KR20090069263A - 광검출장치 - Google Patents

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Abstract

광검출장치(3)에는 광검출소자(11)의 위치기준이 되는 위치맞춤용 마크(18A, 18B)가 광검출소자(11)의 표면 측에 형성되어 있다. 또, 핀 베이스(13)에는 콜드 플레이트(2)에 끼워 맞춰지는 나사형성 끼워맞춤 핀(32)이 마련되고, 나사형성 끼워맞춤 핀(32)은 배선기판(12)의 슬릿부(23) 및 노치부(24)로부터 노출되는 위치맞춤용 마크(18A, 18B)에 대해서 위치결정된 위치결정부(33)를 통하여 광검출소자(11)에 대해서 정밀도 좋게 위치맞춤되어 있다. 따라서, 광검출장치(3)에서는 콜드 플레이트(2)의 오목부(4)에 나사형성 끼워맞춤 핀(32)을 끼워맞춤시키는 것만으로 콜드 플레이트(2)에 대해서 광검출소자(11)가 정밀도 좋게 위치맞춤된다.

Description

광검출장치{LIGHT DETECTING DEVICE}
본 발명은 이른바 이면(裏面) 입사형의 광검출소자를 구비한 광검출장치에 관한 것이다.
종래, 이른바 이면 입사형의 광검출소자가 알려져 있다. 이런 종류의 광검출소자는 반도체기판의 이면 측에 광입사면을 구비하고, 이 광입사면으로부터 입사한 광을 표면 측의 광검출부에서 검출한다. 이와 같은 광검출소자를 구비한 광검출장치로서, 예를 들면 특허문헌 1에 기재된 반도체 에너지 검출기가 있다. 이 반도체 에너지 검출기는 광검출부와 반대 측에서 반도체기판의 일부가 박형화(薄型化)되고, 자외선, 연(軟)X선, 전자선이라고 하는 각종의 에너지선을 고감도로 검출할 수 있는 BT - CCD(이면 입사 박판형 CCD)를 구비하며, 예를 들면 천체관측용 망원경의 광검출부로서 이용된다.
[특허문헌 1] 일본국 특개평6-196680호 공보
<발명이 해결하고자 하는 과제>
상술한 바와 같은 망원경 등의 용도에서는 광검출부의 대면적화를 도모하기 위해, 콜드 플레이트(cold plate) 등의 피설치체에 복수의 광검출장치를 매트릭스 모양으로 늘어놓아 배치하는, 이른바 버터블(buttable) 배치구조를 채용하는 것이 유효하다. 이와 같은 배치구조에서는 각 광검출장치 사이의 간격을 예를 들면 100㎛ 이하로 억제함으로써, 광검출장치를 고밀도로 배치하는 것이 가능하게 되지만, 그 한편으로, 피설치체에 대한 광검출소자의 높은 위치맞춤 정밀도가 요구된다.
본 발명은 상기 과제의 해결을 위해서 이루어진 것으로, 피설치체에 대한 광검출소자의 위치맞춤을 정밀도 좋게 실시할 수 있는 광검출장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 과제의 해결을 위해, 본 발명에 관한 광검출장치는 한쪽의 면으로부터 입사한 광을 다른 쪽의 면 측의 광검출부에서 검출하는 광검출소자와, 광검출소자의 다른 쪽의 측에 설치되고, 광검출부와 전기적으로 접속된 배선기판과, 배선기판의 다른 쪽의 측에 설치되고, 소정의 피설치체에 설치되는 베이스를 구비하며, 광검출소자의 다른 쪽의 면에는 광검출소자의 위치기준이 되는 위치맞춤용 마크가 형성되고, 배선기판에는 위치맞춤용 마크를 노출시키는 창(窓)부가 형성되며, 베이스는 창부로부터 노출되는 상기 위치맞춤용 마크에 대해서 위치결정된 위치결정부와, 이 위치결정부에 대해서 위치결정되고, 피설치체에 끼워 맞춰지는 끼워맞춤부를 가지고 있다.
이 광검출장치에서는 광검출소자의 위치기준이 되는 위치맞춤용 마크가 광검출소자의 다른 쪽의 면에 형성되어 있다. 또, 베이스에는 피설치체에 끼워 맞춰지는 끼워맞춤부가 형성되어 있고, 이 끼워맞춤부는 배선기판의 창부로부터 노출되는 위치맞춤용 마크에 대해서 위치결정된 위치결정부를 통하여 광검출소자에 대해서 정밀도 좋게 위치맞춤되고 있다. 따라서, 이 광검출장치에서는 피설치체에 끼워맞춤부를 끼워맞춤 시킬 때에 피설치체에 대해서 광검출소자가 정밀도 좋게 위치맞춤된다. 이 결과, 예를 들면 4사이드 버터블(4side buttable) 배치를 채용하는 경우에 있어서도 각 광검출장치에 있어서의 광검출소자의 위치관계를 정밀도 좋게 맞출 수 있어 광검출장치의 고밀도화를 도모할 수 있다.
또, 위치맞춤용 마크는 광검출소자의 중심선을 통과하도록 2개소 이상에 형성되고, 위치결정부는 베이스의 하나의 측면과, 이 측면에 있어서의 하나의 단부인 것이 바람직하다. 이 경우, 위치맞춤용 마크를 통과하는 라인에 베이스의 하나의 측면의 라인을 맞추는 것에 의해, 광검출소자와 베이스를 정밀도 좋게 각도맞춤할 수 있다. 또, 위치맞춤용 마크와 하나의 단부와의 상대적인 거리에 근거하여, 광검출소자와 베이스를 정밀도 좋게 위치맞춤할 수 있다.
또, 끼워맞춤부는 베이스의 다른 쪽의 면 측으로 돌출하는 핀인 것이 바람직하다. 이 경우, 핀에 대응하는 오목부를 피설치체에 형성해 둠으로써, 광검출장치를 피설치체에 대해서 간단하게 설치하는 것이 가능하게 된다.
<발명의 효과>
본 발명에 관한 광검출장치에 의하면, 피설치체에 대한 광검출소자의 위치맞춤을 정밀도 좋게 실시할 수 있다. 이 결과, 예를 들면 4사이드 버터블 배치를 채용하는 경우에 있어서도 각 광검출장치에 있어서의 광검출소자의 위치관계를 정밀도 좋게 위치결정할 수 있어 광검출장치의 고밀도화를 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 광검출장치를 탑재하여 이루어지는 광검출부를 나타내는 도이다.
도 2는 광검출장치의 사시도이다.
도 3은 광검출장치를 표면 측에서 본 도이다.
도 4는 광검출장치의 일부를 단면화하여 나타내는 측면도이다.
도 5는 슬릿부 근방의 확대 단면도이다.
도 6은 덮개부를 제거한 상태에서, 슬릿부를 표면 측에서 본 확대도이다.
도 7은 광검출장치를 일단 측에서 본 측면도이다.
도 8은 광검출장치의 조립공정을 나타내는 도이다.
<부호의 설명>
2 … 콜드 플레이트(피설치체), 3 … 광검출장치, 11 … 광검출소자, 12 … 배선기판, 13 … 핀 베이스(베이스), 16 … CCD 어레이(array)(광검출부), 18A, 18B … 위치맞춤용 마크, 23 … 슬릿부(창부), 24 … 노치(notch)부(창부), 32 … 나사형성 끼워맞춤 핀(끼워맞춤부), 33 … 위치결정부, 34 … 측면(하나의 측면), 35 … 모서리부(하나의 단부), L … 중심선.
<발명을 실시하기 위한 바람직한 형태>
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명에 관한 광검출장치의 바람직한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 광검출장치를 탑재하여 이루어지는 광검출부를 나타내는 도이다. 또, 도 2는 도 1에 나타낸 광검출장치의 사시도이고, 도 3은 그 표면 측에서 본 도, 도 4는 일부를 단면화하여 나타내는 측면도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 광검출부(1)는 열제어용 콜드 플레이트(피설치체)(2)와, 복수의 광검출장치(3)를 구비하고, 예를 들면 천체관측용 망원경의 광검출부(1)로서 구성되어 있다. 콜드 플레이트(2)는, 예를 들면 동(銅)으로 원반 모양으로 형성되어 있고, 망원경의 사용시에는 소정의 가스 분위기 중에서 -100℃ 정도로 냉각된다. 이 콜드 플레이트(2)의 표면에는 각 광검출장치(3)의 나사형성 끼워맞춤 핀(외주면에 나사산이 형성된 끼워맞춤용 핀)(32) 및 플렉서블 PCB(22)(도 2 참조)에 대응하는 오목부(4)가 복수 형성되어 있다.
각 광검출장치(3)는 오목부(4)에 나사형성 끼워맞춤 핀(32) 및 플렉서블 PCB(22)를 끼워넣음과 동시에, 각 나사형성 끼워맞춤 핀(32)에 콜드 플레이트(2)의 뒤쪽에서부터 너트(36)(도 2 참조)를 나사맞춤하는 것에 의해 콜드 플레이트(2)에 고정되며, 예를 들면 8 × 10의 매트릭스 모양으로 배치되어 있다. 이와 같은 배치는 각 광검출장치(3)의 4개의 측면이 서로 인접하는 광검출장치(3)의 측면과 대향하기 때문에 4사이드 버터블 배치라고 칭해지고, 광검출장치(3)의 고밀도화에 의한 광검출부(1)의 대면적화에 적절한 배치로 되어 있다. 또, 서로 인접하는 광검출장치(3)의 간격은 약 100㎛로 되어 있고, 콜드 플레이트(2)에 의한 냉각을 해제한 후의 열팽창에 의한 각 광검출장치(3)끼리의 접촉방지가 도모되고 있다.
다음에, 광검출장치(3)의 구성에 대해 설명한다. 각 광검출장치(3)는 도 2 ~ 도 4에 나타내는 바와 같이, 광검출을 실시하는 광검출소자(11)와, 광검출소자(11)에 전기적으로 접속된 배선기판(12)과, 콜드 플레이트(2)로의 설치에 이용하는 핀 베이스(13)를 구비하고 있다. 광검출소자(11)는 두께 약 200㎛의 이른바 이면 입사 박판형 CCD(BT - CCD)이며, 반도체에 의한 흡수의 영향을 받기 쉬운 자외선, 연X선, 전자선이라고 하는 각종의 에너지선을 고감도로 검출가능한 소자이다.
광검출소자(11)의 이면(한쪽의 면) 측은 광입사면(S)(도 4 참조)으로 되어 있고, 광검출소자(11)의 표면(다른 쪽의 면) 측에는 광입사면(S)으로부터 입사한 광을 검출하는 검출영역(14)과, 검출영역(14)의 출력단이 되는 제1 본딩 패드(bonding pad) 영역(15)이 각각 형성되어 있다(도 8의 (a) 참조). 검출영역(14)에는 예를 들면 9 × 7의 매트릭스 모양으로 배치된 CCD 어레이(array)(광검출부)(16)가 설치되고, 제1 본딩 패드 영역(15)에는 소정 패턴의 알루미늄 배선에 의해서 CCD 어레이(16)의 각 화소와 전기적으로 접속된 제1 본딩 패드(17A)가 설치되어 있다. 제1 본딩 패드(17A)는 광검출소자(11)의 표면 측의 일단부를 따라서 일렬로 배치되어 있다.
또한, 도 3 및 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 광검출소자(11)의 표면의 양단부에 있어서, 검출영역(14)보다 바깥쪽의 데드 에어리어(dead area) 부분에는 광검출소자(11)의 중심선(L)을 통과하도록 십자형의 위치맞춤용 마크(18(18A, 18B))가 각각 형성되어 있다. 위치맞춤용 마크(18A, 18B)는, 예를 들면 알루미늄의 스퍼터(sputter)에 의해서 상술한 알루미늄 배선과 동시에 형성되고, 광검출소자(11)의 중심선(L)을 나타내는 위치기준으로서 이용된다.
배선기판(12)은, 도 2 ~ 도 4에 나타내는 바와 같이, 광검출소자(11)와 대략 동일한 면적의 직사각형을 이루고 있고, 배선기판(12)의 표면 측의 대략 중앙부분에는 CCD 어레이(16)의 각 화소에 대응하는 리드 단자(21)가 배열되어 있다. 이 리드 단자(21)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 플렉서블 PCB(가요성 프린트 회로기판)(22)에 접속되어 있다. 플렉서블 PCB(22)는 콜드 플레이트(2)의 오목부(4)를 통해 망원경 내의 소정의 기판(도시하지 않음)과 커넥터 접속된다.
한편, 도 3에 나타내는 바와 같이, 배선기판(12)의 일단부 및 타단부에는 슬릿부(창부)(23) 및 노치부(창부)(24)가 각각 형성되어 있다. 슬릿부(23)는 배선기판(12)의 일단부를 따라서 직사각 형상으로 형성되고, 노치부(24)는 배선기판(12)의 타단부의 대략 중앙에 있어서 반원 형상으로 형성되어 있다. 그리고, 배선기판(12)은 슬릿부(23)로부터 제1 본딩 패드 영역(15) 및 위치맞춤용 마크(18A)가 노출되고, 또한 노치부(24)로부터 위치맞춤용 마크(18B)가 노출되도록 위치결정된 상태로, 예를 들면 다이 본딩에 의해서 광검출소자(11)의 표면 측에 강고하게 고정되어 있다.
또, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 배선기판(12)에 있어서, 제1 본딩 패드 영역(15) 및 위치맞춤용 마크(18A)가 노출되고 있는 영역보다 안쪽의 영역에는 슬릿부(23)의 길이방향을 따라서 계단부(25)가 형성되어 있다. 이 계단부(25)는 배선기판(12)의 표면보다 이면 측에 위치하는 설치면(25a)을 가지고 있고, 이 설치면(25a) 위에는 배선기판(12)의 입력단이 되는 제2 본딩 패드 영역(26)이 형성되어 있다. 제2 본딩 패드 영역(26)에는 제1 본딩 패드(17A)에 대응하는 제2 본딩 패 드(17B)가 일렬로 배치되어 있고, 제1 본딩 패드(17A)와 제2 본딩 패드(17B)는 본딩 와이어(27)에 의해서 각각 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 제2 본딩 패드(17B)는 배선기판(12)의 내부배선(도시하지 않음)에 의해서 리드 단자(21)에 각각 전기적으로 접속되고, 이것에 의해, 광검출소자(11)로부터의 출력신호가 리드 단자(21) 및 플렉서블 PCB(22)를 통하여 외부로 출력된다.
또한, 배선기판(12)의 일단 측의 가장자리의 대략 중앙에는 중심선(L)(도 3 참조)을 따라서 연장되는 홈부(28)가 형성되어 있고, 배선기판(12)에는 홈부(28)를 폐색하도록 하며, 슬릿부(23)의 표면 측으로부터 세라믹제의 덮개부(29)가 부착되어 있다. 이 덮개부(29)의 부착에 의해, 제1 본딩 패드부(17A), 제2 본딩 패드(17B) 및 본딩 와이어(27)가 외부로 노출하지 않도록 보호되고, 광검출장치(3)의 일단 측의 측면에는, 도 5 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 슬릿부(23)의 내부를 외부와 연통시키는 통기공(30)이 형성된다.
핀 베이스(13)는, 도 2 ~ 도 4에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 질화 알루미늄에 의해서 편평(扁平)한 직방체 형상으로 형성되어 있다. 핀 베이스(13)는 배선기판(12)에 있어서의 광검출소자(11) 측의 면과는 반대 측의 면에 설치되어 있다. 이 핀 베이스(13)의 대략 중앙에는 배선기판(12)의 리드 단자(21)를 노출시키는 직사각형의 개구부(31)가 형성되어 있다. 또, 핀 베이스(13)의 표면 측에는 너트(36)를 나사맞춤 할 수 있는 예를 들면 티탄제의 나사형성 끼워맞춤 핀(끼워맞춤부)(32)이 설치되어 있다. 나사형성 끼워맞춤 핀(32)은 핀 베이스(13)에 있어서의 배선기판(12) 측의 면과는 반대 측의 면에서부터 바깥쪽으로 돌출한다. 이 나사형 성 끼워맞춤 핀(32)은 개구부(31)를 끼우도록 하여, 핀 베이스(13)의 일단 측의 중앙에 1개, 핀 베이스(13)의 타단 측의 양 모서리부 가까이에 각각 1개씩 함께 3개 설치되어 있다.
여기서, 핀 베이스(13)의 측면 가운데, 광검출소자(11)의 중심선(L)을 따르는 한쪽의 측면(34)과, 이 측면(34)에 있어서의 일단 측의 모서리부(35)는 핀 베이스(13)의 위치결정부(33)로 되어 있다. 각 나사형성 끼워맞춤 핀(32)은 핀 베이스(13)의 표면 측에 부착되어 있지만, 측면(34) 및 모서리부(35)로부터의 상대적인 거리가 정확하게 되도록 센터링(centering, 중심 잡기)되고, 위치결정부(33)에 대해서 각각 고정밀도로 위치결정되어 있다. 또, 핀 베이스(13)는 위치맞춤용 마크(18A, 18B)를 통과하는 중심선(L)에 핀 베이스(13)를 표면 측에서 보았을 때의 측면(34)의 라인을 맞추는 것에 의해, 광검출소자(11)에 대해서 정밀도 좋게 각도맞춤되며, 또한 위치맞춤용 마크(18A, 18B)와 모서리부(35)와의 상대적인 거리에 근거하여 광검출소자(11)에 대해서 정밀도 좋게 위치맞춤되고 있다. 이 상태에서, 핀 베이스(13)는, 예를 들면 열강화성 수지에 의해서 배선기판(12)의 표면 측에 강고하게 접착되어 있다.
이어서, 상술한 구성을 가지는 광검출장치(3)의 조립방법에 대해 설명한다.
이 광검출장치(3)를 망원경의 광검출부(1)로서 조립하는 경우, 우선, 광검출소자(11)를 준비하고, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 위치맞춤용 마크(18A, 18B)가 보이도록 표면 측을 위쪽으로 향하여 광검출소자(11)를 배치한다. 다음에, 배선기판(12)을 준비하고, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 슬릿부(23)로부터 제 1 본딩 패드 영역(15) 및 위치맞춤용 마크(18A)가 노출되며, 또한 노치부(24)로부터 위치맞춤용 마크(18B)가 노출되도록 위치결정한 상태에서 광검출소자(11)의 표면 측에 배선기판(12)을 다이 본딩에 의해서 고정한다.
배선기판(12)의 고정이 완료한 후, 핀 베이스(13)를 준비한다. 핀 베이스(13)의 표면 측에는 미리 위치결정부(33)에 대해서 정밀도 좋게 센터링된 상태에서 나사형성 끼워맞춤 핀(32)이 부착되어 있다. 그리고, 도 8의 (c)에 나타내는 바와 같이, 핀 베이스(13)의 대략 중앙의 개구부(31)로부터 배선기판(12)의 리드 단자(21)가 노출되도록 배선기판(12)의 표면 측에 겹쳐 맞추게 한다. 이 때, 배선기판(12)의 슬릿부(23) 및 노치부(24)로부터 노출되는 광검출소자(11)의 위치맞춤용 마크(18A, 18B)를 통과하는 중심선(L)에 핀 베이스(13)를 표면 측에서 보았을 때의 측면(34)의 라인을 맞추어, 광검출소자(11)에 대해서 핀 베이스(13)를 정밀도 좋게 각도맞춤시킨다. 또, 위치맞춤용 마크(18A, 18B)와 모서리부(35)의 상대적인 거리에 근거하여, 광검출소자(11)에 대해서 핀 베이스(13)를 정밀도 좋게 위치맞춤시킨다. 광검출소자(11)에 대한 각도맞춤 및 위치맞춤을 실시한 후, 배선기판(12)의 표면 측에 핀 베이스(13)를 접착에 의해서 고정한다.
핀 베이스(13)의 고정이 완료된 후, 제1 본딩 패드(17A)와 제2 본딩 패드(17B)를 와이어 본딩에 의해서 각각 전기적으로 접속한다. 와이어 본딩 후, 슬릿부(23)의 표면 측으로부터 덮개부(29)를 부착하고, 제1 본딩 패드(17A) 및 제2 본딩 패드(17B)를 은폐함과 동시에 광검출장치(3)의 일단 측의 측면에 통기공(30)을 형성한다. 또, 핀 베이스(13)의 개구부(31)로부터 노출되는 리드 단자(21)에 플렉 서블 PCB를 접속한다. 이것에 의해, 도 2 ~ 도 4에 나타낸 광검출장치(3)의 조립이 완료된다.
그리고, 광검출장치(3)의 나사형성 끼워맞춤 핀(32) 및 플렉서블 PCB(22)를 콜드 플레이트(2)의 오목부(4)에 끼워넣음과 동시에, 각 나사형성 끼워맞춤 핀(32)에 콜드 플레이트(2)의 뒤쪽에서부터 너트(36)를 나사맞춤시키는 것에 의해, 광검출장치(3)를 콜드 플레이트(2)에 고정한다. 이 때, 나사형성 끼워맞춤 핀(32)은 핀 베이스(13)의 위치결정부(33)를 통하여 광검출소자(11)와 정밀도 좋게 위치맞춤되어 있으므로, 광검출장치(3)는 콜드 플레이트(2)에 대해서 정밀도 좋게 위치맞춤된다. 이하, 동일한 순서에 의해서 복수의 광검출장치(3)를 조립하여, 콜드 플레이트(2) 위에 광검출장치(3)를 매트릭스 모양으로 배치하는 것에 의해, 도 1에 나타낸 광검출부(1)가 완성된다.
이상 설명한 바와 같이, 광검출장치(3)에서는 광검출소자(11)의 위치기준이 되는 위치맞춤용 마크(18A, 18B)가 광검출소자(11)의 표면 측에 형성되어 있다. 또, 핀 베이스(13)에는 콜드 플레이트(2)에 끼워 맞춰지는 나사형성 끼워맞춤 핀(32)이 형성되어 있고, 이 나사형성 끼워맞춤 핀(32)은 배선기판(12)의 슬릿부(23) 및 노치부(24)로부터 노출되는 위치맞춤용 마크(18A, 18B)에 대해서 위치결정된 위치결정부(33)를 통하여, 광검출소자(11)에 대해서 정밀도 좋게 위치맞춤되어 있다. 따라서, 이 광검출장치(3)에서는 콜드 플레이트(2)의 오목부(4)에 나사형성 끼워맞춤 핀(32)을 끼워맞춤시키는 것만으로 콜드 플레이트(2)에 대해서 광검출소자(11)가 정밀도 좋게 위치맞춤된다. 이 결과, 4사이드 버터블 배치에 있어서, 서로 인접하는 광검출장치(3, 3)에 있어서의 광검출소자(11, 11)의 위치관계를 정밀도 좋게 맞출 수 있어 각 광검출장치(3)를 고밀도로 배치하는 것이 가능하게 된다.
또, 광검출장치(3)에서는 광검출소자(11)의 중심선(L)을 통과하도록 위치맞춤용 마크(18A, 18B)가 형성되어 있고, 위치결정부(33)는 핀 베이스(13)의 측면(34)과, 이 측면(34)에 있어서의 모서리부(35)에 의해서 구성되어 있다. 이 때문에, 위치맞춤용 마크(18A, 18B)를 통과하는 중심선(L)에 핀 베이스(13)를 표면 측에서 보았을 때의 측면(34)의 라인을 맞추는 것에 의해, 광검출소자(11)와 핀 베이스(13)를 정밀도 좋게 각도맞춤시킬 수 있음과 동시에, 위치맞춤용 마크(18A, 18B)와 모서리부(35)와의 상대적적인 거리에 근거하여, 광검출소자(11)와 핀 베이스(13)를 정밀도 좋게 위치맞춤시킬 수 있다.
또한, 이 광검출장치(3)에서는 배선기판(12)에 있어서, 제1 본딩 패드 영역(15)보다 안쪽의 영역에 제2 본딩 패드(17B)가 형성되어 있다. 이와 같은 구성으로 광검출장치(3)에서는 와이어 본딩의 형성 스페이스를 광검출소자(11)의 안쪽에 위치시킬 수 있고, 배선기판(12)과 광검출소자(11)를 대략 같은 사이즈로 하는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 이 광검출장치(3)에서는 해당 광검출장치(3)에 대해서 광검출소자(11)가 차지하는 면적을 충분히 확보할 수 있고, 콜드 플레이트(2)에 광검출장치(3)를 버터블 배치했을 때에 서로 인접하는 광검출장치(3, 3)에 있어서의 광검출소자(11, 11) 사이의 간격을 충분히 작게 할 수 있으므로, 불감(不感)영역의 축소화를 실현할 수 있다. 또, 제2 본딩 패드 영역(26)을 계단부(25)의 설치 면(25a)에 형성함으로써, 본딩 와이어(27)가 배선기판(12)의 표면 측으로 돌출하는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해, 광검출장치(3)를 콜드 플레이트(2)에 배치할 때에 본딩 와이어(27)를 단선 등으로부터 보호할 수 있다. 또한, 제2 본딩 패드(17B)의 형성 부분에 두께를 남기고 있으므로, 와이어 본딩을 실시할 때의 본딩 패드(17B)의 강도도 확보할 수 있다.
배선기판(12)에는 슬릿부(23)의 표면 측으로부터 덮개부(29)가 부착되어 있고, 제1 본딩 패드(17A), 제2 본딩 패드(17B) 및 본딩 와이어(27)가 외부로 노출하지 않도록 보호됨과 동시에, 슬릿부(23)의 내부를 외부와 연통시키는 통기공(30)이 형성되어 있다. 이와 같이, 광검출소자(11)와 배선기판(12)과의 와이어 본딩 부분을 보호하는 것에 의해, 광검출장치(3)를 콜드 플레이트(2)에 배치할 때의 본딩 와이어(27)의 단선 등을 방지할 수 있다. 또, 통기공(30)의 형성에 의해, 덮개부(29)를 부착한 후에도 슬릿부(23)의 내부를 외부와 등압으로 유지할 수 있으므로, 광검출부(1)의 사용 전후로 콜드 플레이트(2)에 의한 냉각 및 냉각의 해제가 이루어져도 슬릿부(23) 내의 기체의 수축·팽창에 의한 광검출장치(3)의 변형이나 파손을 억제할 수 있다.
본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상술한 실시형태에서는 콜드 플레이트(2) 위에 광검출장치(3)를 4사이드 버터블 배치하여 광검출부(1)을 구성하고 있지만, 광검출장치(3)를 2열로 배치하는 것에 의해, 광검출장치(3)의 3개의 측면이 서로 인접하는 광검출소자(11)의 측면과 대향하는 3사이드 버터블 배치를 채용하여도 된다.
또, 상술한 실시형태에서는 핀 베이스(13)에 있어서, 광검출소자(11)의 중심선(L)을 따르는 한쪽의 측면(34)과, 이 측면(34)에 있어서의 일단 측의 모서리부(35)를 위치결정부(33)로 하고 있지만, 광검출소자(11)의 중심선(L)에 직교하는 한쪽의 측면과, 이 측면에 있어서의 일단 측의 모서리부를 위치결정부(33)로 하여도 된다. 또한, 상술한 실시형태에서는 배선기판(12)의 일단 측의 가장자리의 대략 중앙에 통기공(30)을 형성하기 위한 홈부(28)를 형성하고 있지만, 이와 같은 홈부(28)는 덮개부(29) 측에 형성하도록 하여도 되고, 슬릿부(23) 및 덮개부(29)의 쌍방에 형성하여도 된다.
또한, 상술한 실시형태에서는 광검출소자(11)로부터의 출력신호가 리드 단자(21) 및 플렉서블 PCB(22)를 통하여 외부에 출력되지만, 이것으로 한정하는 것이 아니고, 예를 들면, 리드 단자(21)에 끼워맞춤하는 커넥터를 핀 베이스(13)의 개구부로부터 끼워넣어도 된다. 또, 노치부(24)는 반원 형상으로 했지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면 장방형 모양이어도 된다. 또, 제1 본딩 패드(17A)와 제2 본딩 패드(17B)를 와이어 본딩에 의해서 각각 전기적으로 접속할 때에는 내려쳐도 올려쳐도 된다. 또, 오목부(4)는 오목부로 하고 있지만, 나사형성 끼워맞춤 핀(32)을 끼워넣을 수 있고, 또한 플렉서블 PCB(22)를 통할 수 있는 복수의 구멍부라도 된다.
이와 같이, 본 발명은 이른바 이면 입사형의 광검출소자를 구비한 광검출장치에 이용 가능하다.

Claims (3)

  1. 한쪽의 면으로부터 입사한 광을 다른 쪽의 면 측의 광검출부에서 검출하는 광검출소자와,
    상기 광검출소자의 다른 쪽의 측에 설치되고, 상기 광검출부와 전기적으로 접속된 배선기판과,
    상기 배선기판의 다른 쪽의 측에 설치되고, 소정의 피설치체에 설치되는 베이스를 구비하고,
    상기 광검출소자의 다른 쪽의 면에는 상기 광검출소자의 위치기준이 되는 위치맞춤용 마크가 형성되며,
    상기 배선기판에는 상기 위치맞춤용 마크를 노출시키는 창부가 형성되고,
    상기 베이스는 상기 창부로부터 노출되는 상기 위치맞춤용 마크에 대해서 위치결정된 위치결정부와, 이 위치결정부에 대해서 위치결정되고, 상기 피설치체에 끼워 맞춰지는 끼워맞춤부를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 광검출장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치맞춤용 마크는 상기 광검출소자의 중심선을 통과하도록 2개소 이상으로 형성되고,
    상기 위치결정부는 상기 베이스의 하나의 측면과, 이 측면에 있어서의 하나의 단부인 것을 특징으로 하는 광검출장치.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 끼워맞춤부는 상기 베이스의 다른 쪽의 면 측으로 돌출하는 핀인 것을 특징으로 하는 광검출장치.
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