KR20090000411U - 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대 - Google Patents

반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대에 관한 것이다. 경질의 합성수지로 제조되고 내부저면의 양측에 저상부(20)와 이들 사이의 고상부(22)를 갖는 외부박스(18)의 내부저면측에 연질의 합성수지로 제조되고 원호형의 상면부(12)에 다수의 요구(16)가 형성되어 있으며 모서리부분에서 수평각부(30)가 형성된 지지각(14)이 연장된 웨이퍼받침대(10)를 그 수평각부(30)가 외부박스(18)의 양측 저상부(20)상에 얹히도록 배치되며, 경질 합성수지로 제조되고 양측벽(36)내에 웨이퍼(32)가 삽입되는 다수의 수직삽입구(38)가 형성되고 하측에 하측개방부(42)가 형성되어 있으며 양측벽(36)으로부터 하측으로 지지각부(44)가 연장된 내부박스(34)가 외부박스(18)내에 수용되는 것에 있어서, 웨이퍼받침대(10)의 상면부(12)에 형성된 요구(16)가 양측의 요구측벽(16a)(16a') 사이에 형성되고 요구(16)의 양측 단부부근에서 폭이 좁아지도록 요구측벽(16a)(16a')에 요구(16)측으로 진출된 구조의 협소측벽면(16b)(16b')이 형성되어 있으며, 내부박스(34)의 지지각부(44)이 얹히는 웨이퍼받침대(10)의 수평각부(30)의 상부면에 다수의 돌기(48)가 형성된다.
반도체 웨이퍼, 운반박스, 웨이퍼받침대.

Description

반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대 {WAFER CRADLE FOR SEMICONDUCTOR WAFER BOX}
본 발명은 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대에 관한 것으로, 특히 웨이퍼의 하측부를 안정되게 지지할 수 있도록 하고 운반박스의 내부구성요소인 내부박스의 하측부가 외부박스의 내부에 수용된 상태에서 하측으로 가하여지는 하중이 탄력적으로 지지될 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대에 관한 것이다.
통상적으로 반도체 웨이퍼 운반박스는 뚜껑을 갖는 외부박스와 이러한 외부박스내에 수용되는 내부박스로 구성된다. 내부박스는 다수의 웨이퍼가 실릴 수 있도록 되어 있다. 즉, 이러한 내부박스는 상하개방형이고 양측벽에 다수의 웨이퍼가 각각 수직으로 정렬되어 삽입될 수 있는 수직삽입구가 형성되어 있으며 하측개방부는 웨이퍼의 외주원에 일치하고 하측으로 향하여 좁아지는 양측의 원호부분 사이에 형성된다. 내부박스의 양측벽은 하측으로 연장되어 지지각부를 구성하며 내부박스에 수용되는 웨이퍼는 그 하측부분이 하측개방부를 통하여 하측으로 노출될 수 있게 되어 있다. 다수의 웨이퍼가 수용된 내부박스를 외부박스내에 다시 수용할 때, 외부박스의 내부저면측에는 웨이퍼받침대가 배치되어 웨이퍼의 하측부분을 지지할 수 있게 되어 있다.
이러한 반도체 웨이퍼 운반박스는 외부박스와 내부박스가 투명 또는 반투명 재질의 경질 플라스틱으로 제조되고 웨이퍼받침대는 웨이퍼의 하중을 적절히 지탱할 수 있도록 어느 정도의 탄성을 갖는 연질 플라스틱으로 제조된다. 상기 언급된 바와 같이, 다수의 웨이퍼가 수직으로 정렬되어 삽입된 내부박스의 하측에 배치되는 웨이퍼받침대는 그 상부면의 윤곽이 원호형이며 내부박스의 웨이퍼 수직삽입구에 대응하여 웨이퍼의 하측부분이 삽입되는 다수의 요구가 형성되어 있다. 그리고 웨이퍼받침대의 각 모서리측에는 지지각이 구성되어 있어 외부박스의 내부저면측에 배치될 수 있게 되어 있다.
이러한 전형적인 형태의 웨이퍼받침대는 원호형의 상부면에서 웨이퍼의 하측부분이 삽입되는 요구의 단면형태가 "V"형으로 되어 있다. 그리고 이러한 요구의 단면형태는 원호형 상부면의 일측변부로부터 타측변부까지 동일하게 되어 있다. 따라서, 웨이퍼받침대의 상부면 요구는 단순히 웨이퍼의 하측부분을 지지하는 기능만을 가질 뿐이다. 그러나, 웨이퍼 자체는 웨이퍼와 웨이퍼 사이의 간격이 충분히 유지된 상태에서 내부박스의 양측벽에 형성된 수직삽입부에 삽입되므로 운반박스를 운반하는 과정중에 웨이퍼가 비록 제한된 범위이기는 하나 어느 정도 유동이 이루어질 수 있다. 웨이퍼의 손상은 반도체 제조에 있어서 치명적일 수 있어 운반박스내에서 웨이퍼가 유동하는 것조차 가능하다면 방지되는 것이 좋다.
또한 내부박스의 경우 그 양측벽에서 하측으로 연장되어 구성되는 지지각부 가 외부박스의 내부저면에 직접 접촉할 때 상기 언급된 바와 같은 웨이퍼운반과정에서 심한 소음을 발생할 수 있으며 일부 웨이퍼의 하중이 실릴 수도 있는 내부박스의 하중이 외부박스의 내부저면에 직접 전달되어 웨이퍼의 충격을 줄이지 못하는 경우가 있다.
본 고안에 있어서는 종래의 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 웨이퍼를 유동없이 안정되게 지지할 수 있도록 하는 동시에 적어도 외부박스의 내부저면측에서 내부박스와 외부박스 사이를 완충시킬 수 있도록 하는 웨이퍼받침대를 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위하여, 본 고안에 있어서는 경질의 합성수지로 제조되고 내부저면의 양측에 저상부와 이들 사이의 고상부를 갖는 외부박스의 내부저면측에 연질의 합성수지로 제조되고 원호형의 상면부에 다수의 요구가 형성되어 있으며 모서리부분에서 수평각부가 형성된 지지각이 연장된 웨이퍼받침대를 그 수평각부가 외부박스의 양측 저상부상에 얹히도록 배치되며, 경질 합성수지로 제조되고 양측벽내에 웨이퍼가 삽입되는 다수의 수직삽입구가 형성되고 하측에 하측개방부가 형성되어 있으며 양측벽으로부터 하측으로 지지각부가 연장된 내부박스가 외부박스내에 수용되는 것에 있어서, 웨이퍼받침대의 상면부에 형성된 요구가 양측의 요구측벽 사이에 형성되고 요구의 양측 단부부근에서 폭이 좁아지도록 요구측벽에 요구측으로 진출된 구조의 협소측벽면이 형성되어 있으며, 내부박스의 지지각부이 얹히는 웨이퍼받침대의 수평각부의 상부면에 다수의 돌기가 형성됨을 특징으로 한다.
도 1 내지 도 4는 본 고안에 따른 웨이퍼받침대(10)를 보인 것이다. 이러한 웨이퍼받침대(10)는 연질의 합성수지로 제조되고 원호형의 상면부(12)와 모서리부분에서 하측으로 연장된 지지각(14)으로 구성된다. 원호형 상부면(12)에는 원호형태를 따라서 단면이 "V"형인 다수의 요구(16)가 형성되어 있다.
이러한 웨이퍼받침대(10)는 도 7 내지 도 9에서 보인 바와 같이 경질의 합성수지로 제조된 외부박스(18)의 내부저면측에 배치된다. 외부박스(18)는 그 저면측에 양측으로 저상부(20)가 형성되어 있고 이들 사이에 고상부(22)가 형성되어 있다.
웨이퍼받침대(10)의 상면부(12)는 외부박스(18)의 고상부(22)상에 일정한 간격을 두고 배치되며 그 지지각(14)이 저상부(20)상에 배치된다. 웨이퍼받침대(10)의 지지각(14)에 인접하여 상면부(12)의 하측평면부(24)에는 정치공(26)이 형성되어 있고 외부박스(18)의 고상부(22)에는 정치돌기(28)가 형성되어 있어 웨이퍼받침대(10)의 정치공(26)이 고상부(22)의 정치돌기(28)에 결합되어 웨이퍼받침대(10)가 외부박스(18)의 내부저면측에서 고정된 위치에 배치된다(도 9).
웨이퍼받침대(10)의 모서리로부터 연장된 지지각(14)의 단부에는 각각 수평각부(30)가 일체로 형성되어 있다.
한편, 외부박스(18)의 내부에는 실질적으로 웨이퍼(32)가 실리는 내부박스(34)가 수용된다. 이 내부박스(34)는 외부박스(18)와 마찬가지로 경질 합성수지로 제조되며 상측으로부터 원형의 웨이퍼(32)가 다수 삽입될 수 있게 되어 있다. 이를 위하여 내부박스(34)의 양측벽(36)내에는 다수의 수직삽입구(38)가 형성되어 있으며 그 하측에서 웨이퍼(32)의 외주원에 일치하고 하측으로 향하여 좁아지는 양 측의 원호부분(40) 사이에 하측개방부(42)가 형성되고 내부박스(34)의 양측벽(36)은 하측으로 연장되어 지지각부(44)를 구성한다.
이러한 내부박스(34)의 양측벽(36)에 형성된 다수의 수직삽입구(38)에 다수의 웨이퍼(32)가 삽입되어 실린 상태에서, 내부박스(34)가 외부박스(18)내에 수용된다. 그리고 외부박스(18)에는 상측으로부터 뚜껑(46)이 덮인다.
내부박스(34)가 외부박스(18)내에 수용될 때 내부박스(34)에 삽입된 웨이퍼(32)의 하측부는 하측개방부(42)측으로 노출되어 이러한 웨이퍼(32)의 하측부분의 외주연부가 웨이퍼받침대(10)의 상면부(12)에 형성된 요구(16)에 삽입되어 지지된다.
본 고안에 따라서, 웨이퍼받침대(10)의 요구(16)는 다음과 같은 형상을 갖도록 개선된다. 즉, 도 4 내지 도 6에서 보인 바와 같이, 웨이퍼받침대(10)의 상면부(12)에 형성된 요구(16)는 그 단면이 거의 "V"형으로 되어 있으며 양측의 요구측벽(16a)(16a') 사이에 형성된다. 이러한 요구(16)는 상기 언급된 바와 같이 그 단면이 거의 "V"형으로 되어 있어 웨이퍼(32)의 하측부 외주연이 용이하게 삽입될 수 있다. 본 고안에 따라서, 이러한 요구(16)는 양측의 단부부근에서 그 상부의 폭이 좁아지도록 변형된다. 이를 위하여 요구(16)를 형성하는 요구측벽(16a)(16a')은 요구(16)의 단부부근에 해당하는 부분에서 요구(16)측으로 진출된 구조의 협소측벽면(16b)(16b')을 갖는다. 따라서, 이러한 웨이퍼(32)자체의 측면부가 대부분 내부박스(34)의 수직삽입구(38)에 의하여 측방향으로의 유동이 방지됨과 동시에 요구(16)에 하측 외주연 부분이 삽입되어 지지되는 웨이퍼(32)는 요구(16)에 삽입되 는 부분이 요구(16)의 양측 단부부근에서 그 상부의 폭이 좁아지도록 요구측벽(16a)(16a')의 협소측벽면(16b)(16b')에 의하여 협지됨으로서 이러한 요구(16)의 부분에서 웨이퍼(16)가 유동되는 것이 방지된 상태로 안정되게 지지될 수 있다.
또한, 웨이퍼받침대(10)의 모서리로부터 연장된 지지각(14)의 단부에 일체로 형성된 수평각부(30)는 외부박스(18)의 내부저면에서 저상부(20)측에 배치되고 내부박스(34)의 지지각부(44)가 이러한 수평각부(30)상에 얹히게 되므로 경질의 합성수지로 각각 제조된 외부박스(18)와 내부박스(34)가 직접접촉되지 않고 연질의 합성수지로 제조된 웨이퍼받침대(10)의 수평각부(30)를 매개로 내부박스(34)의 지지각부(44)가 지지되어 내부박스(34)의 하중이 완충상태로 지탱될 수 있다. 이에 더 나아가, 본 고안에 따라서는 웨이퍼받침대(10)의 수평각부(30)의 상부면에 다수의 돌기(48)를 형성함으로서 내부박스(34)를 통하여 전달되는 충격을 크게 완화시킴으러서 웨이퍼(32)에 가하여질 수 있는 손상의 위험을 없앨 수 있다.
이와 같이, 본 고안은 웨이퍼를 유동없이 안정되게 지지할 수 있도록 하는 동시에 적어도 외부박스의 내부저면측에서 내부박스와 외부박스 사이를 완충시킬 수 있도록 하는 웨이퍼받침대를 제공한다.
도 1은 본 고안 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대의 사시도.
도 2는 본 고안의 정면도.
도 3은 본 고안의 측단면도.
도 4는 본 고안의 평면도.
도 5는 도 4의 "V" 원부분의 확대도.
도 6은 도 5의 A-A선 및 B-B선 확대단면도.
도 7은 운반박스의 외부박스내에 수용되는 웨이퍼받침대와 내부박스를 보인 분리단면도.
도 8은 운반박스의 외부박스내에 웨이퍼받침대와 내부박스가 수용된 것을 보인 단면도.
도 9는 도 8의 "IX" 원부분의 확대도.
도면의 주요부분에 대한 부호설명
10... 웨이퍼받침대 12... 상면부
14... 지지각 16... 요구
16a, 16a'... 요구측벽 16b, 16b' ... 협소측벽면
30... 수평각부 32... 웨이퍼 34... 내부박스 36... 양측벽
44... 지지각부 48... 돌기

Claims (1)

  1. 경질의 합성수지로 제조되고 내부저면의 양측에 저상부(20)와 이들 사이의 고상부(22)를 갖는 외부박스(18)의 내부저면측에 연질의 합성수지로 제조되고 원호형의 상면부(12)에 다수의 요구(16)가 형성되어 있으며 모서리부분에서 수평각부(30)가 형성된 지지각(14)이 연장된 웨이퍼받침대(10)를 그 수평각부(30)가 외부박스(18)의 양측 저상부(20)상에 얹히도록 배치되며, 경질 합성수지로 제조되고 양측벽(36)내에 웨이퍼(32)가 삽입되는 다수의 수직삽입구(38)가 형성되고 하측에 하측개방부(42)가 형성되어 있으며 양측벽(36)으로부터 하측으로 지지각부(44)가 연장된 내부박스(34)가 외부박스(18)내에 수용되는 것에 있어서, 웨이퍼받침대(10)의 상면부(12)에 형성된 요구(16)가 양측의 요구측벽(16a)(16a') 사이에 형성되고 요구(16)의 양측 단부부근에서 폭이 좁아지도록 요구측벽(16a)(16a')에 요구(16)측으로 진출된 구조의 협소측벽면(16b)(16b')이 형성되어 있으며, 내부박스(34)의 지지각부(44)이 얹히는 웨이퍼받침대(10)의 수평각부(30)의 상부면에 다수의 돌기(48)가 형성됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 운반박스용 웨이퍼받침대.
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