KR20150129916A - 기판의 열처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 열처리 장치에 관한 것으로서, 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부와, 이 챔버부에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부와, 이 셔터부를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 챔버부의 출입구를 회전구동부에 의해 상하로 슬라이딩되는 셔터부에 의해 개폐함으로써, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

Description

기판의 열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS FOR SUBSTRATE}
본 발명은 기판의 열처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이등 대면적 기판의 전면적에 걸쳐 고른 열처리를 수행하고 안정적인 승온 및 냉각이 가능한 기판의 열처리 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 제조 시 사용되는 대면적 기판 처리 시스템은 크게 증착 장치와 어닐링 장치로 구분될 수 있다.
증착 장치는 평판 디스플레이의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 화학 증착 장치와 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리 증착 장치가 있다.
어닐링(annealing) 장치는 평판 디스플레이 기판상에 증착되어 있는 소정의 박막에 대하여 결정화, 상 변화 등의 공정을 위한 필수적인 열처리를 담당하는 장치로서, 반도체 또는 태양전지에서 사용되는 실리콘 웨이퍼나 글래스와 같은 기판의 열처리에도 적용될 수 있다.
이와 같은 열처리 공정을 수행하기 위해서는 기판의 가열이 가능한 열처리 장치가 있어야 하며, 적정한 어닐링 효과를 위해서는 최소한 300℃ 이상의 온도로 승온하는 기판의 열처리 장치가 필요하다.
이러한 기판의 열처리 장치로는 1매의 기판을 열처리하는 매엽식(Single Substrate Type) 열처리 장치와, 복수매의 기판을 한번에 열처리 하는 배치식(Batch Type) 열처리 장치가 있다. 매엽식 열처리 장치는 구성이 간단한 이점이 있으나 생산성이 떨어지는 단점이 있으며, 대량 생산에는 배치식 열처리 장치를 많이 적용하고 있다.
또한, 다른 형식의 열처리 장치로는, 별도의 열원에 의해 공기를 가열한 열풍을 이용하여 기판을 열처리하는 열풍식 열처리 장치와, 기판의 둘레에 히터를 설치하여 히터의 발열에 의해 기판을 열처리하는 히터식 열처리 장치가 있다.
이와 같이 다양한 기판의 열처리 장치에는 기판을 열처리공간의 내부로 출입할 수 있도록 출입구가 설치되어 출입구를 개폐하게 되나, 출입구의 사이즈가 큰 경우에는 열처리 공간의 열손실이 많아 과다한 열원의 공급이 불가피하게 된다는 문제점이 있다.
또한, 기판의 출입시 출입구의 개폐시간이 과다하게 소요되는 경우에도 개폐시간 동안 열처리 공간의 열기가 외부로 유출되어, 열손실이 발생되어 추가되는 열원공급에 의해 열처리 비용이 증가하게 되는 문제도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 기판의 열처리 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 회전구동부재의 회전구동력을 볼스트류부재에 의해 승강구동력으로 용이하게 변환시킬 수 있는 기판의 열처리 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 감속기와 볼스크류에 의해 회전구동력을 승강구동력으로 변환하여 제1 승강플레이트와 제2 승강플레이트를 서로 대칭방향으로 승강시킬 수 있는 기판의 열처리 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 출입구와 셔터부 사이의 밀착력을 향상시키는 동시에 출입구의 기밀성을 향상시킬 수 있는 기판의 열처리 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 셔터부의 상부 셔터와 하부 셔터를 함께 밀착이동시키는 동시에 회전구동부와 연동하여 동작시킬 수 있는 기판의 열처리 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부(10); 상기 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부(20); 및 상기 셔터부(20)를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부(30);를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 상기 회전구동부(30)는, 상기 셔터부(20)에 개폐구동력을 제공하는 회전구동부재; 및 상기 회전구동부재의 구동력을 전달받아 상기 셔터부(20)의 상부 셔터와 하부 셔터에 동시에 전달하는 볼스크류부재;를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 상기 볼스크류부재는, 상기 회전구동부재의 회전단에 설치된 감속기; 상기 감속기에 연결된 볼스크류; 상기 볼스크류의 회전축을 따라 상하로 승강되며 상기 상부 셔터가 결합된 제1 승강플레이트; 및 상기 볼스크류의 회전축을 따라 상기 제1 승강플레이트와 반대방향으로 승강되며 상기 하부 셔터가 결합된 제2 승강플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 챔버부(10)의 출입구에 상기 셔터부(20)가 밀착되도록 구동시키는 전후진 구동부(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명의 상기 전후진 구동부(40)는, 상기 회전구동부(30)에 결합된 전후구동부재; 및 상기 전후구동부재에 의해 전후진되며 상기 셔터부(20)와 결합된 연결블럭;을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 챔버부의 출입구를 회전구동부에 의해 상하로 슬라이딩되는 셔터부에 의해 개폐함으로써, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 회전구동부로서 회전구동부재와 볼스크류부재를 사용함으로써, 회전구동부재의 회전구동력을 볼스트류부재에 의해 승강구동력으로 용이하게 변환시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 볼스크류부재로서, 감속기, 볼스크류, 제1 승강플레이트 및 제2 승강플레이트를 구비함으로써, 감속기와 볼스크류에 의해 회전구동력을 승강구동력으로 변환하여 제1 승강플레이트와 제2 승강플레이트를 서로 대칭방향으로 승강시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 출입구의 전방에 셔터부를 밀착시키도록 전후진 구동부를 설치함으로써, 출입구와 셔터부 사이의 밀착력을 향상시키는 동시에 출입구의 기밀성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 전후진 구동부로서 전후구동부재와 연결블럭을 구비함으로써, 셔터부의 상부 셔터와 하부 셔터를 함께 밀착이동시키는 동시에 회전구동부와 연동하여 동작시킬 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 일방을 나타내는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 타방을 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치를 나타내는 평면도.
도 5는 도 4의 일부를 확대한 확대도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 폐쇄상태를 나타내는 상태도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 개방상태를 나타내는 상태도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 폐쇄상태를 나타내는 확대상태도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 개방상태를 나타내는 확대상태도.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 더욱 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치를 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 일방을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 타방을 나타내는 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치를 나타내는 평면도이고, 도 5는 도 4의 일부를 확대한 확대도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 폐쇄상태를 나타내는 상태도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 개방상태를 나타내는 상태도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 폐쇄상태를 나타내는 확대상태도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 열처리 장치의 개방상태를 나타내는 확대상태도이다.
도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판의 열처리 장치는, 챔버부(10), 셔터부(20) 및 회전구동부(30)를 포함하여 이루어져, 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 셔터부(20)를 개폐하는 기판의 열처리 장치이다.
챔버부(10)는, 내부에 기판이 수납되어 열처리되는 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부재로서, 박스형상으로 형성된 챔버부(10)의 일방에는 기판이 내부로 출입할 수 있도록 하나 이상의 출입구가 형성되어 있다.
이러한 출입구는, 챔버부(10)의 일방에 수평 길이방향으로 절취형성되어 평판형상 기판의 출입이 용이하게 형성되어 있으며, 복수개의 출입구가 상하방향으로 일정거리 이격형성되어 있는 것도 가능함은 물론이다.
셔터부(20)는, 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하방향으로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)를 구비한 개폐부재로서, 출입구의 전방에 설치되어 출입구를 개폐하게 된다.
상부 셔터(21)는, 출입구의 상반부위를 개폐하는 개폐부재로서, 상방으로 슬라이딩하여 출입구를 개방하게 되고, 하방으로 슬라이딩하여 출입구를 폐쇄하게 ㄷ된다.
또한, 이러한 상부 셔터(21)는, 내향면 및 하단면에 출입구와의 밀착력 및 하부 셔터(22)와의 밀착력을 향상시키도록 고무나 실리콘 등과 같은 기밀부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
하부 셔터(22)는, 출입구의 하반부위를 개폐하는 개폐부재로서, 하방으로 슬라이딩하여 출입구를 개방하게 되고, 상방으로 슬라이딩하여 출입구를 폐쇄하게 된다.
또한, 이러한 하부 셔터(22)는, 내향면 및 상단면에 출입구와의 밀착력 및 상부 셔터(21)와의 밀착력을 향상시키도록 고무나 실리콘 등과 같은 기밀부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
회전구동부(30)는, 도 5 및 도 8에 나타낸 바와 같이 셔터부(20)의 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)의 양단에 결합되어 상하로 각각 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 구동수단으로서, 회전구동부재(31)와 볼스크류부재로 이루어져 있다.
회전구동부재(31)는, 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)의 양단에 결합되어 상하로 각각 슬라이딩시키는 개폐구동력을 제공하는 회전구동수단으로서, 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)를 상하로 각각 슬라이딩시켜 출입구를 개폐하도록 정회전 및 역회전이나 회전속도 등에 대한 제어가 가능한 서보모터 등와 같은 구동모터를 사용하는 것이 바람직하다.
볼스크류부재는, 회전구동부재(31)의 회전구동력을 전달받아 셔터부(20)의 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)에 승강구동력을 동시에 전달하는 동력전달부재로서, 감속기(32), 볼스크류(33), 이동블럭(34), 지지플레이트(35), LM가이드(36), 승강플레이트(37)로 이루어져 있다.
감속기(32)는, 회전구동부재(31)의 회전단에 연결되어 회전구동부재(31)의 회전력을 감속기어비에 의해 감속시키는 감속수단으로서, 감속기(32)의 입력단에는 회전구동부재(31)의 회전축이 연결되어 있고, 출력단에는 볼스크류(33)가 연결되어 있다.
볼스크류(33)는, 감속기(32)의 출력단에 연결되어 회전구동력을 왕복구동력으로 변환시키는 동력변환수단으로서, 감속기(32)의 상부 출력단에 연결된 제1 볼스크류(33a)와 하부 출력단에 연결된 제2 볼스크류(33b)로 이루어져 있다.
제1 볼스크류(33a)와 제2 볼스크류(33b)는 회전구동부재(31)의 회전구동시 서로 반대방향으로 회전되어 서로 반대방향으로 슬라이딩 이동시키거나, 동일한 방향으로 회전되더라도 서로 반대방향으로 슬라이딩 이동시키도록 나사산이 반대로 형성되어 있는 것이 바람직하다.
구체적인 경우로는 제1 볼스크류(33a)가 정회전하고 제2 볼스크류(33b)가 역회전되는 경우, 또는 제1 볼스크류(33a)에 오른 나사산이 형성되고 제2 볼스크류(33b)에 왼 나사산이 형성되어 있는 경우이다.
또한, 볼스크류(33)의 상단 및 하단에는 볼스크류(33)를 회전가능하게 지지하도록 베어링 등과 같은 회전지지부재가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 제1 볼스크류(33a)의 상단에는 제1 회전지지부재(33c)가 설치되어 있고, 제2 볼스크류(33b)의 하단에는 제2 회전지지부재(33d)가 설치되어 있다.
이동블럭(34)은, 볼스크류(33)에 나합 연결되어 볼스크류(33)의 회전에 의해 왕복이동하는 이동수단으로서, 제1 볼스크류(33a)에 연결된 제1 이동블럭(34a)과 제2 볼스크류(33b)에 연결된 제2 이동블럭(34b)으로 이루어져 있다.
지지플레이트(35)는, 챔버부(10)의 벽체에 고정되어 셔터부(20)를 승강시키도록 볼스크류부재를 지지하는 지지부재로서, 지지플레이트(35)의 일방에는 이동블럭(34)이 승강하게 되고 지지플레이트(35)의 타방에는 승강플레이트(37)가 이동블럭(34)에 연결되어 승강되도록 지지플레이트(35)의 중앙부위에는 승강위치에 따라 상하 길이방향의 슬롯이 형성되어 있다.
LM가이드(36)는, 지지플레이트(35)에 상하 길이방향으로 설치되어 승강플레이트(37)를 승강하도록 안내하는 안내부재로서, LM가이드(36)의 상단 및 하단에는 승강플레이트(37)의 승강위치를 제한하도록 스토퍼가 설치되어 있다.
승강플레이트(37)는, 볼스크류(33)에 나합되어 승강하는 이동블럭(34)에 결합되어 상하로 각각 승강되는 승강수단으로서, 제1 볼스크류(33a)의 회전축을 따라 상하로 승강되며 상부 셔터(21)가 결합된 제1 승강플레이트(37a)와, 제2 볼스크류(33b)의 회전축을 따라 제1 승강플레이트(37a)와 반대방향으로 승강되며 하부 셔터(22)가 결합된 제2 승강플레이트(37b)를 포함하여 이루어져 있다.
또한, 본 실시예의 기판의 열처리 장치는, 챔버부(10)의 출입구에 셔터부(20)가 밀착되도록 전후진 구동시키는 전후진 구동부(40)를 더 포함하여 이루어지는 것도 가능함은 물론이다.
전후진 구동부(40)는, 챔버부(10)의 출입구에 셔터부(20)의 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)가 각각 밀착되도록 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)의 양단에 결합되어 전후진 구동시키는 구동수단으로서, 전후구동부재(41)와 연결블럭(42)으로 이루어져 있다.
전후구동부재(41)는, 회전구동부(30)에 결합되어 셔터부(20)와 함께 상하로 승강되는 동시에 셔터부(20)의 양단에 전후진 구동력을 제공하는 전후구동수단으로서, 이러한 전후구동부재(41)로는 유공압 실린더와 같은 이루어진 선형구동부재로 이루어져 있는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 전후구동부재(41)는, 제1 승강플레이트(37a)의 양단에 결합되어 상부 셔터(21)를 전후진시키는 제1 전후구동부재(41a)와, 제2 승강플레이트(37b)의 양단에 결합되어 하부 셔터(22)를 전후진시키는 제2 전후구동부재(41b)로 이루어져 있다.
따라서, 회전구동부(30)의 제1 승강플레이트(37a)와 제2 승강플레이트(37b)에 각각 결합된 제1 전후구동부재(41a)와 제2 전후구동부재(41b)에 의해 상부 셔터(21)와 하부 셔터(22)를 전후방으로 이동시켜 출입구에 밀착시키게 된다.
연결블럭(42)은, 전후구동부재(41)의 출력단에 결합되어 전후구동부재(41)에 의해 전후진되며 셔터부(20)의 양단과 결합된 연결부재이다. 이러한 연결블럭(42)은, 제1 전후구동부재(41a)의 출력단에 결합되며 상부 셔터(21)의 양단에 각각 결합된 제1 연결블럭(42a)과, 제2 전후구동부재(41b)의 출력단에 결합되며 하부 셔터(22)의 양단에 각각 결합된 제2 연결블럭(42b)으로 이루어져 있다.
이하, 도 6 내지 도 9를 참조하여 본 실시예의 기판의 열처리 장치의 작동상태를 구체적으로 설명한다.
도 6 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 회전구동부(30)에 의해 셔터부(20)의 상부 셔터(21)를 하방으로 슬라이딩시키고 하부 셔터(22)를 상방으로 슬라이딩시켜 챔버부(10)의 출입구의 전방에 셔터부(20)를 위치시키고, 전후진 구동부(40)에 의해 셔터부(20)를 출입구의 전방에 밀착시켜 출입구를 폐쇄하게 된다.
도 7 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 전후진 구동부(40)에 의해 셔터부(20)를 출입구의 전방에서 이격시키고, 회전구동부(30)에 의해 셔터부(20)의 상부 셔터(21)를 상방으로 슬라이딩시키고 하부 셔터(22)를 하방으로 슬라이딩시켜 챔버부(10)의 출입구의 전방에서 셔터부(20)를 상하로 분리 이동시켜 출입구를 개방하게 된다.
또한, 이러한 본 실시예의 기판의 열처리 장치는, 챔버부(10)의 출입구에 설치된 셔터부(20)를 구비한 구성으로서, 열풍식 열처리 장치의 챔버부의 출입구 또는 히터식 열처리 장치의 챔버부의 출입구에 설치되어, 셔터부(20)에 의해 다양한 열처리 장치의 챔버부(10)의 출입구를 개폐하는 것도 가능함은 물론이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 챔버부의 출입구를 회전구동부에 의해 상하로 슬라이딩되는 셔터부에 의해 개폐함으로써, 출입구의 개폐공간을 최소화하고 출입구의 개폐시간을 단축시켜 챔버부의 열손실을 감소시키는 동시에 챔버부의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 회전구동부로서 회전구동부재와 볼스크류부재를 사용함으로써, 회전구동부재의 회전구동력을 볼스트류부재에 의해 승강구동력으로 용이하게 변환시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 볼스크류부재로서, 감속기, 볼스크류, 제1 승강플레이트 및 제2 승강플레이트를 구비함으로써, 감속기와 볼스크류에 의해 회전구동력을 왕복구동력으로 변환하여 제1 승강플레이트와 제2 승강플레이트를 서로 대칭방향으로 승강시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 출입구의 전방에 셔터부를 밀착시키도록 전후진 구동부를 설치함으로써, 출입구와 셔터부 사이의 밀착력을 향상시키는 동시에 출입구의 기밀성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
또한, 전후진 구동부로서 전후구동부재와 연결블럭을 구비함으로써, 셔터부의 상부 셔터와 하부 셔터를 함께 밀착이동시키는 동시에 회전구동부와 연동하여 동작시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.
10: 챔버부 20: 셔터부
30: 회전구동부 40: 전후진 구동부

Claims (5)

  1. 기판의 열처리공간을 제공하는 챔버부(10);
    상기 챔버부(10)에 형성된 하나 이상의 출입구에 기판을 출입하도록 상하로 각각 슬라이딩되어 개폐되는 상부 셔터와 하부 셔터를 구비한 셔터부(20); 및
    상기 셔터부(20)를 슬라이딩시키는 회전구동력을 제공하는 회전구동부(30);를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 회전구동부(30)는,
    상기 셔터부(20)에 개폐구동력을 제공하는 회전구동부재; 및
    상기 회전구동부재의 회전구동력을 전달받아 상기 셔터부(20)의 상부 셔터와 하부 셔터를 동시에 슬라이딩시키도록 변환해서 전달하는 볼스크류부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 볼스크류부재는,
    상기 회전구동부재의 회전단에 설치된 감속기;
    상기 감속기에 연결된 볼스크류;
    상기 볼스크류의 회전축을 따라 상하로 승강되며 상기 상부 셔터가 결합된 제1 승강플레이트; 및
    상기 볼스크류의 회전축을 따라 상기 제1 승강플레이트와 반대방향으로 승강되며 상기 하부 셔터가 결합된 제2 승강플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버부(10)의 출입구에 상기 셔터부(20)가 밀착되도록 구동시키는 전후진 구동부(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 전후진 구동부(40)는,
    상기 회전구동부(30)에 결합된 전후구동부재; 및
    상기 전후구동부재에 의해 전후진되며 상기 셔터부(20)와 결합된 연결블럭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 열처리 장치.
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