KR100793174B1 - Apparatus for tilting substrate transfer device - Google Patents

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KR100793174B1
KR100793174B1 KR1020070026006A KR20070026006A KR100793174B1 KR 100793174 B1 KR100793174 B1 KR 100793174B1 KR 1020070026006 A KR1020070026006 A KR 1020070026006A KR 20070026006 A KR20070026006 A KR 20070026006A KR 100793174 B1 KR100793174 B1 KR 100793174B1
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substrate transfer
transfer mechanism
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linear guide
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KR1020070026006A
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박준호
최재현
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세메스 주식회사
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Abstract

An apparatus for tilting a substrate transfer device is provided to simply change a slope of the substrate transfer device by manipulating a link bar on a linear guide. An apparatus for tilting a substrate transfer device includes a base(110), a link bar(120), and a cylinder(130). A linear guide, which is extended along a horizontal axis, is arranged on the base. The link bar is connected to the linear guide through a first connector and slid in a horizontal direction along the horizontal axis. The link bar is coupled with the substrate transfer device and rotated around the first connector. The cylinder is connected to the link bar through a second connector and generates a driving force for sliding and rotating the link bar.

Description

기판 이송 기구의 경사 변환 장치{APPARATUS FOR TILTING SUBSTRATE TRANSFER DEVICE}Inclination conversion device of substrate transfer mechanism {APPARATUS FOR TILTING SUBSTRATE TRANSFER DEVICE}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치를 도시한 것으로서, 기판 이송 기구의 수평 상태를 도시한 측면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a side view showing the inclination converter of a substrate transfer mechanism according to an embodiment of the present invention, showing a horizontal state of the substrate transfer mechanism.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치를 도시한 것으로서, 기판 이송 기구의 경사 변환 상태를 도시한 측면도.FIG. 2 is a side view illustrating an inclination conversion device of the substrate transfer mechanism in accordance with an embodiment of the present invention, illustrating the inclination conversion state of the substrate transfer mechanism. FIG.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

100; 경사 변환 장치 110; 베이스100; Tilt converter 110; Base

112; 리니어 가이드 114; 프레임112; Linear guide 114; frame

120; 링크 바 122; 이동부120; Link bar 122; Moving parts

124,126,127,132; 연결부 128; 지지부124,126,127,132; Connection 128; Support

130; 실린더 134; 로드130; Cylinder 134; road

140; 스톱퍼 200; 기판 이송 기구140; Stopper 200; Substrate Transfer Mechanism

201; 플레이트 202; 샤프트201; Plate 202; shaft

본 발명은 기판 가공 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판 이송 기구를 경사지게 할 수 있는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a substrate processing apparatus. More specifically, it is related with the inclination conversion apparatus of the substrate transfer mechanism which can incline a substrate transfer mechanism.

액정 디스플레이 소자 또는 플라즈마 디스플레이 소자의 패널로 쓰이는 평판형 유리 기판과 같은 기판을 가공하기 위해선 기판 상에 회로 패턴 등을 형성하는 것이 일반적이다. 기판 상에 회로 패턴과 같은 것을 형성하기 위해선 도포 처리, 에칭 처리, 수세 처리, 건조 처리 및 기타 복수의 단위 처리 공정들을 진행하고, 이들 처리 공정들을 수행하기 위해선 기판 이송 기구를 사용하는 것이 거의 필수적이라 할 수 있다. 이들 처리 공정들의 진행시 기판의 전면에 균일한 처리 공정이 이루어지도록 기판을 일정 각도로 기울어진 상태로 놓여질 수 있다. In order to process a substrate such as a flat glass substrate used as a panel of a liquid crystal display device or a plasma display device, a circuit pattern or the like is generally formed on the substrate. In order to form such a circuit pattern on the substrate, it is almost necessary to proceed with a coating treatment, an etching treatment, a washing treatment, a drying treatment, and a plurality of other unit treatment processes, and to use a substrate transfer mechanism to perform these treatment processes. can do. The substrate may be inclined at an angle so that a uniform processing may be performed on the entire surface of the substrate during the progress of these processing processes.

이를 위해 기판을 일정 각도로 경사진 상태로 처리실로 이송되어야 한다. 기판 이송 기구를 경사지게 할 수 있는 경사 변환 장치의 일례는 본 출원인에 의해 제안된 한국공개특허 제2006-14800호에 개시된 바 있었다. 본 출원인에 의해 제안된 경사 변환 장치 장치는 실린더를 이용하여 기판 이송 기구의 일측을 상승시키는 것이다. 본 출원인에 의해 제안된 경사 변환 장치 이외에 구동 방식이 개선된 경사 변환 장치의 요구 내지는 필요성이 있을 수 있다. To this end, the substrate must be transferred to the process chamber with the substrate tilted at an angle. An example of an inclination conversion apparatus capable of inclining the substrate transfer mechanism has been disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2006-14800 proposed by the present applicant. The inclination converter device proposed by the applicant is to raise one side of the substrate transfer mechanism by using a cylinder. There may be a need or necessity of an inclination conversion device having an improved driving scheme in addition to the inclination conversion device proposed by the present applicant.

본 발명은 종래 기술에서 요구 내지는 필요성에 부응하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판 이송 기구의 경사 변환을 안정적으로 구현할 수 있는 경사 변환 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to meet the demands and needs of the prior art, and an object of the present invention is to provide an inclination conversion apparatus capable of stably implementing inclination conversion of a substrate transfer mechanism.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치는 실린더와 리니어 모션 가이드에 의해 구동되는 링크 구조를 이용하여 기판 이송 기구를 경사지게 하는 것을 특징으로 한다.The inclination converter of the substrate transfer mechanism according to the present invention for achieving the above object is characterized in that the substrate transfer mechanism is inclined by using a link structure driven by a cylinder and a linear motion guide.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 경사 변환 장치는, 수평축을 따라 연장된 리니어 가이드가 설치된 베이스; 상기 리니어 가이드와는 제1 연결부를 매개로 연결되어 상기 리니어 가이드 상에서 상기 수평축을 따라 수평적으로 슬라이딩되고 상기 제1 연결부를 회전축으로 하여 회전 가능한, 기판 이송 기구와 조합된 링크 바; 및 상기 링크 바와는 제2 연결부를 매개로 연결되어 상기 링크 바를 슬라이딩시키고 회전시키는 구동력을 발생시키는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.Inclination conversion apparatus according to an embodiment of the present invention that can implement the above features, the base is provided with a linear guide extending along the horizontal axis; A link bar coupled with the linear guide, the link bar being coupled to the linear guide and slid horizontally along the horizontal axis on the linear guide and rotatable with the first connecting part as a rotation axis; And a cylinder connected to the link bar through a second connection part to generate a driving force for sliding and rotating the link bar.

본 실시예에 있어서, 상기 링크 바는 제3 연결부를 매개로 상기 기판 이송 기구와 연결되어 상기 기판 이송 기구의 일단을 승강시킨다.In the present embodiment, the link bar is connected to the substrate transfer mechanism via a third connecting portion to elevate one end of the substrate transfer mechanism.

본 실시예에 있어서, 상기 제2 연결부는 상기 제1 연결부에 비해 상기 제3 연결부에 더 근접한다.In the present embodiment, the second connecting portion is closer to the third connecting portion than the first connecting portion.

본 실시예에 있어서, 상기 실린더는 제4 연결부를 매개로 상기 베이스와 연결되어 상기 제4 연결부를 회전축으로 하여 회전 가능하다.In the present embodiment, the cylinder is connected to the base via a fourth connecting portion is rotatable with the fourth connecting portion as the rotation axis.

본 실시예에 있어서, 상기 실린더는 수직축을 따라 신축하며 상기 제4 연결부를 매개로 상기 링크 바와 연결된 로드를 포함한다.In this embodiment, the cylinder extends along a vertical axis and includes a rod connected to the link bar via the fourth connection portion.

본 실시예에 있어서, 상기 기판 이송 기구의 하강을 정지시키는 스톱퍼를 더 포함한다.In this embodiment, further includes a stopper for stopping the lowering of the substrate transfer mechanism.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 경사 변환 장치는, 리니어 가이드가 구비된 베이스와; 상기 리니어 가이드와는 제1 연결부를 매개로 연결되어 상기 리니어 가이드 상에서 수평적으로 슬라이딩되는 일단과, 제2 연결부를 매개로 기판 이송 기구와 연결되어 수직적으로 승하강되는 타단을 가지는 링크 바와; 상기 제1 연결부에 비해 상기 제2 연결부에 더 근접하는 제3 연결부를 매개로 상기 링크 바의 타단과 연결되어 상기 링크 바의 슬라이딩 및 승하강에 소요되는 구동력을 발생시키는 실린더와; 상기 베이스에 설치되어 상기 기판 이송 기구의 하강 동작을 정지시키는 스톱퍼를 포함하는 것을 특징으로 한다.Inclination conversion apparatus according to a modified embodiment of the present invention that can implement the above features, the base is provided with a linear guide; A link bar having one end connected to the linear guide via a first connection part and slid horizontally on the linear guide, and the other end connected to a substrate transfer mechanism via a second connection part and vertically lifted up and down; A cylinder connected to the other end of the link bar via a third connection part closer to the second connection part than the first connection part to generate driving force for sliding and lifting of the link bar; And a stopper installed on the base to stop the lowering operation of the substrate transfer mechanism.

본 변형 실시예에 있어서, 상기 링크 바는 상기 제1 연결부를 회전축으로 삼아 회전하여 상기 링크 바의 타단이 승하강한다.In this modified embodiment, the link bar is rotated using the first connecting portion as the rotation axis to raise and lower the other end of the link bar.

본 변형 실시예에 있어서, 상기 실린더는 제4 연결부를 매개로 상기 베이스에 설치되고, 상기 제4 연결부를 회전축으로 삼아 회전 가능하다.In this modified embodiment, the cylinder is installed in the base via a fourth connecting portion, and the fourth connecting portion is rotatable using the rotation axis.

본 변형 실시예에 있어서, 상기 실린더는 상기 제3 연결부를 매개로 상기 링크 바의 타단과 연결되어 상기 실린더에서 발생되는 구동력을 상기 링크 바로 전달하는 수직적으로 신축하는 로드를 포함한다.In this modified embodiment, the cylinder includes a vertically extending rod connected to the other end of the link bar via the third connecting portion for transmitting the driving force generated in the cylinder bar.

본 발명에 의하면, 실린더의 동작에 따라 링크 바가 리니어 가이드 상에서 이동 및 경사 변환 동작을 하게 되고 링크 바에 연결된 기판 이송 기구가 경사지거나 수평 상태로 변환된다. According to the present invention, the link bar is moved and tilted on the linear guide according to the operation of the cylinder, and the substrate transfer mechanism connected to the link bar is inclined or converted into a horizontal state.

이하, 본 발명에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, with reference to attached drawing, the inclination conversion apparatus of the board | substrate conveyance mechanism which concerns on this invention is demonstrated in detail.

본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.Advantages over the present invention and prior art will become apparent through the description and claims with reference to the accompanying drawings. In particular, the present invention is well pointed out and claimed in the claims. However, the present invention may be best understood by reference to the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements throughout the various drawings.

(실시예)(Example)

도 1 및 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치를 도시한 측면도이다.1 and 2 are side views showing the tilt conversion apparatus of the substrate transfer mechanism according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 경사 변환 장치(200)는 기판(S)을 이송시키는 기판 이송 기구(100)의 경사를 변환시켜 기판(S)을 기울어지게 하는 장치이다. 기판 이송 기구(100)는 다수개의 롤러(203)가 끼워진 샤프트(202)와, 샤프트(202)가 설치된 플레이트(201)를 포함하여 구성된다. 기판(S)은 샤프트(202) 상에 올려지고 샤프트(202)의 회전에 의해 이송된다. 경사 변환 장치(200)는 기판 이송 기구(100)와 구조적으로 조합되어 기판 이송 기구(100)의 일측을 상승시켜 기판(S)을 기울어진 상태에 놓이게 하거나, 기판(W)을 기울어진 상태로 유지시켜 이송한다.Referring to FIG. 1, the inclination converting apparatus 200 according to the exemplary embodiment of the present invention is an apparatus for tilting the substrate S by converting the inclination of the substrate transfer mechanism 100 for transferring the substrate S. Referring to FIG. The substrate transfer mechanism 100 includes a shaft 202 in which a plurality of rollers 203 are fitted, and a plate 201 provided with the shaft 202. The substrate S is mounted on the shaft 202 and transported by the rotation of the shaft 202. The tilt conversion device 200 is structurally combined with the substrate transfer mechanism 100 to raise one side of the substrate transfer mechanism 100 so that the substrate S is in an inclined state, or the substrate W is in an inclined state. Keep it and transport it.

경사 변환 장치(200)는 베이스(110)에 장착되어 기판 이송 기구(100)를 상승시키는데 필요한 구동력을 발생시키는 실린더(130)를 포함한다. 베이스(110)에는 실린더(130)를 장착할 수 있는 프레임(114)이 있고, 이 프레임(114)과 실린더(130) 는 제1 연결부(132)를 통해 구조적으로 조합된다.The inclination converting apparatus 200 includes a cylinder 130 mounted on the base 110 to generate a driving force necessary to raise the substrate transfer mechanism 100. The base 110 has a frame 114 to which the cylinder 130 can be mounted, and the frame 114 and the cylinder 130 are structurally combined through the first connecting portion 132.

실린더(130)는 제1 연결부(132)를 회전축으로 삼아 수직축(I-I)에서 좌측 방향인 A1 방향 또는 우측 방향인 A2 방향으로 회전 가능하게 베이스(110)에 조합된다. 실린더(130)에는 수직축(I-I)을 따라 신축이 가능한 로드(134)가 마련되어 있고, 이 로드(134)는 제2 연결부(127)를 통해 링크 바(120)와 연결된다. 링크 바(120)의 좌측 일단은 제3 연결부(124)를 매개로 이동부(122)와 연결되고, 이동부(122)는 베이스(110)에 배치된 리니어 가이드(112)에 이동 가능하게 조합된다. 리니어 가이드(112)는 수평축(Ⅱ-Ⅱ)을 따라 연장된다. 이동부(122)는 리니어 가이드(112) 상에서 좌측 방향(C2) 또는 우측 방향(C1)으로 수평적으로 슬라이딩된다.The cylinder 130 is coupled to the base 110 using the first connection part 132 as a rotation axis to be rotatable in the A 1 direction in the left direction or the A 2 direction in the right direction from the vertical axis II. The cylinder 130 is provided with a rod 134 that can expand and contract along the vertical axis II, and the rod 134 is connected to the link bar 120 through the second connecting portion 127. One end of the left side of the link bar 120 is connected to the moving part 122 via the third connecting part 124, and the moving part 122 is movably combined with the linear guide 112 disposed on the base 110. do. The linear guide 112 extends along the horizontal axis II-II. The moving part 122 slides horizontally in the left direction C 2 or the right direction C 1 on the linear guide 112.

링크 바(120)는 제3 연결부(124)를 회전축으로 삼아 수평축(Ⅱ-Ⅱ)에서 상향인 B1 방향 또는 하향인 B2 방향으로 회전 가능하게 설치된다. 링크 바(120)의 우측 일단은 제4 연결부(126)를 매개로 기판 이송 기구(100)를 지지하는 지지부(128)와 연결된다. 제4 연결부(126)는 제3 연결부(124)에 비해 제4 연결부(126)에 더 가깝도록 링크 바(120)의 우측 일단에 설치된다.The link bar 120 is rotatably installed in the direction B 1 upward or downward B 2 in the horizontal axis II-II using the third connection part 124 as the rotation axis. One end of the right side of the link bar 120 is connected to the support part 128 supporting the substrate transfer mechanism 100 via the fourth connection part 126. The fourth connector 126 is installed at the right end of the link bar 120 to be closer to the fourth connector 126 than to the third connector 124.

지지부(128)는 플레이트(201)의 우측 일단(201a)에 고정 연결된다. 지지부(128)는 링크 바(120)의 동작에 의거하여 플레이트(201)의 우측 일단(201a)을 상향인 D1 방향으로 상승시키거나 하향인 D2 방향으로 하강시킨다. 이로써, 기판 이송 기구(200) 경사 변환된다. 한편, 플레이트(201)가 D2 방향으로 하향되는 경우 베이 스(110)에 설치된 스톱퍼(140)에 의해 D2 방향으로의 하향 이동이 정지되어 플레이트(201)가 수평 상태를 유지하게 된다.The support part 128 is fixedly connected to the right end 201a of the plate 201. The support part 128 raises the right end 201a of the plate 201 in the upward direction D 1 or downward in the downward direction D 2 based on the operation of the link bar 120. As a result, the substrate transfer mechanism 200 is inclinedly converted. On the other hand, plate 201 is down when the downward movement in the D 2 direction by the stopper 140 is installed on the base 110 is stopped by a direction D 2 is the plate 201 maintains a horizontal state.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 기구의 경사 변환 장치의 동작을 도시한 측면도이다.2 is a side view showing the operation of the inclination converter of the substrate transfer mechanism according to the embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 실린더(130)가 동작하여 로드(134)가 신장하게 되는 경우 실린더(130)는 제1 연결부(132)를 기준으로 수직축(I-I)에서 A1 방향으로 회전하고 이와 동시에 이동부(122)는 우측 수평 방향(C2)으로 슬라이딩된다. 이에 따라 링크 바(120)는 제3 연결부(124)를 중심으로 수평축(Ⅱ-Ⅱ)에서 B1 방향으로 회전하게 된다. 링크 바(120)가 B1 방향으로 회전하게 되면 지지부(128)가 플레이트(201)를 D1 방향으로 들어올리게 되어 결국 기판 이송 기구(200)는 경사지게 된다. 즉, 제2 연결부(124)가 형성된 링크 바(120)의 좌측 일단은 수평적으로 슬라이딩되고, 제4 연결부(126)가 형성된 링크 바(120)의 우측 일단은 수직적으로 상승하게 되어, 제4 연결부(126)를 매개로 링크 바(120)의 우측 일단과 연결된 기판 이송 기구(200)가 상승하게 되는 것이다. 따라서, 기판(S)은 경사진 형태로 이송되거나 유지된다. 이와 반대로, 로드(134)가 수축하게 되면 상술한 동작의 역순으로 진행하게 되어 기판 이송 기구(200)는 스톱퍼(140)에 의해 수평 상태를 유지하게 된다.Referring to FIG. 2, when the cylinder 130 operates to extend the rod 134, the cylinder 130 rotates in the A 1 direction on the vertical axis II based on the first connection portion 132 and simultaneously moves. The portion 122 is slid in the right horizontal direction C 2 . Accordingly, the link bar 120 is rotated in the B 1 direction on the horizontal axis II-II about the third connecting portion 124. When the link bar 120 rotates in the B 1 direction, the support 128 lifts the plate 201 in the D 1 direction, and the substrate transfer mechanism 200 is inclined. That is, the left end of the link bar 120 on which the second connection part 124 is formed is slid horizontally, and the right end of the link bar 120 on which the fourth connection part 126 is formed is vertically raised, and thus the fourth The substrate transfer mechanism 200 connected to one end of the right side of the link bar 120 is raised through the connection portion 126. Thus, the substrate S is transferred or held in an inclined form. On the contrary, when the rod 134 is retracted, the rod 134 is reversed, and the substrate transfer mechanism 200 maintains the horizontal state by the stopper 140.

이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니며, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 다른 조합, 변 경 및 환경에서 사용할 수 있다. 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.The detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments, but may be used in various other combinations, changes, and environments without departing from the spirit of the invention. The appended claims should be construed to include other embodiments.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 실린더의 동작에 따라 링크 바가 리니어 가이드 상에서 이동 및 경사 변환 동작을 하게 되고 링크 바에 연결된 기판 이송 기구가 경사지거나 수평 상태로 변환된다. 이와 같은 링크 구조로 인해 기판 이송 기구를 경사 변환시키는 장치의 간소화를 이룰 수 있고 경사 변환 장치가 차지하는 공간을 비교적 적게 차지하게 할 수 있게 된다. 따라서, 경사 변환 장치의 간소화, 안정화 및 경사 변환 동작의 유연성을 확보할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, according to the present invention, the link bar is moved and tilted on the linear guide according to the operation of the cylinder, and the substrate transfer mechanism connected to the link bar is inclined or converted into a horizontal state. Such a link structure makes it possible to simplify the apparatus for tilting the substrate transfer mechanism and to occupy a relatively small space occupied by the tilt converter. Therefore, there is an effect that the simplification, stabilization, and flexibility of the tilt conversion operation can be ensured.

Claims (10)

수평축을 따라 연장된 리니어 가이드가 설치된 베이스;A base provided with a linear guide extending along a horizontal axis; 상기 리니어 가이드와는 제1 연결부를 매개로 연결되어 상기 리니어 가이드 상에서 상기 수평축을 따라 수평적으로 슬라이딩되고 상기 제1 연결부를 회전축으로 하여 회전 가능한, 기판 이송 기구와 조합된 링크 바; 및A link bar coupled with the linear guide, the link bar being coupled to the linear guide and slid horizontally along the horizontal axis on the linear guide and rotatable with the first connecting part as a rotation axis; And 상기 링크 바와는 제2 연결부를 매개로 연결되어 상기 링크 바를 슬라이딩시키고 회전시키는 구동력을 발생시키는 실린더;A cylinder connected to the link bar through a second connecting portion to generate a driving force for sliding and rotating the link bar; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.Inclination conversion apparatus of the substrate transfer mechanism comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 링크 바는 제3 연결부를 매개로 상기 기판 이송 기구와 연결되어 상기 기판 이송 기구의 일단을 승강시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And said link bar is connected to said substrate transfer mechanism via a third connecting portion to elevate one end of said substrate transfer mechanism. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제2 연결부는 상기 제1 연결부에 비해 상기 제3 연결부에 더 근접하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And the second connection portion is closer to the third connection portion than the first connection portion. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 실린더는 제4 연결부를 매개로 상기 베이스와 연결되어 상기 제4 연결부를 회전축으로 하여 회전 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And said cylinder is connected to said base via a fourth connecting portion and is rotatable using said fourth connecting portion as a rotating shaft. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 실린더는 수직축을 따라 신축하며 상기 제4 연결부를 매개로 상기 링크 바와 연결된 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And the cylinder extends along a vertical axis and includes a rod connected to the link bar via the fourth connection portion. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 기판 이송 기구의 하강을 정지시키는 스톱퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And a stopper for stopping the lowering of the substrate transfer mechanism. 리니어 가이드가 구비된 베이스와;A base provided with a linear guide; 상기 리니어 가이드와는 제1 연결부를 매개로 연결되어 상기 리니어 가이드 상에서 수평적으로 슬라이딩되는 일단과, 제2 연결부를 매개로 기판 이송 기구와 연결되어 수직적으로 승하강되는 타단을 가지는 링크 바와;A link bar having one end connected to the linear guide via a first connection part and slid horizontally on the linear guide, and the other end connected to a substrate transfer mechanism via a second connection part and vertically lifted up and down; 상기 제1 연결부에 비해 상기 제2 연결부에 더 근접하는 제3 연결부를 매개로 상기 링크 바의 타단과 연결되어 상기 링크 바의 슬라이딩 및 승하강에 소요되는 구동력을 발생시키는 실린더와;A cylinder connected to the other end of the link bar via a third connection part closer to the second connection part than the first connection part to generate driving force for sliding and lifting of the link bar; 상기 베이스에 설치되어 상기 기판 이송 기구의 하강 동작을 정지시키는 스톱퍼;A stopper installed on the base to stop the lowering operation of the substrate transfer mechanism; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.Inclination conversion apparatus of the substrate transfer mechanism comprising a. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 링크 바는 상기 제1 연결부를 회전축으로 삼아 회전하여 상기 링크 바의 타단이 승하강하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And the link bar rotates using the first connection part as a rotation axis, and the other end of the link bar moves up and down. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 실린더는 제4 연결부를 매개로 상기 베이스에 설치되고, 상기 제4 연결부를 회전축으로 삼아 회전 가능한 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And said cylinder is mounted on said base via a fourth connecting portion, and is rotatable using said fourth connecting portion as a rotation axis. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 실린더는 상기 제3 연결부를 매개로 상기 링크 바의 타단과 연결되어 상기 실린더에서 발생되는 구동력을 상기 링크 바로 전달하는 수직적으로 신축하는 로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 기구의 경사 변환 장치.And the cylinder includes a vertically extending rod connected to the other end of the link bar via the third connecting portion to transfer driving force generated in the cylinder to the link bar.
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