 그 양측의 노즐열을 구성하는 노즐의 압력실에 연이어 통하는 다수의 공급 스로틀 (114) 이 연이어 통해 있다.

가압판 (118) 이 압력실 (112) 의 천장면을 구성하고 있다. 개별 전극 (120) 을 구비한 액츄에이터 (122) 가 가압판 (118) 에 접합되어 있다. 개별 전극 (120) 에 구동 전압을 인가하면, 액츄에이터 (압전 액츄에이터 : 122) 가 변형되어, 잉크가 노즐 연통로 (124) 를 통과하여 노즐 (100) 로부터 토출된다. 잉크가 토출되면, 지류 공급로 (116) 로부터 공급 스로틀 (114) 을 통과하여 새로운 잉크가 압력실 (112) 에 공급된다.

또한, 각 노즐 (100) 의 지류 공급로 (116) 의 반대측에는 지류 환류로 (128) 가 형성되어 있고, 각 노즐 (100) 과 지류 환류로 (128) 는 환류 스로틀 (127) 을 통해 연이어 통해 있다. 또, 도 6 에 나타낸 바와 같이, 지류 환류로 (128) 는, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 2 열의 노즐열로부터 잉크가 환류되도록 배치되어 있고, 1 개의 지류 환류로 (128) 에는 그 양측의 노즐열을 구성하는 노즐에 연이어 통하는 다수의 환류 스로틀 (127) 이 연이어 통해 있다.

이와 같이, 각 노즐 (100) 에서의 잉크 토출의 유무에 상관없이, 지류 공급로 (116) 로부터 지류 환류로 (128) 로 잉크를 항상 환류시킴으로써, 노즐 (100) 에서의 막힘을 방지하고 있다.

다음으로, 각 노즐 (100) 의 배열 패턴에 관해서 설명한다.

도 8 은, 헤드 모듈 (52) 의 노즐 배치의 상세도이다. 도 8 에서는, 131 ∼ 161 의 4 열의 노즐열이 도시되어 있는데, 실제로는 이 4 열과 동일한 반복 배열 패턴으로 합계 64 열이 1 개의 헤드 모듈 (52) 에 배치되고, 각 노즐열에는 32 개의 노즐이 형성되어 있다.

도 8 에 있어서, X 방향이 인자 헤드 (50) 의 이동 방향 (주주사 방향) 이고, Y 방향이 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향 (부주사 방향) 이다. 도 8 에 나타내는 각 노즐은, 각각의 노즐열의 각 노즐을 Y 방향에 투영시켰을 때에, 1 개의 노즐열의 투영 노즐 사이에 다른 노즐열의 투영 노즐이 배치되도록, 각 노즐이 배치되어 있다.

즉, 1 개의 주사 라인 (170) 상에 잉크를 타적 (打滴) 하는 경우, 부주사 방향으로 인접하는 도트 (181, 182, 183 및 184) 는, 각각 노즐열 (131) 의 노즐 (132), 노즐열 (141) 의 노즐 (142), 노즐열 (161) 의 노즐 (162), 및 노즐열 (151) 의 노즐 (152) 로부터 토출된 잉크 방울에 의해 만들어진다. 그리고, 도트 (184) 에 인접하는 도트 (185) 는, 노즐열 (131) 의 노즐 (133) 로부터 토출된 잉크 방울에 의해 만들어지고, 이하, 동일한 노즐열 패턴으로 토출된 잉크 방울에 의해 도트가 만들어진다. 이와 같이, 노즐열 (131, 141, 151, 161) 의 순으로 4 열의 노즐열을 소정 패턴으로 돌아가며 사용함으로써, 부주사 방향의 인접 도트를 만드는 잉크 방울을 타적한다.

따라서, 부주사 방향에 관해서는, 각 노즐 (100) 이 일정한 피치 D 로 직선상으로 배열된 것과 등가적으로 취급할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 고밀도의 노즐 구성을 실현하는 것이 가능해진다.

본 실시형태에서는, 복수의 헤드 모듈 (52) 을 조합하여 인자 헤드 (50) 를 구성하고 있는데, 1 개의 헤드 모듈 (52) 을 인자 헤드 (50) 로서 사용해도 된다.

또한, 인자 헤드 (50) 는, 컬러 필터 기판 (20) 의 전역을 커버하는 풀라인형 헤드를 구성해도 된다. 이와 같이 구성함으로써, 인자 헤드 (50) 가 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향과 직교하는 방향으로 왕복 동작하는 경우와 비교하여, 고속으로 인자하는 것이 가능해져, 생산성을 향상시킬 수 있다. 또, 이 경우에는, 도 5 에 나타내는 Y 방향에 있어서 인자 헤드 (50) 가 컬러 필터 기판 (20) 의 전역을 커버하여, 도 5 에 나타내는 X 방향이 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향이다.

[화소 형성부의 제어]

도 9 는 화소 형성부 (13) 의 시스템 구성을 나타내는 요부 블록도이다. 도 9 에 나타내는 바와 같이, 화소 형성부 (13) 는, 통신 인터페이스 (204), 시스템 컨트롤러 (206), 프린트 제어부 (208), 화상 메모리 (210), 화상 버퍼 메모리 (212), 예비 처리부 (34), 조사 경화부 (36), 가열 경화부 (38), 헤드 드라이버 (184) 등을 구비하고 있다.

통신 인터페이스 (204) 에는 USB, IEEE1394, 이더넷, 무선 네트워크 등의 시리얼 인터페이스나 센트로닉스 등의 패러렐 인터페이스를 적용할 수 있다.

시스템 컨트롤러 (206) 는, CPU (연산부) 와 화상 처리용 IC (DSP), 메모리 컨트롤러로 구성해도 되고, 이러한 기능들을 원칩화한 IC (프로세서) 로 구성해도 된다.

호스트 컴퓨터 (202) 로부터 송출된 컬러 필터 데이터는 통신 인터페이스 (204) 를 통하여 화소 형성부 (13) 에 입력되고, 화상 메모리 (210) 에 일단 기억된다. 입력된 컬러 필터 데이터는 전개되어, 플래튼 (32) 의 도시하지 않은 반송 기구를 제어하는 반송계 제어 신호가 생성된다. 반송계 제어 신호는 시스템 컨트롤러 (206) 로부터 도시하지 않은 반송 기구 및 예비 처리 제어부 (214), 조사 제어부 (216), 가열 제어부 (218) 에 주어진다. 또, 화상 메모리 (210) 에는 RAM 이 적용되는데, 반도체 소자뿐만 아니라 하드 디스크 등의 자기 매체를 사용해도 된다.

프린트 제어부 (208) 는, 화상 메모리 (210) 로부터 이송된 컬러 필터 데이터에 대하여 각종 화상 처리나 보정 처리를 실시하여, 헤드 드라이버 (220) 로 출력한다. 프린트 제어부 (208) 에는, 컬러 필터 데이터를 처리할 때에 데이터나 파라미터 등을 일시적으로 저장하기 위한 화상 버퍼 메모리 (212) 가 구비되어 있다. 또, 화상 버퍼 메모리 (212) 는, 화상 메모리 (210) 와 겸용할 수도 있다. 또한, 프린트 제어부 (208) 에 사용되는 프로세서에 내장되어 있는 메모리를 화상 버퍼 메모리 (212) 로서 사용해도 된다.

헤드 드라이버 (220) 는, 프린트 제어부 (208) 로부터 이송된 컬러 필터 데이터에 기초하여, 각 색 헤드의 액츄에이터 (122) 를 구동한다. 헤드 드라이버 (220) 에는, 헤드의 구동 조건을 일정하게 유지하기 위한 피드백 제어계를 포함하고 있어도 된다.

예비 처리 제어부 (214) 는, 시스템 컨트롤러 (206) 의 지령에 따라서, 예비 처리부 (34) 에 있어서의 처리 온도, 처리 시간 등을 제어한다. 마찬가지로, 조사 제어부 (216) 및 가열 제어부 (218) 는, 조사 경화부 (36) 및 가열 경화부 (38) 를 제어한다.

[컬러 필터의 제조 공정]

도 10 은, 컬러 필터의 제조 공정을 나타내는 플로우차트이다.

먼저, 격벽 형성부 (11) 에 의해, 컬러 필터 기판 (20) 상에 격벽 (22) 을 형성한다 (단계 S102). 다음으로, 발액 처리부 (12) 에 의해, 격벽 (22) 에 발잉크 처리를 실시한다 (단계 S104).

다음으로 실시하는 단계 S106 의 화소 형성 공정은, 묘화 공정 (단계 S110), 예비 처리 공정 (단계 S112), 및 경화 공정 (단계 S114) 으로 구성된다.

먼저, 묘화 공정에 있어서, 화소 형성부 (13) 의 각 색의 인자 헤드 (50) 에 의해, 컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소 에어리어 (24) 에 빨강 (R), 초록 (G), 파랑 (B) 의 각 색 잉크를 잉크젯 방식으로 토출하여 부여한다.

다음으로, 예비 처리 공정에 있어서, 화소 형성부 (13) 의 예비 처리부 (34) 에 의해, 각 화소 에어리어 (24) 내에 토출된 잉크에 함유되는 유기 용제를 건조시켜 제거한다. 그리고, 경화 공정에 있어서, 조사 경화부 (36) 및 가열 경화부 (38) 에 의해 각 화소 에어리어 (24) 내의 잉크를 경화시킨다.

마지막으로, 보호막 형성부 (14) 에 의해, 잉크가 부여된 각 화소 에어리어 (24) 상에 투명 보호막을 형성한다 (단계 S108).

이상과 같이, 컬러 필터를 제조한다. 전술한 바와 같이, 잉크젯 헤드에 의한 잉크 토출은, 노즐 사이에서 잉크의 토출량에 편차가 생기기 때문에, 그것에 의해서 제조된 컬러 필터의 각 화소의 잉크량에 편차가 생긴다는 문제점이 있다. 본 실시형태에서는, 각 화소의 잉크량의 편차를 평균화하도록 적절히 노즐을 배치하고, 적절히 타적을 제어함으로써, 이 문제점을 해소한다.

[노즐과 화소의 대응 관계]

인자 헤드 (50) 에 매트릭스상으로 배치된 노즐 (100) 과, 각 화소 에어리어 (24) 의 대응 관계에 대해서 설명한다.

도 11 은, 인자 헤드 (50) 의 각 노즐 및 지류 공급로와, 컬러 필터 기판 (20) 의 잉크가 부여되는 각 화소 에어리어 (24) 의 대응 관계를 나타내는 도면이다. 여기서는, 녹색 (G) 의 헤드를 예로 들어 설명한다.

도 11 에 나타내는 바와 같이, 지류 공급로 (116a) 에는, 그 양편에 노즐 (a1 ∼ a12) 및 노즐 (a13 ∼ a24) 이 연이어 통하도록 구성되어 있다. 또한, 노즐 (a1 ∼ a12) 및 노즐 (a13 ∼ a24) 은, 각각 지류 공급로 (116a) 의 양측에서 노즐열을 구성하고 있다.

마찬가지로, 지류 공급로 (116b) 에는 노즐 (b1 ∼ b24) 이 연이어 통하고, 지류 공급로 (116c) 에는 노즐 (c1 ∼ c24) 이 연이어 통하고, 지류 공급로 (116d) 에는 노즐 (d1 ∼ d24) 이 연이어 통하도록 구성되어 있으며, 이들은 각 지류 공급로 (116) 의 양측에서 노즐열을 구성하고 있다.

또한, 화소 에어리어 (24-1) 에 잉크를 부여하는 노즐은, 도시하지 않은 반송 기구에 의해 화소 에어리어 (24-1) 상을 통과하는 노즐로, 지류 공급로 (116a) 와 연이어 통하는 노즐 (a13 ∼ a14), 지류 공급로 (116b) 와 연이어 통하는 노즐 (b1 ∼ b5 및 b15 ∼ b20), 지류 공급로 (116c) 와 연이어 통하는 노즐 (c6 ∼ c11 및 c21 ∼ c24), 및 지류 공급로 (116d) 와 연이어 통하는 노즐 (d11 ∼ d12) 이다.

동일하게, 화소 에어리어 (24-2) 에 잉크를 부여하는 노즐은, 지류 공급로 (116b) 와 연이어 통하는 노즐 (b13), 지류 공급로 (116c) 와 연이어 통하는 노즐 (c1 ∼ c4 및 c13 ∼ c19), 지류 공급로 (116d) 와 연이어 통하는 노즐 (d5 ∼ d9 및 d20 ∼ d24), 및 지류 공급로 (116e) 와 연이어 통하는 노즐 (e10 ∼ e12) 이다.

그리고, 화소 에어리어 (24-1) 의 양단에 대응하는 노즐 (b6 및 c20) 과 화소 에어리어 (24-2) 의 양단에 대응하는 노즐 (c19 및 d4) 은, 노즐의 착탄 (着彈) 정밀도를 고려하여 사용 대상 노즐로부터 배제하고 있지만, 사용 대상 노즐로 해도 상관없다.

여기서, 각 노즐열 a1 ∼ a12 및 a13 ∼ a24 (노즐열 A2 라고 한다), b1 ∼ b12 (노즐열 B1 이라고 한다), b13 ∼ b24 (노즐열 B2 라고 한다), c1 ∼ c12 (노즐열 C1 이라고 한다), c13 ∼ c24, d1 ∼ d12, d13 ∼ d24, e1 ∼ e12, … 은, 도 8 에서 설명한 바와 같이, 각각 4 열의 노즐열을 소정의 패턴으로 돌아가며 사용함으로써, 주주사 방향의 인접 도트를 형성하는 잉크 방울을 타적하도록 구성되어 있다.

예를 들어, 화소 에어리어 (24-1) 에 잉크를 부여하는 노즐의 Y 방향의 타적 순서는, c11 → b20 → a14 → b5 → c10 → … → d12 → c21 → b15 → c6 → d11 의 순서가 된다.

따라서, 화소 에어리어 (24-1) 는, 25 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한, 이들 노즐은 4 개의 지류 공급로 (116a ∼ 116d) 로부터 잉크가 공급된다. 그리고, 노즐 (a13 및 a14) 은 지류 공급로 (116a) 로부터, 노즐 (b1 ∼ b5) 및 노즐 (b15 ∼ b20) 은 지류 공급로 (116b) 로부터, 노즐 (c6 ∼ c11) 은 지류 공급로 (116c) 로부터, 노즐 (d11 ∼ d12) 는 지류 공급로 (116d) 로부터 잉크가 공급된다.

마찬가지로, 화소 에어리어 (24-2) 도 25 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한, 이들 노즐은 4 개의 지류 공급로 (116b ∼ 116e) 로부터 잉크가 공급된다. 그리고, 노즐 (c1 ∼ c3) 및 노즐 (c13 ∼ c18) 은 지류 공급로 (116c) 로부터, 노즐 (d5 ∼ d9) 및 노즐 (d19 ∼ d24) 은 지류 공급로 (116d) 로부터, 노즐 (e10 ∼ e12) 은 지류 공급로 (116e) 로부터 잉크가 공급된다. 즉, 잉크를 공급하는 복수의 노즐 중 적어도 2 개가 동일한 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급된다.

즉, 각 화소 에어리어 (24) 는, 복수의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 그들 복수의 노즐은 복수의 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급된다. 그리고, 이들 복수의 노즐 중 적어도 2 개가 동일한 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급된다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐을 사용하여 잉크를 부여함으로써, 노즐 (100), 노즐 연통로 (124), 압력실 (112), 공급 스로틀 (114) 및 액츄에이터 (122) 의 편차에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다. 또한, 복수의 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐을 사용하여 1 개의 화소에 대해 잉크를 부여함으로써, 지류 공급로 (116) 에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다. 그리고, 1 개의 지류 공급로 (116) 의 상이한 장소에 연이어 통하는 복수의 노즐을 사용하여 1 개의 화소에 대해 잉크를 부여함으로써, 지류 공급로 (116) 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량의 편차를 평균화할 수 있다.

따라서, 토출 밀도나 토출량의 보정을 실시하는 것이 불필요해지거나, 또는 토출 밀도나 토출량의 보정에 필요한 보정량을 적게 하여 보정을 용이하게 할 수 있게 된다.

다음으로, 각 노즐이 연이어 통해 있는 지류 환류로에 관해서 설명한다.

도 11 에는 도시하지 않았지만, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 각 노즐의 지류 공급로 (116) 의 반대측에는 지류 환류로 (128) 가 형성되어 있고, 각 노즐과 지류 환류로 (128) 는 환류 스로틀 (127) 을 통해 연이어 통해 있다.

즉, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 지류 환류로 (128b) 에는 노즐 (a13 ∼ a24) 및 노즐 (b1 ∼ b12) 이 연이어 통하도록 구성되어 있다. 또한, 노즐 (a13 ∼ a24) 및 노즐 (b1 ∼ b12) 은, 각각 지류 환류로 (128b) 의 양측에서 노즐열을 구성하고 있다.

마찬가지로, 지류 환류로 (128c) 에는 노즐 (b13 ∼ b24 및 c1 ∼ c12) 이 연이어 통하고, 지류 환류로 (128d) 에는 노즐 (c13 ∼ c24 및 d1 ∼ d12) 이 연이어 통하고, 지류 환류로 (128e) 에는 노즐 (d13 ∼ d24 및 e1 ∼ e12) 이 연이어 통하도록 구성되어 있고, 이들은 각 지류 환류로 (128) 의 양측에서 노즐열을 구성하고 있다.

여기서, 화소 에어리어 (24-1) 에 잉크를 부여하는 노즐 중, 노즐 (a13 ∼ a14) 및 노즐 (b1 ∼ b5) 은 지류 환류로 (128b) 와 연이어 통하고, 노즐 (b15 ∼ b20) 및 노즐 (c6 ∼ c11) 은 지류 환류로 (128c) 와 연이어 통하고, 노즐 (c21 ∼ c24) 및 노즐 (d11 ∼ d12) 은 지류 환류로 (128d) 와 연이어 통해 있다.

동일하게, 화소 에어리어 (24-2) 에 잉크를 부여하는 노즐 중, 노즐 (b13) 및 노즐 (c1 ∼ c4) 은 지류 환류로 (128c) 와 연이어 통하고, 노즐 (c13 ∼ c18) 및 노즐 (d4 ∼ d9) 은 지류 환류로 (128d) 와 연이어 통하고, 노즐 (d19 ∼ d24) 및 노즐 (e10 ∼ e12) 은 지류 환류로 (128e) 와 연이어 통해 있다.

즉, 각 화소 에어리어 (24) 는, 복수의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 그들 복수의 노즐은 복수의 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류한다. 그리고, 그들 복수의 노즐 중 적어도 2 개가 동일한 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류한다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐을 사용하여 잉크를 부여함으로써, 환류 스로틀 (127) 의 편차에 의존한 토출량 편차도 평균화할 수 있다. 또한, 복수의 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류하는 복수의 노즐을 사용하여 1 개의 화소에 대해 잉크를 부여함으로써, 지류 환류로 (128) 에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다. 그리고, 1 개의 지류 환류로 (128) 의 상이한 장소에 연이어 통하는 복수의 노즐을 사용하여 1 개의 화소에 대해 잉크를 부여함으로써, 지류 환류로 (128) 내의 노즐 위치에 의존한 각 노즐의 토출량 편차를 평균화할 수 있다.

또, 본 발명을 실시할 때에 있어서, 노즐 및 지류 공급로의 배치 구조는 도시된 예에 한정되지는 않는다. 각 화소에 복수의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 그들 복수의 노즐에는 복수의 지류 공급로로부터 잉크가 공급되며, 또한 그들 복수의 노즐 중 적어도 2 개에는 동일 지류 공급로로부터 잉크가 공급되는 구조이면 된다. 지류 환류로의 배치 구조에 대해서도 동일하다.

[제 2 실시형태]

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관해서 설명한다. 또, 이하의 설명에 있어서, 상기 제 1 실시형태와 동일한 구성에 관해서는 설명을 생략한다.

도 13 은, 제 2 실시형태의 헤드 모듈 (52) 의 노즐과 잉크의 유로를 나타내는 모식도이고, 제 1 실시형태에 있어서의 도 6 과 대응하고 있다. 도 13 에서는, 일례로서 1 노즐열 당 6 개의 노즐을 구비한 경우에 관해서 나타내고 있는데, 1 노즐열 당 노즐의 수는 6 개로 한정되는 것은 아니다.

제 1 실시형태의 헤드 모듈 (52) 과 동일하게, 지류 공급로 (116) 가, 1 개의 지류 공급로 (116) 가 2 열의 노즐열에 잉크를 공급하도록 1 노즐열 걸러 배치되어 있다. 1 개의 지류 공급로 (116) 에는, 그 양측의 노즐열을 구성하는 노즐의 압력실에 연이어 통하는 다수의 공급 스로틀 (114) 이 연이어 통해 있다. 각 지류 공급로 (116) 는 본류 공급로 (126) 와 연이어 통해 있다. 본류 공급로 (126) 는, 도시하지 않은 공급 탱크로부터 이송된 잉크를 각 지류 공급로 (116) 에 공급한다.

또한, 지류 환류로 (128) 가, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 2 열의 노즐열로부터 잉크가 환류되도록, 지류 공급로 (116) 와 번갈아 1 노즐열 걸러 배치되어 있다. 각 지류 환류로 (128) 는 본류 환류로 (129) 와 연이어 통해 있다. 본류 환류로 (129) 는 각 지류 환류로 (128) 로부터의 잉크를 도시하지 않은 회수 탱크로 이송한다.

또, 도 13 에 나타내는 노즐 (100), 지류 공급로 (116), 및 지류 환류로 (128) 의 Y 방향에서의 단면도는, 도 7 에 나타내는 단면도와 동일하게 되어 있다.

다음으로, 각 노즐 (100) 의 배열 패턴에 관해서 설명한다. 도 14 는, 헤드 모듈 (52) 의 노즐 배치의 상세도이다.

도 14 에 있어서, X 방향이 인자 헤드 (50) 의 이동 방향 (주주사 방향) 이고, Y 방향이 컬러 필터 기판 (20) 의 반송 방향 (부주사 방향) 이다. 각 노즐 (100) 은, Y 방향에 대하여 각도 θ 의 방향을 따른 노즐열을 구성하여, 격자상으로 다수 배열되어 있다.

각 노즐은, Y 방향에 각 노즐을 투영시켰을 때에 각 노즐열의 인접 노즐이 인접 투영 노즐이 되고, 또한 각 열의 단에 있는 노즐의 투영 노즐이 인접 노즐열의 반대단 노즐의 투영 노즐과 인접하도록 배치되어 있다.

즉, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 노즐 (301, 302, 303, 304, 305, 306) 에 의해, 부주사 방향으로 서로 인접하는 도트를 형성하는 잉크 방울을 타적하고, 계속하여 노즐 (311, 312, 313, 314, 315, 316) 에 의해 부주사 방향으로 서로 인접하는 도트를 형성하는 잉크 방울을 타적한다. 그리고 노즐 (316) 에 의해 타적된 잉크 방울이 형성하는 도트에 인접하는 도트는, 노즐 (321) 에 의해 타적된 잉크 방울이 형성한다.

또한, 도 14 에는 도시되어 있지 않지만, 노즐열 (301 ∼ 306 및 311 ∼ 316) 이 동일한 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급되고, 마찬가지로, 노즐열 (321 ∼ 326 및 331 ∼ 336) 이 동일한 지류 공급로 (116) 로부터 잉크가 공급된다.

또한, 노즐열 (301 ∼ 306) 은 동일한 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류하고, 마찬가지로, 노즐열 (311 ∼ 316) 및 노즐열 (321 ∼ 326) 은 동일한 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류하며, 노즐열 (331 ∼ 336) 은 동일한 지류 환류로 (128) 로 잉크를 환류한다.

여기서, 제 2 실시형태에 있어서의 인자 헤드 (50) 에 매트릭스상으로 배치된 노즐 (100) 과, 각 화소 에어리어 (24) 의 대응 관계에 관해서 설명한다.

도 15 는, 인자 헤드 (50) 의 노즐 (100) 및 지류 공급로 (116) 와, 잉크가 부여되는 화소 에어리어 (24) 의 대응 관계를 나타내는 도면으로, 1 개의 지류 공급로에 20 개의 노즐이 연이어 통해 있는 경우를 예로 도시하고 있다. 여기서는, 녹색 (G) 의 헤드를 예로 들어 설명한다.

또, 도 15 에 있어서, 각 노즐에 부여된 부호의 알파벳 부분은, 연이어 통해 있는 지류 공급로를 나타내고, 각 노즐에 부여된 부호의 숫자 부분은 지류 공급로 내에서의 위치를 나타내고 있다. 예를 들어, 노즐 a1 과 노즐 b1 은, 상이한 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐로서, 또한 각각의 지류 공급로 (116) 내에서의 동일한 위치의 노즐이다.

여기서, 화소 에어리어 (24-3) 에 잉크를 부여할 수 있는 노즐은, 도 15 의 해칭부에 나타내는 바와 같이, 노즐 (b1 ∼ b2), 노즐 (b11 ∼ b20), 노즐 (c1 ∼ c10), 및 노즐 (c18 ∼ c20) 의 합계 25 개이다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-4) 에 잉크를 부여할 수 있는 노즐은, 노즐 (c11 ∼ c12), 노즐 (d1 ∼ d20), 및 노즐 (e8 ∼ e10) 의 합계 25 개이다.

이와 같이, 1 개의 지류 공급로 (116) 와 연이어 통해 있는 20 개의 노즐보다 많은 노즐에서 1 개의 화소에 잉크를 부여하는 것이 가능하도록 구성되어 있다.

그리고, 화소 에어리어 (24-3) 의 양단에 대응하는 노즐 (b3 및 c17) 과 화소 에어리어 (24-4) 의 양단에 대응하는 노즐 (c13 및 e7) 은, 노즐의 착탄 정밀도를 고려하여 사용 대상 노즐로부터 배제하고 있지만, 사용 대상 노즐로 해도 상관없다.

여기서, 실제로 각 화소에 잉크를 부여하는 노즐의 개수를, 1 개의 지류 공급로 (116) 와 연이어 통하는 노즐의 개수와 동일한 수로 한다. 예를 들어, 도 16 의 해칭부에 나타내는 바와 같이, 화소 에어리어 (24-3) 에 잉크를 부여하는 노즐을 노즐 (b11 ∼ b20 및 c1 ∼ c10) 의 20 개로 한다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-4) 에 잉크를 부여하는 노즐을 노즐 (d1 ∼ d20) 의 20 개로 한다.

따라서, 어떤 화소에 대해서도 20 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 위치 1 ∼ 20 의 노즐이 1 개씩 사용되어 잉크가 부여된다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐을 사용하여 잉크를 부여함으로써, 노즐 (100), 노즐 연통로 (124), 압력실 (112), 공급 스로틀 (114) 및 액츄에이터 (122) 의 편차에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다. 또한, 1 개의 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수의 노즐로부터 1 개의 화소에 대하여 잉크를 공급함으로써, 지류 공급로 (116) 의 위치에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다.

그리고, 1 개의 화소에 잉크를 부여할 수 있는 노즐의 개수를, 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수 이상이 되도록 구성해 둠으로써, 컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소 에어리어 (24) 의 사이즈에 변경이 있는 경우라도, 인자 헤드 (50) 를 변경하지 않고, 타적 제어를 변경하는 것만으로 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수의 노즐에서 각 화소에 잉크를 부여하는 것이 가능해진다.

다음으로, 각 노즐이 연이어 통해 있는 지류 환류로에 관해서 설명한다.

도 17 은, 도 16 에 있어서의 각 지류 공급로 (116) 를 생략하고, 각 지류 환류로 (128) 를 나타낸 도면이다. 도 17 에 나타내는 바와 같이, 지류 환류로 (128a) 에는 노즐 (a1 ∼ a10) 이 연이어 통하도록 구성되어 있다. 마찬가지로, 지류 환류로 (128b) 에는 노즐 (a11 ∼ a20 및 b1 ∼ b10) 이 연이어 통하고, 지류 환류로 (128c) 에는 노즐 (b11 ∼ b20 및 c1 ∼ c10) 이 연이어 통하고, 지류 환류로 (128d) 에는 노즐 (c11 ∼ c20 및 d1 ∼ d10) 이 연이어 통하며, 지류 환류로 (128e) 에는 노즐 (d11 ∼ d20 및 e1 ∼ e10) 이 연이어 통하고, 지류 환류로 (128f) 에는 노즐 (f1 ∼ f10) 이 연이어 통하도록 구성되어 있다.

또한, 각 노즐에 부여된 부호의 숫자 부분은, 지류 환류로 내에서의 위치를 나타낸다. 예를 들어, 노즐 b1 과 c1 은, 각각 연이어 통한 지류 환류로 (128) 내에서의 동일한 위치의 노즐이다.

여기서, 화소 에어리어 (24-3) 에 잉크를 부여하는 노즐 중, 노즐 (b11 ∼ b20) 및 노즐 (c1 ∼ c10) 은 지류 환류로 (128c) 와 연이어 통해 있다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-4) 에 잉크를 부여하는 노즐 중, 노즐 (d1 ∼ d10) 은 지류 환류로 (128d) 와 연이어 통하고, 노즐 (d11 ∼ d20) 은 지류 환류로 (128e) 와 연이어 통해 있다.

따라서, 어떤 화소에 대해서도 20 개의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 지류 환류로 (128) 내의 위치에 관해서 모든 위치의 노즐이 1 개씩 사용되어 잉크가 부여된다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐을 사용하여 잉크를 부여함으로써, 환류 스로틀 (127) 의 편차에 의존한 토출량 편차도 평균화할 수 있다. 또한, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수의 노즐을 사용하여 1 개의 화소에 대하여 잉크를 부여함으로써, 지류 환류로 (128) 의 위치에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다.

또, 본 발명을 실시할 때에 있어서, 노즐 및 지류 공급로의 배치 구조는 도시된 예에 한정되지는 않는다. 각 화소에 복수의 노즐로부터 잉크가 부여되고, 또한 각 화소에 지류 공급로에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수의 노즐로부터 잉크가 부여되는 구조이면 된다. 지류 환류로의 배치 구조에 대해서도 동일하다.

[제 2 실시형태의 변형예]

제 2 실시형태에서는, 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐의 개수와 동일한 개수의 노즐로부터 1 개의 화소 에어리어 (24) 에 잉크를 부여하였다. 제 2 실시형태의 변형예로서, 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐 개수의 배수 (정수배) 의 개수의 노즐로부터 1 개의 화소 에어리어 (24) 에 잉크를 부여해도 된다.

도 18 은, 제 2 실시형태와 동일하게, 인자 헤드 (50) 의 노즐 (100) 및 지류 공급로 (116) 와, 잉크가 부여되는 화소 에어리어 (24) 의 대응 관계를 나타내는 도면으로, 1 개의 지류 공급로에 20 개의 노즐이 연이어 통해 있는 경우를 예로 도시하고 있다.

도 18 에 나타내는 바와 같이, 화소 에어리어 (24-5) 에 잉크를 부여할 수 있는 노즐은, 노즐 (g11 ∼ g12), 노즐 (a1 ∼ a20), 노즐 (b1 ∼ b20), 노즐 (c1 ∼ c10), 및 노즐 (c18 ∼ c20) 의 합계 55 개이다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-6) 에 잉크를 부여할 수 있는 노즐은, 노즐 (c11 ∼ c12), 노즐 (d1 ∼ d20), 노즐 (e1 ∼ e20), 노즐 (f1 ∼ f10), 및 노즐 (f18 ∼ f20) 의 합계 55 개다.

여기서, 실제로 각 화소에 잉크를 부여하는 노즐의 개수를, 1 개의 지류 공급로 (116) 와 연이어 통해 있는 노즐의 개수 (여기서는 20 개) 의 배수 (여기서는 2 배) 로 한다. 예를 들어, 도 18 의 해칭부에 나타내는 바와 같이, 화소 에어리어 (24-5) 에 잉크를 부여하는 노즐을, 노즐 (a1 ∼ a5), 노즐 (a11 ∼ a20), 노즐 (b1 ∼ b20), 및 노즐 (c6 ∼ c10) 의 합계 40 개로 한다. 마찬가지로, 화소 에어리어 (24-6) 에 잉크를 부여하는 노즐을 노즐 (d1 ∼ d5), 노즐 (d11 ∼ d20), 노즐 (e1 ∼ e20), 및 노즐 (f6 ∼ f10) 의 합계 40 개로 한다.

따라서, 어떤 화소에 대해서도 위치 1 ∼ 20 의 노즐을 2 개씩 사용하게 된다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 부여함으로써, 노즐 (100), 노즐 연통로 (124), 압력실 (112), 공급 스로틀 (114) 및 액츄에이터 (122) 의 편차에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다. 또한, 1 개의 지류 공급로 (116) 에 연이어 통한 노즐 개수의 배수 개수의 노즐로부터 1 개의 화소에 대해 잉크를 공급함으로써, 지류 공급로 (116) 의 위치에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다.

또, 지금까지 설명한 실시형태와 동일하게, 지류 환류로 (128) 가, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 2 열의 노즐열로부터 잉크가 환류되도록, 지류 공급로 (116) 와 번갈아 1 노즐열 걸러 배치되어 있다. 제 2 실시형태에서 설명한 것과 동일하게, 도 18 에 나타내는 각 노즐에 부여된 부호의 숫자 부분은, 지류 환류로 내에서의 위치를 나타낸다.

따라서, 도 18 의 해칭부에 나타내는 노즐을 고려하면, 어떤 화소에 대해서도, 지류 환류로 (128) 내의 위치 1 ∼ 20 의 노즐을 2 개씩 사용하여 잉크가 부여되게 된다.

이와 같이, 1 개의 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 부여함으로써, 환류 스로틀 (127) 의 편차에 의존한 토출량 편차도 평균화할 수 있다. 또한, 1 개의 지류 환류로 (128) 에 연이어 통한 노즐 개수의 배수 개수의 노즐로부터 1 개의 화소에 대하여 잉크를 부여함으로써, 지류 환류로 (128) 의 위치에 의존한 토출량 편차를 평균화할 수 있다.

[제 3 실시형태]

도 19(a) 는, 컬러 필터 기판 (20) 에 형성된 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 하나의 열에 대해서 나타낸 도면이다. 도 19(a) 에 나타내는 바와 같이, 격벽 (22) 의 X 방향 (가로 방향) 의 폭은 P₁ 이고, 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭은 P₂ 이다. 여기서, 화소 피치 P = P₁ ＋ P₂ 로 한다.

컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소 에어리어 (24) 에는, X 방향을 빨강 (R), 초록 (G), 파랑 (B) 의 영역이 주기적인 규칙으로 번갈아 반복되어 배열되도록 각 색 잉크가 부여된다.

또한, 도 19(b) 는, 인자 헤드 (50) 의 1 개의 지류 공급로 (116) 와, 그 지류 공급로 (116) 에 연이어 통해 있는 복수의 노즐 (100) 을 나타낸 도면이다. 도 19(b) 에 나타내는 바와 같이, 각 노즐 (100) 은, X 방향 (주주사 방향) 으로 서로 거리 P 만큼 떨어져 등간격으로 배치되어 있다. 도 19(b) 에서는 생략되어 있지만, 각각의 노즐 (100) 에는 제 1 실시형태와 동일하게 지류 환류로 (128) 가 연이어 통해 있고, 도 19(b) 에 나타내는 각 노즐은 모두 동일한 지류 환류로 (128) 에 연이어 통해 있다.

이와 같이 구성된 인자 헤드 (50) 를 사용하여 컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소에 잉크를 부여하는 경우에 관해서 설명한다. 여기서는 인자 헤드 (50) 가 적색 잉크의 헤드인 경우를 예로 들어 설명한다.

도 20 에 나타내는 바와 같이, 1 개의 지류 공급로 (116) 에 연이어 통해 있는 각 노즐을 노즐 (h1 ∼ h10) 으로 한다. 이들 노즐을 사용하여 도 19(a) 에 나타내는 컬러 필터 기판 (20) 에 잉크를 부여하는 경우, 각 노즐 사이의 X 방향의 거리와 컬러 필터 기판 (20) 의 각 화소의 피치가 동일하므로, 도 20(a) 에 나타내는 위치 관계에서는, R 화소에 대하여 노즐 (h1, h4, h7, h10) 로부터 잉크를 토출한다. 이 때, 노즐 (h2, h3, h5, h6, h8, h9) 에 있어서는 잉크의 토출을 실시하지 않는다.

그 후, 인자 헤드 (50) 가 X 방향으로 반송되어, 도 20(b) 에 나타내는 위치 관계가 되면, 이번에는 R 화소에 대하여 노즐 (h2, h5, h8) 로부터 잉크를 토출한다. 이 때, 노즐 (h1, h3, h4, h6, h7, h9, h10) 에 있어서는 잉크의 토출을 실시하지 않는다.

그 후, 인자 헤드 (50) 가 X 방향으로 좀더 반송되어, 도 20(c) 에 나타내는 위치 관계가 되면, 이번에는 R 화소에 대하여 노즐 (h3, h6, h9) 로부터 잉크를 토출한다. 이 때, 노즐 (h1, h2, h4, h5, h7, h8, h10) 에 있어서는 잉크의 토출을 실시하지 않는다.

이와 같이, 각 노즐 사이의 X 방향의 거리와 각 화소의 피치를 동일 간격으로 함으로써, 동일 지류 공급로에 따른 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없어진다. 따라서, 인접 노즐을 동시에 사용하는 것으로 인한 크로스토크를 없앨 수 있기 때문에, 각 노즐로부터의 토출량을 안정시킬 수 있어, 토출량의 보정을 필요로 하지 않거나, 또는 토출량의 보정의 보정량을 적게 하여 보정을 용이하게 할 수 있다.

또한, 도시하지 않은 지류 환류로 (128) 에 관해서도, 상기한 바와 같이 각 노즐 사이의 X 방향의 거리와 각 화소의 피치를 동일 간격으로 함으로써, 동일 지류 환류로에 따른 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없어진다. 따라서, 크로스토크를 없앨 수 있어, 각 노즐로부터의 토출량을 안정시킬 수 있게 된다.

또한, 각 노즐 사이의 X 방향의 거리는, 동일 지류 공급로나 동일 지류 환류로에 따른 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없는 간격이라면, 화소 피치와 동일한 간격에 한정되지 않는다. 이, 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없는 간격에 관해서 설명한다.

먼저, 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기준인 노즐 (100S) 이 잉크를 부여하는 화소 에어리어 (24) 의 상단에 위치하는 경우를 생각한다. 도 21 에 나타내는 바와 같이, 기준 노즐 (100S) 과 그 하측에 인접하는 노즐 (100N) 의 X 방향의 간격 P_N 이, 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭 P₂ 이하인 경우에는, 1 개의 화소 에어리어 (24) 내에 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 이 함께 배치되어 버린다. 이 경우에는, 노즐 (100S) 와 노즐 (100N) 을 동시에 사용하게 된다. 따라서, 간격 P_N 은 P₂ 보다 클 필요가 있다.

여기서, 도 22 에 나타내는 바와 같이, 화소 에어리어 (24) 는 3 색의 에어리어가 주기적으로 배열되어 있기 때문에, 간격 P_N 이 P₂ 보다 큰 경우라도, 추가로 간격 P_N 이 (3 × P) 보다 크면, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 이 상이한 에어리어이기는 하지만 동색의 에어리어 상에 배치 (도 22 중, NG 에 해당) 된다. 따라서, 이 경우에는, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 을 동시에 사용하게 된다. 또한 간격 P_N 이 (3 × P ＋ P₂) 보다 크면, 재차 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 이 상이한 색의 화소 에어리어 (24) 상 또는 격벽 (22) 상에 배치 (도 22 중, OK 에 해당) 되기 때문에, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 을 동시에 사용하는 일이 없어진다.

이와 같이, 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없는 간격 P_N 은 주기적인 값으로, n 을 정수로 하면,

(n × 3 × P ＋ P₂) ＜ P_N ＜ ((n ＋ 1) × 3 × P) … 식 1

로 나타낼 수 있다.

다음으로, 도 23 에 나타내는 바와 같이, 기준인 노즐 (100S) 이 잉크를 부여하는 화소 에어리어 (24) 의 하단에 위치하는 경우를 고려한다. 도 23 에 나타내는 바와 같이, 기준 노즐 (100S) 과, 그 하측에 인접하는 노즐 (100N) 의 X 방향의 간격 P_N 이, (격벽 (22) 의 X 방향의 폭 P₁ × 3 ＋ 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭 P₂ × 2) 보다 작은 경우에는, 인접 노즐 (100N) 은 다른 색의 화소 에어리어 (24) 상 또는 격벽 (22) 상에 배치되기 때문에, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 을 동시에 사용하는 일은 없다.

그러나, 간격 P_N 이 (격벽 (22) 의 X 방향의 폭 P₁ × 3 ＋ 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭 P₂ × 2) 보다 크면, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 이 상이한 에어리어이기는 하지만 같은 색의 화소 에어리어 (24) 상에 배치된다. 이 경우에는 기준 노즐 (100S) 과 인접 노즐 (100N) 을 동시에 사용하게 되고 만다. 따라서, 간격 P_N 은 (P₁ × 3 ＋ P₂ × 2) 보다 작을 필요가 있다.

여기서, 도 24 에 나타내는 바와 같이, 화소 에어리어 (24) 는 3 색의 에어리어가 주기적으로 배열되어 있기 때문에, 간격 P_N 이 (격벽 (22) 의 X 방향의 폭 P₁ × 3 ＋ 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭 P₂ × 2) 보다 큰 경우라도, 추가로 간격 P_N 이 (3 × P) 보다 크면, 인접 노즐 (100N) 이 다른 색의 화소 에어리어 (24) 상 또는 격벽 (22) 상에 배치되기 때문에, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 을 동시에 사용하는 일이 없다. 또한, 간격 P_N 이 (격벽 (22) 의 X 방향의 폭 P₁ × 3 ＋ 화소 에어리어 (24) 의 X 방향의 폭 P₂ × 2) ＋ (3 × P) 보다 크면, 재차 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 이 상이한 에어리어이기는 하지만 같은 색의 화소 에어리어 (24) 상에 배치되므로, 노즐 (100S) 과 노즐 (100N) 을 동시에 사용하게 되고 만다.

이와 같이, 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없는 간격 P_N 은 주기적인 값으로, n 을 정수로 하면,

(n × 3 × P) ＜ P_N ＜ (n × 3 × P ＋ P₁ × 3 ＋ P₂ × 2) … 식 2

로 나타낼 수 있다.

따라서, 최종적으로 식 1 과 식 2 를 동시에 만족하는 노즐 간격 P_N3 은,

(n × 3 × P ＋ P₂) ＜ P_N3 ＜ (n × 3 × P ＋ P₁ × 3 ＋ P₂ × 2) … 식 3

으로 나타낼 수 있다.

또한, 상기의 설명은 3 색이 규칙적으로 배열된 경우에 관한 것으로, C 개 종류의 색이 규칙적으로 배열된 경우에, 동일 지류 공급로에 따른 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없는 간격 P_NC 는,

(n × C × P ＋ P₂) ＜ P_NC ＜ (n × C × P ＋ P₁ × C ＋ P₂ × (C - 1)) … 식 4

로 나타낼 수 있다.

도 25 는, 각 노즐의 X 방향의 거리 P_N 이, 화소 피치의 2 배 (P × 2) 이도록 구성한 경우의, 각 노즐의 잉크의 토출 유무를 나타내는 도면이다. 이 때,

P_N = P × 2 = P₁ × 2 ＋ P₂ × 2 … 식 5

이기 때문에, 이 P_N 은, 식 3 에 있어서 n = 0 일 때의, P₂ ＜ P_N ＜ P₁ × 3 ＋ P₂ × 2 를 만족하고 있다.

도 25 에 나타내는 바와 같이, 1 개의 지류 공급로 (116) 에 연이어 통해 있는 각 노즐을 노즐 J1 ∼ J5 로 한다. 도 25(a) 에 나타내는 위치 관계에서는, R 화소에 대하여 노즐 (J2 및 J5) 로부터 잉크를 토출하고, 노즐 (J1, J3, 및 J4) 에 있어서는 잉크의 토출을 실시하지 않는다. 그 후, 인자 헤드 (50) 가 X 방향으로 반송되어, 도 25(b) 에 나타내는 위치 관계가 되면, 이번에는 R 화소에 대하여 노즐 (J1 및 J4) 로부터 잉크를 토출하고, 노즐 (J2, J3, 및 J5) 에 있어서는 잉크의 토출을 실시하지 않는다.

이와 같이, X 방향의 노즐 간격이 식 3 과 식 4 를 만족하는 경우에는, 동일 지류 공급로에 따른 인접 노즐을 동시에 사용하는 일이 없다. 지류 환류로에 대해서도 동일하다.

본 실시형태는, 도 8 에 나타내는 제 1 실시형태의 노즐 배치에 적용할 수도 있고, 도 14 에 나타내는 제 2 실시형태의 노즐 배치에 적용하는 것도 가능하다.

10 … 컬러 필터 제조 장치
13 … 화소 형성부
20 … 컬러 필터 기판
22 … 격벽
24 … 화소 에어리어
50 … 인자 헤드
52 … 헤드 모듈
80 … 잉크 공급 탱크
92 … 제 2 회수 탱크
100 … 노즐
110 … 잉크실 유닛
112 … 압력실
114 … 공급 스로틀
116 … 지류 공급로
122 … 액츄에이터
124 … 노즐 연통로
126 … 본류 공급로
127 … 환류 스로틀
128 … 지류 환류로
129 … 본류 환류로

Claims (24)

1. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
   잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과, 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
   상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 상기 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐을 선택하는, 상기 선택 수단과,
   상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 선택 수단은, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되도록 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
3. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
   잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
   상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과,
   상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 선택 수단은, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 환류로로 잉크를 환류하도록 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
5. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
   잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
   상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되며, 또한 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는, 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과,
   상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
6. 제 5 항에 있어서,
   상기 선택 수단은, 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되고, 또한 상기 복수의 노즐 중 적어도 2 개는 동일한 공통 환류로로 잉크를 환류하도록, 상기 복수의 노즐을 선택하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 이동 수단은, 제 1 방향 및 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키고,
   상기 잉크젯 헤드는, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 2 차원적으로 배열되며, 상기 제 2 방향으로 소정의 노즐열의 노즐을 투영시켰을 때의 투영 노즐 사이에, 다른 노즐열의 투영 노즐이 배치되도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
8. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 이동 수단은, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판을 1 회만 제 1 방향으로 상대 이동시키고,
   상기 잉크젯 헤드는, 상기 복수의 노즐이 상기 기판의 화소 패턴의 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향에 대응하는 길이에 걸쳐서 배열되고, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 2 차원적으로 배열되며, 상기 제 2 방향으로 소정의 노즐열의 노즐을 투영시켰을 때의 투영 노즐 사이에 다른 노즐열의 투영 노즐이 배치되도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
9. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
   잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
   상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과,
   상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
10. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나, 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과,
    상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
11. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 압력실로부터의 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드와,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되며, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록 복수의 노즐을 선택하는 선택 수단과,
    상기 선택 수단이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 수단은, 제 1 방향과 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키고,
    상기 잉크젯 헤드는, 각 노즐열이 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 배열되며, 상기 제 2 방향으로 각 노즐을 투영시켰을 때에 각 노즐열의 인접 노즐이 인접 투영 노즐이 되고, 또한 단 (端) 에 있는 노즐의 투영 노즐이 인접 노즐열의 반대단 노즐의 투영 노즐과 인접하도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
13. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 수단은, 상기 잉크젯 헤드와 상기 기판을 1 회만 제 1 방향으로 상대 이동시키고,
    상기 잉크젯 헤드는, 상기 복수의 노즐이 상기 기판의 화소 패턴의 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향에 대응하는 길이에 걸쳐서 배열되고, 각 노즐열은 상기 제 1 방향으로 소정의 경사각도를 가지고 배열되고, 상기 제 2 방향으로 각 노즐을 투영시켰을 때에 각 노즐열의 인접 노즐이 인접 투영 노즐이 되며, 또한 단에 있는 노즐의 투영 노즐이 인접 노즐열의 반대단 노즐의 투영 노즐과 인접하도록 상기 복수의 노즐이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
14. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드로서, 소정 수의 색마다 구비된 상기 잉크젯 헤드와,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 토출시키는 제어 수단으로서, 상기 각 화소의 제 1 방향의 배열이, 상기 소정 수의 색이 주기적인 규칙으로 번갈아 반복되는 배열이 되도록 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비하고,
    상기 잉크젯 헤드는, 상기 공통 공급로를 따라서 인접하는 노즐의 상기 제 1 방향의 간격 D 가, 상기 격벽의 상기 제 1 방향의 치수를 P₁, 상기 화소 패턴의 상기 제 1 방향의 치수를 P₂, 상기 색의 개수를 C, n 을 정수로 하면,
    n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₂ ＜ D ＜ n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₁ × C ＋ P₂ × (C - 1)
    의 관계를 만족하는 간격으로 배치되고,
    상기 제어 수단은, 상기 공통 공급로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
15. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드로서, 소정 수의 색마다 구비된 상기 잉크젯 헤드와,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 수단과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대하여 복수의 노즐로부터 잉크를 토출시키는 제어 수단으로서, 상기 각 화소의 제 1 방향의 배열이, 상기 소정 수의 색이 주기적인 규칙으로 번갈아 반복되는 배열이 되도록 잉크를 토출시키는 제어 수단을 구비하고,
    상기 잉크젯 헤드는, 상기 공통 환류로를 따라서 인접하는 노즐의 상기 제 1 방향의 간격 D 가, 상기 격벽의 상기 제 1 방향의 치수를 P₁, 상기 화소 패턴의 상기 제 1 방향의 치수를 P₂, 상기 색의 개수를 C, n 을 정수로 하면,
    n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₂ ＜ D ＜ n × C × (P₁ ＋ P₂) ＋ P₁ × C ＋ P₂ × (C - 1)
    의 관계를 만족하는 간격으로 배치되고,
    상기 제어 수단은, 상기 공통 환류로를 따라서 인접하는 노즐로부터 동시에 잉크를 토출시키지 않는 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
16. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,
    상기 화소 패턴의 각 화소는, 세로 방향 및 가로 방향을 갖고,
    상기 제 1 방향은, 상기 각 화소의 가로 방향과 평행한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
17. 제 3 항, 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 10 항, 제 11 항, 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공통 환류로와 상기 공통 공급로 사이에서 잉크를 순환시키기 위한 송액 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 잉크젯 기록 장치.
18. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
19. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
20. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 적어도 2 개의 상이한 공통 공급로로부터 잉크가 공급되며, 또한 적어도 2 개의 상이한 공통 환류로로 잉크를 환류하는, 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
21. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록, 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
22. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록 상기 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
23. 잉크를 토출하는 복수의 노즐과, 상기 노즐에 노즐 연통로를 통해서 연이어 통하는 복수의 압력실과, 잉크를 토출하기 위한 압력을 발생시키기 위한 액츄에이터와, 상기 압력실을 통해서 상기 노즐에 잉크를 공급하는 잉크 공급구와, 상기 잉크 공급구에 잉크를 공급하는 공통 공급로와, 상기 노즐 연통로에 연이어 통하고 상기 노즐로부터 토출되지 않은 잉크를 환류하는 잉크 환류구와, 상기 잉크 환류구의 잉크가 환류되는 공통 환류로를 갖고, 상기 복수의 노즐이 적어도 3 행 × 3 열 이상의 배열로 2 차원적으로 배치된, 잉크젯 헤드를 사용하여 잉크를 토출하는 토출 공정과,
    잉크의 토출 대상인 기판으로서, 상기 기판 상에 격벽으로 둘러싸인 화소 패턴을 갖는 상기 기판과 상기 잉크젯 헤드를 상대 이동시키는 이동 공정과,
    상기 화소 패턴의 각 화소에 대응하는 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정으로서, 상기 복수의 노즐의 개수가, 1 개의 공통 공급로가 잉크를 공급하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되며, 또한 1 개의 공통 환류로로 잉크를 환류하는 노즐의 개수와 같거나 또는 상기 노즐의 개수의 정수배가 되도록 복수의 노즐을 선택하는 선택 공정과,
    상기 선택 공정이 선택한 복수의 노즐로부터 대응하는 각 화소에 잉크를 토출시키는 제어 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
24. 투명 기판 상에 차광성을 갖는 격벽을 형성하는 공정과,
    개구부를 둘러싸는 상기 격벽에 발액 처리를 실시하는 공정과,
    제 18 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 기재된 패턴 형성 방법을 사용하여 상기 개구부의 내측에 잉크를 부여하는 화소 형성 공정과,
    상기 잉크가 부여된 상기 개구부에 투명 보호막을 형성하는 보호막 형성 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 컬러 필터 제조 방법.

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