KR20090088809A - 커터날의 청소 방법 및 커터날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 접착 장치 - Google Patents

Abstract

점착 테이프를 절단하고 대기 위치로 커터날을 복귀시킨 후에, 청소용 유닛을 커터날의 하방으로 이동시키고 커터날을 소정 높이로 하강시킨다. 이때, 세정액을 함침시킨 청소용 부재에 커터날을 찔러 커터날의 부착물 청소 처리를 행하는 동시에, 찌르기 청소 과정마다 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변경한다.

점착 테이프, 커터날, 세정액, 부착물 청소 처리, 청소용 유닛

Description

커터날의 청소 방법 및 커터날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 접착 장치 {CUTTER BLADE CLEANING METHOD AND CUTTER BLADE CLEANING DEVICE, AS WELL AS ADHESIVE TAPE JOINING APPARATUS INCLUDING THE SAME}

본 발명은, 반도체 웨이퍼나 글래스 기판 등의 기판의 표면에 접착된 보호용의 점착 테이프를 기판 외형을 따라 도려내는 커터날의 청소 방법 및 커터날의 청소 장치, 및 이것을 구비한 점착 테이프 접착 장치에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 적절하게 「웨이퍼」라고 한다)의 표면에 표면 보호용의 점착 테이프를 접착하여 절단하는 방법은, 다음과 같이 행해진다. 척 테이블에 재치 유지된 웨이퍼의 표면에 점착 테이프를 공급하여 접착 롤러를 전동(轉動) 이동시켜 점착 테이프를 웨이퍼의 표면에 접착한다. 그 후, 점착 테이프에 커터날을 찌른 상태로 커터날을 웨이퍼의 외주를 따라 주행시키거나, 혹은 척 테이블을 회전시켜 웨이퍼의 외주를 따라 커터날을 상대 주행시키거나 한다. 이 방법에 의해, 보호 테이프를 웨이퍼 외주를 따라 절단하는 것이 알려져 있다(일본 특허 출원 공개 제2006-15453호 공보 및 일본 특허 출원 공개 제2004-25438호 공보를 참조).

점착 테이프를 웨이퍼 외주를 따라 절단하는 커터날에는, 점착 테이프의 점 착제가 접착되어 잔존하는 경우가 있다. 이 부착물이 퇴적되어 오면 커터날의 절단 성능이 저하되어 점착 테이프의 절단면 등의 마무리가 나빠진다. 따라서, 종래에는, 절단 마무리의 악화 경향이 인정된 시점, 혹은 정기적으로 커터날의 부착물을 수작업으로 닦아내고, 커터날에의 점착제 부착 억제용의 이형제의 도포를 행하고 있었다.

그러나, 수작업에 의한 커터날의 메인터넌스 작업은 시간이 걸리는 동시에, 연속되는 점착 테이프 접착 작업을 어쩔 수 없이 중단하게 된다. 그 결과, 작업 능률의 저하를 초래하는 한 원인이 된다.

본 발명은, 커터날의 청소를 능률적으로 행하는 동시에, 커터날을 장기간에 걸쳐 사용을 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 채용한다.

기판에 접착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 도려내는 커터날의 청소 방법으로서, 상기 방법은 이하의 과정을 포함한다.

청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위시키면서 커터날의 부착물의 청소 처리를 한다.

본 발명의 커터날의 청소 방법에 따르면, 커터날을 청소용 부재에 찌름으로써 커터날에 접착된 점착제 등의 부착물을 청소용 부재로 닦아내거나, 혹은 날 끝의 절단 작용 위치로부터 상방으로 떨어진 위치로까지 부착물을 밀어 올려 이동시키거나 할 수 있다. 청소 후에는 점착제 등의 이물이 부착되어 있지 않으므로, 점착 테이프를 정밀도 높게 절단할 수 있다. 또한, 동시에 마찰 저항에 의한 과도한 스트레스가 커터날에 가해지지 않으므로, 날 끝의 결손 등을 억제할 수 있다. 그 결과, 동일한 커터날을 장기에 걸쳐 사용할 수 있다.

또한, 커터날을 청소용 부재에 찌르는 과정마다, 청소용 부재에의 찌르기 위치가 변위되므로, 앞선 청소 과정에 있어서 청소용 부재에 닦아내어진 부착물이 커터날에 재접착되는 일은 없다. 따라서, 매회, 적합한 청소 처리를 행할 수 있다.

또한, 상기 방법에 있어서, 청소용 부재에 커터 날을 찌를 때마다, 찌르기 깊이를 점차 얕게 해 가는 것이 바람직하다.

이 방법에 따르면, 부착물이 완전하게 닦아내어지지 않고 커터날에 잔존되어 있어도, 그 부착물은 다음 테이프 절단 과정에 있어서 절단 위치보다도 상방으로 밀어 올려져 잔존된다. 따라서, 항상 깨끗한 칼날 가장자리에 의한 테이프 절단을 행할 수 있다.

청소용 부재는, 예를 들어 세정액을 함침시킨 것이다.

커터날을 청소용 부재에 찌름으로써, 커터날에 부착된 점착제 등의 부착물을 청소용 부재에 함침시킨 세정액으로 용융 혹은 연화시켜 닦아내거나, 혹은 날 끝의 절단 작용 위치로부터 상방으로 떨어진 위치로까지 연화된 부착물을 밀어 올려 이동시키거나 할 수 있다.

또한, 세정액은, 예를 들어 부착 방지용의 이형성을 구비한 것이 사용된다.

당해 세정액은, 청소용 부재에 커터날을 찔러 부착물을 제거했을 때 칼날 가장자리에 이형성을 구비한 세정액이 도포된다. 따라서, 세정액의 이형성에 의해 점착제가 부착되기 어려운 상태로 다음 테이프 절단 과정으로 이행할 수 있다.

커터날은 세정액을 함침시킨 제1 청소용 부재에 찌른 후에, 부착 방지용의 이형제를 함침시킨 제2 청소용 부재에 찌르는 것이 바람직하다.

이 경우, 점착 테이프에 있어서의 점착제의 물성에 맞춘 세정액과, 부착 방지 성능이 우수한 이형제를 임의로 조합하여 사용할 수 있다. 따라서, 적합한 청소와 부착 억제 처리를 행할 수 있다.

커터날에의 부착물의 유무를 감시 센서에 의해 감시하는 것이 바람직하고, 또한 커터날의 부착물을 감시 센서에 의해 검출했을 때 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위시켜 다시 커터날을 당해 청소용 부재에 찌르는 것이 바람직하다.

커터날에의 부착물의 유무 또는 미리 정한 소정량 이상이 되었을 때에 검지 시킴으로써 커터날의 찌르기 청소 처리의 시기를 알 수 있다. 따라서, 부착이 없을 때나 테이프 절단을 지장없이 행할 수 있을 정도의 부착밖에 발생하지 않을 때의 찌르기 청소 처리를 회피할 수 있다. 따라서, 필요 최소한도의 빈도로 청소 처리를 행하면서 항상 양호한 테이프 절단 처리를 행할 수 있다.

또한, 찌르기 청소 처리의 직후에도 감시를 행함으로써 부착물의 잔존 상황을 확인하여 청소가 불충분하면 찌르기 청소 처리를 재차 행할 수 있다. 따라서, 이후의 테이프 절단 처리를 깨끗한 커터날로 적절하게 행하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명은 이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 채용한다.

기판에 접착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 도려내는 커터날의 청소 장치로서, 상기 장치는 이하의 구성 요소를 포함한다.

상기 커터날을 상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강시킬 수 있도록 배치하고,

상기 커터날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 떨어진 후퇴 위치에 걸쳐 이동 가능한 청소용 부재를 구비하고,

상기 청소용 부재와 커터날을 상대적으로 이동시켜서 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위 가능하게 구성하고 있다.

본 발명의 커터날의 청소 장치에 따르면, 상기 방법을 적절하게 실시할 수 있다.

또한, 상기 장치는 이하와 같이 구성하는 것이 바람직하다.

예를 들어, 커터날의 찌르기 위치를 기점으로 하여 청소용 부재를 회전 가능하게 구성한다.

이 구성에 따르면, 예를 들어 청소용 부재를 직선적으로 이동시켜 커터날의 찌르기 위치를 변경하는 수단에 비해 청소용 부재를 소형화할 수 있다.

또한, 청소용 부재의 청소용 위치로부터 후퇴 위치로의 이동에 연동하여 청소용 부재를 소정 각도 회전시키는 래칫식의 피치 이송 수단을 구비한다.

이 구성에 따르면, 모터 등의 피치 이송 전용의 액추에이터를 필요로 하지 않고 청소용 부재를 피치 이송 회전시킬 수 있다. 따라서, 저렴하게 실시할 수 있다.

또한, 내부를 격벽으로 구획한 2구획을 갖는 용기를 구비하고, 용기의 한 쪽에 세정액을 함침시킨 청소용 부재를 수납하고, 다른 쪽의 이형성을 갖는 액체를 함침시킨 청소용 부재를 수납하여 구성한다.

이 구성에 따르면, 커터날의 세정과 메인터넌스를 동일한 구성으로 행할 수 있다.

또한, 용기에 저류된 세정액에 상기 청소용 부재를 침지 수용하는 동시에, 용기 내에 있어서의 세정액의 액면 레벨을 검지하는 센서와,

검지한 상기 액면 레벨의 실측값과 미리 정한 기준값을 비교하는 연산 수단과,

상기 실측값과 기준값의 비교 결과, 실측값이 기준값을 하회했을 때에 알리는 통지 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 청소용 부재에 함침시킨 세정액의 소비를, 용기 내에 있어서의 세정액의 액면 레벨로 검지하여 세정액의 보충 시기를 알 수 있는 것이 용이해진다. 따라서, 청소용 부재의 표면에까지 세정액이 함침되지 않는 세정액 부족 상태로 찌르기 청소 처리를 행하는 사태를 미연에 회피할 수 있다.

또한, 본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 채용한다.

점착 테이프 접착 장치로서, 상기 장치는 이하의 구성 요소를 포함한다.

기판을 재치 유지하는 척 테이블과,

상기 척 테이블에 재치 유지된 기판의 상방에 표면 보호용의 점착 테이프를, 그 점착면이 하향이 되는 자세로 기판의 상방으로 공급하는 테이프 공급 수단과,

공급된 상기 점착 테이프를 압박하면서 전동 이동시켜 기판에 접착하는 접착 롤러와,

승강 가능한 커터날을 기판에 접착된 점착 테이프에 찔러 기판 외주를 따라 상대 주행시키는 테이프 절단 장치와,

테이프 절단에 의해 발생한 불필요한 테이프를 박리 회수해 가는 박리 롤러 와,

상기 커터날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 떨어진 후퇴 위치에 걸쳐 이동 가능한 청소용 부재를 구비하고,

상기 청소용 부재와 커터날을 상대적으로 이동시켜 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위 가능하게 구성하고 있다.

이 구성에 따르면, 기판으로의 점착 테이프의 접착, 기판 외주를 따른 테이프 절단 및 불필요한 테이프의 회수를 연속하여 능률적으로 행할 수 있는 동시에, 커터날의 청소 처리를 사람의 손을 번거롭게 하지 않고 행할 수 있다. 즉, 항상 깨끗한 날 가장자리에 의한 테이프 절단을 행하여 테이프 절단면이 깨끗한 테이프 접착을 행하는 것이 가능해진다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.

도 1은 점착 테이프 접착 장치의 일례인 보호 테이프 접착 장치의 전체 구성을 도시하는 사시도이다.

이 보호 테이프(점착 테이프) 접착 장치는 기판의 일례인 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 한다)(W)를 수납한 카세트(C)가 장전되는 웨이퍼 공급/회수부(1), 로봇 아암(2)을 구비한 웨이퍼 반송 기구(3), 얼라인먼트 스테이지(4), 웨이퍼(W)를 재치하여 흡착 유지하는 척 테이블(5), 웨이퍼(W)의 상방을 향하여 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 공급하는 테이프 공급부(6), 테이프 공급부(6)로부 터 공급된 세퍼레이터를 갖는 점착 테이프(T)로부터 세퍼레이터(s)를 박리 회수하는 세퍼레이터 회수부(7), 척 테이블(5)에 재치되어 흡착 유지된 웨이퍼(W)에 점착 테이프(T)를 접착하는 접착 유닛(8), 웨이퍼(W)에 접착된 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 외형을 따라 도려내는 테이프 절단 장치(9), 웨이퍼(W)에 접착하여 절단 처리한 후의 불필요한 테이프(T')를 박리하는 박리 유닛(10), 박리 유닛(10)에 의해 박리된 불필요한 테이프(T')을 권취하여 회수하는 테이프 회수부(11) 등이 구비되어 있다. 상기 각 구조부 및 기구에 대한 구체적인 구성을 이하에 설명한다.

웨이퍼 공급/회수부(1)에는 2대의 카세트(C)를 병렬하여 장전 가능하다. 각 카세트(C)에는, 복수매의 웨이퍼(W)가 배선 패턴면(표면)을 상향으로 한 수평 자세로 다단으로 끼워 넣어져 수납되어 있다.

웨이퍼 반송 기구(3)에 구비된 로봇 아암(2)은 수평으로 진퇴 이동 가능하게 구성되는 동시에, 전체가 구동 선회 및 승강 가능하게 되어 있다. 그리고, 로봇 아암(2)의 선단부에는 말굽형을 한 진공 흡착식의 웨이퍼 유지부(2a)가 구비되어 있다. 즉, 카세트(C)에 다단으로 수납된 웨이퍼(W)끼리의 간극에 웨이퍼 유지부(2a)를 끼워 넣어 웨이퍼(W)를 이면으로부터 흡착 유지한다. 로봇 아암(2)은, 흡착 유지한 웨이퍼(W)를 카세트(C)로부터 빼내어, 얼라인먼트 스테이지(4), 척 테이블(5) 및 웨이퍼 공급/회수부(1)의 순으로 반송하도록 되어 있다.

얼라인먼트 스테이지(4)는, 웨이퍼 반송 기구(3)에 의해 반입 재치된 웨이퍼(W)를 그 외주에 형성된 노치나 오리엔테이션 플랫에 기초하여 위치 정렬을 행한다.

척 테이블(5)은 웨이퍼 반송 기구(3)로부터 이동 탑재되어 소정의 위치 정렬 자세로 재치된 웨이퍼(W)를 진공 흡착하게 되어 있다. 또한, 이 척 테이블(5)의 상면에는, 도 2에 도시한 바와 같이 후술하는 점착 테이프 절단 장치(9)에 구비한 커터날(12)을 웨이퍼(W)의 외형을 따라 선회 이동시켜 점착 테이프(T)를 절단하기 위하여 커터 주행 홈(13)이 형성되어 있다.

테이프 공급부(6)는 공급 보빈(14)으로부터 조출된 세퍼레이터(s)를 갖는 점착 테이프(T)를 가이드 롤러(15)군에 권회 안내하고, 세퍼레이터(s)를 박리한 점착 테이프(T)를 접착 유닛(8)으로 유도하도록 구성되어 있다. 또한, 공급 보빈(14)은 적절한 회전 저항을 부여하여 지나친 테이프 조출이 행해지지 않도록 구성되어 있다.

세퍼레이터 회수부(7)는 점착 테이프(T)로부터 박리된 세퍼레이터(s)를 권취하는 회수 보빈(16)이 권취 방향으로 회전 구동되도록 되어 있다.

접착 유닛(8)에는 도 8에 도시한 바와 같이 접착 롤러(17)가 전방 수평으로 구비되어 있다. 이 접착 롤러(17)는 슬라이드 안내 기구(18) 및 도시되지 않은 나사 이송식의 구동 기구에 의해 좌우 수평으로 왕복 구동되도록 되어 있다.

박리 유닛(10)에는 박리 롤러(19)가 전방 수평으로 구비되어 있으며, 슬라이드 안내 기구(18) 및 도시되지 않은 나사 이송식의 구동 기구에 의해 좌우 수평으로 왕복 이동되도록 되어 있다.

테이프 회수부(11)는 불필요한 테이프(T')를 권취하는 회수 보빈(20)이 권취 방향으로 회전되게 되어 있다.

테이프 절단 장치(9)는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 상하 이동 가능한 승강대(21)의 하부에, 척 테이블(5)의 중심 상에 위치하는 종축심(X) 주위로 선회 가능하게 한 쌍의 지지 아암(22)이 병렬 장비되어 있다. 이 지지 아암(22)의 자유단부측에 구비한 커터 유닛(23)에 날 끝을 하향으로 한 커터날(12)이 장착되어 있다. 즉, 지지 아암(22)이 종축심(X)을 중심으로 하여 선회함으로써 커터날(12)이 웨이퍼(W)의 외주를 따라 이동하여 점착 테이프(T)를 도려내도록 구성되어 있다.

승강대(21)는 모터(24)를 정역 회전함으로써 세로 프레임(25)을 따라 나사 이송 승강되도록 되어 있다. 이 승강대(21)의 자유단부에 종축심(X) 주위로 회전 가능하게 장비된 회전축(26)이 승강대(21) 위에 배치된 모터(27)에 2개의 벨트(28)를 통하여 감속하도록 연동되어 있다. 즉, 모터(27)의 작동에 의해 회전축(26)이 소정의 방향으로 회전되게 되어 있다. 그리고, 이 회전축(26)으로부터 하방으로 연장된 지지 부재(29)의 하단부에 지지 아암(22)이 수평 방향으로 슬라이드 조절 가능하게 관통 지지되어 있다. 따라서, 지지 아암(22)의 슬라이드 조절에 의해 종축심(X)으로부터의 커터날(12)까지의 거리가 변경 가능하게 되어 있다. 즉, 커터날(12)의 선회 반경을 웨이퍼 직경에 대응하여 변경 조절하는 것이 가능하게 되어 있다.

지지 아암(22)의 자유단부에는, 도 3으로부터 도 5에 도시한 바와 같이, 브래킷(30)이 고착되어 있다. 이 브래킷(30)에 커터 유닛(23)이 장착 및 지지되어 있다. 커터 유닛(23)은 브래킷(30)에 종축심(Y) 주위로 소정 범위 내에서 회전 가능하게 지지된 회전 부재(31), 회전 부재(31)의 단부 하면에 연결된 세로 벽 형상 의 지지 브래킷(32), 지지 브래킷(32)의 측면에 연결된 커터 지지 부재(33), 커터 지지 부재(33)에 지지된 브래킷(34), 이 브래킷(34)에 설치된 커터 홀더(35) 등으로 구성되어 있다. 또한, 커터날(12)은 커터 홀더(35)의 측면에 교환 가능하게 체결되어 고정되어 있다.

여기서, 회전 부재(31)의 상방에는, 긴 구멍(36)과 돌기(37)의 결합에 의해 회전 부재(31)와 일체로 회전하는 조작 플랜지(38)가 배치되어 있다. 이 조작 플랜지(38)를 에어 실린더(39)에 의해 회전시킴으로써 지지 아암(22)에 대한 커터 유닛(23) 전체의 종축심(Y) 주위에서의 자세를 변경한다. 즉, 에어 실린더(39)의 동작에 의해 이동 방향에 대한 커터날(12)의 각도(절입 각도)를 소정의 범위 내에서 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

커터 지지 부재(33)에 대하여 브래킷(34)은 안내 레일 기구(40)를 통하여 지지 아암(22)의 길이 방향(도 5에 있어서는 종이면 표리 방향)으로 직선 슬라이드 이동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 커터 지지 부재(33)와 브래킷(34)에 걸쳐 스프링(42)이 설치되어 있다. 이 스프링(42)의 탄성 복원력에 의해 브래킷(34)은, 도 6에 도시한 바와 같이 종축심(선회 중심)(X)에 근접하는 방향으로 슬라이드 압박되고 있다.

커터 지지 부재(33)의 선회 중심측에는 브래킷(34)의 슬라이드 방향을 따른 자세의 에어 실린더(43)가 스테이(41)를 통하여 고정 장비되어 있다. 이 에어 실린더(43)의 피스톤 로드(43a)가 브래킷(34)의 단부면에 접촉 가능하게 배치되어 있다.

또한, 이 테이프 절단 장치(9)에는, 도 12 내지 도 14에 도시한 바와 같이 커터날(12)에 접착된 점착제 등을 제거하는 커터날 청소 장치(50)가 구비되어 있다.

이 커터날 청소 장치(50)는 세로 프레임(25)의 하방 배후에 있어서 승강대(21)의 돌출 방향(이하, 전방이라고 호칭한다)과 역방향(이하, 후방이라고 호칭한다)을 향하여 수평 배치된 베이스(51), 베이스(51) 상에 전후 방향을 향하여 수평 배치된 로드리스 실린더(52), 로드리스 실린더(52)에 연결되어 베이스(51) 상의 안내 레일(53)을 따라 전후로 왕복 이동되는 가동대(54), 가동대(54)에 연결 지지되어 전방을 향하여 수평 외팔보 형상으로 연장된 지지 아암(55), 이 지지 아암(55)의 선단부에 구비된 청소 유닛(56) 등에 의해 구성되어 있다.

청소 유닛(56)은 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 지지 아암(55)의 전단부에 연결된 지지 브래킷(57), 지지 브래킷(57)의 전방부에 종축심(a) 주위로 회전 가능하게 피봇 지지된 회전대(58), 회전대(58)에 상방으로부터 끼워 넣어져 나사 고정된 원형 컵 형상의 용기(59), 지지 브래킷(57)의 후방부에 있어서 종축심(b) 주위로 회전 가능하게 피봇된 래칫 휠(60) 등에 의해 구성되어 있다. 회전대(58)의 지지축(61)에 연결된 풀리(62)와 래칫 휠(60)의 지지축(63)에 연결된 풀리(64)에 걸쳐 논슬립형의 벨트(65)가 권회되어 설치되어 있다.

가동대(54)가 가장 전방으로 이동했을 때의 용기(59)는, 도 12 및 도 14에 도시한 바와 같이 상방의 퇴피 위치에 있는 커터날(12)의 승강 이동 경로로 돌입된 청소용 위치(c)에 있다. 또한, 가동대(54)가 후방으로 이동함으로써 용기(59)는 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이 커터날(12)의 승강 이동 경로로부터 후방으로 크게 떨어진 후퇴 대기 위치(d)에 있도록 가동대(54)의 전후 이동 스트로크가 설정되어 있다.

용기(59)에는, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이 세정액이 저류되는 동시에, 스펀지 등의 다공질 부재로 이루어지는 청소용 부재(66)가 장전되어 있다. 이 청소용 부재(66)는 모세관 현상으로 소정량의 세정액이 골고루 표면까지 배어나와 있다. 청소용 부재(66)의 중앙에는 상하로 관통하는 투과 구멍(67)이 형성되어 있어, 이 투과 구멍(67)에 세정액의 액면이 노출되도록 되어 있다.

청소용 위치(c)에 있는 용기(59)의 중심은 커터날(12)의 승강 이동 경로로부터 벗어나 있다. 즉, 하강된 커터날(12)이 청소용 부재(66)의 투과 구멍(67)으로부터 벗어난 위치에 찔리도록 설정되어 있다.

후퇴 대기 위치(d)에 있는 용기(59)의 바로 상방에는 레이저 빔을 사용하여 대상물까지의 거리를 검출하는 반사식의 센서(68)가 고정 배치되어 있다. 이 센서(68)는 후퇴 대기 위치(d)에 있는 용기(59)의 청소용 부재(66)의 중심을 향하여 레이저 빔을 조사하여 투과 구멍(67)에 면하는 세정액의 액면 레벨(L)을 검출하도록 구성되어 있다.

지지 브래킷(57)의 후방부에는 래칫 휠(60)의 외주 갈고리부(60a)에 결합되는 역회전 방지 갈고리(69)가 지지축(e) 주위로 회전 가능하면서, 또한 스프링(70)에 의해 결합 방향으로 회전 압박되어 배치되어 있다. 따라서, 도 15에 있어서 래칫 휠(60)이 반시계 방향으로만 회전하는 것이 허용되어 있다.

베이스(51)의 전방부에는, 도 17에 도시한 바와 같이 평면 형상 L형의 고정대(71)가 연결되고, 이 고정대(71)의 단부에 래칫 휠(60)의 외주 갈고리부(60a)에 대향하는 이송 갈고리(72)가 세로 지지축(f) 주위로 요동 가능하게 피봇 연결되어 있다. 이 이송 갈고리(72)는 래칫 휠(60)로의 결합 방향으로 스프링(73)에 의해 요동 압박되는 동시에 스토퍼 볼트(74)에 의해 그 압박 요동 방향으로의 한도가 접촉 규제되어 있다.

래칫 휠(60)은 청소 유닛(56)의 전후 왕복 이동에 연동되어 이하와 같이 피치 이송 회전된다. 이 회전에 의해 용기(59)의 청소용 부재(66)가 일정 방향으로 순서대로 이송 회전된다.

즉, 도 14에 도시한 바와 같이 청소 유닛(56)이 전진 이동하여 용기(59)가 청소용 위치(c)로 이동한 상태에서는 래칫 휠(60)은 이송 갈고리(72)로부터 떨어져 있고, 역회전 방지 갈고리(69)와의 결합에 의해 소정의 회전 자세로 유지되고 있다.

이 경우, 자유 상태의 이송 갈고리(72)는 스토퍼 볼트(74)에 의해 접촉 규제된 자세까지 압박 요동되어 그 갈고리 끝이 래칫 휠(60)의 전후 이동 경로로 돌입된 대기 자세가 된다.

청소 유닛(56)의 후퇴 이동에 수반하여 용기(59)가 청소용 위치(c)로부터 후퇴 이동할 때, 후퇴 대기 위치(d)에 도달하기 바로 전에 있어서, 도 17에 도시한 바와 같이 대기 자세로 대기하고 있는 이송 갈고리(72)의 갈고리 끝에 래치 휠(60)의 외주 갈고리부(60a)가 결합된다. 이 상태에서 청소 유닛(56)이 더 후퇴 이동 함으로써 이송 갈고리(72)에 결합된 래칫 휠(60)은 상대적으로 회전력을 받아, 역회전 방지 갈고리(69)를 타고 넘어 요동시키면서 소정 방향(도 17에서의 반시계 방향)으로 회전된다.

도 13에 도시한 바와 같이, 청소 유닛(56)이 후퇴 위치(d)까지 후퇴 이동한 상태에서는 도 18에 도시한 바와 같이 래치 휠(60)은 후퇴 이동을 개시하기 전부터 소정의 이송 각도θ만큼 회전된다. 이것에 연동되어 용기(59)가 동일 각도만큼 동일 방향으로 회전된다. 이와 같이, 청소 유닛(56)이 청소용 위치(c)로부터 후퇴 대기 위치(d)로 후퇴 이동할 때마다 용기(59)의 피치 이송이 행해진다. 또한, 스토퍼 볼트(74)의 돌출량을 작게 하여 대기 자세에 있는 이송 갈고리(72)의 갈고리 끝을 래칫 휠(60)의 지지축(b)측에 근접시킬수록 청소 유닛(56)이 후퇴 대기 위치(d)로 이동한 시점에서의 상기 이송 각도θ를 크게 할 수 있다. 반대로, 스토퍼 볼트(74)의 돌출량을 크게 하여 대기 자세에 있는 이송 갈고리(72)의 갈고리 끝을 지지축(b)으로부터 떨어뜨릴수록 청소 유닛(56)이 후퇴 대기 위치(d)로 이동한 시점에서의 상기 이송 각도θ를 작게 할 수 있다.

다음에, 상기 실시예 장치를 사용하여 점착 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 표면에 접착하여 절단하는 일련의 동작을 도 8 내지 도 11에 기초하여 설명한다.

접착 지령이 나오면, 우선 웨이퍼 반송 기구(3)에 있어서의 로봇 아암(2)이 카세트대(12)에 재치 장전된 카세트(C)를 향하여 이동되어 웨이퍼 유지부(2a)가 카세트(C)에 수용되어 있는 웨이퍼끼리의 간극에 삽입된다. 웨이퍼 유지부(2a)는 웨이퍼(W)를 이면(하면)으로부터 흡착 유지하여 반출하여 취출한 웨이퍼(W)를 얼라인 먼트 스테이지(4)에 이동 탑재한다.

얼라인먼트 스테이지(4)에 재치된 웨이퍼(W)는 웨이퍼(W)의 외주에 형성되어 있는 노치를 이용하여 위치 정렬된다. 위치 정렬을 마친 웨이퍼(W)는 다시 로봇 아암(2)에 의해 반출되어 척 테이블(5)에 재치된다.

척 테이블(5)에 재치된 웨이퍼(W)는 그 중심이 척 테이블(5)의 중심 상에 있도록 위치 정렬된 상태로 흡착 유지된다. 이때, 도 8에 도시한 바와 같이 접착 유닛(8)과 박리 유닛(10)은 좌측의 초기 위치에 있다. 또한, 테이프 절단 장치(9)의 커터날(12)은 상방의 초기 위치에서 각각 대기하고 있다.

다음에, 도 8 중의 가상선으로 나타낸 바와 같이 접착 유닛(8)의 접착 롤러(17)가 하강된다. 이 접착 롤러(17)는 점착 테이프(T)를 하방으로 압박하면서 웨이퍼(W) 상을 전방(도 8에서는 우측 방향)으로 전동 이동한다. 이에 의해 점착 테이프(T)가 웨이퍼(W)의 표면 전체 및 척 테이블(5)의 상면에 접착된다.

도 9에 도시한 바와 같이, 접착 유닛(8)이 종단 위치에 도달하면 상방에 대기하였던 커터날(12)이 하강되어, 척 테이블(5)의 커터 주행 홈(13)의 부분에 있는 점착 테이프(T)에 찔러진다.

이 경우, 도 6에 도시한 바와 같이 에어 실린더(43)에 고압의 공기가 공급되어 피스톤 로드(43a)가 크게 돌출 작동되어 있다. 따라서, 브래킷(34)은 스프링(42)에 대항하여 외측의 스트로크 엔드까지 슬라이드 이동되어 있다. 이때, 커터날(12)은 웨이퍼(W)의 외주연으로부터 외측으로 조금(수㎜) 떨어진 위치에서 점착 테이프(T)에 찔러진다. 그 후, 피스톤 로드(43a)의 돌출력이 스프링력보다도 작아지도록 에어 실린더(43)의 공기압이 저감되어, 도 7에 도시한 바와 같이 브래킷(34)이 스프링(42)의 압박력으로 슬라이드 이동된다. 이에 의해 커터날(12)의 날 끝이 웨이퍼(W)의 외주연에 적당한 접촉압으로 압박된다.

절단 개시 위치에 있어서 커터날(12)의 웨이퍼 외주연으로의 압박 세트가 종료되면 도 10에 도시한 바와 같이 지지 아암(22)이 회전된다. 이 회전에 수반하여 커터날(12)이 웨이퍼 외주연에 미끄럼 접촉하면서 선회하여 점착 테이프(T)가 웨이퍼 외주를 따라 절단된다.

웨이퍼 외주를 따른 테이프 절단이 종료되면 도 11에 도시한 바와 같이 커터날(12)은 원래의 대기 위치까지 상승된다. 이어서, 박리 유닛(10)이 전방으로 이동하면서 웨이퍼(W) 상에서 도려내어 절단되고 남은 불필요한 테이프(T')를 떼어 올리면서 박리해 간다.

박리 유닛(10)이 박리 완료 위치에 도달하면 박리 유닛(10)과 접착 유닛(8)은 후퇴하여 초기 위치로 복귀한다. 이때, 불필요한 테이프(T')가 회수 보빈(20)에 권취되는 동시에 일정량의 점착 테이프(T)가 테이프 공급부(6)로부터 조출된다.

상기한 테이프 접착 작동이 종료되어 척 테이블(5)의 흡착이 해제된 후, 접착 처리를 마친 웨이퍼(W)는 로봇 아암(2)의 웨이퍼 유지부(2a)에 의해 이동 탑재되어 웨이퍼 공급/회수부(1)의 카세트(C)에 삽입, 회수된다.

이상으로 1회의 테이프 접착 처리가 완료되고, 이 후 새로운 웨이퍼의 반입에 대응하여 상기 작동을 순차적으로 반복해 간다.

상기 테이프 접착 처리의 횟수는 계수되어, 미리 설정된 횟수의 테이프 접착 처리가 종료될 때마다 커터날 청소 처리가 이하와 같이 행해진다.

설정 횟수째의 테이프 접착 처리가 종료되어 커터날(12)이 상방 퇴피 위치로 복귀되면 커터날 청소 장치(50)에 구비된 로드리스 실린더(52)가 작동한다. 이 작동에 의해, 도 12에 도시한 바와 같이 후퇴 위치(d)에 있었던 청소 유닛(56)이 청소용 위치(c)를 향하여 전진 이동된다.

청소 유닛(56)이 청소용 위치(c)에 도달한 것이 인식되면 상방 퇴피 위치에 있는 커터날(12)이 하강 제어되어 커터날(12)의 날 끝이 청소용 부재(66)에 소정 깊이만큼 찔러진다. 이에 의해, 테이프 절단 처리에 의해 커터날(12)에 부착된 점착제 등의 부착물은 청소용 부재(66)에 함침되어 있는 세정액과의 접촉에 의해 커터날(12)에의 부착력이 크게 저감된다. 이 상태 그대로 커터날(12)을 상승시킴으로써 부착물은 청소용 부재(66)로 닦아내어진다. 부착물을 커터날(12)로부터 닦아 낼 수 없는 경우에도 찌를 때에 청소용 부재(66)에 의해 커터날(12)의 상방 개소까지 부착물이 밀려 올려진다. 찌른 개소의 날 가장자리는 부착물이 없는 깨끗한 상태로 된다.

커터날(12)이 상방 퇴피 위치로 상승되면 청소 유닛(56)이 청소용 위치(c)로부터 후퇴 위치(d)로 이동된다. 이 이동에 의해, 용기(59)가 소정의 이송 각도θ만큼 회전된다. 다음에 청소용 위치(c)로 이동하여 커터날(12)이 찔러질 때 청소용 부재(66)에 있어서의 전회 찌르기 위치와 상이한 새로운 개소에서의 찌르기 청소가 행해진다. 즉, 청소용 부재(66)에의 커터날(12)의 찌르기 위치가 청소 때마다 변위된다.

이 경우, 360°를 이송 각도θ로 나눈 값이 정수가 되지 않도록 이송 각도θ를 설정해 둠으로써 청소용 부재(66)를 복수회 회전시켜도 항상 새로운 개소에서 청소할 수 있다.

또한, 청소 유닛(56)이 후퇴 위치(d)로 복귀 이동할 때마다, 센서(68)에 의해 세정액의 액면 레벨(L)이 감시된다. 이때, 커터날(12)에의 도포나 증발에 의해 액면 레벨(L)이 허용 범위보다 저하된 것이 검지되면 세정액의 보충을 재촉하는 통지가 이루어진다. 따라서, 액면 레벨(L)의 저하에 의해 청소용 부재(66)의 찌르기 영역에서의 세정액 부족이 발생되는 것이 미연에 회피된다.

여기서, 세정액으로서는 커터날(12)에 도포됨으로써 점착제의 부착을 억제하는 이형성을 발휘하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 계면 활성제, 실리콘 함유액, 그 밖의 윤활성, 이형성을 발휘하는 액체를 이용할 수 있다. 또한, 점착제의 종류에 따라서는, 순수를 이용하는 것도 가능하다.

상기 실시예에 따르면, 웨이퍼(W)에 표면 보호용의 점착 테이프(T)를 접착하여 절단할 경우에는, 세정액으로서 수용성의 유제를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 표면 보호용의 점착 테이프(T)가 접착된 웨이퍼(W)는 백그라운드 공정에 있어서 물에 의한 세정을 받으므로 커터날(12)에 도포된 세정액이 테이프 절단 가장자리에 부착물이 잔존되어도 백그라운드 공정에 있어서 연마 가루 등과 함께 테이프 절단 가장자리의 세정액을 씻어 낼 수 있다. 따라서, 테이프 절단 가장자리에 부착물이 잔존된 세정액이 이후의 처리 공정에 있어서 폐해를 초래하는 것을 미연에 회피할 수 있다.

또한, 커터날(12)이 절단 작용 위치로 하강될 때, 점착 테이프(T)에의 찌르기량을 바꿈으로써, 절단력이 좋은 새로운 날 가장자리에 의한 테이프 절단을 행할 수 있다. 예를 들어, 당초의 찌르기량을 크게 하다가 절단 횟수를 거듭할수록 점착 테이프(T)에의 찌르기량을 작게 해 가면 좋다. 이 경우, 커터날(12)에의 부착물의 발생은 점차 날 끝을 향하여 이동하므로 찌르기 청소에 있어서의 청소용 부재(66)에의 찌르기 깊이를 점차 얕게 해 가는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 찌르기 청소 과정에 있어서 부착물을 완전하게 닦아낼 수 없어도 커터날(12)의 찌르기에 의해 부착물이 커터날(12)의 상방으로 밀려 올려간다. 따라서, 점차 얕은 찌르기 청소를 반복함으로써 부착물을 절단의 방해가 되지 않는 개소로 밀어 올려 항상 양호한 테이프 절단을 행할 수 있다.

청소용 부재(66)의 찌르기 깊이 영역에 있어서는, 세정액이 과부족없이 커터날(12)에 접촉되도록 액면 레벨을 관리하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 액면 레벨이 너무 높으면 커터날(12)에 세정액이 다량으로 닿게 된다. 테이프 절단 성능을 높이기 위하여 커터날(12)을 가온하는 경우에는 다량의 세정액과의 접촉에 의해 커터날(12)의 온도가 저하되어 절단력이 나빠져 버린다. 또한, 커터날(12)에 세정액이 다량으로 접촉됨으로써 커터날(12)을 빼 올릴 때에 세정액이 커터날(12)을 타고 떨어져 주위를 오염 손상시킬 우려도 있다.

또한, 청소 유닛(56)을 지지한 지지 아암(55)은 가동대(54)에 대하여 가동대의 이동 방향과 직교하는 방향으로 위치 변경 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 웨이퍼(W)의 사이즈 변경에 따라 커터 유닛(23)이 종축심(X)에 대하여 위치 변경 되면, 이것에 대응하여 지지 아암(55)의 설치 위치를 바꾸어 청소용 부재(66)가 커터날 승강 경로 내로 출납되도록 조정하게 된다. 또한, 이것에 대응하여 이송 갈고리(72)의 위치 조절도 행한다.

본 발명은, 상기 이외의 형태로 실시할 수도 있으며, 그 중 몇가지를 이하에 열거한다.

(1) 도 19에 도시한 바와 같이, 용기(59)의 내부를 격벽(59a)으로 전후로 구획하여, 전방의 구획에 세정액만을 함침시킨 세정 전용의 청소용 부재(66)를 수용하고, 후방의 구획에 오일 등의 이형제를 함침시킨 청소용 부재(66')를 수용한 구성으로 한다. 이 구성의 경우, 우선 커터날(12)을 전방의 청소용 부재(66)에 찔러 부착물을 세정 제거한 후, 커터날(12)을 빼 올려, 청소 유닛(56)을 조금 전방으로 후퇴 이동시켜 커터날(12)의 하방에 용기(59)의 후반이 면하도록 한다. 그 후, 다시 커터날(12)을 하강시켜 후방의 청소용 부재(66')에 찔러 날 끝에 이형제를 도포하는 형태를 취한다.

(2) 또한, 도 20에 도시한 바와 같이 상방 퇴피 위치에 있는 커터날(12)에 면하도록 CCD 카메라나, 반사식의 레이저 센서 등을 이용한 감시 센서(75)를 설치하여 커터날(12)에의 부착물의 유무를 감시하도록 구성해도 좋다. 즉, 커터날(12)에 설정량 이상의 부착물의 부착이 검지되었을 때만, 상기한 찌르기 청소 처리를 실행하도록 구성할 수 있다. 이 구성에 따르면, 부착이 없는 상태나, 부착이 매우 적은 상태로 찌르기 청소 처리를 실행하는 낭비가 없어진다.

또한, 찌르기 청소 처리한 후에도 커터날(12)의 감시를 행함으로써 부착물의 잔존을 검지하여 잔존이 많은 경우에는 찌르기 청소 처리를 다시 행하는 것도 가능하게 된다. 또한, 감시 센서(75)에 의해 커터날(12)에 있어서의 날 가장자리의 결손을 검출하여 커터날(12)의 교환 시기를 알릴 수도 있다.

(3) 점착제의 접착이 발생하기 쉬운 점착 테이프(T)를 사용할 경우에는 테이프 절단 과정마다 매회 찌르기 청소 처리를 행해도 된다.

(4) 청소용 부재(66)는 세정액을 함침할 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않고, 상기한 스펀지 형상의 것 외에, 펠트 형상의 것을 이용할 수 있다. 또한, 가는 털로 만들어진 브러시를 이용할 수도 있다. 또한, 점착제의 접착 강도가 높은 경우는 연마제를 포함한 것을 이용하는 것이 바람직하다.

(5) 상기 실시예 장치는 청소용 부재(66)에의 커터날(12)의 찌르기 위치의 변위를 용기(59)의 회전에 의해 행하였으나, 커터날(12)의 찌르기 각도를 바꾸도록 구성해도 좋다.

이 경우, 커터 유닛(23)의 조작 플랜지(38)를 에어 실린더(39)에 의해 회전 시킴으로써 지지 아암(22)에 대한 커터 유닛(23) 전체의 종축심(Y) 주위에서의 자세를 변경하여 청소용 부재(66)에의 커터날(12)의 찌르기각을 변경할 수 있다. 따라서, 용기(59)의 회전과 커터날(12)의 찌르기 각도의 변경에 의해 청소용 부재(66)를 유효하게 이용할 수 있다.

※본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 일탈하지 않고 다른 구채적 형태에서 실시할 수 있으며, 따라서 발명의 범위를 기재하는 것으로서 이상의 설명이 아니라, 부가된 클레임을 참조해야 한다.

발명을 설명하기 위하여 현재 적합하다고 생각되는 몇개의 형태가 기재되어 있으나, 발명이 기재하는 구성 및 방책에 한정되는 것이 아님을 이해해 주길 바란다.

도 1은 점착 테이프 접착 장치의 전체를 도시하는 사시도.

도 2는 테이프 절단 장치의 전체를 도시하는 측면도.

도 3은 테이프 절단 장치의 주요부를 도시하는 사시도.

도 4는 커터 유닛의 평면도.

도 5는 커터 유닛의 일부를 종단한 정면도.

도 6은 커터날을 점착 테이프에 찌른 시점의 주요부를 도시하는 측면도.

도 7은 커터날을 웨이퍼 외주연에 접촉시킨 상태의 주요부를 도시하는 측면도.

도 8 내지 도 11은 점착 테이프 접착 공정을 나타내는 정면도.

도 12는 커터날 청소 장치의 측면도.

도 13은 후퇴 대기 위치에 있는 커터날 청소 장치의 평면도.

도 14는 청소용 위치로 진출한 커터날 청소 장치의 평면도.

도 15는 청소 유닛의 평면도.

도 16은 청소 유닛의 일부를 절결한 측면도.

도 17은 청소용 부재 피치 이송 회전의 작동 개시 상태를 도시하는 주요부의 평면도.

도 18은 청소용 부재 피치 이송 회전의 작동 완료 상태를 도시하는 주요부의 평면도.

도 19는 다른 실시예의 청소 유닛을 도시하는 일부 절결 측면도.

도 20은 커터날 청소 장치의 다른 실시예를 도시하는 측면도.

Claims (18)

1. 기판에 접착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 도려내는 커터날의 청소 방법이며,

   청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위시키면서 커터날의 부착물의 청소 처리를 하는 과정을 포함하는, 커터날의 청소 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 청소용 부재에 커터날을 찌를 때마다, 찌르기 깊이를 점차 얕게 해 가는, 커터날의 청소 방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 청소용 부재는 세정액을 함침시킨 것인, 커터날의 청소 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 세정액은 부착 방지용의 이형성을 구비하고 있는 것인, 커터날의 청소 방법.
5. 제1항에 있어서, 상기 세정액을 함침시킨 제1 청소용 부재에 커터날을 찌른 후에, 부착 방지용의 이형제를 함침시킨 제2 청소용 부재에 커터날을 찌르는, 커터날의 청소 방법.
6. 제1항에 있어서, 상기 커터날에의 부착물의 유무를 감시 센서에 의해 감시하는, 커터날의 청소 방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 커터날의 부착물을 감시 센서에 의해 검출했을 때, 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위시켜 다시 커터날을 당해 청소용 부재에 찌르는, 커터날의 청소 방법.
8. 기판에 접착된 점착 테이프를 기판 외형을 따라 도려내는 커터날의 청소 장치이며,

   상기 커터날을 상방의 퇴피 위치와 하방의 절단 작용 위치에 걸쳐 승강 가능하게 배치하고,

   상기 커터날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 벗어난 후퇴 위치에 걸쳐 이동 가능한 청소용 부재를 구비하고,

   상기 청소용 부재와 커터날을 상대적으로 이동시켜 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위 가능하게 구성하고 있는, 커터날의 청소 장치.
9. 제8항에 있어서, 상기 커터날의 찌르기 위치를 기점으로 청소용 부재를 회전 가능하게 구성하고 있는, 커터날의 청소 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 청소용 부재의 청소용 위치로부터 후퇴 위치로의 이동 에 연동되어 청소용 부재를 소정 각도 회전시키는 래칫식의 피치 이송 수단을 구비하고 있는, 커터날의 청소 장치.
11. 제8항에 있어서, 상기 청소용 부재는 세정액을 함침시킨 것인, 커터날의 청소 장치.
12. 제11항에 있어서, 내부를 격벽으로 구획한 2구획을 갖는 용기를 구비하고,

    상기 용기의 한 쪽에 세정액을 함침시킨 청소용 부재를 수납하고, 다른 쪽에 이형성을 갖는 액체를 함침시킨 청소용 부재를 수납하여 구성되어 있는, 커터날의 청소 장치.
13. 제11항에 있어서, 용기에 저류된 세정액에 상기 청소용 부재를 침지 수용하는 동시에, 용기 내에 있어서의 세정액의 액면 레벨을 검지하는 센서,

    검지한 상기 액면 레벨의 실측값과 미리 정한 기준값을 비교하는 연산 수단,

    상기 실측값과 기준값의 비교 결과, 실측값이 기준값을 하회했을 때에 알리는 통지 수단을 더 포함하는, 커터날의 청소 장치.
14. 점착 테이프 접착 장치이며,

    기판을 재치 유지하는 척 테이블,

    상기 척 테이블에 재치 유지된 기판의 상방에 표면 보호용의 점착 테이프를, 그 점착면이 하향이 되는 자세로 기판의 상방으로 공급하는 테이프 공급 수단,

    공급된 상기 점착 테이프를 압박하면서 전동 이동시켜 기판에 접착하는 접착 롤러,

    승강 가능한 커터날을, 기판에 접착된 점착 테이프에 찔러 기판 외주를 따라 상대 주행시키는 테이프 절단 장치,

    테이프 절단에 의해 발생한 불필요한 테이프를 박리 회수해 가는 박리 롤러,

    상기 커터날의 승강 이동 경로로 돌입하는 청소용 위치와, 상기 승강 이동 경로로부터 벗어난 후퇴 위치에 걸쳐 이동 가능한 청소용 부재를 구비하고,

    상기 청소용 부재와 커터날을 상대적으로 이동시켜 청소용 부재에의 커터날의 찌르기 위치를 변위 가능하게 구성하고 있는, 점착 테이프 접착 장치.
15. 제14항에 있어서, 상기 커터날의 찌르기 위치를 기점으로 청소용 부재를 회전 가능하게 구성하고 있는, 점착 테이프 접착 장치.
16. 제15항에 있어서, 상기 청소용 부재의 청소용 위치로부터 후퇴 위치로의 이동에 연동되어 청소용 부재를 소정 각도 회전시키는 래칫식의 피치 이송 수단을 구비하고 있는, 점착 테이프 접착 장치.
17. 제14항에 있어서, 상기 청소용 부재는 세정액을 함침시킨 것인, 점착 테이프 접착 장치.
18. 제17항에 있어서, 내부를 격벽으로 구획한 2구획을 갖는 용기를 구비하고,

    상기 용기의 한 쪽에 세정액을 함침시킨 청소용 부재를 수납하고, 다른 쪽에 이형성을 갖는 액체를 함침시킨 청소용 부재를 수납하여 구성하고 있는, 점착 테이프 접착 장치.

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