KR20100058805A

KR20100058805A - Picker system of test handler

Info

Publication number: KR20100058805A
Application number: KR1020080117348A
Authority: KR
Inventors: 이재동; 박창억
Original assignee: 세크론 주식회사
Priority date: 2008-11-25
Filing date: 2008-11-25
Publication date: 2010-06-04
Also published as: KR101042693B1

Abstract

PURPOSE: A picker system of a test handler is provided to improve operation reliability by forming vacuum integrally. CONSTITUTION: A plurality of pickers(110) picks up a semiconductor device. A pitch setting part(120) controls the pitch between a plurality of peakers. A vacuum part(130) offers vacuum to the peakers. The vacuum part comprises an air ejector(131), a vacuum line(132), and a switch valve(133). The air ejector has a flow path. A first compressed air flows through the flow path. Vacuum lines forms the vacuum in the peakers. The switch valves open and close the vacuum lines.

Description

Picker system of test handler

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 테스트 핸들러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 장치들을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에서 반도체 소자들의 이송할 때 사용되는 피커 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler for testing semiconductor devices, and more particularly, to a picker system used when transferring semiconductor devices in a test handler for testing semiconductor devices.

일반적으로, 휘발성 또는 불휘발성 메모리 소자들, 시스템 LSI (Large-Scale integration) 회로 소자들과 같은 반도체 소자들은 다양한 테스트 과정들을 통해 동작 특성들이 테스트된 후 출하된다.In general, semiconductor devices such as volatile or nonvolatile memory devices and system large-scale integration (LSI) circuit devices are shipped after the operating characteristics have been tested through various test procedures.

테스트 핸들러는 상기 반도체 소자들을 테스트하기 위하여 상기 반도체 장치들을 테스트 챔버로 이송한다. 특히, 테스트할 상기 반도체 소자들은 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이로 이송되며, 상기 테스트 챔버에서 테스트된 반도체 소자들은 테스트 트레이로부터 버퍼 트레이를 경유하여 커스터머 트레이로 이송된다.A test handler transfers the semiconductor devices to a test chamber for testing the semiconductor devices. In particular, the semiconductor devices to be tested are transferred from the customer tray to the test tray, and the semiconductor devices tested in the test chamber are transferred from the test tray to the customer tray via the buffer tray.

이러한, 테스트 핸들러는 상기 트레이들 사이에서 반도체 소자들을 이송하기 위한 피커 시스템(picker system)을 포함한다. 상기 피커 시스템은 최근 이송 시간을 단축시키기 위하여 동시에 다수의 반도체 소자들을 이송할 수 있도록 다수의 피커들을 갖도록 구성되고 있다.This, test handler includes a picker system for transferring semiconductor elements between the trays. The picker system is configured to have a plurality of pickers to be able to transfer a plurality of semiconductor elements at the same time to shorten the recent transfer time.

상기 피커 시스템에서 상기 피커들의 배치는 상기 트레이들에 반도체 소자들의 수납을 위해 구비된 소켓들의 배치 구조에 대응하는 구조를 갖게 된다. 상기 커스터머 트레이, 버퍼 트레이, 테스트 트레이는 반도체 소자들이 수납되는 소켓의 피치가 서로 동일하지 않기 때문에 동시에 다수의 반도체 소자들을 이송하기 위한 피커 시스템에는 상기 트레이들에 대응하여 피커들의 피치를 조절하기 위한 피치 조절부가 구비된다.The arrangement of the pickers in the picker system has a structure corresponding to the arrangement of sockets provided for the storage of semiconductor elements in the trays. Since the pitches of the sockets in which the semiconductor devices are accommodated are not equal to each other, the customer tray, the buffer tray, and the test tray are pitches for adjusting the pitches of the pickers corresponding to the trays. The adjusting unit is provided.

또한, 상기 피커 시스템에서 상기 피커들은 진공 흡착 방식으로 반도체 소자들을 픽업하게 되며, 이를 위해 상기 피커들에 진공을 형성하기 위한 구성이 구비된다.In addition, in the picker system, the pickers pick up the semiconductor elements by a vacuum suction method, and a configuration for forming a vacuum in the pickers is provided for this purpose.

하지만, 상기 피커들에 대해 진공을 형성하기 위한 구성 및 진공의 형성 및 파기를 제어하기 위한 밸브가 개별적으로 구비됨에 따라서 부품수가 증가되어 장치의 제조 비용이 상승되는 문제점과 함께, 동작의 신뢰성이 취약하다는 문제점을 갖는다. 따라서, 제조 비용을 낮추고, 동작 신뢰성을 향상시킬 수 있는 테스트 핸들러용 피커 시스템이 요구되고 있다.However, a configuration for forming a vacuum for the pickers and a valve for controlling the formation and destruction of the vacuum are separately provided, so that the number of parts increases and the manufacturing cost of the device increases, and reliability of operation is weak. Has the problem. Accordingly, there is a need for a picker system for test handlers that can lower manufacturing costs and improve operational reliability.

따라서 본 발명의 실시예들을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 기존 대비 제조 비용을 절감하고, 진공을 통합적으로 형성하여 동작 신뢰성을 향상시킬 수 있는 테스트 핸들러의 피커 시스템을 제공하는 것이다.Therefore, one problem to be solved by embodiments of the present invention is to provide a picker system of a test handler that can reduce the manufacturing cost compared to the existing, and can form an integrated vacuum to improve the operation reliability.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템은 반도체 소자를 픽업하기 위한 다수의 피커들과, 상기 다수의 피커들 사이의 피치를 조절하기 위한 피치 조절부와, 상기 반도체 소자의 픽업을 위해 상기 피커들에 진공을 제공하는 진공부를 포함한다. 특히, 상기 진공부는 에어 이젝터, 진공 라인들 및 전환 밸브들을 포함한다. 상기 에어 이젝터는 제1 압축 공기가 흐르는 유로를 갖는다. 상기 진공 라인들은 상기 에어 이젝터의 유로로부터 분기되어 상기 피커들에 각각 연결되며, 상기 제1 압축 공기가 상기 유로를 흐름에 의해 상기 피커들에 진공을 형성한다. 상기 전환 밸브들은 상기 진공 라인들 상에 각각 구비되어 상기 진공 라인들을 개폐한다.In order to achieve the above object of the present invention, a picker system of a test handler according to the present invention includes a plurality of pickers for picking up a semiconductor device, a pitch adjusting unit for adjusting a pitch between the plurality of pickers, and And a vacuum unit providing a vacuum to the pickers for pickup of a semiconductor device. In particular, the vacuum section comprises an air ejector, vacuum lines and switching valves. The air ejector has a flow path through which the first compressed air flows. The vacuum lines branch from the flow path of the air ejector and are respectively connected to the pickers, and the first compressed air forms a vacuum in the pickers by flowing the flow path. The switching valves are provided on the vacuum lines, respectively, to open and close the vacuum lines.

여기서, 일 실시예에 따르면, 상기 전환 밸브들을 통해 상기 피커들로 제2 압축 공기를 공급하기 위해 상기 전환 밸브들에 각각 연결되는 공기 라인들을 포함하며, 상기 피커들의 진공 상태는 상기 전환 밸브가 상기 진공 라인을 폐쇄하고 상기 공기 라인을 연결하여 상기 피커들로 공급되는 상기 제2 압축 공기에 의해 해제되는 것을 특징으로 할 수 있다.Here, according to one embodiment, it comprises air lines respectively connected to the switch valves for supplying a second compressed air to the pickers through the switch valves, the vacuum state of the pickers is such that The vacuum line may be closed and the air line may be connected to be released by the second compressed air supplied to the pickers.

다른 실시예에 따르면, 상기 제2 압축 공기는 상기 제1 압축 공기보다 낮은 압력을 갖는다.According to another embodiment, the second compressed air has a lower pressure than the first compressed air.

또 다른 실시예에 따르면, 각각의 전환 밸브는 전기적으로 작동하여 상기 피커에 상기 진공 라인 또는 상기 공기 라인을 연결하는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)일 수 있다.According to yet another embodiment, each switch valve may be a solenoid valve electrically operated to connect the vacuum line or the air line to the picker.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 진공부는 상기 에어 이젝터의 유로로부터 분사되는 공기를 통과시키며, 상기 분사되는 공기의 소음을 감소시키는 소음기를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment, the vacuum unit may further include a silencer for passing the air injected from the flow path of the air ejector, and reduces the noise of the injected air.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 피커들은 행렬 형태로 배치되며, 상기 피치 조절부는 다수의 제1 가이드부들과, 다수의 제2 가이드부들과, 제1 피치 조절 플레이트와 제2 피치 조절 플레이트를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 가이드부들은 상기 피커들을 행 단위로 연결하고, 상기 피커들의 행 방향 이동을 안내한다. 상기 제2 가이드부들은 상기 피커들을 열 단위로 연결하고, 상기 피커들의 열 방향 이동을 안내한다. 상기 제1 피치 조절 플레이트는 상기 피커들의 열 방향 X-피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제1 궤도들을 갖고, 상기 제1 가이드부들이 상기 제1 궤도들을 따라 동작하도록 구성된다. 상기 제2 피치 조절 플레이트는 상기 피커들의 행 방향 Y-피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제2 궤도들을 갖고, 상기 제2 가이드부들이 상기 제2 궤도들을 따라 동작하도록 구성된다.According to another embodiment, the pickers are arranged in a matrix form, and the pitch adjusting part may include a plurality of first guide parts, a plurality of second guide parts, a first pitch adjusting plate and a second pitch adjusting plate. Can be. Here, the first guide parts connect the pickers in a row unit and guide the movement of the pickers in a row direction. The second guide parts connect the pickers in units of rows and guide the movement of the pickers in the column direction. The first pitch adjustment plate has a plurality of first trajectories extending in different directions to adjust the column direction X-pitch of the pickers, and the first guide portions are configured to operate along the first trajectories. The second pitch adjustment plate has a plurality of second trajectories extending in different directions to adjust the row direction Y-pitch of the pickers, and the second guide portions are configured to operate along the second trajectories.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 피치 조절 플레이트에는 상기 제1 궤도 들로서 기능하는 다수의 제1 슬롯들이 형성되고, 상기 제2 피치 조절 플레이트에는 상기 제2 궤도들로서 기능하는 다수의 제2 슬롯들이 형성될 수 있다. 또한, 상기 제1 가이드부들의 단부는 상기 제1 슬롯들 내에 각각 배치되고 상기 제1 가이드부들의 단부들에는 상기 제1 슬롯들의 내측면에 접하는 제1 롤러들이 각각 설치되며, 상기 제2 가이드부들의 단부는 상기 제2 슬롯들 내에 각각 배치되고 상기 제2 가이드부들의 단부들에는 상기 제2 슬롯들의 내측면에 접하는 제2 롤러들이 각각 설치될 수 있다.According to yet another embodiment, the first pitch adjustment plate is formed with a plurality of first slots that function as the first trajectories, and the second pitch adjustment plate has a plurality of second slots that function as the second trajectories. Can be formed. In addition, end portions of the first guide portions may be disposed in the first slots, respectively, and end portions of the first guide portions may be provided with first rollers in contact with inner surfaces of the first slots, respectively. Ends of the plurality of rollers may be disposed in the second slots, respectively, and second rollers may be installed at the ends of the second guide parts to be in contact with inner surfaces of the second slots.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 피치 조절부는 제1 가이드 부재와, 제2 가이드 부재와, 제1 프레임 및 제2 프레임을 포함할 수 있다. 상기 제1 가이드 부재는 각각의 제1 가이드부의 양단부에 각각 배치되고 상기 제1 피치 조절 플레이트의 승강에 의해 상기 제1 가이드부가 이동될 때 상기 제1 가이드부가 열 방향 이동하도록 안내한다. 상기 제2 가이드 부재는 각각의 제2 가이드부의 양단부에 각각 배치되고 상기 제2 피치 조절 플레이트의 승강에 의해 상기 제2 가이드부가 이동될 때 상기 제2 가이드부가 행 방향 이동하도록 안내한다. 상기 제1 프레임은 상기 행렬 형태로 배치되는 다수의 피커들을 둘러싸는 구조를 갖고, 상기 제1 가이드 부재 및 제2 가이드 부재가 설치된다. 상기 제2 프레임은 상기 제1 프레임의 상면에 연결되고, 그 둘레에 상기 제1 피치 조절 플레이트 및 제2 피치 조절 플레이트가 이동 가능하도록 배치될 수 있다.According to another embodiment, the pitch adjusting unit may include a first guide member, a second guide member, a first frame and a second frame. The first guide member is disposed at both ends of each first guide portion, and guides the first guide portion to move in the column direction when the first guide portion is moved by lifting and lowering the first pitch adjusting plate. The second guide member is disposed at both ends of each second guide portion, and guides the second guide portion to move in a row direction when the second guide portion is moved by lifting and lowering the second pitch adjusting plate. The first frame has a structure surrounding a plurality of pickers arranged in the matrix form, and the first guide member and the second guide member are installed. The second frame may be connected to an upper surface of the first frame, and the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate may be disposed around the first frame.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 피커들은 그 상단부에 설치되는 제3 롤러들을 포함하고, 상기 제2 가이드부들은 열 방향으로 연장하는 슬롯들을 포함하며, 상 기 제3 롤러들은 상기 제2 가이드부들의 슬롯들 내에 위치할 수 있다.According to yet another embodiment, the pickers include third rollers installed at an upper end thereof, the second guide parts include slots extending in a column direction, and the third rollers are formed of the second guide parts. May be located in the slots.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 피커들의 열 방향 X-피치 및 행 방향 Y-피치를 조절하기 위하여 상기 제1 피치 조절 플레이트 및 제2 피치 조절 플레이트를 승강시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.According to another embodiment, the driving unit may further include a driving unit for elevating the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate to adjust the column direction X-pitch and the row direction Y-pitch of the pickers.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 이동부와 연결부를 포함한다. 상기 이동부는 상기 제1 피치 조절 플레이트의 양단부에 인접하여 각각 설치되고, 상기 제1 피치 조절 플레이트의 일단부 및 상기 제2 피치 조절 플레이트의 일단부가 결합된다. 상기 연결부는 상기 구동부의 구동력에 의해 상기 제1 피치 조절 플레이트 및 제2 피치 조절 플레이트를 승강 시킬 수 있도록 상기 구동부와 상기 이동부를 연결한다. 여기서, 상기 이동부 및 연결부를 통해 상기 제1 피치 조절 플레이트 및 제2 피치 조절 플레이트와 연결될 수 있다.According to yet another embodiment, the drive unit includes a moving unit and a connecting unit. The moving parts are respectively provided adjacent to both ends of the first pitch adjustment plate, and one end of the first pitch adjustment plate and one end of the second pitch adjustment plate are coupled. The connection part connects the driving part and the moving part to lift and lower the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate by the driving force of the driving part. Here, the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate may be connected to the moving part and the connecting part.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템은 압축 공기를 이용하여 진공을 형성하기 위한 하나의 에어 이젝터와, 상기 에어 이젝터와 각각의 피커들을 연결하여 진공을 제공하는 진공 라인들을 전환 밸브들로 개폐함으로써 피커들에 진공을 제공한다. 따라서, 에어 이젝터가 통합형 구조를 가지므로 장치의 제조 비용을 절감할 수 있고, 전환 밸브의 동작에 의해 형성된 진공을 피커들에 제공하거나 해제하게 되므로 동작의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.The picker system of the test handler according to the present invention configured as described above includes one air ejector for forming a vacuum using compressed air, and vacuum lines for connecting the air ejector and the respective pickers to provide a vacuum. Opening and closing provides a vacuum to the pickers. Therefore, since the air ejector has an integrated structure, it is possible to reduce the manufacturing cost of the device, and to provide or release the vacuum formed by the operation of the switching valve to the pickers, thereby improving the reliability of the operation.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피 커 시스템에 대하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a picker system of a test handler according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the invention, and are actually shown in a smaller scale than the actual dimensions in order to explain the schematic configuration. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템을 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 에어 이젝터의 개념을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a picker system of a test handler according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a concept of an air ejector illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템(100)은 반도체 소자들을 테스트하기 위한 테스트 핸들러에서 사용되는 커스터머 트레이, 테스트 트레이, 버퍼 트레이 사이에서 반도체 소자들을 픽업하여 이송하기 위하여 사용될 수 있다.1 and 2, a picker system 100 of a test handler according to an embodiment of the present invention may include semiconductor devices between a customer tray, a test tray, and a buffer tray used in a test handler for testing semiconductor devices. Can be used to pick up and transport.

상기 피커 시스템은(100)은 반도체 소자를 픽업하기 위한 다수의 피커들(110)과, 상기 피커들(110) 사이의 피치를 조절하기 위한 피치 조절부(120)와 상기 반도체 소자들의 픽업을 위해 상기 피커들(110)에 진공을 형성하는 진공부(130)를 포함할 수 있다.The picker system 100 may include a plurality of pickers 110 for picking up semiconductor devices, a pitch adjuster 120 for adjusting a pitch between the pickers 110, and a picker for picking up the semiconductor devices. It may include a vacuum unit 130 for forming a vacuum in the pickers 110.

상기 피커들(110)은 커스터머 트레이, 테스트 트레이, 버퍼 트레이 사이에서 반도체 소자들을 이송할 때 상기 반도체 소자들을 픽업하는 역할을 한다. 상기 피 커들(110)은 예를 들어 행렬 형태로 배치될 수 있고, 상기 행 및 열의 수는 다양하게 변경 가능하다. 상기 피커들(110)은 상기 진공부(130)로부터 제공되는 진공을 이용하여 반도체 소자들을 진공 흡착하는 방식으로 픽업한다.The pickers 110 serve to pick up the semiconductor devices when transferring the semiconductor devices between the customer tray, the test tray, and the buffer tray. The pickers 110 may be arranged in a matrix form, for example, and the number of rows and columns may be variously changed. The pickers 110 pick up semiconductor elements by vacuum suction by using a vacuum provided from the vacuum unit 130.

상기 피치 조절부(120)는 상기 피커들(110) 사이의 피치를 조절하는 역할을 한다. 상기 피치 조절부(120)는 상기 커스터머 트레이, 테스트 트레이, 버퍼 트레이에서 상기 반도체 소자들을 수납하기 위해 구비되는 소켓들의 피치가 서로 상이하기 때문에 이들 사이에서 반도체 소자들을 이송할 때 픽업된 반도체 소자들 사이의 피치를 보정하기 위하여 구비된다. 상기 피치 조절부(120)에 대해서는 추후 보다 상세히 설명한다.The pitch adjusting unit 120 serves to adjust the pitch between the pickers 110. Since the pitch adjusting unit 120 has different pitches of the sockets provided for accommodating the semiconductor elements in the customer tray, the test tray, and the buffer tray, the pitch adjusting unit 120 may transfer between the semiconductor elements picked up when the semiconductor elements are transferred therebetween. It is provided to correct the pitch of. The pitch adjusting unit 120 will be described in more detail later.

상기 진공부(130)는 상기 피커들(110)이 반도체 소자들을 픽업할 수 있도록 상기 피커들(110)로 진공을 제공한다. 상기 진공부(130)는 에어 이젝터(131), 진공 라인(132), 전환 밸브(133) 및 공기 라인(134)을 포함할 수 있다.The vacuum unit 130 provides a vacuum to the pickers 110 so that the pickers 110 may pick up the semiconductor devices. The vacuum unit 130 may include an air ejector 131, a vacuum line 132, a switching valve 133, and an air line 134.

상기 에어 이젝터(131)는 제1 압축 공기(P1)를 이용하여 진공을 형성한다. 본 실시예에서 상기 에어 이젝터(131)는 하나(단일)로 구성된다. 이와 달리, 상기 에어 이젝터(131)는 두 개 또는 그 이상의 개수로도 형성될 수 있다. 하지만, 제조 비용을 절감 및 동작 신뢰성의 개선을 위해서는 상기 에어 이젝터(131)는 하나가 바람직하며, 진공력의 부족에 의해 증가되더라도 두 개 또는 세 개와 같이 최대한 적은 개수로 구성하는 것이 바람직할 것이다. 상기 에어 이젝터(131)가 하나로 구성될 때 상기 에어 이젝터(131)는 상기 피커들(131) 전체에서 요구되는 진공 용량을 감당할 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 에어 이젝터(131)에서 형성되는 진공의 용량은 상기 피커들(131) 전체에서 동시에 요구되는 진공의 용량들을 합한 값에 대응하도록 구성될 수 있다. 예를 들어 상기 에어 이젝터(131)의 진공 용량은 약 80ℓ/min 내지 100ℓ/min 범위를 가질 수 있으며, 바람직하게는 상기 에어 이젝터(131)의 진공 용량은 약 90ℓ/min일 수 있다.The air ejector 131 forms a vacuum using the first compressed air P1. In this embodiment, the air ejector 131 is composed of one (single). Alternatively, the air ejector 131 may be formed of two or more numbers. However, in order to reduce the manufacturing cost and improve the operation reliability, one air ejector 131 is preferable, and even if it is increased by the lack of vacuum force, it may be preferable to configure as few as possible, such as two or three. When the air ejector 131 is configured as one, the air ejector 131 is provided to handle the vacuum capacity required by the pickers 131 as a whole. That is, the capacity of the vacuum formed in the air ejector 131 may be configured to correspond to the sum of the capacity of the vacuum required simultaneously in the entire picker 131. For example, the vacuum capacity of the air ejector 131 may range from about 80 l / min to 100 l / min. Preferably, the vacuum capacity of the air ejector 131 may be about 90 l / min.

상기 에어 이젝터(131)가 상기 제1 압축 공기(P1)를 이용하여 진공을 형성하므로 외부 장치로부터 상기 제1 압축 공기(P1)를 공급하기 위한 제1 공기 라인(131a)이 연결된다. 상기 에어 이젝터(131)의 내부에는 상기 제1 압축 공기(P1)가 흐르는 유로(131b)를 가지며, 상기 제1 압축 공기(P1)를 상기 유로(131b)로 흘려 보내 분사하는 방식으로 진공을 형성한다. 더 나아가서, 상기 에어 이젝터((131)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 유로(131b)에 그 직경이 작아지는 구간(131c)을 갖는다. 이는 베르누이 정리에 의해 직경이 좁은 구간(131c)을 제1 압축 공기(P1)가 흐르게 되면 상기 직경이 좁은 구간(131c) 이후에 유속이 빨라지고, 상대적으로 압력이 낮아지는 현상을 이용하는 것이다. 이에, 상기 유로(131b)와 연결되는, 보다 정확히는 상기 지경이 좁은 구간(131)에서 분기되는 구조로 분기 라인(131d)이 구비된다. 상기 분기 라인(131d)에는 상기 유로(131b)로 제1 압축 공기(P1)가 흐름에 의해 진공(V)이 형성된다.Since the air ejector 131 forms a vacuum using the first compressed air P1, a first air line 131a for supplying the first compressed air P1 from an external device is connected. The air ejector 131 has a flow path 131b through which the first compressed air P1 flows, and a vacuum is formed by flowing the first compressed air P1 into the flow path 131b and injecting the same. do. Further, the air ejector 131 has a section 131c in which the diameter thereof becomes smaller in the flow path 131b, as shown in Fig. 2. This eliminates the section 131c having a narrow diameter by Bernoulli's theorem. 1 When the compressed air P1 flows, the flow velocity is increased and the pressure is lowered after the narrow section 131c, so that the diameter is more precisely connected to the flow path 131b. A branch line 131d is provided in a branching structure in the narrow section 131. A vacuum V is formed in the branch line 131d by the flow of the first compressed air P1 into the flow path 131b. .

한편, 상기 에어 이젝터(131)의 유로(131b)를 흘러 외부로 분사되어 배기되는 공기는 유속이 빠르기 때문에 소음 및 진동이 발생할 수 있다. 따라서, 본 실시예에 따른 상기 진공부(130)에는 상기 에어 이젝터(131)의 유로(131b)로부터 분사되는 공기를 통과시키면서 소음 및 진동을 감소시키는 소음기(135)가 구비될 수 있 다. 상기 소음기(135)에 의해 상기 에어 이젝터(131)에서 사용된 제1 압축 공기(P1)의 배기에 따르는 소음이나 진동을 억제할 수 있다.On the other hand, since the air flows through the flow path 131b of the air ejector 131 and is exhausted to the outside because of the high flow rate, noise and vibration may occur. Therefore, the vacuum unit 130 according to the present embodiment may be provided with a silencer 135 to reduce noise and vibration while passing the air injected from the flow path 131b of the air ejector 131. The silencer 135 can suppress noise or vibration caused by the exhaust of the first compressed air P1 used in the air ejector 131.

상기 진공 라인들(132)은 제1 압축 공기(P1)의 흐름에 의해 발생되는 진공을 상기 피커들(110)에 제공하는 역할을 한다. 상기 진공 라인들(132)은 상기 분기 라인(131d)을 통해서 상기 에어 이젝터(131)의 유로(131b)로부터 분기되어 상기 피커들(110)에 각각 연결된다. 즉, 사기 진공 라인(132)들은 상기 분기 라인(131d)으로부터 분기되며, 상기 분기 라인(131d)을 통해서 상기 유로(131b)와 연결되어 진공을 제공받게 된다. 결과적으로, 상기 진공 라인(132)들은 상기 피커들(110)에 대하여 개별적으로 연결된다.The vacuum lines 132 serve to provide the pickers 110 with a vacuum generated by the flow of the first compressed air P1. The vacuum lines 132 branch from the flow path 131b of the air ejector 131 through the branch line 131d and are respectively connected to the pickers 110. That is, the fraud vacuum lines 132 branch from the branch line 131d and are connected to the flow path 131b through the branch line 131d to receive a vacuum. As a result, the vacuum lines 132 are individually connected to the pickers 110.

상기 전환 밸브들(133)은 상기 진공 라인들(132) 상에 각각 구비된다. 각각의 상기 전환 밸브(133)는 진공 라인(132)을 개폐하는 역할을 한다. 예를 들어, 각각의 전환 밸브(133)는 상기 진공 라인(132)을 개방하여 피커(110)에 진공을 제공하고, 상기 진공 라인(132)을 폐쇄하여 피커(1100에 진공을 해제한다.The switching valves 133 are provided on the vacuum lines 132, respectively. Each of the switching valve 133 serves to open and close the vacuum line 132. For example, each switching valve 133 opens the vacuum line 132 to provide a vacuum to the picker 110, and closes the vacuum line 132 to release the vacuum to the picker 1100.

또한, 상기 전환 밸브(133)들에는 상기 전환 밸브들(133)을 통해 상기 피커들(110)들로 제2 압축 공기(P2)를 공급하기 위한 제2 공기 라인들(134)이 각각 연결된다. 이에, 상기 전환 밸브들(133)은 진공 라인들(132) 폐쇄하고 피커들(110)에 상기 제2 공기 라인들(134)을 연결하여 상기 피커들(110)로 제2 압축 공기(P2)를 제공함으로써 진공을 해제하게 된다. 상기 제2 압축 공기(P2)는 피커들(110)의 진공을 해제함과 아울러 진공을 통해 상기 피커들(110)에 흡착되어 있는 반도체 소자들을 소정 압력으로 밀어내는 역할을 한다. 이는 반도체 소자들을 픽업한 후에 목 적하는 소켓이 상기 반도체 소자들을 내려놓을 때 사용된다. 결과적으로, 상기 전환 밸브들(133)은 피커들(110)을 상기 진공 라인들(132)들과 연결하여 진공을 제공하거나, 피커들(110)을 제2 공기 라인(134)들과 연결하여 진공을 해제하는 스위칭 역할을 한다.In addition, second air lines 134 for supplying second compressed air P2 to the pickers 110 are respectively connected to the selector valves 133 through the selector valves 133. . Accordingly, the switching valves 133 close the vacuum lines 132 and connect the second air lines 134 to the pickers 110 so that the second compressed air P2 is connected to the pickers 110. The vacuum is released by providing. The second compressed air P2 releases the vacuum of the pickers 110 and pushes the semiconductor elements adsorbed to the pickers 110 through a vacuum to a predetermined pressure. This is used when the socket intended for picking up the semiconductor elements is laid down. As a result, the selector valves 133 connect the pickers 110 with the vacuum lines 132 to provide a vacuum, or connect the pickers 110 with the second air lines 134. It serves as a switching to release the vacuum.

상기 전환 밸브들(133)은 예를 들어 예를 들어 3방향 전환 밸브로서 전기적 신호에 응답하여 전기적으로 작동하는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)로 이루어질 수 있다. 이처럼, 상기 전환 밸브들(133)이 솔레노이드 밸브로 이루어짐에 따라 상기 전환 밸브들(133)의 동작을 제어하기 위해 상기 전한 밸브들(133)로 제어 신호(CS)가 인가될 수 있다. 하지만, 상기 전환 밸브들(133)이 솔레노이드 밸브로 한정되는 것은 아니며, 다양한 종류의 2방향 전환 밸브들이 사용될 수 있다. 상기 전환 밸브(133)는 3방향의 유로를 갖고 어느 하나의 유로를 선택적으로 다른 2개의 유로 중 하나와 연결시키도록 동작할 수 있으면 충분하다.The switching valves 133 may be made of, for example, a solenoid valve electrically operated in response to an electrical signal as a three-way switching valve. As such, as the switch valves 133 are solenoid valves, a control signal CS may be applied to the charge valves 133 to control the operation of the switch valves 133. However, the switching valves 133 are not limited to solenoid valves, and various kinds of two-way switching valves may be used. The switching valve 133 is sufficient to have a flow path in three directions and be operable to selectively connect one flow path with one of the other two flow paths.

또한, 상기 전환 밸브(133)로 공급되는 제2 압축 공기(P2)는 진공을 형성하기 위한 것이 아니라 상기 피커들(110)의 진공을 해제하고, 상기 피커들(110)에 진공 흡착된 반도체 소자들을 밀어내면 충분하므로, 비교적 큰 압력이 요구되지 않는다. 따라서, 상기 제2 압축 공기(P2)는 상기 제1 압축 공기(P1)보다 낮은 압력을 갖는다.In addition, the second compressed air P2 supplied to the switching valve 133 is not intended to form a vacuum but releases the vacuum of the pickers 110 and is vacuum-adsorbed to the pickers 110. It is sufficient to push them out, so relatively large pressures are not required. Thus, the second compressed air P2 has a lower pressure than the first compressed air P1.

이와 같이, 상기 에어 이젝터(131)의 유로(131b)로 제1 압축 공기(P1)가 흐름에 따라서 진공 라인들(132)들에 진공이 형성되고, 상기 전환 밸브들(133)들이 상기 진공 라인들(132)을 개방하게 되면 상기 피커들(110)들에는 반도체 소자들을 픽업하기 위한 진공이 형성된다. 따라서, 반도체 소자들을 픽업할 수 있게 된다. 이러한 구성은 진공을 형성하기 위한 에어 이젝터(131)의 수량이 감소되어 장치의 제조 비용을 절감할 수 있게 된다. 또한, 진공 형성을 위한 제1 압축 공기(P1)가 한곳에서만 사용되므로 상기 제1 압축 공기(P1)의 소비량을 감소시킬 수 있다. 또한, 에어 이젝터(131)에 의해 상시적으로 진공이 형성되고, 상기 전환 밸브들(133)에 의해 진공의 형성 및 해제가 이루어짐에 따라서 동작 신뢰성이 개선된다. 또한, 에어 이젝터(131)의 수가 줄어들며 아울러 소음기(135)의 사용을 통해서 동작 중 소음 및 진동을 억제할 수 장점을 갖게 된다.As such, a vacuum is formed in the vacuum lines 132 as the first compressed air P1 flows into the flow path 131b of the air ejector 131, and the switching valves 133 are connected to the vacuum line. When the holes 132 are opened, a vacuum is formed in the pickers 110 to pick up the semiconductor devices. Thus, the semiconductor elements can be picked up. This configuration can reduce the number of air ejectors 131 for forming a vacuum, thereby reducing the manufacturing cost of the device. In addition, since the first compressed air P1 for vacuum formation is used only in one place, the consumption amount of the first compressed air P1 can be reduced. In addition, since the vacuum is constantly formed by the air ejector 131, and the vacuum is formed and released by the switching valves 133, the operation reliability is improved. In addition, the number of the air ejector 131 is reduced and also has the advantage of suppressing noise and vibration during operation through the use of the silencer 135.

이하 첨부된 도면을 참조하여 도 1에 도시된 피치 조절부(120)의 일 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 여기서, 상기 피치 조절부(120)는 개시되는 구성으로 한정되는 것은 아니며, 상기 피커들(110)의 피치를 조절하기 위한 다양한 구성을 가질 수 있다. 즉, 상기 피치 조절부(120)는 어느 일 방향에 대한 피커들(110)의 피치를 조절할 수 있어도 무방하며, 이는 피커들(110)의 피치를 적어도 일 방향에 대해서만 조절할 수 있는 구성이면 충분하다는 것을 의미한다.Hereinafter, an embodiment of the pitch adjusting unit 120 illustrated in FIG. 1 will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the pitch adjusting unit 120 is not limited to the disclosed configuration, and may have various configurations for adjusting the pitch of the pickers 110. That is, the pitch adjusting unit 120 may adjust the pitch of the pickers 110 in any one direction, which is sufficient if the configuration capable of adjusting the pitch of the pickers 110 only in at least one direction. Means that.

도 3은 도 1에 도시된 피치 조절부를 나타내는 개략적인 평면도이고, 도 4 및 도 5는 도 3의 피치 조절부를 A 방향 및 B 방향에서 바라본 측면도이며, 도 6 및 도 7은 도 3의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이며, 도 8은 도 3의 피치 조절부에 구비되는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.3 is a schematic plan view illustrating the pitch adjusting unit illustrated in FIG. 1, and FIGS. 4 and 5 are side views of the pitch adjusting unit of FIG. 3 viewed from the A direction and the B direction, and FIGS. It is sectional drawing cut along the line I 'and II-II', and FIG. 8 is a figure for demonstrating the drive part provided in the pitch adjusting part of FIG.

여기서, 도 3 내지 도 8에 도시된 도면들은 간략화 하여 도면의 이해를 돕기 위해서 어느 하나의 도면에 도시된 부재가 다른 도면에서는 생략되어 도시되기도 하였다. 즉, 상기 피치 조절부(120)의 구조에 대한 이해를 돕기 위해 필요한 구성 부재 위주로만 간략하게 도시하였다.3 to 8, the members shown in one of the drawings are omitted from the other drawings in order to simplify the drawings. In other words, only the constituent members necessary for the understanding of the structure of the pitch adjusting unit 120 are briefly illustrated.

도 3 내지 도 8을 참조하면, 상기 피치 조절부(120)는 상기 피커들(110)의 행 방향 이동을 안내하는 다수의 제1 가이드부들(220), 상기 피커들(210)의 열 방향 이동을 안내하는 다수의 제2 가이드부들(130), 상기 피커들(110)의 열 방향 X-피치를 조절하기 위한 제1 피치 조절 플레이트(240) 및 상기 피커들(110)의 행 방향 Y-피치를 조절하기 위한 제2 피치 조절 플레이트(250)를 포함한다.3 to 8, the pitch adjusting unit 120 moves in a column direction of the plurality of first guide parts 220 and the pickers 210 to guide the row direction movement of the pickers 110. A plurality of second guide portions 130 for guiding the first pitch adjusting plate 240 for adjusting the column X-pitch of the pickers 110 and the row direction Y-pitch of the pickers 110. The second pitch adjustment plate 250 for adjusting the.

여기서, 상기 피커들(110)은 행렬 형태로 배치된다. 예를 들면, 상기 피커들(110)은 8행 4열의 행렬 형태로 배치될 수 있다. 하지만, 상기 피커들(110)의 배치가 8행 4열의 행렬로 한정되는 것은 아니며, 행 및 열의 수는 다양하게 가변 가능하다. 각각의 피커들(110)은 반도체 장치와 접촉하여 진공 흡착하기 위한 부분이 승강 이동 가능하도록 구성될 수 있다.Here, the pickers 110 are arranged in a matrix form. For example, the pickers 110 may be arranged in a matrix form of eight rows and four columns. However, the arrangement of the pickers 110 is not limited to an eight-row, four-column matrix, and the number of rows and columns may vary. Each of the pickers 110 may be configured such that a portion for contacting the semiconductor device with vacuum suction may move upward and downward.

행렬 형태로 배치된 상기 피커들(110)은 제1 프레임(02)에 의해 둘러싸이게 된다. 예를 들어 상기 제1 프레임(202)은 사각 플레이트 구조를 갖고, 그 중앙에 상기 피커들(110)이 위치하는 개구부를 갖는 플레이트 형상을 가질 수 있다.The pickers 110 arranged in a matrix form are surrounded by a first frame 02. For example, the first frame 202 may have a rectangular plate structure, and may have a plate shape having an opening in which the pickers 110 are located at the center thereof.

또한, 상기 제1 프레임(202)의 상면에는 제2 프레임(204)이 연결될 수 있다. 상기 제2 프레임(204)은 뼈대 구조를 가지며, 이하 설명하게될 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)와 제2 피치 조절 플레이(250)의 내부에 위치하게 된다. 상기 제2 프레임(204)은 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)와 제2 피치 조절 플레이트(250)를 비롯하여 각 부재들을 설치하기 위한 기반이 된다. 이에, 상기 제2 프레임(204)은 다양한 형상을 가질 수 있으며, 상세히 도시하진 않았지만 상기 제2 프레임(204)은 일 예로 개구부를 갖는 박스 구조를 가질 수 있다.In addition, a second frame 204 may be connected to an upper surface of the first frame 202. The second frame 204 has a skeleton structure, and will be located inside the first pitch adjustment plate 240 and the second pitch adjustment play 250 to be described below. The second frame 204 serves as a base for installing each member including the first pitch adjusting plate 240 and the second pitch adjusting plate 250. Accordingly, the second frame 204 may have various shapes. Although not shown in detail, the second frame 204 may have a box structure having an opening as an example.

상기 제1 가이드부들(220)은 행 방향을 따라서 연장하고, 행렬 형태로 배치된 상기 피커들(110)을 행 단위로 연결한다. 또한, 상기 제1 가이드부들(220)은 행 단위로 연결된 상기 피커들(110)의 행 방향 이동을 안내한다. 즉, 상기 제1 가이드부들(120)은 상기 피커(110)들을 행 단위로 그룹화하면서, 각각의 제1 가이드부(120)에 연결된 피커들(110)이 행 방향으로 이동 가능하도록 안내한다. 일 예로, 상기 제1 가이드부들(220) 각각은 행 방향으로 연장하는 제1 브래킷(220a)을 포함할 수 있으며, 상기 피커들(110)은 상기 제1 브래킷(220a)에 수직하는 방향으로 장착될 수 있다. 이 때, 상기 제1 브래킷(220a)에는 상기 피커들(110)과 실질적으로 연결되면서, 상기 피커들(110)이 행 방향으로 이동할 때 마찰력을 감소시킬 수 있도록 리니어 모션 가이드(222, 이하 LM 가이드라 한다)가 설치될 수 있다. 상기 LM 가이드(222)는 상기 제1 브래킷(220a)에 상기 행 방향으로 연장하고, 상기 피커(110)의 행 방향 이동 영역에 대응하게 설치된다.The first guide parts 220 extend in a row direction, and connect the pickers 110 arranged in a matrix form in a row unit. In addition, the first guide parts 220 guide the row direction movement of the pickers 110 connected in units of rows. That is, the first guide parts 120 group the pickers 110 in a row unit, and guide the pickers 110 connected to the first guide parts 120 to be movable in the row direction. For example, each of the first guide parts 220 may include a first bracket 220a extending in a row direction, and the pickers 110 may be mounted in a direction perpendicular to the first bracket 220a. Can be. At this time, the first bracket 220a is substantially connected to the pickers 110, and the linear motion guide 222 (hereinafter referred to as LM guide) to reduce the friction force when the pickers 110 move in the row direction. May be installed). The LM guide 222 extends in the row direction to the first bracket 220a and is installed to correspond to the row direction moving area of the picker 110.

상기 피커들(110)은 상기 제1 가이드부들(220)에 나사 결합에 의해 연결될 수 있다. 결과적으로, 상기 피커들(110) 중에서 어느 하나의 피커(110)가 손상되어 반도체 장치의 픽업 동작에 기능 불량이 발생할 경우 손상된 피커(110)만 선택적으로 분리하여 교환이 가능하게 된다.The pickers 110 may be connected to the first guide parts 220 by screwing. As a result, when any one of the pickers 110 is damaged and a malfunction occurs in the pick-up operation of the semiconductor device, only the damaged picker 110 may be selectively separated and replaced.

상기 제1 가이드부들(220)의 양단부는 상기 제1 프레임(202)의 상면에 위치한다. 예컨대, 상기 제1 브래킷(220a)의 양단부에는 상기 제1 프레임(202)의 상면 에 위치하는 제1 연장부(220b)가 연결될 수 있다. 상기 제1 가이드부들(220)의 양단부 즉, 상기 제1 연장부(220b)와 상기 제1 프레임(202)의 상면 사이에는 마찰력 감소를 위한 제1 가이드 부재(202a)가 설치된다. 상기 제1 가이드 부재(202a)는 상기 제1 가이드부(220)의 양단부를 상기 제1 프레임(202) 상에 유지시키면서, 상기 제1 가이드부(220)가 열 방향으로 이동 가능하도록 안내하는 역할을 한다. 결과적으로, 상기 제1 가이드부(220)는 상기 제1 가이드 부재(202a)에 의해 양단부가 제1 프레임(202)에 연결된 상태에서 열 방향으로 평행 이동이 가능하게 된다.Both ends of the first guide parts 220 are positioned on an upper surface of the first frame 202. For example, the first extension part 220b positioned on the upper surface of the first frame 202 may be connected to both ends of the first bracket 220a. A first guide member 202a is disposed between both ends of the first guide parts 220, that is, the first extension part 220b and the top surface of the first frame 202 to reduce frictional force. The first guide member 202a serves to guide the first guide part 220 to be movable in a column direction while maintaining both ends of the first guide part 220 on the first frame 202. Do it. As a result, the first guide portion 220 can be moved in a column direction in a state where both ends thereof are connected to the first frame 202 by the first guide member 202a.

상기 다수의 제2 가이드부들(230)은 열 방향을 따라서 연장하고, 행렬 형태로 배치된 상기 피커들(110)을 열 단위로 연결한다. 또한, 상기 제2 가이드부들(230)은 열 단위로 연결된 상기 피커들(110)의 열 방향 이동을 안내한다. 즉, 상기 제2 가이드부들(230)은 상기 피커들(110)을 열 단위로 그룹화하면서, 각각의 제2 가이드부(230)에 연결된 피커들(110)이 열 방향으로 이동 가능하도록 안내하는 역할을 한다. 일 예로, 상기 제2 가이드부들(130) 각각은 열 방향으로 연장하는 제2 브래킷(230a)을 포함할 수 있으며, 상기 피커들(110)의 상측부가 상기 브래킷(230a)에 연결될 수 있다. 이를 위해, 상기 제2 브래킷(30a)의 하부에는 상기 열 방향으로 연장하는 슬롯이 구비되고, 상기 피커들(110) 각각은 그 상부에 상기 제2 브래킷(230a)의 슬롯에 수용되어 그 내측면에 접하는 제3 롤러(214)를 포함한다. 즉, 상기 제3 롤러(214)가 상기 제2 브래킷(230a)의 슬롯 내에 위치함에 의해 상기 피커들(110)과 제2 가이드부(230)가 연결된다. 상기 제3 롤러(214)는 상기 각 피커(110)의 상단부에 회전 가능하도록 설치되고, 상기 피커(110)들이 상기 제2 가이 드부들(230)에 의해 열 방향 이동이 안내될 때 상기 제2 가이드부(230)와의 마찰력을 감소시켜 용이하게 슬라이딩 되도록 유도한다.The plurality of second guide parts 230 extend in a column direction and connect the pickers 110 arranged in a matrix form in columns. In addition, the second guide parts 230 guide the column direction movement of the pickers 110 connected in units of columns. That is, the second guide parts 230 guide the pickers 110 connected to each of the second guide parts 230 to move in the column direction while grouping the pickers 110 in a row unit. Do it. For example, each of the second guide parts 130 may include a second bracket 230a extending in a column direction, and upper portions of the pickers 110 may be connected to the bracket 230a. To this end, a lower portion of the second bracket 30a is provided with a slot extending in the column direction, and each of the pickers 110 is accommodated in a slot of the second bracket 230a on an upper side thereof. And a third roller 214 abutting. That is, the pickers 110 and the second guide portion 230 are connected by the third roller 214 located in the slot of the second bracket 230a. The third roller 214 is rotatably installed at the upper end of each of the pickers 110, and the second pickers 110 are guided in a column direction by the second guide parts 230. Reduce the frictional force with the guide portion 230 to guide the sliding easily.

상기 제2 가이드부들(230)의 양단부는 상기 제1 프레임(202)의 상면에 위치한다. 예컨대, 상기 제2 브래킷(230a)의 양단부에는 상기 제1 프레임(202)의 상면에 위치하는 제2 연장부(230b)가 각각 연결될 수 있다. 상기 제2 가이드부들(230)의 양단부 즉, 상기 제2 연장부(230b)와 제1 프레임(202)의 상면 사이에는 마찰력 감소를 위한 제2 가이드 부재(202b)가 설치된다. 상기 제2 가이드 부재(202b)는 상기 제2 가이드부(230)의 양단부를 제1 프레임(202) 상에 유지시키면서 상기 제2 가이드부(230)가 행 방향으로 이동 가능하도록 안내하는 역할을 한다. 결과적으로, 상기 제2 가이드부(230)는 상기 제2 가이드 부재(202b)에 의해 양단부가 제1 프레임(202)에 연결된 상태에서 행 방향으로 평행 이동이 가능하게 된다.Both ends of the second guide parts 230 are positioned on an upper surface of the first frame 202. For example, second ends 230b positioned on the upper surface of the first frame 202 may be connected to both ends of the second bracket 230a. A second guide member 202b is provided between both ends of the second guide parts 230, that is, the second extension part 230b and the upper surface of the first frame 202 to reduce frictional force. The second guide member 202b serves to guide the second guide portion 230 to be movable in a row direction while maintaining both ends of the second guide portion 230 on the first frame 202. . As a result, the second guide portion 230 can be moved in a row direction in a state where both ends thereof are connected to the first frame 202 by the second guide member 202b.

상기 제2 가이드부(230)의 제2 브래킷(230b)은 상기 제2 브래킷(230a)의 양단부에 하향 절곡되는 형태로 연결될 수 있다. 또한, 상기 제2 브래킷(230a)과 제2 연장부(230b)는 일체형으로 형성될 수도 있다.The second bracket 230b of the second guide part 230 may be connected to be bent downward at both ends of the second bracket 230a. In addition, the second bracket 230a and the second extension part 230b may be integrally formed.

상기 제1 피치 조절 플레이트(240)는 상기 제1 가이드부(220)들의 단부에 승강 가능하게 설치되며, 상기 제1 가이드부들(220)의 양단부에 각각 설치되는 것이 바람직하다. 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)에는 피커들(110)의 열 방향 X-피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제1 궤도들(242)을 갖고, 상기 제1 궤도들(242)에는 상기 제1 가이드부들(220)의 단부가 각각 위치한다. 상기 제1 궤도들(242)은 예컨대, 상부로 갈수록 그 피치가 좁아지고, 하부로 갈수록 그 피차가 넓어지는 형태로 형성될 수 있다.The first pitch adjustment plate 240 is provided to be liftable at the end of the first guide portion 220, it is preferably installed on both ends of the first guide portion 220, respectively. The first pitch adjusting plate 240 has a plurality of first tracks 242 extending in different directions to adjust the column direction X-pitch of the pickers 110, and the first tracks 242. ) Are respectively end portions of the first guide parts 220. For example, the first tracks 242 may be formed in a form in which the pitch thereof is narrowed toward the upper portion, and the difference of the pitch is widened toward the lower portion thereof.

예를 들면, 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)에는 상기 제1 궤도들(242)로서 기능하는 다수의 제1 슬롯들이 형성될 수 있다. 상기 제1 슬롯들 내에는 상기 제1 가이드부들(220)의 단부가 각각 배치된다. 여기서, 통상 트레이들에 구비되어 반도체 장치들이 수납되는 소켓들이 2행씩 그룹화 되어 있으므로, 상기 제1 궤도들은 2개씩 인접하여 형성될 수 있다. 즉, 제1 궤도들(242)은 그룹을 이루는 2개 사이의 피치는 동일한 상태에서 각 그룹의 피치가 조절되는 형상을 가질 수 있다.For example, the first pitch adjusting plate 240 may be formed with a plurality of first slots that function as the first tracks 242. End portions of the first guide parts 220 are disposed in the first slots, respectively. Here, since the sockets provided in the trays to accommodate the semiconductor devices are grouped by two rows, the first tracks may be formed adjacent to each other. That is, the pitches of the first tracks 242 may have a shape in which the pitch of each group is adjusted in the same state.

상기 제1 피치 조절 플레이트(240)는 예를 들어, 승강 이동에 의해 상기 피커들(110)의 열 방향 X-피치를 조절한다. 구체적으로, 승강 이동에 의해 상기 제1 궤도들(242)에 연결되는 상기 제1 가이드부들(220)이 상기 제1 궤도들(242)을 따라 이동하게 된다. 즉, 제1 가이드부들(220)은 상기 제1 가이드 부재(202a)에 의해 평행 이동하게 되므로, 상기 제1 궤도(242)를 따라 열 방향으로 평행 이동하여 그 피치가 좁아지거나, 넓어지게 된다. 즉, 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)는 승강 구동을 통해 상기 피커들(110)의 x-피치를 조절하는 역할을 한다.The first pitch adjustment plate 240 adjusts the column direction X-pitch of the pickers 110 by, for example, lifting and lowering movement. In detail, the first guide parts 220 connected to the first tracks 242 move along the first tracks 242 by the lifting movement. That is, since the first guide parts 220 are moved in parallel by the first guide member 202a, the first guide parts 220 are moved in parallel in the column direction along the first track 242 so that the pitch is narrowed or widened. That is, the first pitch adjustment plate 240 serves to adjust the x-pitch of the pickers 110 by lifting and lowering driving.

한편, 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)가 승강 이동함에 의해 상기 제1 궤도들(242)을 따라 제1 가이드부들(220)이 이동될 때 상기 제1 궤도(242) 즉, 제1 슬롯의 내측면에 접하면서 상기 제1 가이드부들(220)과 상기 제1 궤도들(242) 사이에 마찰력이 발생한다. 이러한 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 제1 가이드부들(220)의 양단부에는 각각 제1 롤러(224)가 설치된다. 상기 제1 롤러(224)는 상기 제1 가이드부들(120)의 양단부에 각각 회전 가능하도록 설치되고, 실질적으로 상기 제1 궤도들(242) 내에 위치하게 된다.Meanwhile, when the first guide parts 220 are moved along the first tracks 242 by the lifting and lowering of the first pitch adjusting plate 240, the first track 242, that is, the first slot of the first slot 242. A friction force is generated between the first guide parts 220 and the first tracks 242 while contacting the inner side surface. In order to reduce the frictional force, first rollers 224 are installed at both ends of the first guide parts 220. The first roller 224 is rotatably installed at both ends of the first guide parts 120, and is substantially positioned in the first tracks 242.

상기 제2 피치 조절 플레이트(350)는 상기 제2 가이드부(330)의 단부에 승강 가능하게 설치되며, 상기 제2 가이드부들(330)의 양단부에 각각 설치되는 것이 바람직하다. 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)에는 피커들(110)의 행 방향 Y-피치를 조절하기 위하여 서로 다른 방향으로 연장하는 다수의 제2 궤도들(252)을 갖고, 상기 제2 궤도들(252)에는 상기 제2 가이드부들(230)의 단부가 각각 위치한다. The second pitch adjustment plate 350 may be installed at an end of the second guide part 330 to be elevated, and may be installed at both ends of the second guide parts 330, respectively. The second pitch adjustment plate 250 has a plurality of second trajectories 252 extending in different directions to adjust the row direction Y-pitch of the pickers 110, and the second trajectories 252. At each end of the second guide parts 230 are positioned.

상기 제2 궤도들(252)은 예를 들어, 상부로 갈수록 그 피치가 좁아지고, 하부로 갈수록 그 피치가 넓어지는 형태로 형성될 수 있다. 또한, 다수의 제2 궤도들(252) 중에서 안쪽에 위치하는 어느 하나의 제2 궤도(252)는 수직 방향으로 연장되는 형상을 갖고, 상기 어느 하나의 제2 궤도(252)를 기준으로 다른 제2 궤도들(252)의 피치가 가변되는 형상으로 형성될 수도 있다. 예를 들면, 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)에는 상기 제2 궤도(252)들로서 기능하는 다수의 제2 슬롯들이 형성될 수 있다. 상기 제2 슬롯들 내에는 상기 제2 가이드부들(230)들 단부가 각각 배치된다.For example, the second trajectories 252 may be formed in a form in which the pitch thereof becomes narrower toward the top and the pitch thereof becomes wider toward the bottom. In addition, any one of the plurality of second tracks 252 located inside of the second track 252 has a shape extending in the vertical direction, and based on the one of the second tracks 252, The pitch of the two trajectories 252 may be formed to vary. For example, the second pitch adjusting plate 250 may be formed with a plurality of second slots that function as the second tracks 252. Ends of the second guide parts 230 are disposed in the second slots, respectively.

상기 제2 피치 조절 플레이트(250)는 예를 들어, 승강 이동에 의해 상기 피커들(110)의 행 방향 Y-피치를 조절한다. 구체적으로, 승강 이동에 의해 상기 제2 궤도들(252)에 연결되는 상기 제2 가이드부들(230)이 제2 궤도들(252)을 따라 이동하게 된다. 즉, 제2 가이드부들(230)은 상기 제2 가이드 부재(202b)에 의해 평행 이동하게 되므로, 상기 제2 궤도(252)를 따라 행 방향으로 평행 이동하여 그 피치가 좁아지거나, 넓어지게 된다. 즉, 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)는 승강 구 동을 통해 상기 피커들(110)의 행 방향 Y-피치를 조절하는 역할을 한다.The second pitch adjustment plate 250 adjusts the row direction Y-pitch of the pickers 110 by, for example, lifting and lowering movement. In detail, the second guide parts 230 connected to the second tracks 252 move along the second tracks 252 by the lifting movement. That is, since the second guide parts 230 are moved in parallel by the second guide member 202b, the second guide parts 230 move in parallel in the row direction along the second track 252 so that the pitch is narrowed or widened. That is, the second pitch adjustment plate 250 serves to adjust the row direction Y-pitch of the pickers 110 through the elevating drive.

한편, 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)가 승강 이동함에 따라 상기 제2 궤도들(252)을 따라 제2 가이드부들(230)이 이동될 때 제2 궤도(252) 즉, 제2 슬롯의 내측면에 접하면서 상기 제2 가이드부들(230)과 상기 제2 궤도들(252) 사이에 마찰력이 발생한다. 이러한 마찰력을 감소시키기 위하여 상기 제2 가이드부들(230)의 양단부에는 각각 제2 롤러(234)가 설치된다. 상기 제2 롤러(234)는 상기 제2 가이드부들(230)의 양단부에 각각 회전 가능하도록 설치되고, 실질적으로 제2 궤도들(152) 내에 위치하게 된다.Meanwhile, when the second guide parts 230 are moved along the second tracks 252 as the second pitch adjusting plate 250 moves up and down, the second track 252, that is, the inside of the second slot, is moved. A friction force is generated between the second guide parts 230 and the second tracks 252 while being in contact with the side surface. In order to reduce the frictional force, second rollers 234 are installed at both ends of the second guide parts 230, respectively. The second roller 234 is rotatably installed at both ends of the second guide parts 230, and is substantially positioned in the second tracks 152.

본 발명의 일 실시예에 따른 피치 조절부(120)는 피커들(110) 사이의 X-피치 및 Y-피치를 동시에 조절하기 위하여 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)와 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)를 승강 구동시키는 구동부(260)를 더 포함한다.Pitch adjusting unit 120 according to an embodiment of the present invention, the first pitch adjusting plate 240 and the second pitch adjusting plate to adjust the X-pitch and Y-pitch between the pickers 110 at the same time And a driving unit 260 for elevating and driving the 250.

상기 구동부(260)는 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 250)를 승강시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 이를 위해, 상기 구동부(260)는 직선 왕복 구동이 가능한 유압 실린더 등으로 이루어질 수 있다.The driving unit 260 generates a driving force for elevating the first and second pitch adjustment plates 240 and 250. To this end, the drive unit 260 may be made of a hydraulic cylinder capable of linear reciprocating drive.

상기 구동부(260)는 상기 제2 가이드부들(230)의 단부 부위에 위치할 수 있다. 일 예로, 상기 제2 가이드부들(230)의 단부방향으로 행 방향의 중앙 영역에 대응하도록 위치할 수 있으며, 상기 제2 가이드부들(230)의 양단부에 각각 설치될 수 있다.The driving part 260 may be located at end portions of the second guide parts 230. For example, the second guide parts 230 may be positioned to correspond to a central area in a row direction in an end direction of the second guide parts 230, and may be installed at both ends of the second guide parts 230, respectively.

본 실시예에서는 상기 구동부(260)의 구동력을 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 250)에 동시에 전달하기 위하여, 상기 구동부(260)를 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 250)와 연결하는 이동부(262) 및 연결부(266)를 더 포함할 수 있다.In the present embodiment, in order to transmit the driving force of the drive unit 260 to the first and second pitch adjustment plates 240 and 250 simultaneously, the drive unit 260 to the first and second pitch adjustment plates 240, The moving part 262 and the connection part 266 connecting to 250 may be further included.

도 4 및 도 5, 그리고 도 8을 참조하면, 상기 이동부(262)는 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)의 단부 부위에 승강 가능하도록 설치된다. 여기서, 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)를 평행을 유지시킨 상태에서 승강 시킬 수 있도록 상기 이동부(262)는 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)의 양단부에 각각 설치될 수 있다. 즉, 상기 이동부(262)는 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)의 단부와 제2 피치 조절 플레이트(250)의 단부가 접하는 네 모서리부에 각각 설치되는 것이 바람직하다. 상기 이동부(262)는 상기 제2 프레임(204)에 설치될 수 있으며, 상기 이동부(262)가 용이하게 승강할 수 있도록 상기 제2 프레임(204)에는 LM 가이드(264)가 구비된다.4, 5, and 8, the moving part 262 is installed to be liftable at an end portion of the first pitch adjustment plate 240. Here, the moving parts 262 may be installed at both ends of the first pitch control plate 240 so that the first pitch control plate 240 can be lifted while maintaining the parallel. That is, the moving part 262 is preferably installed at each of the four corner portions in which the end of the first pitch adjustment plate 240 and the end of the second pitch adjustment plate 250 abut. The moving part 262 may be installed in the second frame 204, and the second frame 204 is provided with an LM guide 264 so that the moving part 262 can easily lift up and down.

상기 이동부(262)에는 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)의 단부 및 제2 피치 조절 플레이트(250)의 단부가 공통적으로 연결된다. 즉, 하나의 이동부(262)에는 상기 제1 피치 조절 플레이트(240)의 단부와, 이에 인접하는 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)의 단부가 함께 연결되게 된다. 이로써, 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 50)는 상기 이동부(262)에 의해 승강 가능하도록 안내되게 된다.An end portion of the first pitch adjustment plate 240 and an end portion of the second pitch adjustment plate 250 are commonly connected to the moving part 262. That is, one end of the first pitch control plate 240 and the end of the second pitch control plate 250 adjacent thereto is connected to one moving unit 262 together. As a result, the first and second pitch adjustment plates 240 and 50 are guided to be liftable by the moving part 262.

상기 연결부(266)는 상기 구동부(260)와 상기 이동부(262)를 연결하는 역할을 한다. 일 예로, 상기 연결부(266)는 행 방향으로 연장하는 바(bar) 형상을 갖고, 그 중앙부에서 상기 구동부(260)와 연결된다. 또한, 상기 연결부(266)는 그 양단부가 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)의 양단부에 위치하는 상기 이동부 들(262)에 연결된다. 이로써, 상기 연결부(266)는 상기 구동부(260)의 구동력을 상기 이동부(262)로 전달하게 된다. 결과적으로, 상기 구동부(260)는 상기 연결부(266)를 승강시키고, 상기 연결부(266)의 승강에 따라 이동부(262)가 승강하게 된다. 이에, 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 250)가 승강하여, 피커들(110)의 열 방향 X-피치 및 행 방향 Y-피치를 동시에 조절하게 된다. 여기서, 상기 구동력은 상기 제2 가이드부들(230)의 양단부에 위치하는 구동부(260)들에서 동시에 제공되며, 이에 상기 제1 및 제2 피치 조절 플레이트(240, 250)는 수평을 유지한 상태에서 승강 구동하게 된다.The connection part 266 serves to connect the driving part 260 and the moving part 262. For example, the connection part 266 has a bar shape extending in a row direction and is connected to the driving part 260 at a central part thereof. In addition, both ends of the connection part 266 are connected to the moving parts 262 positioned at both ends of the second pitch adjusting plate 250. As a result, the connection part 266 transmits the driving force of the driving part 260 to the moving part 262. As a result, the driving unit 260 raises and lowers the connecting portion 266, and the moving portion 262 moves up and down as the connecting portion 266 moves up and down. Accordingly, the first and second pitch adjustment plates 240 and 250 are elevated to adjust the column direction X-pitch and the row direction Y-pitch of the pickers 110 at the same time. Here, the driving force is provided at the same time in the driving unit 260 located at both ends of the second guide portion 230, so that the first and second pitch adjustment plate 240, 250 in a horizontal state Drive up and down.

한편, 상기 제2 가이드부들(230) 사이마다 탄성 부재(236)가 설치될 수 있다. 상기 탄성 부재(236)는 상기 제2 가이드부들(230)에 안쪽에 위치하는 어느 하나의 제2 가이드부(230)를 기준으로 상호 탄성을 부여함으로써, 상기 제2 가이드부들(230)이 상기 제2 피치 조절 플레이트(250)의 제2 궤도(252)들에 의해 구속되는 상태에서 상기 어느 하나의 제2 가이드부(230)를 기준으로 집중되도록 유도한다.Meanwhile, an elastic member 236 may be installed between each of the second guide parts 230. The elastic member 236 is mutually elastic with respect to any one of the second guide portion 230 located inside the second guide portion 230, the second guide portion 230 is the first guide In the state of being constrained by the second trajectories 252 of the second pitch adjustment plate 250, the second guide portion 230 is guided to be concentrated.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템은 피커들에 진공을 제공하기 위한 진공부가 에어 이젝터와, 상기 에어 이젝터로부터 분기되는 진공 라인들을 통해 피커들에 진공을 제공하는 구성을 갖고, 상기 진공 라인들 상에는 진공 라인들을 개폐하기 위한 전환 밸브들이 구비된다. 특히, 상기 에어 이젝터에 의해 상기 진공 라인들에는 상시적으로 진공이 형성되고, 피커들에 진공을 형성하거나 해제하는 것은 전환 밸브들의 스위칭에 의해 이루어진다.As described above, the picker system of the test handler according to the preferred embodiment of the present invention is configured to provide a vacuum to the pickers through a vacuum unit for providing a vacuum to the pickers and an air ejector and vacuum lines branching from the air ejector. And switching valves for opening and closing the vacuum lines are provided on the vacuum lines. In particular, a vacuum is constantly formed in the vacuum lines by the air ejector, and the forming or releasing of the vacuum in the pickers is achieved by switching of switching valves.

따라서, 피커들이 에어 이젝터를 공용하므로 고가의 에어 이젝터의 사용 개수를 줄여 제조 비용을 절감할 수 있으며, 진공의 형성 및 해제가 전환 밸브들에 의해 이루어짐과 아울러 상기 전한 밸브들을 솔레노이드 밸브로 형성함에 따라 동작 신뢰성이 개선된다. 또한, 에어 이젝터의 사용 개수가 줄어들어 진공을 형성하기 위해 사용되는 압축 공기의 소비량을 줄일 수 있다. 또한, 에어 이젝터에서 소음이 크게 발생되는데 사용 개수를 절감하고, 후단에 소음기가 구비되어 소음 및 진동이 억제된다.Therefore, since the pickers share the air ejector, the manufacturing cost can be reduced by reducing the number of expensive air ejectors used. As the formation and release of the vacuum is performed by the switching valves, the charge valves are formed as solenoid valves. Operational reliability is improved. In addition, the number of uses of the air ejector can be reduced to reduce the consumption of compressed air used to form a vacuum. In addition, the noise is largely generated in the air ejector to reduce the number of uses, the rear end is provided with a silencer is suppressed noise and vibration.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 핸들러의 피커 시스템을 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic diagram illustrating a picker system of a test handler according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 에어 이젝터의 개념을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 2 is a schematic diagram for describing a concept of the air ejector illustrated in FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 피치 조절부를 나타내는 개략적인 평면도이다.FIG. 3 is a schematic plan view illustrating a pitch control unit illustrated in FIG. 1.

도 4 및 도 5는 도 3의 피치 조절부를 A 방향 및 B 방향에서 바라본 측면도이다.4 and 5 are side views of the pitch adjusting unit of FIG. 3 viewed from the A direction and the B direction.

도 6 및 도 7은 도 3의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 따라 자른 단면도이다.6 and 7 are cross-sectional views taken along lines II ′ and II-II ′ of FIG. 3.

도 8은 도 3의 피치 조절부에 구비되는 구동부를 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining a driving unit provided in the pitch adjusting unit of FIG. 3.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 피커 시스템 110: 피커들100: picker system 110: pickers

120: 피치 조절부 130: 진공부120: pitch adjusting unit 130: vacuum portion

131: 에어 이젝터 131a: 제1 공기 라인131: air ejector 131a: first air line

131b: 유로 131c: 직경이 좁은 구간131b: flow path 131c: narrow section

131d: 분기 라인 132: 진공 라인131d: branch line 132: vacuum line

133: 전환 밸브 134: 제2 공기 라인133: switching valve 134: second air line

135: 소음기 202: 제1 프레임135: silencer 202: first frame

202a: 제1 가이드 부재 202b: 제2 가이드 부재202a: first guide member 202b: second guide member

204: 제2 프레임 210: 피커204: second frame 210: picker

214: 제3 롤러 220: 제1 가이드부214: third roller 220: first guide portion

220a: 제1 브래킷 220b: 제1 연장부220a: first bracket 220b: first extension part

222: 리니어 모션 가이드 224: 제1 롤러222: linear motion guide 224: first roller

230: 제2 가이드부 230a: 제2 브래킷230: 2nd guide part 230a: 2nd bracket

230b: 제2 연장부 234: 제2 롤러230b: second extension portion 234: second roller

240: 제1 피치 조절 플레이트 242: 제1 슬롯240: first pitch adjustment plate 242: first slot

250: 제2 피치 조절 플레이트 252: 제2 슬롯250: second pitch adjustment plate 252: second slot

260: 구동부 262: 이동부260: driving unit 262: moving unit

266: 연결부266: connection

Claims

A plurality of pickers for picking up the semiconductor element;

A pitch adjusting unit for adjusting a pitch between the plurality of pickers;

A vacuum unit providing a vacuum to the pickers for picking up the semiconductor device,

The vacuum unit

An air ejector having a flow path through which the first compressed air flows;

Vacuum lines branched from the flow path of the air ejector and respectively connected to the pickers, the first compressed air forming a vacuum in the pickers by flowing the flow path; And

And selector valves provided on the vacuum lines to open and close the vacuum lines, respectively.

The air conditioner of claim 1, further comprising air lines respectively connected to the switch valves for supplying second compressed air to the pickers through the switch valves.

Wherein the vacuum of the pickers is released by the second compressed air supplied to the pickers by closing the vacuum line and connecting the air line.

3. The picker system of claim 2, wherein the second compressed air has a lower pressure than the first compressed air.

3. The picker system of claim 2 wherein each changeover valve is a solenoid valve that electrically operates to connect the vacuum line or the air line to the picker.

2. The picker system of claim 1, further comprising a silencer that passes air injected from the flow path of the air ejector and reduces noise of the injected air.

The method of claim 1, wherein the pickers are arranged in a matrix form, and the pitch adjusting unit

A plurality of first guides connecting the pickers in a row unit and guiding movement of the pickers in a row direction;

A plurality of second guide parts connecting the pickers in a row unit and guiding the movement of the pickers in a column direction;

A first pitch adjustment plate having a plurality of first trajectories extending in different directions to adjust the column direction X-pitch of the pickers, wherein the first guide portions are configured to operate along the first trajectories; And

And a second pitch adjusting plate having a plurality of second trajectories extending in different directions to adjust the row direction Y-pitch of the pickers, the second guide portions being configured to operate along the second trajectories. Featured picker system for test handlers.

7. The method of claim 6, wherein the first pitch adjustment plate is formed with a plurality of first slots that function as the first trajectories, and the second pitch adjustment plate is formed with a plurality of second slots that function as the second trajectories. ,

Ends of the first guide parts are disposed in the first slots, respectively, and end parts of the first guide parts are provided with first rollers contacting inner surfaces of the first slots, respectively, and end parts of the second guide parts. Are respectively disposed in the second slots and end portions of the second guide portions are respectively provided with second rollers in contact with inner surfaces of the second slots.

The first guide member of claim 7, wherein the first guide member is disposed at both ends of each first guide portion and guides the first guide portion to move in the column direction when the first guide portion is moved by lifting and lowering the first pitch adjusting plate. ;

A second guide member disposed at both ends of each second guide portion and guiding the second guide portion to move in a row direction when the second guide portion is moved by lifting and lowering the second pitch adjusting plate;

A first frame having a structure surrounding a plurality of pickers arranged in the matrix form, wherein the first guide member and the second guide member are installed; And

And a second frame connected to an upper surface of the first frame and arranged around the first frame such that the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate are movable.

9. The apparatus of claim 8, wherein the pickers comprise third rollers installed at an upper end thereof, the second guide portions include slots extending in a row direction, and the third rollers are slots of the second guide portions. Picker system of a test handler, characterized in that located within.

The test handler of claim 8, further comprising a driving unit for elevating the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate to adjust the column direction X-pitch and the row direction Y-pitch of the pickers. Picker system.

The method of claim 10, wherein the driving unit

Moving parts provided respectively adjacent to both ends of the first pitch adjustment plate, and one end of the first pitch adjustment plate and one end of the second pitch adjustment plate are coupled;

And a connecting part connecting the driving part and the moving part to elevate the first pitch adjusting plate and the second pitch adjusting plate by the driving force of the driving part.

And a first pitch adjusting plate and a second pitch adjusting plate via the moving part and the connecting part.