KR20080110007A - 기판 처리 장치 및 이에 구비된 노즐의 세정 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 기판상에 약액을 분사하는 약액 노즐과, 상기 약액 노즐 내의 약액을 흡입하여 약액 분사 방향의 반대 방향으로 약액을 이동시키는 흡입 부재를 가지는 약액 처리부와;상기 약액 처리부에 인접 배치되며, 그리고 공정 진행을 위해 대기 중인 상기 약액 노즐을 세정하는 노즐 세정부;를 포함하되,상기 노즐 세정부는,상기 약액 노즐이 대기하는 공간을 제공하는 하우징과;상기 하우징에 위치한 상기 약액 노즐의 선단으로 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 세정액 공급 부재는 상기 약액 노즐의 선단으로 세정액을 공급하도록 상기 하우징에 형성되는 세정액 공급 라인으로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 하우징에는 상기 약액 노즐로 건조 가스를 분사하는 건조 가스 라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 기판상에 약액을 분사하는 약액 노즐과, 상기 약액 노즐 내의 약액을 흡입하여 약액 분사 방향의 반대 방향으로 약액을 이동시키는 흡입 부재를 가지는 약액 처리부와;공정 진행을 위해 대기 중인 상기 약액 노즐을 세정하는 노즐 세정부와;상기 약액 처리부와 상기 노즐 세정부의 사이에 배치되며, 상기 약액과 혼합되지 않는 불용액이 채워진 불용액 배스;를 포함하되,상기 노즐 세정부는,상기 약액 노즐이 대기하는 공간을 제공하는 하우징과;상기 하우징에 위치한 상기 약액 노즐의 선단으로 세정액을 공급하는 세정액 공급 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 세정액 공급 부재는 상기 약액 노즐의 선단으로 세정액을 공급하도록 상기 하우징에 형성되는 세정액 공급 라인으로 마련되고,상기 하우징에는 상기 약액 노즐로 건조 가스를 분사하는 건조 가스 라인이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
- 약액 노즐을 세정하는 방법에 있어서,상기 약액 노즐의 토출구에 인접한 영역으로 세정액을 분사하면서 상기 약액 노즐 내의 약액을 흡입하여 상기 약액 노즐의 토출구로 세정액을 유입시키는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 약액 노즐의 토출구에 인접한 영역으로 세정액을 분사하기 전에 상기 약액 노즐 내의 약액을 흡입하여 약액의 액면을 약액 분사 방향의 반대 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 약액 노즐의 토출구에 인접한 영역으로 세정액을 분사하기 전의 상기 약액 노즐 내의 약액 흡입은 상기 약액 노즐의 토출구로 공기가 유입되도록 대기 상태에서 진행되는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 약액 노즐의 토출구에 인접한 영역으로 세정액을 분사하기 전의 상기 약액 노즐 내의 약액 흡입은 상기 약액 노즐의 토출구로 상기 약액과 혼합되지 않는 불용액이 유입되도록 상기 불용액이 채워진 배스에서 진행되는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 약액 노즐로 건조 가스를 공급하여 상기 약액 노즐의 외벽을 적시는 세정액을 건조하는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
- 제 6 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 약액 노즐의 토출구로 세정액을 유입시켜 상기 약액 노즐을 세정 처리하는 공정은 상기 약액 노즐이 대기하는 위치에서 진행되는 것을 특징으로 하는 노즐 세정 방법.
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