KR20090060683A - 기판 반송장치 - Google Patents

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KR20090060683A KR1020070127597A KR20070127597A KR20090060683A KR 20090060683 A KR20090060683 A KR 20090060683A KR 1020070127597 A KR1020070127597 A KR 1020070127597A KR 20070127597 A KR20070127597 A KR 20070127597A KR 20090060683 A KR20090060683 A KR 20090060683A
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박환서
김현정
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주식회사 디엠에스
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Abstract

본 발명은 기판을 이송시키는 기판 반송장치에 관한 것으로서, 로딩된 기판을 경사진 상태에서 이송시키는 경사이송부와 상기 경사이송부에 인접되게 설치되어 경사이송부로부터 이송되는 기판을 수평 상태로 전환하여 이송시키는 틸팅이송부 및 상기 틸팅이송부로부터 수평 상태로 기판을 전달받아 이송시키는 수평이송부를 포함하여 구성하되, 상기 틸팅이송부는 순차적으로 틸팅(Tilting) 가능하도록 복수 구역으로 구획되게 함으로써, 기판이 수평이송부로 이송됨과 동시에 또 다른 기판이 틸팅이송부의 전단부에 로딩되게 하여 버퍼 컨베이어(Buffer Conveyor)를 구비할 수 없는 기판 반송장치에서 기판이 정체되지 않고 연속적으로 고속 반송되는 것이 가능하게 되어 반송 시간의 감소에 따른 기판 생산시간(Tact Time)을 단축시켜 공정효율 및 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.
기판, 경사이송부, 수평이송부, 틸팅이송부

Description

기판 반송장치{A panel conveyor}
본 발명은 기판을 이송시키는 기판 반송장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 경사이송부로부터 이송되는 기판을 전달받아 수평이송부로 이송시키는 틸팅이송부를 구비하되, 상기 틸팅이송부가 순차적으로 틸팅(Tilting) 가능하도록 복수 구역으로 구획되게 함으로써, 기판이 수평이송부로 이송됨과 동시에 또 다른 기판이 틸팅이송부의 전단부에 로딩되게 하여 버퍼 컨베이어(Buffer Conveyor)를 구비할 수 없는 기판 반송장치에서 기판이 정체되지 않고 연속적으로 고속 반송되는 것이 가능하게 되어 기판 생산시간(Tact Time)을 단축시킬 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(FPD:Flat Panel Display) 장치인 플라즈마 표시소자(PDP:Plasma Display Panel)나 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display) 또는 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 유리 기판은 감광제 도포(P/R:Photo resist coating), 노광(Expose), 현상(Develop), 부식(Etching), 박리(Stripping), 세정(Cleaning), 건조(Dry) 등과 같은 여러 처리 공정을 통해 제조 되게 된다.
이러한 일련의 기판 처리공정은 통상적으로 기판을 이송시키는 기판 반송장치와 연계되어 진행되기 때문에, 기판 반송장치는 기판의 일정한 이송속도 유지나 정밀 위치제어가 가능하도록 작동되는 것이 무엇보다도 중요하다.
또한 기판은 다양한 처리공정의 특성에 따라 경사진 상태로 이송되거나 또는 수평 상태로 이송되면서 여러 공정라인을 거치게 된다.
따라서 종래의 기판 반송장치는 기판을 경사진 상태로 이송시키는 경사이송부와 수평 상태로 이송시키는 수평이송부가 구비되게 되며, 또한 기판이 연속적으로 이송될 수 있도록 상기 경사이송부와 수평이송부를 연결시켜주는 틸팅(Tilting)이송부를 구비하게 된다.
이하 종래의 기판 반송장치를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 기판 반송장치의 개략적인 측면도이고, 도 2는 도 1의 틸팅이송부(130)가 수평 상태로 전환된 것을 나타낸 개략적인 측면도이다.
도시된 바와 같이, 기판 반송장치는 경사이송부(110)와 틸팅이송부(130) 및 수평이송부(120)로 구성된다.
경사이송부(110)는 이송되는 기판(100)이 경사진 상태에서 처리공정을 거칠 수 있도록 하는 것으로서, 이송롤러(115)가 지지프레임(140) 상부에 설치된 롤러지지부(150)에 일정 각도로 경사진 상태로 배열 설치되고, 수평이송부(120)는 기판(100)이 수평 상태에서 처리공정을 거칠 수 있도록 이송롤러(125)가 수평 상태로 배열 설치된다.
한편 틸팅이송부(130)는 경사이송부(110)와 수평이송부(120) 사이에 구비되는 것으로서, 이송롤러(135)가 경사진 상태 또는 수평 상태로 틸팅(Tilting) 가능하게 롤러지지부(150)에 배열 설치된다.
따라서 틸팅이송부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 경사이송부(110)와 대응되도록 경사진 상태에서 경사이송부(110)로부터 이송되는 기판(100)을 전달받아 화살표와 같이 이송시키게 된다.
한편 틸팅이송부(130)는 기판(100)의 후단부가 경사이송부(110)로부터 완전히 빠져나와 기판(100)이 이송롤러(135) 상부에 로딩되면 기판(100)이 수평 상태를 유지할 수 있게 수평 상태로 전환된 후, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(100)을 수평이송부(120)로 이송시키게 되는 것이다.
그러나 상기와 같은 종래의 기판 반송장치는 틸팅이송부가 수평 상태로 전환되어 기판을 수평이송부로 이송시키는 구간 동안에는 경사이송부에 연속적으로 로딩되어 이송되는 또 다른 기판이 틸팅이송부로 이송될 수 없기 때문에, 틸팅이송부가 기판을 수평이송부로 완전히 진입시킨 후 다시 경사진 상태로 전환될 때까지 기판이 경사이송부에 정체된 상태를 유지하게 됨으로써, 기판이 연속적으로 이송되지 못하고 대기시간이 필요하게 되어 기판 생산시간(Tact Time)이 연장됨으로써 공정효율 및 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 경사진 상태로 이송시키는 경사이송부와 수평 상태로 이송시키는 수평이송부 사이에 틸팅이송부를 구비하되, 상기 틸팅이송부가 순차적으로 틸팅 가능하도록 복수 구역으로 구획되게 함으로써, 기판이 수평이송부로 이송됨과 동시에 또 다른 기판이 틸팅이송부의 전단부에 로딩되어 이송되게 함으로써 기판이 기판 반송장치에서 정체되지 않고 연속적으로 고속 반송될 수 있게 하여 기판 생산시간(Tact Time)을 단축시켜 공정효율 및 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 반송장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은 로딩된 기판을 경사진 상태에서 이송시킬 수 있게 다수개의 이송롤러가 구비된 경사이송부와 상기 경사이송부에 인접되게 설치되어 경사이송부로부터 이송되는 기판을 수평 상태로 전환하여 이송시키되, 순차적으로 틸팅 가능하게 복수개로 구획되는 틸팅이송부 및 상기 틸팅이송부로부터 수평 상태로 기판을 전달받아 이송시키는 다수개의 이송롤러가 구비된 수평이송부를 포함하여 구성된다.
또한 본 발명의 상기 틸팅이송부는 상기 경사이송부로부터 이송되는 기판을 전달받는 제1틸팅이송부와 상기 제1틸팅이송부로부터 기판을 전달받아 상기 수평이송부로 이송시키는 제2틸팅이송부로 구성될 수 있다.
또 본 발명의 상기 제1틸팅이송부는 지지프레임 상부에 틸팅 가능하게 설치되는 제1롤러지지부와 상기 제1롤러지지부에 설치되는 이송롤러로 구성되고 제2틸팅이송부는 지지프레임 상부에 틸팅 가능하게 설치되는 제2롤러지지부와 제2롤러지지부에 설치되는 이송롤러로 구성된다.
또 상기 제1틸팅이송부는 상기 기판의 후단부가 상기 제2틸팅이송부로 진입됨과 동시에 상기 경사이송부로부터 기판을 이송받을 수 있도록 경사진 상태로 전환되고, 상기 제2틸팅이송부는 기판의 후단부가 수평이송부로 진입됨과 동시에 경사진 상태로 전환되게 할 수 있다.
또한 본 발명의 상기 틸팅이송부에는 기판의 위치를 감지하는 기판감지센서가 더 구비될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 기판이 기판 반송장치에 로딩되어 이송될 때 기판이 일정 시간 동안 대기해야 하는 정체 구역이 발생되지 않게 되어 기판의 연속적인 고속 반송이 가능하게 됨으로써, 기판 생산시간(Tact Time)을 단축시켜 공정효율을 및 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하 본 발명에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 틸팅이송부(30)가 경사진 상태에서 기판(100) 이송되는 상태를 나타 낸 측면도이고, 도 4는 틸팅이송부(30)가 수평 상태에서 기판(100)이 이송되는 상태를 나타낸 측면도이며, 도 5는 기판(100)이 연속적으로 틸팅이송부(30)에 로딩되는 상태를 나타낸 측면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 기판 반송장치는 경사이송부(10)와 틸팅이송부(30) 및 수평이송부(20)로 구성된다.
경사이송부(10)는 지지프레임(40) 상부에 설치되는 롤러지지부(50)와 롤러지지부(50)에 다수개가 배열 설치되는 이송롤러(15)로 구성된다.
이송롤러(15)는 다수개가 횡방향과 종방향을 따라 서로 간섭되지 않게 배열 설치되어 기판(100)의 저면을 지지하게 된다.
이때 이송롤러(15)는 일정 각도로 경사지게 배열 설치됨으로써, 기판(100)이 경사진 상태에서 로딩되어 이송될 수 있게 한다.
이송롤러(15)는 기판(100)이 원할하게 이송될 수 있게 일정 간격으로 배열 설치되어 기판(100)의 저면을 지지함과 동시에 회전되면서 기판(100)을 이송시키는 것으로서, 롤러지지부(50)에 구비되는 구동모터(도시하지 않음)와 연결되게 된다.
이송롤러(15)는 기판(100) 등과 같은 박판 소재를 이송시키는 일반적인 형태의 원형 롤러가 사용될 수 있다.
또한 경사이송부(10)의 롤러지지부(50)에는 경사진 상태에서 이송되는 기판(100)의 하측부를 지지하는 기판지지롤러(도시하지 않음)가 설치된다.
따라서 기판(100)은 경사이송부(10)에 로딩되어 일정 각도로 경사진 상태로 이송되게 된다.
한편 틸팅이송부(30)는 경사이송부(10)의 후단부에 인접되게 설치되어 경사이송부(10)로부터 이송되는 기판(100)을 수평 상태로 전환시켜 이송시키는 것으로서, 일정 각도로 틸팅(Tilting)될 수 있게 설치된다.
틸팅이송부(30)는 제1틸팅이송부(32)와 제2틸팅이송부(36)로 구성된다.
제1틸팅이송부(32)는 지지프레임(40) 상부에 설치되는 제1롤러지지부(62)와 제1롤러지지부(62)에 설치되는 이송롤러(35)로 구성되고, 제2틸팅이송부(36)는 지지프레임(40) 상부에 설치되는 제2롤러지지부(66)와 제2롤러지지부(66)에 설치되는 이송롤러(35)로 구성된다.
제1틸팅이송부(32)와 제2틸팅이송부(36)는 독립적으로 틸팅 가능하게 설치되며, 틸팅 작동은 제1,2롤러지지부(32,36)의 일측에 각각 설치되는 일반적인 실린더(공압, 유압 등)(도시하지 않음)를 제어함으로써 이루어진다.
즉, 제1,2롤러지지부(32,36)는 기판(100)의 진행 방향에 대해 좌측부가 지지프레임(40)에 힌지 결합되고, 우측부는 실린더에 의해 지지될 수 있게 설치된다.
한편 제1,2롤러지지부(62,66)에는 경사이송부(10)의 롤러지지부(50)에 설치되는 기판지지롤러와 동일한 기판지지롤러(도시하지 않음)가 구비된다.
기판지지롤러는 제1,2롤러지지부(62,66)의 좌측부에 각각 설치되어 기판(100)이 경사진 상태로 이송될 수 있게 기판(100)의 하측부를 지지하는 것으로서, 다수의 롤러가 배열 설치되는 일반적인 형태로 구성될 수 있다.
이때 틸팅이송부(30)에는 이송되는 기판(100)의 위치를 감지할 수 있도록 기판감지센서(도시하지 않음)가 설치된다.
즉, 기판감지센서는 틸팅이송부(30)에 로딩되어 이송되는 기판(100)의 위치를 감지하는 것으로서, 기판(100)이 틸팅이송부(30)에 완전히 진입되면 제1,2틸팅이송부(32,36)가 수평 상태로 전환되도록 하고, 기판(100)의 후단부가 제1,2틸팅이송부(32,36)를 순차적으로 이탈할 때 이에 연동되어 제1,2틸팅이송부(32,36)가 순차적으로 틸팅 작동되게 함으로써 틸팅이송부(30)가 정확하게 제어될 수 있도록 한다.
한편 수평이송부(20)는 틸팅이송부(30)에 구비된 제2틸팅이송부(36)의 후단에 인접되게 설치되며, 기판(100)을 수평상태로 이송시키는 역할을 하게 된다.
수평이송부(20)는 지지프레임(40) 상부에 설치되는 롤러지지부(50)와 롤러지지부(50)에 설치되는 이송롤러(25)로 구성된다.
이송롤러(25)는 기판(100)이 수평 상태로 로딩되어 이송될 수 있도록 다수개가 배열 설치된다.
이하 본 발명의 작동과정을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저 도 3에 도시된 바와 같이, 경사이송부(10)로부터 이송되는 기판(100)은 경사진 상태로 틸팅되어 있는 틸팅이송부(30)에 로딩되어 화살표와 같이 이송되게 된다.
이때, 기판(100)은 일정 간격으로 이격된 상태에서 연속적으로 투입되어 순차적으로 이송된다.
따라서 틸팅이송부(30)에 로딩되어 이송되는 기판(100)의 전,후측에서 연속적으로 이송되는 기판(100)은 경사이송부(10)와 수평이송부(20)에 각각 로딩되어 이송되는 상태가 된다.
기판(100)이 경사이송부(10)로부터 틸팅이송부(30)로 전달되어 기판(100)의 후단부가 경사이송부(10)로부터 이탈된 후, 틸팅이송부(30)에 완전히 진입되게 되면, 도 4에 도시된 바와 같이, 틸팅이송부(30)는 수평 태로 전환되게 된다.
따라서 기판(100)은 수평 상태로 전환된 틸팅이송부(30)의 제1,2틸팅이송부(32,36)를 따라 이송된 후 수평이송부(20)로 이송되게 되는 것이다.
한편 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(100)이 틸팅이송부(30)로부터 수평이송부(20)로 이송되어 기판(100)의 후단부가 제1틸팅이송부(32)로부터 이탈된 후, 수평 상태의 제2틸팅이송부(36)로 완전히 진입되게 되면, 제1틸팅이송부(32)는 다시 경사진 상태가 될 수 있게 독립적으로 틸팅됨으로써 연이어 이송되는 또 다른 기판(100)이 진입될 수 있게 한다.
이때 수평이송부(20)로 이송되는 기판(100)의 후단부가 제2틸팅이송부(36)를 완전히 벗어나면 제2틸팅이송부(36)는 또 다른 기판(100)이 이송될 수 있게 제1틸팅이송부(32)에 이어 순차적으로 틸팅됨으로써 경사진 상태를 유지하게 된다.
그러므로 틸팅이송부(30)는 제1,2틸팅이송부(32,36)가 순차적으로 틸팅됨으로써 연이어 투입되어 이송되는 기판(100)을 정체없이 이송시키게 된다.
따라서 본 발명은 경사이송부(10)와 수평이송부(20) 사이에 설치되는 틸팅이송부(30)를 독립적으로 틸팅되는 제1,2틸팅이송부(32,36)로 구획하여 순차적으로 틸팅되게 함으로써, 연속적으로 투입되는 기판(100)이 정체없이 이송될 수 있어 제품 생산시간(Tact Time)을 현저히 절감할 수 있게 되는 것이다.
이상, 상기의 실시 예는 단지 설명의 편의를 위해 예시로서 설명한 것에 불과하므로 특허청구범위를 한정하는 것은 아니다.
도 1은 종래의 기판 이송장치의 측면도,
도 2는 도 1의 틸팅이송부가 수평 상태로 전환된 것을 나타낸 측면도,
도 3은 본 발명의 기판 반송장치의 틸팅이송부가 경사진 상태에서 기판이 이송되는 상태를 나타낸 측면도,
도 4는 본 발명의 기판 반송장치의 틸팅이송부가 수평 상태에서 기판이 이송되는 상태를 나타낸 측면도,
도 5는 기판이 연속적으로 틸팅이송부에 로딩되는 상태를 나타낸 측면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10,110 : 경사이송부 15,25,35,115,125,135 : 이송롤러
20,120 : 수평이송부 30,130 : 틸팅이송부
32 : 제1틸팅이송부 36 : 제2틸팅이송부
40,140 : 지지프레임 50,150 : 롤러지지부
62 : 제1롤러지지부 66 : 제2롤러지지부

Claims (5)

  1. 로딩된 기판을 경사진 상태에서 이송시킬 수 있게 다수개의 이송롤러가 구비된 경사이송부;
    상기 경사이송부에 인접되게 설치되어 경사이송부로부터 이송되는 기판을 수평 상태로 전환하여 이송시키되, 순차적으로 틸팅 가능하게 복수 구역으로 구획되는 틸팅이송부; 및
    상기 틸팅이송부로부터 수평 상태로 기판을 전달받아 이송시키는 다수개의 이송롤러가 구비된 수평이송부;
    를 포함하여 구성되는 기판 반송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 틸팅이송부는,
    상기 경사이송부로부터 이송되는 기판을 전달받는 제1틸팅이송부와 상기 제1틸팅이송부로부터 기판을 전달받아 상기 수평이송부로 이송시키는 제2틸팅이송부로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1틸팅이송부는 지지프레임 상부에 틸팅 가능하게 설치되는 제1롤러지지부와 상기 제1롤러지지부에 설치되는 이송롤러로 구성되고 제2틸팅이송부는 지지 프레임 상부에 틸팅 가능하게 설치되는 제2롤러지지부와 제2롤러지지부에 설치되는 이송롤러로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1틸팅이송부는 상기 기판의 후단부가 상기 제2틸팅이송부로 진입됨과 동시에 상기 경사이송부로부터 기판을 이송받을 수 있도록 경사진 상태로 전환되고, 상기 제2틸팅이송부는 기판의 후단부가 수평이송부로 진입됨과 동시에 경사진 상태로 전환될 수 있게 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 틸팅이송부에는 기판의 위치를 감지하는 기판감지센서가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
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KR1020070127597A KR20090060683A (ko) 2007-12-10 2007-12-10 기판 반송장치

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102915940A (zh) * 2011-08-05 2013-02-06 株式会社Mm科技 具有紧凑结构的基板表面处理系统及基板表面处理方法

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