KR100462194B1 - Multi-Picker of Handler - Google Patents
Multi-Picker of Handler Download PDFInfo
- Publication number
- KR100462194B1 KR100462194B1 KR10-2002-0060558A KR20020060558A KR100462194B1 KR 100462194 B1 KR100462194 B1 KR 100462194B1 KR 20020060558 A KR20020060558 A KR 20020060558A KR 100462194 B1 KR100462194 B1 KR 100462194B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- vacuum
- picker
- valve
- handler
- pickers
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
본 발명은 진공원이 하나인 시스템에서 멀티 픽커를 사용할 때 생기는 오동작을 방지하기 위한 핸들러의 멀티 픽커에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-picker of a handler for preventing the malfunction caused when using the multi-picker in a system with one vacuum source.
본 발명의 핸들러의 멀티 픽커는 하나의 진공원에 복수개의 헤드 및 로봇이 연결되고, 상기 헤드 및 로봇에 각기 연결되는 픽커에는 공기가 공급되는 측(PS)의 한쪽 라인에는 진공 온/오프용 밸브이 설치되고, 다른쪽 라인에는 진공 파괴용 밸브가 설치되며, 진공이 나오는 측(PV)에는 유량 조절밸브를 설치하게 된다. 이와 같이 구성된 핸들러의 멀티 픽커는 진공 펌프와 같은 진공원이 하나인 시스템에서 다수의 픽커를 사용할 때 발생되는 오동작을 방지할 수 있는 이점이 있다.In the multi-picker of the handler of the present invention, a plurality of heads and a robot are connected to one vacuum source, and a valve for vacuum on / off is provided at one line of the side (PS) to which air is supplied to the pickers respectively connected to the head and the robot. The other line is provided with a vacuum breaker valve, the vacuum outlet side (PV) is installed a flow rate control valve. The multi-picker of the handler configured as described above has an advantage of preventing malfunction caused when using a plurality of pickers in a single vacuum source system such as a vacuum pump.
Description
본 발명은 핸들러의 멀티 픽커에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공원이 하나인 시스템에서 멀티 픽커를 사용할 때 생기는 오동작을 방지하기 위한 핸들러의 멀티 픽커에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-picker of the handler, and more particularly, to a multi-picker of the handler for preventing the malfunction caused when using the multi-picker in a system with one vacuum source.
최근, 산업의 고도 발달로 인하여 에너지 소비의 증가와 자원의 고갈, 배기오염의 증가 등 현대사회가 갖고 있는 많은 환경적 어려움을 극복하기 위해 국제사회의 노력이 날로 커지고 있다.Recently, due to the high development of the industry, the efforts of the international community are increasing day by day to overcome many environmental difficulties such as the increase of energy consumption, resource depletion, and the increase of exhaust pollution.
기업의 환경 친화적인 노력에서 가장 중요한 것은 온실가스의 배출억제 즉, 에너지의 절감시키는 것과 같은 소비전력의 절감이 중요하다.The most important factor in the company's environmentally friendly efforts is the reduction of power consumption, such as the suppression of greenhouse gas emissions, that is, the reduction of energy.
이젝터(E)는 도 1에 도시된 바와 같이, 에어 공급원(2)으로부터 에어가 공급되면 에어를 이용하여 이젝터(E)를 경유하면서 진공이 발생되고, 상기 진공은 다시 필터(3)을 경유하여 진공부(4)에 제공된다. 그리고, 이젝터(E)의 일측에는 진공발생시 발생되는 소음을 줄이기 위한 소음기(6)가 설치된다.As shown in FIG. 1, when the air is supplied from the air source 2, the ejector E generates a vacuum while passing through the ejector E using air, and the vacuum is again passed through the filter 3. It is provided to the vacuum part 4. Then, one side of the ejector (E) is provided with a silencer (6) for reducing the noise generated during the vacuum generation.
이젝터(E)는 진공을 발생시키기 위해 압축기의 압축공기를 이용하므로 진공을 발생시키기 위해 많은 공기를 소비하게 된다. 예를들어, 10L/min의 유량을 필요로 할 때 소모되는 공기 소모량은 약 24L/min 정도이다.Since the ejector E uses the compressed air of the compressor to generate a vacuum, a large amount of air is consumed to generate the vacuum. For example, when a flow rate of 10 L / min is required, the air consumption is about 24 L / min.
이와 같이, 상기 이젝터(E)를 핸들러의 헤드에 적용할 경우, 수량이 많아지면 공기소모량도 많아지게 되고 이로 인해 압축기의 구동이 잦아지게 되어 소비전력이 올라가게 되어 온실가스의 방출 역시 심해지게 된다.As such, when the ejector E is applied to the head of the handler, when the quantity increases, the air consumption also increases, thereby increasing the power consumption of the compressor and increasing greenhouse gas emissions. .
또한, 압축기의 용량이 부족한 현상이 발생되는 경우 이젝터가 아닌 다른 에어 라인의 공기량이 부족하여 작동의 어려움이 발생될 수 있다.In addition, when a phenomenon in which the capacity of the compressor is insufficient occurs, it may be difficult to operate due to the insufficient amount of air in the air line other than the ejector.
게다가, 이젝터는 압축기로 구동하므로 유저의 공기조건에 따라서 유분, 먼지, 수분등이 작업에 영향을 줄 수 있으며 공기 맥동의 영향을 받기 쉬워 작업의 고정 및 진공도 풍량이 안정되지 않는 경우가 있다.In addition, since the ejector is driven by a compressor, oil, dust, moisture, etc. may affect the work depending on the air condition of the user, and may be susceptible to air pulsation.
이와 같은 문제점으로 인하여 이젝터 대신 진공 펌프를 선호하는 경향이 있다. 그런데, 진공펌프는 멀티 픽커를 사용하는 장비에 적용하면 진공원이 하나이거나 픽커수에 비해 매우 작기 때문에 부품을 픽킹 할 때 오동작(부품을 픽킹 하지 않았는데도 픽킹한 것처럼 인식됨)을 하게 되는 문제점이 있다.Due to this problem, there is a tendency to prefer a vacuum pump instead of an ejector. However, when the vacuum pump is applied to equipment using a multi-picker, there is a problem in that a malfunction (recognized as picking even if the part is not picked) when picking a part because a vacuum source is one or very small compared to the number of pickers.
따라서, 본 발명의 목적은 진공 펌프와 같은 진공원이 하나인 시스템에서 멀티 픽커를 사용할 때 생기는 오동작을 방지할 수 있는 핸들러의 멀티 픽커를 제공하는 점에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a multi-picker of a handler which can prevent the malfunction caused when the multi-picker is used in a single vacuum source system such as a vacuum pump.
본 발명의 다른 목적은 초기비용 및 런닝 비용의 절감을 이룰 수 있는 핸들러의 멀티 픽커를 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is to provide a multi-picker of a handler which can achieve a reduction in initial and running costs.
도 1은 종래 이젝터의 개략적인 회로도,1 is a schematic circuit diagram of a conventional ejector,
도 2는 본 발명이 적용된 핸들러의 멀티 픽커의 사시도,2 is a perspective view of a multi picker of a handler to which the present invention is applied;
도 3은 본 발명의 멀티 픽커의 공압 회로도,3 is a pneumatic circuit diagram of the multi-picker of the present invention;
도 4는 한 개의 진공원에 멀티 픽커를 적용한 도면,4 is a view of applying a multi-picker to one vacuum source,
도 5는 종래의 픽커와 본 발명의 픽커의 진공레벨을 비교한 도면.5 is a view comparing the vacuum level of the conventional picker and the picker of the present invention.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
E : 이젝터 6 : 소음기E: Ejector 6: Silencer
50 : 엘엠 가이드 52 : 엘엠 블럭50: Lm guide 52: Lm block
60 : 제 1 지지플레이트 62 : 제 2 지지플레이트60: first support plate 62: second support plate
70 : 프레임 80 : 서보모터70: frame 80: servomotor
82 : 볼 스크류 84 : 안착 플레이트82: ball screw 84: seating plate
86 : 보조 지지플레이트 88 : 측면 지지플레이트86: auxiliary support plate 88: side support plate
90 : 픽커 110 : 모터90: picker 110: motor
200 : 진공 온/오프용 밸브 210 : 파일롯밸브200: vacuum on / off valve 210: pilot valve
220 : 필터 230 : 진공센서220: filter 230: vacuum sensor
300 : 유량 조절밸브300: flow control valve
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 핸들러의 멀티 픽커는 엘엠(LM; Linear Motion) 가이드를 갖는 제 1 지지플레이트와, 상기 엘엠 가이드와 대향되며, 엘엠 가이드를 따라서 이동하는 엘엠 블록을 갖는 제 2 지지플레이트와, 상기제 2 지지플레이트의 전면 일측에 설치된 4각형 형태의 프레임과, 상기 제 2 지지플레이트를 승,하강시키기 위한 서보모터와, 상기 프레임의 내측에 설치된 제 1,2 가이드 프레임에 설치된 복수개의 픽커와, 상기 픽커들을 이동하기 위한 리니어 모터 및 벨트를 구동하기 위한 모터로 구성된 핸들러의 멀티 픽커에 있어서, 픽커의 내측에는 공기가 공급되는 측(PS)의 한쪽 라인에는 진공 온/오프용 밸브이 설치되고, 다른쪽 라인에는 진공 파괴용 밸브가 설치되며, 진공이 나오는 측(PV)에는 유량 조절밸브을 설치하여 구성되는 점에 있다.In order to achieve the above object, the multi-picker of the handler of the present invention comprises a first support plate having a linear motion (LM) guide, and a second block having an LM block opposed to the LM guide and moving along the LM guide. A second support plate, a quadrangular frame provided on one side of the front surface of the second support plate, a servo motor for lifting and lowering the second support plate, and a first and second guide frame provided inside the frame. In the multi-picker of the handler consisting of a plurality of pickers installed, a linear motor for moving the pickers and a motor for driving a belt, a vacuum on / off on one line of the side (PS) to which air is supplied inside the picker Valve is installed, the other line is equipped with a vacuum breaking valve, the vacuum outlet side (PV) is installed by installing a flow control valve It is.
또한, 진공 온/오프용 밸브와 유량 조절밸브는 파일롯밸브와 필터에 연결되게 된다.In addition, the vacuum on / off valve and the flow control valve is connected to the pilot valve and the filter.
이하, 본 발명의 핸들러의 멀티 픽커에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the multi-picker of the handler of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 핸들러의 멀티 픽커는 도 2에 도시된 바와 같이, 엘엠(LM; Linear Motion) 가이드(50)를 갖는 제 1 지지플레이트(60)와, 상기 엘엠 가이드(50)와 대향되며, 엘엠 가이드(50)를 따라서 이동하는 엘엠 블록(52)을 갖는 제 2 지지플레이트(62)와, 상기 제 2 지지플레이트(62)의 전면 일측에 설치된 4각형 형태의 프레임(70)과, 상기 제 2 지지플레이트(62)를 승,하강시키기 위한 서보모터(80)와, 상기 프레임(70)의 내측에 설치된 제 1,2 가이드 프레임(92)(94)에 설치된 복수개의 픽커(90:90a-90d)와, 상기 픽커(90)들을 이동하기 위한 리니어 모터(100) 및 벨트(112)를 구동하기 위한 모터(110)로 구성된다.As shown in FIG. 2, the multi-picker of the handler of the present invention faces the first support plate 60 having an LM guide 50, and faces the LM guide 50. A second support plate 62 having an L block 52 moving along the 50, a frame 70 having a quadrangular shape provided at one side of the front surface of the second support plate 62, and the second support; A plurality of pickers 90: 90a-90d provided on the servo motor 80 for raising and lowering the plate 62 and the first and second guide frames 92 and 94 provided inside the frame 70. And a linear motor 100 for moving the pickers 90 and a motor 110 for driving the belt 112.
상기 서보 모터(80)는 제 1 지지플레이트(60)상에 설치된 안착 플레이트(84)에 안착되고, 서보 모터(80)의 축(도시되지 않음)은 볼스크류(82)에 연결된다. 상기 안착 플레이트(84)의 후방에는 측면 지지플레이트(88)상에 수직으로 보조 지지 플레이트(86)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 측면 지지플레이트(88)의 소정부위에는 그 폭을 조절하기 위한 조절편(89)이 설치되어 있다. 또한, 상기 서보 모터(80)의 동작에 의해 제 2 지지플레이트가 승,하강하게 구성되어 있다.The servo motor 80 is seated on a seating plate 84 installed on the first support plate 60, and an axis (not shown) of the servo motor 80 is connected to the ball screw 82. At the rear of the seating plate 84, an auxiliary support plate 86 is provided vertically on the side support plate 88. And, a predetermined portion of the side support plate 88 is provided with an adjusting piece 89 for adjusting the width. In addition, the second support plate is configured to move up and down by the operation of the servo motor 80.
한편, 상기 복수개의 픽커(90)중 제1픽커(90a)는 이동부재(120)의 일측에 설치되고, 상기 이동부재(120)은 리니어 모터(100)의 가동자(130)에 연결되게 된다. 상기 가동자(130)은 고정자(140)를 따라 이동하게 구성되어 있다. 그리고, 상기 픽커(90)중 제2픽커(90b)는 제 2 가이드 프레임(94)의 일측에 설치되고, 제4픽커(90d)는 제 1 가이드 프레임(92)의 일측에 설치된다. 또한, 상기 픽커(90)중 제3픽커(90c)는 벨트(112)의 일측에 설치된 연결부재(116)에 연결되어 모터(110)의 구동에 의해 벨트(112)가 이동하게 되면 제3픽커(90c)가 이동할 수 있게 구성되어 있다.Meanwhile, the first picker 90a of the plurality of pickers 90 is installed at one side of the moving member 120, and the moving member 120 is connected to the mover 130 of the linear motor 100. . The mover 130 is configured to move along the stator 140. The second picker 90b of the picker 90 is installed at one side of the second guide frame 94, and the fourth picker 90d is installed at one side of the first guide frame 92. In addition, the third picker (90c) of the picker 90 is connected to the connecting member 116 installed on one side of the belt 112, when the belt 112 is moved by the driving of the motor 110, the third picker 90c is comprised so that a movement is possible.
이와 같이 구성된 픽커(90)는 도 3에 도시된 바와 같이, 그 내부에 공압회로를 구비하게 된다.The picker 90 configured as described above has a pneumatic circuit therein as shown in FIG. 3.
먼저, 공기가 공급되는 측(PS)의 한쪽 라인에는 진공 온/오프용 밸브(200)이 설치되고, 상기 진공 온/오프용 밸브(200)는 파일롯밸브(210)에 연결된다. 상기 파일롯밸브(210)는 필터(220)를 경유하여 밸브(V)측으로 연결된다. 또한, 공기가 공급되는 측(PS)의 다른쪽 라인에는 진공 파괴용 밸브(215)가 설치되고, 상기 진공 파괴용 밸브(215)는 파괴 유량 조절밸브(225)를 거쳐서 진공센서(230)에 연결된다.First, a vacuum on / off valve 200 is installed on one line of the air supply side PS, and the vacuum on / off valve 200 is connected to the pilot valve 210. The pilot valve 210 is connected to the valve (V) side via the filter 220. In addition, a vacuum release valve 215 is installed at the other line of the air supply side PS, and the vacuum release valve 215 is connected to the vacuum sensor 230 via a breakdown flow rate control valve 225. Connected.
그리고, 진공이 나오는 측(PV)에는 유량 조절밸브(300)을 설치하고, 상기 유량 조절밸브(300)를 파일롯밸브(210)에 연결하게 된다.In addition, the flow rate control valve 300 is installed on the side (PV) where the vacuum comes out, and the flow rate control valve 300 is connected to the pilot valve 210.
상기 유량 조절밸브(300)는 진공펌프(도시되지 않음)에 연결되게 된다.The flow control valve 300 is to be connected to a vacuum pump (not shown).
상기와 같이 구성된 픽커(90)는 공기를 공급하게 되면 진공 온/오프용 밸브(200)가 온(On)되어 파이롯밸브(210)를 거쳐 필터(220)를 통과하여 밸브측(V)으로 이동하게 되고, 소정 시간 진공을 사용하게 되고 진공을 파괴하고자 하는 경우에는 진공 온/오프용 밸브(200)를 오프(Off)시키고 진공 파괴용 밸브(215)가 온(On)되게 된다. 이때, 진공 파괴용 밸브(215)를 통과한 유량이 파괴 유량 조절밸브(225)를 거쳐서 진공센서(230)에 도달하게 된다.When the picker 90 configured as described above is supplied with air, the vacuum on / off valve 200 is turned on to pass through the filter 220 through the pilot valve 210 to the valve side V. When the vacuum is used for a predetermined time and the vacuum is to be broken, the vacuum on / off valve 200 is turned off and the vacuum breaking valve 215 is turned on. At this time, the flow rate passing through the vacuum release valve 215 reaches the vacuum sensor 230 via the breakdown flow control valve 225.
도 4는 한 개의 진공펌프(30)에 복수개의 제 1 및 제 2 헤드(10,15)와 제 1 및 제 2 로봇(20,25)이 적용된 상태를 나타낸 도면이다. 상기 진공펌프(30)는 통상 장비의 바닥부(도시되지 않음)에 설치된다.4 is a diagram illustrating a state in which a plurality of first and second heads 10 and 15 and first and second robots 20 and 25 are applied to one vacuum pump 30. The vacuum pump 30 is usually installed at the bottom of the equipment (not shown).
제 1 헤드(10)에는 복수개의 제1 내지 제4 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)가 적용되고 상기 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)의 각각에는 유량조절밸브(300)가 각기 설치되게 된다. 또한, 제 2 헤드(15)도 상기 제 1 헤드(10)와 마찬가지로 복수개의 제1 내지 제4 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)에 각기 유량조절밸브(300)가 설치된다.A plurality of first to fourth pickers 90a, 90b, 90c, and 90d are applied to the first head 10, and flow control valves 300 are respectively installed on the pickers 90a, 90b, 90c, and 90d, respectively. Will be. In addition, similar to the first head 10, the second head 15 is provided with a flow control valve 300 in each of the plurality of first to fourth pickers 90a, 90b, 90c, and 90d.
또한, 상기 진공펌프(30)에 제 1 및 제 2 로봇(20, 25)이 각기 연결되고, 상기 제 1 및 제 2 로봇(20, 25)에도 복수개의 제1 내지 제4 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)가 적용되고, 상기 복수개의 제1 내지 제4 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)의 각각에는 유량조절밸브(300)가 설치된다.In addition, first and second robots 20 and 25 are connected to the vacuum pump 30, respectively, and a plurality of first to fourth pickers 90a and 90b are also connected to the first and second robots 20 and 25. , 90c, 90d are applied, and each of the plurality of first to fourth pickers 90a, 90b, 90c, and 90d is provided with a flow control valve 300.
이와 같이 진공원이 한개인 진공펌프(30)를 적용한 핸들러에서 유량조절밸브(300)를 각각의 픽커(90a, 90b, 90c, 90d)에 적용하게 되면 픽커의 오동작을 방지할 수 있다.In this way, when the flow control valve 300 is applied to each of the pickers 90a, 90b, 90c, and 90d in the handler to which the vacuum source 30 having one vacuum source is applied, malfunction of the picker may be prevented.
한편, 본 발명의 핸들러의 멀티 픽커는 도 5에 도시된 바와 같이, 픽커중 어느 한 개를 작동시키게 되면 다른 픽커의 진공 레벨 변화가 매우 작게되어 픽커의 오동작을 방지할 수 있다.On the other hand, in the multi-picker of the handler of the present invention, when one of the pickers is operated as shown in Figure 5, the change in the vacuum level of the other picker is very small to prevent malfunction of the picker.
즉, 도 5에서 일반적인 픽커를 적용한 경우에는 부품을 1개 픽킹했음에도 불구하고 인접한 픽커들의 진공레벨이 증가하여 2개의 픽커가 오동작을 하게 나타나게 된다. 도 5에서, 점선으로 형성된 블록에서 설정 압력보다 낮지만 2개의 픽커가 오동작을 일으킨 경우를 나타낸다.That is, in the case where the general picker is applied in FIG. 5, even though one component is picked, the vacuum level of adjacent pickers increases, resulting in two pickers malfunctioning. In FIG. 5, a case in which the two pickers cause a malfunction while lower than the set pressure in the block formed by the dotted line is shown.
이에 반하여, 본 발명의 픽커를 적용한 경우에는 1개의 부품을 픽킹하게 되면 인접한 픽커의 진공레벨 변화가 거의 없게 되므로 픽커의 오동작을 방지할 수 있다. 도 5에서, 한 개의 픽커 만이 설정압력이하에 위치하게 되어 다른 픽커 즉, 설정압력 이상의 다른 픽커는 오동작을 일으키지 않음을 인지할 수 있게 된다.On the contrary, when the picker of the present invention is applied, when one component is picked, since there is almost no change in the vacuum level of the adjacent pickers, the malfunction of the pickers can be prevented. In FIG. 5, only one picker is positioned below the set pressure, so that it can be recognized that another picker, that is, another picker above the set pressure, does not cause a malfunction.
이와 같이 구성된 본 발명의 핸들러의 멀티 픽커는 진공펌프와 같은 진공원이 하나인 시스템에서 멀티 픽커를 사용할 때 생기는 오동작을 방지할 수 있는 이점이 있다.The multi-picker of the handler of the present invention configured as described above has an advantage of preventing malfunction caused when the multi-picker is used in a system having one vacuum source such as a vacuum pump.
또한, 이젝터에 비하여 진공펌프를 사용하게 되므로 초기 가격 및 런닝 가격의 절감도를 이룰 수 있는 이점이 있다.In addition, since the vacuum pump is used as compared to the ejector, there is an advantage that the initial price and the running price can be reduced.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0060558A KR100462194B1 (en) | 2002-10-04 | 2002-10-04 | Multi-Picker of Handler |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0060558A KR100462194B1 (en) | 2002-10-04 | 2002-10-04 | Multi-Picker of Handler |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040031181A KR20040031181A (en) | 2004-04-13 |
| KR100462194B1 true KR100462194B1 (en) | 2004-12-17 |
Family
ID=37331425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0060558A KR100462194B1 (en) | 2002-10-04 | 2002-10-04 | Multi-Picker of Handler |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100462194B1 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100814494B1 (en) * | 2007-07-23 | 2008-03-18 | 한국에스엠씨공압(주) | Vacuum unit for handler of semiconductor package tester |
| KR101042693B1 (en) * | 2008-11-25 | 2011-06-20 | 세크론 주식회사 | Picker system of test handler |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940543A (en) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Hitachi Tobu Semiconductor Ltd | Transferring process of semiconductor pellet |
| KR100190926B1 (en) * | 1995-12-14 | 1999-06-01 | 윤종용 | Lead-frame unloading apparatus |
| KR20030075490A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-26 | 삼성전자주식회사 | Transfer apparatus for semiconductor package |
| KR20040009803A (en) * | 2002-07-25 | 2004-01-31 | 삼성전자주식회사 | Pick and place apparatus for semiconductor chip package that vacuum pad pitch setting is free |
-
2002
- 2002-10-04 KR KR10-2002-0060558A patent/KR100462194B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5940543A (en) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Hitachi Tobu Semiconductor Ltd | Transferring process of semiconductor pellet |
| KR100190926B1 (en) * | 1995-12-14 | 1999-06-01 | 윤종용 | Lead-frame unloading apparatus |
| KR20030075490A (en) * | 2002-03-19 | 2003-09-26 | 삼성전자주식회사 | Transfer apparatus for semiconductor package |
| KR20040009803A (en) * | 2002-07-25 | 2004-01-31 | 삼성전자주식회사 | Pick and place apparatus for semiconductor chip package that vacuum pad pitch setting is free |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20040031181A (en) | 2004-04-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9086079B2 (en) | Two-stage air control valve | |
| CN101616777A (en) | Absorption sensor controller and the absorption conveying device of using this absorption sensor controller | |
| CN1274621A (en) | Multi-functional air ejection gun | |
| KR100462194B1 (en) | Multi-Picker of Handler | |
| US20150139824A1 (en) | Pump control apparatus | |
| CN106312124A (en) | Drilling intelligent equipment for medical purifying equipment production | |
| CN109372607A (en) | Multistage draining exhaust valve and its working method | |
| KR20090018436A (en) | Air compressor having dual pressure switch control system | |
| CN2663688Y (en) | Automatic control device of air compressor | |
| CN210068611U (en) | Combined control valve block for engineering machinery | |
| CN209244627U (en) | Multistage draining exhaust valve | |
| KR100588285B1 (en) | The hydraulic circuit for construction machine | |
| CN109693262A (en) | A kind of mechanical arm automatic flushing device | |
| CN214731521U (en) | High-efficiency energy-saving vacuum control system | |
| CN210978705U (en) | High-efficient electromagnetic pulse valve | |
| CN108779791A (en) | Hydraulic system | |
| US10451092B2 (en) | System for controlling compressor | |
| JPS6137154B2 (en) | ||
| CN218995963U (en) | Computer mainframe | |
| CN219395150U (en) | Robot drive circuit board | |
| CN217577319U (en) | Material taking module for semiconductor | |
| CN216767956U (en) | Power failure reset hydraulic station | |
| CN220342713U (en) | Low-yield well intelligent intermittent heat dissipation self-dedusting RTU control cabinet | |
| CN209164219U (en) | Servo hydraulic system of cutting machine | |
| CN221591390U (en) | Integrated air jaw controller |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121127 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131129 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141128 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151127 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161130 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191202 Year of fee payment: 16 |