KR20100055179A

KR20100055179A - 기판 이송 장치

Info

Publication number: KR20100055179A
Application number: KR1020080114134A
Authority: KR
Inventors: 손무광
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2008-11-17
Filing date: 2008-11-17
Publication date: 2010-05-26
Also published as: KR101081517B1

Abstract

기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 서로 평행하게 배치된 복수의 이송 샤프트, 이송 샤프트와 수직하게 교차하도록 연장되어 있는 지지 플레이트, 및 지지 플레이트 상에 고정 설치되는 복수의 롤러 블록, 각 롤러 블록 상에 설치된 하나 이상의 회전 롤러를 포함하되, 이송 샤프트는 회전 롤러 상에 거치된다.

이송 샤프트, 롤러 블록, 회전 롤러

Description

기판 이송 장치{Apparatus for conveying substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 기판 또는 디스플레이 장치용 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

최근 들어 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 장치는 가동된 정보를 표시하기 위해 디스플레이 장치를 가진다. 디스플레이 장치로서, 현재 주목받고 있는 것은 액정 디스플레이 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등과 같은 평판 디스플레이 장치이다.

이와 같은 평판 디스플레이 장치는 기판 상에 다층의 박막 및 배선 패턴을 포함한다. 기판 상에 박막 및/또는 패턴을 형성하기 위해서는 증착, 베이킹, 식각, 세정, 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 상기 요구되는 일련의 공정을 수행하기 위해서는 해당 공정 챔버로 기판을 이송하여야 하며, 이를 위해 각 공정 챔버 사이에는 기판 이송 장치가 설치되어 있다.

기판 이송 장치는 기판을 안정적으로, 원하는 방향으로 이송하거나 정지하는 기능을 갖는다. 기판의 이송은 기판 이송 장치에 구비된 복수개의 이송 샤프트와 그에 설치된 복수개의 이송 롤러의 회전에 의해 이루어진다.

기판의 사이즈가 커짐에 따라 이송 샤프트의 길이도 길어지는 추세이다. 그런데, 이송 샤프트의 길이가 길어질수록, 이송 샤프트가 처지거나 휘어지는 현상이 다발한다. 따라서, 이를 방지하기 위하여 샤프트 지지부를 구비하는 것이 바람직하다.

일 예로서, 이송 샤프트의 중앙부를 가로지르도록 지지 플레이트를 설치한다. 지지 플레이트에는 이송 샤프트들이 거치되는 복수개의 상기 회전 롤러들이 설치된다. 상기 회전 롤러들의 설치를 위해, 지지 플레이트는 양측이 'ㄷ'자 형상으로 절곡된다.

그런데, 상기 구조에서 만약 지지 플레이트가 부분적으로 휘어지면, 지지 플레이트에 직접 설치된 회전 롤러가 향하는 방향도 제각각 서로 다르게 틀어지게 된다. 따라서, 이송 샤프트의 거치시 직진성이 훼손될 수 있다. 또, 이송 샤프트를 올바른 방향으로 거치하였다고 하더라도, 이송 샤프트를 제대로 지지하지 못할 뿐만 아니라, 오히려 이송 샤프트의 회전에 방해를 줄 수도 있다. 즉, 이송 신뢰도가 저하된다.

본 발명은 이러한 점들에 근거해 착안된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이송 신뢰도가 개선된 기판 이송 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것 이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 서로 평행하게 배치된 복수의 이송 샤프트; 상기 이송 샤프트와 수직하게 교차하도록 연장되어 있는 지지 플레이트; 및 상기 지지 플레이트 상에 고정 설치되는 복수의 롤러 블록; 상기 각 롤러 블록 상에 설치된 하나 이상의 회전 롤러를 포함하되, 상기 이송 샤프트는 상기 회전 롤러 상에 거치된다.

기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 지지 플레이트 상에 별도의 롤러 블록이 설치되므로, 지지 플레이트 자체가 휘어지더라도 정확한 위치를 잡는 것이 가능하다. 또, 개별 수리가 가능하므로, 메인터넌스 측면에서도 유리하다. 따라서, 이송 신뢰도가 개선될 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태 로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상 의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.

도 1을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 이송 챔버(110)를 포함한다. 이송 챔버(110)는 4개의 측벽(112a-112d)에 의해 형성된다. 이송 챔버(110)의 기판(W) 이송 방향에 위치하는 측벽(112a, 112c)에는 기판 출입구(114)가 설치될 수 있다.

이송 챔버(110) 내에는 복수의 이송 샤프트(120)들이 배치된다. 각 이송 샤프트(120)들은 기판(W)의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행하게 연장되어 있다. 각 이송 샤프트(120)에는 복수의 이송 롤러(122)들이 설치된다. 각 이송 롤러(122)는 일정한 간격으로 설치될 수 있다.

이송 샤프트(120)의 양단은 지지프레임(118)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 이송 샤프트(120)의 일단에는 제1 마그네틱판(130)이 설치된다.

이송 챔버(110) 외부 일측에는 복수의 구동 샤프트(140)들이 설치되며, 이 구동 샤프트(140)들을 회전 구동하기 위한 모터(142)와 벨트(144)들 그리고 풀리(pulley;146)들이 설치된다. 상기 풀리(146)들은 상기 구동 샤프트(140)들의 일 단에 각각 설치되고 이들 사이에는 벨트(144)들이 걸쳐진다. 각 구동 샤프트(140)들은 상기 모터의 구동력을 전달받아 동일 방향으로 회전된다. 벨트(144)는 일체형으로 이루어질 수 있다.

구동 샤프트(140)들의 일단에는 제2 마그네틱판(150)이 설치된다. 제2 마그네틱판(150)은 이송 챔버(110)의 측벽(112b)을 통해서 제1 마그네틱판(130)과 마주보도록 배치되며, 제2 마그네틱판(150)의 회전에 의해 제1 마그네틱판(130)이 회전된다.

더욱 구체적으로 설명하면, 모터(142)에 의한 회전운동이 벨트(144)를 통해서 구동 샤프트(140)들로 전달되고, 제2 마그네틱판(150)이 회전된다. 제2 마그네틱판(150)과 제1 마그네틱판(130)은 각각 자석(미도시)을 포함하고 있어, 이들 사이에 인력/척력이 작용한다. 상기 인력/척력에 의해 제2 마그네틱판(150)의 회전을 따라서 제1 마그네틱판(130)이 회전하게 된다. 제1 마그네틱판(130)이 회전하면, 제1 마그네틱판(130)을 구비하고 있는 이송 샤프트(120)도 함께 회전하게 되고, 그로 인해 이송 롤러(122)들도 회전하면서 그 위에 지지된 기판(w)이 이송되게 된다.

복수의 이송 샤프트(120) 아래에는 지지 플레이트(160)가 설치된다. 지지 플레이트(160)는 이송 샤프트(120)들의 연장방향과 수직한 방향으로 연장되도록 설치된다. 지지 플레이트(160)는 후술하는 롤러 블록(170) 등과 함께 이송 샤프트(120)가 처지거나 휘어지는 것을 방지한다. 상기 관점에서, 지지 플레이트(160)는 이송 샤프트(120)의 중앙부를 가로지르도록 설치될 수 있다.

지지 플레이트(160)는 복수개가 구비될 수도 있으며, 이 경우 지지 플레이 트(160)의 배치는 이송 샤프트(120)들이 휘어지는 것을 방지하기 위한 최적의 위치가 선택된다. 예를 들면, 지지 플레이트(160)는 이송 샤프트(120)를 복수개의 구간으로 등분하도록 배치될 수 있다.

지지 플레이트(160)는 평판 형상으로 이루어질 수 있다. 후술하는 것처럼, 회전 롤러(180)의 회전 샤프트(182)는 롤러 블록(170)에 고정 설치되므로, 회전 샤프트(182)를 설치하기 위하여, 플레이트(160)의 양측을 절곡하지 않더라도 무방하다.

지지 플레이트(160) 상에는 복수의 롤러 블록(170)이 고정 설치된다. 바람직하게는 지지 플레이트(160)에 교차하는 이송 샤프트(120)마다 그에 대응하는 하나의 롤러 블록(170)이 고정 설치된다. 롤러 블록(170) 상에는 하나 이상의 회전 롤러(180)가 설치된다.

이하, 상기한 롤러 블록(170) 및 회전 롤러(180)에 대해 더욱 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 평면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 정면도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 측면도이다.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 롤러 블록(170)은 고정부(172) 및 롤러 안착부(174)를 포함한다. 고정부(172)는 롤러 안착부(174)로부터 외측으로 연장되어 있으며, 예컨대 나사나 볼트 등과 같은 고정 수단(172a)이 고정부(172) 및 지지 플레 이트(160)를 관통함으로써, 롤러 블록(170)을 지지 플레이트(160) 상에 고정시킨다.

안착부(174)는 회전 롤러(180)가 안착되는 공간을 제공한다. 예를 들면, 도 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 안착부(174)는 홈 형상의 안착 공간을 제공할 수 있다.

롤러 블록(170)의 안착부(174)에는 회전 샤프트(182) 및 회전 샤프트(182)에 설치된 회전 롤러(180)가 삽입된다. 회전 샤프트(182)는 이송 샤프트(120)와 실질적으로 동일한 방향으로 설치된다. 몇몇 실시예에서, 회전 롤러(180)는 하나의 롤러 블록(170)당 2개씩 설치된다.

복수의 이송 샤프트(120)는 회전 롤러(180) 상에 거치된다. 회전 롤러(180)가 2개씩 설치된 경우는 양 회전 롤러(180) 사이 상에 거치된다. 상술한 것처럼, 회전 롤러(180)는 이송 샤프트(120)의 회전 방향과 동일한 방향으로 설치되어 있으므로, 이송 샤프트(120)가 회전하면, 회전 롤러(180)도 함께 회전하게 된다.

몇몇 실시예에서, 회전 롤러(180)는 슬립 방지용 링(184)을 구비할 수 있다. 슬립 방지용 링(184)은 회전 롤러(180) 상에 거치되는 이송 샤프트(120)가 정하여진 위치를 이탈하는 것을 방지한다. 슬립 방지용 링(184)은 예컨대, 고무링 등이 적용될 수 있지만, 이에 제한되지 않음은 물론이다.

한편, 상술한 것처럼, 각 롤러 블록(170)은 고정 수단(172a)을 통해 개별적으로 지지 플레이트(160)에 고정된다. 즉, 각 롤러 블록(170)의 설치 위치 및 방향은 별개로 조절될 수 있다. 따라서, 만약 지지 플레이트(160) 자체가 부분적으로 휘어지더라도, 그 위에 고정 설치되는 롤러 블록(170)의 위치만 정확하게 조절되면, 이송 샤프트(120)의 지지 및/또는 거치 역할을 완수할 수 있다. 또, 어떤 롤러 블록(170)에 불량이 발생하더라도, 당해 롤러 블록(170)만 수리하면 되는 등, 메인터넌스가 간편한 장점이 있다.

이상에서는 디스플레이 장치용 기판 처리 장치에 대한 도면을 위주로 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 반도체 소자용 기판 처리 장치나 기타 다른 장치들에도 동일하게 적용할 수 있음은 물론이다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 평면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 정면도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 롤러 블록과 회전 롤러의 측면도이다.

Claims

서로 평행하게 배치된 복수의 이송 샤프트;

상기 이송 샤프트와 수직하게 교차하도록 연장되어 있는 지지 플레이트; 및

상기 지지 플레이트 상에 고정 설치되는 복수의 롤러 블록;

상기 각 롤러 블록 상에 설치된 하나 이상의 회전 롤러를 포함하되,

상기 이송 샤프트는 상기 회전 롤러 상에 거치되는 기판 이송 장치
제1 항에 있어서,

상기 지지 플레이트는 상기 이송 샤프트의 중앙부를 교차하도록 연장되어 있는 기판 이송 장치.
제1 항에 있어서,

상기 회전 롤러는 상기 이송 샤프트의 회전 운동에 따라 회전하는 기판 이송 장치.
제1 항에 있어서,

상기 회전 롤러는 슬립 방지용 링을 구비하는 구비하는 기판 이송 장치.
제1 항에 있어서,

상기 각 이송 샤프트마다 상기 롤러 블록이 설치되는 기판 이송 장치.