KR100408995B1 - An Electric Field Checking Device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전계검출 센서장치에 관한 것으로써, 특히 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)과 같은 평면표시장치(FPD)에 분포 배열된 전극을 검사함에 있어서 단순한 구조의 발광체를 이용하여 상기 전극에 걸린 전압들을 시각화하고, 촬상부를 사용하여 검출하여 별도의 조명계나 광원이 필요하지 않은 광학적 비접촉식 전계검사장치를 제공함과 동시에 다른 종류의 전기 광학 모듈레이터에 비해 소요되는 재료의 비용이 저렴하고 제조가 간단하여 염가의 장치를 만들 수 있고, 한번에 넓은 면적을 검사할 수 있도록 제작이 가능하여 검사장치의 검사 성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공하는 전계검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field detection sensor device. In particular, the present invention relates to an electric field detection sensor device. By visualizing the voltages applied to the electrodes and detecting them using an imaging unit, an optical non-contact electric field inspection device that does not require a separate illumination system or light source is provided, and at the same time, the cost of materials required compared with other types of electro-optic modulators is cheaper and manufactured. It is simple to make a cheap device, and can be manufactured to inspect a large area at a time to provide an electric field inspection device that provides an effect to improve the inspection performance of the inspection device.
Description
본 발명은 전계의 비접촉식 검출 센서를 이용하는 검사장치에 관한 것으로써 특히, 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP; Plasma Display Panel) 등의 평면표시장치(FPD; Flat Display Panel)에 형성된 화소전극을 저렴하게 한번에 검사할 수 있는 전계검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus using a non-contact detection sensor of an electric field, and in particular, a flat display panel (FPD) such as a liquid crystal display (LCD) and a plasma display panel (PDP). An electric field inspection apparatus capable of inspecting a pixel electrode formed at the same time inexpensively at a time.
평면표시장치란 화면을 구성하는 각각의 화소(Pixel)에 전극을 만들고, 그 화소전극에 걸리는 전압을 제어하여 화소전극상에 형성된 전기 광학 물질의 광학적 특성인 굴절률, 투과율, 발광성, 편광특성 등을 바꿈으로서, 화소전극을 통과하거나 반사하는 광의 성질을 제어하여 2차원적 영상을 표시할 수 있도록 한 것이다.In the flat panel display, an electrode is formed in each pixel constituting the screen, and a voltage applied to the pixel electrode is controlled to control refractive index, transmittance, light emission, polarization characteristics, and the like, which are optical properties of the electro-optic material formed on the pixel electrode. As a result, the two-dimensional image can be displayed by controlling the property of light passing or reflecting through the pixel electrode.
이러한 평면표시장치의 생산 공정에서 화소전극이 배열된 후, 전기 광학 물질과의 조립이 일단 이루어지고 나면, 화소전극에 불량이 발생하더라도 재생이 불가능하다. 그러므로 조립이 이루어지기 전에 상기 화소전극 배열의 검사할 필요가 있다.After the pixel electrodes are arranged in the production process of such a flat panel display device and once assembled with the electro-optic material, reproduction is impossible even if a defect occurs in the pixel electrode. Therefore, it is necessary to inspect the pixel electrode array before assembly is made.
따라서, 전선에 흐르는 전류는 눈으로 확인할 수 없으므로 전압계 등을 이용하여 접촉을 통해 화소전극에 흐르는 전류를 측정함으로서, 상기 화소전극을 검사한다. 또한, 만일 검사하고자 하는 화소전극에서 전파가 방출되면 안테나와 같은 전파 감지 장치를 이용하여 전파를 측정해 상기 화소전극을 검사한다.Therefore, since the current flowing through the wire cannot be visually checked, the pixel electrode is inspected by measuring the current flowing through the contact through the contact using a voltmeter or the like. In addition, if radio waves are emitted from the pixel electrode to be inspected, the pixel electrode is inspected by measuring radio waves using a radio wave sensing device such as an antenna.
그러나, 화소전극의 제조 시 외부와의 절연을 위해 상기 화소전극에 절연층을 입히는 경우에는 상기와 같이 전압계 등을 이용한 접촉 검사는 불가능하다. 그리고, 화소전극의 구조상 전파 방출이 곤란할 경우 안테나를 이용한 화소전극 검사 역시 불가능하다.However, when the insulating layer is coated on the pixel electrode to insulate it from the outside during the manufacture of the pixel electrode, contact inspection using a voltmeter or the like is impossible. In addition, when it is difficult to emit radio waves due to the structure of the pixel electrode, it is also impossible to inspect the pixel electrode using an antenna.
그리고 상기와 같은 전기적 측정을 통한 검사는 다수의 화소전극을 동시에 측정하기 어려우므로 빠른 검사 속도가 요구되는 대량 생산 공정에 적용하기에는 문제점이 있다.In addition, the inspection through the electrical measurement is difficult to measure a plurality of pixel electrodes at the same time, there is a problem to apply to the mass production process that requires a fast inspection speed.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 다수의 화소전극 전압에 따른 빛을 동시에 고속으로 입력받는 것이 가능한 카메라와 같은 광학적 수단을 이용하게 되었고, 상기 화소전극의 전압을 영상으로 바꾸어 주는 수단이 강구되었다. 미국 포튼 다이나믹스사에서 개발한 전기 광학 모듈레이터(국내특허 특0168441, 미국특허 5615039 참조)는 이러한 수단의 한 예이며, 이외에도 여러 가지 구조를 이용하여 이를 구현할 수 있다.In order to solve this problem, an optical means such as a camera capable of simultaneously receiving light at a high speed at the same time according to a plurality of pixel electrode voltages is used, and a means for converting the voltage of the pixel electrode into an image has been devised. The electro-optic modulator developed by Porton Dynamics, Inc. (see Korean Patent No. 0168441, US Patent 5615039) is an example of such a means, and can be implemented using various structures.
도 1에 도시된 전기 광학 모듈레이터의 제1 실시예는 전기 광학 효과에 의하여 화소전극의 전압을 비접촉식으로 검출한다. 상기 전기 광학 모듈레이터는 인가 전압에 따라 다른 광학적 성질을 지니는 전기광학물질(Electro-Optical Material;1)과, 상기 전기광학물질(1)에 전압이 인가되도록 형성된 공통전극(2)과, 화소전극(3)과, 상기 화소전극(3)과 전기광학물질(1) 사이에 형성된 유전체(4)와, 상기 화소전극(3)과 공통전극(2)으로 전압을 인가하는 전압원(5)과, 상기 전기광학물질(1)로 빛을 조사하는 광원(6)과, 상기 광원(6)에서 빛을 조사함에 따라 상기전기광학물질(1) 및 화소전극(3)에서 반사하는 빛이 맺히는 카메라 혹은 광센서로 이루어진 광검출소자(7)와, 배열된 화소전극(3)을 지지하는 기저수단(9)으로 이루어진다.The first embodiment of the electro-optic modulator shown in FIG. 1 detects the voltage of the pixel electrode in a non-contact manner by the electro-optic effect. The electro-optic modulator includes an electro-optical material (1) having different optical properties according to the applied voltage, a common electrode (2) formed to apply a voltage to the electro-optic material (1), and a pixel electrode ( 3), a dielectric 4 formed between the pixel electrode 3 and the electro-optic material 1, a voltage source 5 for applying a voltage to the pixel electrode 3 and the common electrode 2, and Camera or light that the light source 6 for irradiating light with the electro-optic material 1 and the light reflected from the electro-optic material 1 and the pixel electrode 3 as the light is irradiated from the light source 6 It consists of a photodetecting element 7 made of a sensor and a base means 9 for supporting the arranged pixel electrodes 3.
여기서, 상기 전기광학물질(1)의 양단에 공통전극(2)과 화소전극(3)을 통한 전압이 인가되면, 전기광학물질(1)의 굴절률 혹은 투과율은 바뀌게 되므로 상기 화소전극(3)의 상부에 형성된 전기광학물질의 일부분이 국부적으로 다른 광학적 성질을 나타내게 된다.In this case, when a voltage through the common electrode 2 and the pixel electrode 3 is applied to both ends of the electro-optic material 1, the refractive index or transmittance of the electro-optic material 1 is changed, so that the pixel electrode 3 A portion of the electro-optic material formed thereon exhibits locally different optical properties.
예를 들어 상기 전기광학물질(1)은 전압이 인가되지 않은 상태에서는 불투명하다가, 화소전극(3)을 통해 전압이 인가되면 상기 화소전극(3)의 상부에 형성된 전기광학물질(1)만 국부적으로 투명해져, 광원(6)에서 조사되는 빛을 통과시킨다.For example, the electro-optic material 1 is opaque when no voltage is applied, but only when the voltage is applied through the pixel electrode 3, only the electro-optic material 1 formed on the pixel electrode 3 is localized. It becomes transparent, and let the light irradiated from the light source 6 pass.
여기서, 상기 유전체(4)는 유전체박막으로서, 상기 전압원(5)에서 전압 인가 시, 공통전극(2)과 화소전극(3) 사이에 정전용량이 형성될 수 있도록 전기광학물질(1)과 화소전극(3) 사이에 놓여지게 된다.Here, the dielectric 4 is a dielectric thin film, and when the voltage is applied from the voltage source 5, an electro-optic material 1 and a pixel may be formed between the common electrode 2 and the pixel electrode 3. It is placed between the electrodes (3).
도 2는 종래 전기 광학 모듈레이터의 제2 실시예가 도시된 정면도이다. 제2 실시예는 광원(6')을 통해 입사하는 광이 반사되어 이를 광검출소자(7')에서 감지하는 구조로 이루어져 있다. 즉, 전기광학물질(1')와 유전체(4') 사이에는 유전체반사막(8)이 삽입되어 전가광학물질(1')의 상부에서 입사하는 광이 피측정 화소전극(3')에 다다르기 전에 반사되어 광검출소자(7')에 감지되도록 한다.2 is a front view showing a second embodiment of the conventional electro-optic modulator. The second embodiment has a structure in which light incident through the light source 6 'is reflected and sensed by the photodetector 7'. That is, a dielectric reflector 8 is inserted between the electro-optic material 1 'and the dielectric 4' so that light incident from the upper portion of the impingement optical material 1 'reaches the pixel electrode 3' under measurement. Before it is reflected and detected by the photodetector 7 '.
따라서, 화소전극(3')을 지지하는 기저수단(9')이 불투명하여도 화소전극(3')의 검사가 가능하다. 여기서 하프미러(7'a)는 빛의 일부는 투과시키고일부는 반사시키는 기능을 수행한다.Therefore, even if the base means 9 'supporting the pixel electrode 3' is opaque, the pixel electrode 3 'can be inspected. The half mirror 7'a transmits a part of light and reflects a part of the light.
도 3은 종래 전기 광학 모듈레이터의 제3 실시예가 도시된 정면도이다. 제3 실시예는 광원(6")이 조사하는 광이 피측정 화소전극(3") 및 기저수단(9")을 통과하는 구조로 이루어져 있다. 즉, 광원(6")이 기저수단(9")의 하부에서 광을 조사하며, 상기 광은 화소전극(3") 및 기저수단(9")을 투과하여 광검출소자(7")에 전달된다.3 is a front view showing a third embodiment of the conventional electro-optic modulator. The third embodiment has a structure in which light emitted from the light source 6 "passes through the pixel electrode 3" and the base means 9 "to be measured. That is, the light source 6" is the base means 9 Light is irradiated from the lower part of " ", and the light is transmitted to the photodetector element 7 " through the pixel electrode 3 "
상기 광검출소자(7")는 상기 전달된 광을 통하여 화소전극(3")의 전압을 감지한다. 따라서, 제3 실시예에서는 제2 실시예와 달리 유전체반사막(8)이 존재하지 않는다. 또한, 제3 실시예의 경우 화소전극(3")을 지지하는 기저수단(9")은 반드시 투명해야 한다.The photodetector 7 "senses the voltage of the pixel electrode 3" through the transmitted light. Therefore, in the third embodiment, unlike the second embodiment, the dielectric reflective film 8 does not exist. Further, in the third embodiment, the base means 9 "supporting the pixel electrode 3" must be transparent.
특히, 종래의 전기 광학 모듈레이터에서는 광원에서 조사되는 광과, 그 반사광이 전기광학물질을 통과하여야 하므로 공통전극은 투명해야 한다. 이러한 투명한 전극은 ITO(Indium Tin Oxide) 등을 증착하여 제작된다.In particular, in the conventional electro-optic modulator, since the light irradiated from the light source and the reflected light must pass through the electro-optic material, the common electrode should be transparent. The transparent electrode is manufactured by depositing indium tin oxide (ITO) or the like.
또한, 전기광학물질은 화소전극에 충분히 가깝게 근접하여야 인접 화소전극에 의한 간섭(Crosstalk)을 줄일 수 있으며, 상기 전기광학물질의 양단에 인가되는 구동 전압이 지나치게 높아지는 것을 방지할 수 있다. 여기서, 상기 간섭은 전기광학물질 자체의 특성에 의해서도 영향을 받는다.In addition, the electro-optic material should be close enough to the pixel electrode to reduce crosstalk by adjacent pixel electrodes, and to prevent the driving voltage applied to both ends of the electro-optic material from becoming too high. Here, the interference is also affected by the characteristics of the electro-optic material itself.
상기 전기광학물질의 대표적인 예는 액정인데, 액정은 액상이므로 공통전극과 화소전극 사이의 좁은 간극을 유지하면서 성형될 수가 없다. 따라서 상기 전기광학물질로는 액정 방울을 고분자 매트릭스상에 분산시킨 고분자 분산형액정(PDLC; Polymer Dispersed Liquid Crystal)이 많이 사용된다.A representative example of the electro-optic material is liquid crystal. Since the liquid crystal is liquid, it cannot be molded while maintaining a narrow gap between the common electrode and the pixel electrode. Therefore, as the electro-optic material, polymer dispersed liquid crystals (PDLCs) in which liquid crystal droplets are dispersed on a polymer matrix are frequently used.
그러나 상기와 같이 구성된 전기 광학 모듈레이터는 광원에서 조사한 광에 대한 반사 혹은 투과한 광을 영상입력장치를 통해 마이컴에서 받아들이도록 되어 있으므로, 광을 조사할 조명계가 필요하다는 문제점이 있다.However, the electro-optic modulator configured as described above has a problem in that an illumination system for irradiating light is required because the microcomputer receives the reflected or transmitted light for the light emitted from the light source through the image input device.
또한, 조명계가 사용됨에 따라 전체적인 장치의 구성 또한 복잡해지며, 반사막이 필요한 경우 제조가 까다롭다는 문제점이 있다.In addition, as the illumination system is used, the configuration of the overall device is also complicated, and there is a problem in that manufacturing is difficult when a reflective film is required.
그 외에도 조명이 평면표시장치의 박막 트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor)에 조사될 경우 상기 박막 트랜지스터에 누설 전류가 생겨 화소전극의 정확한 검사에 차질이 생긴다는 문제점이 있다.In addition, when illumination is irradiated to a thin film transistor (TFT) of a flat panel display device, there is a problem in that a leakage current occurs in the thin film transistor, thereby causing a problem in accurate inspection of the pixel electrode.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 단순한 구조의 발광체를 이용하여 화소전극에 인가되는 전압을 시각화함으로써 제조가 간단하고 비용이 저렴하며 넒은 면적을 검사할 수 있는 전계검사장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and its object is to make it simple, inexpensive, and to inspect a large area by visualizing a voltage applied to a pixel electrode using a light-emitting body having a simple structure. The present invention provides an electric field test device.
도 1은 종래 광학 전기 모듈레이터의 제1 실시예가 도시된 정면도,1 is a front view showing a first embodiment of a conventional optical electric modulator,
도 2는 종래 광학 전기 모듈레이터의 제2 실시예가 도시된 정면도,2 is a front view showing a second embodiment of a conventional optical electric modulator,
도 3은 종래 광학 전기 모듈레이터의 제3 실시예가 도시된 정면도,3 is a front view showing a third embodiment of a conventional optical electric modulator,
도 4는 본 발명에 따른 전계검사장치가 도시된 정면도,4 is a front view showing an electric field inspection device according to the present invention,
도 5는 본 발명에 따른 전계검사장치에 사용되는 발광부의 제1 구조가 도시된 블록도,5 is a block diagram showing a first structure of a light emitting unit used in the field inspection apparatus according to the present invention;
도 6은 본 발명에 따른 전계검사장치에 사용되는 발광부의 제2 구조가 도시된 블록도,6 is a block diagram showing a second structure of a light emitting unit used in the field inspection apparatus according to the present invention;
도 7은 본 발명에 따른 전계검사장치에 사용되는 발광물질의 구조가 도시된 블록도이다.7 is a block diagram showing the structure of a light emitting material used in the field inspection apparatus according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
10 : 평면표시장치 11 : 화소전극10: flat panel display device 11 pixel electrode
20 : 패턴전압부 30 : 발광부20: pattern voltage section 30: light emitting section
40 : 촬상부 50 : 연산장치40: imaging unit 50: computing device
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 전계검사장치의 특징에 따르면,평면표시장치의 분포전극이 구동되도록 전압이 생성되어 출력되는 패턴전압부와, 상기 분포전극에 대응되는 전극이 형성되도록 투명기저부에 설치된 투명전극부와, 상기 투명전극부로 구동전압을 공급하는 구동수단과, 상기 분포전극와 상기 투명전극부 사이에 위치되어 상기 패턴전압부에서 상기 분포전극으로 전압 인가시 발광되는 발광체와, 상기 발광체에서 발광되며 맺히는 영상이 전기적 신호로 전환되는 촬상부와, 상기 촬상부의 전기적 신호가 입력되어 상기 분포전극에 인가되는 전압이 측정되고 그 결함여부가 판단되는 연상장치를 포함하여 구성된다.According to a feature of the field inspection apparatus according to the present invention for solving the above problems, the pattern voltage portion is generated and output so that the distribution electrode of the flat panel display device is driven, and the transparent electrode so that the electrode corresponding to the distribution electrode is formed A transparent electrode portion provided at a base portion, driving means for supplying a driving voltage to the transparent electrode portion, a light emitting body positioned between the distribution electrode and the transparent electrode portion to emit light when voltage is applied from the pattern voltage portion to the distribution electrode, and And an image pickup unit for converting an image emitted from the light emitter into an electrical signal, and an image pickup device in which an electrical signal of the image pickup unit is input to measure a voltage applied to the distribution electrode and determine whether a defect thereof is determined.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 의한 전계검사장치는 평면표시장치(10) 위에 분포 배열된 화소전극(11)으로 각각 다른 크기의 전압을 생성 출력시키는 패턴전압부(20)와, 상기 화소전극(11)에 패턴전압부(20)의 전압이 인가됨에 따라 발광하는 발광부(30)와, 상기 발광하는 발광부(30)의 상이 맺히고 그 상을 전기적 신호를 바꾸는 촬상부(40)로 구성된다.The field inspection apparatus according to the present invention includes a pattern voltage unit 20 for generating and outputting voltages of different sizes to the pixel electrodes 11 distributed and arranged on the flat panel display device 10, and a pattern voltage to the pixel electrodes 11. The light emitting unit 30 which emits light as the voltage of the unit 20 is applied, and the image capturing unit 40 which forms an image of the light emitting unit 30 that emits light and changes an electrical signal thereof.
여기서, 상기 발광부(30)는 광을 투과시키면서 상기 화소전극(11)과 함께 전계의 다른 한 극을 형성하는 투명전극부(31)와, 상기 투명전극부(31)를 지지하는 유리와 같은 절연물질로 된 투명기저부(32)와, 상기 투명전극부(31)로 바이어스된 교류구동전압을 공급하는 구동수단(33)과, 상기 화소전극(11)으로 패턴전압부(20)의 전압이 인가됨에 따라 발광하는 발광체(34)로 이루어진다.Here, the light emitting unit 30 transmits light and forms the other electrode of the electric field together with the pixel electrode 11, and the glass electrode supporting the transparent electrode unit 31. The transparent base portion 32 made of an insulating material, the driving means 33 for supplying the AC driving voltage biased to the transparent electrode portion 31, and the voltage of the pattern voltage portion 20 to the pixel electrode 11 It is made of a light emitter 34 that emits light when applied.
특히, 상기 발광부(30)로는 기 출원된 특허 공개번호 1999-087020호의 자체 발광물질이 사용될 수 있다. 상기 기 출원된 자체 발광물질의 경우 도 5에 도시된바와 같이 물체(50)와 접촉이 이루어지는 것을 대상으로 출원되어 있다.In particular, the light emitting unit 30 may be a self-emitting material of the previously published patent application No. 1999-087020. In the case of the previously applied self-luminous material, the object is applied to make contact with the object 50 as shown in FIG. 5.
그러나 본 발명에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 발광물질을 물체(50')와 접촉하지 않게 매우 근접시켜 전계가 형성되도록 하여 발광체(34")가 발광되도록 한다. 여기서, 상기 물체(50')와 발광체(34") 사이에는 유전체 혹은 유전체인 공기로 이루어진 보호층이 존재한다.In the present invention, however, as shown in Fig. 6, the light emitting material is very close in contact with the object 50 'such that an electric field is formed so that the light emitter 34 "is emitted. ) And a light emitter 34 ", there is a protective layer of dielectric or air, which is a dielectric.
따라서, 본 발명의 전계검사장치는 평면표시장치(10)의 화소전극(11) 위에 접촉되지 않으면서 매우 근접하게 위치한다.Therefore, the electric field inspecting apparatus of the present invention is located very close to the pixel electrode 11 of the flat panel display apparatus 10 without being in contact.
본 발명에 사용되는 또 다른 발광물질로는 도 7이 도시된 후막 EL(Electro-Luminescent)을 들 수 있다. 후막 EL은 평면표시장치에 사용되며 전극에 일정 이상의 전압이 인가될 경우 전기 발광층에서 발광하는 것을 이용하여 정보를 표시한다. 이러한 후막 EL 역시 평면표시장치(10)의 화소전극(11) 상에 공기층을 두고 위치함으로써, 본 발명의 전계검사장치는 상기 평면표시장치(10)의 화소전극(11)과 접촉됨 없이 사용된다.Another light emitting material used in the present invention may be a thick film EL (Electro-Luminescent) shown in FIG. The thick film EL is used in a flat panel display device and displays information by emitting light from an electroluminescent layer when a voltage or more is applied to the electrode. Since the thick film EL is also positioned with an air layer on the pixel electrode 11 of the flat panel display device 10, the field inspection device of the present invention is used without being in contact with the pixel electrode 11 of the flat panel display device 10. .
그리고, 상기 발광부(30)의 발광량은 상기 화소전극(11)에 인가된 전압의 크기에 비례되도록 구성된다..In addition, the amount of light emitted from the light emitting part 30 is configured to be proportional to the magnitude of the voltage applied to the pixel electrode 11.
또한, 상기 촬상부(40)는 발광부(30)의 발광 상이 맺히는 촬상소자(42)와, 상이 잘 맺히도록 상기 상의 경로를 중계하고 보조하는 광학계(41)로 이루어진다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 광학계(41)는 상기 발광부(30) 상부에 위치하여 촬상부(40)의 촬상소자(42)에 발광부(30)의 상이 맺히도록 한다.In addition, the imaging unit 40 is composed of an imaging device 42 that the light emitting image of the light emitting unit 30 is formed, and the optical system 41 for relaying and assisting the path of the image so that the image is formed well. As shown in FIG. 4, the optical system 41 is positioned above the light emitting unit 30 so that an image of the light emitting unit 30 is formed on the image pickup device 42 of the image capturing unit 40.
그 외에, 본 발명의 전계검사장치는 상기 촬상부(40)에서 입력받은 상을 변환하여 생성한 전기적 신호를 읽어들여 상기 화소전극(11)에 인가된 전압의 크기를 알아내고 그 결함여부를 판단하는 연산장치(50)를 더 포함한다.In addition, the electric field inspection apparatus of the present invention reads an electrical signal generated by converting an image input from the imaging unit 40, finds out the magnitude of the voltage applied to the pixel electrode 11, and determines whether there is a defect. It further includes a computing device (50).
상기와 같이 구성된 본 발명의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 패턴전압부(20)가 검사하고자 하는 평면표시장치(10)의 화소에 형성된 각 화소전극(11)에 일정한 전압을 인가된다. 상기 화소전극(11)은 전압이 인가됨에 따라, 구동수단(33)으로부터 바이어스된 구동전압을 공급받은 투명전극부(31)와 함께 전계를 형성한다.First, a constant voltage is applied to each pixel electrode 11 formed in the pixel of the flat panel display 10 to be inspected by the pattern voltage unit 20. As the voltage is applied to the pixel electrode 11, an electric field is formed together with the transparent electrode part 31 supplied with the driving voltage biased from the driving means 33.
상기에서 전계가 형성됨에 따라 발광부(30)의 발광체(34)는 발광하게 되며, 상기 발광부(30)의 발광 상태는 광학계(41)를 통해 촬상부(40)의 촬상소자(42)로 전달된다. 따라서 촬상소자(42)에는 발광부(30)의 상이 맺히게 된다.As the electric field is formed, the light emitter 34 of the light emitter 30 emits light, and the light emission state of the light emitter 30 is transferred to the imaging device 42 of the image capture unit 40 through the optical system 41. Delivered. Therefore, the image of the light emitting unit 30 is formed on the image pickup device 42.
여기서 상기 촬상소자(42)에 맺힌 상의 한 점의 밝기는 발광의 세기 즉 발광량에 비례하며, 상기 발광량은 화소전극(11)에 걸린 전압의 세기에 비례한다.The brightness of a point formed on the image pickup device 42 is proportional to the intensity of light emission, that is, the amount of light emitted, and the amount of light emitted is proportional to the intensity of the voltage applied to the pixel electrode 11.
상기 촬상소자(42)는 맺힌 상을 전기적 신호로 바꾼다.The imaging device 42 converts the condensed image into an electrical signal.
그 후, 연산장치(50)는 상기 촬상소자(42)의 전기적 신호를 읽어들이고 연산을 통해 분석하여 상기 화소전극(11)에 걸린 전압을 추정하는 한편, 화소전극(11)의 결함여부를 판단한다.Thereafter, the calculation device 50 reads the electrical signal of the imaging device 42 and analyzes it through calculation to estimate the voltage applied to the pixel electrode 11, and determines whether the pixel electrode 11 is defective. do.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 전계검사장치는 단순한 구조의 발광체를 이용하여 평면표시장치에 배열된 화소전극에 걸린 전압들을 시각화하고, 촬상부를 사용하여 검출할 수 있도록 함으로써, 별도의 조명계나 광원이 필요하지 않은 광학적 비접촉식 전계검사장치를 제공한다. 따라서, 다른 종류의 전기 광학 모듈레이터에 비해 소요되는 재료의 비용이 저렴하고 제조가 간단하여 염가의 장치를 만들 수 있으며, 한번에 넓은 면적을 검사할 수 있도록 제작이 가능하여 검사장치의 검사 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The electric field inspection apparatus of the present invention configured as described above uses a light emitter having a simple structure to visualize voltages applied to pixel electrodes arranged in a flat panel display device and to detect the voltage using an imaging unit. Provides an optical non-contact field inspection device that is not required. Therefore, it is possible to make a cheaper device because the cost of materials required compared to other types of electro-optic modulators is simple and manufacturing is simple, and it can be manufactured to inspect a large area at a time to improve the inspection performance of the inspection device. It can be effective.
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