KR100900962B1 - Apparatus for processing a substrate - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치는 기판을 지지하는 기판 지지부를 갖는 카세트와, 기판 지지부의 일측을 승강시킴에 의해 기판 지지부에 지지된 기판의 기울기를 변환시키는 기울기 변환부와, 기울기 변환부에 의해 기울기가 변환된 기판을 카세트로부터 이송하는 이송 유닛, 그리고 이송 유닛으로부터 기울기가 변환된 상태의 기판을 제공받아 기울기가 변환된 상태의 기판에 대한 공정을 수행하는 공정 처리부를 포함한다. 따라서, 카세트에 다수매 기판이 적재된 상태로 기울기를 변환함에 따라 택트 타임을 줄일 수 있다.The substrate processing apparatus includes a cassette having a substrate support portion for supporting a substrate, an inclination converter for converting the inclination of the substrate supported on the substrate support by lifting one side of the substrate support, and a substrate whose inclination is converted by the gradient converter. And a transfer unit for transferring the cassette from the cassette, and a process processing unit for receiving a substrate in which the slope is converted from the transfer unit and performing a process on the substrate in which the slope is converted. Therefore, the tact time can be reduced by changing the inclination in a state where a plurality of substrates are loaded in the cassette.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for processing a substrate}Apparatus for processing a substrate

본 발명은 기판 제조 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 생산성 향상을 위한 카세트와 이를 포함하는 기판 제조 설비에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate manufacturing equipment, and more particularly, to a cassette for improving productivity and a substrate manufacturing equipment comprising the same.

일반적으로 평판 디스플레이 장치는 실질적으로 화상을 표시하는 디스플레이 패널을 구비하고, 이러한 디스플레이 패널의 제조에는 유리 또는 석영 재질의 기판이 사용된다.In general, a flat panel display device includes a display panel for displaying an image substantially, and a glass or quartz substrate is used for manufacturing such a display panel.

이러한 디스플레이 패널용 기판은 제조 공정 상에서 보관 및 운반을 반복하게 되는데, 기판을 효과적으로 보관 및 운반하기 위하여 다수의 기판을 수평하게 다단 적재하는 카세트(cassette)가 사용된다.Such display panel substrates are repeatedly stored and transported during the manufacturing process. In order to effectively store and transport the substrates, a cassette for horizontally stacking multiple substrates is used.

상기 카세트를 이용하여 보관 및 운반된 기판은 로봇과 같은 이송 부재에 의해 개별적으로 이송되어 공정이 수행되는데, 기판에 대한 공정이 수행되는 설비 중 하나로 복수의 단위 공정을 연속적으로 처리할 수 있는 인-라인 설비를 포함한다. 상기 인-라인 설비는 이송 받은 기판을 컨베이어와 같은 부재를 통해 이송하면서 연속적으로 단위 공정들을 수행하게 된다.The substrate stored and transported using the cassette is individually transferred by a transfer member such as a robot, and the process is performed. The substrate is capable of continuously processing a plurality of unit processes as one of the facilities for processing the substrate. Line equipment. The in-line facility performs unit processes continuously while transferring the transferred substrate through a member such as a conveyor.

여기서, 상기 카세트 및 이송 부재에서 기판을 수평상태로 보관(적재) 및 운반 또는 이송하게 되는 것과 달리 상기 공정이 이루어지는 단계에서는 기판이 소정 기울기를 갖는 상태로 이송된다. 따라서, 공정 라인의 초입 및 후미에는 상호 연계성을 위해 기판의 기울기를 변환하기 위한 경사 변환 유닛의 구비가 필수적으로 필요하게 된다.Here, the substrate is transported in a state where the substrate has a predetermined inclination in the process where the process is performed, whereas the substrate is stored (loaded) and transported or transported in a horizontal state in the cassette and the transfer member. Therefore, it is necessary to have a gradient conversion unit at the beginning and the rear of the process line for converting the slope of the substrate for interconnection.

그러나, 경사 변환 유닛을 사용하는 경우 이송되어 공정 위치에 로딩되는 기판을 개별적으로 경사 변환함에 따른 시간 지체로 공정 시간(예컨대 택트 타임(tact time)) 지체가 불가피하게 되고, 이는 생산성을 저하시키는 문제점이 되고 있다.However, when using the gradient conversion unit, a delay in processing time (for example, a tact time) is inevitable due to a time lag caused by individually tilting the substrate to be transferred and loaded at the process position, which causes a problem of lowering productivity. It is becoming.

언급한 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 실시예들을 통해 해결하고자 하는 일 과제는 택트 타임을 줄여 생산성을 향상시키기 위한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.In view of the above-mentioned problems, one problem to be solved through embodiments of the present invention is to provide a substrate processing apparatus for improving productivity by reducing tact time.

상기 본 발명의 일 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 카세트, 기울기 변환부, 이송 유닛 및 공정 처리부를 포함한다. 상기 카세트는 기판을 지지하는 기판 지지부를 갖는다. 상기 기울기 변환부는 상기 기판 지지부의 일측을 승강시킴에 의해 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 기울기를 변환시킨다. 상기 이송 유닛은 상기 기울기 변환부에 의해 기울기가 변환된 기판을 상기 카세트로부터 이송한다. 상기 공정 처리부는 상기 이송 유닛으로부터 상기 기울기가 변환된 상태의 기판을 제공받아 상기 기울기가 변환된 상태의 기판에 대한 공정을 수행한다.In order to solve the above problems of the present invention, a substrate processing apparatus according to the present invention includes a cassette, a tilt converter, a transfer unit, and a process processor. The cassette has a substrate support for supporting a substrate. The inclination converter converts the inclination of the substrate supported by the substrate support by elevating one side of the substrate support. The transfer unit transfers the substrate whose slope is converted by the tilt converter from the cassette. The process processor receives a substrate in which the inclination is converted from the transfer unit and performs a process on the substrate in which the inclination is converted.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기울기 변환부는 승강부 및 구동부를 포함할 수 있다. 상기 승강부는 상기 기판 지지부의 일측에 승강 가능하게 설치된다. 상기 구동부는 상기 승강부와 연결되고, 상기 승강부의 승강에 대한 구동력을 제공한다.According to an embodiment of the present invention, the inclination converter may include a lifting unit and a driving unit. The lifting part is provided to be capable of lifting up and down on one side of the substrate support part. The driving unit is connected to the lifting unit and provides a driving force for lifting the lifting unit.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 카세트는 다수매 기판의 적재가 가능한 구조를 갖고, 상기 카세트의 기판 지지부는 지지대 및 지지핀을 포함할 수 있 다. 상기 지지대는 상기 기울기 변환부에 연결되고, 상호 평행하게 상하 방향으로 이격 배치된다. 상기 지지핀은 상기 각 지지대에 설치되고, 적재되는 기판의 하면에 직접 접촉하여 상기 기판을 지지한다.According to another embodiment of the present invention, the cassette has a structure capable of stacking a plurality of substrates, the substrate support of the cassette may include a support and a support pin. The support is connected to the inclination converter and spaced apart in the vertical direction in parallel with each other. The support pins are installed on the respective support bases and directly contact the lower surfaces of the substrates to support the substrates.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르며, 상기 카세트의 기판 지지부는 상기 기울기 변환부에 의해 승강되는 상기 지지대의 일측과 마주하는 상기 지지대의 타측에 설치되고, 상기 기울기 변환부에 의해 기판의 기울기가 변환될 때 상기 기판의 측면을 지지함에 의해 상기 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 가이드핀을 더 포함할 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the substrate support of the cassette is installed on the other side of the support facing the one side of the support that is elevated by the tilt conversion unit, the inclination of the substrate is converted by the tilt conversion unit It may further include a guide pin for preventing the substrate from sliding by supporting the side of the substrate.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 기판 지지부의 지지대는 상기 기울기 변환부에 의해 일측이 승강할 때 상기 승강에 따라 각도 변화가 가능하도록 그 일측이 상기 기울기 변환부에 힌지 결합될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the support of the substrate support portion may be hinged to one side of the tilt converter to enable the angle change in accordance with the lift when one side is lifted by the tilt converter.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 기울기 변환부는 상기 카세트에 적재하기 위해 상기 이송 부재에 의해 이루어지는 기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 기울기를 변환시킨다.According to another embodiment of the present invention, the inclination converting portion converts the inclination in a direction perpendicular to the conveying direction of the substrate made by the conveying member for loading in the cassette.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 공정을 수행하기 위해 필수적으로 수반되는 기판의 기울기 변환을 카세트에 기판이 적재된 상태에서 수행함에 따라 다수매 기판의 기울기를 일괄적으로 변환시킴으로써, 택트 타임(공정 시간)을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있다.The substrate processing apparatus according to the present invention configured as described above performs the tilt conversion of the substrate, which is essential for carrying out the process, by collectively converting the slope of the plurality of substrates as the substrate is loaded in the cassette. Productivity can be improved by reducing the (process time).

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 및 이를 포함하는 기판 제조 설비에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.Hereinafter, a cassette and a substrate manufacturing apparatus including the same according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structure is shown to be larger than the actual size for clarity of the invention, or to reduce the actual size to illustrate the schematic configuration.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 개략적인 도면이고, 도 2 내지 도 5는 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 카세트 및 기울기 변환부를 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 to 5 are schematic diagrams illustrating a cassette and a tilt converter included in the substrate processing apparatus of FIG. 1.

구체적으로, 도 2는 언급한 카세트 및 기울기 변환부의 사시도이고, 도 3 및 도 4는 언급한 카세트 및 기울기 변환부를 정면도이며, 도 5는 언급한 카세트에 포함되는 지지대의 연결 부위를 확대한 사시도이다.Specifically, FIG. 2 is a perspective view of the cassette and the tilt converter mentioned, and FIGS. 3 and 4 are front views of the cassette and the tilt converter, and FIG. 5 is an enlarged perspective view of a connection part of the support included in the cassette. .

본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판(G)에 대한 제조 공정을 수행하기 위하여 사용될 수 있다. 여기서, 상기 기판(G)은 유리 재질 또는 석영 재질로 이루어진 대면적의 평판형 기판(G)으로써, PDP(plasma display panel), LCD(liquid crystal display device), OLED(electro luminescence display) 등과 같은 평면 디스플레이 장치에 구비되어 실질적으로 화상을 표시하는 디스플레이 패널을 제조하기 위한 기판(G)일 수 있다. 하지만, 상기 기판(G)은 디스플레이 패널용으로 한정 되는 것은 아니며, 반도체용으로 사용되는 다양한 종류의 기판(예컨대 실리콘웨이퍼)일 수 있다.The substrate processing apparatus according to the present invention can be used to perform a manufacturing process for the substrate (G). Here, the substrate G is a large-area flat panel substrate G made of glass or quartz, and may be a plane such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), an electro luminescence display (OLED), or the like. It may be a substrate (G) for manufacturing a display panel provided in the display device to substantially display an image. However, the substrate G is not limited to the display panel, and may be various kinds of substrates (eg, silicon wafers) used for semiconductors.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 상기 기판 처리 장치는 다수매의 기판(G)을 적재하는 카세트(100)와, 상기 카세트(100)에 적재된 기판(G)의 기울기를 변환시키기 위한 기울기 변환부(200)와, 상기 카세트(100)에 적재된 기판(G)을 이송하기 위한 이송 유닛(300), 그리고 상기 이송 유닛(300)에 의해 이송되는 기판(G)에 대한 공정을 수행하기 위한 공정 처리부(400)를 포함한다.1 to 5, the substrate processing apparatus includes a tilt conversion for converting a slope of a cassette 100 for loading a plurality of substrates G and a substrate G loaded in the cassette 100. For carrying out the process for the unit 200, the transfer unit 300 for transferring the substrate (G) loaded on the cassette 100, and the substrate (G) transferred by the transfer unit 300 It includes a process processor 400.

상기 카세트(100)는 기판(G)의 적재하기 위한 적재공간을 제공하는 프레임(110)과, 상기 기판(G)을 지지하기 위한 기판 지지부(120)를 포함한다.The cassette 100 includes a frame 110 that provides a loading space for loading the substrate G, and a substrate support 120 for supporting the substrate G.

상기 프레임(110)은 사각 박스 형상을 갖는다. 상기 프레임(110)은 크게 상부 프레임(112), 하부 프레임(114) 및 측면 프레임(116)으로 구분할 수 있다.The frame 110 has a rectangular box shape. The frame 110 may be largely divided into an upper frame 112, a lower frame 114, and a side frame 116.

상기 상부 프레임(112)은 사각 형상을 갖고, 상측에 배치된다. 상기 상부 프레임(112)은 예컨대 알루미늄 주물로 제작될 수 있다. 상기 알루미늄 주물을 사용함에 의해 무게가 가볍고 방진성을 갖는 카세트(100)의 제작이 가능해진다. 이와 달리, 상기 상부 프레임(112)은 플라스틱 재질 등 다른 재질로 이루어질 수도 있다. 한편, 상부 프레임(112)에는 상부 프레임(112)의 강도를 보강하기 위한 하나 이상의 보강부재(118)가 마련될 수 있다.The upper frame 112 has a rectangular shape and is disposed above. The upper frame 112 may be made of aluminum casting, for example. By using the aluminum casting, it is possible to manufacture the cassette 100 which is light in weight and dustproof. Alternatively, the upper frame 112 may be made of another material such as plastic material. Meanwhile, the upper frame 112 may be provided with one or more reinforcing members 118 to reinforce the strength of the upper frame 112.

상기 하부 프레임(114)은 사각 형상을 갖고, 상기 상부 프레임(112)과 마주하도록 하측에 배치된다. 사이 하부 프레임(114)은 상기 상부 프레임(112)과 동일한 구조로 형성되는 것이 일반적이다. 이에, 구체적인 설명은 언급한 상부 프레 임(112)의 설명으로 대신하기로 한다.The lower frame 114 has a quadrangular shape and is disposed below to face the upper frame 112. The lower frame 114 is generally formed in the same structure as the upper frame 112. Thus, a detailed description will be replaced by the description of the upper frame 112 mentioned.

상기 측면 프레임(116)은 상부 프레임(112)과 하부 프레임(114) 사이에 복수개가 개재된다. 상기 측면 프레임(116)은 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(114)과 볼트로 결합될 수 있다. 이와 달리, 상기 측면 프레임(116)을 상기 상부 프레임(112) 및 하부 프레임(114)과 용접 등으로 직접 결합할 수도 있다.A plurality of side frames 116 are interposed between the upper frame 112 and the lower frame 114. The side frame 116 may be bolted to the upper frame 112 and the lower frame 114. Alternatively, the side frame 116 may be directly coupled to the upper frame 112 and the lower frame 114 by welding or the like.

한편, 도면에서는 상기 프레임(110)이 오픈 된 구조를 갖고 있으나, 상기 프레임(110)은 밀폐된 구조를 가질 수도 있다. 예컨대, 적재를 위해 기판(G)을 반입 및 반출하기 위한 적어도 하나의 오픈부를 갖고, 상면, 하면 및 측면을 덮기 위한 부재를 구비하거나, 상기 프레임(110) 자체가 상기 상면, 하면 및 측면을 밀폐시키는 구조를 가질 수도 있다.Meanwhile, in the drawing, the frame 110 has an open structure, but the frame 110 may have a sealed structure. For example, it has at least one open portion for carrying in and out of the substrate G for loading, and has a member for covering the upper surface, the lower surface and the side surface, or the frame 110 itself seals the upper surface, the lower surface and the side surface. It may have a structure to make.

상기 기판 지지부(120)는 기판(G)을 개별적으로 지지하는 역할을 한다. 즉, 적재를 위해 상기 카세트(100)로 반입되는 기판(G)은 상기 기판 지지부(120)에 의해 상하 방향으로 균일하게 이격 되어 상호 평행하도록 지지된다.The substrate support part 120 serves to individually support the substrate G. That is, the substrate G carried into the cassette 100 for loading is supported by the substrate support 120 to be evenly spaced apart in the vertical direction and parallel to each other.

상기 기판 지지부(120)는 상기 기판(G)의 적어도 양단부를 지지하는 구조를 갖는다. 하지만, 최근 평판 디스플레이 장치가 대형화 추세에 의해 상기 평판 디스플레이 장치에 구비되는 평판 디스플레이 패널의 크기도 대형화되어 감에 따라서 상기 패널을 제조하기 위한 기판(G)의 크기도 대형화 되어가고 있다. 이에, 상기 기판 지지부(120)가 기판(G)의 양단부를 지지하게 되는 경우 기판(G)의 중앙 부위에 처짐 현상을 발생하므로, 이를 방지하기 위하여 기판(G)의 중앙 부위도 지지할 수 있는 구조가 일반적으로 사용되고 있다.The substrate support part 120 has a structure for supporting at least both ends of the substrate G. However, as the size of the flat panel display device included in the flat panel display device increases in size in recent years, the size of the substrate G for manufacturing the panel increases in size. Thus, when the substrate support part 120 supports both ends of the substrate G, a deflection phenomenon occurs in the central portion of the substrate G, and thus, the central portion of the substrate G may also be supported to prevent this. Structures are commonly used.

이에, 대형화 기판(G)의 적재가 가능한 구조를 일 예로 들어 설명하다. 하지만, 본 발명에 의한 기판 지지부(120)의 구조는 이하 설명하게 될 구조로 한정되는 것이 아니고, 기판(G)을 지지하기 위한 다양한 구조가 적용될 수 있다.Thus, a description will be given taking an example of a structure in which the large-sized substrate G can be stacked. However, the structure of the substrate supporter 120 according to the present invention is not limited to the structure to be described below, and various structures for supporting the substrate G may be applied.

이러한, 상기 기판 지지부(120)는 지지대(122) 및 상기 지지대(122)에 설치되는 지지핀(124)을 포함한다.The substrate support unit 120 includes a support base 122 and a support pin 124 installed on the support base 122.

상기 지지대(122)는 프레임(110)에 의해 제공되는 적재공간의 내부에 일방향으로 연장되는 긴 막대 형상을 갖는다. 상기 지지대(122)의 연장 방향을 상기 카세트(100)로 반입/반출되는 기판(G)의 이송 방향과 수직한 방향이 된다. 상기 지지대(122)는 상호 평행하도록 상하 방향으로 이격 되어 복수개가 배치되고, 이렇게 상하로 이격 배치된 지지대(122)의 그룹이 상기 기판(G)의 반입/반출되는 이송 방향과 평행한 방향을 따라서 균일 간격으로 복수개 구비된다.The support 122 has an elongated rod shape extending in one direction in the loading space provided by the frame 110. The extending direction of the support 122 becomes a direction perpendicular to the conveying direction of the substrate G to be loaded / exported into the cassette 100. The support 122 is spaced apart in the vertical direction to be parallel to each other are arranged, along the direction parallel to the transport direction in which the group of the support (122) spaced vertically spaced so that the substrate (G) It is provided with a plurality at even intervals.

상기 지지대(122)의 상하 방향으로의 이격거리는 복수의 기판(G)을 적재할 때 상기 기판(G)이 상호 평행하게 배치되면서 서로 간섭하지 않도록 충분한 이격 거리고 배치된다. 또한, 기판(G)의 반입/반출 방향을 따라서 배치되는 각 지지대(122)의 그룹의 지지대(122)들은 동일 높이를 갖는다. 예컨대 첫 번째 그룹의 각 지지대(122)의 높이는 두 번째 그룹의 각 지지대(122)의 높이와 동일하다.The spaced distance in the vertical direction of the support 122 is disposed at a sufficient distance so that the substrates G are parallel to each other and do not interfere with each other when the plurality of substrates G are loaded. In addition, the support bases 122 of the group of the support bases 122 arranged along the loading / exporting direction of the substrate G have the same height. For example, the height of each support 122 of the first group is equal to the height of each support 122 of the second group.

상기 지지대(122)의 일측은 이하 설명하게 될 기울기 변환부(200)와 연결된다. 즉, 상하 방향으로 이격 배치되는 지지대(122)들의 일측은 균일 간격으로 이격 되어 상기 기울기 변환부(200)와 연결된다. 예컨대, 상기 지지대(122)의 일측은 상기 기울기 변환부(20))에 의해 승강 가능하게 연결됨을 의미한다.One side of the support 122 is connected to the tilt converter 200 to be described later. That is, one side of the support base 122 spaced apart in the vertical direction is spaced at uniform intervals and is connected to the inclination converter 200. For example, one side of the support 122 means that it is connected by lifting and lowering by the inclination converting unit 20.

상기 지지핀(124)은 각 지지대(122)에 설치되고, 적재되는 기판(G)의 하면에 직접 접촉하여 상기 기판(G)을 지지한다. 상기 지지핀(124)은 적재를 위해 기판(G)을 카세트(100)에 반입/반출하기 위한 이송 부재(예컨대 로봇 암)가 간섭받지 않도록 설치되며, 기판(G)의 안정적인 지지를 위해 복수로 설치된다. 상기 지지핀(124)은 설치 개수는 카세트(100)의 크기, 지지되는 기판(G)의 종류 및 크기 등에 따라서 다를 수 있다.The support pins 124 are installed on the respective support bases 122 and directly contact the bottom surface of the substrate G to be loaded to support the substrate G. The support pin 124 is installed so that a transfer member (for example, a robot arm) for carrying in / out of the substrate G into the cassette 100 for loading does not interfere, and a plurality of supports for stable support of the substrate G are provided. Is installed. The number of the support pins 124 may vary depending on the size of the cassette 100, the type and size of the substrate G being supported.

상기 지지핀(124)은 상기 지지대(122)에 착탈 가능하게 설치되며, 예컨대 나사 결합 또는 용접 등을 통해 결합될 수 있다. 이와 달리, 상기 지지핀(124)은 상기 지지대(122)와 일체형으로 형성될 수도 있다.The support pin 124 is detachably installed on the support 122, and may be coupled through, for example, screwing or welding. In contrast, the support pin 124 may be formed integrally with the support 122.

상기 기판 지지부(120)는 상기 지지대(122)에 설치되는 가이드핀(126)을 더 포함할 수 있다. 상기 가이드핀(126)은 상기 기울기 변환부(200)에 연결되는 지지대(122)의 일측과 마주하는 상기 지지대(122)의 타측에 설치된다. 상기 가이드핀(126)은 지지핀(124)에 의해 지지된 기판(G)의 측면을 지지함에 의해 상기 기판(G)의 위치를 가이드 하는 역할을 한다. 보다 구체적으로 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기판(G)의 기울기가 변환될 때 기판(G)의 타측 측면을 지지함에 의해 상기 기판(G)이 미끄러져 지지핀(124)으로부터 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.The substrate supporter 120 may further include a guide pin 126 installed on the supporter 122. The guide pin 126 is installed on the other side of the support 122 facing one side of the support 122 connected to the inclination converter 200. The guide pin 126 serves to guide the position of the substrate G by supporting the side surface of the substrate G supported by the support pin 124. More specifically, when the inclination of the substrate G is converted by the inclination converter 200, the substrate G is slid and released from the support pin 124 by supporting the other side surface of the substrate G. It serves to prevent.

여기서, 상기 지지핀(124) 및 가이드 핀(126)은 기판에 직접 접촉하므로, 상기 기판(G)에 손상을 최소화할 수 있는 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 예컨대, 지지핀(124) 및 가이드핀(126)은 플라스틱, 혹은 고무 재질로 이루어질 수 있다.Here, since the support pin 124 and the guide pin 126 are in direct contact with the substrate, the support pin 124 and the guide pin 126 may be formed of a material capable of minimizing damage to the substrate G. For example, the support pin 124 and the guide pin 126 may be made of plastic or rubber.

상기 기울기 변환부(200)는 상기 기판 지지부(120)의 일측에 위치하고, 상기 기판 지지부(120)의 일측을 승강시킴에 의해 상기 기판 지지부(120)에 지지된 기판(G)의 기울기를 변환시킨다. 상기 기울기 변환부(200)에 의해 변환되는 기판(G)의 기울기는 이후 기판(G)에 대한 공정을 수행할 때 상기 기판(G)이 갖게 되는 기울기에 대응된다.The inclination converter 200 is located on one side of the substrate supporter 120 and converts the inclination of the substrate G supported by the substrate supporter 120 by elevating one side of the substrate supporter 120. . The inclination of the substrate G converted by the inclination converter 200 corresponds to the inclination of the substrate G when the subsequent processing of the substrate G is performed.

이러한, 기판(G)의 기울기 변환을 위해 상기 기울기 변환부(200)는 상기 기판 지지부(120)의 일측에 승강 가능하게 설치되는 승강부(210)와 상기 승강부(210)가 승강 가능하도록 구동력을 제공하는 구동부(220)를 포함한다.In order to convert the inclination of the substrate G, the inclination converting unit 200 has a driving force for allowing the elevating unit 210 and the elevating unit 210 to be elevated to one side of the substrate support 120. It includes a driving unit 220 to provide.

상기 승강부(210)는 상기 기판 지지부(120)의 지지대(122) 일측에 연결된다. 보다 구체적으로, 상기 승강부(210)는 상기 프레임(110)의 측면 프레임(116)의 내측면에 상하 방향으로 슬라이딩 가능하도록, 예컨대 승강 가능하도록 설치된다. 상기 승강부(210)에는 상하 방향으로 이격 배치되는 복수의 지지대(122) 일측이 연결되는데, 상기 승강부(210)와 상기 지지대(122)는 힌지 결합된다. 또한, 상기 지지대(122)의 상기 승강부(210)와 연결되는 일측과 마주하는 상기 지지대(122)의 타측은 상기 측면 프레임(116)의 내측면에 힌지 결합된다. 종합해 보면, 상기 지지대(122)는 일측이 상기 승강부(210)에 힌지 결합되고, 이와 마주하는 타측이 상기 측면 프레임(116)에 힌지 결합된다. The elevating part 210 is connected to one side of the support 122 of the substrate support part 120. More specifically, the lifting unit 210 is installed on the inner surface of the side frame 116 of the frame 110 so as to be slidable in the vertical direction, for example, to be lifted. One side of the plurality of supports 122 which are spaced apart in the vertical direction is connected to the elevating part 210, and the elevating part 210 and the support 122 are hinged. In addition, the other side of the support 122 facing the one side connected to the lifting unit 210 of the support 122 is hinged to the inner surface of the side frame 116. In summary, the support 122 is hinged to one side of the lifting unit 210, the other side facing the hinge is coupled to the side frame 116.

결과적으로, 상기 승강부(210)가 승강됨에 따라 상기 지지대(122)의 양측 결합부는 자연스럽게 회전하여 수평 배치된 상기 지지대(122)들이 평행을 유지하면서 소정 기울기로 용이하게 변화될 수 있도록 연결된다. 여기서, 상기 지지대(122)와 승강부(210)의 결합이 힌지 결합으로 한정되는 것은 아니며, 언급한 바와 같이 상기 승강부(210)의 승강에 따라서 용이하게 각도 변화가 가능한 다양한 연결 방식이 적용될 수도 있다.As a result, as the lifting unit 210 is elevated, both side coupling portions of the support 122 are naturally rotated so that the support units 122 horizontally arranged can be easily changed to a predetermined inclination while maintaining parallelism. Here, the coupling of the support 122 and the lifting unit 210 is not limited to the hinge coupling, as mentioned above, various connection methods that can easily change the angle according to the lifting of the lifting unit 210 may be applied. have.

상기 구동부(220)는 상기 승강부(210)를 승강 가능하도록 구동력을 제공하는 역할을 한다. 일 예로 상기 구동부(220)는 유압 실린더로 이루어질 수 있다. 이와 달리, 상기 구동부(220)는 상기 승강부(210)를 승강 시킬 수 있는 다양한 부재로 이루어질 수 있다.The driving unit 220 serves to provide a driving force to enable the lifting unit 210 to move up and down. For example, the driving unit 220 may be formed of a hydraulic cylinder. On the contrary, the driving unit 220 may be formed of various members capable of elevating the elevating unit 210.

상기 구동부(220)는 상기 기판 지지부(120)의 지지대(122) 그룹이 기판(G)의 반입/반출 방향을 따라서 일정한 간격으로 복수 배치되는 것이 일반적이므로, 이들 각각의 승강부(210)에 대하여 개별적으로 연결될 수 있다. 하지만, 개별적인 구동부(220)에 의한 동작은 각 승강부(210)의 일률적인 동작의 어려움이 따르는데, 이는 기판(G)의 지지 불균일을 초래하여 상기 기판(G)에 손상을 가할 우려가 있다. 이에, 하나의 구동부(220)에 의해 일괄적으로 승강될 수 있도록 복수의 승강부(210)를 함께 동작시키는 것이 바람직하다. 이를 위해, 상기 기울기 변환부(200)는 수평 방향으로 연장되어 상기 복수의 승강부(210)와 하나로 연결되고, 상기 구동부(220)에 의해 균형을 이루면서 승강 구동되는 연결바(미도시)를 더 포함할 수 있다. 도면은 각각의 승강부(210)에 대하여 상기 구동부(220)가 개별적으로 구비되는 경우이다.In the driving unit 220, a plurality of groups of the support bases 122 of the substrate supporter 120 are generally disposed at regular intervals along the loading / exporting direction of the substrate G, and thus, each of the lifting units 210 may be disposed. Can be connected individually. However, the operation by the individual driving unit 220 is accompanied by the difficulty of uniform operation of each lifting unit 210, which may cause a non-uniform support of the substrate (G) may damage the substrate (G). . Thus, it is preferable to operate the plurality of lifting units 210 together to be lifted by a single driving unit 220 collectively. To this end, the inclination converter 200 extends in a horizontal direction and is connected to the plurality of lifting units 210 as one, and further includes a connection bar (not shown) that is lifted and driven while being balanced by the driving unit 220. It may include. The drawing illustrates a case in which the driving unit 220 is individually provided for each lifting unit 210.

또한, 상기 기울기 변환부(200)는 상기 카세트(100)의 일측 하부에 위치하는 보호 프레임(230)을 더 포함할 수 있다. 상기 보호 프레임(230)은 상기 기울기 변 환부(200)의 구동부(220)를 수용하여 지지하고, 보호하는 역학을 한다.In addition, the inclination converter 200 may further include a protection frame 230 positioned at one lower side of the cassette 100. The protection frame 230 accommodates and supports and protects the driving unit 220 of the tilt converter 200.

언급한 바와 같은 기울기 변환부(200)에 의한 기판(G)의 기울기 변환 동작에 대하여 간략하게 설명하기로 한다.The tilt conversion operation of the substrate G by the tilt converter 200 as described above will be briefly described.

도 2 및 도 3은 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기판(G)의 기울기를 변화시키는 동작을 나타낸 도면이다. 일반적으로 상기 카세트(100)를 이용하여 다수매의 기판(G)을 보관 및 운반하기 위해서 상기 카세트(100)에 적재하는 경우엔 도 2의 도면에서와 같이 상기 기울기 변환부(200)는 상기 지지대(122)의 일측을 하강 구동하여 상기 지지대(122)를 수평 상태로 유지시킨다. 이 상태에서 기판(G)을 적재하고, 공정 수행을 위해 준비 위치(예컨대 인데스부)로 이송하게 된다.2 and 3 illustrate an operation of changing the inclination of the substrate G by the inclination converter 200. In general, when loading the cassette 100 to store and transport a plurality of substrates (G) using the cassette 100, the tilt converter 200 is the support as shown in FIG. One side of the 122 is driven downward to maintain the support 122 in a horizontal state. In this state, the substrate G is loaded, and the substrate G is transferred to a ready position (for example, an indes part) for performing a process.

이후에, 공정의 진행 단계에서는 도 3의 도면에서와 같이 상기 기울기 변환부(200)는 상기 승강부(210)를 상승시켜 상기 지지대(122)의 일측부를 상승 구동한다. 이에, 상기 지지대(122)는 비스듬하게 기울어지게 되고, 상기 기판 지지부(120)에 지지된 기판(G)은 상기 지지대(122)의 기울기에 대응하여 기울기가 변환된다. 이처럼, 기판(G)의 기울기가 변환된 상태에서 기판(G)에 대한 이송 및 공정이 수행되게 된다.Subsequently, in the progress of the process, as shown in FIG. 3, the inclination converting unit 200 raises the elevating unit 210 to drive up one side of the support 122. Thus, the support 122 is inclined obliquely, and the substrate G supported by the substrate support 120 is inclined to correspond to the inclination of the support 122. As such, the transfer and the process of the substrate G are performed in the state where the inclination of the substrate G is converted.

따라서, 상기 카세트(100)로부터 이송되는 시점에 이미 기판(G)은 공정 수행 중에 필요로 하는 기울기를 갖게 되고, 이후 공정이 완료될 때까지 기판(G)에 대한 기울기 변환 공정이 생략할 수 있으며, 이를 위한 별도의 경사 변환 유닛의 생략도 가능해진다. 이는, 택트 타임(공정 시간)을 절감하여 생산성의 향상에 기여하게 된다. 공정이 완료된 기판(G)은 상기 카세트(100)로 다시 적재되고, 상기 카세 트(100)에 적재 물량이 다 채워지면, 상기 기울기 변환부(200)는 상기 승강부(210)를 하강시켜 상기 기판(G)을 수평하게 변환시키고, 이 상태에서 보관 및 운반을 행하게 된다.Therefore, the substrate G already has the slope required during the process at the time of transferring from the cassette 100, and the process of converting the slope of the substrate G may be omitted until the process is completed. It is also possible to omit a separate gradient conversion unit for this purpose. This reduces the tact time (process time) and contributes to the improvement of productivity. After the process is completed, the substrate G is loaded back into the cassette 100, and when the loading amount is filled in the cassette 100, the tilt converter 200 lowers the lifting unit 210 so as to lower the lifting unit 210. The substrate G is horizontally converted, and storage and transportation are performed in this state.

한편, 상기 기판 처리 장치는 기판(G)에 대한 공정을 진행하기 위하여 기판(G)을 적재한 상기 카세트(100)가 위치하는 인덱스부(500)를 더 포함할 수 있다. 상기 인덱스부(500)는 공정을 수행하기 위한 기판(G)의 대기 위치로 정의할 수 있는데, 복수의 기판(G)이 상기 카세트(100)에 적재된 상태에서 상기 인덱스부(400)에 탑재된다. 상기 인덱스부(500)는 상기 카세트(100)가 복수개 탑재된다. 여기서, 상기 카세트(100)는 상기 기울기 변환부(200)와 어셈블리(assembly) 형태로 형성된 카세트(100)를 의미하는 것이 바람직할 것이다.Meanwhile, the substrate processing apparatus may further include an index unit 500 on which the cassette 100 on which the substrate G is mounted is placed in order to process the substrate G. The index unit 500 may be defined as a standby position of the substrate G for performing a process, and the index unit 500 is mounted on the index unit 400 in a state in which a plurality of substrates G are stacked in the cassette 100. do. The index unit 500 includes a plurality of cassettes 100. Here, the cassette 100 may mean a cassette 100 formed in an assembly form with the tilt converter 200.

상기 기판 처리 장치에 포함되는 이송 유닛(300)은 상기 카세트(100)에 적재된 기판(G)을 상기 카세트(100)로부터 이송한다. 보다 정확히는 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기울기가 변환된 상태의 기판(G)을 상기 카세트(100)로부터 이송하여 공정을 진행하기 위한 위치로 이송하는 역할을 한다. 또한, 공정이 완료된 상기 기울기가 변환된 상태의 기판(G)을 제공받아 상기 카세트(100)로 이송하는 역할을 한다.The transfer unit 300 included in the substrate processing apparatus transfers the substrate G loaded in the cassette 100 from the cassette 100. More precisely, the substrate G in a state in which the inclination is converted by the inclination converting unit 200 is transferred from the cassette 100 to a position for performing a process. In addition, it receives the substrate (G) of the state in which the slope is converted after the process is completed serves to transfer to the cassette (100).

상기 이송 유닛(300)은 상기 기판(G)을 상기 카세트(100)로부터 로딩/언로딩하여 이송한다. 즉, 상기 이송 유닛(300)은 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기울기가 변환된 기판(G)을 상기 카세트(100)로부터 이송한다. 이는, 상기 카세트(100)로부터 기판(G)을 이송할 때 상기 기울기 변환부(200)에 의해 변환된 기판(G)의 기 울기를 변화 없이 동일하게 유지시키면서 상기 기판(G)을 이송함을 의미하는 것이다.The transfer unit 300 loads and unloads the substrate G from the cassette 100. That is, the transfer unit 300 transfers the substrate G whose slope is converted by the tilt converter 200 from the cassette 100. This means that, when transferring the substrate G from the cassette 100, the substrate G is transferred while maintaining the same slope of the substrate G converted by the tilt converter 200 without change. It means.

이하, 도 6을 참조하여 언급한 이송 유닛(300)에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.Hereinafter, the transfer unit 300 mentioned with reference to FIG. 6 will be described in more detail.

도 6은 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 이송 유닛을 나타내는 개략적인 도면이다.FIG. 6 is a schematic view illustrating a transfer unit included in the substrate processing apparatus of FIG. 1.

도 6을 참조하면, 상기 이송 유닛(300)은 일반적으로 이송 로봇으로 이루어진다. 상기 이송 유닛(300)은 크게 기판(G)의 위치를 변경하기 위한 이송 암(310), 기판(G)이 안착부(320) 및 상기 이송 암(310)으로 동력을 제공하기 위한 동력부(330)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the transfer unit 300 generally consists of a transfer robot. The transfer unit 300 includes a transfer arm 310 for largely changing the position of the substrate G, a power unit for providing power to the seating portion 320 and the transfer arm 310. 330).

상기 이송 암(310)은 복수의 관절 구조로 이루어지고, 각 관절 부위가 회전 동작함에 따라 상기 안착부(320)의 위치를 이동시킨다.The transfer arm 310 has a plurality of joint structures, and moves the position of the seating part 320 as each joint part rotates.

상기 안착부(320)는 기판(G)의 하부에 배치시켜, 상기 기판(G)을 이송할 때 실질적으로 기판(G)을 지지하는 역할을 한다. 즉, 상기 안착부(320)는 상기 카세트(100)의 기판 지지부(120) 사이로 삽입되어 상기 기판(G)을 지지하여 로딩/언로딩 하게 된다. 여기서, 상기 안착부(220)는 상기 카세트(100)로 기판(G)을 반입/반출하는 방향에 대하여 수직한 방향으로, 기울기를 갖는다. 이러한 기울기는 상기 기울기 변환부(200)에 의해 변환되는 기판(G)의 기울기에 대응하는 것이다. 따라서, 상기 안착부(320)는 상기 카세트(100) 내부로 삽입될 때, 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기울기가 변화된 기판 지지부(120)의 지지대(122)와 평행하게 위치 된다. 또한, 상기 안착부(320)에 안착된 기판(G)은 상기 기울기 변환부(200)에 의해 변환된 기울기를 유지한 상태로 상기 카세트(100)로부터 이송이 이루어지게 된다.The seating part 320 is disposed under the substrate G to substantially support the substrate G when the substrate G is transferred. That is, the seating part 320 is inserted between the substrate support part 120 of the cassette 100 to support the substrate G to be loaded / unloaded. Here, the seating part 220 has an inclination in a direction perpendicular to the direction in which the substrate G is loaded / exported into the cassette 100. This inclination corresponds to the inclination of the substrate G which is converted by the inclination converter 200. Therefore, when the seating part 320 is inserted into the cassette 100, the seating part 320 is positioned in parallel with the support 122 of the substrate support part 120 whose inclination is changed by the tilt converter 200. In addition, the substrate G seated on the seating part 320 is transported from the cassette 100 while maintaining the inclination converted by the tilt converter 200.

상기 동력부(330)는 구동력을 발생시켜, 상기 이송 암(310) 및 안착부(320)를 구동하는 역할을 한다.The power unit 330 generates a driving force to drive the transfer arm 310 and the seating unit 320.

한편, 상기 이송 유닛(300)은 언급한 구성으로 한정되는 것은 아니며, 기판(G)을 이송할 때 상기 기판(G)을 지지하기 위한 부재가 상기 기울기 변환부(200)에 의해 변환된 기판(G)의 기울기에 대응하는 기울기를 갖는다면 다양한 형태의 유닛이 적용될 수 있다.On the other hand, the transfer unit 300 is not limited to the above-mentioned configuration, the substrate for supporting the substrate (G) when transferring the substrate (G) is converted by the tilt conversion unit 200 ( Various types of units can be applied as long as they have a slope corresponding to the slope of G).

또한, 상기 이송 유닛(300)은 상기 인덱스부(500)에 탑재되는 상기 복수개의 카세트(100) 각각에 대응하는 위치로 이동할 수 있도록 설치된다. 예컨대, 상기 인덱스부(500)와 평행하게 배치되는 레일(300a)이 구비되고, 상기 레일(300a) 상에 설치되어 상기 각 카세트(100)에 대응하는 위치로 이동하면서 기판(G)을 이송한다.In addition, the transfer unit 300 is installed to move to a position corresponding to each of the plurality of cassettes 100 mounted on the index unit 500. For example, a rail 300a disposed in parallel with the index unit 500 is provided, and is disposed on the rail 300a to move the substrate G while moving to a position corresponding to each of the cassettes 100. .

상기 공정 처리부(400)는 상기 이송 유닛(300)을 통해 기울기가 변된 상태의 기판(G)을 제공받아 상기 기판(G)에 대한 제조 공정을 수행한다. 상기 공정 처리부(400)는 컨베이어, 롤러 등과 같은 이송 부재를 통해 상기 기판(G)을 소정의 라인을 따라 이송하면서 복수의 단위 제조 공정을 수행하는 것이 일반적이다. 이때, 상기 이송 부재를 통해 이송되는 기판(G)은 상기 기울기 변환부(200)에 의해 기울기가 변환된 상태의 기판(G)을 기울기를 유지시킨 상태로 이송하면서 상기 기판(G)에 대한 공정을 수행한다.The process processor 400 receives a substrate G having a changed slope from the transfer unit 300 and performs a manufacturing process for the substrate G. The process processor 400 generally performs a plurality of unit manufacturing processes while transferring the substrate G along a predetermined line through a transfer member such as a conveyor or a roller. In this case, the substrate G transferred through the transfer member is transferred to the substrate G while maintaining the inclination of the substrate G in which the inclination is converted by the inclination converter 200. Do this.

상기 공정 처리부(400)에서는 상기 기판(G)에 대한 다양한 제조 공정이 이루어질 수 있으며, 단일 또는 복수의 제조 공정이 이루어질 수도 있다. In the process processor 400, various manufacturing processes for the substrate G may be performed, and a single or a plurality of manufacturing processes may be performed.

예를 들어, 상기 공정 처리부(400)에서 이루어지는 상기 기판(G)에 대한 제조 공정은 에칭 및 스트립 공정을 들 수 있다. 예컨대, 상기 공정 처리부(400)는 에칭 공정이 수행되는 제1 공정 처리부(410)와, 스트립 공정이 수행되는 제2 공정 처리부(420)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제1 공정 처리부(410)와 제2 공정 처리부(420)가 각각 인-라인 형태로 배치됨에 따라서 상기 제1 공정 처리부(410)와 제2 공정 처리부(420) 사이에는 기판(G)의 이송하는 역할만 하는 공정 연결부(430)가 구비될 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 공정 처리부(410)와 제2 공정 처리부(420) 사이의 기판(G) 이송을 위한 이송 부재가 구비될 수도 있다.For example, the manufacturing process for the substrate G in the process processing unit 400 may include an etching and a stripping process. For example, the process processor 400 may include a first process processor 410 on which an etching process is performed, and a second process processor 420 on which a strip process is performed. In addition, as the first process processor 410 and the second process processor 420 are disposed in-line, respectively, the substrate G may be disposed between the first process processor 410 and the second process processor 420. Process connection portion 430 that serves only to transfer the may be provided. Alternatively, a transfer member for transferring the substrate G between the first process processor 410 and the second process processor 420 may be provided.

한편, 상기 공정 처리부(400)를 에칭 및 스트립 공정이 수행되는 것으로 설명하였다. 하지만, 상기 공정 처리부(300)에서 수행되는 공정은 언급한 바 있듯이 상기 에칭 및 스트립 공정으로 한정되는 것은 아니며, 설명의 편의를 위한 일 예로 설명한 것으로써, 이와 다른 공정이 수행될 수도 있다.On the other hand, the process treatment unit 400 has been described as the etching and stripping process is performed. However, as described above, the process performed by the process processor 300 is not limited to the etching and stripping process, and as described as an example for convenience of description, other processes may be performed.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치는 카세트에 다수매의 기판이 적재된 상태에서 다수매의 기판에 대하여 기울기 변환이 이루어지고, 멈춤 없이 기울기가 변환된 상태로 기판을 이송하고 공정이 진행됨에 따라서 택트 타임(공정 시간)을 줄일 수 있다. 이로 인해서 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, in the substrate processing apparatus according to the preferred embodiment of the present invention, a tilt conversion is performed on a plurality of substrates while a plurality of substrates are loaded in a cassette, and the substrate is changed in a state where the tilt is changed without stopping. The tact time (process time) can be reduced as the feed and process progress. This can improve productivity.

또한, 종래 기판 처리 장치에서는 수평 상태로 이송되는 기판을 공정 중에 적용되는 기울기로 변환하기 위한 부재를 공정 처리부의 선단 및 후단에 각각 배치해야 하지만, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판의 기울기 변환이 카세트에서 이루어짐에 따라 종래 공정 처리부에 설치되던 기울기 변환 부재를 제거함에 따라 설치 공간을 줄일 수 있다.In addition, in the conventional substrate processing apparatus, the members for converting the substrate transferred in the horizontal state to the inclination applied during the process should be disposed at the front end and the rear end of the processing unit, respectively. The installation space can be reduced by removing the inclination converting member which is conventionally installed in the process processing unit according to the cassette.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성을 나타내는 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 5는 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 카세트 및 기울기 변환부를 나타내는 개략적인 도면이다.2 to 5 are schematic diagrams illustrating a cassette and a tilt converter included in the substrate processing apparatus of FIG. 1.

도 6은 도 1의 기판 처리 장치에 포함되는 이송 유닛을 나타내는 개략적인 도면이다.FIG. 6 is a schematic view illustrating a transfer unit included in the substrate processing apparatus of FIG. 1.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 카세트 110: 프레임100: cassette 110: frame

112: 상부 프레임 114: 하부 프레임112: upper frame 114: lower frame

116: 측면 프레임 118: 보강 부재116: side frame 118: reinforcing member

120: 기판 지지부 122: 지지대120: substrate support 122: support

124: 지지핀 126: 가이드핀 124: support pin 126: guide pin

200: 기울기 변환부 210: 승강부200: gradient conversion unit 210: lifting unit

220: 구동부 230: 보호 프레임220: drive unit 230: protective frame

300: 이송 유닛 300a: 레일300: transfer unit 300a: rail

310: 이송 암 320: 안착부310: transfer arm 320: seating portion

330: 동력부 400: 공정 처리부330: power unit 400: process processing unit

500: 인데스부500: Indesbu

Claims (6)

기판을 지지하는 기판 지지부를 갖는 카세트;A cassette having a substrate support for supporting a substrate; 상기 기판 지지부의 일측을 승강시킴에 의해 상기 기판 지지부에 지지된 기판의 기울기를 변환시키는 기울기 변환부;An inclination converter for converting the inclination of the substrate supported by the substrate support by elevating one side of the substrate support; 상기 기울기 변환부에 의해 기울기가 변환된 기판을 상기 카세트로부터 이송하는 이송 유닛; 및A transfer unit for transferring the substrate whose slope is converted by the gradient converter from the cassette; And 상기 이송 유닛으로부터 상기 기울기가 변환된 상태의 기판을 제공받아 상기 기울기가 변환된 상태의 기판에 대한 공정을 수행하는 공정 처리부를 포함하며,A process processor configured to receive a substrate in which the inclination is converted from the transfer unit and perform a process on the substrate in which the inclination is converted; 상기 카세트는 다수매 기판의 적재가 가능한 구조를 가지며, 상기 기판 지지부는 상기 기울기 변환부에 연결되고 상호 평행하게 상하 방향으로 이격 배치되는 다수의 지지대와, 상기 각 지지대에 설치되어 적재되는 기판의 하면에 직접 접촉하여 상기 기판을 지지하기 위한 지지핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The cassette has a structure in which a plurality of substrates can be stacked, and the substrate support is connected to the inclination converter and a plurality of supports spaced apart in the vertical direction in parallel to each other, and a lower surface of the substrates installed and loaded on the respective supports. And a support pin for supporting the substrate in direct contact with the substrate. 제1항에 있어서, 상기 기울기 변환부는The gradient converter of claim 1, wherein the gradient converter 상기 기판 지지부의 일측에 승강 가능하게 설치되는 승강부; 및A lifting part installed on a side of the substrate support part in a liftable manner; And 상기 승강부와 연결되고, 상기 승강부의 승강에 대한 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.And a driving unit connected to the elevating unit and providing a driving force for elevating the elevating unit. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 카세트의 기판 지지부는 상기 기울기 변환부에 의해 승강되는 상기 지지대의 일측과 마주하는 상기 지지대의 타측에 설치되고, 상기 기울기 변환부에 의해 기판의 기울기가 변환될 때 상기 기판의 측면을 지지함에 의해 상기 기판이 미끄러지는 것을 방지하기 위한 가이드핀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The substrate support of claim 1, wherein the substrate support of the cassette is provided on the other side of the support facing one side of the support, which is lifted by the tilt converter, and the substrate is converted when the tilt of the substrate is converted by the tilt converter. And a guide pin for preventing the substrate from sliding by supporting the side of the substrate. 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부의 지지대는 상기 기울기 변환부에 의해 일측이 승강할 때 상기 승강에 따라 각도 변화가 가능하도록 그 일측이 상기 기울기 변환부에 힌지 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The substrate processing apparatus of claim 1, wherein the support of the substrate support unit is hinged to one side of the inclination converting unit so that an angle change is possible when the one side moves up and down by the inclination converting unit. . 제1항에 있어서, 상기 기울기 변환부는 상기 카세트에 적재하기 위해 상기 이송 부재에 의해 이루어지는 기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 기울기를 변환시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the inclination converting portion converts the inclination in a direction perpendicular to the conveying direction of the substrate made by the conveying member for loading in the cassette.
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