KR20100105971A - 접촉 가압장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 접촉 가압장치는 생산 완료된 반도체 소자의 성능을 테스트 할 때 테스트 핸들러의 챔버내의 테스트 보드를 가압하기 위한 접촉 가압장치에 관한 것으로, 매치 플레이트(102)와 연결된 매치 플레이트 베이스(100)와; 매치 플레이트 베이스(100)에 연결된 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)와; 접촉 가이드 샤프트(110)들과 각기 연결되는 복수개의 제1 싱크 바아(120)와, 제1 싱크 바아(120)에 연결되는 제2 싱크 바아(130)로 이루어진 연결부재(150)와; 연결부재(150)의 제2 싱크 바아(130)를 이동시키기 위하여 그 내측에 볼스크류(160)와, 상기 볼스크류(160)에 연결된 이송부재(170)를 가지며, 원통 형태로 이루어진 볼스크류 하우징(200)과; 구동모터(210)와, 그 일측이 상기 볼스크류 하우징(200)의 볼스크류(160)와 연결되며 그 타측이 구동모터(210)와 연결되는 복수개의 구동풀리(220)로 이루어진 구동원(250)으로 이루어진다.
핸들러, 접촉, 가압장치

Description

접촉 가압장치{Contact Pushing Unit}
본 발명은 접촉 가압장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 생산 완료된 반도체 소자의 성능을 테스트 할 때 테스트 핸들러의 챔버내의 테스트 보드를 가압하기 위한 접촉 가압장치에 관한 것이다.
종래, 일반적으로 사용되고 있는 핸들러는 도 1에 도시된 바와 같이, 전방에 반도체 소자를 다수개 수납하고 있는 고객용 트레이를 적재하는 로딩부(10)가 설치되고, 테스트가 끝난 반도체 소자를 테스트 결과에 따라 분류하고 고객용 트레이에 수납되는 언로딩부(20)가 설치된다.
또한, 핸들러의 중간부분의 양측에는 상기 로딩부(10)로부터 이송되어 오는 반도체 소자를 일시적으로 장착하는 버퍼부(40)가 전,후진 가능하게 설치되고, 버퍼부(40)의 사이에는 테스트 하는 반도체 소자를 이송하고 테스트 트레이(T)에 재장착하는 작업과, 테스트 트레이의 테스트가 끝난 반도체 소자를 버퍼부(40)에 장착하는 작업이 이루어지도록 교환부(50)가 설치된다.
상기 로딩부(10) 및 언로딩부(20)가 설치되는 핸들러의 전방부와, 상기 교환부(50) 및 버퍼부(40)에 배치되는 핸들러의 중간부의 사이에는 X-Y축을 따라 선형 운동하면서 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 제1 픽커 로봇(31)과 제2 픽커 로봇(32)이 장착된다.
한편, 핸들러의 후방부에는 다수개로 분할된 밀폐된 챔버속에 테스트 트레이(T)를 순차적으로 이송하고 반도체 소자를 소정의 온도 조건하에서 테스트하는 챔버부(70)가 설치된다. 상기 챔버부(70)는 교환부(50)로부터 이송되어 오는 테스트 트레이(T)를 앞쪽으로부터 뒤쪽에 1스텝씩 단계적으로 이송하고 반도체 소자를 소정의 온도에 가열 또는 냉각시키게 되어 있는 속챔버(soak chamber)(71)와, 상기 속챔버(71)의 한쪽에 접하고 이송되는 테스트 트레이(T)를 외부의 테스트 장비(80)에 연결한 하이픽스 테스트 보드(85)상의 테스트 소켓(도시되지 않음)에 장착하고 소정의 온도하에서 테스트를 수행하는 테스트 챔버(72)와, 상기 테스트 챔버(72)의 한쪽에 접하고 테스트 트레이(T)를 1스텝씩 단계적으로 이송시키면서 테스트가 끝난 반도체 소자를 초기의 상온 상태에 복귀시킨 후 디속 챔버(desoak chamber)(73)로 이루어진다.
상기 테스트 챔버(72)에는 테스트 트레이(T)의 캐리어(도시되지 않음)에 장착된 반도체 소자를 테스트 보드(85)측으로 압박하고, 소켓(도시되지 않음)에 장착/탈착하는 푸싱 유니트(90)가 설치된다. 상기 푸싱 유니트(90)는 테스트 중의 반도체 소자의 발열을 억제하는 발열 보상장치이다. 그리고, 상기 푸싱 유니트(90)는 볼 스크류와 모터에 의해 전,후진 동작을 하게 된다.
상기 종래의 핸들러의 푸싱 유니트는 단순히 볼 스크류와 모터에 의해 전,후진 동작을 하게 되므로 정확하게 컨택을 할 수 없는 문제점을 내포하고 있다. 또한, 종래의 하우징은 사각형 형태로 구성되어 그 크기가 커지게 되고, 아울러 하우징의 강성도 낮게 되는 문제점도 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 테스트 보드를 압박을 용이하게 하여 반도체 소자와 정확하게 컨택할 수 있는 접촉 가압장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 다른 목적은 하우징을 원통 형태로 구성하여 부피는 작으면서 하우징의 강성도는 높게 할 수 있는 접촉 가압장치를 제공하는 점에 있다.
본 발명의 접촉 가압장치는 매치 플레이트와 연결된 매치 플레이트 베이스와; 매치 플레이트 베이스에 연결된 복수개의 접촉 가이드 샤프트와; 접촉 가이드 샤프트들과 각기 연결되는 복수개의 제1 싱크 바아와, 제1 싱크 바아에 연결되는 제2 싱크 바아로 이루어진 연결부재와; 연결부재의 제2 싱크 바아를 이동시키기 위하여 그 내측에 볼스크류와, 상기 볼스크류에 연결된 이송부재를 가지며, 원통 형태로 이루어진 볼스크류 하우징과; 구동모터와, 그 일측이 상기 볼스크류 하우징의 볼스크류와 연결되며 그 타측이 구동모터와 연결되는 복수개의 구동풀리로 이루어진 구동원으로 이루어지는 점에 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 접촉 가압장치는 매치 플레이트 베이 스와 히터 박스를 용이하고 정확하게 이동시킬 수 있는 이점이 있다. 또한, 본 발명의 접촉 가압장치는 하우징을 원통형으로 구성함으로써 하우징의 부피가 작음에도 불구하고 강성도가 매우 높게 되는 이점이 있다.
(실시예)
본 발명의 접촉 가압장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 본 발명의 접촉 가압장치는 크게 매치 플레이트 베이스(100)와, 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)와, 연결부재(150)와, 볼스크류 하우징(200)과, 구동원(250)으로 구성된다.
상기 매치 플레이트 베이스(100)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 그 전면에 매치 플레이트(102)와 연결되고, 그 후면에는 히터박스 덕트(104)와 연결되게 된다. 상기 히터박스 덕트(104)의 내측에는 히터판(106)이 설치된다. 그리고, 상기 매치 플레이트 베이스(100)의 양측에는 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)가 설치된다. 상기 접촉 가이드 샤프트(110)의 소정 부위에는 컨택 축 하우징(Contact shaft housing)(114)이 각기 설치된다.
상기 연결부재(150)는 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)와 각기 연결되는 복수개의 제1 싱크 바아(first sink bar)(120)와, 상기 제1 싱크 바아(120)에 연결되는 제2 싱크 바아(second sink bar)(130)로 이루어진다. 상기 제2 싱크 바아(130)는 제1 싱크 바아(120)에 대하여 90도를 이루는 방향으로 설치된다. 그리 고, 상기 제2 싱크 바아(130)는 볼스크류 하우징(200)의 내측으로 연결된다.
상기 볼스크류 하우징(200)은 원통 형태로 구성되며, 연결부재(150)의 제2 싱크 바아(130)를 좌,우 방향(핸들러의 테스트 사이트 방향으로 전,후진)으로 이동시키기 위하여 그 내측에 볼스크류(160)가 설치된다. 상기 볼스크류 하우징(200)을 원통 형태로 구성하게 되면 다른 방식(사각형이나 다각형 형태로 구성하는 방식)에 비하여 강성이 1.5배 정도로 높아지게 된다. 또한, 상기 볼스크류 하우징(200)은 도전성 재질로 이루어진다. 그리고, 상기 볼스크류(160)에는 좌,우로 이동가능한 이송부재(170)가 설치되고, 상기 이송부재(170)에 제2 싱크 바아(130)가 연결된다. 또한, 상기 볼스크류(160)의 전방부에는 베어링(310)이 삽설되어 있다.
상기 구동원(250)은 구동모터(210)와, 그 일측이 상기 볼스크류 하우징(200)의 볼스크류(160)와 연결되며 그 타측이 구동모터(210)와 연결되는 복수개의 구동풀리(220)로 이루어진다. 상기 구동모터(210)의 축(212)은 구동모터(210)의 속도를 조절하기 위한 감속기(230)에 연결된다. 그리고, 감속기(230)의 축(도시되지 않음)은 구동모터(210)측에 설치되는 구동풀리(220)에 연결된다. 다른 구동풀리(220)는 볼스크류(160)측에 설치되며, 상기 복수개의 구동풀리(220,220)의 사이에는 벨트(222)가 설치된다.
한편, 상기 볼스크류 하우징(200)의 일측에는 소정 간격을 두고 홈 센서(262)와 리미트 센서(264)가 설치되며, 상기 홈 센서(262) 및 리미트 센서(264)는 볼스크류(160)에 끼워진 이송부재(170)의 이동 위치를 검지하기 위한 것이다. 도2에서, 미설명 부호 300은 모터 커버이다.
이제, 상기와 같이 구성된 본 발명의 접촉 가압장치의 동작관계에 대하여 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
본 발명의 접촉 가압장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 모터 커버(300)(도2 참조)내에 설치된 구동 모터(210)를 동작시키게 되면, 모터축(212)과 연결된 구동풀리(220)가 벨트(222)에 의해 구동되게 된다. 그리고, 볼스크류(160)측에 있는 구동풀리(220)도 구동하게 된다. 상기 볼스크류(160)가 작동하게 되면 볼스크류(160)에 끼워진 이송부재(170)가 초기 위치에서 제2 싱크바아(130)와 함께 테스트 챔버(72: 도1 참조)측으로 이동하게 된다.
상기 이송부재(170)가 전진하여 소정 위치에 도달하게 되면 리미트 센서(264)가 이를 감지하여 이송부재(170)를 정지시키게 된다. 이때, 매치 플레이트(102)는 테스트 트레이(T)를 가압하면서 반도체 소자를 테스트하게 된다.
한편, 반도체 소자의 테스트가 완료되면, 구동모터(210)를 역회전시키게 된다. 구동모터(210)가 역회전하게 되면 이송부재(170)가 볼스크류(160)를 따라 후진하면서 제2 싱크바아(130)도 후진하게 된다. 이송부재(170)가 후진하여 소정 위치에 도달하게 되면 홈센서(262)가 이를 감지하게 된다.
상기 구동모터(210)의 축(212)에 연결된 감속기(230)는 구동모터(210)의 속도를 적절히 감속시킬 수 있는 것으로 이송부재(170)의 속도가 너무 빠를 경우에는 그 속도를 조절할 수 있게 된다.
본 발명의 접촉 가압장치는 반도체 소자나 기타 부품을 테스트하는 테스트 핸들러와 테스터 등과 같은 반도체 장치분야에 널리 적용가능하다.
도1은 종래의 핸들러의 개략적인 상태를 나타낸 단면도,
도2는 본 발명의 접촉 가압장치의 개략적인 사시도,
도3은 본 발명의 접촉 가압장치의 단면도,
도4는 도2의 모터 커버를 제거하고 후방에서 본 접촉 가압장치의 후면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100: 매치 플레이트 베이스 104: 히터박스 덕트
110: 가이드 샤프트 120: 제1 싱크바아
130: 제2 싱크바아 160: 볼스크류
170: 이송부재 190: 지지유니트
200: 볼스크류 하우징 220: 구동풀리
222: 벨트 250: 구동원

Claims (6)

  1. 매치 플레이트(102)와 연결된 매치 플레이트 베이스(100)와;
    상기 매치 플레이트 베이스(100)에 연결된 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)와;
    상기 접촉 가이드 샤프트(110)들과 각기 연결되는 복수개의 제1 싱크 바아(120)와, 상기 제1 싱크 바아(120)에 연결되는 제2 싱크 바아(130)로 이루어진 연결부재(150)와;
    그 내측에 볼스크류(160)와, 상기 볼스크류(160)에 연결된 이송부재(170)를 가지며, 원통 형태로 이루어진 볼스크류 하우징(200)과;
    구동모터(210)와, 그 일측이 상기 볼스크류 하우징(200)의 볼스크류(160)와 연결되며 그 타측이 구동모터(210)와 연결되는 복수개의 구동풀리(220)로 이루어진 구동원(250)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접촉 가압장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수개의 접촉 가이드 샤프트(110)의 일측에는 컨택 축 하우징(114)가 각기 설치되는 것을 특징으로 하는 접촉 가압장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 볼스크류 하우징(200)의 이송부재는 연결부재의 제2 싱크 바아와 연결되는 것을 특징으로 하는 접촉 가압장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 볼스크류 하우징(200)은 도전성 재질로 이루어지고, 그 하부에 설치된 지지 유니트(190)상에 안착되는 것을 특징으로 하는 접촉 가압장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 볼스크류 하우징(200)은 그 일측에 소정 간격을 두고 홈 센서(262)와 리미트 센서(264)가 설치되며, 상기 홈 센서(262) 및 리미트 센서(264)는 볼스크류(160)에 끼워진 이송부재(170)의 이동 위치를 검지하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 수술기구.
  6. 제1항에 있어서, 상기 구동원(250)은 구동모터(210)와 구동풀리(220)의 사이에 구동모터의 속도를 조절하기 위한 감속기(230)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 가압장치.
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