KR102284293B1 - Apparatus and Method for inspecting defect of object including opacity area - Google Patents

Apparatus and Method for inspecting defect of object including opacity area Download PDF

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Abstract

불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법이 개시된다. 개시된 검사 장치는 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부; 상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물로부터 반사된 광을 감지하는 제1 광 감지부; 및 상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 균열을 통하여 출력되는 광을 감지하는 제2 광 감지부를 포함한다. Disclosed are an inspection apparatus and method for inspecting a defect of an object including an opaque region. The disclosed inspection apparatus includes: a light source unit for irradiating light to the opaque area in the direction of the first surface of the object including the opaque area; a first light sensing unit disposed in a direction of the first surface and sensing light reflected from the object; and a second light sensing unit disposed in a direction of a second surface opposite to the first surface and sensing light output through a crack in the object.

Description

불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법{Apparatus and Method for inspecting defect of object including opacity area}{Apparatus and Method for inspecting defect of object including opacity area}

본 발명의 실시예들은 적어도 일부의 불투명 영역을 포함하는 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불량을 정확하게 검출할 수 있는 검사 장치 및 방법에 관한 것이다. SUMMARY Embodiments of the present invention relate to an inspection apparatus and method capable of accurately detecting a defect of an object including at least a portion of an opaque region, for example, a glass substrate.

박막 트랜지스터 액정 표시 장치는 크게 박막 트랜지스터가 형성되는 하부 유리 기판과, 컬러 필터가 형성되는 상부 유리 기판 및 하부 유리 기판과 상부 유리 기판 사이에 주입된 액정으로 구성된다. A thin film transistor liquid crystal display is largely composed of a lower glass substrate on which a thin film transistor is formed, an upper glass substrate on which a color filter is formed, and liquid crystal injected between the lower glass substrate and the upper glass substrate.

이러한 박막 트랜지스터와 컬러 필터를 형성하기 위한 유리 기판의 경우 그 표면에 대한 얼룩과 스크래치 및 이 물질이 존재할 수 있고, 더불어 두께가 일정하게 형성되지 않는 너울 현상이 발생할 수 있다. 이 경우, 공정이 이루어지는 챔버 내부의 전극 등에 손상을 가하거나 깨진 유리 기판의 파편이 날려 챔버 내부를 오염시키고, 아울러 유리기판에 필름의 증착이나 식각 등이 균일하게 이루어지지 않게 되면서 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 액정에서 표현되는 색깔에 이상이 발생하는 디스 컬러가 발생하여 제품 불량이 초래될 수 밖에 없었다In the case of a glass substrate for forming such a thin film transistor and a color filter, there may be stains, scratches, and foreign substances on the surface thereof, and a swell phenomenon in which the thickness is not uniformly formed may occur. In this case, the thin film transistor liquid crystal display device causes damage to the electrodes, etc. inside the chamber where the process is performed or the fragments of the broken glass substrate are blown to contaminate the inside of the chamber. Discolor, which is abnormal in the color expressed in the liquid crystal of

이에, 종래에는 유리 기판을 공정 챔버에 넣어 증착이나 식각, 스퍼터링 등의 플라즈마를 이용하는 공정을 행하기 전에 유리 기판에 대한 전반적인 품질 검사를 진행하게 된다Therefore, in the prior art, the glass substrate is put into a process chamber and the overall quality of the glass substrate is inspected before performing a process using plasma such as deposition, etching, or sputtering.

한편, 백라이트 등에 사용되는 유리 기판의 경우 전부 또는 일부가 불투명 재질일 수 있으며, 이 경우 기존의 유리 기판 검사 방법을 사용할 수 없으며, 관리자가 수작업으로 유리 기판의 검사를 수행하는 단점이 있다. On the other hand, in the case of a glass substrate used for a backlight, all or a part may be an opaque material. In this case, the existing glass substrate inspection method cannot be used, and there is a disadvantage in that the manager manually inspects the glass substrate.

상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불투명 영역으로 광을 조사하여 상기 대상물로부터 반사된 광 및 상기 대상물을 투과한 광을 감지하여 불량을 검사하는 검사 장치 및 방법을 제안하고자 한다. In order to solve the problems of the prior art as described above, an inspection apparatus for inspecting defects by irradiating light to an object, for example, an opaque region of a glass substrate, and detecting light reflected from the object and light transmitted through the object and to propose a method.

본 발명의 다른 목적들은 하기의 실시예를 통해 당업자에 의해 도출될 수 있을 것이다.Other objects of the present invention may be derived by those skilled in the art through the following examples.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부; 상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물로부터 반사된 광을 감지하는 제1 광 감지부; 및 상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 균열을 통하여 출력되는 광을 감지하는 제2 광 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치가 제공된다. According to a preferred embodiment of the present invention in order to achieve the above object, a light source unit for irradiating light to the opaque area in the direction of the first surface of the object including the opaque area; a first light sensing unit disposed in a direction of the first surface and sensing light reflected from the object; and a second light sensing unit disposed in a direction of a second surface opposite to the first surface and detecting light output through a crack in the object.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 불투명 영역 및 투명 영역을 가지는 대상물에서 불투명 영역으로 제1 세기의 광을 조사하고, 상기 투명 영역으로 제2 세기의 광을 조사하는 광원부; 상기 불투명 영역에 의해 반사된 광, 상기 불투명 영역을 투과한 광, 상기 투명 영역을 투과한 광 중 적어도 하나를 감지하는 광 감지부를 포함하되, 상기 제1 세기가 상기 제2 세기보다 큰 것을 특징으로 하는 검사 장치가 제공된다. According to another embodiment of the present invention, a light source unit for irradiating light of a first intensity to an opaque region from an object having an opaque region and a transparent region, and irradiating light of a second intensity to the transparent region; a light sensing unit configured to detect at least one of light reflected by the opaque region, light transmitted through the opaque region, and light transmitted through the transparent region, wherein the first intensity is greater than the second intensity An inspection device is provided.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면으로 상기 광원부가 광을 조사하는 단계; 상기 제1 면 방향에 배치되는 제1 광 감지부가 상기 제1 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계; 및 상기 제1 면의 반대측인 제2 면 방향에 배치되는 제2 광 감지부가 상기 제2 면에서 출사되는 광을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법이 제공된다. According to another embodiment of the present invention, the method comprising: irradiating light from the light source unit to a first surface of an object including an opaque region; detecting light emitted from the first surface by a first light sensing unit disposed in a direction of the first surface; and detecting the light emitted from the second surface by a second light sensing unit disposed in a direction of a second surface opposite to the first surface.

본 발명의 검사 장치 및 검사 방법은 대상물, 예를 들어 유리 기판의 불투명 영역으로 광을 조사하여 상기 대상물로부터 반사된 광 및 상기 대상물을 투과한 광을 감지하여 불량을 검사하며, 그 결과 불투명 영역을 포함하는 대상물의 불량을 정확하게 검출할 수 있다. The inspection apparatus and inspection method of the present invention irradiate light to an opaque area of an object, for example, a glass substrate, detect a light reflected from the object and light transmitted through the object, and inspect the defect, as a result, the opaque area It is possible to accurately detect a defect in the included object.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 유리 기판의 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 다른 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 검사 방법의 흐름도를 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 동작의 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다.
1 is a view showing a schematic structure of a glass substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a view showing the structure of a glass substrate according to the present invention.
3 is a view showing another structure of the glass substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a view showing a flowchart of a method for inspecting a glass substrate according to an embodiment of the present invention.
5 to 8 are views for explaining the concept of the operation of the glass substrate inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
9 is a view showing a schematic structure of a glass substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.As used herein, the singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In this specification, terms such as “consisting of” or “comprising” should not be construed as necessarily including all of the various components or various steps described in the specification, some of which components or some steps are It should be construed that it may not include, or may further include additional components or steps. In addition, terms such as "...unit" and "module" described in the specification mean a unit that processes at least one function or operation, which may be implemented as hardware or software, or a combination of hardware and software. .

이하, 본 발명의 다양한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상술한다. Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a schematic structure of a glass substrate inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 유리 기판 검사 장치(100)는 광원부(110), 제1 광 감지부(120), 제2 광 감지부(130) 및 검사부(140)를 포함한다. Referring to FIG. 1 , the glass substrate inspection apparatus 100 includes a light source unit 110 , a first light sensing unit 120 , a second light sensing unit 130 , and an inspection unit 140 .

한편, 유리 기판 검사 장치(100)를 통해 검사가 수행되는 유리 기판(160)는 적어도 일부가 불투명 재질이다. 즉, 유리 기판(160)은 전부가 불투명 재질일 수 있고, 일부는 불투명 재질이고 다른 일부는 투명 재질일 수 있다. 여기서, 불투명 재질은 메탈 재질일 수 있다. 도 2에서는 일부가 불투명 재질이고, 다른 일부가 투명 재질인 유리 기판(160)의 일례를 도시하고 있다. Meanwhile, at least a portion of the glass substrate 160 that is inspected by the glass substrate inspection apparatus 100 is made of an opaque material. That is, the glass substrate 160 may be entirely made of an opaque material, some may be made of an opaque material, and some may be made of a transparent material. Here, the opaque material may be a metal material. 2 shows an example of the glass substrate 160, a part of which is made of an opaque material and the other part is made of a transparent material.

이하, 도 1을 참조하여, 각 구성 요소 별로 그 기능을 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, the function of each component will be described in detail with reference to FIG. 1 .

광원부(110)는 유리 기판(160)의 제1 면(161)으로 광을 조사한다. 이 때, 도 1의 일례에서, 유리 기판(160)의 제1 면(161)은 유리 기판(160)의 하부면이고, 유리 기판(160)의 제1 면(161)과 반대쪽 면인 제2 면(162)은 유리 기판(160)의 상부면일 수 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 이하, 설명의 편의를 위해, "제1 면"을 "하부면", "제2 면"을 "상부면"이라 호칭하기로 한다. The light source unit 110 irradiates light to the first surface 161 of the glass substrate 160 . At this time, in the example of FIG. 1 , the first surface 161 of the glass substrate 160 is the lower surface of the glass substrate 160 , and the second surface opposite to the first surface 161 of the glass substrate 160 . Reference numeral 162 may be an upper surface of the glass substrate 160 . However, the present invention is not limited thereto. Hereinafter, for convenience of description, the "first surface" will be referred to as "lower surface", and the "second surface" will be referred to as "upper surface".

보다 상세하게, 도 1을 참조하면, 유리 기판(160)은 이송 수단, 예를 들어 컨베이어 벨트들(151, 152)을 통해 이동되고, 컨베이어 벨트들(151, 152)를 구성하는 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152)는 일정 간격으로 떨어져서 배치된다. 그리고, 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152) 사이의 공간에 유리 기판(160)이 위치되는 경우, 광원부(110)는 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 광을 조사한다. In more detail, referring to FIG. 1 , a glass substrate 160 is moved through a transport means, for example, conveyor belts 151 and 152 , and a first conveyor belt constituting the conveyor belts 151 and 152 . 151 and the second conveyor belt 152 are spaced apart from each other at regular intervals. And, when the glass substrate 160 is positioned in the space between the first conveyor belt 151 and the second conveyor belt 152 , the light source unit 110 passes through the space between the lower surface of the glass substrate 160 . (161) is irradiated with light.

한편, 광원부(110)는 조사되는 광의 세기를 조절할 수 있다. 즉, 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 불투명 영역에 조사되는 광의 세기와 유리 기판(160) 내의 투명 영역에 조사되는 광의 세기를 각각 다른 값으로 조절할 수 있다. 이는 아래에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.Meanwhile, the light source unit 110 may adjust the intensity of the irradiated light. That is, the light source unit 110 may adjust the intensity of light irradiated to the opaque region in the glass substrate 160 and the intensity of light irradiated to the transparent region in the glass substrate 160 to different values. This will be described in more detail below.

제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161) 쪽의 방향에 배치되며, 유리 기판(160)의 하부면(161)에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다. The first photodetector 120 is disposed in the direction toward the lower surface 161 of the glass substrate 160 , and generates a first image using light emitted from the lower surface 161 of the glass substrate 160 . do.

즉, 광원부(110)가 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 광을 조사하는 경우, 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사되어 출사되고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사된 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다. That is, when the light source unit 110 irradiates light to the lower surface 161 of the glass substrate 160 through the space therebetween, the irradiated light is reflected through the lower surface 161 of the glass substrate 160 , The first photodetector 120 generates a first image by using the light reflected through the lower surface 161 of the glass substrate 160 after being emitted.

한편, 도 1에서는 제1 광 감지부(120)가 상기 사이의 공간의 바로 밑 공간에 배치되어 있는 경우를 도시하였으나, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 제1 광 감지부(120)는 광원부(110)를 기준으로 하부면(161)의 측면에 배치될 수도 있다. 이는 도 3에 도시한 바와 같다. Meanwhile, although FIG. 1 illustrates a case in which the first light sensing unit 120 is disposed in a space immediately below the space between them, according to another embodiment of the present invention, the first light sensing unit 120 includes a light source unit. It may be disposed on the side of the lower surface 161 with reference to 110 . This is as shown in FIG. 3 .

제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162) 쪽의 방향에 배치되며, 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다. The second photodetector 130 is disposed in the direction toward the upper surface 162 of the glass substrate 160 , and generates a second image using light emitted from the upper surface 162 of the glass substrate 160 . do.

즉, 광원부(110)가 상기 사이의 공간을 통해 유리 기판(160)의 하부면(162)으로 광을 조사하는 경우, 조사된 광은 유리 기판(160)의 투명 영역을 통과하여 투과됨으로써 출사하거나, 불투명 영역에 존재하는 균열을 통해 투과하여 출사하며, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사된 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다. That is, when the light source unit 110 irradiates light to the lower surface 162 of the glass substrate 160 through the space therebetween, the irradiated light is emitted by passing through the transparent region of the glass substrate 160 or , and is emitted through cracks existing in the opaque region, and the second photodetector 130 generates a second image by using the light emitted from the upper surface 162 of the glass substrate 160 .

예를 들어, 불투명 영역으로 광을 조사하는 경우, 상기 불투명 영역에 균열(불량)이 있으면, 유리 기판(160)의 하부면(162)으로 조사된 광은 상기 균열을 통하여 유리 기판(160)의 상부면(162)을 통하여 출사되며, 유리 기판(160)의 상부면(162) 위에 배치되는 제2 광 감지부(130)가 상기 출사된 광을 감지하여 영상을 생성할 수 있다. 즉, 유리 기판(160)의 일면 방향으로 불투명 영역으로 광을 조사하면, 균열이 있는 경우, 유리 기판(160)의 양측에서 모두 광을 감지할 수 있다. 물론, 균열이 없으면 유리 기판(160)의 일측 방향에서만 광이 감지될 것이다. For example, when irradiating light to the opaque region, if there is a crack (defect) in the opaque region, the light irradiated to the lower surface 162 of the glass substrate 160 may pass through the crack of the glass substrate 160 . The second light sensing unit 130 is emitted through the upper surface 162 and disposed on the upper surface 162 of the glass substrate 160 to detect the emitted light and generate an image. That is, when light is irradiated to the opaque region in the direction of one surface of the glass substrate 160 , when there is a crack, light can be detected from both sides of the glass substrate 160 . Of course, if there is no crack, light will be detected only in one direction of the glass substrate 160 .

다른 예로, 투명 영역으로 광을 조사하는 경우, 광은 상기 투명 영역을 관통하여 출력되고, 해당 광 감지부가 출력된 광을 감지할 수 있다. As another example, when irradiating light to the transparent area, the light may pass through the transparent area and output, and the corresponding light sensing unit may detect the output light.

다만, 투명 영역으로 조사되는 광의 세기는 불투명 영역으로 조사되는 광의 세기보다 높을 수 있다. 불투명일 경우에는 균열을 통하여 광이 반대 방향으로 출력되어야 하기 때문에 상대적으로 높은 세기의 광을 출력한다. 이러한 광의 세기로 투명 영역으로 조사하면, 감지된 광에 해당하는 이미지가 너무 밝은 광으로 인하여 제대로 형성되지 않는다. 따라서, 이러한 유리 기판(160)의 투명도를 고려하여 광의 세기가 조절될 수 있다. However, the intensity of light irradiated to the transparent region may be higher than the intensity of light irradiated to the opaque region. When it is opaque, light of relatively high intensity is output because light must be output in the opposite direction through the crack. When irradiated to a transparent area with such light intensity, an image corresponding to the sensed light is not formed properly due to the too bright light. Accordingly, the intensity of light may be adjusted in consideration of the transparency of the glass substrate 160 .

유리 기판(160)이 모두 불투명한 경우에는, 높은 세기의 광만을 유리 기판(160)으로 조사하면 되고, 유리 기판(160)이 투명 영역과 불투명 영역을 포함한 경우에는 높은 세기의 광과 상대적으로 낮은 세기의 광을 해당 영역에 조사하여 불량을 검사할 수 있다. When the glass substrate 160 is all opaque, only high intensity light is irradiated to the glass substrate 160 , and when the glass substrate 160 includes a transparent region and an opaque region, high intensity light and relatively low intensity Defects can be inspected by irradiating light of intensity to the corresponding area.

한편, 도 1을 참조하면, 제2 광 감지부(130)는 상기 사이의 공간의 바로 윗 공간에 배치되어 있을 수 있다. 즉, 상기 사이의 공간을 기준으로, 제1 광 감지부(120)는 제2 광 감지부(130)와 마주보게 배치될 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 1 , the second light sensing unit 130 may be disposed in a space immediately above the space therebetween. That is, based on the space therebetween, the first photo-sensing unit 120 may be disposed to face the second photo-sensing unit 130 .

검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다. 이 때, 검사부(140)는 프로세서가 포함된 장치일 수 있으며, 일례로 데스크탑 컴퓨터, 모바일 단말, PDA, 노트북, 태블릿 PC 등일 수 있다. The inspection unit 140 inspects the glass substrate 160 using at least one of the first image and the second image. In this case, the inspection unit 140 may be a device including a processor, for example, a desktop computer, a mobile terminal, a PDA, a notebook computer, a tablet PC, and the like.

이하, 도 4를 참조하여 유리 기판 검사 장치(100)에서 수행되는 검사 방법을 보다 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, an inspection method performed in the glass substrate inspection apparatus 100 will be described in more detail with reference to FIG. 4 .

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 검사 방법의 흐름도를 도시한 도면이다. 4 is a view showing a flowchart of a method for inspecting a glass substrate according to an embodiment of the present invention.

이하, 도 4를 참조하여, 각 단계 별로 수행되는 과정을 설명하기로 한다. Hereinafter, a process performed for each step will be described with reference to FIG. 4 .

먼저, 단계(410)에서, 광원부(110)는 유리 기판(110)의 하부면(162)으로 광을 조사한다. 이 때, 광은 제1 컨베이어 벨트(151)와 제2 컨베이어 벨트(152)의 사이의 공간에 조사된다. First, in step 410 , the light source 110 irradiates light to the lower surface 162 of the glass substrate 110 . At this time, light is irradiated to the space between the first conveyor belt 151 and the second conveyor belt 152 .

다음으로, 단계(420)에서, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다. Next, in step 420 , the first photodetector 120 generates a first image using light emitted from the lower surface 161 of the glass substrate 160 .

그리고, 단계(430)에서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다. And, in step 430 , the second light sensing unit 130 generates a second image by using the light emitted from the upper surface 162 of the glass substrate 160 .

한편, 단계(420)와 단계(430)는 동시에 수행될 수 있고, 하나의 단계가 다른 하나의 단계에 선행하여 수행될 수도 있다. 또한, 유리 기판(160)의 상부면(162)에서 광이 출사되지 않는 경우, 제2 광 감지부(130)에 수행되는 제2 영상의 생성 동작, 즉 단계(430)는 수행되지 않을 수 있다. Meanwhile, steps 420 and 430 may be performed simultaneously, and one step may be performed prior to another step. In addition, when light is not emitted from the upper surface 162 of the glass substrate 160 , the operation of generating the second image performed by the second light sensing unit 130 , that is, step 430 may not be performed. .

마지막으로, 단계(440)에서, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다. 즉, 검사부(140)는 제1 영상을 이용하고, 제2 영상을 선택적으로 이용하여 유리 기판(160)을 검사한다.Finally, in operation 440 , the inspection unit 140 inspects the glass substrate 160 using at least one of the first image and the second image. That is, the inspection unit 140 inspects the glass substrate 160 using the first image and selectively using the second image.

한편, 상기에서 언급한 바와 같이, 광원부(110)는 조사되는 광의 세기를 조절할 수 있다. 이 때, 상기 사이의 공간에 유리 기판(160)의 불투명 영역이 배치되는 경우 단계(410)에서 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 불투명 영역에 강한 빛을 조사할 수 있고, 상기 사이의 공간에 유리 기판(160)의 투명 영역이 배치되는 경우 단계(410)에서 광원부(110)는 유리 기판(160) 내의 투명 영역에 약한 빛을 조사할 수 있다. 이 때, 강한 빛은 265,000 럭스(lux) 이상의 세기일 수 있으며, 약한 빛은 80,000 럭스 이하의 세기일 수 있다. Meanwhile, as mentioned above, the light source unit 110 may adjust the intensity of the irradiated light. At this time, when the opaque region of the glass substrate 160 is disposed in the space between the light source unit 110 in step 410 , the light source unit 110 may irradiate strong light to the opaque region in the glass substrate 160, and When the transparent region of the glass substrate 160 is disposed in the space, in step 410 , the light source unit 110 may irradiate weak light to the transparent region in the glass substrate 160 . In this case, the strong light may have an intensity of 265,000 lux or more, and the weak light may have an intensity of 80,000 lux or less.

보다 상세하게, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 불투명 재질이고 상기한 영역에 균열(기판이 깨지는 경우 등)이 존재하지 않는 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)을 통과하지 못하며, 유리 기판(160)의 상부면 방향에 존재하는 제2 광 감지부(130)에서 생성되는 제2 영상에는 결함이 표시되지 않는다(도 5의 (a) 및 도 6의 (a) 참조). 그러나, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)을 통해 반사되고, 상기 반사된 광은 유리 기판(160)의 하부면 방향에 존재하는 제1 광 감지부(120)에서 수신되고, 제1 광 감지부(120)는 상기 반사된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 제1 영상에서는 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 명확하게 표시된다(도 5의 (b) 및 도 6의 (b) 참조). 즉, 본 발명에 따르면, 유리 기판(160)의 하부면 방향에 추가적인 광 감지부(즉, 제1 광 감지부(120))를 배치함으로써 결함을 용이하고 정확하게 판단할 수 있다. In more detail, when the area of the glass substrate 160 to which light is irradiated is an opaque material and there are no cracks (eg, when the substrate is broken) in the above area, the light irradiated from the light source unit 110 is transmitted to the glass substrate 160 . ( a) see). However, the light irradiated from the light source unit 110 is reflected through the lower surface 161 of the glass substrate 160 , and the reflected light is the first light sensing unit ( 120), and the first photodetector 120 generates a first image using the reflected light, and in the first image, a defect present in the glass substrate 160 is clearly displayed (FIG. 5). (b) and FIG. 6 (b)). That is, according to the present invention, a defect can be easily and accurately determined by arranging an additional photo-sensing unit (ie, the first photo-sensing unit 120 ) in the direction of the lower surface of the glass substrate 160 .

그리고, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 불투명 재질이고, 상기한 영역에 균열이 존재하는 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 균열을 통해 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 투과되어 출사되고, 더불어 상기 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 반사되어 출사된다. 따라서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 투과된 광을 이용하여 제2 영상을 생성하고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 투과된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상을 모두 이용하여 유리 기판(160)를 검사한다. 이에 따라 더욱 정확한 결함 검사가 수행되는 장점이 있다. In addition, when the area of the glass substrate 160 to which light is irradiated is made of an opaque material, and cracks exist in the above-mentioned area, the light irradiated from the light source unit 110 passes through the cracks in the glass substrate 160 . ) is transmitted and emitted to the upper surface 162 , and the irradiated light is reflected and emitted to the lower surface 161 of the glass substrate 160 . Accordingly, the second photo-sensing unit 130 generates a second image using the light transmitted through the upper surface 162 of the glass substrate 160 , and the first photo-sensing unit 120 uses the glass substrate 160 . A first image is generated using the light transmitted through the lower surface 161 of the , and the inspection unit 140 inspects the glass substrate 160 using both the first image and the second image. Accordingly, there is an advantage in that a more accurate defect inspection is performed.

한편, 유리 기판(160)의 불투명 영역에 약한 빛을 조사하는 경우, 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에서 제대로 표현되지 않는다(도 7의 (a) 참조). 따라서, 광의 세기를 조절 가능한 광원부(110)는 강한 빛을 유리 기판(160)의 불투명 영역에 조사하며, 이 경우 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에 명확하게 표현될 수 있다(도 7의 (b) 참조).On the other hand, when weak light is irradiated to the opaque region of the glass substrate 160 , defects present in the glass substrate 160 are not properly expressed in the image (see FIG. 7A ). Accordingly, the light source unit 110 capable of adjusting the intensity of light irradiates strong light to the opaque region of the glass substrate 160, and in this case, defects present in the glass substrate 160 can be clearly expressed in the image (FIG. 7). of (b)).

또한, 광이 조사되는 유리 기판(160)의 영역이 투명 재질인 경우, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)을 통과할 수 있다. 따라서, 광원부(110)에서 조사되는 광은 유리 기판(160)의 상부면(162)을 통과하여 출사되며, 더불어 상기 조사된 광은 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 반사되어 출사된다. 따라서, 제2 광 감지부(130)는 유리 기판(160)의 상부면(162)으로 통과된 광을 이용하여 제2 영상을 생성하고, 제1 광 감지부(120)는 유리 기판(160)의 하부면(161)으로 투과된 광을 이용하여 제1 영상을 생성하며, 검사부(140)는 제1 영상 및 제2 영상을 모두 이용하여 유리 기판(160)를 검사한다. 이에 따라, 더욱 정확한 결함 검사가 수행되는 장점이 있다. In addition, when the region of the glass substrate 160 to which light is irradiated is made of a transparent material, the light irradiated from the light source unit 110 may pass through the glass substrate 160 . Accordingly, the light irradiated from the light source unit 110 is emitted through the upper surface 162 of the glass substrate 160 , and the irradiated light is reflected and emitted to the lower surface 161 of the glass substrate 160 . . Accordingly, the second photo-sensing unit 130 generates a second image by using the light passing through the upper surface 162 of the glass substrate 160 , and the first photo-sensing unit 120 uses the glass substrate 160 . A first image is generated using the light transmitted through the lower surface 161 of the , and the inspection unit 140 inspects the glass substrate 160 using both the first image and the second image. Accordingly, there is an advantage in that a more accurate defect inspection is performed.

한편, 유리 기판(160)의 투명 영역에 강한 빛을 조사하는 경우, 광이 포화(saturation)되어 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에서 제대로 표현되지 않는다(도 8의 (a) 참조). 따라서, 광의 세기를 조절 가능한 광원부(110)는 약한 빛을 유리 기판(160)의 투명 영역에 조사하며, 이 경우 유리 기판(160)에 존재하는 결함이 영상에 명확하게 표현될 수 있다(도 8의 (b) 참조).On the other hand, when strong light is irradiated to the transparent region of the glass substrate 160, the light is saturated and the defects present in the glass substrate 160 are not properly expressed in the image (refer to (a) of FIG. 8). . Accordingly, the light source unit 110 capable of adjusting the intensity of light irradiates weak light to the transparent area of the glass substrate 160, and in this case, defects present in the glass substrate 160 can be clearly expressed in the image (FIG. 8). of (b)).

요컨대, 본 발명에 따른 광원부(110)는 조사되는 빛의 세기를 조절할 수 있되, 유리 기판(160)의 투명 영역으로는 약한 빛을 조사하고, 유리 기판(160)의 불투명 영역으로는 강한 빛을 조사할 수 있다. 이를 통해 유리 기판(160)의 하부면 영상(161)과 상부면 영상(162)를 모두 생성하여 유리 기판(160)의 결함을 정확하게 검사하는 장점이 있다. In other words, the light source unit 110 according to the present invention can adjust the intensity of the irradiated light, irradiating weak light to the transparent region of the glass substrate 160 and strong light to the opaque region of the glass substrate 160 . can be investigated Through this, both the lower surface image 161 and the upper surface image 162 of the glass substrate 160 are generated to accurately inspect the defects of the glass substrate 160 .

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유리 기판 검사 장치의 개략적인 구조를 도시한 도면이다. 9 is a view showing a schematic structure of a glass substrate inspection apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 유리 기판 검사 장치(900)는 제1 광원부(911), 제2 광원부(912), 제1 광 감지부(921), 제2 광 감지부(922), 제3 광 감지부(931), 제4 광 감지부(932) 및 검사부(140)를 포함한다. Referring to FIG. 9 , the glass substrate inspection apparatus 900 includes a first light source unit 911 , a second light source unit 912 , a first light sensing unit 921 , a second light sensing unit 922 , and a third light sensing unit. It includes a unit 931 , a fourth light sensing unit 932 , and an inspection unit 140 .

한편, 유리 기판 검사 장치(900)를 통해 검사가 수행되는 유리 기판(160)는 불투명 영역과 투명 영역을 포함하는 기판일 수 있다. Meanwhile, the glass substrate 160 on which the inspection is performed by the glass substrate inspection apparatus 900 may be a substrate including an opaque region and a transparent region.

이하, 도 9를 참조하여, 각 구성 요소 별로 그 기능을 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, the function of each component will be described in detail with reference to FIG. 9 .

제1 광원부(911)는 유리 기판(960)의 하부면(961) 중에서 불투명 영역인 유리 기판(960)의 제1-A 면으로 광을 조사한다. 즉, 제1 광원부(911)는 컨베이어 벨트들(951, 952, 953) 중 제1 컨베이어 벨트(951)와 제2 컨베이어 벨트(952) 사이의 공간인 제1 공간으로 광을 조사한다. 이 때, 제1 광원부(911)는 강한 빛을 조사한다. The first light source unit 911 irradiates light from the lower surface 961 of the glass substrate 960 to the surface 1-A of the glass substrate 960, which is an opaque region. That is, the first light source unit 911 irradiates light into a first space between the first conveyor belt 951 and the second conveyor belt 952 among the conveyor belts 951 , 952 , and 953 . At this time, the first light source unit 911 irradiates strong light.

제2 광원부(921)는 유리 기판(960)의 하부면(961) 중에서 투명 영역인 유리 기판(960)의 제2-A 면으로 광을 조사한다. 즉, 제2 광원부(921)는 컨베이어 벨트들(951, 952, 953) 중 제2 컨베이어 벨트(952)와 제3 컨베이어 벨트(953) 사이의 공간인 제2 공간으로 광을 조사한다. 이 때, 제2 광원부(921)는 약한 빛을 조사한다. The second light source unit 921 irradiates light from the lower surface 961 of the glass substrate 960 to the 2-A surface of the glass substrate 960 which is a transparent region. That is, the second light source unit 921 irradiates light into a second space, which is a space between the second conveyor belt 952 and the third conveyor belt 953 of the conveyor belts 951 , 952 , and 953 . At this time, the second light source unit 921 irradiates weak light.

제1 광 감지부(921)는 상기 제1-A 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제1-A 면에서 출사되는 광을 이용하여 제1 영상을 생성한다. The first photodetector 921 is disposed in the direction toward the 1-A surface, and generates a first image by using the light emitted from the 1-A surface.

제2 광 감지부(922)는 상기 제1-A 면의 반대편 면인 유리 기판(960)의 상부면(962)의 제2-A 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제2-A 면에서 출사되는 광을 이용하여 제2 영상을 생성한다. The second light sensing unit 922 is disposed in the direction toward the 2-A side of the upper surface 962 of the glass substrate 960, which is the opposite side of the 1-A side, and is emitted from the 2-A side. A second image is generated by using the emitted light.

제3 광 감지부(931)는 상기 제1-B 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제1-B 면에서 출사되는 광을 이용하여 제3 영상을 생성한다. The third photodetector 931 is disposed in the direction toward the 1-B surface, and generates a third image by using the light emitted from the 1-B surface.

제4 광 감지부(932)는 상기 제1-B 면의 반대편 면인 유리 기판(960)의 제상부면(962)의 제2-B 면 쪽의 방향에 배치되며, 상기 제2-B 면에서 출사되는 광을 이용하여 제4 영상을 생성한다. The fourth light sensing unit 932 is disposed in the direction toward the 2-B side of the defrosting surface 962 of the glass substrate 960, which is the opposite side of the 1-B side, and is emitted from the 2-B side. A fourth image is generated by using the emitted light.

검사부(940)는 제1 영상, 제2 영상, 제3 영상 및 제4 영상 중 적어도 하나를 이용하여 유리 기판(960)을 검사한다. 이 때, 검사부(940)는 프로세서가 포함된 장치일 수 있으며, 일례로 데스크탑 컴퓨터, 모바일 단말, PDA, 노트북, 태블릿 PC 등일 수 있다. The inspection unit 940 inspects the glass substrate 960 using at least one of the first image, the second image, the third image, and the fourth image. In this case, the inspection unit 940 may be a device including a processor, for example, a desktop computer, a mobile terminal, a PDA, a notebook computer, a tablet PC, or the like.

요컨대, 본 발명의 제2 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(900)는, 불투명 영역을 검사하기 위한 제1 광원부(911), 제1 광 감지부(921), 제2 광 감지부(922)와, 투명 영역을 검사하기 위한 제2 광원부(912), 제3 광 감지부(931), 제4 광 감지부(932)를 포함할 수 있다. 즉, 본 발명의 제1 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(100)에 비해, 본 발명의 제2 일시예에 따른 유리 기판 검사 장치(900)는 투명 영역과 불투명 영역을 검사하는 구성 요소들을 별개로 포함할 수 있다. 이 때, 제1 광원부(911)의 광의 조사와 제2 광원부(912)의 광의 조사는 동시에 수행될 수 있으며, 광 감지부들(921, 922, 931, 932)는 영상들을 동시에 생성할 수 있다. 한편, 각 구성 요소들의 동작의 설명은 앞서 언급한 유리 기판 검사 장치(100)의 구성 요소들의 동작과 유사하므로, 상세한 설명은 생략하기로 한다. In other words, the glass substrate inspection apparatus 900 according to the second exemplary embodiment of the present invention includes a first light source unit 911 , a first light sensing unit 921 , and a second light sensing unit 922 for inspecting an opaque region. and a second light source unit 912 , a third light sensing unit 931 , and a fourth light sensing unit 932 for inspecting the transparent region. That is, compared to the glass substrate inspection apparatus 100 according to the first embodiment of the present invention, the glass substrate inspection apparatus 900 according to the second embodiment of the present invention separates the components for inspecting the transparent region and the opaque region. can be included as In this case, the light irradiation of the first light source unit 911 and the light irradiation of the second light source unit 912 may be simultaneously performed, and the light sensing units 921 , 922 , 931 , and 932 may simultaneously generate images. On the other hand, since the description of the operation of each component is similar to the operation of the above-mentioned components of the glass substrate inspection apparatus 100, the detailed description will be omitted.

위의 실시예들에서는, 불량 검사 대상으로 유리 기판으로 언급하였으나, 불투명 영역을 포함하는 한 대상물에는 제한이 없다. 예를 들어, 대상물은 플렉서블한 필름일 수도 있다. In the above embodiments, although the glass substrate is referred to as a defect inspection target, there is no limitation on an object including an opaque region. For example, the object may be a flexible film.

또한, 유리 기판은 특정 위치에 고정된 상태로 불량 검사가 이루어질 수도 있고, 이동하면서 불량 검사가 이루어질 수도 있다. In addition, the glass substrate may be inspected for defects while being fixed at a specific position, or may be inspected for defects while moving.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다. As described above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are provided to help the overall understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments, Various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims to be described later, but also all those with equivalent or equivalent modifications to the claims will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention. .

Claims (10)

불투명 영역을 포함하는 대상물의 제1 면 방향으로 하여 상기 불투명 영역으로 광을 조사하는 광원부-상기 대상물은 제1 컨베이어 벨트와 제2 컨베이어 벨트를 통해 이송되며, 상기 광원부는 상기 제1 컨베이어 벨트와 상기 제2 컨베이어 벨트 사이의 공간을 통해 상기 제1 면 방향으로 광을 조사함;
상기 제1 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 상기 제1 면에서 반사된 광을 감지하여 제1 영상을 생성하는 제1 광 감지부;
상기 제1 면과 반대되는 제2 면 방향에 배치되며, 상기 대상물의 상기 제2 면에서 균열에 의해 투과된 광을 감지하여 제2 영상을 생성하는 제2 광 감지부-상기 제2 광 감지부는 제1 광 감지부는 서로 마주보도록 배치됨; 및
상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 이용하여 상기 불투명 영역의 균열을 검사하는 검사부를 포함하되,
상기 광원부는 상기 대상물의 투명도를 고려하여 광의 세기를 조절하되, 불투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 광의 세기가 투명 영역의 불량 검사 시 상기 광원부로부터 조사되는 강의 세기보다 높은 것을 특징으로 하는 검사 장치.
A light source unit irradiating light to the opaque area in the direction of the first surface of the object including the opaque area - The object is transferred through the first conveyor belt and the second conveyor belt, and the light source unit is the first conveyor belt and the irradiating light in the direction of the first surface through the space between the second conveyor belts;
a first light sensing unit disposed in a direction of the first surface and generating a first image by detecting light reflected from the first surface of the object;
A second light sensing unit disposed in a direction of a second surface opposite to the first surface and generating a second image by sensing light transmitted through a crack on the second surface of the object - the second light sensing unit the first photodetectors are disposed to face each other; and
Using the first image and the second image, including an inspection unit for inspecting the crack in the opaque region,
The light source unit adjusts the intensity of light in consideration of the transparency of the object, but the intensity of the light irradiated from the light source unit during the defect inspection of the opaque region is higher than the intensity of the steel irradiated from the light source unit during the defect inspection of the transparent region Device.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 대상물은 유리 기판이며, 상기 유리 기판은 상기 불투명 영역과 투명 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
According to claim 1,
The object is a glass substrate, and the glass substrate comprises the opaque region and the transparent region.
제3항에 있어서,
상기 광원부가 상기 유리 기판 내의 불투명 영역에 상기 광을 조사하고, 상기 불투명 영역에 균열이 존재하지 않는 경우,
상기 제1 면에서만 상기 광이 반사되어 출사되고,
상기 제1 광 감지부는 상기 제1 면에서 출사된 광을 이용하여 상기 제1 영상을 생성하고,
상기 검사부는 상기 제1 영상을 이용하여 상기 유리 기판을 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
4. The method of claim 3,
When the light source unit irradiates the light to an opaque region in the glass substrate, and there is no crack in the opaque region,
The light is reflected and emitted only from the first surface,
The first light sensing unit generates the first image by using the light emitted from the first surface,
The inspection unit inspects the glass substrate by using the first image.
삭제delete 불투명 영역 및 투명 영역을 가지는 대상물에서 불투명 영역으로 제1 세기의 광을 조사하고, 상기 투명 영역으로 제2 세기의 광을 조사하는 광원부-상기 대상물은 제1 컨베이어 벨트와 제2 컨베이어 벨트를 통해 이송되며, 상기 광원부는 상기 제1 컨베이어 벨트와 상기 제2 컨베이어 벨트 사이의 공간을 통해 제1 면 방향으로 광을 조사함;
상기 불투명 영역에 의해 반사된 광, 상기 불투명 영역을 투과한 광, 상기 투명 영역을 투과한 광 중 적어도 하나를 감지하는 광 감지부를 포함하되,
상기 광원부는 상기 대상물의 투명도를 고려하여 광의 세기를 조절하되,
상기 제1 세기가 상기 제2 세기보다 큰 것을 특징으로 하는 검사 장치.
A light source unit irradiating light of a first intensity from an object having an opaque area and a transparent area to an opaque area and irradiating light of a second intensity to the transparent area - the object is transported through the first conveyor belt and the second conveyor belt and the light source unit irradiates light in a first surface direction through a space between the first conveyor belt and the second conveyor belt;
A photodetector configured to detect at least one of light reflected by the opaque region, light transmitted through the opaque region, and light transmitted through the transparent region,
The light source unit adjusts the intensity of light in consideration of the transparency of the object,
and the first intensity is greater than the second intensity.
제6항에 있어서,
상기 광 감지부에 의해 감지된 광에 해당하는 영상을 통하여 불량을 검사하는 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
7. The method of claim 6,
Inspection apparatus, characterized in that it further comprises an inspection unit for inspecting the defect through the image corresponding to the light sensed by the light sensing unit.
불투명 영역을 포함하는 대상물의 투명도를 고려하여 상기 대상물의 제1 면으로 광을 조사하는 단계-상기 불투명 영역의 불량 검사시 조사된 광의 세기는 투명 영역의 불량 검사시 조사되는 광의 세기보다 높으며, 상기 대상물은 제1 컨베이어 벨트와 제2 컨베이어 벨트를 통해 이송되며, 광원부는 상기 제1 컨베이어 벨트와 상기 제2 컨베이어 벨트 사이의 공간을 통해 상기 제1 면 방향으로 광을 조사함;
상기 제1 면 방향에 배치되는 제1 광 감지부가 상기 제1 면에서 반사된 광을 감지하여 제1 영상을 생성하는 단계;
상기 제1 면의 반대측인 제2 면 방향에 상기 제1 광 감지부와 마주보도록 배치되는 제2 광 감지부가 상기 제2 면을 투과한 광을 감지하여 제2 영상을 생성하는 단계; 및
상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 이용하여 상기 불투명 영역의 균열을 검사하는 단계를 포함하는 검사 방법.
Step of irradiating light to the first surface of the object in consideration of the transparency of the object including the opaque region - The intensity of the light irradiated during the defect inspection of the opaque region is higher than the intensity of the light irradiated during the defect inspection of the transparent region, the an object is transferred through a first conveyor belt and a second conveyor belt, and a light source unit irradiates light in a direction of the first surface through a space between the first conveyor belt and the second conveyor belt;
generating a first image by sensing the light reflected from the first surface by a first light sensing unit disposed in the direction of the first surface;
generating a second image by a second photo-sensing unit disposed to face the first photo-sensing unit in a direction of a second surface opposite to the first surface, detecting light transmitted through the second surface; and
and inspecting a crack in the opaque region using the first image and the second image.
제8항에 있어서,
상기 대상물은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 검사 방법.
9. The method of claim 8,
The inspection method, characterized in that the object is a glass substrate.
제8항에 있어서, 상기 대상물은 상기 불투명 영역과 투명 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법.

The method of claim 8 , wherein the object includes the opaque region and the transparent region.

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