KR20090123409A - Apparatus for transferring a substrate - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for transferring a substrate is provided to reduce the conversion time of an incline transfer unit and simplify a structure using a change unit changing the incline transfer unit to the horizontal state or changing the incline transfer unit from a horizontal state to an incline state. CONSTITUTION: A substrate transfer device(100) includes an incline transfer unit(110), a horizontal transfer unit(120), and a change unit(130). The incline transfer unit supports the substrate slantingly and transfers the substrate to the first horizontal direction. The horizontal transfer unit is arranged in the lower part of the incline transfer unit, supports the substrate horizontally, and transfers the substrate from a first horizontal direction to a second horizontal direction. The change unit is connected to the incline transfer unit overlapped with the horizontal transfer unit and changes the incline transfer unit horizontally to receive the incline transfer unit on the horizontal transfer unit for transferring the substrate of the incline transfer unit to the horizontal transfer unit or changes the incline transfer unit horizontally received on the horizontal transfer unit to the incline state for transferring the substrate to the incline transfer unit.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for transferring a substrate}Apparatus for transferring a substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 평판 디스플레이 제조 공정에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus and to a substrate transfer apparatus for transferring substrates in a flat panel display manufacturing process.

일반적으로, 액정 표시 소자는 기판에 복수의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 형성된다. 상기 단위 공정들 중 식각, 수세, 또는 건조와 같은 공정을 수행하기 위해 복수의 처리실들을 갖는 기판 처리 장치가 구비된다. 상기 기판은 상기 처리실들을 순차적으로 이동하면서 상기 공정들이 수행된다. 상기 기판들의 이동은 기판 이송 장치에 의해 이루어진다. In general, the liquid crystal display is formed by repeatedly performing a plurality of unit processes on a substrate. A substrate processing apparatus having a plurality of processing chambers is provided to perform a process such as etching, washing, or drying among the unit processes. The processes are performed while the substrate sequentially moves the processing chambers. The movement of the substrates is made by a substrate transfer device.

상기 기판 처리 장치의 공간을 최소화하기 위해 상기 기판 이송 장치는 상기 기판을 제1 수평 방향 및 상기 제1 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 이송할 수 있다.In order to minimize the space of the substrate processing apparatus, the substrate transfer apparatus may transfer the substrate in a first horizontal direction and a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 측면도이다. 1 is a plan view for explaining a substrate transfer apparatus according to the prior art, Figure 2 is a side view of the substrate transfer apparatus shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 이송 장치(1)는 제1 이송부(10), 제2 이송부(20) 및 구동부(30)를 포함한다. 1 and 2, the substrate transfer apparatus 1 includes a first transfer unit 10, a second transfer unit 20, and a driver 30.

상기 제1 이송부(10)는 기판을 평행하게 지지하며, 제1 수평 방향으로 상기 기판을 이송한다. The first transfer unit 10 supports the substrate in parallel and transfers the substrate in a first horizontal direction.

상기 제2 이송부(20)는 상기 기판을 평행하게 지지하며, 상기 제1 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 상기 기판을 이송한다.The second transfer part 20 supports the substrate in parallel and transfers the substrate in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction.

상기 제2 이송부(20)는 상기 제1 이송부(10)보다 낮은 높이를 갖는다. 상기 제2 이송부(20)와 상기 제1 이송부(10)는 일부가 상하로 겹쳐진다.The second transfer part 20 has a height lower than that of the first transfer part 10. A part of the second transfer part 20 and the first transfer part 10 overlap vertically.

상기 구동부(30)는 상기 제2 이송부(20)와 겹쳐지는 상기 제1 이송부(10)의 양단과 각각 연결되며, 상기 제1 이송부(10)를 승강시킨다. 상기 구동부(30)는 상기 제1 이송부(10)가 상기 제2 이송부(20) 상에 안착될 때까지 상기 제1 이송부(10)를 하강시킨다. 따라서, 상기 제1 이송부(10)의 기판을 상기 제2 이송부(20)로 전달할 수 있다.The driving unit 30 is connected to both ends of the first transfer unit 10 overlapping with the second transfer unit 20, respectively, and lifts the first transfer unit 10. The driving unit 30 lowers the first transfer unit 10 until the first transfer unit 10 is seated on the second transfer unit 20. Therefore, the substrate of the first transfer unit 10 may be transferred to the second transfer unit 20.

또한, 상기 구동부(30)는 상기 제2 이송부(20) 상에 안착된 상기 제1 이송부(10)를 나머지 제1 이송부(10)와 동일한 높이로 상승시킨다. 따라서, 상기 제2 이송부(20)의 기판을 상기 제1 이송부(10)로 전달할 수 있다.In addition, the driving unit 30 raises the first transfer unit 10 seated on the second transfer unit 20 to the same height as the remaining first transfer unit 10. Therefore, the substrate of the second transfer unit 20 may be transferred to the first transfer unit 10.

상기 구동부(30)가 상기 제1 이송부(10)의 양단에 각각 구비되며, 상기 기판 이송 장치(1)의 구조가 복잡할 수 있다. 또한, 상기 구동부(30)의 동작시 상기 제1 이송부(10)가 수평을 유지하지 못하는 경우, 상기 제1 이송부(10)에 지지된 기판이 이탈되어 파손될 수 있다. 그리고, 상기 제1 이송부(10)는 상기 구동부(30)의 스트로크에 의해 승강하므로, 상기 제1 이송부(10)의 승강에 상대적으로 많은 시간이 소요된다. The driving unit 30 is provided at both ends of the first transfer unit 10, and the structure of the substrate transfer device 1 may be complicated. In addition, when the first transfer unit 10 does not maintain level when the driving unit 30 operates, the substrate supported by the first transfer unit 10 may be separated and damaged. In addition, since the first transfer unit 10 is moved up and down by the stroke of the driving unit 30, the first transfer unit 10 takes a relatively long time to move up and down.

본 발명은 제1 수평 방향으로 이송되는 기판을 상기 제1 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 용이하게 전환하여 이송할 수 있는 기판 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a substrate transfer apparatus capable of easily converting and transferring a substrate to be transferred in a first horizontal direction in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction.

본 발명에 따른 기판 이송 장치는 기판을 경사지도록 지지하여 제1 수평 방향으로 이송하는 경사 이송부, 상기 경사 이송부의 하방에 배치되며, 상기 기판을 수평하게 지지하여 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 이송하는 수평 이송부 및 상기 수평 이송부와 겹쳐지는 상기 경사 이송부에 연결되고, 상기 경사 이송부의 기판을 상기 수평 이송부로 전달하기 위해 상기 경사 이송부가 상기 수평 이송부 상에 안착되도록 상기 경사 이송부를 수평한 상태로 변환하거나, 상기 수평 이송부의 기판을 상기 경사 이송부로 전달하기 위해 상기 수평 이송부 상에 안착된 상기 수평 상태의 경사 이송부를 경사 상태로 변환하는 변환부재를 포함할 수 있다. The substrate transfer apparatus according to the present invention includes an inclined transfer portion for supporting the substrate to be inclined to be transferred in a first horizontal direction, and disposed below the inclined transfer portion and vertically supporting the substrate to be perpendicular to the first horizontal direction. It is connected to the horizontal conveying portion and the horizontal conveying portion overlapping the horizontal conveying portion to transfer in the horizontal direction, the inclined conveying portion is horizontal so that the inclined conveying portion is seated on the horizontal conveying portion for transferring the substrate of the inclined conveying portion to the horizontal conveying portion It may include a conversion member for converting the inclined transfer unit of the horizontal state seated on the horizontal transfer unit in order to convert to one state, or to transfer the substrate of the horizontal transfer unit to the inclined transfer unit.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 변환부재는 상기 경사 이송부의 일단을 지지하는 힌지 및 상기 힌지를 축으로 상기 일단과 반대되는 상기 경사부의 타단을 승강시키는 구동부를 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the conversion member may include a hinge for supporting one end of the inclined transfer unit and a driving unit for elevating the other end of the inclined portion opposite to the one end with the hinge as an axis.

본 발명에 따르면, 변환 부재는 경사 이송부의 일단을 승강시켜 경사 이송부를 수평 상태로 변환하거나 수평 상태의 경사 이송부를 다시 경사 상태로 변환할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 장치의 구조를 단순화할 수 있다. 또한, 상기 경사 이송부의 상태를 안정적으로 변환시킬 수 있다. 그리고, 상기 경사 이송부의 일단을 승강시키므로 상기 변환 부재의 스트로크 거리가 짧아 상기 경사 이송부의 변환 시간을 단축할 수 있다.According to the present invention, the conversion member may raise and lower one end of the inclined feeder to convert the inclined feeder into the horizontal state or convert the inclined feeder in the horizontal state back to the inclined state. Therefore, the structure of the substrate transfer device can be simplified. In addition, the state of the inclined transfer portion can be stably converted. In addition, since one end of the inclined conveyer is lifted, the stroke distance of the conversion member is short, so that the conversion time of the inclined conveyer can be shortened.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown in an enlarged scale than actual for clarity of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르 게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)를 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 장치(100)의 측면도이다. 3 is a plan view illustrating a substrate transfer apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view of the substrate transfer apparatus 100 illustrated in FIG. 3.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(100)는 경사 이송부(110), 수평 이송부(120) 및 변환 부재(130)를 포함한다. 3 and 4, the substrate transfer apparatus 100 includes an inclined transfer unit 110, a horizontal transfer unit 120, and a conversion member 130.

상기 경사 이송부(110)는 기판을 경사지도록 지지하여 제1 수평 방향으로 이송한다. 상기 경사 이송부(110)는 제1 샤프트(112)들 및 제1 롤러(114)들을 포함한다. The inclined transfer unit 110 supports the substrate to be inclined and transfers it in the first horizontal direction. The inclined conveyance unit 110 includes first shafts 112 and first rollers 114.

상기 제1 샤프트(112)들은 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향에 대해 일정한 경사각을 갖는다. 상기 제1 샤프트(112)들은 서로 일정간격 이격된다. 상기 제1 샤프트(112)들은 중심축을 기준으로 회전 가능하다.The first shafts 112 have a constant inclination angle with respect to a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. The first shafts 112 are spaced apart from each other. The first shafts 112 are rotatable about a central axis.

상기 제1 롤러(114)들은 각 제1 샤프트(112)들에 각각 고정된다. 상기 제1 롤러(114)들은 상기 기판의 하면을 지지한다. 상기 제1 샤프트(112)들이 경사지므로, 상기 제1 롤러(114)들은 상기 기판을 경사지도록 지지한다. The first rollers 114 are fixed to the respective first shafts 112, respectively. The first rollers 114 support the lower surface of the substrate. Since the first shafts 112 are inclined, the first rollers 114 support the substrate to be inclined.

상기 제1 롤러(114)들에 안착된 상태에서 상기 제1 샤프트(112)들의 회전에 따라 상기 기판이 상기 제1 수평 방향으로 이송된다.The substrate is transported in the first horizontal direction according to the rotation of the first shafts 112 while being seated on the first rollers 114.

상기 수평 이송부(120)는 상기 기판을 평행하도록 지지하여 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 이송한다. 상기 수평 이송부(120)는 제2 샤프트(122)들 및 제2 롤러(124)들을 포함한다. The horizontal transfer unit 120 supports the substrate in parallel to transfer the substrate in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction. The horizontal conveyer 120 includes second shafts 122 and second rollers 124.

상기 제2 샤프트(122)들은 상기 제1 수평 방향을 따라 연장된다. 상기 제2 샤프트(122)들은 서로 일정간격 이격된다. 상기 제2 샤프트(122)들은 중심축을 기준으로 회전 가능하다. 상기 제2 샤프트(122)들은 상기 제1 샤프트(112)들의 경사 하단과 동일한 높이를 갖도록 배치된다. The second shafts 122 extend along the first horizontal direction. The second shafts 122 are spaced apart from each other by a predetermined distance. The second shafts 122 are rotatable about a central axis. The second shafts 122 are disposed to have the same height as the inclined lower ends of the first shafts 112.

상기 제2 롤러(124)들은 각 제2 샤프트(122)들에 각각 고정된다. 상기 제2 롤러(124)들은 상기 기판의 하면을 지지한다. 상기 제2 샤프트(122)들이 평행하므로, 상기 제2 롤러(124)들은 상기 기판을 평행하도록 지지한다. 상기 제2 롤러(124)들의 지름이 상기 제1 롤러(114)들의 지름보다 크다.The second rollers 124 are fixed to the respective second shafts 122, respectively. The second rollers 124 support the lower surface of the substrate. Since the second shafts 122 are parallel, the second rollers 124 support the substrate in parallel. The diameter of the second rollers 124 is larger than the diameter of the first rollers 114.

상기 제2 롤러(124)들에 안착된 상태에서 상기 제2 샤프트(122)들의 회전에 따라 상기 기판이 상기 제2 수평 방향으로 이송된다.The substrate is transferred in the second horizontal direction as the second shafts 122 rotate in the state of being seated on the second rollers 124.

상기 변환 부재(130)는 상기 경사 이송부(110)를 수평 상태로 변환하거나 수 평 상태의 경사 이송부(110)를 경사 상태로 변환한다. 상기 변환 부재(130)는 힌지(132), 구동부(134) 및 링크(136)를 포함한다. The conversion member 130 converts the inclined transfer unit 110 into a horizontal state or converts the inclined transfer unit 110 in a horizontal state to an inclined state. The conversion member 130 includes a hinge 132, a driver 134, and a link 136.

상기 힌지(132)는 상기 수평 이송부(120)와 겹쳐지는 상기 경사 이송부(110)의 경사 하단과 연결된다. 예를 들면, 상기 힌지(132)는 상기 제1 샤프트(112)들의 경사 하단과 연결된다. 따라서, 상기 경사 이송부(110)는 상기 힌지(132)를 중심축으로 하여 회전할 수 있다.The hinge 132 is connected to the inclined lower end of the inclined transfer unit 110 overlapping the horizontal transfer unit 120. For example, the hinge 132 is connected to the inclined bottom of the first shafts 112. Thus, the inclined transfer unit 110 may rotate about the hinge 132 as a central axis.

상기 구동부(134)는 상기 힌지(132)가 구비된 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단과 연결된다. 예를 들면, 상기 구동부(134)는 상기 제1 샤프트(112)들의 경사 상단과 연결된다. 상기 구동부(134)는 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단을 승강시킨다. 상기 구동부(134)의 예로는 공압 실린더를 들 수 있다. 상기 공압 실린더의 피스톤 로드가 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단과 연결된다. The driving unit 134 is connected to the inclined upper end of the inclined transfer unit 110 provided with the hinge 132. For example, the driving unit 134 is connected to the inclined top of the first shafts 112. The driving unit 134 lifts the inclined upper end of the inclined transfer unit 110. An example of the driving unit 134 may be a pneumatic cylinder. The piston rod of the pneumatic cylinder is connected with the inclined upper end of the inclined transfer unit (110).

예를 들면, 상기 경사 이송부(110)의 경사 하단이 힌지 고정된 상태에서 상기 구동부(134)가 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단을 하강시키면, 상기 경사 이송부(110)가 수평한 상태로 변환된다. For example, when the inclined lower end of the inclined transfer unit 110 is hinged and the driving unit 134 lowers the inclined upper end of the inclined transfer unit 110, the inclined transfer unit 110 is converted into a horizontal state. do.

상기 제2 샤프트(122)들의 높이가 상기 제1 샤프트(112)들의 경사 하단 높이와 동일하므로, 상기 수평 상태의 경사 이송부(110)는 상기 수평 이송부(120) 상에 안착된다. 상기 제1 롤러(114)들의 지름이 상기 제2 롤러(124)들의 지름보다 작으므로, 상기 수평 상태로 변환된 상기 경사 이송부(110)는 상기 수평 이송부(120)의 상방으로 돌출되지 않는다. 따라서, 상기 경사 이송부(110)가 상기 기판을 지지한 상태에서 상기 수평 상태로 변환하면, 상기 기판은 상기 제2 롤러(124)들에 의해 지지되므로 상기 수평 이송부(120)로 전달될 수 있다. Since the heights of the second shafts 122 are the same as the inclined bottom heights of the first shafts 112, the inclined transfer unit 110 in the horizontal state is seated on the horizontal transfer unit 120. Since the diameters of the first rollers 114 are smaller than the diameters of the second rollers 124, the inclined conveyance unit 110 converted to the horizontal state does not protrude upward of the horizontal conveyance unit 120. Therefore, when the inclined transfer unit 110 is converted to the horizontal state while supporting the substrate, the substrate may be transferred to the horizontal transfer unit 120 because the substrate is supported by the second rollers 124.

다른 예로, 상기 경사 이송부(110)의 경사 하단이 힌지 고정된 상태에서 상기 구동부(134)가 상기 수평 상태로 변환된 경사 이송부(110)의 경사 상단을 상승시키면, 상기 경사 이송부(110)가 경사 상태로 변환된다. As another example, when the inclined lower end of the inclined transfer unit 110 is hinged and the driving unit 134 raises the inclined upper end of the inclined transfer unit 110 converted to the horizontal state, the inclined transfer unit 110 is inclined. Is converted to state.

상기 수평 변환 상태에서 상기 경사 이송부(110)는 상기 수평 이송부(120)의 상방으로 돌출되지 않으므로, 상기 수평 이송부(120)가 상기 기판을 지지한 상태에서 상기 경사 이송부(110)를 상기 경사 상태로 변환하면, 상기 기판은 상기 제1 롤러(114)들에 의해 지지되므로 상기 경사 이송부(110)로 전달될 수 있다. Since the inclined transfer unit 110 does not protrude upward from the horizontal transfer unit 120 in the horizontal conversion state, the inclined transfer unit 110 is in the inclined state while the horizontal transfer unit 120 supports the substrate. In this case, the substrate is supported by the first rollers 114 and thus may be transferred to the inclined transfer unit 110.

따라서, 상기 경사 이송부(110)를 상기 수평 변환 또는 경사 변환함으로써, 상기 경사 이송부(110)에 의해 이송된 기판을 상기 수평 이송부(120)로 전달하여 이송할 수 있고, 상기 수평 이송부(120)의 의해 이송된 기판을 상기 경사 이송부(120)로 전달하여 이송할 수 있다. Accordingly, by horizontally converting or inclining the inclined transfer unit 110, the substrate transferred by the inclined transfer unit 110 may be transferred to the horizontal transfer unit 120 to transfer the inclined transfer unit 110. The substrate transferred by the transfer may be transferred to the inclined transfer unit 120.

상기 링크(136)는 상기 구동부(134)와 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단 연결 부위에 구비된다. 상기 링크(136)는 상기 경사 이송부(110)의 승강에 따른 편심을 보정하여 상기 경사 이송부(110)의 회전을 원활하게 한다. 상기 링크(136)가 없는 경우, 상기 구동부(134)로 사용되는 상기 공압 실린더의 피스톤 로드를 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단과 직접 연결될 수 있다. 그러면, 상기 피스톤 로드는 직선 이동되고, 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단은 회전 이동되기 때문에, 상기 연결 부분에 틀어짐이 발생될 뿐만 아니라, 상기 경사 이송부(110)의 경사 상단이 승강할 수 없게 될 수 있다.The link 136 is provided at an inclined top connection portion of the driving unit 134 and the inclined transfer unit 110. The link 136 compensates for the eccentricity of the inclined transfer unit 110 ascending and lowering to smoothly rotate the inclined transfer unit 110. When there is no link 136, the piston rod of the pneumatic cylinder used as the driving unit 134 may be directly connected to the inclined upper end of the inclined transfer unit 110. Then, since the piston rod is linearly moved, and the inclined upper end of the inclined conveyance unit 110 is rotated and moved, not only the distortion occurs in the connection portion, but also the inclined upper end of the inclined conveyance unit 110 cannot be elevated. Can be.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따르면 변환 부재는 경사 이송부의 일단을 승강시켜 경사 이송부를 수평 상태로 변환하거나 수평 상태의 경사 이송부를 다시 경사 상태로 변환할 수 있다. 따라서, 상기 기판 이송 장치의 구조를 단순화할 수 있다. 또한, 상기 경사 이송부의 상태를 안정적으로 변환시킬 수 있다. 그리고, 상기 경사 이송부의 일단을 승강시키므로 상기 변환 부재의 스트로크 거리가 짧아 상기 경사 이송부의 변환 시간을 단축할 수 있다.As described above, according to the embodiments of the present invention, the conversion member may lift the one end of the inclined conveyance part to convert the inclined conveyance part into the horizontal state or convert the inclined conveyance part of the horizontal state into the inclined state again. Therefore, the structure of the substrate transfer device can be simplified. In addition, the state of the inclined transfer portion can be stably converted. In addition, since one end of the inclined conveyer is lifted, the stroke distance of the conversion member is short, so that the conversion time of the inclined conveyer can be shortened.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.1 is a plan view for explaining a substrate transfer apparatus according to the prior art.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 측면도이다. FIG. 2 is a side view of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 1.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.3 is a plan view illustrating a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 기판 이송 장치의 측면도이다. 4 is a side view of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 3.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 기판 이송 장치 110 : 경사 이송부100: substrate transfer device 110: inclined transfer unit

112 : 제1 샤프트 114 : 제1 롤러112: first shaft 114: first roller

120 : 수평 이송부 122 : 제2 샤프트120: horizontal feed portion 122: second shaft

124 : 제2 롤러 130 : 변환 부재124: second roller 130: conversion member

132 : 힌지 134 : 구동부132 hinge 134 drive unit

136 : 링크136: link

Claims (2)

기판을 경사지도록 지지하여 제1 수평 방향으로 이송하는 경사 이송부;An inclined conveying part supporting the substrate in an inclined manner and conveying the substrate in a first horizontal direction; 상기 경사 이송부의 하방에 배치되며, 상기 기판을 수평하게 지지하여 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향으로 이송하는 수평 이송부; 및 A horizontal transfer unit disposed below the inclined transfer unit and horizontally supporting the substrate to transfer in a second horizontal direction perpendicular to the first horizontal direction; And 상기 수평 이송부와 겹쳐지는 상기 경사 이송부에 연결되고, 상기 경사 이송부의 기판을 상기 수평 이송부로 전달하기 위해 상기 경사 이송부가 상기 수평 이송부 상에 안착되도록 상기 경사 이송부를 수평한 상태로 변환하거나, 상기 수평 이송부의 기판을 상기 경사 이송부로 전달하기 위해 상기 수평 이송부 상에 안착된 상기 수평 상태의 경사 이송부를 경사 상태로 변환하는 변환부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The inclined feeder connected to the inclined feeder overlapping the horizontal feeder and converting the inclined feeder into a horizontal state so that the inclined feeder is seated on the horizontal feeder to transfer the substrate of the inclined feeder to the horizontal feeder; And a conversion member for converting the inclined transfer unit in the horizontal state, which is seated on the horizontal transfer unit, to the inclined state to transfer the substrate of the transfer unit to the inclined transfer unit. 제1항에 있어서, 상기 변환부재는,The method of claim 1, wherein the conversion member, 상기 경사 이송부의 일단을 지지하는 힌지; 및A hinge supporting one end of the inclined transfer part; And 상기 힌지를 축으로 상기 일단과 반대되는 상기 경사부의 타단을 승강시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.And a drive unit for elevating the other end of the inclined portion opposite the one end with the hinge as an axis.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104326252A (en) * 2014-11-13 2015-02-04 南京熊猫电子股份有限公司 Device for changing glass into narrow-side transmission from broadside transmission
CN112357584A (en) * 2020-11-11 2021-02-12 中国建材国际工程集团有限公司 Sheet glass slope turns to conveyor

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