KR101312052B1 - 카세트의 위치조절장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트의 위치조절장치에 관한 것으로, 본 발명은 상하로 움직이는 상하 이동부재; 상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 구비되며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함한다. 본 발명에 따르면, 웨이퍼들이 적재된 카세트, 특히 변형된 카세트를 단계적으로 아래로 이동시키면서 카세트에 적재된 웨이퍼를 픽업 위치로 위치시킬 때 웨이퍼가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.

Description

카세트의 위치조절장치{APPARATUS FOR ADJUSTING A POSITION OF CASSETTE}
본 발명은 카세트의 위치조절장치에 관한 것이다.
태양전지는 태양의 빛에너지를 전기에너지로 바꾼다. 광전효과를 이용하여 발전시키는 최소 단위를 셀(cell)이라 한다.
일반적으로 태양전지는 다양한 공정을 통해 제작되며, 이와 같은 다양한 공정은 다수 개의 장비들이 배열된 태양전지 제작 라인을 통해 진행된다. 태양전지를 제작하는 공정은 텍스쳐링(texturing) 공정을 포함한다. 테스쳐링 공정은 다수 장의 웨이퍼들이 적재된 카세트를 일정한 온도(보통 80도 정도임)의 화학 약품에 넣어 처리하게 된다. 텍스쳐링 공정이 끝나고 나면 이어지는 공정을 위하여 카세트에 적재된 웨이퍼를 꺼내어 다른 장비로 이송시키게 된다. 웨이퍼를 다른 장비로 이송시키는 방법은 다른 카세트에 텍스쳐링 공정이 끝난 웨이퍼를 적재한 후 다른 장비로 이송시키거나, 컨베이어를 통해 이송시키게 된다.
도 1, 2, 3은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치의 측면도, 정면도, 사시도를 각각 도시한 것이다.
도 1, 2, 3을 참조하여, 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 설명하면 다음과 같다.
사각 형상의 관통구멍(11)이 구비된 베이스 프레임(10)과, 상기 베이스 프레임(10)의 하면에 구비된 수직 부재(20)와, 상기 수직 부재(20)에 상하 방향으로 움직임 가능하게 구비되며 상면에 카세트(30)가 놓여지는 카세트 지지대(40)와, 상기 수직 부재(20)에 구비되며 상기 카세트 지지대(40)를 상하로 움직이는 상하 구동유닛(50)과, 상기 카세트 지지대(40)에 구비되어 카세트(30)를 고정하거나 해제하는 착탈유닛(60)과, 상기 베이스 프레임(10)의 상면에 구비되어 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼를 꺼내어 다른 장비에 전달하는 이재유닛(70)을 포함한다.
상기 수직 부재(20)는 일정 길이를 가지며 수직 부재(20)의 길이 방향이 상기 베이스 프레임(10)에 수직이 되도록 결합된다. 상기 수직 부재(20)는 베이스 프레임(10)의 관통구멍 가장자리에 위치한다. 또한 상기 수직 부재(20)에 가이드 레일(21)이 구비되며, 상기 가이드 레일(21)의 길이 방향이 수직 방향으로 위치한다.
상기 카세트 지지대(40)는 수평판(41)과, 상기 수평판(41)의 하면에 결합되는 수직판(42)과, 상기 수직판(42)에 결합됨과 아울러 상기 가이드 레일(21)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록(43)을 포함한다.
상기 착탈유닛(60)은 상기 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 서로 일정 간격을 두고 결합된 기역자형 블록(61)들과, 상기 기역자형 블록(61)과 일정 간격을 두고 결합되는 두 개의 일자형 블록(62)들과, 상기 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 구비된 락커(63)를 포함한다. 상기 두 개의 기역자형 블록(61)들은 카세트 지지대(40)의 수평판(41) 뒤쪽 양측에 각각 위치하고, 상기 두 개의 일자형 블록(62)들은 수평판(41)의 앞쪽 양측에 각각 위치한다. 상기 카세트(30)는 두 개의 기역자형 블록(61)들과 두 개의 일자형 블록(62)들에 의해 형성되는 수평판(41) 상의 내부 영역에 위치하게 된다.
상기 카세트(30)는 하측판(31)과, 상기 하측판(31)과 대면되도록 하측판(31)과 일정 거리를 두고 위치하는 상측판(32)과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 우측에서 연결하는 두 개의 우측바(33)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 좌측에서 연결하는 두 개의 좌측바(34)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 후측(뒤쪽)에서 연결하는 후측바(35)들을 포함한다. 상기 하측판(31)과 상측판(32)은 각각 일정 두께를 가지며 사각 형상으로 형성된다. 상기 두 개의 우측바(33)들은 서로 일정 간격을 유지하고, 상기 두 개의 좌측바(34)들도 상기 두 개의 우측바(33)들과 같은 간격을 유지한다. 상기 우측바(33)들과 좌측바(34)들은 각각 내측면에 웨이퍼(W)가 삽입되는 삽입홈(S)들이 위에서 아래로 일정 간격을 두고 구비된다. 웨이퍼(W)의 한쪽 끝은 우측바(33)들의 삽입홈(S)에 삽입되고 상기 웨이퍼(W)의 다른 한쪽 끝은 좌측바(34)들의 삽입홈(S)에 삽입된다. 우측바(33)들의 하나의 삽입홈(S)과 그 우측바(33)들의 삽입홈(S)에 대면되는 좌측바(34)들의 하나의 삽입홈(S)에 한 개의 웨이퍼(W)가 삽입된다.
상기 카세트(30)가 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 놓여질 때 상기 두 개의 기역자형 블록(61)들의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 한쪽 두 모서리를 지지하고 상기 두 개의 일자형 블록(62)의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 다른 한쪽 양측면을 지지하게 된다. 상기 락커(63)는 카세트(30)의 하측판 상면을 누르거나 그 누름을 해제하게 된다.
상기 이재유닛(70)은 포크(71)를 포함하며, 상기 포크(71)가 직선 왕복 운동하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 놓는다.
상기 장치의 작동을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 카세트 지지대(40)가 최상측에 위치한 상태에서 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 위에 안착시킨다. 이때, 카세트(30)의 하측판(31)이 두 개의 기역자형 블록(61)들의 내측면과 두 개의 일자형 블록(62)들의 내측면에 지지된다. 카세트(30)가 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 안착된 상태에서 락커(63)가 카세트(30)의 하측판(31) 상면을 눌러 카세트(30)를 카세트 지지대(40)의 수평판(41)에 고정시킨다. 이재유닛(70)의 포크(71)가 카세트(30)쪽으로 이동하여 카세트(30)에 적재된, 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업 한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다. 한편, 이재유닛(70)의 포크(71)가 한 장의 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시키는 동안 상하 구동유닛(50)이 카세트 지지대(40)를 아래로 한 단계 이동시킴에 의해 카세트를 아래로 이동시켜 다른 웨이퍼(W)를 픽업 위치로 이동시킨다. 포크(71)가 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨 후 다시 카세트(30)로 이동하여 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업 한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다.
이와 같은 작동을 반복하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 다른 장비로 이송시킨다. 다른 장비는 카세트, 컨베이어, 또는 로봇이 될 수 있다. 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 모두 다른 장비로 이송시킨 후 상하 구동유닛(50)이 최하측에 위치한 카세트 지지대(40)를 최상측으로 이동시킨다. 락커(63)를 풀어 카세트(30)의 고정을 해제한 후 카세트 지지대(40)에 놓여진 카세트(30)를 웨이퍼(W)들이 적재된 새로운 카세트(30)로 교체하게 된다.
그러나 웨이퍼(W)들을 텍스쳐링하기 위하여 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 설정된 온도의 화학 약품에 담그는 과정에서 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)에 변형이 발생될 경우 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)가 휘어지게 된다. 이와 같이, 좌,우측바(33)(34)가 휘어진 카세트(30)가, 도 4에 도시한 바와 같이, 카세트 지지대(40)에 안착될 경우 카세트(30)가 카세트 지지대(40)와 함께 단계적으로 아래로 이동하면서 카세트(30)의 웨이퍼(W)들을 하나씩 픽업 위치(P)로 이동시킬 때 카세트(30)의 좌,우측바(33)(34)가 휘어져 그 휘어진 부분에 위치한 웨이퍼(W)는 픽업 위치(P)에서 왼쪽이나 오른쪽으로 이동된 상태가 된다. 따라서, 포크(71)가 왼쪽이나 오른쪽으로 이동된 상태의 웨이퍼(W)를 픽업하여 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 웨이퍼(W)가 설정된 위치에 적재되지 못하고 다른 장비의 부품에 부딪혀 파손된다.
본 발명의 목적은 웨이퍼들이 적재된 카세트를 단계적으로 아래로 이동시키면서 카세트에 적재된 웨이퍼를 픽업 위치로 위치시킬 때 웨이퍼가 픽업 위치에서 정확하게 설정된 위치에 얼라인되도록 카세트를 위치를 조절하는 카세트의 위치조절장치를 제공함에 있다.
본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 상하로 움직이는 상하 이동부재; 상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 구비되며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함하는 카세트의 위치조절장치가 제공된다.
상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 가이드 유닛은 상하 이동부재의 상면에 구비되는 가이드 레일과, 상기 이동형 카세트 지지대의 하면에 결합되며 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일의 길이 방향이 수평 방향으로 위치하는 것이 바람직하다.
상기 지지유닛은 몸체부와, 상기 몸체부에 결합되는 엑츄에이터와, 상기 엑츄에이터의 작동축에 결합되는 보조 부재와, 상기 보조 부재에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트를 지지하는 롤러를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 한 개의 지지유닛이 카세트의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛이 카세트의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인에 웨이퍼를 픽업하는 픽업 위치가 위치하는 것이 바람직하다.
상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 탄성형 스토퍼는 개구홈이 구비되며 상기 상하 이동부재에 결합되는 고정블록과, 상기 이동형 카세트 지지대에 결합되며 일측이 상기 고정블록의 개구홈에 삽입되는 이동블록과, 상기 고정블록에 각각 결합되어 이동블록의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재들을 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명은 웨이퍼가 적재된 변형된 카세트가 이동형 카세트 지지대에 안착된 경우 변형된 카세트에 적재된 각 웨이퍼가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인되므로 포크가 픽업 위치에 있는 웨이퍼를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 설정된 위치에 정확하게 적재(또는 이송)된다. 이로 인하여, 웨이퍼를 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 웨이퍼가 다른 장비의 부품에 충돌하여 파손되는 것을 방지하게 된다.
물론, 웨이퍼들이 적재된 카세트가 변형이 발생되지 않은 경우에도 카세트에 적재된 웨이퍼가 픽업 위치에 위치할 때 그 픽업 위치에서의 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.
도 1은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 측면도,
도 2는 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 정면도,
도 3은 카세트에 적재된 웨이퍼들을 꺼내는 장치를 도시한 사시도,
도 4는 상기 장치에 변형된 카세트가 안착된 상태를 도시한 정면도,
도 5는 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 측면도,
도 6은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 정면도,
도 7은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 구성하는 두 개의 롤러들의 위치를 도시한 정면도,
도 8은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예에 변형된 카세트가 장착된 상태에서 작동 상태를 각각 도시한 정면도.
이하, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 측면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예를 도시한 정면도이다.
도 5, 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 일실시예가 구비된, 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 꺼내는 장치는 베이스 프레임(100), 수직 부재(200), 상하 이동부재(300), 상하 구동유닛(500), 이동형 카세트 지지대(600), 한 쌍의 지지유닛(700), 이재유닛(800)을 포함한다.
상기 베이스 프레임(100)은 내부에 관통구멍(101)이 구비된다. 상기 베이스 프레임(100)의 관통구멍(101)은 사각형상인 것이 바람직하다.
상기 수직 부재(200)는 일정 길이를 갖는다. 상기 수직 부재(200)의 길이 방향이 상기 베이스 프레임(100)에 수직이 되도록 베이스 프레임(100)의 하면에 결합된다. 상기 수직 부재(200)는 베이스 프레임(100)의 관통구멍 가장자리에 위치한다. 또한, 상기 수직 부재(200)에 가이드 레일(210)이 구비되며, 상기 가이드 레일(210)의 길이 방향이 수직 방향으로 위치한다.
상기 상하 이동부재(300)는 상기 수직 부재(200)의 가이드 레일(210)에 상하로 움직임 가능하게 결합된다. 상기 상하 이동부재(300)는 상기 수직 부재(200)의 가이드 레일(210)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 블록부(310)와, 상기 슬라이딩 블록부(310)에 결합되는 받침부(320)를 포함한다.
상기 상하 구동유닛(500)은 상기 상하 이동부재(300)를 상하로 움직인다. 상기 상하 구동유닛(500)의 제1 실시예로, 상기 상하 구동유닛(500)은 회전 모터와, 상기 회전 모터에 연결되는 볼 스크류 어셈블리를 포함한다. 상기 볼 스크류 어셈블리를 구성하는 스크류가 상기 상하 이동부재(300)의 슬라이딩 블록부(310)에 연결된다. 이와 같은 볼 스크류 어셈블리 구성은 일반적인 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다. 상기 상하 구동유닛(500)의 제2 실시예로, 상기 상하 구동유닛(500)은 유압 엑츄에이터를 포함한다. 상기 유압 엑츄에이터의 로드가 상기 상하 이동부재(300)의 슬라이딩 블록부(310)에 연결된다. 유압 엑츄에이터 구성은 일반적인 기술이므로 구체적인 설명은 생략한다. 상기 상하 구동유닛(500)은 다양한 형태로 구현될 수 있다.
상기 이동형 카세트 지지대(600)는 수평 방향으로 움직임 가능하게 상기 상하 이동부재(300)에 결합된다. 또한, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 카세트(30)가 착탈 가능하게 안착된다. 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 상기 카세트(30)를 착탈시키는 착탈유닛(400)이 구비됨이 바람직하다. 상기 착탈유닛(400)은 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 서로 일정 간격을 두고 결합된 기역자형 블록(410)들과, 상기 기역자형 블록(410)과 일정 간격을 두고 결합되는 두 개의 일자형 블록(420)들과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 구비된 락커(430)를 포함한다.
상기 카세트(30)는 하측판(31)과, 상기 하측판(31)과 대면되도록 하측판(31)과 일정 거리를 두고 위치하는 상측판(32)과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 우측에서 연결하는 두 개의 우측바(33)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(32)을 좌측에서 연결하는 두 개의 좌측바(34)들과, 상기 하측판(31)과 상측판(34)을 후측에서 연결하는 후측바(35)들을 포함한다. 상기 카세트(30)는 위에서 설명한 카세트(30)와 동일하므로 보다 구체적인 설명은 생략한다.
상기 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)의 상면에 놓여질 때 상기 두 개의 기역자형 블록(410)들의 내측면은 카세트(30)의 하측판(31)의 한쪽 두 모서리를 지지하고 상기 두 개의 일자형 블록(420)의 내측면은 카세트(30)의 하측판 다른 한쪽 양측면을 지지하게 된다. 상기 락커(430)는 카세트(30)의 하측판 상면을 누르거나 그 누름을 해제하게 된다.
상기 상하 이동부재(300)와 이동형 카세트 지지대(600) 사이에 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛(610)이 구비됨이 바람직하다. 상기 가이드 유닛(610)은 상하 이동부재(300)의 상면에 구비되는 가이드 레일(611)과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 하면에 결합되는 슬라이딩 부재(612)를 포함한다. 상기 슬라이딩 부재(612)는 상기 가이드 레일(611)에 슬라이딩 가능하게 결합된다. 상기 가이드 레일(611)의 길이 방향이 수평 방향으로 위치한다. 상기 가이드 레일(611)은 상기 한 쌍의 지지유닛(700)들을 연결하는 가상의 연결선과 평행하게 위치하는 것이 바람직하다.
상기 상하 이동부재(300)와 이동형 카세트 지지대(600) 사이에 상기 이동형 카세트 지지대(600)를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대(600)의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼(620)가 구비됨이 바람직하다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 개구홈(h)이 구비되며 상기 상하 이동부재(300)에 결합되는 고정블록(621)과, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 결합되며 일측이 상기 고정블록(621)의 개구홈(h)에 삽입되는 이동블록(622)과, 상기 고정블록(621)에 각각 결합되어 이동블록(622)의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재(623)들을 포함한다. 상기 고정블록(621)은 상기 상하 이동부재(300)의 받침부(320)의 측면에 결합되는 것이 바람직하다. 상기 개구홈(h)은 고정블록(621)의 양측면을 관통하고 상측이 개구되도록 일정 폭과 깊이를 갖는다. 상기 고정블록(621)의 개구홈(h)의 양측면에 탄성부재 삽입홀이 각각 구비된다. 상기 탄성부재(623)는 코일 스프링인 것이 바람직하다. 상기 탄성부재(623)는 두 개이며 그 두 개의 탄성부재(623)는 상기 탄성부재 삽입홀들에 각각 삽입되어 개구홈(h)에 위치한 이동블록(622)의 양측면을 각각 탄성력으로 지지하게 된다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 받침부(320)의 양쪽면에 각각 구비되는 것이 바람직하다. 상기 탄성형 스토퍼(620)는 한쪽면에 구비될 수도 있다.
상기 한 쌍을 이루는 두 개의 지지유닛(700)들은 상기 이동형 카세트 지지대(600)의 양쪽에 각각 위치하도록 상기 베이스 프레임(100)에 장착된다. 상기 한 쌍의 지지유닛(700)들은 상기 상하 이동부재(300)를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트(30)를 설정된 위치에서 지지한다. 상기 한 쌍의 지지유닛(700)은 상기 카세트(30)의 양쪽면을 각각 지지하게 된다. 도 7에 도시한 바와 같이, 한 개의 지지유닛(700)이 카세트(30)의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛(700)이 카세트(30)의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인이 픽업 위치(P)가 되며, 그 픽업 위치(P)에 픽업될 웨이퍼(W)가 위치하게 된다. 상기 지지유닛(700)은 몸체부(710)와, 상기 몸체부(710)에 결합되는 엑츄에이터(720)와, 상기 엑츄에이터(720)의 로드(721)에 결합되는 보조 부재(730)와, 상기 보조 부재(730)에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트(30)를 지지하는 롤러(740)를 포함한다. 상기 엑츄에이터(720)의 작동에 의해 상기 보조 부재(730)와 롤러(740)가 카세트(30) 쪽으로 움직이거나 그 반대쪽으로 움직이게 된다.
상기 이재유닛(800)은 상기 베이스 프레임(100)의 상면에 구비된다. 상기 이재유닛(800)은 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 전달한다. 상기 이재유닛(800)은 포크(810)를 포함하며, 상기 포크(810)가 직선 왕복 운동하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 꺼내어 다른 장비에 놓는다. 상기 다른 장비는 카세트, 컨베이어, 또는 로봇 등이 될 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 카세트의 위치조절장치의 작용과 효과를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 한 쌍의 지지유닛(700)의 각 롤러(740)가 뒤로 이동하고 상하 이동부재(300) 및 이동형 카세트 지지대(600)가 최상측에 위치한 상태에서, 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)를 이동형 카세트 지지대(600) 상면에 안착된다. 이때, 카세트(30)의 하측판(31)이 두 개의 기역자형 블록(410)들의 내측면과 두 개의 일자형 블록(420)들의 내측면에 지지된다. 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 상태에서 락커(430)가 카세트(30)의 하측판 상면을 눌러 카세트(30)를 이동형 카세트 지지대(600)에 고정시킨다. 한 쌍의 지지유닛(700)의 각 롤러(740)를 앞으로 이동하여 카세트(30)의 우측바(33) 측면과 좌측바(34) 측면을 각각 지지한다. 상기 한 개의 롤러(740)와 우측바(33)가 접촉 지지되는 지지점과 다른 한 개의 롤러(740)와 좌측바(34)가 접촉 지지되는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인이 픽업 위치가 되며, 그 픽업 위치에 픽업될 웨이퍼(W)가 위치하게 된다.
이재유닛(800)의 포크(810)가 카세트(30)쪽으로 이동한 후 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다. 한편 이재유닛(800)의 포크(810)가 카세트(30)에서 꺼낸 한 장의 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시키는 동안 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 한 단계 아래로 이동시킨다. 상기 상하 이동부재(300)가 한 단계 아래로 이동함에 따라 이동형 카세트 지지대(600)와 카세트(30)도 함께 아래로 한 단계 이동하면서 픽업된 웨이퍼(W)의 위쪽에 위치한 웨이퍼(W)가 픽업 위치로 이동하게 된다. 상기 카세트(30)는 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들에 의해 지지된 상태에서 아래로 이동하게 된다.
이재유닛(800)의 포크(810)가 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨 후 다시 카세트(30)쪽으로 이동하여 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정 위치에 적재시킨다.
위와 같은 작동을 반복하면서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들을 다른 장비로 이송시킨다. 상기 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 모두 다른 장비로 이송시킨 후 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 최상측으로 이동시킨다. 락커(430)를 풀어 카세트(30)의 고정을 해제한 후 이동형 카세트 지지대(600)에 놓여진 카세트(30)를 웨이퍼(W)들이 적재된 새로운 카세트(30)로 교체하게 된다.
상기 웨이퍼(W)들이 적재된 카세트(30)가 변형이 발생되지 않은 경우 상하 구동유닛(500)이 상하 이동부재(300)를 아래로 이동시킬 때 이동형 카세트 지지대(600) 및 카세트(30)도 함께 아래 방향으로 수직으로 이동하게 되므로 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)가 픽업 위치에 위치할 때 그 픽업 위치에서의 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.
한편, 상기 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 카세트(30)가 변형된 카세트(30)일 경우에도 카세트(30)가 아래로 이동할 때 카세트(30)가 좌우로 이동하면서 아래로 이동하게 되어 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)들이 각각 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다. 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도 8에 도시한 바와 같이, 변형된 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착되고 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들이 카세트(30)를 지지한 상태에서 카세트(30)에 적재된 웨이퍼(W)를 아래로부터 위로 순서적으로 제1,2,3,4 웨이퍼(W1)(W2)(W3)(W4)라 한다. 이때, 한 쌍의 지지유닛(700)의 롤러(740)들의 지지점을 연결한 가상의 연결 라인인 픽업 위치에 제1 웨이퍼(W1)가 위치하며, 제2,3,4 웨이퍼들(W2)(W3)(W4)은 카세트가 변형되어 있기 때문에 수직 방향으로 얼라인되지 않는다. 즉, 카세트(30)가 변형된 상태이므로 제2,3,4 웨이퍼들(W2)(W3)(W4)은 각각 제1 웨이퍼(W1)보다 오른쪽에 위치하게 되며 아래쪽에 위치한 웨이퍼보다 위쪽에 위치하는 웨이퍼가 더 오른쪽으로 위치하게 된다. 이와 같은 상태에서, 포크가 픽업 위치에 있는 제1 웨이퍼(W1)를 픽업하여 꺼낸 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 카세트(30)가 아래로 한 단계 이동할 때 롤러(740)들이 설정된 위치에 고정된 상태에서 카세트(30)를 지지하고 또한 카세트는 수평 방향으로 움직임 가능하게 되므로 카세트(30)는 왼쪽으로 움직이면서 아래로 한 단계 이동하게 된다. 이로 인하여, 제2 웨이퍼(W2)가 두 롤러(740)들의 지지점인 픽업 위치에 위치할 때 제2 웨이퍼(W2)가 픽업 위치의 설정 위치에 정확하게 얼라인된다.
상기 카세트(30)가 수평으로 이동 가능한 이동형 카세트 지지대(600)에 고정되므로 변형된 카세트(30)가 두 개의 롤러(740)들에 의해 지지된 상태로 아래로 이동할 때 카세트(30)의 변형된 상태에 따라 카세트(30)가 수평 방향인 좌우 방향으로 움직이면서 아래로 이동하는 것이 가능하게 된다. 한편, 상기 이동형 카세트 지지대(600)가 카세트(30)에 의해 수평방향으로 이동할 때 이동형 카세트 지지대(600)에 결합된 이동블록(622)이 탄성부재(623)들에 의해 탄성력을 받게 되므로 이동형 카세트 지지대(600)는 탄성력에 의해 지지된다.
이재유닛(800)의 포크(810)가 픽업 위치에 있는 제2 웨이퍼(W2)를 픽업하여 꺼낸 후 카세트(30)가 아래로 한 단계 더 이동하게 되면 두 개의 롤러(740)들이 설정된 위치에 고정된 상태에서 카세트(30)를 지지하게 되어 변형된 카세트(30)는 왼쪽으로 움직이면서 아래로 한 단계 이동하여 제3 웨이퍼(W3)가 픽업 위치로 이동하게 된다. 이로 인하여, 제3 웨이퍼(W3)가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다. 이와 같은 작동이 반복되면서 변형된 카세트(30)에 적재된 웨이퍼들은 각각 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인된다.
이와 같이, 웨이퍼(W)가 적재된 변형된 카세트(30)가 이동형 카세트 지지대(600)에 안착된 경우에도 변형된 카세트(30)에 적재된 각 웨이퍼(W)가 픽업 위치에서 설정된 위치에 정확하게 얼라인되므로 포크(810)가 픽업 위치에 있는 웨이퍼(W)를 픽업한 후 꺼내어 다른 장비의 설정된 위치에 적재시킬 때 설정된 위치에 정확하게 적재된다. 이로 인하여, 웨이퍼(W)를 다른 장비의 설정된 위치에 적재(또는 이송)시킬 때 웨이퍼(W)가 다른 장비의 부품에 충돌하여 파손되는 것을 방지하게 된다.
한편, 위에서는 웨이퍼들이 적재된 변형된 카세트에서 웨이퍼들을 픽업하여 꺼내는 경우에 대하여 설명하였으나, 웨이퍼들을 변형된 카세트에 적재할 경우에도 웨이퍼가 카세트에 부딪힘이 없이 카세트의 삽입홈에 정확하게 삽입하여 적재할 수 있다.
300; 상하 이동부재 600; 이동형 카세트 지지대 610; 가이드 유닛 620; 탄성형 스토퍼

Claims (8)

  1. 상하로 움직이는 상하 이동부재;
    상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 및
    상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 위치하며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함하며,
    상기 지지유닛은 몸체부와, 상기 몸체부에 결합되는 엑츄에이터와, 상기 엑츄에이터에 결합되는 보조 부재와, 상기 보조 부재에 회전 가능하게 결합되어 상기 카세트를 지지하는 롤러를 포함하는 카세트의 위치조절장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대의 수평 움직임을 안내하는 가이드 유닛이 구비되는 카세트의 위치조절장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 가이드 유닛은 상하 이동부재의 상면에 구비되는 가이드 레일과, 상기 이동형 카세트 지지대의 하면에 결합되며 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되는 슬라이딩 부재를 포함하며, 상기 가이드 레일의 길이 방향이 수평 방향으로 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 가이드 레일은 상기 한 쌍의 지지유닛들을 연결하는 가상의 연결선과 평행하게 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.
  5. 삭제
  6. 상하로 움직이는 상하 이동부재;
    상기 상하 이동부재에 수평방향으로 움직임 가능하게 결합되며, 카세트가 착탈 가능하게 안착되는 이동형 카세트 지지대; 및
    상기 이동형 카세트 지지대의 양쪽에 위치하며, 상기 상하 이동부재를 따라 상하로 이동하는 상기 카세트를 설정된 위치에서 지지하는 한 쌍의 지지유닛을 포함하며,
    상기 한 개의 지지유닛이 카세트의 한쪽을 지지하는 지지점과 다른 한 개의 지지유닛이 카세트의 다른 한쪽을 지지하는 지지점을 연결하는 가상의 연결 라인에 웨이퍼를 픽업하는 픽업 위치가 위치하는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.
  7. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 상하 이동부재와 이동형 카세트 지지대 사이에 상기 이동형 카세트 지지대를 탄성력으로 지지함과 아울러 이동형 카세트 지지대의 움직임 거리를 한정하는 탄성형 스토퍼가 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트의 위치조절장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 탄성형 스토퍼는 개구홈이 구비되며 상기 상하 이동부재에 결합되는 고정블록과, 상기 이동형 카세트 지지대에 결합되며 일측이 상기 고정블록의 개구홈에 삽입되는 이동블록과, 상기 고정블록에 각각 결합되어 상기 이동블록의 양쪽을 각각 지지하는 탄성부재들을 포함하는 카세트의 위치조절장치.
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