KR200490415Y1 - Camera Module Vacuum Suction Device for Semiconductor Line - Google Patents

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KR200490415Y1 KR2020170005642U KR20170005642U KR200490415Y1 KR 200490415 Y1 KR200490415 Y1 KR 200490415Y1 KR 2020170005642 U KR2020170005642 U KR 2020170005642U KR 20170005642 U KR20170005642 U KR 20170005642U KR 200490415 Y1 KR200490415 Y1 KR 200490415Y1
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Abstract

본 고안은 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치에 관한 것으로, 내부에 수용공간이 형성되면서 일측에 압축공기 유입구(11)와 압축공기 배출구(12) 및 결합공(13)이 설치되는 하우징(10)과; 일단이 압축공기 유입구(11)와 연결되면서 수용공간에 설치되고, 타단이 압축공기 배출구(12)와 연결되는 압축공기라인(20)과; 압축공기라인(20) 상에 설치되는 솔레노이드밸브(30)와; 압축공기 배출구(12)와 솔레노이드밸브(30) 사이의 압축공기라인(20) 상에 설치되는 이젝터(40)와; 일단이 이젝터(40)와 연통되도록 설치되면서 타단이 결합공(13)에 설치되는 진공라인(50)과; 진공라인(50) 상에 설치되는 진공 레귤레이터(60)와; 이젝터(40)와 진공 레귤레이터(60) 사이의 진공라인(50) 상에 설치되는 제1 필터(70)와; 하우징(10)의 외측에 설치되면서 압축공기 배출구(12)와 연결되어 배출되는 공기를 정화하는 제2 필터(80) 및; 하우징(10)의 외측에 설치되면서 일단이 결합공(13)에 설치되고, 타단에는 노즐블록(91)이 설치되는 진공호스(90); 를 포함하고, 이와 같은 구성에 의해 본 고안에 의해 소형 카메라 모듈의 조립 시 발생하는 불량이 감소된다.The present invention relates to a camera module vacuum adsorption device for a semiconductor line, the housing 10 is provided with a compressed air inlet 11, compressed air outlet 12 and the coupling hole 13 on one side while receiving space is formed therein. and; A compressed air line 20 having one end connected to the compressed air inlet 11 and installed in the accommodation space, and the other end connected to the compressed air outlet 12; A solenoid valve 30 installed on the compressed air line 20; An ejector 40 installed on the compressed air line 20 between the compressed air outlet 12 and the solenoid valve 30; A vacuum line 50 having one end installed in communication with the ejector 40 and the other end installed in the coupling hole 13; A vacuum regulator (60) installed on the vacuum line (50); A first filter 70 installed on the vacuum line 50 between the ejector 40 and the vacuum regulator 60; A second filter 80 installed outside the housing 10 and connected to the compressed air outlet 12 to purify the discharged air; A vacuum hose 90 having one end installed in the coupling hole 13 while the outside of the housing 10 is installed, and the nozzle block 91 installed at the other end thereof; Including, and by such a configuration by the present invention is a defect that occurs during the assembly of the small camera module is reduced.

Description

반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치{Camera Module Vacuum Suction Device for Semiconductor Line}Camera Module Vacuum Suction Device for Semiconductor Line

본 고안은 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스마트폰 등에 장착되는 소형 카메라 모듈을 조립하기 위해 부품을 진공 흡착하는 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a camera module vacuum adsorption device for semiconductor lines, and more particularly, to a semiconductor module camera adsorption device for vacuum adsorption of components for assembling a small camera module mounted on a smartphone or the like.

일반적으로 스마트폰에 장착되는 소형 카메라 모듈은 그 크기가 1㎝이하로 매우 작기 때문에 각 부품을 파지하여 서로 조립하는 과정이 정교하게 이루어질 필요가 있다.In general, the small camera module mounted on the smart phone is very small, the size of less than 1cm, so the process of assembling each other by holding each component needs to be made elaborate.

이를 위해 종래에는 집게 구조로된 파지장치를 이용하여 소형 카메라 모듈의 양측면을 파지한 다음, 상대부품의 위치로 이동시킨 다음, 상대부품의 위치에 맞추어 조립하고 있는데, 이 경우 소형 카메라 모듈의 양측면을 가압하는 집게의 힘을 정확하게 조절하여야 하는 문제가 있다.To this end, conventionally, both sides of the small camera module are gripped by using a gripper structure having a forceps structure, and then moved to the position of the counterpart and then assembled according to the position of the counterpart. In this case, both sides of the compact camera module are assembled. There is a problem in that the force of the tongs to be precisely adjusted.

즉, 집게의 힘의 약하면 이동 과정에서 카메라 모듈이 쉽게 이탈될 수 있고, 반대로 힘이 세면 카메라 모듈의 외관에 흠집을 내게 되어 불량품을 만들게 된다.In other words, if the force of the forceps is weak, the camera module can be easily detached during the movement process. On the contrary, if the force is high, the exterior of the camera module is scratched to make a defective product.

따라서 소형 카메라 모듈을 파지하여 이동 및 조립하는 정교한 작업을 위해 진공 흡착장치가 개발되고 있다.Therefore, vacuum adsorption devices have been developed for the sophisticated work of gripping, moving and assembling small camera modules.

종래의 진공 흡착장치는 진공 흡착된 카메라 모듈이 진공 흡착장치의 노즐블록에 가려져 보이지 않고, 이에 의해 진공 흡착시킨 부품을 상대부품과 조립되기 위한 위치로 정확하게 위치시켜 조립하기가 어렵던 문제가 있다.The conventional vacuum adsorption device has a problem that the vacuum-adsorbed camera module does not appear hidden by the nozzle block of the vacuum adsorption device, thereby making it difficult to assemble by accurately positioning the vacuum-adsorbed parts to a position for assembling with the counterpart parts.

또한 진공 흡착력이 강하면 카메라 모듈이 진공 흡착되는 과정에서 충격이 발생하면서 부품이 파손되기도 한다.In addition, if the vacuum adsorption force is strong, parts may be damaged while an impact occurs during the vacuum adsorption of the camera module.

따라서 진공 흡착장치에서 카메라 모듈을 안정적으로 흡착 및 흡착 해제할 수 있으면서도 모듈의 정교한 조립 작업이 가능케 하는 구조 개선된 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치의 개발이 요구된다.Accordingly, there is a need to develop an improved camera module vacuum adsorption device for semiconductor lines in which a vacuum adsorption device can stably adsorb and release adsorption of a camera module while enabling precise assembly of the module.

KRKR 10-059937310-0599373 B1B1 KRKR 10-065281510-0652815 B1B1 KRKR 10-2016-000481810-2016-0004818 AA

따라서 본 고안은 상기와 같은 종래의 카메라 모듈 진공 흡착장치가 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 소형의 카메라 모듈을 진공 흡착함에 있어서 카메라 모듈을 파지하여 정확하게 조립할 수 있도록 부품의 위치 확인이 용이하고, 부품의 진공 흡착 및 탈착 과정에서 발생하는 충격에 의해 부품이 파손되지 않도록 진공 압력(해제 압력)의 조절이 가능한 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention was devised to solve the problems of the conventional camera module vacuum adsorption device as described above, and it is easy to check the position of parts so that the camera module can be accurately assembled by holding the small camera module in vacuum adsorption. It is an object of the present invention to provide a camera module vacuum adsorption device for a semiconductor line, in which the vacuum pressure (release pressure) can be adjusted so that the component is not damaged by the shock generated during the vacuum adsorption and desorption process of the component.

상기와 같은 본 고안의 목적은 카메라 모듈 진공 흡착장치를, 내부에 수용공간이 형성되면서 일측에 압축공기 유입구와 압축공기 배출구 및 결합공이 설치되는 하우징과; 일단이 압축공기 유입구와 연결되면서 수용공간에 설치되고, 타단이 압축공기 배출구와 연결되는 압축공기라인과; 압축공기라인 상에 설치되는 솔레노이드밸브와; 압축공기 배출구와 솔레노이드밸브 사이의 압축공기라인 상에 설치되는 이젝터와; 일단이 이젝터와 연통되도록 설치되면서 타단이 결합공에 설치되는 진공라인과; 진공라인 상에 설치되는 진공 레귤레이터와; 이젝터와 진공 레귤레이터 사이의 진공라인 상에 설치되는 제1 필터와; 하우징의 외측에 설치되면서 압축공기 배출구와 연결되어 배출되는 공기를 정화하는 제2 필터 및; 하우징의 외측에 설치되면서 일단이 결합공에 설치되고, 타단에는 노즐블록이 설치되는 진공호스; 를 포함하여 구성하는 것에 의해 달성된다.An object of the present invention as described above is a camera module vacuum adsorption device, the housing is provided with a compressed air inlet and compressed air outlet and the coupling hole on one side while the receiving space is formed therein; A compressed air line having one end connected to the compressed air inlet and installed in the accommodation space, and the other end connected to the compressed air outlet; A solenoid valve installed on the compressed air line; An ejector installed on the compressed air line between the compressed air outlet and the solenoid valve; A vacuum line having one end installed in communication with the ejector and the other end installed in the coupling hole; A vacuum regulator installed on the vacuum line; A first filter installed on a vacuum line between the ejector and the vacuum regulator; A second filter installed outside the housing and connected to the compressed air outlet to purify the discharged air; One end is installed in the coupling hole while the outer side of the housing is installed, the other end of the vacuum hose is installed nozzle block; It is achieved by configuring, including.

그리고 본 고안은 압축공기 배출구와 이젝터 사이의 압축공기라인 상에 체크밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.And the present invention is characterized in that the check valve is installed on the compressed air line between the compressed air outlet and the ejector.

또한 본 고안은 진공 레귤레이터에 진공게이지가 더 설치되는 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is another feature that the vacuum gauge is further installed in the vacuum regulator.

이에 더해 본 고안은 압축공기 유입구쪽의 압축공기라인에 진공해제라인이 일단이 연통되도록 설치되고, 진공해제라인의 타단은 결합공과 진공 레귤레이터 사이의 진공라인과 연통되도록 설치되는 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that one end of the vacuum release line is installed in communication with the compressed air line on the compressed air inlet side, and the other end of the vacuum release line is installed in communication with the vacuum line between the coupling hole and the vacuum regulator. .

한편, 본 고안은 진공해제라인 상에 압축공기의 토출 압력을 조절하는 스피드컨트롤러가 설치되는 것을 또 다른 특징으로 한다.On the other hand, the present invention is characterized in that the speed controller for controlling the discharge pressure of the compressed air is installed on the vacuum release line.

그리고 본 고안은 스피드컨트롤러가 3/100 ~ 0.5g 범위로 압력이 조절되는 것을 또 다른 특징으로 한다.And the present invention is another feature that the speed controller is pressure controlled in the range of 3/100 ~ 0.5g.

또한 본 고안은 노즐블록이 수직 길이를 가지는 탭연결부와; 탭연결부의 하단과 연결되면 수평의 길이를 가지는 바디부와; 바디부의 저면에 일정 간격을 두고 한 쌍이 설치되는 노즐 설치부 및; 노즐 설치부에 각각 설치되는 노즐; 을 포함하는 것을 또 다른 특징으로 한다.In another aspect, the present invention and the tab connection portion has a vertical length of the nozzle block; A body part having a horizontal length when connected to the bottom of the tab connection part; A nozzle installation unit in which a pair is installed at a predetermined interval on the bottom of the body part; Nozzles respectively installed in the nozzle mounting unit; It is another feature to include a.

이에 더해 본 고안은 바디부에 탭연결부의 제1 구멍과 노즐 설치부의 제2 구멍을 서로 연결하는 수평의 제3 구멍이 형성되는 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that a third horizontal hole is formed to connect the first hole of the tab connection part and the second hole of the nozzle installation part to each other.

그리고 본 고안은 노즐이 천연고무, 유연성 수지, 실리콘 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 또 다른 특징으로 한다.The present invention is another feature that the nozzle is made of any one material selected from natural rubber, flexible resin, silicone.

또한 본 고안은 노즐의 하부 내경이 0.8㎜이고, 노즐 설치부와 결합되는 상부 내경이 1.0㎜인 것을 또 다른 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that the lower inner diameter of the nozzle is 0.8mm, the upper inner diameter is coupled to the nozzle mounting portion is 1.0mm.

본 고안에 따르면, 반도체 라인의 소형의 카메라 모듈을 노즐블록에 구비된 2개의 노즐을 이용하여 진공 흡착함으로써 부품의 코너부분의 확인이 용이하고, 이에 의해 카메라 모듈의 위치를 쉽게 확인 해가면서 상대부품과의 조립을 정확하게 진행할 수 있다.According to the present invention, the small camera module of the semiconductor line is vacuum-adsorbed by using two nozzles provided in the nozzle block, so that the corner part of the component can be easily checked, whereby the relative part of the camera module can be easily checked while Can be assembled correctly.

또한, 본 고안은 진공 레귤레이터와 스피드컨트롤러를 이용하여 진공압력과 진공을 해제하기 위한 압축공기의 토출 압력을 적절하게 조절할 수 있고, 이에 의해 부품이 진공 흡착 및 진공 해제 과정에서 파손되지 않는다.In addition, the present invention can properly adjust the vacuum pressure and the discharge pressure of the compressed air for releasing the vacuum by using a vacuum regulator and a speed controller, whereby the parts are not damaged during the vacuum adsorption and vacuum release process.

도 1은 본 고안에 따른 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치의 예를 보인 사시도이고,
도 2는 도 1의 평면도이며,
도 3은 도 2에서 하우징의 내부를 보인 평면도이고,
도 4는 본 고안에 따른 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치의 예를 보인 구성도이며,
도 5는 본 고안에 따른 진공라인과 핸들 및 노즐블록을 보인 사이도이고,
도 6은 본 고안에 따른 노즐블록의 예를 보인 사시도이며,
도 7은 본 고안에 따른 노즐블록의 예를 보인 단면도이고,
도 8은 본 고안에 따른 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치를 이용하여 진공을 형성하는 예를 보인 구성도이며,
도 9는 본 고안에 따른 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치에서 진공을 해제하는 예를 보인 구성도이다.
1 is a perspective view showing an example of a camera module vacuum adsorption device for a semiconductor line according to the present invention,
2 is a plan view of FIG. 1,
3 is a plan view showing the inside of the housing in FIG.
Figure 4 is a block diagram showing an example of a vacuum module for the camera module vacuum adsorption apparatus according to the present invention,
5 is a view showing a vacuum line and a handle and a nozzle block according to the present invention,
6 is a perspective view showing an example of a nozzle block according to the present invention,
7 is a cross-sectional view showing an example of a nozzle block according to the present invention,
8 is a configuration diagram showing an example of forming a vacuum by using a vacuum module for adsorption of the camera module for semiconductor lines according to the present invention,
Figure 9 is a block diagram showing an example of releasing the vacuum in the vacuum module of the camera module vacuum adsorption apparatus according to the present invention.

이하에서는 본 고안의 바람직한 실시예를 도시한 첨부도면에 따라 본 고안의 구성과 작용에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the present invention according to the accompanying drawings showing a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

본 고안은 소형의 카메라 모듈을 진공 흡착함에 있어서 카메라 모듈을 파지하여 정확하게 조립할 수 있도록 부품의 확인이 용이하고, 부품을 진공 흡착 및 탈착 과정에서 발생하는 충격에 의해 부품이 파손되지 않도록 진공 압력의 조절이 가능한 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치를 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 고안은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 하우징(10), 압축공기라인(20), 솔레노이드밸브(30), 이젝터(40), 진공라인(50), 진공 레귤레이터(60), 제1 필터(70), 제2 필터(80) 및 진공호스(90)를 포함한다.The present invention facilitates the identification of parts so that the camera module can be accurately assembled by holding the camera module in vacuum adsorption, and the vacuum pressure is controlled so that the parts are not damaged by the shock generated during the vacuum adsorption and desorption process. The present invention is to provide a camera module vacuum adsorption device for this possible, this invention is as shown in Figure 1 and 2, the housing 10, the compressed air line 20, the solenoid valve 30, the ejector ( 40, a vacuum line 50, a vacuum regulator 60, a first filter 70, a second filter 80, and a vacuum hose 90.

하우징(10)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 사각 박스 모양으로 형성되고, 그 내부에는 수용공간이 형성되며, 이러한 하우징(10)의 일측면에는 압축공기 유입구(11)와 압축공기 배출구(12) 및 후술하는 진공호스(90)가 연결되는 결합공(13)이 서로 이격되어 각각 구비된다.The housing 10 is formed in a rectangular box shape as shown in FIGS. 1 and 2, and an accommodation space is formed therein, and one side of the housing 10 has a compressed air inlet 11 and a compressed air outlet. 12 and the coupling hole 13 to which the vacuum hose 90 to be described later is connected are provided with spaced apart from each other.

그리고 하우징(10)의 또 다른 측면에는 외부 전원을 공급하기 위한 전원공급단자(도시하지 않음)와 전원스위치(도시하지 않음) 등이 더 구비된다.And another side of the housing 10 is further provided with a power supply terminal (not shown) and a power switch (not shown) for supplying external power.

하우징(10)의 수용공간에는 압축공기라인(20)이 설치되고, 이러한 압축공기라인(20)의 일단은 압축공기 유입구(11)와 연결되고, 타단은 압축공기 배출구(12)와 연결되도록 설치된다.The compressed air line 20 is installed in the accommodation space of the housing 10, one end of the compressed air line 20 is connected to the compressed air inlet 11, and the other end is installed to be connected to the compressed air outlet 12. do.

그리고 컴프레서 등과 같은 고압의 압축공기 생성장치에 의해 고압의 압축공기가 압축공기 유입구(11)를 통해 공급되면, 압축공기라인(20)을 통해 하우징(10)의 내부 유로를 따라 흐르면서 압축공기 배출구(12)를 통해 외부로 배출된다.When compressed air of high pressure is supplied through the compressed air inlet port 11 by a high pressure compressed air generator such as a compressor, the compressed air outlet port flows along the inner flow path of the housing 10 through the compressed air line 20. 12) is discharged to the outside.

이때 압축공기 배출구(12)와 후술하는 이젝터(40) 사이의 압축공기라인(20) 상에는 체크밸브(CV)가 설치되고, 이러한 이젝터(40)에 의해 후술하는 진공라인(50)으로 진공 흡인력이 발생하며, 체크밸브(CV)에 의해 유로 압축공기라인(20)의 내부 공기가 역 방향으로 흐르는 것이 방지된다.At this time, a check valve CV is installed on the compressed air line 20 between the compressed air outlet 12 and the ejector 40 to be described later, and the vacuum suction force is applied to the vacuum line 50 described later by the ejector 40. And the internal air of the flow path compressed air line 20 is prevented from flowing in the reverse direction by the check valve CV.

또한 압축공기 유입구(11)쪽의 압축공기라인(20)에는 진공해제라인(21)이 일단이 연통되도록 설치되고, 타단은 결합공(13)과 후술하는 진공 레귤레이터(60) 사이의 후술하는 진공라인(50)과 연통되도록 설치된다.In addition, one end of the vacuum release line 21 is installed in the compressed air line 20 at the compressed air inlet 11 side, and the other end of the vacuum is described below between the coupling hole 13 and the vacuum regulator 60 described later. It is installed to communicate with the line 50.

이에 더해 진공해제라인(21) 상에는 유로를 차단 또는 차단 해제하는 제어밸브(21A)와 압축공기의 토출 압력을 조절하는 스피드컨트롤러(22)가 설치되고, 사용자는 제어밸브(21A)를 이용하여 진공해제라인(21)으로 압축공기가 유입 또는 유입 차단되도록 제어할 수 있으며, 스피드컨트롤러(22)를 이용하여 3/100 ~ 0.5g 범위로 압축공기의 속도(압력)을 조절할 수 있게 된다.In addition, a control valve 21A for blocking or releasing the flow path and a speed controller 22 for adjusting the discharge pressure of the compressed air are installed on the vacuum release line 21. The user uses a control valve 21A to vacuum the valve. The release line 21 can be controlled to block the inlet or inflow of compressed air, it is possible to adjust the speed (pressure) of the compressed air in the range of 3/100 ~ 0.5g using the speed controller 22.

상기와 같은 스피드컨트롤러(22)의 구성에 의해 사용자가 카메라 모듈(1)을 진공 흡착하여 파지 한 다음, 적정한 위치로 이동하여 상대부품과 조립될 위치로 이동하여 진공을 해제할 때, 스피드컨트롤러(22)에 의해 적정한 압력으로 압축공기가 후술하는 노즐(91D)을 통해 토출되도록 제어하여 카메라 모듈(1)에 큰 충격이 가해지지 않으면서도 안정적으로 진공 흡착이 해제되게 된다.By the configuration of the speed controller 22 as described above, when the user vacuum-adsorbs and grips the camera module 1 and then moves to an appropriate position to move to a position to be assembled with the counterpart and releases the vacuum, the speed controller ( 22), the compressed air is controlled to be discharged through the nozzle 91D to be described later at an appropriate pressure, so that the vacuum adsorption is stably released without a large impact to the camera module 1.

압축공기라인(20) 상에는 솔레노이드밸브(30)가 설치되고, 이러한 솔레노이드밸브(30)에 의해 압축공기라인(20)을 통해 압축공기가 통과 또는 차단되면서 진공 흡인력이 발생하거나 또는 중단된다. 솔레노이드밸브(30)는 풋 스위치(foot switch)에 의해 동작되는 것이 바람직하다.The solenoid valve 30 is installed on the compressed air line 20, and the vacuum suction force is generated or stopped while the compressed air passes or blocks through the compressed air line 20 by the solenoid valve 30. The solenoid valve 30 is preferably operated by a foot switch.

이러한 솔레노이드밸브(30)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 하우징(10)의 수용공간에 설치되는 전원공급부(PW)로부터 전원을 공급받아 동작된다.The solenoid valve 30 is operated by receiving power from the power supply unit PW installed in the accommodation space of the housing 10 as shown in FIGS. 3 and 4.

압축공기 배출구(12)와 솔레노이드밸브(30) 사이의 압축공기라인(20) 상에는 이젝터(40)가 설치되고, 이러한 이젝터(40)에 의해 압축공기라인(20)을 따라 고압의 압축공기가 빠르게 통과하면서 후술하는 진공라인(50)에 진공 흡인력이 발생하게 된다.The ejector 40 is installed on the compressed air line 20 between the compressed air outlet 12 and the solenoid valve 30, and the high pressure compressed air along the compressed air line 20 is fastened by the ejector 40. As it passes, a vacuum suction force is generated in the vacuum line 50 described later.

이러한 이젝터(40, in-jector)는 벤츄리 원리(Venturi effect)에 의해 관체의 내부에서 직경이 좁은 부분을 지날 때, 유체(공기)의 속도는 빨라지고 상대적으로 압력은 낮아지는 현상을 이용한 것으로, 직경이 좁은 부분에 진공라인(50)과 연결된 관체 내부의 흡인실이 형성되고, 이에 의해 압축공기가 관체의 직경이 좁은 부분을 빠르게 통과하면서 낮아진 압력에 의해 흡인실을 통해 진공라인(50)의 공기를 흡인하게 되고, 이와 같이 진공라인(50)의 공기가 압축공기라인(20)으로 흡인되면서 상대적으로 진공라인(50)의 하류쪽에 설치되는 후술하는 진공호스(90)를 통해 진공 흡인력이 발생된다.The ejector 40 uses the phenomenon that the velocity of the fluid (air) is faster and the pressure is lowered as it passes through the narrow diameter portion inside the tube by the Venturi principle. A suction chamber inside the tubular body connected to the vacuum line 50 is formed at the narrow portion, whereby the compressed air is rapidly passed through the narrow portion of the tubular body, and the air of the vacuum line 50 is passed through the suction chamber by the pressure lowered. In this way, as the air of the vacuum line 50 is sucked into the compressed air line 20, a vacuum suction force is generated through a vacuum hose 90 which will be described later, which is installed relatively downstream of the vacuum line 50. .

상기와 같은 이젝터(40)는 진공을 형성하거나 제1 유체의 유속에 의해 제2 유체를 흡인하여 토출하기 위한 용도로 널리 사용되고 있는 바, 이젝터(40)의 더욱 상세한 구조에 대한 설명은 생략한다.The ejector 40 as described above is widely used for forming a vacuum or sucking and discharging the second fluid by the flow rate of the first fluid, and thus a detailed description of the ejector 40 will be omitted.

진공라인(50) 상에는 진공 레귤레이터(60)가 설치되고, 이러한 진공 레귤레이터(60)에 의해 이젝터(40)에 의해 진공라인(50) 내부의 공기가 흡인되어 발생하는 진공 압력이 조절된다.The vacuum regulator 60 is installed on the vacuum line 50, and the vacuum pressure generated by the air inside the vacuum line 50 is controlled by the ejector 40 by the vacuum regulator 60.

이러한 진공 레귤레이터(60)의 일측에는 진공게이지(61)가 설치되고, 사용자는 진공게이지(61)에 나타나는 진공 압력을 확인해가면서 진공 레귤레이터(60)를 이용하여 진공 압력을 적절하게 조절할 수 있다.The vacuum gauge 61 is installed at one side of the vacuum regulator 60, and the user can appropriately adjust the vacuum pressure by using the vacuum regulator 60 while checking the vacuum pressure appearing in the vacuum gauge 61.

이젝터(40)와 진공 레귤레이터(60) 사이의 진공라인(50) 상에는 제1 필터(70)가 설치되고, 이러한 제1 필터(70)에 의해 후술하는 진공호스(90)를 통해 진공라인(50)의 내부로 유입되는 공기중에 포함된 먼지(파티클) 등의 이물질이 걸러져 내부 유로로 유입되는 것이 방지된다.The first filter 70 is installed on the vacuum line 50 between the ejector 40 and the vacuum regulator 60, and the vacuum line 50 is provided through the vacuum hose 90 described later by the first filter 70. Foreign matter such as dust (particles) contained in the air flowing into the inside of the filtration is filtered to prevent the flow into the internal flow path.

이러한 제1 필터(70)는 필요에 따라 쉽게 교체할 수 있도록 하우징(10)의 외측에 장탈착 가능한 구조로 설치된다.The first filter 70 is installed in a removable structure on the outside of the housing 10 so that it can be easily replaced as needed.

하우징(10)의 외측에는 제2 필터(80)가 설치되고, 이러한 제2 필터(80)를 통해 압축공기라인(20)을 따라 압축공기 배출구(12)로 배출되는 압축공기가 제2 필터(80)를 통과하여 외부로 배출되게 된다.A second filter 80 is installed outside the housing 10, and the compressed air discharged to the compressed air outlet 12 along the compressed air line 20 through the second filter 80 is provided with a second filter ( 80 is discharged to the outside.

이를 위해 압축공기 배출구(12)에는 연결호스(81)의 일단이 연결되고, 이 연결호스(81)의 타단에 제2 필터(80)가 설치된다.To this end, one end of the connection hose 81 is connected to the compressed air outlet 12, and a second filter 80 is installed at the other end of the connection hose 81.

상기와 같은 제2 필터(80)에 의해 반도체 라인의 실내로 압축공기가 배출되더라도 먼지 등의 이물질이 배출되지 않고 이에 의해 공기를 청결하게 유지할 수 있다.Even if compressed air is discharged into the interior of the semiconductor line by the second filter 80 as described above, foreign substances such as dust are not discharged, thereby keeping the air clean.

하우징(10)의 외측에 위치되면서 일단이 결합공(13)에 설치되는 진공호스(90)는 도 5에 도시된 바와 같이 하단 부분에 일정 길이의 손잡이부(90A)가 구비되고, 이 손잡이부(90A)의 하부로 노즐블록(91)이 조립된다.As shown in FIG. 5, the vacuum hose 90 having one end installed in the coupling hole 13 while being positioned outside the housing 10 is provided with a handle portion 90A having a predetermined length at a lower portion thereof. The nozzle block 91 is assembled below the 90A.

이때 노즐블록(91)은 도 6에 도시된 바와 같이 수직 길이를 가지는 탭연결부(91A)와, 탭연결부(91A)의 하단과 연결되면 수평의 길이를 가지는 바디부(91B)와, 바디부(91B)의 저면에 일정 간격을 두고 한 쌍이 설치되는 노즐 설치부(91C) 및 노즐 설치부(91C)에 각각 설치되는 노즐(91D)을 포함한다.At this time, the nozzle block 91 is a tab connecting portion 91A having a vertical length as shown in FIG. 6, a body portion 91B having a horizontal length when connected to the lower end of the tab connecting portion 91A, and a body portion ( The nozzle mounting part 91C provided with a pair at the bottom face of 91B at predetermined intervals, and the nozzle 91D provided in the nozzle installation part 91C, respectively.

그리고 바디부(91B)에는 도 7에 도시된 바와 같이 탭연결부(91A)의 제1 구멍(H1)과 노즐 설치부(91C)의 제2 구멍(H2)을 서로 연통시키는 수평의 제3 구멍(H3)이 형성되고, 이 제3 구멍(H3)의 일단은 나사(S)로 폐색된다.As illustrated in FIG. 7, the body portion 91B has a horizontal third hole (H1) of the tab connection portion 91A and the second hole H2 of the nozzle mounting portion 91C communicating with each other. H3) is formed and one end of this third hole H3 is closed with a screw S. As shown in FIG.

또한, 노즐(91D)은 천연고무, 유연성 수지, 실리콘 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어지고, 노즐(91D)이 손상되거나 경화되면 쉽게 교체할 수 있도록 구성된다.In addition, the nozzle 91D is made of any one material selected from natural rubber, flexible resin, and silicone, and is configured to be easily replaced when the nozzle 91D is damaged or hardened.

이에 더해 노즐(91D)은 하부 내경(A)은 0.8㎜이고, 노즐 설치부(91C)와 결합되는 상부 내경(B)은 1.0㎜로 구성됨으로써 노즐(91D)의 하단이 좁게 형성되고, 이에 의해 진공압력에 따른 적정의 흡착력과 압축공기의 토출에 의한 적정의 진공 해제력이 작용한다.In addition, the nozzle 91D has a lower inner diameter A of 0.8 mm, and the upper inner diameter B engaged with the nozzle mounting portion 91C is 1.0 mm, so that the lower end of the nozzle 91D is narrowly formed. The proper adsorption force according to the vacuum pressure and the appropriate vacuum releasing force by the discharge of the compressed air act.

이상과 같이 구성되는 본 고안의 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치를 사용할 때에는 솔레노이드밸브(30)가 압축공기라인(20)의 유로를 개방하면, 도 8에 도시된 바와 같이 압축공기 유입구(11)를 통해 적정의 압축공기가 압축공기라인(20)으로 유입되고, 고압의 압축공기가 압축공기라인(20)을 통해 이젝터(40)와 체크밸브(CV) 및 압축공기 배출구(12)를 거쳐 연결호스(81)를 따라 제2 필터(80)로 흐르게 된다.When using the semiconductor module camera module vacuum adsorption device of the present invention configured as described above, if the solenoid valve 30 opens the flow path of the compressed air line 20, the compressed air inlet 11 as shown in FIG. Proper compressed air is introduced into the compressed air line 20 through the high pressure compressed air through the ejector 40, the check valve (CV), and the compressed air outlet 12 through the compressed air line 20. The second filter 80 flows along the hose 81.

이 과정에서 이젝터(40)의 흡인실과 연결되는 진공라인(50)을 통해 공기가 흡인되어 압축공기라인(20)을 따라 제2 필터(80)로 흐르게 되고, 이에 의해 노즐(91D)을 통해 진공호스(90)과 진공라인(50) 방향으로 공기가 흡인되면서 노즐(91D)측에 진공 흡인력이 발생된다.In this process, air is sucked through the vacuum line 50 connected to the suction chamber of the ejector 40 and flows along the compressed air line 20 to the second filter 80, thereby vacuuming through the nozzle 91D. As the air is sucked in the direction of the hose 90 and the vacuum line 50, a vacuum suction force is generated on the nozzle 91D side.

이 상태로 노즐(91D)을 카메라 모듈(1)의 위쪽에 위치시키면 카메라 모듈(1)의 상면이 진공 흡인력에 의해 노즐(91D)에 진공 흡착되고, 압축공기라인(20)을 통해 고압의 압축공기가 통과하는 흐름이 유지되는 동안 진공 흡인력이 그대로 유지되게 된다.When the nozzle 91D is positioned above the camera module 1 in this state, the upper surface of the camera module 1 is vacuum-adsorbed to the nozzle 91D by the vacuum suction force, and the high pressure compression is performed through the compressed air line 20. The vacuum suction force is maintained while the flow through which the air passes is maintained.

이때 사용자는 카메라 모듈(1)의 무게 등 종류에 따라 진공 압력을 진공 레귤레이터(60)를 이용하여 미리 적절하게 조절한다.At this time, the user adjusts the vacuum pressure appropriately in advance using the vacuum regulator 60 according to the type of the weight of the camera module 1 and the like.

한편, 진공 흡착된 카메라 모듈(1)을 상대부품과 조립되는 위치로 적절하게 이동시키고 나면, 진공을 해제할 필요가 있고, 이때 솔레노이드밸브(30)를 잠그면 압축공기라인(20)을 통해 더 이상 고압의 압축공기가 흐르지 못하면서 진공 흡인력이 낮아지면서 흡착된 카메라 모듈(1)이 자중에 의해 떨어지게 된다.On the other hand, once the vacuum-adsorbed camera module 1 is properly moved to the position assembled with the counterpart, it is necessary to release the vacuum. At this time, when the solenoid valve 30 is locked, it is no longer through the compressed air line 20. While the high pressure compressed air does not flow, the vacuum suction force is lowered and the absorbed camera module 1 is dropped by its own weight.

이때 본 고안은 신속 정확한 진공해제를 위해 도 9에 도시된 바와 같이 노즐(91D)을 통해 적절한 압력의 압축공기를 공급하여 카메라 모듈(1)을 떨어트릴 수 있는데, 이를 위해 솔레노이드밸브(30)를 잠근 상태에서 제어밸브(21A)를 개방하면 압축공기라인(20)으로 공급되는 압축공기가 진공해제라인(21)을 통해 진공라인(50)으로 공급되고, 이렇게 공급된 압축공기는 진공라인(50)과 진공호스(90)을 통해 노즐(91D)쪽으로 흘러 카메라 모듈(1)을 노즐(91D)로부터 떨어트림으로써 진공이 빠르게 해제된다.In this case, the present invention can drop the camera module 1 by supplying compressed air of an appropriate pressure through the nozzle 91D as shown in FIG. 9 for quick and accurate vacuum release, and for this purpose, the solenoid valve 30 is provided. When the control valve 21A is opened in the locked state, the compressed air supplied to the compressed air line 20 is supplied to the vacuum line 50 through the vacuum release line 21, and the compressed air thus supplied is supplied to the vacuum line 50. ) And the vacuum hose 90 flows toward the nozzle 91D to release the camera module 1 from the nozzle 91D, thereby releasing the vacuum quickly.

여기서 노즐(91D)을 통해 토출되는 압축공기의 세기가 너무 강하면, 진공 흡착된 카메라 모듈(1)이 강하게 떨어지면서 파손될 수 있고, 따라서 사용자는 스피드컨트롤러(22)를 이용하여 압축공기의 속도(압력)을 미리 조절한 다음, 작동하는 것이 바람직하다.If the intensity of the compressed air discharged through the nozzle 91D is too strong, the vacuum-adsorbed camera module 1 may drop strongly and be damaged, so that the user may use the speed controller 22 to control the speed (pressure) of the compressed air. ), It is preferable to operate in advance.

이상 설명한 바와 같이 본 고안은 반도체 라인의 소형의 카메라 모듈을 노즐블록에 구비된 2개의 노즐을 이용하여 진공 흡착함으로써 부품의 위치를 쉽게 확인 해가면서 조립을 진행할 수 있는 장점이 있다.As described above, the present invention has an advantage that the assembly of the small camera module of the semiconductor line is carried out by vacuum suction using two nozzles provided in the nozzle block while easily confirming the position of the component.

본 장치는 반도체 공정 중의 크린룸에서 사용하기 때문에 진공박스 내에 진공필터가 설치되고, 사용한 공기는 진공 배기단에 배기필터(크린룸 사양)를 통해 정화된 공기가 클린룸에 배출된다.Since this apparatus is used in a clean room during a semiconductor process, a vacuum filter is installed in a vacuum box, and the used air is discharged to the clean room through the exhaust filter (clean room specification) at the vacuum exhaust stage.

위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 고안에 따른 하나의 실시예로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 고안의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 당업자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.In the above description, for the convenience of description, reference has been made to the drawings and the components shown in the drawings showing the preferred embodiments, but with reference to the reference numerals and names, which is one embodiment according to the present invention It should be understood that the scope of the rights should not be construed as limiting, and it is extremely obvious that the simple substitution of a structure having the same function as the change from the description of the design to the various shapes predictable is within the scope of change for easy implementation by those skilled in the art. Will see.

1: 카메라 모듈 10: 하우징
11: 압축공기 유입구 12: 압축공기 배출구
13: 결합공 20: 압축공기라인
21: 진공해제라인 21A: 제어밸브
22: 스피드컨트롤러 30: 솔레노이드밸브
40: 이젝터 50: 진공라인
60: 진공 레귤레이터 61: 진공게이지
70: 제1 필터 80: 제2 필터
81: 연결호스 90: 진공호스
90A: 손잡이부 91: 노즐블록
91A: 호스연결부 91B: 바디부
91C: 노즐 설치부 91D: 노즐
A: 하부 내경 B: 상부 내경
CV: 체크밸브 H1: 제1 구멍
H2: 제2 구멍 H3: 제3 구멍
PW: 전원공급부 S: 나사
1: camera module 10: housing
11: compressed air inlet 12: compressed air outlet
13: coupling hole 20: compressed air line
21: vacuum release line 21A: control valve
22: speed controller 30: solenoid valve
40: ejector 50: vacuum line
60: vacuum regulator 61: vacuum gauge
70: first filter 80: second filter
81: connecting hose 90: vacuum hose
90A: Handle 91: Nozzle Block
91A: Hose connection 91B: Body
91C: Nozzle Mount 91D: Nozzle
A: lower inner diameter B: upper inner diameter
CV: Check valve H1: 1st hole
H2: second hole H3: third hole
PW: Power Supply S: Screw

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 내부에 수용공간이 형성되면서 일측에 압축공기 유입구(11)와 압축공기 배출구(12) 및 결합공(13)이 설치되는 하우징(10)과; 일단이 상기 압축공기 유입구(11)와 연결되면서 상기 수용공간에 설치되고, 타단이 상기 압축공기 배출구(12)와 연결되는 압축공기라인(20)과; 상기 압축공기라인(20) 상에 설치되는 솔레노이드밸브(30)와; 상기 압축공기 배출구(12)와 상기 솔레노이드밸브(30) 사이의 상기 압축공기라인(20) 상에 설치되는 이젝터(40)와; 일단이 상기 이젝터(40)와 연통되도록 설치되면서 타단이 상기 결합공(13)에 설치되는 진공라인(50)과; 상기 진공라인(50) 상에 설치되는 진공 레귤레이터(60)와; 상기 이젝터(40)와 상기 진공 레귤레이터(60) 사이의 상기 진공라인(50) 상에 설치되는 제1 필터(70)와; 상기 하우징(10)의 외측에 설치되면서 상기 압축공기 배출구(12)와 연결되어 배출되는 공기를 정화하는 제2 필터(80) 및; 상기 하우징(10)의 외측에 설치되면서 일단이 상기 결합공(13)에 설치되고, 타단에는 노즐블록(91)이 설치되는 진공호스(90); 를 포함하되,

상기 압축공기 배출구(12)와 상기 이젝터(40) 사이의 상기 압축공기라인(20) 상에는 체크밸브(CV)가 설치되고, 상기 진공 레귤레이터(60)에는 진공게이지(61)가 더 설치되고,

상기 압축공기 유입구(11)쪽의 상기 압축공기라인(20)에는 진공해제라인(21)이 일단이 연통되도록 설치되고, 상기 진공해제라인(21)의 타단은 상기 결합공(13)과 상기 진공 레귤레이터(60) 사이의 상기 진공라인(50)과 연통되도록 설치되고,

상기 진공해제라인(21) 상에는 압축공기의 토출 압력을 조절하는 스피드컨트롤러(22)가 설치되고, 상기 스피드컨트롤러(22)는 3/100 ~ 0.5g 범위의 압력으로 조절되고,

상기 노즐블록(91)은, 수직 길이를 가지는 탭연결부(91A)와; 상기 탭연결부(91A)의 하단과 연결되면 수평의 길이를 가지는 바디부(91B)와; 상기 바디부(91B)의 저면에 일정 간격을 두고 한 쌍이 설치되는 노즐 설치부(91C) 및; 상기 노즐 설치부(91C)에 각각 설치되는 노즐(91D); 을 포함하고,

상기 바디부(91B)에는 상기 탭연결부(91A)의 제1 구멍(H1)과 상기 노즐 설치부(91C)의 제2 구멍(H2)을 서로 연결하는 수평의 제3 구멍(H3)이 형성되고,

상기 노즐(91D)은 천연고무, 유연성 수지, 실리콘 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 이루어지고,

상기 노즐(91D)은 하부 내경(A)이 0.8㎜이고, 상기 노즐 설치부(91C)와 결합되는 상부 내경(B)이 1.0㎜이고, 상기 솔레노이드밸브(30)는 풋 스위치(foot switch)에 의해 동작되는 것을 특징으로 하는 반도체 라인용 카메라 모듈 진공 흡착장치.
A housing 10 having an accommodation space formed therein and having a compressed air inlet 11, a compressed air outlet 12, and a coupling hole 13 installed at one side thereof; A compressed air line 20 having one end connected to the compressed air inlet 11 and installed in the accommodation space, and the other end connected to the compressed air outlet 12; A solenoid valve 30 installed on the compressed air line 20; An ejector (40) installed on the compressed air line (20) between the compressed air outlet (12) and the solenoid valve (30); A vacuum line 50 having one end installed in communication with the ejector 40 and the other end installed in the coupling hole 13; A vacuum regulator (60) installed on the vacuum line (50); A first filter (70) installed on the vacuum line (50) between the ejector (40) and the vacuum regulator (60); A second filter 80 installed outside the housing 10 to purify the air discharged in connection with the compressed air outlet 12; A vacuum hose (90) having one end installed in the coupling hole (13) and a nozzle block (91) installed at the other end while being installed outside the housing (10); Including,

A check valve CV is installed on the compressed air line 20 between the compressed air outlet 12 and the ejector 40, and a vacuum gauge 61 is further installed on the vacuum regulator 60.

One end of the vacuum release line 21 is installed in the compressed air line 20 toward the compressed air inlet 11, and the other end of the vacuum release line 21 is connected to the coupling hole 13 and the vacuum. It is installed to communicate with the vacuum line 50 between the regulator 60,

On the vacuum release line 21, a speed controller 22 for adjusting the discharge pressure of the compressed air is installed, the speed controller 22 is adjusted to a pressure in the range of 3/100 ~ 0.5g,

The nozzle block 91 may include: a tab connection portion 91A having a vertical length; A body portion 91B having a horizontal length when connected to a lower end of the tab connecting portion 91A; A nozzle installation portion 91C provided with a pair at a predetermined interval on the bottom surface of the body portion 91B; Nozzles 91D respectively provided in the nozzle mounting portions 91C; Including,

The body portion 91B is provided with a horizontal third hole H3 connecting the first hole H1 of the tab connecting portion 91A and the second hole H2 of the nozzle mounting portion 91C with each other. ,

The nozzle 91D is made of any one material selected from natural rubber, flexible resin, and silicon.

The nozzle 91D has a lower inner diameter A of 0.8 mm, an upper inner diameter B coupled with the nozzle mounting portion 91C of 1.0 mm, and the solenoid valve 30 is connected to a foot switch. Camera module vacuum adsorption device for a semiconductor line, characterized in that is operated by.
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