KR20100015248A - An array tester - Google Patents

An array tester Download PDF

Info

Publication number
KR20100015248A
KR20100015248A KR1020080076203A KR20080076203A KR20100015248A KR 20100015248 A KR20100015248 A KR 20100015248A KR 1020080076203 A KR1020080076203 A KR 1020080076203A KR 20080076203 A KR20080076203 A KR 20080076203A KR 20100015248 A KR20100015248 A KR 20100015248A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
modulator
substrate
light source
light
array test
Prior art date
Application number
KR1020080076203A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101470591B1 (en
Inventor
반준호
정동철
최연규
방규용
장문주
Original Assignee
주식회사 탑 엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 탑 엔지니어링 filed Critical 주식회사 탑 엔지니어링
Priority to KR1020080076203A priority Critical patent/KR101470591B1/en
Priority to TW097147669A priority patent/TWI391665B/en
Priority to CN2008101817758A priority patent/CN101419373B/en
Publication of KR20100015248A publication Critical patent/KR20100015248A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101470591B1 publication Critical patent/KR101470591B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

PURPOSE: An array test device is provided to enable a detecting unit to measure the amount of light passing a modulator in order to accurately determine whether an electrode of a panel is defective, thereby increasing reliability during a process for detecting a defect of the panel of the array test device. CONSTITUTION: At least one modulator(110) is arranged in a direction of one side of a substrate(10) to be tested. The modulator is moved along with the first axis. At least one light source(120) is formed in a size corresponding to the modulator. The light source is arranged to emit light to each modulator in a direction of the other side of the substrate. When testing the substrate, the light source is moved to be located at the same location as the modulator. A modulator transfer module(130) transfers the modulator toward the first axis.

Description

어레이 테스트 장치{An array tester}Array test device

본 발명은 디스플레이 패널의 기판에 형성된 복수의 전극들의 전기적 결함 유무를 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an array test apparatus for inspecting the presence or absence of electrical defects of a plurality of electrodes formed on a substrate of a display panel.

어레이 테스트 장치란 디스플레이 패널 제조 시, 기판의 전극의 불량 여부를 검출하는 장치이다. 디스플레이 패널이란, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 상기 어레이 테스트 장치의 일예로서, LCD 패널의 TFT 기판에 형성된 전극의 불량 유무를 측정한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 구비한다.The array test apparatus is a device for detecting whether or not the electrode of the substrate is defective in manufacturing the display panel. The display panel includes flat panel display devices such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and organic light emitting diodes (OLED). As an example of the array test apparatus, a defect of an electrode formed on a TFT substrate of an LCD panel is measured. A general TFT (Thin Film Transister) LCD substrate includes a TFT substrate, a color substrate on which color filters and a common electrode are formed to be disposed opposite to the TFT substrate, and a liquid crystal and a backlight unit injected between the TFT substrate and the color substrate. do.

도 1은 종래의 어레이 테스트 장치를 일부 구성 요소만 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다. 1 is a perspective view schematically illustrating a conventional array test apparatus by extracting only some components.

종래의 어레이 테스트 장치는 모듈레이터(10)와, 검출부(20)와, 광원(30)과, 기판 지지부재(40)를 구비한다.The conventional array test apparatus includes a modulator 10, a detector 20, a light source 30, and a substrate support member 40.

모듈레이터(10)는 복수 개로 이루어지고, 상기 광원(30) 보다 작은 크기로 이루어지며, 기판 위에서 일정 구간 이동한다.The modulator 10 includes a plurality of modulators 10, each of which has a smaller size than the light source 30, and moves on the substrate for a predetermined period.

검출부(20)는 상기 모듈레이터(10)의 상측에 배치되어 상기 모듈레이터(10)를 통과한 광량을 측정한다.The detector 20 is disposed above the modulator 10 to measure the amount of light that has passed through the modulator 10.

광원(30)은 기판의 하측에 배치되어 상기 모듈레이터(10)를 향해 빛을 방출한다. 이러한 광원(30)은 하나의 부재로 형성되고, 상기 모듈레이터(10)의 이동 궤적을 따라 형성된다. 광원(30)은 기판으로 빛이 방출될 수 있도록 빛을 발광한다. 이러한 광원(30)의 폭은 기판의 폭과 같거나 더 크다.The light source 30 is disposed below the substrate to emit light toward the modulator 10. The light source 30 is formed of one member and is formed along the movement trajectory of the modulator 10. The light source 30 emits light so that light can be emitted to the substrate. The width of this light source 30 is equal to or greater than the width of the substrate.

기판 지지부재(40)는 광원(30)과 기판 사이에 배치된다. 상기 기판 지지부재(40)는 광원(30)과 유사한 크기로 이루어지며, 테스트될 기판이 안착된다. 또한, 기판 지지부재(40)는 투명한 소재로 이루어지며, 광원(30)으로부터 방출된 빛이 기판 지지부재(40)에 안착된 기판 전체에 빛이 비춰지게 한다.The substrate support member 40 is disposed between the light source 30 and the substrate. The substrate support member 40 has a size similar to that of the light source 30, and the substrate to be tested is seated. In addition, the substrate support member 40 is made of a transparent material, and the light emitted from the light source 30 allows the light to shine through the entire substrate seated on the substrate support member 40.

상기와 같은 구조로 이루어진 종래의 어레이 테스트 장치에서 기판을 테스트하는 과정은, 모듈레이터(10)가 기판의 특정 영역을 이동하다가 일정 시간 동안 정지하면, 광원(30)이 빛을 발광하여 기판의 불량 유무를 테스트 하게 된다.In the conventional array test apparatus having the above-described structure, the process of testing the substrate is performed when the modulator 10 moves to a specific region of the substrate and stops for a predetermined time. Will be tested.

최근에는, 전광 기기 제조기술의 발달로 인해, 보다 넓은 기판을 사용하여 평판 디스플레이 장치를 제조한다. 이에 따라, 넓은 기판의 전극을 테스트 하기 위해서는 어레이 테스트 장치에 구비된 광원(30)도 기판의 크기와 비례하여 커질 수 밖에 없다.Recently, due to the development of all-optical device manufacturing technology, flat panel display devices are manufactured using a wider substrate. Accordingly, in order to test the electrodes of the wide substrate, the light source 30 included in the array test apparatus may also increase in proportion to the size of the substrate.

이러한 광원(30)은 통상적으로 램프와, 상기 램프로부터 방출된 빛을 확산시 키는 확산판을 구비하는데, 확산판의 크기가 상대적으로 작을 때에는 램프가 위치한 곳과, 램프가 위치하지 않은 곳의 휘도 편차가 심하지 않아 패널의 결함 유무를 검출하는데 문제되지 않았으나, 확산판의 크기가 커지면서 램프가 위치한 곳과, 램프가 위치하지 않은 곳의 휘도의 편차가 커짐으로써, 모듈레이터(10)로 균일한 빛이 공급되지 않아 패널의 결함 유무를 검출하는데 있어서 신뢰성이 낮아지는 문제점이 있다.The light source 30 typically includes a lamp and a diffuser plate for diffusing light emitted from the lamp. When the size of the diffuser plate is relatively small, the light source 30 has a location where the lamp is located and where the lamp is not located. Although the luminance deviation was not severe, it was not a problem to detect the defect of the panel. However, as the size of the diffusion plate increases, the luminance variation in the place where the lamp is located and the place where the lamp is not increases increases, so that the uniform light is modulated by the modulator 10. There is a problem that the reliability is low in detecting the presence or absence of a defect of the panel because it is not supplied.

또한, 상기 광원(30)은, 상기 모듈레이터(10)가 테스트하고 있는 영역 뿐만 아니라, 상기 모듈레이터(10)가 테스트하지 않고 있는 기판의 다른 영역도 발광시킨다. 이에 따라, 패널의 불량 유무 테스트 시, 불필요하게 전력을 소모하는 문제점이 있다.In addition, the light source 30 emits not only an area that the modulator 10 is testing but also other areas of the substrate that the modulator 10 does not test. Accordingly, there is a problem in that power consumption is unnecessarily used when testing for a defective panel.

따라서, 본 발명은 광원에서 모듈레이터로 방출되는 빛을 균일하게 하여 패널 불량 유무 테스트 시, 신뢰성이 높아지도록 구조가 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an array test apparatus having an improved structure such that the light emitted from the light source to the modulator is uniform, thereby increasing reliability when the panel is defective.

또한, 본 발명의 다른 목적은 모듈레이터로만 빛을 방출하도록 구조가 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide an array test apparatus whose structure is improved to emit light only to the modulator.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 테스트 될 기판의 일측 방향에 배치되며, 제 1 축을 따라서 이동되는 적어도 하나의 모듈레이터와, 상기 모듈레이터와 대응되는 크기로 형성되고, 상기 기판의 타측 방향에서 상기 모듈레이터 각각에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치되며, 상기 기판의 테스트 시 상기 모듈레이터와 동일 위치에 위치되도록 이동되는 적어도 하나의 광원을 구비하는 어레이 테스트 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, at least one modulator disposed in one direction of the substrate to be tested, moved along a first axis, and formed to a size corresponding to the modulator, and in the other direction of the substrate The array test apparatus may be disposed to correspond to each of the modulators in a one-to-one correspondence and include at least one light source that is moved to be positioned at the same position as the modulator when the substrate is tested.

한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치는, 상기 모듈레이터를 제 1 축으로 이동시키는 모듈레이터 이송 모듈과, 상기 광원을 상기 모듈레이터와 연동하여 이동시키는 광원 이송 모듈을 구비할 수 있다.Meanwhile, the array test apparatus of the present invention may include a modulator transfer module for moving the modulator to a first axis, and a light source transfer module for moving the light source in conjunction with the modulator.

그리고, 상기 모듈레이터는, 상기 기판과 가까워지는 방향으로 순차적으로, 투광기판과, 상기 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극층과, 상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원으로부터 방출된 광량이 변경되 는 전광물질층을 구비할 수 있다.The modulator may include a modulator electrode layer that sequentially forms an electric field between the light transmitting substrate and an electrode formed on the substrate, and the amount of light emitted from the light source according to the intensity of the electric field. It can be provided with an all-optical layer that is changed.

한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치는, 상기 광원과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 기판이 안착되는 것으로, 상기 광원으로부터 방출된 빛이 상기 기판에 도달할 수 있도록 투광 소재로 이루어진 기판 지지부재를 구비할 수 있다.On the other hand, the array test apparatus of the present invention is disposed between the light source and the substrate and the substrate is seated, and includes a substrate support member made of a translucent material so that light emitted from the light source can reach the substrate. Can be.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 광원의 크기가 모듈레이터에 대응되도록 작게 형성되어 광원의 휘도의 편차가 현저히 작게 된다. 이에 따라, 광원은 기판방향으로 균일한 빛을 방출하여, 모듈레이터에 균일한 빛이 공급되게 함으로써, 패널의 전극의 불량 유무에 따라 광량의 변화가 일정하게 된다. 그러므로, 검출부는 모듈레이터를 지난 빛의 광량을 측정하여 불량 전극인지 아닌지 정확하게 판단할 수 있으므로, 본 발명의 어레이 테스트 장치는 패널의 불량을 검출하는 과정에서 신뢰성이 높아지게 된다.The array test apparatus according to the present invention is formed small so that the size of the light source corresponds to the modulator, so that the variation in luminance of the light source is significantly smaller. As a result, the light source emits uniform light in the direction of the substrate so that uniform light is supplied to the modulator, whereby a change in the amount of light becomes constant depending on whether or not the electrode of the panel is defective. Therefore, the detection unit can accurately determine whether or not the defective electrode by measuring the light amount of the light passing through the modulator, the array test apparatus of the present invention is highly reliable in the process of detecting the failure of the panel.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 광원의 크기가 모듈레이터에 대응되도록 작게 형성되고, 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동된다. 이에 따라, 광원은 테스트될 기판의 특정 영역으로만 빛을 방출하고, 테스트되지 않는 영역으로는 빛을 방출하지 않으므로, 빛을 발광하는데 있어서 전력을 적게 소모하여 적은 비용으로 패널의 불량을 테스트할 수 있다. In addition, the array test apparatus according to the present invention is formed so that the size of the light source corresponds to the modulator, the light source is moved in conjunction with the modulator. As a result, the light source emits light only to a specific area of the substrate to be tested, and does not emit light to an untested area, thereby consuming less power in emitting light and testing a panel defect at a lower cost. have.

이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the technical configuration of the present invention according to the accompanying drawings in detail.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing an array test apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(100)는 모듈레이터(110)와, 광원(120)을 구비한다.Referring to FIG. 2, the array test apparatus 100 according to the present invention includes a modulator 110 and a light source 120.

모듈레이터(110)는 테스트 될 기판(10)의 일측(도면에서는 상측)에 배치된다. 상기 모듈레이터(110)는 제 1 축을 따라서 이동된다. 여기서 제 1 축은 기판이 모듈레이터(110)를 향하여 이동되는 방향과 직교하는 방향이다. 상기 모듈레이터(110)는 테스트 될 기판(10)과 인접하게 위치하며 기판(10)의 불량 유무에 따라 전기 신호가 인가되면, 특정 물성치가 변경된다. 일예로, 상기 모듈레이터(110)는 테스트될 기판(10)에 형성된 전극이 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되고, 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 기판(10)에 형성된 전극이 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써, 빛이 통과할 수 없게 된다. 이러한 모듈레이터(110)의 일측에 검출부(111)를 배치하고, 상기 검출부(111)로 상기 모듈레이터(110)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판(10)의 전극의 불량 유무를 검출할 수 있다.The modulator 110 is disposed on one side (upper side in the figure) of the substrate 10 to be tested. The modulator 110 is moved along the first axis. Here, the first axis is a direction perpendicular to the direction in which the substrate is moved toward the modulator 110. The modulator 110 is located adjacent to the substrate 10 to be tested, and when an electrical signal is applied according to whether the substrate 10 is defective, a specific physical property value is changed. For example, when the electrode formed on the substrate 10 to be tested is normal, an electric field is formed therein, and the molecular field is arranged in a predetermined direction by the electric field so that light can pass therethrough. On the contrary, when the electrode formed on the substrate 10 is defective, the electric field is not formed inside and the molecular arrangement is not changed, so that light cannot pass. The detector 111 may be disposed on one side of the modulator 110, and the detected specific property value of the modulator 110 may be measured by the detector 111 to detect whether an electrode of the substrate 10 is defective.

광원(120)은 상기 기판(10)의 타측(도면에서는 하측) 방향에서 상기 모듈레이터(110)에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치된다. 즉, 기판(10)을 중심으로, 모듈레이터(110)와 광원(120)은 서로 반대 방향에 배치된다.The light source 120 is disposed to correspond one-to-one so as to emit light to the modulator 110 in the direction of the other side (lower side in the drawing) of the substrate 10. That is, the modulator 110 and the light source 120 are disposed in opposite directions with respect to the substrate 10.

그리고, 이러한 광원(120)은 상기 모듈레이터(110)와 대응되는 크기, 즉 상 기 모듈레이터(110)와 동일하거나 약간 큰 크기로 형성되어, 패널의 불량 유무 테스트 시, 상기 기판(10)의 타측 방향에서 상기 모듈레이터(110)와 동일 위치에 위치되도록 이동된다. 즉, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)에 구비된 광원(120)은 모듈레이터(110)와 대응되는 크기로 이루어지므로, 빛을 발광시키는데 필요한 전력을 적게 소모한다. 상기 광원(120)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프 및 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다.In addition, the light source 120 is formed to have a size corresponding to the modulator 110, that is, the same size or slightly larger as the modulator 110, and the other direction of the substrate 10 when the panel is tested for defects. At the same position as the modulator 110 is moved. That is, since the light source 120 provided in the array test apparatus 100 of the present invention has a size corresponding to that of the modulator 110, it consumes less power to emit light. The light emitted from the light source 120 may be various types of light, including xenon, sodium, a crystal halogen lamp, a laser, and the like.

상기와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는, 광원(120)의 크기가 모듈레이터(110)에 대응되도록 작게 형성되어 광원(120)의 휘도의 편차가 현저히 작게 된다. 이에 따라, 광원(120)은 기판(10)방향으로 균일한 빛을 방출하여, 모듈레이터(110)에 균일한 빛이 공급되게 함으로써, 패널의 전극의 불량 유무에 따라 광량의 변화가 일정하게 된다. 그러므로, 검출부(111)는 모듈레이터(110)를 지난 빛의 광량을 측정하여 불량 전극인지 아닌지 정확하게 판단할 수 있으므로, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 패널의 불량을 검출하는 과정에서 신뢰성이 높아지게 된다.The array test apparatus 100 of the present invention having the above structure is formed so that the size of the light source 120 corresponds to the modulator 110 so that the deviation of the brightness of the light source 120 is significantly reduced. As a result, the light source 120 emits uniform light toward the substrate 10 to supply uniform light to the modulator 110, thereby changing the amount of light according to whether or not the electrode of the panel is defective. Therefore, since the detector 111 may accurately determine whether the electrode is a defective electrode by measuring the amount of light passing through the modulator 110, the array test apparatus 100 of the present invention may increase reliability in the process of detecting a defect of the panel. do.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(100)는, 광원(120)의 크기가 모듈레이터(110)에 대응되도록 작게 형성되고, 광원(120)이 모듈레이터(110)와 연동되어 이동된다. 이에 따라, 광원(120)은 테스트될 기판(10)의 특정 영역으로만 빛을 방출하고, 테스트되지 않는 영역으로는 빛을 방출하지 않으므로, 빛을 발광하는데 있어서 전력을 적게 소모하여 적은 비용으로 패널의 불량을 테스트할 수 있다. In addition, the array test apparatus 100 according to the present invention is formed so that the size of the light source 120 corresponds to the modulator 110, the light source 120 is moved in conjunction with the modulator 110. Accordingly, since the light source 120 emits light only to a specific area of the substrate 10 to be tested and does not emit light to the untested area, the light source 120 consumes less power to emit light and thus the panel can be used at a lower cost. Can be tested for badness.

한편, 패널의 불량 유무 테스트 시, 상기 광원(120)은 모듈레이터(110)와 동 일한 위치에 위치되는 것이 바람직하다.In the meantime, when the panel is defective, the light source 120 is preferably located at the same position as the modulator 110.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동되는 것을 도시한 개략도이다.Figure 3 is a schematic diagram showing that the light source is moved in conjunction with the modulator in the array test apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 모듈레이터 이송 모듈(130)과, 광원 이송 모듈(140)을 더 구비할 수 있다.Referring to FIG. 3, the array test apparatus 100 of the present invention may further include a modulator transfer module 130 and a light source transfer module 140.

모듈레이터 이송 모듈(130)은 기판(10)의 진행 방향인 제 2 축 방향(도 2 참조)과 직교하는 제 1 축 방향으로 모듈레이터(110)를 일정 구간마다 이동시킨다. 그리고, 모듈레이터 이송 모듈(130)은 상기 모듈레이터(110)를 상기 일정 구간 마다 일정 시간 동안 기판(10) 상에 머무르게 하여 패널의 불량 여부를 테스트할 수 있게 한다. 모듈레이터 이송 모듈(130)은 상기 방법을 반복 시행함으로써, 기판(10) 전체가 테스트될 수 있게 한다.The modulator transfer module 130 moves the modulator 110 at predetermined intervals in a first axial direction orthogonal to a second axial direction (see FIG. 2), which is a traveling direction of the substrate 10. In addition, the modulator transfer module 130 allows the modulator 110 to stay on the substrate 10 for a predetermined time for each predetermined section so as to test whether the panel is defective. The modulator transfer module 130 repeats the method so that the entire substrate 10 can be tested.

광원 이송 모듈(140)은, 상기 광원(120)이 상기 모듈레이터(110)와 연동하여 이동되게 한다. 즉, 광원 이송 모듈(140)은 상기 광원(120)을 상기 모듈레이터(110)들과 동일 방향(제 1 축 방향) 및 동일 거리만큼 이동하게 하여 모듈레이터(110)와 광원(120)이 수직방향(제 3 축 방향, 도 2 참조)으로 항상 나란한 상태를 유지하게 한다.The light source transfer module 140 allows the light source 120 to move in conjunction with the modulator 110. That is, the light source transfer module 140 moves the light source 120 in the same direction (first axial direction) and the same distance with the modulators 110 so that the modulator 110 and the light source 120 move in the vertical direction ( In a third axis direction, see FIG. 2) at all times.

여기서, 모듈레이터(110)는 광원(120)과 각각 다른 속도로 이동하는 것도 가능하나, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 동일한 속도로 이동되게 하는 것이 더욱 유리하다. 이는, 전극의 불량 유무를 측정하기 위해 모듈레이터(110)와 광원(120)이 수직방향으로 나란하게 위치하였다가, 일정 구간 이동된 다음 모듈레이터(110) 와 광원(120)이 수직방향으로 다시 나란하게 위치 되기까지의 시간을 짧게 함으로써, 전극의 불량 유무를 측정하는 시간을 단축시킬 수 있기 때문이다.Here, the modulator 110 may move at different speeds from the light source 120, but it is more advantageous to allow the modulator 110 and the light source 120 to move at the same speed. This is because the modulator 110 and the light source 120 are positioned side by side in the vertical direction in order to measure the defect of the electrode, and after a certain period of time, the modulator 110 and the light source 120 are again parallel to the vertical direction. This is because by shortening the time until the position, the time for measuring the presence or absence of an electrode defect can be shortened.

이러한 광원 이송 모듈(140)의 일예로 레일(142)과, 이송판(141)이 될 수 있다.An example of such a light source transfer module 140 may be a rail 142 and a transfer plate 141.

레일(142)은 상기 기판(10)의 진행 방향인 제 2 축 방향과 직교하는 제 1 축 방향으로 길게 형성된 것이다.The rail 142 is formed to be elongated in the first axial direction orthogonal to the second axial direction, which is the traveling direction of the substrate 10.

이송판(141)의 일측에는 광원(120)이 결합된다. 상기 이송판(141)은 상기 레일(142)에 제 1 축 방향으로 이동 가능하게 결합된 것이다. 단, 광원 이송 모듈(140)은 레일(142)과 이송판(141)으로 이루어진 것으로 한정하지는 않는다.The light source 120 is coupled to one side of the transfer plate 141. The transfer plate 141 is coupled to the rail 142 so as to be movable in the first axial direction. However, the light source transfer module 140 is not limited to the rail 142 and the transfer plate 141.

이와 같이, 상기 모듈레이터 이송 모듈(130)이 모듈레이터(110)를 이동시키고, 광원 이송 모듈(140)이 광원(120)을 모듈레이터(110)와 동일한 위치에 위치하도록 이동시킴으로써, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 기판(10)에 대해 상대 이동되게 한다. 이에 따라, 테스트 될 기판(10)이 모듈레이터(110)와 광원(120) 사이에 위치하게 되면, 모듈레이터(110)와 광원(120)은 일정 시간 동안 정지하면서 기판(10)의 특정 영역의 불량 유무를 측정하고, 모듈레이터(110)와 광원(120)이 기판(10)의 다른 영역으로 이동되어 일정 시간 동안 정지하면서 기판(10)의 소정 영역의 불량 유무를 측정한다. 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 이러한 과정을 반복적으로 수행함으로써, 기판(10) 전체의 불량 유무를 테스트한다.As such, the modulator transfer module 130 moves the modulator 110, and the light source transfer module 140 moves the light source 120 to be positioned at the same position as the modulator 110, thereby modulating the modulator 110 and the light source. Allow 120 to move relative to the substrate 10. Accordingly, when the substrate 10 to be tested is positioned between the modulator 110 and the light source 120, the modulator 110 and the light source 120 stop for a predetermined time, and there is a defect in a specific area of the substrate 10. The modulator 110 and the light source 120 are moved to other regions of the substrate 10 and stopped for a predetermined time to measure whether there is a defect in a predetermined region of the substrate 10. The array test apparatus 100 of the present invention repeatedly performs this process, thereby testing whether the entire substrate 10 is defective.

한편, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 기판 지지부재(150)를 구비할 수 있다. 상기 기판 지지부재(150)는 상기 기판(10)이 안착되는 것으로, 상기 광 원(110)과 기판(10) 사이에 배치된다. 상기 기판 지지부재(150)에는 테스트 될 기판(10)이 안착되어 상기 기판(10)의 전기적 결함이 테스트 될 수 있게 한다. 상기 기판 지지부재(150)는 투광 소재로 이루어진 것이 바람직하다. 이는, 상기 광원(120)으로부터 방출된 빛이 상기 기판(10)을 지나 모듈레이터(110)에 도달할 수 있게 하기 위함이다.Meanwhile, the array test apparatus 100 of the present invention may include a substrate support member 150. The substrate supporting member 150 is to be seated on the substrate 10, and is disposed between the light source 110 and the substrate 10. The substrate 10 to be tested is seated on the substrate support member 150 to allow electrical defects of the substrate 10 to be tested. The substrate support member 150 is preferably made of a light transmitting material. This is to allow light emitted from the light source 120 to reach the modulator 110 through the substrate 10.

한편, 다시 도 2로 되돌아가서 상기 모듈레이터(110)에 테스트 될 기판(10)이 공급될 수 있도록, 본 발명의 어레이 테스트 장치(100)는 로딩부(160)와, 언로딩부(160)를 구비할 수 있다.2, the array test apparatus 100 according to the present invention may load the loading unit 160 and the unloading unit 160 so that the substrate 10 to be tested is supplied to the modulator 110. It can be provided.

로딩부(160)는 기판 지지부재(150)의 일측에 형성되어 기판(10)이 상기 기판 지지부재(150)방향으로 이송되게 한다. 이러한 로딩부(160)는 적어도 두 개 이상의 로딩 플레이트(161)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(161)들은 서로 유격을 가지고 나란히 배치되어 테스트 될 기판(10)이 이에 안착 또는 소정의 간격으로 이격된 상태에서 모듈레이터(110)로 이동되도록 한다.The loading unit 160 is formed on one side of the substrate support member 150 to allow the substrate 10 to be transferred in the direction of the substrate support member 150. The loading unit 160 may include at least two or more loading plates 161. The loading plates 161 are arranged side by side with a clearance therebetween so that the substrate 10 to be tested is moved to the modulator 110 in a state where it is seated or spaced at predetermined intervals.

언로딩부(160)는 기판 지지부재(150)의 타측에 형성되어 상기 기판 지지부재(150) 상에서 테스트 완료된 기판(10)이 이송되어 언로딩 되도록 한다. 이러한 언로딩부(160)는 상기 테스트 완료된 기판(10)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 부양해서 이동되도록 하는 언로딩 플레이트(161)를 구비할 수 있다.The unloading unit 160 is formed on the other side of the substrate support member 150 so that the tested substrate 10 is transferred and unloaded on the substrate support member 150. The unloading unit 160 may include an unloading plate 161 for allowing the tested substrate 10 to be seated thereon or to be supported by moving at a predetermined interval.

이 경우, 상기 로딩부(160)의 로딩 플레이트(161)와, 언로딩부(160)의 언로딩 플레이트(161)에는 소정의 압력을 기판(10)으로 공급하여 상기 기판(10)이 로딩 플레이트(161)에 대해 일정 거리 이격되게 하는 복수의 제 1 및 제 2 공기 홀(162,171)들이 형성될 수 있고, 이와 더불어 로딩부(160) 및 언로딩부(160)에는 상기 기판(10)들을 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착부(163) 및 미도시된 제 2 흡착부가 배치될 수 있다.In this case, the loading plate 161 of the loading unit 160 and the unloading plate 161 of the unloading unit 160 are supplied with a predetermined pressure to the substrate 10 so that the substrate 10 is loaded with the loading plate. A plurality of first and second air holes 162 and 171 may be formed to be spaced apart from the 161 by a predetermined distance. In addition, the substrates 10 may be adsorbed to the loading unit 160 and the unloading unit 160. At least one first adsorption part 163 and a second adsorption part not shown may be disposed.

그리고, 상기 기판 지지부재(150)에도 제 3 공기 홀(151)들이 형성될 수 있다. 상기 제 3 공기 홀(151)들은 소정의 압력을 기판(10)으로 공급하여, 상기 기판(10)이 이동 시 상기 기판 지지부재(150)에 대해 일정 거리 이격되게 한다. 그리고, 상기 기판 지지부재(150)에는, 테스트 시 기판(10)에 접착되도록 상기 기판(10)들을 흡착하는 적어도 하나의 제 3 흡착부(152)가 배치될 수 있다.In addition, third air holes 151 may be formed in the substrate support member 150. The third air holes 151 supply a predetermined pressure to the substrate 10 so that the substrate 10 is spaced apart from the substrate support member 150 by a predetermined distance when the substrate 10 moves. In addition, at least one third adsorption part 152 may be disposed on the substrate support member 150 to adsorb the substrates 10 to be bonded to the substrate 10 during the test.

한편, 전술한 모듈레이터(110)의 구조의 일예로, 미도시된 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층을 구비할 수 있다.On the other hand, as an example of the structure of the above-described modulator 110, it may be provided with a light transmitting substrate, a modulator electrode layer, an all-optical material layer not shown.

여기서, 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층은 기판과 가까워지는 방향을 향하여 순차적으로 형성된 것이다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 모듈레이터가 기판의 상측에 위치한 경우, 상측에서부터 하측으로 투광기판과, 모듈레이터 전극층과, 전광물질층이 순차적으로 형성된다.Here, the light transmitting substrate, the modulator electrode layer, and the all-optical material layer are sequentially formed toward the substrate. That is, when the modulator is located on the upper side of the substrate as shown in FIG. 3, the light transmitting substrate, the modulator electrode layer, and the all-optical material layer are sequentially formed from the upper side to the lower side.

투광기판은 빛이 투과되는 물질로 이루어지는데, 통상적으로 유리(Quartz)나 BK-7 등의 투명 물질로 이루어진다. 이러한, 투광기판의 후면에는 후술할 모듈레이터 전극층과, 전광물질층이 설치된다. 따라서 투광기판은 강성을 가진 소재로 이루어져서, 후술할 모듈레이터 전극층과, 전광물질층을 지지할 수 있게 한다.The light transmissive substrate is made of a material through which light is transmitted, and is generally made of a transparent material such as glass (Quartz) or BK-7. The rear surface of the translucent substrate is provided with a modulator electrode layer and an all-optical material layer which will be described later. Therefore, the light-transmitting substrate is made of a material having rigidity, thereby supporting the modulator electrode layer and the all-optical material layer to be described later.

모듈레이터 전극층은 상기 기판(10)에 형성된 전극과 전기장을 형성한다. 이러한 모듈레이터 전극층은 빛의 경로가 되므로, 광 투과도가 우수하여야 한다. 이 러한 모듈레이터 전극층의 일예로 ITO(Indium Tin Oxide)이나 CNT(Carbon Nano Tube) 물질 등이 사용될 수 있다.The modulator electrode layer forms an electric field with the electrode formed on the substrate 10. Since the modulator electrode layer is a path of light, the light transmittance should be excellent. As an example of such a modulator electrode layer, indium tin oxide (ITO) or carbon nanotube (CNT) materials may be used.

이러한 모듈레이터 전극층은 일반적인 패널에 형성된 공통전극과 동일한 역할을 한다. 여기서 공통전극은 패널 전극들 사이에 전기장을 형성시키는 역할을 하는 것이다. 이와 마찬가지로 모듈레이터 전극층도 패널 전극과 함께 전기가 인가되어 모듈레이터 전극층과 패널의 전극 사이에 전기장을 형성시킨다. 따라서, 어레이 테스트 장치(100)를 이용하여 패널의 불량 유무를 테스트하는 경우에는 모듈레이터 전극층과 패널 전극에 전원이 공급되면서 전기적으로 연결되게 배치하는 것이 바람직하다.The modulator electrode layer plays the same role as the common electrode formed in the general panel. The common electrode serves to form an electric field between the panel electrodes. Similarly, electricity is applied to the modulator electrode layer together with the panel electrode to form an electric field between the modulator electrode layer and the electrode of the panel. Therefore, when testing whether a panel is defective using the array test apparatus 100, it is preferable to arrange the panel electrode and the panel electrode to be electrically connected to each other while supplying power.

전광물질층은 상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원(120)으로부터 방출된 광량을 변경시킨다. 더욱 상세하게, 전광물질층은 모듈레이터 전극층과 패널의 전극 사이에 전기장이 형성되면 분자가 전계방향으로 배열되어 분자배열에 따라 빛을 통과시키고, 전기장이 형성되지 않으면 분자가 불규칙적으로 배열되어 빛을 통과시키지 않음으로써, 전기장의 유무에 따라 빛을 선택적으로 통과시켜 소정의 형상이 전광물질층에 형성되게 한다. 이를 위한 전광물질층은 PDLC(Polymer dispersed Liquid Crystal)을 구비할 수 있다. PDLC는 고분자 분산형 액정이라 하며, PDLC는 빛의 투과를 빛의 산란 강도에 따라 제어하는 것을 특징으로 하여 전광물질층으로 사용하기에 적합하다. 하지만 반드시 전광물질층을 이루는 것을 PDLC로 한정하지는 않으며, 무기EL(Electro Luminance), 액정 등 다양한 패널이 사용될 수 있다.The all-optical layer changes the amount of light emitted from the light source 120 according to the intensity of the electric field. More specifically, the electroluminescent layer has light molecules arranged in the electric field direction when the electric field is formed between the modulator electrode layer and the electrodes of the panel, and passes the light according to the molecular arrangement. If the electric field is not formed, the molecules are irregularly arranged to pass the light. By not allowing the light to pass selectively, depending on the presence or absence of an electric field, a predetermined shape is formed in the electroluminescent layer. The all-optical layer for this may include a polymer dispersed liquid crystal (PDLC). PDLC is called a polymer dispersed liquid crystal, and PDLC is suitable for use as an all-optical layer, characterized in that the transmission of light is controlled according to the scattering intensity of light. However, it is not necessarily limited to PDLC to form an all-optical layer, and various panels such as inorganic EL (Electro Luminance) and liquid crystal may be used.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 종래의 어레이 테스트 장치를 일부 구성 요소만 발췌하여 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically illustrating a conventional array test apparatus by extracting only some components.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 도시한 사시도이다. 2 is a perspective view showing an array test apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장치에서 광원이 모듈레이터와 연동되어 이동되는 것을 도시한 개략도이다.Figure 3 is a schematic diagram showing that the light source is moved in conjunction with the modulator in the array test apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 어레이 테스트 장치 110 : 모듈레이터100: array test device 110: modulator

111 : 검출부 120 : 광원111 detection unit 120 light source

130 : 모듈레이터 이송 모듈 140 : 광원 이송 모듈130: modulator transfer module 140: light source transfer module

141 : 이송판 142 : 레일141: transfer plate 142: rail

150 : 기판 지지부재 160 : 로딩부150 substrate support member 160 loading portion

161 : 로딩 플레이트 162,171 : 제 1 및 제 2공기 홀161: loading plate 162,171: first and second air holes

163 : 제 1 흡착부 170 : 언로딩부163: first adsorption part 170: unloading part

Claims (4)

테스트 될 기판의 일측 방향에 배치되며, 제 1 축을 따라서 이동되는 적어도 하나의 모듈레이터; 및At least one modulator disposed in one direction of the substrate to be tested and moved along the first axis; And 상기 모듈레이터와 대응되는 크기로 형성되고, 상기 기판의 타측 방향에서 상기 모듈레이터 각각에 빛을 방출하도록 일대일 대응되도록 배치되며, 상기 기판의 테스트시 상기 모듈레이터와 동일 위치에 위치되도록 이동되는 적어도 하나의 광원;At least one light source formed in a size corresponding to the modulator and disposed to correspond to the modulator in a one-to-one correspondence to emit light from each other in the other direction of the substrate, and moved to be located at the same position as the modulator when the substrate is tested; 을 구비하는 어레이 테스트 장치.Array test apparatus having a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 모듈레이터를 제 1 축으로 이동시키는 모듈레이터 이송 모듈; 및A modulator transfer module for moving the modulator to a first axis; And 상기 광원을 상기 모듈레이터와 연동하여 이동시키는 광원 이송 모듈;을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.And a light source transfer module configured to move the light source in association with the modulator. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 모듈레이터는:The modulator is: 상기 기판과 가까워지는 방향으로 순차적으로 형성된 것으로,Sequentially formed in a direction close to the substrate, 투광기판;Light transmitting substrate; 상기 기판에 형성된 전극과의 사이에 전기장을 형성하는 모듈레이터 전극층; 및A modulator electrode layer forming an electric field between electrodes formed on the substrate; And 상기 전기장의 세기에 따라서 상기 광원으로부터 방출된 광량이 변경되는 전광물질층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.And an all-optical material layer in which the amount of light emitted from the light source is changed in accordance with the intensity of the electric field. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광원과 상기 기판 사이에 배치되어 상기 기판이 안착되는 것으로, 상기 광원으로부터 방출된 빛이 상기 기판에 도달할 수 있도록 투광 소재로 이루어진 기판 지지부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.And a substrate support member disposed between the light source and the substrate to seat the substrate, the substrate supporting member made of a translucent material so that light emitted from the light source can reach the substrate.
KR1020080076203A 2008-08-04 2008-08-04 An array tester KR101470591B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080076203A KR101470591B1 (en) 2008-08-04 2008-08-04 An array tester
TW097147669A TWI391665B (en) 2008-08-04 2008-12-08 Array tester
CN2008101817758A CN101419373B (en) 2008-08-04 2008-12-08 Array detecting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080076203A KR101470591B1 (en) 2008-08-04 2008-08-04 An array tester

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100015248A true KR20100015248A (en) 2010-02-12
KR101470591B1 KR101470591B1 (en) 2014-12-11

Family

ID=40630223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080076203A KR101470591B1 (en) 2008-08-04 2008-08-04 An array tester

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101470591B1 (en)
CN (1) CN101419373B (en)
TW (1) TWI391665B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180069377A (en) 2016-12-15 2018-06-25 세메스 주식회사 Probe module and array tester including the same
CN111948838A (en) * 2019-05-14 2020-11-17 塔工程有限公司 Modulator calibration unit, calibration system comprising same and calibration method of modulator

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101036112B1 (en) * 2009-11-20 2011-05-23 주식회사 탑 엔지니어링 Apparatus for array test with auto changing unit of probe bar
KR101052491B1 (en) * 2009-12-18 2011-07-29 주식회사 탑 엔지니어링 Array test device
KR101052490B1 (en) * 2009-12-31 2011-07-29 주식회사 탑 엔지니어링 Array test device
KR101207029B1 (en) * 2010-12-30 2012-11-30 주식회사 탑 엔지니어링 Array test apparatus
KR101288457B1 (en) * 2011-11-08 2013-07-26 주식회사 탑 엔지니어링 Array test apparatus
KR102344877B1 (en) 2017-03-30 2021-12-30 삼성디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365252A (en) * 2001-06-12 2002-12-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd Microchemical system
KR100479525B1 (en) * 2002-12-31 2005-03-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 substrate for liquid crystal display device including multi array cell and manufacturing method the same
US7355418B2 (en) * 2004-02-12 2008-04-08 Applied Materials, Inc. Configurable prober for TFT LCD array test
JP4443337B2 (en) * 2004-07-22 2010-03-31 株式会社バンダイナムコゲームス Display device and game device
KR100748108B1 (en) * 2005-02-23 2007-08-09 참앤씨(주) apparatus and method for inspecting CRT panel
JP2006266722A (en) * 2005-03-22 2006-10-05 Olympus Corp System and method for inspecting substrate
KR200400962Y1 (en) * 2005-08-31 2005-11-09 주식회사 디이엔티 a driving apparatus for a micro detecting apparatus for a glass panel of a display
WO2007094627A1 (en) * 2006-02-15 2007-08-23 Dongjin Semichem Co., Ltd System for testing a flat panel display device and method thereof
KR20080028592A (en) * 2006-09-27 2008-04-01 주식회사 탑 엔지니어링 Array tester and array test method
KR100756229B1 (en) * 2006-10-26 2007-09-07 주식회사 탑 엔지니어링 Array tester
KR100822895B1 (en) * 2007-10-05 2008-04-16 주식회사 탑 엔지니어링 A modulator for an array tester

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180069377A (en) 2016-12-15 2018-06-25 세메스 주식회사 Probe module and array tester including the same
CN111948838A (en) * 2019-05-14 2020-11-17 塔工程有限公司 Modulator calibration unit, calibration system comprising same and calibration method of modulator

Also Published As

Publication number Publication date
TW201007168A (en) 2010-02-16
TWI391665B (en) 2013-04-01
CN101419373A (en) 2009-04-29
KR101470591B1 (en) 2014-12-11
CN101419373B (en) 2012-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20100015248A (en) An array tester
KR101036112B1 (en) Apparatus for array test with auto changing unit of probe bar
KR101245530B1 (en) Optical inspection apparatus and array test apparatus having the same
CN101989396A (en) Apparatus for array test with cleaner units
KR20110079024A (en) Apparatus for testing array
KR100890282B1 (en) Array tester
CN102565564A (en) Array detection device
KR20130050723A (en) Array test apparatus
KR101089059B1 (en) Apparatus for array test with cleaner of optic chuck
US7227374B2 (en) LCD inspection apparatus
CN107731157A (en) A kind of display panel, display device and its brightness adjusting method
KR100932751B1 (en) Array test device
KR20130056541A (en) Array test apparatus
KR101243793B1 (en) Flat panel display device and inspection method thereof
KR101949331B1 (en) Array test apparatus
JP2008241808A (en) Device and method of inspecting electro-optical device
KR20210054635A (en) Test method and test apparatus
KR101796593B1 (en) Array test apparatus
KR100408995B1 (en) An Electric Field Checking Device
KR101207029B1 (en) Array test apparatus
KR20190071140A (en) Array tester
KR101763622B1 (en) Glass panel tranferring apparatus and array test apparatus having the same
KR20120007328A (en) Apparatus for testing array
KR102612275B1 (en) Array tester
KR101140257B1 (en) Apparatus for testing array

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181022

Year of fee payment: 5