KR100756229B1 - Array tester - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 종래의 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram illustrating a conventional array test equipment.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비를 도시한 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an array test equipment according to a preferred embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 변형예를 도시한 개념도이다. 3 is a conceptual diagram illustrating a modification of FIG. 2.
도 4는 도 2의 테스트부 및 테스트 모듈을 확대 도시한 단면도이다.4 is an enlarged cross-sectional view of the test unit and the test module of FIG. 2.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
2: 패널5: 패널 전극2: panel 5: panel electrode
100: 어레이 테스트 장비 110: 로딩부100: array test equipment 110: loading unit
112:언로딩 플레이트 120: 테스트부112: unloading plate 120: test section
122: 테스트 플레이트 130: 언로딩부122: test plate 130: unloading unit
140: 테스트 모듈 141: 광원140: test module 141: light source
142: 모듈레이터 142a: 모듈레이터 입사면142:
142b: 모듈레이터 출사면 144: 전광 물질층142b: modulator exit surface 144: electroluminescent layer
145: 모듈레이터 전극부 147: 결함 검출부145: modulator electrode portion 147: defect detection portion
150: 제전부 151: 이온나이저용 홀150: static eliminator 151: ionizer hole
153: 배관형 이온나이저 251: 브라켓부153: piping type ionizer 251: bracket portion
253: 광 조사형 이온나이저 253: light irradiation type ionizer
본 발명은 평판 디스플레이용 어레이 테스트 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전광 기기용 모듈레이터를 구비하여 패널 전극의 결함 여부를 테스트하는 평판 디스플레이용 어레이 테스트 장비에 관한 것이다.The present invention relates to an array test equipment for a flat panel display, and more particularly, to an array test equipment for a flat panel display having a modulator for an all-optical device to test whether a panel electrode is defective.
전광 기기 중 하나인 평판 디스플레이 패널은, 통상 상부 및 하부 기판 사이에 전극들이 형성되어 있다. 예를 들어 TFT LCD 기판은, 하부 기판 상에 TFT가 형성된 TFT 패널과, 칼라 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 패널과 대향 배치된 필터 패널과, 상기 TFT 패널과 필터 패널 사이에 주입된 액정과, 백라이트를 구비한다. In the flat panel display panel, which is one of the all-optical devices, electrodes are usually formed between the upper and lower substrates. For example, a TFT LCD substrate may include a TFT panel having a TFT formed on a lower substrate, a filter panel having a color filter and a common electrode formed to face the TFT panel, a liquid crystal injected between the TFT panel and the filter panel; And a backlight.
여기서 하부 기판 위에 형성된 TFT의 결함은 어레이 테스트 장비에 의하여 검사된다. 이를 상세히 설명하면, 전광 기기에 설치된 모듈레이터 및 TFT 패널에 일정한 전압을 인가한 상태에서, 상기 모듈레이터가 TFT 패널에 근접하도록 하여서 이들 사이에 전기장이 발생하도록 한다. 이때에, TFT 패널에 형성된 전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 상기 전기장의 크기가 작아지게 되며, 따라서 상기 검출된 전기장의 크기에 따라서 TFT 패널의 결함여부를 검출하게 된다. Here, the defect of the TFT formed on the lower substrate is inspected by the array test equipment. In detail, in a state where a constant voltage is applied to the modulator and the TFT panel installed in the all-optical device, the modulator is brought close to the TFT panel so that an electric field is generated therebetween. At this time, when the electrode formed on the TFT panel has a defect, the size of the electric field becomes smaller than when there is no defect, and thus, whether the TFT panel is defective is detected according to the size of the detected electric field.
종래의 통상적인 어레이 테스트 장비(10)가 도 1에 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 종래의 어레이 테스트 장비(10)가 로딩부(11)와, 테스트부(12)와, 언로 딩부(13)와, 파지 척(15)과, 테스트 모듈(40)을 구비한다. 파지 척(15)이 로딩부(11) 상에 배치된 어레이 테스트 받을 패널(2)을 파지한 후에 테스트부(12)에 상기 패널(2)을 이동한다. 그 후에 테스트 모듈(40)이 상기 패널(2)의 어레이 테스트를 실시한다. 이 경우 상기 파지 척(15)이 상기 패널(2)을 이동시키며 패널(2)의 각 영역에서의 테스트를 실시 할 수 있다. 그 후에 테스트 완료된 패널(2)은 언로딩부(13)로 안내되어 외부로 언로딩하게 된다. Conventional conventional
이 경우, 테스트 모듈(40)은 광원(41)과, 모듈레이터(43)와, 카메라(44)를 구비하여 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 모듈레이터(43)는 반사층(43a)과, 전광 물질층(43b)과, 투명 기판층(43c)을 구비할 수 있다. 상기 테스트 모듈(40)은 미국특허 6,151,153호에 기재된 바와 동일 또한 극히 유사하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. In this case, the
그런데, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 광원(41)과 카메라(11)가 모두 패널(2)의 일측 방향에 배치되어 있으므로, 광원(41)으로부터의 빛이 미러 등을 통과하여 모듈레이터(30)로 입사된 빛이 상기 모듈레이터의 반사층(43a)에 의하여 반사되어 다시 모듈레이터에 입사된 방향과 반대 방향으로 모듈레이터에서 출사된다. 따라서 광원(41)에서 모듈레이터(43)까지의 광로가 모듈레이터(43)에서 카메라(44)까지의 광로와 적어도 일부가 동일하다. 따라서 광원(41)과 카메라(44)가 서로 간섭이 일어나지 않도록 하여야 하며, 이를 위하여 어레이 테스트 장비는 미러 등의 광 방향 조절 장치(42)가 필요하게 된다. However, as shown in FIG. 1, since both the
또한, 전광 물질층(43b)을 통과한 빛이 반사되어서 다시 상기 전광 물질 층(43b)으로 유입되어서 이를 통과하므로, 빛의 손실이 커지게 된다. 따라서 상기 빛의 손실을 보상하기 위해서는 광원(41)으로부터 방출되는 빛의 세기를 크게 할 필요가 있다.In addition, since the light passing through the all-
한편, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 상기 테스트 모듈(40)에 구비된 광원(41)을 상기 패널(2)의 배면 측에, 모듈레이터(43) 및 카메라(44)를 상기 패널(2)의 전면 측에 배치하고, 모듈레이터(43)에 반사층(43a)을 제거하도록 할 수 있다. On the other hand, in order to solve the above problems, the
이 경우에는 상기 테스트부(12)에 배치된 패널 안착 플레이트가 투명 재질의 통상 유리로 제작된다. 그러나 상기 패널 안착 플레이트와 패널(2)이 동일 분자를 가짐으로 해서, 상기 패널(2) 안착 플레이트와 패널(2) 사이에 정전기가 발생하게 된다. 상기 정전기가 발생하게 되면, 상기 패널 전극(5)에 손상이 발생하게 되거나, 어레이 테스트 장비에 전기적 손상을 줄 수 있다. In this case, the panel seating plate disposed in the
따라서 본 발명은, 미러나, 빔 스플리트 등의 광 방향 조절 장치 및 반사층이 불필요함과 동시에, 광원으로부터 발생하는 빛의 손실이 커지 않아서 광원의 세기를 적정 이상 크게 할 필요가 없는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, the present invention is an array having a structure such that a mirror, a light direction control device such as a beam split, and a reflection layer are unnecessary, and the loss of light generated from the light source is not large, so that the intensity of the light source does not need to be increased more than appropriate. The purpose is to provide test equipment.
본 발명의 다른 목적은, 상기 패널의 테스트 전후에 상기 패널과의 사이에 정전기가 발생하지 않도록 하는 구조를 가진 어레이 테스트 장비를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide an array test apparatus having a structure in which static electricity is not generated between the panel before and after the test of the panel.
따라서 본 발명은, 패널의 전면에 형성된 패널 전극들의 전기적 결함을 테스트하는 장비로서, 로딩부와, 테스트부와, 언로딩부와, 테스트 모듈과, 제전부를 구비하는 어레이 테스트 장비를 제공한다. Accordingly, the present invention provides an array test apparatus including a loading unit, a test unit, an unloading unit, a test module, and an electrostatic unit as an apparatus for testing electrical defects of panel electrodes formed on a front surface of a panel.
로딩부는 상기 패널을 로딩한다. 테스트부는 상기 로딩부로부터 이송된 패널이 안착되는 투명 재질의 테스트 플레이트를 구비한다. 언로딩부는 상기 테스트 완료된 패널이 테스트부로부터 이송되어 외부로 반출된다. 테스투부는 상기 패널 전극의 전기적 결함 여부를 검출한다. 제전부는 상기 테스트 플레이트와 패널 사이에 정전기 발생을 억제하거나, 발생한 정전기를 제거한다.The loading unit loads the panel. The test unit includes a test plate made of a transparent material on which the panel transferred from the loading unit is mounted. The unloading unit is transported from the test unit to the tested panel is taken out to the outside. The test part detects whether the panel electrode has an electrical defect. The static eliminator suppresses static electricity or removes static electricity generated between the test plate and the panel.
이 경우, 상기 테스트부는, 상기 테스트부에 위치한 패널의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치된 광원과, 상기 패널을 기준으로 상기 광원과 반대 방향에 차례로 배치된 모듈레이터 및 결함 검출부를 구비한다.In this case, the test unit includes a light source disposed in one of the front side and the rear side of the panel positioned in the test unit, a modulator and a defect detector disposed in the opposite direction to the light source with respect to the panel. .
이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)의 구성도이다. 이 경우, 어레이 테스트 장비(100)란 패널(2)의 전면에 형성된 패널 전극(5)들의 전기적 결함을 테스트하는 장비이다. Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 2 is a block diagram of the
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 로딩부(110)와, 테스트부(120)와, 언로딩부(130)와, 테스트 모듈(140)과, 제전부(150)를 구비한다. As shown in FIG. 2, the
로딩부(110)는 테스트하고자 하는 패널(2)을 로딩한다. 상기 로딩부(110)는 로딩 플레이트(112)를 구비할 수 있다. 상기 로딩 플레이트(112)는 상기 테스트될 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 테스트부(120)로 이동되도록 한다.The
테스트부(120)는 테스트 플레이트(122)를 구비한다. 상기 테스트 플레이트(122)는 투명 재질 소재로서, 상기 로딩부(110)로부터 이송된 패널(2)이 여기에 안착된다. 이 경우 상기 테스트 플레이트(122)는 유리 소재로 이루어질 수 있다. 이에 상기 테스트부(120)는 상기 테스트 플레이트(122) 외곽에 배치된 패널 안착부(124)를 더 구비할 수 있다. 상기 패널 안착부(124)는, 상기 패널(2)이 손상이 발생하지 않고 테스트부에 안착되도록 하는 것으로서, 후술할 패널 클램프가 패널을 내려놓을 때 범핑 역할을 하여 안착되도록 일정 이상의 소프트한 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. The
언로딩부(130)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 테스트부(120)로부터 이송되어 외부로 반출된다. 이 경우 언로딩부(130)는 언로딩 플레이트(132)를 구비할 수 있다. 상기 언로딩 플레이트(132)는 상기 테스트 완료된 패널(2)이 이에 안착 또는 소정의 간격을 가지고 떠서 이동되도록 한다. In the
이 경우, 어레이 테스트 장비(100)는 패널 클램프(150)를 더 구비할 수 있다. 상기 패널 클램프(150)는 패널(2)을 파지한 채로 로딩부(110)로부터 언로딩부(130)로 이동하여, 상기 패널(2)을 이동시킬 수 있다. 이 경우 상기 로딩부(110)의 로딩 플레이트(112) 및 언로딩부(130)의 언로딩 플레이트(132)에는, 상 기 패널(2)을 소정의 유격을 가지고 부양되도록 하측으로부터 상측으로 공기를 분사하는 복수의 공기분사 홀(114)(134)들이 배치될 수 있다. In this case, the
테스트 모듈(140)은 광원(141)과, 모듈레이터(142)와, 결함 검출부(147)를 구비한다. 이 경우, 광원(141)은 상기 패널(2)의 전면측 및 배면측 중 하나의 방향에 배치되고, 상기 모듈레이터(142) 및 결함 검출부(147)는 상기 패널(2)을 기준으로 상기 광원(141)과 반대 방향에 위치한다. The
광원(141)은 상기 패널(2)의 전면에 배치된 전극(5)을 테스트하기 위한 광을 조사한다. The
모듈레이터(142)는 모듈레이터 전극부(145)와 전광 물질층(144)을 구비한다. 모듈레이터 전극부(145)는 패널(2)의 전극들과 함께 전압을 인가받아서 그들 사이에 전기장이 형성되도록 한다. 상기 전광 물질층(144)에 전기장이 형성되는 경우, 상기 전광 물질층(144)을 이루는 물질들이 일정한 방향으로 배열되어서, 광이 전광 물질층(144)을 통과하도록 한다. 상기 전광 물질층(144)은 투광 기판(146)에 지지되어 있을 수 있다.The
결함 검출부(147)는 상기 모듈레이터(142)를 직선적으로 통과한 빛의 양에 따라서 패널 전극(5)의 결함 여부를 검출한다. The
이 경우, 상기 결함 검출부(147) 및 모듈레이터(142)는 패널(2) 전면측에 배치되고, 상기 광원(141)은 상기 패널(2) 배면측에 배치될 수 있다. In this case, the
상기 테스트 모듈(140)에 대하여는 후에 상술한다. The
한편 테스트 플레이트(122)의 테스트 모듈(140)의 광원(141)과 전광 기기용 모듈레이터(142) 사이에 배치된 테스트 플레이트(122)는 상기한 바와 같이 광을 투과할 수 있도록 투명하여야 한다. 따라서 테스트 플레이트(122)는 통상 유리 또는 투명 폴리머 재질로 이루어질 수 있다. 이와 더불어 상기 테스트 받는 패널(2) 또한 유리 또는 투명 폴리머 재질로 이루어져 있다. Meanwhile, the
상기 패널(2)이 테스트 받는 시기에 상기 패널(2)은 테스트 플레이트(122)에 안착되어 있고, 이에 따라서 상기 패널(2)과 테스트 플레이트(122) 사이에 정전기가 발생하게 된다. 상기 정전기 발생 및 정전기에 의하여 충전된 먼지 입자는 생산의 부정확성과 품질 저하 및 화재를 야기할 수 있다. 이와 함께 패널(2)의 전극들은 작은 전압의 정전기에 의해서도 파괴될 수 있다. At the time when the
따라서 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트 장비(100)는 제전부(150)를 더 구비한다. 상기 제전부(150)는 상기 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이에 정전기 발생을 억제하거나, 발생한 정전기를 제거하는 기능을 한다. Therefore, the
상기 제전부(150)는, 상기 테스트부(120)의 테스트 플레이트(122) 상측으로 양, 음이온을 보내는 이온나이저를 구비할 수 있다. 상기 이온나이저는 고전압을 방전시켜 얻어지는 양,음이온을 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이에 보내어 대전된 정전기와 반대극성으로 중화 소멸시키는 장치이다. 상기 이온나이저는 패널(2) 소재에 대하여 접촉되지 않고 사용하므로 패널(2)이 손상되지 않는다. The
이 경우, 상기 제전부(150)가 도 2에 도시된 바와 같이, 이온나이저용 홀(151)과 배관용 이온나이저(153)를 구비할 수 있다. 상기 이온나이저용 홀(151)은 로딩 플레이트(112)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 출구측 단부에 형성 되고, 상기 배관형 이온나이저(153)는 상기 이온나이저용 홀(151)에 삽입되어 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 방출시킬 수 있다. 이렇게 방출된 양이온과 음이온은, 패널(2) 및 테스트 플레이트(122)에 분포되어 있는 소량의 불균형한 이온들을 덮어서 그 이온의 불균형을 상쇄함으로써, 정전기를 제거할 수 있다. In this case, as shown in FIG. 2, the
한편, 도시되지 않으나, 상기 제전부(150)가 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부에 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부에 이온나이저용 홀이 형성되고, 배관형 이온나이저(153)가 상기 이온나이저용 홀을 통하여 양이온 또는 음이온을 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 방출시킬 수도 있다.Although not shown, the
이 경우, 상기 이온나이저용 홀(151) 및 배관형 이온나이저(153)는 상측이 하측보다 상기 테스트 플레이트(122)보다 가깝도록 경사질 수 있으며, 이로써 상기 이온이 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 향할 수 있다. In this case, the
이와 달리, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제전부(150)가, X-ray를 방출하는 광 조사식 이온나이저(253)를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 제전부(150)는, 상기 언로딩 플레이트(132)의 상기 테스트 플레이트(122)와 인접한 입구측 단부로부터 돌출 형성된 브라켓부(251)와, 상기 브라켓부에 결합되어서 상기 테스트 플레이트(122) 방향으로 X-ray를 발생시키는 광 조사식 이온나이저(253)를 구비할 수 있다. 상기 광 조사식 이온나이저(253)는 X-ray를 상기 테스트 플레이트(122)에 조사하여서 상기 테스트 플레이트(122)와 패널(2) 사이의 가스분자를 이온화하여, 정전기 및 미세먼지를 제거한다. Alternatively, as shown in FIG. 3, the
이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)에 구비된 테스트 모듈(140)에 대하여 보다 상세히 설명한다. Hereinafter, the
먼저, 광원(141)은 패널(2)의 배면 측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 광원(141)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정 할로겐 램프, 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다. First, the
모듈레이터(142)는 패널(2)의 전면 측에 배치되며, 입사면(142a)과, 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)과, 출사면(142b)을 구비한다. 입사면(142a)은, 상기 광원(141)부로부터 상기 패널(2)의 배면(2a) 측으로 입사하여 전면(2b) 측으로 출사된 빛이 입사되는 부분이다. The
모듈레이터 전극부(145)는 상기 패널 전극(5)들과 평행하게 배치되어 상기 패널 전극(5)들과 전기장을 형성한다. 보다 상세히 설명하면, 상기 모듈레이터 전극부(145)는 외부로부터 일정한 전압을 인가받는 공통전극의 기능을 한다. 따라서 상기 모듈레이터 전극부(145)가 패널(2)의 패널 전극(5)과 일정 간격 이하의 간격을 가지도록 배치하고, 상기 패널 전극(5) 및 모듈레이터 전극부(145)에 각각 소정의 전압을 인가하는 경우 이들 사이에 전기장이 형성된다. The
전광 물질층(144)은 상기 모듈레이터 전극부(145)와 패널 전극(5) 사이에 배치된 것으로 상기 모듈레이터 전극부(145)와 패널 전극(5) 사이에 형성되는 전기장의 크기에 따라서 상기 입사면(142a)을 통하여 입사되는 빛의 통과 량이 변경되도 록 한다. 이를 위하여 상기 전광 물질층(144)은 전기장의 세기에 따라서 입사되는 빛을 편광시키는 소재를 구비할 수 있다. The all-
출사면(142b)은 상기 전광 물질층(144)을 통과한 빛을 외부로 출사하는 부분이다. The
결함 검출부(147)는 상기 모듈레이터(142)의 출사면(142b)을 통하여 출사된 빛의 양에 따라서 상기 패널 전극(5)의 전기적 결함 여부를 검출한다. 이 경우 상기 결함 검출부(147)는 비전(vision) 장치(148) 및 상기 비전 장비와 연결된 모니터(149)를 구비할 수 있으며, 이로써 육안으로 상기 패널 전극(5)의 결함을 검출할 수 있다. 이 경우 상기 모니터는 컴퓨터에 구비되어 있을 수 있다.The
이 경우 패널(2)은 전광 기기에 사용되는 패널(2)로서, 그 전면에 패널 전극(5)들이 배치되어 있다. 이 경우 상기 패널(2)이 평판 디스플레이용 패널일 수 있으며, 그 일예로서 상기 패널(2)이 그 전면에 TFT가 형성된 TFT 패널일 수가 있다. In this case, the
본 발명에 의하면, 광원(141)에서 출사되는 빛이 먼저 패널(2)의 배면으로 입사되어 패널 전극(5)이 형성된 전면으로 출사된다. 그 후 모듈레이터(142)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양이 조절되고 난 후에, 상기 모듈레이터(142)의 출사면(142b)을 통하여 외부로 출사된다. 상기 출사면(142b)으로 출사된 빛은 결함 검출부(147)에서 확인된다. According to the present invention, the light emitted from the
통상 LCD의 경우 TFT 패널의 배면에 위치한 백라이트로부터 빛이 TFT 패널과 액정을 통과하여 상기 TFT 패널의 전면에 합착되며 공통전극이 형성된 필터 패널 전면으로 방출되며, 상기 방출된 빛을 육안으로 보게 된다. In general, in the case of LCD, light passes from the backlight positioned on the back of the TFT panel, passes through the TFT panel and the liquid crystal, is bonded to the front of the TFT panel, and is emitted to the front of the filter panel where the common electrode is formed.
본 발명의 어레이 테스트 장비(100)가 실제 육안으로 화면을 감상하는 메카니즘과 동일한 구조를 가지고 있음으로써, 실질적으로 정확하게 패널(2)의 결함여부를 검출할 수 있다.Since the
또한, 본 발명의 어레이 테스트 장비(100)는 결함 검출부(147)와 모듈레이터(142) 사이의 광로에 패널 전극(5)과 같은 별도의 부재가 배치되지 않는다. In the
만약 결함 검출부(147)가 패널 전극(5) 배면에 배치되고, 상기 광원(141)으로부터의 빛이 모듈레이터(142)를 통과한 후 패널(2)을 통과하여 상기 결함 검출부(147)에 수광된다면, 상기 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)에서의 편광 정도와 함께 패널(2)에 의한 빛 왜곡현상을 함께 검출하게 된다. 다시 말하면, 모듈레이터(142)를 통과한 빛이 패널(2)을 통과하면서 다시 산란 또는 반사를 일으키게 되어서 모듈레이터(142)를 통과한 빛의 편광 정도를 직접적으로 검출할 수 없다. 이에 따라서 상기 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)로 입사되어서 상기 패널(2)의 결함 여부에 따라서 외부로 출사되는 빛의 양을 정확하게 검출하기 어렵게 된다. 또한 상기 정확한 검출을 위해서는 모듈레이터(142)를 통과하는 빛과 다른 요인을 제거하는 작업이 필요하게 되어서 보다 많은 시간이 필요하게 된다. If the
본 발명에서는 결함 검출부(147)가 모듈레이터(142)로부터 통과하는 빛을 직접적으로 수광할 수 있다. 이로 인하여 별도 부품에 의하여 산란 등을 받지 않게 되어서 정확하고 신속하게 패널 전극(5)의 결함 여부를 파악할 수 있게 된다. In the present invention, the
이 경우, 상기 광원(141)과, 패널(2)의 테스트할 패널 전극(5)과, 모듈레이 터(142)와, 비전 장치(148)는 일렬로 배치될 수 있으며, 이로써 미러 등의 광로를 변경하는 부재가 별도로 배치될 필요가 없게 된다. In this case, the
이하에서는 본 발명에 구비된 모듈레이터(142)의 구조에 대하여 보다 상세히 설명한다. 상기 모듈레이터(142)는 상기 결함 검출부(147) 쪽으로부터 순차적으로 투광 기판(146)과, 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)을 구비한다. 이 경우, 상기 전광 물질층(144)은 PDLC(polymer dispersed liquid crystal)일 수 있다.Hereinafter, the structure of the
투광 기판(146)은 빛을 통과시키는 소재로 이루어지며, 후술하는 모듈레이터 전극부(145)와, 전광 물질층(144)이 이에 지지된다. 따라서 상기 투광 기판(146)은 통상 유리 기판과 같이 투명하며 소정 이상의 강성을 가진 소재로 이루어진다. 상기 투광 기판(146) 측면에는 도시되지는 않으나 골드층이 배치될 수 있다. The
모듈레이터 전극부(145)는 상기 투광 기판(146) 전면에 배치된다. 이 경우 상기 모듈레이터 전극부(145)는 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 CNT(Carbon Nano Tube) 등의 소재로 상기 투광 기판(146) 상에 증착됨으로써 이루어질 수 있다. 이 경우 상기 모듈레이터 전극부(145)는 상기 골드층과 접촉될 수 있다. The
전광 물질층(144)은 상기 모듈레이터 전극부(145) 전면에 일정한 높이로 분산 배치된다. 상기 PDLC의 특성은 구동 전압 30V이하, 콘트라스트 40:1, 라이징 타임(Rising time) 1.7ms, 폴링타임(Falling time) 3ms, 최소 보유시간(minimum retention time ) 30ms인 것이 바람직하다. 상기 전광 물질층(144)은 투광 기판(146) 상에 폴리머 및 액정을 포함하는 액정 배합액을 도포한 후에 이를 경화시 킴으로써 이루어질 수 있다.The all-
한편, 상기 전광 물질층(144) 전면에는 상기 패널(2)의 전극과 접하거나 인접하도록 배치된 투명 보호층(143)을 더 구비할 수 있다. 상기 투명 보호층(143)은 상기 PDLC가 패널 전극(5) 또는 외부 물질에 의하여 흠집 등이 발생하지 않도록 보호한다. Meanwhile, a transparent
이 경우 상기 투명 보호층(143)이 내식성, 내수성, 및 내화학성이 우수한 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 따라서 상기 투명 보호층(143)은 페럴린 코팅층일 수 있다. 상기 페럴린 코팅층은 상온의 진공 상태에서 가스상의 형태로 증착되어 이루어진 층이다. 상기 페럴린 코팅층을 이루는 폴리머는 자연상태에서 다결정적이고 선형적이며, 우수한 보호 특성 및 극심한 화학반응을 일으키지 않는다. 상기 페럴린 코팅은 밀봉성이 우수하여 높은 방수성을 가지고, 산, 알칼리 또는 솔벤트 등의 대부분의 화학 약품에 거의 영향을 받지 않아서 우수한 내식성 및 내화학성을 가지며, -200℃ 내지 150℃ 사이의 범위에서 열적, 기계적 변형이나 특성 변화가 발생하지 않아서 우수한 열 안정성을 가진다. 이와 더불어 페럴린 코팅은 침투력이 뛰어나서 균일한 코팅층의 형성 및 두께 조절이 가능하게 된다. In this case, it is preferable that the transparent
이 경우, 상기 페럴린 코팅층은 화학기상성장법(chemical vapor deposition)에 의하여 이루어질 수 있다. 이를 위하여, 먼저 페럴린 코팅 원자재인 다이머(dimer)를 증발기에 분말 형재로 장입시켜서 가스상으로 승화되도록 한다. 그 후에 기체로 변화된 다이머를 열분해기에 통과시켜서 단량체로 쪼개지도록 한다. 그 후에 단량체로 쪼개진 다이머를 진공챔버 내 처리물 표면에서 중합체로 재구성 되어 코팅하도록 한다. In this case, the perelin coating layer may be made by chemical vapor deposition. For this purpose, a dimer, which is a raw material for ferrule coating, is first charged to the evaporator as a powder and then sublimed into the gas phase. Thereafter, the gaseous dimer is passed through a pyrolyzer to split into monomers. The dimer cleaved with monomer is then reconstituted with polymer at the surface of the treatment in the vacuum chamber to allow coating.
본 발명에 의하면, 빛이 모듈레이터를 반사하지 않고 투과하도록 어레이 테스트 장비가 배치됨으로써, 별도의 광 방향 조절 장치가 불필요하여 어레이 테스트 장비의 사이즈가 작아지는 동시에 패널의 정전기 발생을 방지하거나, 발생된 정전기를 제거할 수 있다. According to the present invention, the array test equipment is arranged to transmit light without reflecting the modulator, thereby eliminating the need for a separate light direction control device, thereby reducing the size of the array test equipment and preventing static electricity generated from the panel or generating generated static electricity. Can be removed.
또한, 광원으로부터의 빛이 순차적으로 패널 및 모듈레이터를 통과하여 결함 검출부에 수광됨으로써, 실제 육안으로 화상을 보는 조건과 같은 조건으로 패널 전극의 결함 여부를 검사할 수 있다.In addition, the light from the light source sequentially passes through the panel and the modulator and is received by the defect detection unit, whereby the panel electrode can be inspected for defects under the same conditions as those for viewing images with the naked eye.
또한, 상기 모듈레이터와 결함 검출부 사이의 광로에 별도의 부재가 삽입되지 않아서 보다 정확하게 패널 전극의 결함 여부를 검사할 수 있다.In addition, since a separate member is not inserted into the optical path between the modulator and the defect detector, the panel electrode may be more accurately inspected for defects.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
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