KR101394482B1 - Substrate processing apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 버퍼 카세트의 승하강이 이루어지면 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판이 버퍼 카세트 내부에 차례로 저장되고 또한, 저장된 기판이 다음 공정으로 차례로 이송되므로 기판 처리시간을 단축시킬 수 있고, 불필요한 장비를 줄여 전체 장비를 컴팩트화할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명에 기판 처리장치는 일정 간격으로 배치되어 회전하는 다수개의 샤프트; 상기 샤프트에 고정 설치되어 상면에 안착되는 기판을 이송시키는 다수개의 반송 롤러; 상기 샤프트 사이에 서로 마주보게 설치되는 다수쌍의 수직 프레임과, 상기 수직 프레임의 상단 및 하단을 연결시키는 제1, 2 연결 프레임과, 상기 수직 프레임들 사이에 설치되어 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판들의 하면을 순차적으로 지지하는 복수개의 버퍼 프레임을 포함하여 이루어지는 버퍼 카세트; 그리고, 상기 버퍼 카세트의 양측에 설치되는 한쌍의 가이드 빔과, 일단은 상기 수직 프레임 또는 상기 제1 연결 프레임에 결합되고, 타단은 상기 가이드 빔에 수직 이동 가능하게 결합되는 엘레베이터 암과, 상기 가이드 빔에 설치되어 엘리베이터 암을 수직이동시키는 구동수단을 포함하여 이루어지는 엘리베이터를 포함하여 이루어진다.More particularly, the present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus, in which a substrate transferred by a transfer roller is sequentially stored in a buffer cassette when the buffer cassette is moved up and down, To a substrate processing apparatus capable of shortening the processing time and reducing the unnecessary equipment and making the whole equipment compact.
According to the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a plurality of shafts arranged and rotated at regular intervals; A plurality of conveying rollers fixedly mounted on the shaft to convey a substrate placed on an upper surface thereof; A first and a second connecting frames for connecting the upper and lower ends of the vertical frame, and a second connecting frame provided between the vertical frames and conveyed by the conveying rollers, A buffer cassette including a plurality of buffer frames sequentially supporting lower surfaces of the buffer cassettes; A pair of guide beams provided on both sides of the buffer cassette; an elevator arm having one end coupled to the vertical frame or the first connection frame and the other end coupled to the guide beam so as to be vertically movable; And an elevator including a driving unit installed in the elevator and vertically moving the elevator arm.

Figure R1020120009593
Figure R1020120009593

Description

기판 처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}[0001] SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS [0002]

본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 버퍼 카세트의 승하강이 이루어지면 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판이 버퍼 카세트 내부에 차례로 저장되고 또한, 저장된 기판이 다음 공정으로 차례로 이송되므로 기판 처리시간을 단축시킬 수 있고, 불필요한 장비를 줄여 전체 장비를 컴팩트화할 수 있는 기판 처리장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus, in which a substrate transferred by a transfer roller is sequentially stored in a buffer cassette when the buffer cassette is moved up and down, To a substrate processing apparatus capable of shortening the processing time and reducing the unnecessary equipment and making the whole equipment compact.

일반적으로 버퍼 카세트는 반도체 공정 또는 평판 디스플레이 성형 공정에서 일련의 공정을 진행하는 가운데 임시로 기판을 저장하는 장치를 말한다. Generally, a buffer cassette is a device for temporarily storing a substrate while a series of processes are performed in a semiconductor process or a flat panel display forming process.

버퍼 카세트는 일련의 공정에 있어서 각각 공정을 수행하는 시간이 다르거나 한 공정이 임시로 멈추는 경우에 타 공정에서 수행된 기판이 임시로 머물 수 있는 공간을 제공할 수 있다.The buffer cassette can provide a space in which a substrate carried in another process can temporarily stay in the case where the time for carrying out the process in each of the series of processes is different or when the process is temporarily stopped.

예를 들어, 서로 다른 작업 속도를 가진 세정공정과 박막증착공정 사이 또는 세정공정과 검사공정 사이에서 전체 생산공정의 작업시간을 조율하는 버퍼 카세트가 사용될 수 있다.For example, a buffer cassette can be used to tune the working time of the entire production process between a cleaning process with a different operating speed and a thin film deposition process, or between a cleaning process and an inspection process.

구체적으로, 버퍼 카세트로 이송되어 오는 기판은 로봇암과 같은 장치에 의해 버퍼 카세트 내부에 차례로 저장되며, 또한 버퍼 카세트에 저장된 기판은 로봇암 등의 장치에 의해 버퍼 카세트 외부로 빼내어진 후 반송 롤러에 옮겨져 후공정에 있는 공정 장치로 이송된다.Specifically, the substrate transferred to the buffer cassette is sequentially stored in the buffer cassette by a device such as a robot arm, and the substrate stored in the buffer cassette is taken out of the buffer cassette by a device such as a robot arm, And transferred to the process unit in the post-process.

하지만, 이와 같이 버퍼 카세트에 기판을 저장하고, 저장된 기판을 버퍼 카세트에서 빼내 다시 이송시키는 작업은 로봇암 등을 이용한 별도의 작업을 필요로 하므로 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 로봇 암과 같은 별도의 장치를 요구하므로 기판 처리장치의 전체적인 크기 및 비용을 증가시키는 문제점이 있었다. However, storing the substrate in the buffer cassette and transferring the stored substrate from the buffer cassette again requires a separate operation using a robot arm, so that it takes a long time and a separate device such as a robot arm There is a problem that the overall size and cost of the substrate processing apparatus are increased.

또한, 기판이 버퍼 카세트에 머무르는 시간이 길어짐에 따라 기판에 먼지 또는 이물질이 흡착될 수 있고 이와 함께 전공정에 의해 일정시간 후에 후공정을 수행하여야 하는데 일정시간이 훨씬 초과하여 후공정을 수행하여 수율이 저하되는 문제점이 있었다.Further, as the time for the substrate to stay in the buffer cassette becomes longer, dust or foreign matter can be adsorbed on the substrate, and the post-process must be performed after a certain time by the previous process. .

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 일정 간격으로 배치되어 회전하는 다수개의 샤프트; 상기 샤프트에 고정 설치되어 상면에 안착되는 기판을 이송시키는 다수개의 반송 롤러; 상기 샤프트 사이에 서로 마주보게 설치되는 다수쌍의 수직 프레임과, 상기 수직 프레임의 상단 및 하단을 연결시키는 제1, 2 연결 프레임과, 상기 수직 프레임들 사이에 설치되어 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판들의 하면을 순차적으로 지지하는 복수개의 버퍼 프레임을 포함하여 이루어지는 버퍼 카세트; 그리고, 상기 버퍼 카세트의 양측에 설치되는 한쌍의 가이드 빔과, 일단은 상기 수직 프레임 또는 상기 제1 연결 프레임에 결합되고, 타단은 상기 가이드 빔에 수직 이동 가능하게 결합되는 엘레베이터 암과, 상기 가이드 빔에 설치되어 엘리베이터 암을 수직이동시키는 구동수단을 포함하여 이루어지는 엘리베이터를 포함하여 이루어지는 기판 처리장치를 제공한다.In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a motorcycle comprising: a plurality of shafts arranged and rotated at regular intervals; A plurality of conveying rollers fixedly mounted on the shaft to convey a substrate placed on an upper surface thereof; A first and a second connecting frames for connecting the upper and lower ends of the vertical frame, and a second connecting frame provided between the vertical frames and conveyed by the conveying rollers, A buffer cassette including a plurality of buffer frames sequentially supporting lower surfaces of the buffer cassettes; A pair of guide beams provided on both sides of the buffer cassette; an elevator arm having one end coupled to the vertical frame or the first connection frame and the other end coupled to the guide beam so as to be vertically movable; And an elevator which is installed on the elevator arm and drives the elevator arm vertically.

여기서, 상기 샤프트는 기판이 일정 각도 경사진 상태로 이송될 수 있도록 경사 각도 조절이 가능하게 설치되는 것이 바람직하다. 이를 위해 상기 샤프트의 양단은 브라켓에 의해 경사 플레이트에 결합되며, 상기 경사 플레이트의 중앙부에는 고정 힌지가 결합되고, 상기 경사 플레이트의 일단에는 피스톤에 의해 상하 이동하는 링크가 결합된다.Here, the shaft is preferably provided so as to be able to adjust the inclination angle so that the substrate can be transported in a state where the substrate is inclined at a predetermined angle. To this end, both ends of the shaft are coupled to an inclined plate by a bracket, a fixed hinge is coupled to a center portion of the inclined plate, and a link that moves up and down by a piston is coupled to one end of the inclined plate.

한편, 상기 엘리베이터 암의 상하 수직이동을 위해 상기 엘리베이터 암의 타단에는 LM 블록이 설치될 수 있고, 이 경우 상기 가이드 빔은 LM 블록이 결합되어 수직 이동하는 LM 레일의 역할을 하게 된다. Meanwhile, an LM block may be installed at the other end of the elevator arm to vertically move the elevator arm. In this case, the guide beam serves as an LM rail to which the LM block is coupled to move vertically.

또한, 상기 엘리베이터의 암의 수직이동을 위해 상기 엘리베이터 암의 타단에는 롤러가 설치되고, 상기 가이드 빔에는 상기 롤러가 삽입되어 이동하는 가이드 레일이 설치될 수 있다.In addition, a roller may be installed at the other end of the elevator arm for vertical movement of the arm of the elevator, and a guide rail may be installed in the guide beam.

본 발명에 따른 기판 처리장치는 엘리베이터에 의해 버퍼 카세트의 승강이 이루어지면 자연히 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판들이 차례로 버퍼 프레임에 의해 지지되어 버퍼 카세트 내부에 저장되고, 또한 버퍼 카세트의 하강이 이루어지면 버퍼 카세트 내부에 저장된 기판들이 반송 롤러에 안착되어져 정해진 공정으로 차례로 이송되어지므로 기판 처리시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.In the substrate processing apparatus according to the present invention, when the buffer cassette is elevated and lowered by an elevator, the substrates naturally conveyed by the conveying roller are successively supported by the buffer frame and stored in the buffer cassette. When the buffer cassette is lowered, The substrates stored in the cassette are seated on the conveying rollers and conveyed to the predetermined process in order, so that the substrate processing time can be shortened.

또한, 본 발명에 따른 기판 처리장치는 버퍼 카세트의 승하강에 의해 기판의 저장 및 이송이 이루어지므로 로봇암과 같은 별도의 장비를 필요로 하지 않아 전체 장비를 컴팩트화할 수 있는 효과가 있다. In addition, the substrate processing apparatus according to the present invention can store and transport the substrate by moving up and down the buffer cassette, so that no separate equipment such as a robot arm is required and the entire equipment can be made compact.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 도면이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 엘리베이터에 의해 버퍼 카세트의 승강 및 하강이 이루어지는 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 샤프트의 경사 각도가 조절되는 모습을 나타내는 도면이다.1 and 2 are views showing a schematic structure of a substrate transfer apparatus according to the present invention.
3 and 4 are views showing a state in which the buffer cassette is lifted and lowered by the elevator according to the present invention.
5 is a view showing a state in which the inclination angle of the shaft according to the present invention is adjusted.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention in which the above objects can be specifically realized will be described with reference to the accompanying drawings. In describing the present embodiment, the same designations and the same reference numerals are used for the same components, and additional description thereof will be omitted in the following.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 구조를 나타내는 도면이다.1 and 2 are views showing a schematic structure of a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 샤프트(Shaft)(100)와, 반송 롤러(200)와, 버퍼 카세트(Buffer Cassette)(300)와, 엘리베이터(Elevator)(400)를 포함하여 이루어진다.1 and 2, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a shaft 100, a conveying roller 200, a buffer cassette 300, an elevator 300, (400).

상기 샤프트(100)는 일정 간격으로 다수개가 배치되어 모터(미도시)의 구동력에 의해 회전하도록 구성되며, 상기 반송 롤러(200)는 다수개가 샤프트(100)에 고정 설치되어 샤프트(100)의 회전시 함께 회전하며 상면에 안착되는 기판(G)을 정해진 공정이 진행될 위치로 이송시킨다.A plurality of the shafts 100 are arranged at regular intervals and are configured to rotate by a driving force of a motor (not shown). A plurality of the conveying rollers 200 are fixed to the shaft 100, And transfers the substrate G, which is mounted on the upper surface, to a position where a predetermined process is to be performed.

상기 버퍼 카세트(300)는 이미 설명한 바와 같이 식각공정, 세정공정 등 소정의 공정으로 이송되는 기판(G)을 일시적으로 저장하기 위해 구비되는 장치로서, 수직 프레임(310), 제1, 2 연결 프레임(320, 330), 버퍼 프레임(340)으로 이루어진다.The buffer cassette 300 is provided to temporarily store the substrate G transferred to a predetermined process such as an etching process and a cleaning process as described above. The buffer cassette 300 includes a vertical frame 310, (320, 330), and a buffer frame (340).

상기 수직 프레임(310) 및 제1, 2 연결 프레임(320, 330)은 버퍼 카세트(300)의 전체적인 외곽 골조를 형성하는 부분으로, 수직 프레임(310)은 상술한 샤프트(100) 사이에 서로 마주보게 다수쌍이 설치되고, 상기 제1 연결 프레임(320)은 수직 프레임(310)의 상단을 연결시키며, 상기 제2 연결 프레임(330)은 수직 프레임(310)의 하단을 연결시킨다. The vertical frame 310 and the first and second connection frames 320 and 330 are parts forming the overall frame of the buffer cassette 300 and the vertical frame 310 is a part of the buffer cassette 300, The first connection frame 320 connects the upper end of the vertical frame 310 and the second connection frame 330 connects the lower end of the vertical frame 310.

그리고, 상기 버퍼 프레임(340)은 반송 롤러(200)에 의해 이송되어 오는 기판(G)들이 안착되는 부분으로, 복수개의 기판(G)들이 버퍼 카세트(300) 내부에 저장될 수 있도록 수직 프레임(310)들 사이에 복수개가 설치된다. The buffer frame 340 is a portion on which the substrates G transferred by the conveying roller 200 are seated and in which the plurality of substrates G are stored in the vertical cassette 300 310 are provided.

이러한 버퍼 프레임(340)은 이하 설명할 엘리베이터(400)에 의해 상승하며 반송 롤러(200)에 의해 이송되어 오는 기판(G)들의 하면을 순차적으로 지지하여 기판(G)들이 버퍼 카세트(300) 내부에 차례로 저장되도록 하며, 또한 엘리베이터(400)에 의해 하강하며 기판(G)들을 반송 롤러(200)에 순차적으로 안착시켜 소정 공정으로 이송되도록 한다. 이때, 버퍼 프레임(340)은 샤프트(100) 사이에 위치하므로 버퍼 프레임(340)의 승하강은 샤프트(200)에 방해받지 않고 자유롭게 이루어진다.The buffer frame 340 is lifted by an elevator 400 to be described below and sequentially supports the lower surfaces of the substrates G conveyed by the conveying roller 200 so that the substrates G are conveyed to the inside of the buffer cassette 300 And the substrates G are descended by the elevator 400 and are sequentially placed on the conveying rollers 200 to be transferred to a predetermined process. At this time, since the buffer frame 340 is positioned between the shafts 100, the buffer frame 340 can freely move up and down without being disturbed by the shaft 200.

상기 엘리베이터(400)는 반송 롤러(200)에 의해 이송되어 오는 기판(G)들의 하면이 상술한 버퍼 프레임(340)에 의해 순차적으로 지지되고, 또한 버퍼 프레임(340)에 지지되어 버퍼 카세트(300) 내부에 저장된 기판(G)들이 반송 롤러(200)에 순차적으로 안착되어 정해진 공정으로 이송될 수 있도록 버퍼 카세트(300)를 상하 이동시키는 장치로서, 가이드 빔(410)과, 엘리베이터 암(420)과, 구동수단(430)을 포함하여 이루어진다.The lower surface of the substrates G transported by the transport roller 200 is sequentially supported by the buffer frame 340 and supported by the buffer frame 340 to be transferred to the buffer cassette 300 The guide beams 410 and the elevator arm 420 are vertically moved so that the substrates G stored in the guide rollers 200 are sequentially placed on the conveying roller 200 and can be transferred to a predetermined process. And a driving means 430. [0031]

상기 가이드 빔(410)은 버퍼 카세트(300)의 일측 또는 양측에 고정 설치되며, 상기 엘리베이터 암(420)은 일단이 상기 수직 프레임(310) 또는 상기 제1 연결 프레임(320)에 결합되고, 타단은 상기 가이드 빔(410)에 수직 이동 가능하게 결합된다. The guide beam 410 is fixed to one side or both sides of the buffer cassette 300. The elevator arm 420 has one end coupled to the vertical frame 310 or the first connection frame 320, Is vertically movably coupled to the guide beam (410).

여기서, 엘리베이터 암(420)의 타단이 가이드 빔(410)을 따라 슬라이딩 이동할 수 있도록 엘리베이터 암(420)의 타단에는 LM 블록(421)이 설치될 수 있다. 이 경우, 가이드 빔(410)은 일종의 LM 레일의 역할을 하게 된다. 물론, 엘리베이터 암(420)의 수직이동을 위한 구조는 다양한 변형이 가능하며, 예를 들어 엘리베이터 암(420)의 타단에 롤러(미도시)를 설치하고, 가이드 빔(410)에 상기 롤러가 삽입되어 이동하는 가이드 레일(미도시)을 설치할 수도 있다.Here, the LM block 421 may be installed at the other end of the elevator arm 420 so that the other end of the elevator arm 420 can slide along the guide beam 410. In this case, the guide beam 410 serves as a kind of LM rail. Of course, the structure for vertical movement of the elevator arm 420 can be modified in various ways. For example, a roller (not shown) may be installed at the other end of the elevator arm 420 and the roller may be inserted into the guide beam 410 A guide rail (not shown) may be provided.

그리고, 상기 구동수단(430)은 상기 가이드 빔(410)에 설치되어 상기 엘리베이터 암(420)이 가이드 빔(410)을 따라 승강 또는 하강하도록 구동력을 발생시킨다. 이러한 구동수단은 일반적으로 많이 사용되는 서보 모터(Servo Motor)일 수 있다.The driving unit 430 is installed on the guide beam 410 to generate a driving force such that the elevator arm 420 is lifted or lowered along the guide beam 410. The driving means may be a commonly used servo motor.

따라서 상기 구동수단(430)이 동작을 시작하여 엘리베이터 암(420)이 가이드 빔(410)을 따라 승강 또는 하강하면 엘리베이터 암(420)의 일단에 결합된 수직 프레임(310) 또는 제1 연결 프레임(320) 역시 엘리베이터 암(420)과 함께 상승하거나 하강하게 되므로 버퍼 카세트(300)의 전체적인 수직이동이 이루어지게 된다.When the elevator arm 420 is lifted or lowered along the guide beam 410, the vertical frame 310 or the first connection frame 420, which is coupled to one end of the elevator arm 420, 320 are also raised or lowered together with the elevator arm 420, so that the entire vertical movement of the buffer cassette 300 is achieved.

이와 같이 구동수단(430)에 의해 엘리베이터 암(420)이 가이드 빔(410)을 따라 수직이동하여 버퍼 카세트(300)의 승강 또는 하강이 이루어지면, 상술한 바와 같이 버퍼 프레임(340)이 샤프트(100) 사이에서 수직 이동하며 기판(G)들의 하면을 지지하여 기판(G)들이 버퍼 카세트(300) 내부에 차례로 저장되도록 하고, 또한 버퍼 카세트(300) 내부에 저장된 기판(G)들이 차례로 반송 롤러(200)에 안착되어져 정해진 공정으로 이송되도록 한다.When the elevator arm 420 vertically moves along the guide beam 410 and the buffer cassette 300 is lifted or lowered by the driving means 430 as described above, And the substrates G stored in the buffer cassette 300 are sequentially transported to the transport rollers 300. The substrates G are transported in the buffer cassette 300, (200) so as to be transferred to a predetermined process.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 엘리베이터에 의해 버퍼 카세트의 승강 및 하강이 이루어지는 상태를 나타내는 도면이다.3 and 4 are views showing a state in which the buffer cassette is lifted and lowered by the elevator according to the present invention.

좀더 상세히 설명하면, 어떤 한 공정이 임시로 멈추어 타 공정에서 이송되는 기판(G)들을 일시적으로 버퍼 카세트(300)에 저장하여야 할 경우 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 엘리베이터 암(420)을 상승시켜 버퍼 카세트(300) 전체를 서서히 수직 상방으로 이동시킨다. 3 and 4, when the elevator arm 420 is temporarily stopped when a certain process is temporarily stopped and the substrates G to be transferred in another process are to be temporarily stored in the buffer cassette 300, So that the entire buffer cassette 300 is gradually moved vertically upward.

이와 같이 버퍼 카세트(300)가 상승을 시작하면 버퍼 프레임(340)은 반송 롤러(200)보다 하측에 위치하다가 반송 롤러(200)보다 더 높은 위치로 상승하게 되고(도 4참조), 이에 따라 반송 롤러(200)에 안착되어 있는 기판(G)은 자연히 버퍼 프레임(340)에 의해 들려져 반송 롤러(200)에서 자연히 분리되어 버퍼 프레임(340)에 안착된 상태가 된다.When the buffer cassette 300 starts to rise as described above, the buffer frame 340 is positioned below the conveying roller 200 and rises to a position higher than the conveying roller 200 (see FIG. 4) The substrate G that is seated on the roller 200 is naturally lifted by the buffer frame 340 and is naturally separated from the conveying roller 200 and placed on the buffer frame 340.

이러한 버퍼 카세트(300)의 상승이 계속되면 반송 롤러(200)에 의해 순차적으로 이송되어 오는 기판(G)들은 최상단 버퍼 프레임(340)부터 최하단 버퍼 프레임(340)에 순차적으로 안착되어져 결국, 버퍼 카세트(300) 내부에 저장된 상태가 된다.When the buffer cassette 300 is continuously raised, the substrates G sequentially transferred by the conveying roller 200 are sequentially placed on the uppermost buffer frame 340 to the lowermost buffer frame 340, (300).

또한, 반대로 공정이 재개되어 버퍼 카세트(300)에 저장된 기판(G)들을 다시 이송시킬 필요가 있을 경우에는 엘리베이터 암(420)을 하강시켜 버퍼 프레임(340)들을 순차적으로 반송 롤러(200)보다 낮은 위치로 이동시킨다. 이와 같이 버퍼 프레임(340)의 하강이 이루어지면 버퍼 프레임(340)에 안착된 기판(G)들은 다시 순차적으로 반송 롤러(200)에 안착되어지고, 이에 따라 반송 롤러(200)에 의해 기판(G)들이 정해진 공정으로 재차 이송되게 된다.Conversely, when the process is resumed and it is necessary to transfer the substrates G stored in the buffer cassette 300 again, the elevator arm 420 is lowered so that the buffer frames 340 are sequentially lower than the conveying rollers 200 Position. When the buffer frame 340 is lowered, the substrates G mounted on the buffer frame 340 are sequentially placed on the conveying roller 200, ) Are transferred again to the predetermined process.

여기서, 버퍼 카세트(300)가 하강하게 되면 최하단 버퍼 프레임(340)에 안착된 기판(G)부터 차례로 반송 롤러(200)에 안착되어지므로 기판(G)들이 버퍼 카세트(300)에 저장되는 과정과 반대로 최하단 버퍼 프레임(340)에 안착된 기판(G)부터 반송 롤러(200)에 의해 다음 공정으로 이송되어진다.When the buffer cassette 300 is lowered, the substrate G is seated on the conveying roller 200 sequentially from the substrate G seated on the lowermost buffer frame 340, so that the substrates G are stored in the buffer cassette 300 Conversely, the substrate G placed on the lowermost buffer frame 340 is transferred to the next process by the conveying roller 200.

한편, 기판(G)이 대형화됨에 따라 기판(G)이 수평상태로 이송될 경우 기판(G)이 자체 하중에 의하여 아래로 처지는 현상이 발생하고, 또한 대형 기판(G)이 수평상태로 이송될 경우 식각 공정이나 세정 공정에서 발생하는 부산물을 제거하기가 쉽지않다는 문제점이 있으므로 기판(G)은 소정 각도로 경사진 상태로 이송됨이 바람직하다.On the other hand, when the substrate G is conveyed in a horizontal state as the substrate G is enlarged, the substrate G sags downward due to its own load, and the large substrate G is conveyed in a horizontal state It is difficult to remove the byproducts generated in the etching process or the cleaning process. Therefore, it is preferable that the substrate G is transported in an inclined state at a predetermined angle.

도 5는 본 발명에 따른 샤프트의 경사 각도가 조절되는 모습을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a state in which the inclination angle of the shaft according to the present invention is adjusted.

이를 위해 상기 샤프트(100)는 도 5에 도시된 바와 같이, 경사 각도 조절이 가능하도록 구성됨이 바람직하다. For this purpose, the shaft 100 is preferably configured to be able to adjust the tilt angle as shown in FIG.

구체적으로, 샤프트(100)의 경사 각도 조절을 위해 샤프트(100)의 양단은 브라켓(210)에 의해 경사 플레이트(220)에 결합되며, 상기 경사 플레이트(220)의 중앙부에는 고정 힌지(230)가 결합된다. 또한, 상기 경사 플레이트(220)의 일단에는 피스톤(250)에 의해 상하 이동하는 링크(240)가 결합된다.In order to adjust the inclination angle of the shaft 100, both ends of the shaft 100 are coupled to the inclined plate 220 by the bracket 210. A fixed hinge 230 is formed at the center of the inclined plate 220 . A link 240, which moves up and down by a piston 250, is coupled to one end of the inclined plate 220.

따라서 상기 피스톤(250)에 의해 링크(240)가 밀려 올라가면 링크(240)와 함께 경사 플레이트(220)의 일단이 밀려 올라가며 이때, 경사 플레이트(220)의 중앙부는 고정 힌지(230)를 기준으로 회전하게 되어 경사 플레이트(220)가 소정 각도(θ)로 기울어지게 된다. 이와 같이 경사 플레이트(220)가 소정 각도(θ)로 기울어지면 브라켓(210)에 의해 경사 플레이트(220)에 결합된 샤프트(100) 및 샤프트(100)에 결합되어 있는 반송 롤러(200)가 소정 각도(θ)로 기울어지게 되므로 반송 롤러(200)에 안착되는 기판(G)은 소정 각도(θ) 기울어진 상태로 이송되게 된다.When the link 240 is pushed up by the piston 250, one end of the inclined plate 220 is pushed up together with the link 240. At this time, the central portion of the inclined plate 220 rotates about the fixed hinge 230 And the inclined plate 220 is inclined at a predetermined angle?. When the inclined plate 220 is inclined at a predetermined angle?, The shaft 100 coupled to the inclined plate 220 by the bracket 210 and the conveying roller 200 coupled to the shaft 100 are rotated The substrate G that is seated on the conveying roller 200 is conveyed in a state in which the substrate G is tilted at a predetermined angle ?.

물론, 상기 샤프트(100)의 경사 각도를 조절하기 위한 구조는 다양한 변형이 가능하며, 예를 들어 고정 힌지(230)를 대신하여 샤프트(100)의 양단에 각각 피스톤(250)에 의해 상하 이동하는 링크(240)를 설치함으로써 샤프트(100)의 경사 각도가 조절되도록 하는 것도 가능하다.Of course, the structure for adjusting the inclination angle of the shaft 100 can be variously modified. For example, instead of the fixed hinge 230, both ends of the shaft 100 are moved up and down by the piston 250 It is also possible to adjust the inclination angle of the shaft 100 by providing the link 240.

이와 같이 피스톤(250)에 의해 샤프트(100)의 경사 각도가 조절되면 기판(G)은 소정 각도(θ) 기울어진 상태로 반송 롤러(200)에 의해 버퍼 카세트(300)가 위치하는 장소로 이송되어 오며, 이 경우에도 버퍼 프레임(340)은 엘리베이터(400)에 의해 상승하며 기판(G)들의 하면을 순차적으로 지지함으로써 기판(G)들이 버퍼 카세트(300) 내부에 저장되도록 하고, 또한 하강하며 기판(G)들이 반송 롤러(200)에 순차적으로 안착되도록 함으로써 기판(G)들이 소정 각도(θ) 기울어진 상태로 정해진 공정으로 이송되도록 한다.When the inclination angle of the shaft 100 is adjusted by the piston 250 as described above, the substrate G is conveyed to a position where the buffer cassette 300 is positioned by the conveying roller 200 in a state in which the substrate G is inclined at a predetermined angle? The buffer frame 340 is lifted by the elevator 400 and sequentially supports the lower surfaces of the substrates G to allow the substrates G to be stored in the buffer cassette 300 and to descend The substrates G are sequentially placed on the conveying roller 200 so that the substrates G are conveyed to a predetermined process while being inclined at a predetermined angle?

이상에서 상세히 설명된 본 발명은 그 범위가 전술된 바에 한하지 않고, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 변경 또는 치환할 수 있는 것이 본 발명의 범위에 해당함은 물론이고, 그 균등물 또한 본 발명의 범위에 포함된다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. And are also included in the scope of the present invention.

100: 샤프트 200: 반송 롤러
210: 브라켓 220: 경사 플레이트
230: 고정 힌지 240: 링크
250: 피스톤 300: 버퍼 카세트
310: 수직 프레임 320: 제1 연결 프레임
330: 제2 연결 프레임 340: 버퍼 프레임
400: 엘리베이터 410: 가이드 빔
420: 엘리베이터 암 421: LM 블록 100: shaft 200: conveying roller
210: Bracket 220: Inclined plate
230: fixed hinge 240: link
250: Piston 300: Buffer cassette
310: vertical frame 320: first connection frame
330: second connection frame 340: buffer frame
400: elevator 410: guide beam
420: elevator arm 421: LM block

Claims (5)

일정 간격으로 배치되어 회전하되, 기판이 일정 각도 경사진 상태로 이동될 수 있도록 경사 각도 조절이 가능하게 설치되는 다수개의 샤프트;
상기 샤프트에 고정 설치되어 상면에 안착되는 기판을 이송시키는 다수개의 반송 롤러;
상기 샤프트 사이에 서로 마주보게 설치되는 다수쌍의 수직 프레임과, 상기 수직 프레임의 상단 및 하단을 연결시키는 제1, 2 연결 프레임과, 상기 수직 프레임들 사이에 설치되어 반송 롤러에 의해 이송되어 오는 기판들의 하면을 순차적으로 지지하는 복수개의 버퍼 프레임을 가지며 상기 반송 롤러에 의해 이송되는 기판을 일시적으로 저장하는 버퍼 카세트; 그리고,
상기 버퍼 카세트의 양측에 설치되는 한쌍의 가이드 빔과, 일단은 상기 수직 프레임 또는 상기 제1 연결 프레임에 결합되고, 타단은 상기 가이드 빔에 수직 이동 가능하게 결합되는 엘레베이터 암과, 상기 가이드 빔에 설치되어 엘리베이터 암을 수직이동시키는 구동수단을 가지며 상기 버퍼 카세트를 상하 이동시키는 엘리베이터를 포함하는 기판 처리장치.A plurality of shafts rotatably disposed at predetermined intervals, the shafts being adjustable in inclination so that the substrate can be moved in a tilted state;
A plurality of conveying rollers fixedly mounted on the shaft to convey a substrate placed on an upper surface thereof;
A first and a second connecting frames for connecting the upper and lower ends of the vertical frame, and a second connecting frame provided between the vertical frames and conveyed by the conveying rollers, A buffer cassette having a plurality of buffer frames for sequentially supporting lower surfaces of the buffer frames and temporarily storing a substrate fed by the feed rollers; And,
A pair of guide beams installed on both sides of the buffer cassette; an elevator arm coupled to the vertical frame or the first connection frame at one end and vertically movably connected to the guide beam at the other end; And an elevator having driving means for vertically moving the elevator arm and moving the buffer cassette up and down. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 샤프트의 양단은 브라켓에 의해 경사 플레이트에 결합되며,
상기 경사 플레이트의 중앙부에는 고정 힌지가 결합되고, 경사 플레이트의 일단에는 피스톤에 의해 상하 이동하는 링크가 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.The method according to claim 1,
Both ends of the shaft are coupled to the inclined plate by a bracket,
Wherein a fixed hinge is coupled to a central portion of the inclined plate, and a link that moves up and down by a piston is coupled to one end of the inclined plate. 제1 항에 있어서,
상기 엘리베이터 암의 타단에는 LM 블록이 설치되고, 상기 가이드 빔은 LM 블록이 결합되어 수직 이동하는 LM 레일인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치. The method according to claim 1,
Wherein the LM block is installed at the other end of the elevator arm, and the guide beam is an LM rail which is coupled with the LM block to move vertically. 제1 항에 있어서,
상기 엘리베이터 암의 타단에는 롤러가 설치되고, 상기 가이드 빔에는 상기 롤러가 삽입되어 이동하는 가이드 레일이 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.The method according to claim 1,
Wherein the elevator arm is provided with a roller at the other end thereof, and the guide beam is provided with a guide rail through which the roller is inserted and moved.
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