KR20080104927A - Sorting handler for burn-in test - Google Patents

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KR20080104927A
KR20080104927A KR1020070064522A KR20070064522A KR20080104927A KR 20080104927 A KR20080104927 A KR 20080104927A KR 1020070064522 A KR1020070064522 A KR 1020070064522A KR 20070064522 A KR20070064522 A KR 20070064522A KR 20080104927 A KR20080104927 A KR 20080104927A
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burn
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board
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test
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KR1020070064522A
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정현권
김병석
윤성규
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한미반도체 주식회사
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Abstract

The sorting handler for the burn-in test is provided to minimize the latency time of the insert picker and to increase the throughput per unit time and to simplify the overall structure of equipment. The sorting handler for the burn-in test comprises the loading unit(30) for accepting the semiconductor packages, the unloader(40) for classifying and accepting the semiconductor packages according to the test result, the insert picker mounted on the empty space of the burn-in board(52) for picking up semiconductor packages to be newly tested, the removing working position (RP) for completed burn-in semiconductor packages, the insert work location which mounts the semiconductor package to be newly tested by the insert picker on the empty space on the burn-in board.

Description

번인 테스트용 소팅 핸들러{Sorting Handler for Burn-in Test}Sorting Handler for Burn-in Test}

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도1 is a plan view schematically showing the configuration of a sorting handler for a burn-in test according to a first embodiment of the present invention

도 2a와 도 2b는 도 1의 소팅 핸들러의 리무빙작업위치와 인서트작업위치에 구성되는 클램핑랫치작동유닛의 일 실시예를 나타낸 요부 단면도Figures 2a and 2b is a cross-sectional view of the main portion showing an embodiment of the clamping latch operating unit configured in the removing operation position and the insert operation position of the sorting handler of Figure 1

도 3a와 도 3b는 도 1의 소팅 핸들러의 리무빙작업위치와 인서트작업위치에구성되는 클램핑랫치작동유닛의 다른 실시예를 나타낸 요부 단면도3A and 3B are cross-sectional views of main parts of another embodiment of a clamping latch operating unit configured at a removing working position and an insert working position of the sorting handler of FIG.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도Figure 4 is a plan view schematically showing the configuration of the burn-in test sorting handler according to a second embodiment of the present invention

도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도5 is a plan view schematically showing the configuration of a burn-in test sorting handler according to a third embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도6 is a plan view schematically showing the configuration of a burn-in test sorting handler according to a fourth embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10, 110, 210 : 본체 20, 120, 220 : 랙10, 110, 210: main body 20, 120, 220: rack

30, 130, 230 : 로딩부 40, 140, 240 : 언로딩부30, 130, 230: loading part 40, 140, 240: unloading part

41, 141, 241 : 양품 언로딩부 42, 142, 242 : 번인리젝트부41, 141, 241: unloading part 42, 142, 242: burn-in reject part

43, 143, 243 : 번인리젝트부 44, 144, 244 : DC리젝트부43, 143, 243: burn-in reject section 44, 144, 244: DC reject section

50, 150, 250 : X축 가이드프레임 51, 151 : 로딩픽커50, 150, 250: X-axis guide frame 51, 151: Loading picker

52, 152 : 인서트픽커 53, 153 : 리무브픽커52, 152: Insert picker 53, 153: Remove picker

54 : 리젝트 언로딩픽커 154 : 언로딩픽커54: reject unloading picker 154: unloading picker

61, 161, 261 : DC 테스트부 62, 162, 262 : DC리젝트 버퍼부61, 161, 261: DC test unit 62, 162, 262: DC reject buffer unit

63 : 번인리젝트 버퍼부 163 : 언로딩버퍼부63: burn-in reject buffer section 163: unloading buffer section

80 : 클램프랫치작동유닛 81 : 작동부재80: clamp latch operation unit 81: operating member

251, 255 : 제 1,2로딩픽커 252, 256 : 제 1,2인서트픽커 251, 255: 1st and 2nd loading picker 252, 256: 1st and 1st insert picker

253, 257 : 제 1,2리무브픽커 B : 번인보드253, 257: 1st and 2nd move picker B: burn-in board

L : 클램프랫치 T : 트레이L: Clamp Latch T: Tray

RP : 리무빙작업위치 IP : 인서트작업위치RP: Removing Work Position IP: Insert Work Position

RIP1, RIP2 : 제 1,2리무빙/인서트 작업위치RIP1, RIP2: 1st, 2nd moving / insert working position

본 발명은 번인 테스트용 소팅 핸들러에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 패키지를 출하 전에 번인보드(burn-in board)에 장착하여 고열에서 내열성 테스트를 수행한 후, 테스트 완료된 반도체 패키지들을 번인보드에서 분리하여 테스트 결과에 따라 분류하여 트레이에 수납시키고, 테스트할 새로운 반도체 패키지를 번인보드에 장착시키는 작업을 자동으로 수행하는 번인 테스트용 소팅 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a sorting handler for a burn-in test. More particularly, the semiconductor package is mounted on a burn-in board prior to shipping and subjected to a heat resistance test at a high temperature, and then the tested semiconductor packages are separated from the burn-in board. The present invention relates to a sorting handler for burn-in test that automatically sorts and stores a tray in a tray according to a test result and mounts a new semiconductor package to a burn-in board.

일반적으로, 반도체 패키지들은 생산이 완료된 후 테스트 장치에 의해 각종 전기적 성능이 테스트되어, 테스트 결과 양품으로 분류된 제품만이 출하될 수 있도록 함으로써 제품의 신뢰성을 확보하고 있다. In general, semiconductor packages have been tested for electrical performance by a test apparatus after production is completed, so that only the products classified as good results can be shipped to ensure the reliability of the product.

이러한 반도체 패키지의 테스트중의 하나로 실제 사용환경에서 반도체 패키지가 고열에 의해 결함이 발생하는 것을 최소화하기 위하여 번인 테스트(Burn-in Test)를 실시하고 있다. 상기 번인테스트는 번인 테스트용 소팅 핸들러에서 테스트할 반도체 패키지들을 번인보드(burn-in board)에 장착한 다음, 번인보드를 번인테스터(Burn-in Tester)로 반송하여 고온에서 내열성 테스트를 수행하고, 다시 번인보드를 번인 테스트용 소팅 핸들러로 반송하여 테스트 결과별로 출하용 트레이에 분류, 수납시키는 과정으로 이루어진다.One of the tests of the semiconductor package is to carry out a burn-in test in order to minimize the occurrence of defects due to high temperature in the actual use environment. In the burn-in test, the semiconductor packages to be tested in the burn-in test sorting handler are mounted on a burn-in board, and then the burn-in board is returned to a burn-in tester to perform a heat resistance test at a high temperature. The burn-in board is returned to the burn-in test sorting handler and sorted and stored in the shipping tray for each test result.

이와 같이 번인테스트 과정에서 번인 테스트용 소팅 핸들러는 번인 테스터에 의해 테스트된 반도체 패키지를 번인보드로부터 분리하여 테스트 결과별로 출하용 트레이에 소팅하고, 새로 테스트될 반도체 패키지를 번인보드에 장착하여 주는 일련의 작업을 자동으로 수행한다. In this burn-in test process, the burn-in test sorting handler separates the semiconductor package tested by the burn-in tester from the burn-in board, sorts it into the shipping tray for each test result, and mounts a new semiconductor package to be tested on the burn-in board. Do it automatically.

전형적인 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러는, 리무브픽커(removal picker)가 번인보드로부터 테스트 완료된 반도체 패키지를 인출하여 언로딩부의 트레이로 반송하는 동안, 인서트픽커(insert picker)가 로딩부의 트레이로부터 새로운 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트소켓으로 반송하여 간단한 DC 테스트를 수행한 다 음 DC 테스트가 완료된 반도체 패키지를 번인보드의 빈 자리에 채워넣는 방식으로 소팅 작업을 수행하였다. A typical conventional burn-in tester sorting handler uses an insert picker from a tray of a loading section while a pick picker takes a tested semiconductor package from a burn-in board and returns it to the tray of the unloading section. After the package was picked up and returned to the DC test socket, a simple DC test was performed, and then the sorting operation was performed by filling the semiconductor package where the DC test was completed into an empty space on the burn-in board.

그러나, 종래의 번인 테스터용 소팅 핸들러는 상기 리무브픽커와 인서트픽커가 동일한 경로를 따라 이동하기 때문에, 리무브픽커가 번인보드의 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하는 작업을 수행하는 동안 인서트픽커는 새로 테스트할 반도체 패키지들을 번인보드에 넣지 못하고 대기하다가 리무브픽커가 완전히 간섭 위치에서 벗어난 이후에야 인서트픽커가 번인보드 상으로 이동하여 테스트할 반도체 패키지들을 장착하였다.However, in the conventional burn-in tester sorting handler, since the remove picker and the insert picker move along the same path, the insert picker is newly tested while the remove picker performs the operation of drawing out the tested semiconductor packages of the burn-in board. The insert picker moved onto the burn-in board and mounted the semiconductor packages to be tested until the remove picker was completely out of the interfering position.

따라서, 테스트 완료된 반도체 패키지를 번인보드에서 분리하고 그 빈자리에 새로 테스트할 반도체 패키지를 채워 넣는 작업을 수행하는 시간, 즉 인덱스타임(index time)이 길어져 단위시간당 처리량(UPH: Unit Per Hour)이 저하되는 문제가 있다. As a result, the time required to remove the tested semiconductor package from the burn-in board and to fill the empty semiconductor package to be tested, that is, the index time is increased, thereby decreasing the unit per hour (UPH). There is a problem.

또한, 상기 인서트픽커가 대기하는 동안 인서트픽커보다 작업 사이클이 짧은 다른 픽커, 예를 들어 트레이에서 새로 테스트할 반도체 패키지를 인출하여 DC 테스트소켓에 장착하여 주는 로딩픽커 역시 작업을 수행하지 못하고 인서트픽커와 함께 대기하여야 하는 병목현상이 발생하므로 작업 효율이 저하되고, 단위시간당 처리량(UPH)을 더욱 저하시키는 문제가 발생하게 된다. In addition, while the insert picker waits, another picker having a shorter working cycle than the insert picker, for example, a loading picker which pulls out a semiconductor package to be newly tested from a tray and mounts it in a DC test socket, may not perform an operation. Since bottlenecks that must wait together occur, the work efficiency is lowered, and the problem of further lowering the throughput per unit time (UPH) occurs.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 장비의 전체 구조를 복잡하게 하지 않으면서 인덱스타임을 줄이고, 인서트픽커의 대기 시간을 최소화하여 단위시간당 처리량(UPH)를 증대시킬 수 있는 번인 테스트용 소팅 핸들러를 제공함에 있다.The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to reduce the index time without complicating the overall structure of the equipment, to minimize the waiting time of the insert picker to increase the throughput per unit time (UPH) It provides a sorting handler for burn-in testing that can be done.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 형태에 따르면, 본체와; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 반송하는 리무브픽커와; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치 를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a main body; A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; An insert picker installed on the upper part of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested and mounting them in an empty position of the burn-in board; A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, and to carry out and transport the burned-in tested semiconductor packages from the burn-in board; A removing work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker and performing a work of drawing out the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board by the remove picker; The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. A sorting handler for the burn-in test is provided, including the insert work position to be made.

본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 본체와; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부와; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하는 로딩픽커와; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 리무브픽커와; 상기 리무브픽커에 의해 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지 중 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인리젝트 버퍼부와; 상기 DC리젝트 버퍼부와 번인리젝트 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부 로 반송하여 불량품 수납용 트레이에 수납시키는 리젝트 언로딩픽커와; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러가 제공된다.According to another aspect of the invention, the main body; A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; A DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; A DC reject buffer unit which temporarily receives semiconductor packages which are determined to be defective by the DC test unit; A loading picker installed on the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor package from the loading unit and mounting the semiconductor package to the DC test unit; An insert picker installed at an upper portion of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested by the DC test unit and mounting them in an empty position of the burn-in board; A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, for removing the burn-in test-completed semiconductor packages from the burn-in board and conveying them to the unloading unit; A burn-in reject buffer unit for temporarily receiving semiconductor packages, which are determined to be defective, among the semiconductor packages separated from the burn-in board by the remove picker; A reject unloading picker which transfers the semiconductor packages of the DC reject buffer unit and the burn-in reject buffer unit to the unloading unit and stores the semiconductor packages in a tray for receiving defective products; A removing work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker and performing a work of drawing out the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board by the remove picker; The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. A sorting handler for burn-in testing is provided that includes the insert work location to be made.

본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 본체와; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부와; 상기 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인 버퍼부와; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트 부에 장착하거나 상기 DC리젝트 버퍼부에서 DC 불량 반도체 패키지를 픽업하여 언로딩부로 반송하는 로딩픽커와; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 리무브픽커와; 상기 번인 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 테스트 결과에 따라 트레이들에 분류, 수납시키는 언로딩픽커와; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러가 제공된다.According to still another aspect of the present invention, there is provided an apparatus comprising: a main body; A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; A DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; A DC reject buffer unit which temporarily receives semiconductor packages which are determined to be defective by the DC test unit; A burn-in buffer unit to temporarily receive semiconductor packages separated from the burn-in board; It is installed to move in the X-axis direction on the upper portion of the main body, and the pickup picks up the semiconductor package from the loading unit mounted in the DC test unit or the pick-up DC defective semiconductor package from the DC reject buffer unit to return to the unloading unit Wow; An insert picker installed at an upper portion of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested by the DC test unit and mounting them in an empty position of the burn-in board; A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, for removing the burn-in test-completed semiconductor packages from the burn-in board and conveying them to the unloading unit; An unloading picker which transfers the semiconductor package of the burn-in buffer unit to the unloading unit and sorts and stores the semiconductor package according to a test result; A removing work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker and performing a work of drawing out the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board by the remove picker; The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. A sorting handler for burn-in testing is provided that includes the insert work location to be made.

본 발명의 또 다른 한 형태에 따르면, 본체와; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위 치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지며, Y축 방향으로 일정 거리로 왕복 이동 가능하게 설치된 DC 테스트부와; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되며, Y축 방향으로 일정 거리로 왕복 이동 가능하게 설치된 DC리젝트 버퍼부와; 상기 본체의 상부를 X축 방향으로 가로지르도록 설치된 X축 가이드프레임과; 상기 X축 가이드프레임의 제 1면과 제 2면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하거나 상기 DC리젝트 버퍼부에서 DC 불량 반도체 패키지를 픽업하여 언로딩부로 반송하는 제 1,2로딩픽커와; 상기 X축 가이드프레임의 제 1면과 제 2면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 제 1,2인서트픽커와; 상기 X축 가이드프레임의 제 2면과 제 1면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 제 1,2리무브픽커와; 상기 본체에 상기 제 1,2인서트픽커와 제 1,2리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 각각 배치되어, 상기 제 1,2리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업과 제 1,2인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 교대로 이루어지는 제 1,2리무빙/인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러가 제공된다.According to still another aspect of the present invention, there is provided an apparatus comprising: a main body; A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; A burn-in board stage for moving the burn-in board taken out of the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; A DC test unit connected to the semiconductor package to be tested transferred from the loading unit to perform an electrical performance test, the DC test unit being installed to reciprocate at a predetermined distance in the Y-axis direction; A DC reject buffer unit for temporarily receiving semiconductor packages that are determined to be defective as a result of a DC test in the DC test unit, and installed to reciprocate at a predetermined distance in the Y-axis direction; An X-axis guide frame installed to cross the upper portion of the main body in the X-axis direction; Installed on the first and second surfaces of the X-axis guide frame to move independently in the X-axis direction, the semiconductor package is picked up from the loading unit and mounted on the DC test unit, or the DC reject buffer unit is defective in DC. First and second loading pickers which pick up the semiconductor package and transfer the semiconductor package to the unloading unit; The first and second surfaces of the X-axis guide frame are installed to move independently in the X-axis direction, respectively, the first to pick up the semiconductor packages to be newly tested in the DC test unit to be mounted in the empty place of the burn-in board, 2 insert picker; First and second move pickers installed on the second and first surfaces of the X-axis guide frame to move independently in the X-axis direction, respectively, to carry out the burn-in-tested semiconductor packages to the unloading unit. Wow; The first and second insert pickers and the first and second remove pickers are disposed on the lower side of the moving path, respectively, and the burn-in-tested semiconductor packages on the burn-in board are drawn out by the first and second remove pickers. And a sorting handler for burn-in testing including a first and second moving / inserting work positions in which a work of newly mounting a semiconductor package to be newly tested by the first and second insert pickers in an empty position on the burn-in board is alternately provided. .

이러한 본 발명에 따르면, 번인 테스트용 소팅 핸들러는 반도체 패키지를 인출하는 리무빙작업위치와 반도체 패키지를 삽입하는 인서트작업위치가 Y축 방향으로 일정 거리 떨어진 위치에 위치하므로, 리무브픽커가 번인보드에서 번인 테스트 완료된 반도체 패키지를 분리한 후 곧바로 인서트픽커가 번인보드의 빈 자리에 새로운 반도체 패키지를 삽입할 수 있다. 따라서, 번인보드에서 반도체 패키지를 분리하고 새로운 반도체 패키지를 삽입하는데 소요되는 시간, 즉 인덱스타임을 줄일 수 있고, 인서트픽커의 대기 시간을 최소화하여 병목 현상을 없앨 수 있으며, 단위시간당 생산량(UPH)을 증대시킬 수 있는 이점이 있다. According to the present invention, the burn-in test sorting handler has a removal work position for drawing out the semiconductor package and an insert work position for inserting the semiconductor package at a predetermined distance away from the Y-axis direction, so that the remove picker is removed from the burn-in board. Immediately after removing the burn-in-tested semiconductor package, the insert picker can insert a new semiconductor package into an empty spot on the burn-in board. Therefore, the time taken to separate the semiconductor package from the burn-in board and insert a new semiconductor package, that is, the index time can be reduced, the bottleneck can be eliminated by minimizing the wait time of the insert picker, and the output per unit time (UPH) can be reduced. There is an advantage that can be increased.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail preferred embodiments of the sorting handler for the burn-in test according to the present invention.

먼저, 도 1을 참조하여 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 구성 및 작동에 대해 설명한다.First, the configuration and operation of the burn-in test sorting handler according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1.

도 1에 도시된 것과 같이, 본 발명에 따른 소팅 핸들러의 본체(10)의 일측에 복수개의 번인보드(B)들이 적재되는 랙(20)(rack)이 설치된다. 상기 랙(20)에는 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 수납한 번인보드(B) 또는 새로 테스트할 반도체 패키지들이 채워질 빈 번인보드들이 적재된다. As shown in FIG. 1, a rack 20 on which a plurality of burn-in boards B are stacked is installed on one side of the main body 10 of the sorting handler according to the present invention. The rack 20 is loaded with a burn-in board B for storing the burn-in-tested semiconductor packages or a blank burn-in board for filling the semiconductor packages to be newly tested.

그리고, 본체(10)의 베이스 하부에는 상기 랙(20)으로부터 인출된 번인보드(B)를 반도체 패키지 인출 및/또는 삽입을 위한 위치로 이동시키고, 이 위치에서 번인보드(B)를 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지(미도시)가 설 치된다. 또한, 도면에 도시하지는 않았으나, 상기 본체(10)의 하부에는 상기 랙(20)으로부터 번인보드(B)를 인출하여 상기 번인보드 스테이지(미도시) 상으로 반송하고, 번인보드 스테이지(미도시) 상의 번인보드(B)를 랙(20)으로 반송하여 주는 번인보드 반송로봇(미도시)이 구성된다. In addition, the burn-in board B drawn out from the rack 20 is moved to a position for the semiconductor package withdrawal and / or insertion at the lower part of the base of the main body 10, and the burn-in board B is moved at any position. A burn-in board stage (not shown) is installed to move it into position. In addition, although not shown in the drawing, the burn-in board B is drawn out from the rack 20 at the lower portion of the main body 10 and conveyed onto the burn-in board stage (not shown), and the burn-in board stage is not shown. The burn-in board conveying robot (not shown) which conveys the burn-in board B of the upper box to the rack 20 is comprised.

또한, 상기 본체(10)의 일측에는 새로 테스트할 반도체 패키지를 수납한 트레이들이 적재된 로딩부(30)가 설치된다. 상기 로딩부(30)에서 트레이(T)는 도면에 도시되지 않은 선형운동장치에 의해 본체(10)의 전방에서 후방으로 Y축 방향을 따라 이동하도록 구성된다. In addition, one side of the main body 10 is provided with a loading unit 30 loaded with trays containing the semiconductor package to be newly tested. In the loading unit 30, the tray T is configured to move along the Y-axis direction from the front of the main body 10 to the rear by a linear motion device not shown in the figure.

그리고, 상기 로딩부(30)의 반대편에는 번인 테스트 결과 별로 반도체 패키지들이 분류되어 수납되는 트레이들이 구비된 언로딩부(40)가 설치된다. 상기 언로딩부(40)는 번인 테스트 결과 양품으로 판정된 반도체 패키지들이 수납되는 양품 언로딩부(41)와, 번인 테스트 결과 불량품 또는 재검사품으로 판정된 반도체 패키지들이 수납되는 번인리젝트부(42, 43)와, DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지가 수납되는 DC리젝트부(44)로 구성된다. In addition, an unloading unit 40 having trays in which semiconductor packages are classified and stored for each burn-in test result is installed on the opposite side of the loading unit 30. The unloading part 40 includes a good quality unloading part 41 in which semiconductor packages determined to be good as a result of a burn-in test are received, and a burn-in reject part 42 in which semiconductor packages determined as defective or re-inspected goods are received as a result of a burn-in test. And 43, and a DC reject portion 44 that houses a semiconductor package that is determined to be defective as a result of the DC test.

상기 언로딩부(40)에서 트레이(T)들은 도면에 도시되지 않은 선형운동장치들에 의해 본체(10)의 후방에서 전방으로 Y축 방향을 따라 이동하면서 반도체 패키지들을 수납한다. In the unloading part 40, the trays T store the semiconductor packages while moving along the Y-axis direction from the rear of the main body 10 to the front by linear motion devices (not shown).

또한, 상기 본체(10)의 후방부 상측에는 상기 로딩부(30)에서 반도체 패키지가 모두 로딩되고 난 후의 빈 트레이를 상기 언로딩부(40)로 이송하여 주는 트레이 반송장치(35)가 X축 방향을 따라 이동하도록 설치된다.In addition, the upper side of the rear portion of the main body 10, the tray conveying device 35 for transferring the empty tray after all the semiconductor package is loaded in the loading unit 30 to the unloading unit 40 X axis It is installed to move along the direction.

한편, 상기 본체(10)의 중간 부분에는 X축 가이드프레임(50)이 X축 방향으로 연장되게 설치되고, 이 X축 가이드프레임(50)에는 로딩픽커(51), 인서트픽커(52)(insert picker), 리무브픽커(53)(removal picker), 및 리젝트 언로딩픽커(54)가 각각 선형운동장치(미도시)들에 의해 X축 방향을 따라 수평하게 왕복 이동 가능하게 설치된다. 여기서, 상기 로딩픽커(51)와 인서트픽커(52)와 리젝트 언로딩픽커(54)는 X축 가이드프레임(50)의 전방면을 따라 이동하도록 설치되며, 상기 리무브픽커(53)는 X축 가이드프레임(50)의 후방면을 따라 이동하도록 설치된다. 따라서, 상기 인서트픽커(52)와 리무브픽커(53) 간에는 Y축 방향으로 소정의 간격이 형성된다. 상기 각각의 픽커들은 한번에 10개의 반도체 패키지들을 진공흡착할 수 있도록 10개씩의 흡착노즐들을 구비하나, 그 수는 필요에 따라 달라질 수 있다. Meanwhile, an X-axis guide frame 50 is installed in the middle portion of the main body 10 so as to extend in the X-axis direction, and the loading picker 51 and the insert picker 52 are inserted into the X-axis guide frame 50. picker), a pick picker 53 (removal picker), and a reject unloading picker 54 are installed to reciprocate horizontally along the X-axis direction by linear motion devices (not shown), respectively. Here, the loading picker 51, the insert picker 52 and the reject unloading picker 54 are installed to move along the front surface of the X-axis guide frame 50, and the remove picker 53 is X It is installed to move along the rear surface of the shaft guide frame 50. Therefore, a predetermined distance is formed between the insert picker 52 and the remove picker 53 in the Y-axis direction. Each of the pickers is provided with ten adsorption nozzles for vacuum adsorption of ten semiconductor packages at a time, but the number may vary as necessary.

상기 로딩픽커(51)와 인서트픽커(52)와 리무브픽커(53) 및 리젝트 언로딩픽커(54)는 각 흡착노즐들의 피치가 트레이의 피치와 번인보드의 피치로 가변될 수 있는 가변피치 픽커이다. The loading picker 51, the insert picker 52, the remove picker 53, and the reject unloading picker 54 have a variable pitch in which the pitches of the respective adsorption nozzles can be changed to the pitch of the tray and the pitch of the burn-in board. Picker.

또한, 상기 X축 가이드프레임(50)의 하측, 엄밀히 말하면 상기 로딩픽커(51)의 이동경로 상의 하측에 상기 로딩부(30)로부터 반송된 반도체 패키지들이 DC 테스트되는 DC 테스트부(61)가 설치된다. 상기 DC 테스트부(61)는 상기 로딩픽커(51)들이 한번에 반송할 수 있는 반도체 패키지의 수(이 실시예에서 10개)와 동일한 수의 DC 테스트용 소켓들을 구비하는 것이 바람직하지만, 반드시 이에 한정하지는 않는다. In addition, a DC test unit 61 is installed below the X-axis guide frame 50, that is, the semiconductor packages conveyed from the loading unit 30 are DC-tested under the moving path of the loading picker 51. do. The DC test unit 61 preferably has the same number of DC test sockets as the number of semiconductor packages (10 in this embodiment) that the loading pickers 51 can carry at a time, but is not limited thereto. It doesn't.

또한, 상기 리젝트 언로딩픽커(54)의 이동경로 상의 하측에 번인보드(B)로부 터 인출된 반도체 패키지들 중 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인리젝트 버퍼부(63)가 설치된다. In addition, the burn-in reject buffer unit 63 temporarily storing the semiconductor packages determined as defective among the semiconductor packages extracted from the burn-in board B below the movement path of the reject unloading picker 54 is provided. Is installed.

여기서, 상기 번인리젝트 버퍼부(63)는 상기 리무브픽커(53)로부터 반도체 패키지들을 받을 수 있도록 Y축 방향으로 일정 거리만큼 이동할 수 있도록 구성된다. 상기 번인리젝트 버퍼부(63)는 언로딩부(40)의 트레이(T)들의 이동을 방해하지 않도록 본체(10)의 베이스로부터 상측으로 일정 높이 이상의 위치에 형성된다. Here, the burn-in reject buffer unit 63 is configured to move by a predetermined distance in the Y-axis direction to receive the semiconductor packages from the remove picker 53. The burn-in reject buffer portion 63 is formed at a position higher than a predetermined height upward from the base of the main body 10 so as not to interfere with the movement of the trays T of the unloading portion 40.

그리고, 상기 인서트픽커(52)의 이동경로의 전방측에는 상기 DC 테스트부(61)에서 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부(62)가 설치된다. 상기 DC리젝트 버퍼부(62)는 인서트픽커(52)로부터 반도체 패키지를 전달받을 수 있도록 Y축 방향으로 일정 거리만큼 이동할 수 있도록 구성된다.In addition, a DC reject buffer part 62 is provided at the front side of the movement path of the insert picker 52 to temporarily receive semiconductor packages that are determined to be defective by the DC test part 61. The DC reject buffer unit 62 is configured to be moved by a predetermined distance in the Y-axis direction so as to receive the semiconductor package from the insert picker 52.

상기 번인리젝트 버퍼부(63)와 DC리젝트 버퍼부(62)는 픽커에 의해 한번에 반송될 수 있는 반도체 패키지의 수와 동일한 칸수(이 실시예에서 10칸)를 갖는 것이 바람직하지만, 반드시 이에 한정하지는 않는다. The burn-in reject buffer section 63 and the DC reject buffer section 62 preferably have the same number of columns (10 in this embodiment) as the number of semiconductor packages that can be conveyed at one time by the picker, but not necessarily It is not limited.

한편, 상기 본체(10)의 X축 가이드프레임(50)의 하측에 상기 리무브픽커(53)에 의해 번인보드(B) 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치(RP)가 배치되고, 상기 리무빙작업위치(RP)로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에 상기 인서트픽커(52)에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치(IP)가 배치된다.Meanwhile, a removal work position RP in which the burn-in test completed semiconductor package on the burn-in board B is drawn out by the remove picker 53 at the lower side of the X-axis guide frame 50 of the main body 10. Is placed, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker 52 is mounted at an empty position on the burn-in board at a position spaced a predetermined distance away from the removing operation position RP in the Y-axis direction. The working position IP is arranged.

상기 리무빙작업위치(RP)는 상기 리무브픽커(53)의 이동 경로 상의 하측에 배치되고, 상기 인서트작업위치(IP)는 상기 인서트픽커(52)의 이동 경로 상의 하측에 배치된다. The removing working position RP is disposed below the moving path of the remove picker 53, and the insert working position IP is disposed below the moving path of the insert picker 52.

도 2a와 도 2b에 도시된 것과 같이, 상기 번인보드(B)에는 번인보드(B) 상에서 각각의 반도체 패키지들을 상측에서 가압하여 고정시키는 클램핑랫치(L)가 설치되어 있으며, 상기 리무빙작업위치(RP)와 인서트작업위치(IP)에는 상기 리무브픽커(53)와 인서트픽커(52)가 반도체 패키지를 번인보드(B)에서 빼내고 삽입할 때 상기 클램핑랫치(L)를 작동시키는 클램핑랫치작동유닛(80)이 상기 번인보드(B)와 동기적으로 Y방향으로 이동하며 리무빙작업위치(RP)와 인서트작업위치(IP)로 이동하도록 구성된다. As shown in Figure 2a and 2b, the burn-in board (B) is provided with a clamping latch (L) for pressing and fixing the respective semiconductor packages on the burn-in board (B) from the upper side, the removal work position At the RP and the insert work position IP, the clamping latch actuates the clamping latch L when the remove picker 53 and the insert picker 52 remove and insert the semiconductor package from the burn-in board B. The unit 80 is configured to move in the Y direction synchronously with the burn-in board B and to move to the removing working position RP and the insert working position IP.

상기 클램핑랫치작동유닛(80)은 그의 작동부재(81)가 상하로 승강 운동하면서 상기 클램핑랫치(L)를 가압하여 클램핑랫치(L)에 의한 반도체 패키지의 고정 상태를 해제시킨다. The clamping latch operating unit 80 presses the clamping latch L while the operating member 81 moves up and down to release the fixed state of the semiconductor package by the clamping latch L.

물론, 이와 다르게 상기 클램핑랫치(L)를 작동시키기 위한 클램핑작동유닛이 리무빙작업위치(RP)와 인서트작업위치(IP) 사이에서 이동하지 않고, 도 3a와 도 3b에 도시한 것과 같이, 리무빙작업위치(RP)와 인서트작업위치(IP) 각각에 제 1클램핑랫치작동유닛(80a)과 제 2클램핑랫치작동유닛(80b)을 고정되게 설치하여 번인보드(B)의 위치에 따라 제 1,2클램핑랫치작동유닛(80a, 80b)을 선택적으로 작동시켜 클램핑랫치(L)를 작동시킬 수도 있을 것이다. Of course, the clamping operation unit for operating the clamping latch L does not move between the removing working position RP and the insert working position IP, as shown in FIGS. 3A and 3B. The first clamping latch operating unit 80a and the second clamping latch operating unit 80b are fixedly installed in the moving working position RP and the insert working position IP, respectively, and according to the position of the burn-in board B, The clamping latch L may be operated by selectively operating the two clamping latch operating units 80a and 80b.

상기와 같이 구성된 첫번째 실시예에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러는 다 음과 같이 작동한다.The burn-in test sorting handler according to the first embodiment configured as described above operates as follows.

번인 테스터(Burn-in Tester)에서 번인 테스트가 완료된 번인보드(B)들을 랙(20)에 적재한 후, 소팅 핸들러를 가동시키면, 번인보드 반송로봇(미도시)이 상기 랙(20)으로부터 번인보드(B)들중 하나를 인출하여 번인보드 스테이지(미도시) 상에 안착시킨다. Burn-in tester (Burn-in Tester) after the burn-in test (B) is loaded in the rack 20, the sorting handler is activated, the burn-in board carrier robot (not shown) burn-in from the rack 20 One of the boards B is withdrawn and seated on a burn-in board stage (not shown).

그리고, 언로딩부(40)에서는 빈 트레이(T)들이 후방에서 전방으로 이동하여 X축 가이드프레임(50)의 하측에 정렬되고, 로딩부(30)에서는 하나의 트레이(T)가 전방에서 후방으로 이동하여 로딩픽커(51)의 하측에 위치하게 된다. In the unloading part 40, the empty trays T move forward from the rear to the lower side of the X-axis guide frame 50, and in the loading part 30, one tray T is moved from the front to the rear. Move to the lower side of the loading picker (51).

이어서, 로딩픽커(51)가 X축 가이드프레임(50)을 따라 이동하면서 로딩부(30)의 트레이(T)에 수납된 테스트 대상 반도체 패키지를 진공 흡착한 다음, DC 테스트부(61)로 반송하여 DC 테스트소켓에 접속시킨다. DC 테스트부(61)에서 반도체 패키지들의 DC 테스트가 이루어지는 동안 로딩픽커(51)는 로딩부(30)로 되돌아가 새로운 반도체 패키지를 흡착하여 DC 테스트부(61)으로 반송한다. Subsequently, while the loading picker 51 moves along the X-axis guide frame 50, the test target semiconductor package stored in the tray T of the loading unit 30 is vacuum-adsorbed and then transferred to the DC test unit 61. To the DC test socket. While the DC test of the semiconductor packages is performed in the DC test unit 61, the loading picker 51 returns to the loading unit 30 to absorb the new semiconductor package and return it to the DC test unit 61.

그리고, 인서트픽커(52)는 DC 테스트부(61)의 상측으로 이동하여 DC 테스트가 완료된 반도체 패키지들을 진공 흡착하고, 인서트작업위치(IP)로 이동하여 대기한다. The insert picker 52 moves to the upper side of the DC test unit 61 to vacuum-absorb the semiconductor packages on which the DC test is completed, and moves to the insert work position IP to stand by.

한편, 상기와 같이 로딩픽커(51)와 인서트픽커(52)가 작업을 수행하는 동안, 상기 리무브픽커(53)는 X축 가이드프레임(50)을 따라 리무빙작업위치(RP)로 이동하여 정렬한다. 그리고, 클램핑랫치작동유닛(80)(도 2a 참조)이 작동하여 번인보드(B) 상의 클램핑랫치(L)를 해제 작동시킴과 동시에, 상기 리무브픽커(53)가 하강 하여 번인보드(B)의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 픽업하여 상승한다. Meanwhile, while the loading picker 51 and the insert picker 52 perform the work as described above, the remove picker 53 moves to the removing work position RP along the X-axis guide frame 50. Sort it. Then, the clamping latch operating unit 80 (see FIG. 2A) is operated to release the clamping latch L on the burn-in board B, and at the same time, the remove picker 53 descends to burn-in board B. Burn-in of the tested semiconductor packages are picked up and raised.

상기와 같이 리무브픽커(53)가 번인보드(B)의 반도체 패키지를 빼내면, 번인보드 스테이지(미도시)가 번인보드(B)를 Y축 방향으로 일정 피치 이동시켜 상기 번인보드(B)의 반도체 패키지들이 빼내어진 빈 자리가 인서트작업위치(IP)의 하측에 위치하도록 한다. 이 때, 상기 클램핑랫치작동유닛(80)(도 2b 참조)이 상기 번인보드(B)의 클램핑랫치(L)를 해제시킨 상태, 즉 개방된 상태에서 번인보드(B)와 함께 동기적으로 이동한다. When the remove picker 53 removes the semiconductor package of the burn-in board B as described above, the burn-in board stage (not shown) moves the burn-in board B by a predetermined pitch in the Y-axis direction to burn the board B. The empty space from which the semiconductor packages are removed is positioned below the insert working position IP. At this time, the clamping latch operating unit 80 (see FIG. 2B) moves synchronously with the burn-in board B in a state in which the clamping latch L of the burn-in board B is released, that is, in an open state. do.

이어서, 인서트작업위치(IP)의 상측에서 대기하고 있던 인서트픽커(52)가 하강하여 번인보드(B)의 빈 자리에 새로운 반도체 패키지들을 채워넣고 상승한 다음, 다시 DC 테스트부(61)로 이동한다. 그리고, 상기 번인보드 스테이지(미도시)는 번인보드를 이동시켜 다음으로 인출될 반도체 패키지들이 리무빙작업위치(RP)에 정렬되도록 한다. Subsequently, the insert picker 52 waiting on the upper side of the insert work position IP descends, fills up the new semiconductor packages in the empty positions of the burn-in board B, ascends, and then moves back to the DC test unit 61. . The burn-in board stage (not shown) moves the burn-in board so that the next semiconductor packages to be withdrawn are aligned at the removing operation position RP.

한편, 번인보드(B)에서 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 흡착한 리무브픽커(53)는 언로딩부(40)로 이동하여 양품으로 판정된 반도체 패키지들을 양품 언로딩부(41)의 트레이에 수납시킨다. Meanwhile, the remove picker 53, which absorbs the burned-in test semiconductor packages from the burn-in board B, moves to the unloading unit 40 to store the semiconductor packages, which are determined to be good, in the tray of the good unloading unit 41. Let's do it.

이 때, 리무브픽커(53)가 픽업한 반도체 패키지 중 번인 테스트 결과 불량품으로 판정된 것이 있으면, 상기 번인리젝트 버퍼부(63)가 Y축 방향으로 이동하여 리무브픽커(53)의 이동경로의 하측에 정렬되고, 리무브픽커(53)는 번인 테스트 불량으로 판정된 반도체 패키지만 번인리젝트 버퍼부(63)에 내려 놓는다. At this time, if any of the semiconductor packages picked up by the remove picker 53 is determined to be a defective product, the burn-in reject buffer unit 63 moves in the Y-axis direction to move the movement path of the remove picker 53. Aligned to the lower side, the remove picker 53 puts only the semiconductor package, which is determined as a burn-in test failure, to the burn-in reject buffer unit 63.

그리고, 상기 인서트픽커(52)가 DC 테스트부(61)에서 인서트작업위치(IP)로 반도체 패키지들을 반송하는 작업을 수행하는 동안, 인서트픽커(52)가 픽업한 반도체 패키지 중 DC 테스트 결과 불량품으로 판정된 것이 있으면, 상기 DC리젝트 버퍼부(62)가 Y축 방향으로 이동하여 인서트픽커(52)의 하측에 정렬되고, 인서트픽커(52)는 DC 불량으로 판정된 반도체 패키지만 DC리젝트 버퍼부(62)에 내려 놓는다. 그리고, DC리젝트 버퍼부(62)의 초기의 위치로 복귀하면, 인서트픽커(52)는 인서트작업위치(IP)에서 DC 테스트 결과 양품으로 판정된 것들을 번인보드(B)의 빈 자리에 삽입시킨다. In addition, while the insert picker 52 performs the operation of transporting the semiconductor packages from the DC test unit 61 to the insert work position IP, the defective DC pick-up of the semiconductor packages picked up by the insert picker 52 is defective. If there is a determination, the DC reject buffer 62 moves in the Y-axis direction and is aligned below the insert picker 52, and the insert picker 52 only the semiconductor package determined as DC defective is the DC reject buffer. Lower to part 62. Then, when returning to the initial position of the DC reject buffer unit 62, the insert picker 52 inserts the ones determined as good or good as a result of the DC test at the insert work position IP into the empty positions of the burn-in board B. .

한편, 상기 리젝트 언로딩픽커(54)는 X축 가이드프레임(50)을 따라 이동하면서 상기 번인리젝트 버퍼부(63)와 DC리젝트 버퍼부(62)의 불량 반도체 패키지를 상기 언로딩부(40)의 번인리젝트부(42, 43) 또는 DC리젝트부(44)의 트레이로 반송하여 수납시키게 되는데, 이 때, 특별한 경우를 제외하고 하나의 번인보드에서 불량 반도체 패키지가 발생할 확률은 대략 5% 내외이며, 하나의 번인보드에 채워질 테스트 대상 반도체 패키지들 중 DC 테스트 불량이 발생할 확률은 대략 3% 내외로, 하나의 번인보드에서 번인테스트 완료된 반도체 패키지를 인출하고 새로운 반도체 패키지를 채워넣는 작업을 수행하는 동안, 상기 번인리젝트 버퍼부(63)와 DC리젝트 버퍼부(62)에 불량품 반도체 패키지들이 완전히 채워질 확률은 미미하다. Meanwhile, the reject unloading picker 54 moves along the X-axis guide frame 50 to unload the defective semiconductor package of the burn-in reject buffer 63 and the DC reject buffer 62. The burn-in rejects 42 and 43 of the 40 or the trays of the DC-rejector 44 are transported and accommodated. At this time, except for a special case, the probability that a defective semiconductor package is generated in one burn-in board is It is about 5%, and the probability of DC test failure among the semiconductor packages to be filled on one burn-in board is about 3%. Withdraw the burn-in-tested semiconductor package from one burn-in board and fill the new semiconductor package. During the operation, the probability that the defective semiconductor packages are completely filled in the burn-in reject buffer 63 and the DC reject buffer 62 is minimal.

따라서, 리젝트 언로딩픽커(54)는 하나의 번인보드(B)에 대한 반도체 패키지 교환 작업이 종료된 후 대기하다가 교환작업이 종료된 번인보드(B)를 랙(20)에 재수납시키고, 새로운 번인보드(B)를 인출하여 작업위치로 반송하는 랙체인징타임(rack changing time) 동안, 불량 반도체 패키지들을 반송하는 작업을 수행하도 록 프로그래밍됨이 바람직하다.Therefore, the reject unloading picker 54 waits after the replacement of the semiconductor package for one burn-in board B is completed, and then stores the burn-in board B after the replacement is completed in the rack 20. During the rack changing time of taking out the new burn-in board B and returning it to the working position, it is desirable to be programmed to perform the operation of conveying the defective semiconductor packages.

물론, 이와 같이 리젝트 언로딩픽커(54)의 작업 순서가 프로그래밍된다 하더라도 필요에 따라, 예를 들어 번인리젝트 버퍼부(63)에 번인테스트 불량 반도체 패키지가 모두 채워지는 경우 번인보드(B)의 반도체 패키지 교환 작업 도중이라도 리젝트 언로딩픽커(54)가 불량 반도체 패키지를 반송하는 작업을 수행하도록 제어될 것이다. Of course, even if the operation sequence of the reject unloading picker 54 is programmed in this way, for example, when all the burn-in test defective semiconductor packages are filled in the burn-in reject buffer unit 63, the burn-in board B is used. Even during the semiconductor package replacement operation, the reject unloading picker 54 will be controlled to perform the operation of conveying the defective semiconductor package.

한편, 상기 번인보드(B)에 반도체 패키지를 교환하는 작업 동안, 상기 로딩부(30)의 한 트레이(T)로부터 모든 반도체 패키지들이 인출되면, 빈 트레이(T)는 본체(10)의 후방으로 이동한다. 그리고, 트레이 반송장치(35)가 상기 빈 트레이(T)를 픽업하여 언로딩부(40) 중 어느 하나, 예를 들어 양품 언로딩부(41)의 후방으로 반송하여, 양품 언로딩부(41)에서 테스트 완료된 반도체 패키지를 수납하는 트레이로 재활용하도록 한다. On the other hand, during the operation of replacing the semiconductor package on the burn-in board (B), if all the semiconductor packages are pulled out from one tray (T) of the loading unit 30, the empty tray (T) to the rear of the main body 10 Move. And the tray conveyance apparatus 35 picks up the said empty tray T, conveys it to the back of any one of the unloading parts 40, for example, the goods unloading part 41, and the goods unloading part 41 ) To recycle the tested semiconductor package to a tray.

상술한 것과 같이 본 발명의 소팅 핸들러는 상기 로딩픽커(51)가 로딩부(30)에서 DC 테스트부(61)로, 상기 인서트픽커(52)가 DC 테스트부(61)에서 인서트작업위치(IP)로, 리무브픽커(53)가 리무빙작업위치(RP)에서 양품 언로딩부(41)로, 리젝트 언로딩픽커(54)가 번인리젝트 버퍼부(63) 및 DC리젝트 버퍼부(62)에서 번인리젝트부(42, 43) 및 DC리젝트부(44)로 각각 주어진 시퀀스에 따라 연속 반복적으로 이동하면서 번인보드(B)에서 번인테스트 완료된 반도체 패키지를 빼냄과 더불어 새로운 반도체 패키지를 번인보드(B)의 빈 자리에 채워 넣는다. As described above, in the sorting handler of the present invention, the loading picker 51 is the loading unit 30 from the DC test unit 61, and the insert picker 52 is inserted from the DC test unit 61. ), The remove picker 53 is a non-loading part 41 from the removing operation position RP, and the reject unloading picker 54 is a burn-in reject buffer 63 and a DC reject buffer part. A new semiconductor package is removed from the burn-in board (B) by removing the burn-in-tested semiconductor package from the burn-in board (B) while repeatedly moving in sequence from the 62 to the burn-in reject sections 42 and 43 and the DC reject section 44, respectively. Fill in the empty place on the burn-in board (B).

이러한 과정을 수행할 때, 리무브픽커(53)가 리무빙작업위치(RP)에서 번인보 드(B)를 인출하면, 번인보드(B)가 Y축 방향으로 이동하고, 인서트픽커(52)가 인서트작업위치(IP)에서 대기하고 있다가 하강하여 번인보드(B)의 빈 자리에 반도체 패키지를 채워넣는다. 따라서, 본 발명의 소팅 핸들러는 리무브픽커(53)가 리무빙작업위치(RP)를 완전히 벗어나지 않더라도 인서트픽커(52)가 번인보드에 반도체 패키지를 삽입시킬 수 있으므로 기존에 비하여 인덱스타임(index time)이 대폭 줄어드는 이점을 얻을 수 있다. When performing this process, if the remove picker 53 withdraws the burn-in board (B) at the removing operation position (RP), the burn-in board (B) moves in the Y-axis direction, the insert picker (52) Waits at the insert work position (IP) and descends to fill the semiconductor package in the empty space of the burn-in board (B). Accordingly, the sorting handler of the present invention has an index time compared to the conventional one because the insert picker 52 can insert the semiconductor package into the burn-in board even if the remove picker 53 does not completely leave the removing work position RP. ) Can greatly benefit.

도 4는 본 발명에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 두번째 실시예를 나타낸 것으로, 이 실시예의 소팅 핸들러는 기본적인 구성은 전술한 첫번째 실시예의 소팅 핸들러와 대체로 유사하다. 다만, 이 두번째 실시예의 소팅 핸들러는 언로딩부(140)를 구성하는 DC리젝트부(144)가 로딩부(130)의 바로 일측에 구성되며, 언로딩부(140)의 다른 구성부인 양품 언로딩부(141)와 2개의 번인리젝트부(142, 143)는 첫번째 실시예와 마찬가지로 로딩부(130)의 반대편 일측에 구성된다. 미설명부호 110은 본체이고, 120은 랙이다. Figure 4 shows a second embodiment of the burn-in test sorting handler according to the present invention. The sorting handler of this embodiment has a basic configuration substantially similar to the sorting handler of the first embodiment described above. However, in the sorting handler of the second embodiment, the DC reject unit 144 constituting the unloading unit 140 is configured on one side of the loading unit 130, and the other parts of the unloading unit 140 are good products. The loading unit 141 and the two burn-in reject units 142 and 143 are configured on the opposite side of the loading unit 130 as in the first embodiment. Reference numeral 110 is a main body, 120 is a rack.

그리고, X축 가이드프레임(150)의 일측 전방면과 후방면에 각각 로딩픽커(151)와 인서트픽커(152)가 서로 엇갈리게 배치되고, X축 가이드프레임(150)의 다른 일측 전방면과 후방면에 리무브픽커(153)와 언로딩픽커(154)가 배치된다. 상기 언로딩픽커(154)는 전술한 첫번째 실시예의 리젝트 언로딩픽커(154)(도 1참조)와 다르게 불량 반도체 패키지만 반송하지 않고 번인보드(B)에서 인출된 모든 양품 및 불량품들을 상기 양품 언로딩부(141)와 2개의 번인리젝트부(142, 143)로 반송하는 기능을 수행한다.In addition, the loading picker 151 and the insert picker 152 are alternately disposed on one front and rear surfaces of the X-axis guide frame 150, respectively, and the other front and rear surfaces of the other X-axis guide frame 150. The remove picker 153 and the unloading picker 154 are arranged. Unlike the reject unloading picker 154 (see FIG. 1) of the first embodiment described above, the unloading picker 154 does not carry only a defective semiconductor package and returns all good and defective goods withdrawn from the burn-in board B. The unloading unit 141 and the two burn-in reject units 142 and 143 are carried out.

또한, 상기 로딩픽커(151)의 이동경로 상의 하측에 DC 테스트부(161)가 배치되고, 이 DC 테스트부(161)의 후방측에 DC리젝트 버퍼부(162)가 배치된다. 그리고, 상기 리무브픽커(153)의 이동경로의 하측에 언로딩버퍼부(163)가 배치된다.In addition, the DC test unit 161 is disposed below the moving path of the loading picker 151, and the DC reject buffer unit 162 is disposed behind the DC test unit 161. The unloading buffer unit 163 is disposed below the movement path of the remove picker 153.

상기 DC 테스트부(161)는 인서트픽커(152)의 이동경로 하측 위치로 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 또한, 상기 DC리젝트 버퍼부(162) 역시 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성된다. The DC test unit 161 is configured to be movable in the Y-axis direction to a position below the movement path of the insert picker 152. In addition, the DC reject buffer unit 162 is also configured to be movable in the Y-axis direction.

상기 DC리젝트 버퍼부(162)는 2열로 구성되는데, 1열은 초기에 DC 테스트부(161)에서 DC 테스트를 거친 반도체 패키지 중 DC 테스트 결과 양품으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부(162a)이며, 다른 1열은 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부(162b)로 구성된다. The DC reject buffer unit 162 is composed of two columns, one column of which is a supplementary package accommodating unit for accommodating semiconductor packages which are determined to be a good result of a DC test among the semiconductor packages initially tested by the DC test unit 161. 162a, and the other row is composed of a DC reject accommodating portion 162b in which semiconductor packages determined as defective by the DC test are accommodated.

또한, 상기 언로딩버퍼부(163)는 리무브픽커(153)에 의해 번인보드(B)에서 분리된 모든 양품 및 불량품 반도체 패키지들이 수용되며, 상기 리무브픽커(153)의 이동경로 하측 위치에서 상기 언로딩픽커(154)의 이동경로 하측 위치로 Y축 방향으로 왕복 이동하도록 구성된다. In addition, the unloading buffer unit 163 accommodates all good and defective semiconductor packages separated from the burn-in board B by the remove picker 153, and is located at a position below the moving path of the remove picker 153. The unloading picker 154 is configured to reciprocate in the Y-axis direction to a position below the movement path.

한편, 리무브픽커(153)가 번인보드(B)에서 반도체 패키지를 분리하는 리무빙작업위치(RP)는 리무브픽커(153)의 이동경로 하측에 배치되고, 인서트픽커(152)가 번인보드(B)에 반도체 패키지를 삽입하는 인서트작업위치(IP)는 인서트픽커(152)의 이동경로 하측에 배치된다. 즉, 이 두번째 실시예의 소팅 핸들러 역시 첫번째 실시예의 소팅 핸들러와 마찬가지로 리무빙작업위치(RP)와 인서트작업위치(IP)가 Y축 방향으로 상기 리무브픽커(153)와 인서트픽커(152) 간의 거리만큼 이격되게 배치된다. Meanwhile, the removing work position RP for removing the semiconductor package from the burner pick-up board 153 is disposed under the moving path of the remove picker 153, and the insert picker 152 is burn-in board. The insert work position IP for inserting the semiconductor package into (B) is disposed below the movement path of the insert picker 152. That is, the sorting handler of the second embodiment also has the distance between the remove picker 153 and the insert picker 152 in the Y-axis direction, in the same manner as in the sorting handler of the first embodiment. Spaced apart by.

이와 같이 구성된 두번째 실시예의 소팅 핸들러는 다음과 같이 동작한다.The sorting handler of the second embodiment thus configured operates as follows.

상기 로딩픽커(151)는 X축 가이드프레임(150)을 따라 이동하면서 로딩부(130)의 테스트 대상 반도체 패키지들을 DC 테스트부(161)로 반송한 다음, 다시 로딩부(130)로 이동하여 다른 새로운 반도체 패키지들을 반송하는 작업을 수행한다. 상기 DC 테스트부(161)에서 DC 테스트가 완료되면, DC 테스트부(161)는 Y축 방향으로 이동하여 인서트픽커(152)의 이동경로 하측에 정렬되고, 인서트픽커(152)가 DC 테스트부(161)의 반도체 패키지들을 픽업하여 인서트작업위치(IP)로 이동하여 대기한다.The loading picker 151 transfers the test target semiconductor packages of the loading unit 130 to the DC test unit 161 while moving along the X-axis guide frame 150, and then moves to the loading unit 130 again. Carry out new semiconductor packages. When the DC test is completed in the DC test unit 161, the DC test unit 161 moves in the Y-axis direction and is aligned with the movement path of the insert picker 152, and the insert picker 152 is the DC test unit ( The semiconductor packages of 161 are picked up, moved to the insert work position IP, and wait.

상기 로딩픽커(151)와 인서트픽커(152)가 작업하는 동안, 상기 리무브픽커(153)는 리무빙작업위치(RP)의 상측으로 이동하여 정렬하고, 이 위치에서 하강하여 상기 리무빙작업위치(RP)에 정렬된 번인보드(B)의 번인테스트 완료된 반도체 패키지들을 픽업하여 상승한다. While the loading picker 151 and the insert picker 152 are working, the remove picker 153 moves to the upper side of the removing work position RP, aligns it, and descends from this position to remove the working position. The burn-in test of the burn-in board B aligned with (RP) is picked up and raised.

이어서, 번인보드 스테이지(미도시)가 Y축 방향으로 일정 피치 이동하여 상기 상기 번인보드(B)의 반도체 패키지가 인출되고 빈 자리를 인서트작업위치(IP)의 하측으로 이동시킨다. 이 때, 상기 인서트픽커(152)가 하강하여 DC 테스트 완료된 새로운 반도체 패키지를 번인보드(B)의 빈 자리에 채워 넣는다. Subsequently, the burn-in board stage (not shown) moves a predetermined pitch in the Y-axis direction so that the semiconductor package of the burn-in board B is taken out and the empty seat is moved below the insert work position IP. At this time, the insert picker 152 is lowered to fill the empty semiconductor of the burn-in board (B) the new semiconductor package is completed the DC test.

상기 번인테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출한 리무브픽커(153)는 X축 방향으로 이동하여 언로딩버퍼부(163) 상에 정렬하고, 이 위치에서 하강하여 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 언로딩버퍼부(163)에 내려 놓는다. 이어서, 언로딩버퍼부(163)가 Y축 방향으로 이동하여 언로딩픽커(154)의 하측에 정렬되고, 언로딩픽커(154)가 하강하여 언로딩버퍼부(163) 상의 반도체 패키지들을 픽업한 다음 상승한다. 그리고, 언로딩버퍼부(163)가 X축 방향을 따라 이동하면서 양품으로 판정된 반도체 패키지들은 양품 언로딩부(141)의 트레이에 수납시키고, 불량으로 판정된 반도체 패키지들은 불량 등급에 따라 지정된 번인리젝트부(142, 143)의 트레이에 수납시킨다. The remove picker 153 withdrawing the burned-in tested semiconductor packages moves in the X-axis direction to align the unloading buffer unit 163, and lowers the burn-in tested semiconductor packages to unload the buffered unit ( 163). Subsequently, the unloading buffer unit 163 moves in the Y-axis direction to align with the lower side of the unloading picker 154, and the unloading picker 154 descends to pick up the semiconductor packages on the unloading buffer unit 163. Then rises. Then, while the unloading buffer unit 163 moves along the X-axis direction, the semiconductor packages determined to be good are stored in the tray of the good unloading unit 141, and the semiconductor packages determined to be defective are burn-in designated according to the bad grade. The trays of the reject sections 142 and 143 are accommodated.

한편, 상기 인서트픽커(152)가 DC 테스트부(161)에서 반도체 패키지들을 인출하여 반송할 때, 최초 DC 테스트부(161)에서 분리된 양품 반도체 패키지들을 DC리젝트 버퍼부(162)의 보충패키지 수용부(162a)에 수납시킨다. On the other hand, when the insert picker 152 draws out and delivers the semiconductor packages from the DC test unit 161, the supplementary packages of the good quality semiconductor packages separated from the first DC test unit 161 are filled in the DC reject buffer unit 162. It is accommodated in the accommodating part 162a.

그리고, 이후의 인서트픽커(152)의 작업 동안 DC 테스트부(161)에서 DC 불량 반도체 패키지가 발생할 경우, 인서트픽커(152)가 DC리젝트 버퍼부(162)의 DC리젝트 수용부(162b)에 불량 반도체 패키지를 내려 놓고, 곧바로 상기 보충패키지 수용부(162a)에서 새로운 DC 양품 반도체 패키지를 픽업하여 인서트작업위치(IP)로 이동한다. 이와 같이 구성하면, DC 불량이 발생했을 경우에 인서트픽커(152)가 번인보드(B)에 빈 자리를 두고 반도체 패키지를 삽입하지 않고 번인보드(B)의 빈 자리 모두에 반도체 패키지를 삽입할 수 있으므로 DC 테스트를 두번하지 않아도 되고, 따라서 작업 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 이점이 있다. When the DC defective semiconductor package is generated in the DC test unit 161 during the operation of the insert picker 152, the insert picker 152 may include the DC reject accommodating part 162b of the DC reject buffer part 162. The defective semiconductor package is put down, and a new DC good quality semiconductor package is immediately picked up from the supplemental package accommodating part 162a and moved to the insert work position IP. In this configuration, when the DC failure occurs, the insert picker 152 can insert the semiconductor package in all the empty positions of the burn-in board B without inserting the semiconductor package with the empty position on the burn-in board B. This eliminates the need for a double DC test, which further improves work efficiency.

한편, 상기 DC리젝트 버퍼부(162)의 DC리젝트 수용부(162b)에 수납된 불량 반도체 패키지들은 랙체인징 타임, 또는 반도체 패키지 교환 작업 도중 로딩픽 커(151)의 유휴 시간 동안 로딩픽커(151)에 의해 DC리젝트부(144)로 반송되어 트레이에 수납된다. Meanwhile, the defective semiconductor packages stored in the DC reject receiving portion 162b of the DC reject buffer portion 162 may have a loading picker (a rack picking time or a loading picker during an idle time of the loading picker 151 during a semiconductor package replacement operation). 151 is conveyed to the DC rejecting unit 144 and stored in the tray.

도 5는 본 발명에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 세번째 실시예를 나타낸 것으로, 이 세번째 실시예의 소팅 핸들러는 두번째 실시예의 소팅 핸들러와 동일하게 본체(210)의 일측에 로딩부(230)와 DC리젝트부(244)가 배치되고, 본체(210)의 반대편 일측에 양품 언로딩부(241)와 2개의 번인리젝트부(242, 243)가 배치된다. 5 shows a third embodiment of the burn-in test sorting handler according to the present invention. The sorting handler of this third embodiment is the same as the sorting handler of the second embodiment. The ejection unit 244 is disposed, and a non-defective article unloading unit 241 and two burn-in reject units 242 and 243 are disposed on one side opposite to the main body 210.

그리고, X축 가이드프레임(250)의 전방면에 제 1로딩픽커(251)와 제 1인서트픽커(252)와 제 2리무브픽커(257)가 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, X축 가이드프레임(250)의 후방면에 제 2로딩픽커(255)와 제 2인서트픽커(256)와 제 1리무브픽커(253)가 각각 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. The first loading picker 251, the first insert picker 252, and the second remove picker 257 are installed on the front surface of the X-axis guide frame 250 to be movable in the X-axis direction. The second loading picker 255, the second insert picker 256, and the first remove picker 253 are installed on the rear surface of the guide frame 250 so as to be movable in the X-axis direction, respectively.

상기 X축 가이드프레임(250)의 하측에는 DC 테스트부(261)가 상기 제 1로딩픽커(251)와 제 2로딩픽커(255)의 이동경로 하측 위치로 Y축 방향으로 이동하도록 설치된다. 또한, 상기 DC 테스트부(261)의 후방에 DC리젝트 버퍼부(262)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. The DC test unit 261 is installed at the lower side of the X-axis guide frame 250 to move in the Y-axis direction to the lower position of the movement paths of the first and second loading pickers 251 and 255. In addition, the DC reject buffer unit 262 is installed at the rear of the DC test unit 261 to be movable in the Y-axis direction.

상기 DC리젝트 버퍼부(262)는 전술한 두번째 실시예와 마찬가지로 초기에 발생된 DC 양품 반도체 패키지들을 수용하는 보충패키지 수용부(262a)와 DC 불량 반도체 패키지들을 수용하는 DC리젝트 수용부(262b)의 2열로 이루어진다. The DC reject buffer unit 262 is a supplementary package accommodating part 262a for accommodating initially produced DC good quality semiconductor packages and a DC reject accommodating part 262b for accommodating DC defective semiconductor packages as in the above-described second embodiment. It consists of two rows of).

상기 제 1,2인서트픽커(252, 256) 및 제 1,2리무브픽커(253, 257)의 이동경로 하측에는 제 1,2리무빙/인서트 작업위치(RIP1, RIP2)가 각각 배치된다. First and second moving / insert working positions RIP1 and RIP2 are disposed below the movement paths of the first and second insert pickers 252 and 256 and the first and second move pickers 253 and 257, respectively.

이와 같이 이루어진 세번째 실시예의 소팅 핸들러는 다음과 같이 동작한다. The sorting handler of the third embodiment thus made operates as follows.

먼저, 상기 제 2로딩픽커(255)는 X축 가이드프레임(250)을 따라 이동하면서 로딩부(230)의 테스트 대상 반도체 패키지들을 DC 테스트부(261)로 반송한 다음, 다시 로딩부(230)로 이동한다. 이 때, 제 1로딩픽커(251)가 로딩부(230)에서 반도체 패키지들을 픽업하여 DC 테스트부(261) 쪽으로 이동한다. First, the second loading picker 255 transfers the test target semiconductor packages of the loading unit 230 to the DC test unit 261 while moving along the X-axis guide frame 250, and then the loading unit 230 again. Go to. At this time, the first loading picker 251 picks up the semiconductor packages from the loading unit 230 and moves to the DC test unit 261.

상기 DC 테스트부(261)에서 DC 테스트가 완료되면, 제 2인서트픽커(256)가 DC 테스트부(261)의 반도체 패키지들을 픽업한다. 그리고, DC리젝트 버퍼부(262)가 Y축 방향으로 이동하여 보충패키지 수용부(262a)가 제 2인서트픽커(256)의 하측에 정렬된다. 상기 제 2인서트픽커(256)는 DC 테스트 결과 양품으로 판정된 반도체 패키지들을 상기 DC리젝트 버퍼부(262)의 보충패키지 수용부(262a)에 수납시킨다. 상기 보충패키지 수용부(262a)에 양품 반도체 패키지가 수납된 DC리젝트 버퍼부(262)는 Y축 방향으로 이동하여 초기 위치로 복귀한다. When the DC test is completed in the DC test unit 261, the second insert picker 256 picks up the semiconductor packages of the DC test unit 261. Then, the DC reject buffer unit 262 is moved in the Y-axis direction so that the supplementary package accommodating unit 262a is aligned with the lower side of the second insert picker 256. The second insert picker 256 accommodates the semiconductor packages, which are determined to be good, as a result of the DC test, in the supplementary package accommodating part 262a of the DC reject buffer part 262. The DC reject buffer 262 in which the good semiconductor package is accommodated in the supplementary package accommodating part 262a moves in the Y-axis direction and returns to the initial position.

이어서, 상기 DC 테스트부(261)는 Y축 방향으로 이동하여 제 1로딩픽커(251)의 이동경로 하측에 정렬되고, 제 1로딩픽커(251)가 DC 테스트부(261)에 반도체 패키지들을 삽입하고 다시 로딩부(230)로 이동한다. Subsequently, the DC test unit 261 moves in the Y-axis direction and is aligned with the movement path of the first loading picker 251, and the first loading picker 251 inserts the semiconductor packages into the DC test unit 261. Then move to the loading unit 230 again.

DC 테스트부(261)에서 DC 테스트가 완료되면, 제 1인서트픽커(252)가 DC 테스트부(261)의 반도체 패키지를 픽업하여 제 1리무빙/인서트 작업위치(RIP1)로 이동한다. 이 때, 상기 DC 테스트부(261)는 제 2로딩픽커(255)로부터 새로운 반도체 패키지를 받기 위해 Y축 방향으로 이동한다. When the DC test is completed in the DC test unit 261, the first insert picker 252 picks up the semiconductor package of the DC test unit 261 and moves to the first removing / insert working position RIP1. At this time, the DC test unit 261 moves in the Y-axis direction to receive a new semiconductor package from the second loading picker 255.

한편, 상기 제 1인서트픽커(252)가 반도체 패키지를 픽업하여 제 1리무빙/인 서트 작업위치(RIP1) 상측에서 대기하는 동안, 제 1리무브픽커(253)는 제 2리무빙/인서트 작업위치(RIP2) 상에서 하강하여 제 2리무빙/인서트 작업위치(RIP2)에 정렬된 번인보드(B)의 번인테스트 완료된 반도체 패키지들을 픽업한 후 상승한다. On the other hand, while the first insert picker 252 picks up the semiconductor package and waits above the first removing / insert working position RIP1, the first removing picker 253 performs the second removing / inserting operation. It descends on the position RIP2 and picks up the burned-in tested semiconductor packages of the burn-in board B aligned with the second removing / insert working position RIP2 and then rises.

그리고, 상기 번인보드(B)가 Y축방향으로 한 스텝 이동하여 반도체 패키지가 인출되고 난 빈 자리가 상기 제 1리무빙/인서트 작업위치(RIP1)에 오도록 한다. 이 때, 상기 제 1인서트픽커(252)가 하강하여 번인보드(B)의 빈자리에 반도체 패키지를 채워 넣고, 다음 작업을 위해 DC 테스트부(261) 위치로 이동한다. 그 동안, 제 1리무브픽커(253)는 반도체 패키지를 양품 언로딩부(241) 또는 번인리젝트부(242, 243)로 반송하여 해당 트레이에 수납시킨다. 이로써, 제 1로딩픽커(251), 제 1인서트픽커(252), 제 1리무브픽커(253)로 이어지는 일련의 반도체 패키지 교환 작업이 완료된다.Then, the burn-in board B moves one step in the Y-axis direction so that the vacant position from which the semiconductor package is taken out is at the first moving / insert working position RIP1. At this time, the first insert picker 252 is lowered to fill the semiconductor package in the empty place of the burn-in board (B), and moves to the DC test unit 261 position for the next operation. In the meantime, the first remove picker 253 conveys the semiconductor package to the good quality unloading unit 241 or the burn-in reject unit 242, 243 to be stored in the tray. As a result, a series of semiconductor package exchanging operations leading to the first loading picker 251, the first insert picker 252, and the first remove picker 253 are completed.

상기와 같이 제 1인서트픽커(252)가 번인보드(B)에 반도체 패키지를 삽입하고 나면, 상기 제 2인서트픽커(256)는 DC 테스트부(261)에서 반도체 패키지를 픽업하여 제 2리무빙/인서트 작업위치(RIP2)로 이동하여 대기하고, 번인보드 스테이지(미도시)는 번인보드의 다음 인출될 반도체 패키지들이 제 1리무빙/인서트 작업위치(RIP1)에 정렬되도록 한다. 그리고, 제 2리무브픽커(257)는 제 1리무빙/인서트 작업위치(RIP1)로 이동하여 반도체 패키지를 인출한다. As described above, after the first insert picker 252 inserts the semiconductor package into the burn-in board B, the second insert picker 256 picks up the semiconductor package from the DC test unit 261 and performs a second removal / Moving to the insert work position RIP2 and waiting, the burn-in board stage (not shown) allows the semiconductor packages to be pulled out of the burn-in board to be aligned with the first removing / insert work position RIP1. The second remove picker 257 moves to the first removing / inserting work position RIP1 to draw out the semiconductor package.

제 2리무브픽커(257)가 제 1리무빙/인서트 작업위치(RIP1)에서 반도체 패키지를 인출하면, 번인보드(B)는 Y축 방향으로 한 스텝 이동하여 반도체 패키지가 인출되고 난 빈 자리가 상기 제 2리무빙/인서트 작업위치(RIP2)에 정렬되도록 하고, 제 2인서트픽커(256)는 가지고 있던 반도체 패키지를 번인보드(B)의 빈 자리에 채워 넣는다. When the second remove picker 257 withdraws the semiconductor package from the first removing / inserting work position RIP1, the burn-in board B moves one step in the Y-axis direction so that the empty space after the semiconductor package is withdrawn is removed. The second removing / insert work position RIP2 is aligned, and the second insert picker 256 fills the semiconductor package in the empty position of the burn-in board B. FIG.

상기와 같이 제 1,2로딩픽커(251, 255)와 제 1,2인서트픽커(252, 256)와 제 1,2리무브픽커(253, 257)는 주어진 경로를 따라 반복적으로 순환 이동하면서 상기 제 1,2리무빙/인서트 작업위치(RIP1, RIP2)에서 번인보드(B)에 반도체 패키지를 인출하고 삽입하는 작업을 교대로 수행한다. 이 과정에서 상기 번인보드(B)는 상기 제 1,2리무빙/인서트 작업위치(RIP1, RIP2)를 반복적으로 이동하면서 상기 픽커들이 최소한의 인덱스타임으로 반도체 패키지를 인출하고 삽입하는 작업을 수행하도록 한다. As described above, the first and second loading pickers 251 and 255, the first and second insert pickers 252 and 256, and the first and second remove pickers 253 and 257 repeatedly move along a given path. The operation of drawing out and inserting the semiconductor package into the burn-in board B from the first and second moving / insert working positions RIP1 and RIP2 is alternately performed. In this process, the burn-in board B repeatedly moves the first and second moving / inserting work positions RIP1 and RIP2 so that the pickers draw and insert the semiconductor package with a minimum index time. do.

한편, 상기 DC리젝트 버퍼부(262)의 DC리젝트 수용부(262b)에 수납된 불량 반도체 패키지들은 랙체인징 타임, 또는 반도체 패키지 교환 작업 도중 로딩픽커(251)의 유휴 시간 동안 로딩픽커(251)에 의해 DC리젝트부(244)로 반송되어 트레이에 수납된다. Meanwhile, the defective semiconductor packages stored in the DC reject receiving portion 262b of the DC reject buffer portion 262 are loaded pickers 251 during the rack changing time or during the idle time of the loading picker 251 during the semiconductor package replacement operation. ) Is conveyed to the DC rejecting unit 244 and stored in the tray.

도 6은 본 발명에 따른 번인 테스트용 소팅 핸들러의 네번째 실시예를 나타낸 것으로, 이 네번째 실시예의 소팅 핸들러는 두번째 실시예의 소팅 핸들러와 동일하게 언로딩부(340)를 구성하는 DC리젝트부(344)가 로딩부(330)의 바로 인근에 구성되며, 언로딩부(340)의 다른 구성부인 양품 언로딩부(341)와 2개의 번인리젝트부(342, 343)는 로딩부(330)의 반대편 일측에 구성된다. Figure 6 shows a fourth embodiment of the burn-in test sorting handler according to the present invention, the sorting handler of this fourth embodiment is the same as the sorting handler of the second embodiment DC reject unit 344 constituting the unloading unit 340 ) Is configured in the immediate vicinity of the loading unit 330, the other parts of the unloading unit 340, the good quality unloading unit 341 and the two burn-in rejects (342, 343) of the loading unit 330 It is configured on one side of the other side.

그리고, X축 가이드프레임(350)의 전방면에 로딩픽커(351)와 인서트픽커(352)와 언로딩픽커(354)가 X축 방향으로 이동하도록 설치되며, X축 가이드프레 임(350)의 후방면에 리무브픽커(353)가 X축 방향으로 이동하도록 설치된다. The loading picker 351, the insert picker 352, and the unloading picker 354 are installed on the front surface of the X-axis guide frame 350 so as to move in the X-axis direction. The rear picker 353 is installed on the rear surface to move in the X-axis direction.

상기 로딩픽커(351)의 이동경로 상의 하측에 DC 테스트부(361)가 배치되며, 상기 언로딩픽커(354)의 이동경로 상의 하측에 번인보드(B)로부터 인출된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 언로딩버퍼부(363)가 배치된다. 여기서, 상기 번인리젝트 버퍼부(363)는 상기 리무브픽커(353)로부터 반도체 패키지들을 받을 수 있도록 Y축 방향으로 일정 거리만큼 이동할 수 있도록 구성된다. The DC test unit 361 is disposed below the movement path of the loading picker 351, and the semiconductor packages extracted from the burn-in board B are temporarily stored below the movement path of the unloading picker 354. The unloading buffer part 363 is disposed. Here, the burn-in reject buffer 363 is configured to move by a predetermined distance in the Y-axis direction to receive the semiconductor packages from the remove picker 353.

또한, 상기 DC 테스트부(361)의 바로 후방부에 DC리젝트 버퍼부(362)가 배치되는데, 여기서 상기 DC리젝트 버퍼부(362)는 전술한 두번째 실시예와 마찬가지로 초기에 발생된 DC 양품 반도체 패키지들을 수용하는 보충패키지 수용부(362a)와 DC 불량 반도체 패키지들을 수용하는 DC리젝트 수용부(362b)의 2열로 이루어진다. In addition, a DC reject buffer part 362 is disposed immediately behind the DC test part 361, where the DC reject buffer part 362 is a DC article initially generated as in the above-described second embodiment. The supplementary package accommodating part 362a accommodating the semiconductor packages and the DC reject accommodating part 362b accommodating the DC defective semiconductor packages are formed in two rows.

상기 DC리젝트 버퍼부(362)는 인서트픽커(352)로부터 DC 테스트 완료된 반도체 패키지들을 받을 수 있도록 인서트픽커(352)의 하측 위치로 수평하게 왕복 이동할 수 있도록 구성된다.The DC reject buffer part 362 is configured to reciprocate horizontally to a lower position of the insert picker 352 to receive the DC-tested semiconductor packages from the insert picker 352.

한편, 상기 리무브픽커(353)가 번인보드(B)에서 반도체 패키지를 분리하는 리무빙작업위치(RP)는 리무브픽커(353)의 이동경로 하측에 배치되고, 인서트픽커(352)가 번인보드(B)에 반도체 패키지를 삽입하는 인서트작업위치(IP)는 인서트픽커(352)의 이동경로 하측에 배치된다.Meanwhile, the removal work position RP for removing the semiconductor package from the burn picker 353 to the burn-in board B is disposed below the movement path of the remove picker 353, and the insert picker 352 is burned-in. The insert work position IP for inserting the semiconductor package into the board B is disposed below the movement path of the insert picker 352.

상기와 같이 구성된 네번째 실시예의 번인 테스트용 소팅 핸들러는 다음과 같이 작동한다. The burn-in test sorting handler of the fourth embodiment configured as described above operates as follows.

상기 로딩픽커(351)가 로딩부(330)의 테스트 대상 반도체 패키지들을 DC 테 스트부(361)로 반송하여 접속시키면, 상기 DC 테스트부(361)에서는 DC 테스트를 수행한다. DC 테스트가 완료되면, 인서트픽커(352)가 DC 테스트부(361)의 상측에서 대기하고 있다가 DC 테스트 완료된 반도체 패키지들을 픽업하여 인서트작업위치(IP)로 이동하고, 이 위치에서 대기한다.When the loading picker 351 transfers the test target semiconductor packages of the loading unit 330 to the DC test unit 361, the DC test unit 361 performs a DC test. When the DC test is completed, the insert picker 352 waits on the upper side of the DC test unit 361, picks up the DC-tested semiconductor packages, moves to the insert work position IP, and waits at this position.

상기 로딩픽커(351)와 인서트픽커(352)가 상기한 작업을 수행하는 동안, 상기 리무브픽커(353)는 리무빙작업위치(RP)의 상측으로 이동하여 정렬하고, 이 위치에서 하강하여 상기 리무빙작업위치(RP)에 정렬된 번인보드(B)의 번인테스트 완료된 반도체 패키지들을 픽업하여 상승한다. While the loading picker 351 and the insert picker 352 perform the above operation, the remove picker 353 moves and aligns to the upper side of the removing operation position RP, and descends from the position. The burn-in-tested semiconductor packages of the burn-in board B aligned with the removing operation position RP are picked up and raised.

이어서, 번인보드 스테이지(미도시)가 Y축 방향으로 일정 피치 전진 이동하여 상기 번인보드(B)의 반도체 패키지가 인출되고 빈 자리를 인서트작업위치(IP)의 하측에 위치시킨다. 이 때, 상기 인서트픽커(352)가 하강하여 DC 테스트 완료된 새로운 반도체 패키지를 번인보드(B)의 빈 자리에 채워 넣는다. Subsequently, the burn-in board stage (not shown) moves forward by a predetermined pitch in the Y-axis direction so that the semiconductor package of the burn-in board B is drawn out and the empty seat is positioned below the insert work position IP. At this time, the insert picker 352 descends and fills the empty semiconductor of the burn-in board B with the new semiconductor package that has been DC-tested.

한편, 상기 번인테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출한 리무브픽커(353)는 X축 방향으로 이동하여, Y축 방향으로 이동하여 리무브픽커(353)의 이동 경로 하측에 정렬되어 있는 언로딩버퍼부(363)에 번인테스트 완료된 모든 반도체 패키지들을 내려 놓은 다음, 다시 리무빙작업위치(RP)로 이동한다. 이 때, 언로딩버퍼부(363)가 Y축 방향으로 이동하여 언로딩픽커(354)의 이동경로 하측으로 복귀한다. Meanwhile, the remove picker 353 having the burn-in-tested semiconductor packages taken out is moved in the X-axis direction and moved in the Y-axis direction so that the unloading buffer unit aligns below the moving path of the remove picker 353. 363), the burn-in tested all semiconductor packages are put down and then moved back to the removal working position (RP). At this time, the unloading buffer part 363 moves in the Y-axis direction and returns to the lower side of the movement path of the unloading picker 354.

그리고, 상기 언로딩픽커(354)가 언로딩버퍼부(363) 상의 반도체 패키지들을 픽업하여, 양품으로 판정된 반도체 패키지들은 양품 언로딩부(341)의 트레이에 수납시키고, 불량으로 판정된 반도체 패키지들은 불량 등급에 따라 지정된 번인리젝 트부(342, 343)의 트레이에 수납시킨다. Then, the unloading picker 354 picks up the semiconductor packages on the unloading buffer part 363, stores the semiconductor packages determined as good in the tray of the good unloading part 341, and determines that the semiconductor package is defective. They are stored in the tray of the burn-in reject portion 342, 343 specified according to the failure grade.

한편, 두번째 실시예와 유사하게, 상기 인서트픽커(352)가 DC 테스트부(361)에서 반도체 패키지들을 인출하여 반송할 때, 최초에 DC 테스트부(361)에서 분리된 양품 반도체 패키지들은 DC리젝트 버퍼부(362)의 보충패키지 수용부(362a)에 수납된다. Meanwhile, similarly to the second embodiment, when the insert picker 352 draws and transports the semiconductor packages from the DC test unit 361, the good semiconductor packages separated from the DC test unit 361 are DC rejected. It is stored in the supplementary package accommodating part 362a of the buffer part 362.

그리고, 이후의 인서트픽커(352)의 작업도중 DC 테스트부(361)에서 DC 불량 반도체 패키지가 발생할 경우, 인서트픽커(352)가 DC리젝트 버퍼부(362)의 DC리젝트 수용부(362b)에 불량 반도체 패키지를 내려 놓고, 곧바로 상기 보충패키지 수용부(362a)에서 새로운 DC 양품 반도체 패키지를 픽업하여 인서트작업위치(IP)로 이동한다. Then, when a DC defective semiconductor package occurs in the DC test unit 361 during the operation of the insert picker 352, the insert picker 352 causes the DC reject accommodating part 362b of the DC reject buffer part 362. The defective semiconductor package is put down, and a new DC good quality semiconductor package is immediately picked up from the supplemental package accommodating part 362a and moved to the insert working position IP.

상기 DC리젝트 버퍼부(362)의 DC리젝트 수용부(362b)에 수납된 불량 반도체 패키지들은 랙체인징 타임, 또는 반도체 패키지 교환 작업 도중 로딩픽커(351)의 유휴 시간 동안 로딩픽커(351)에 의해 DC리젝트부(344)로 반송되어 트레이에 수납된다. The defective semiconductor packages stored in the DC reject accommodating part 362b of the DC reject buffer part 362 are transferred to the loading picker 351 during the rack changing time or during the idle time of the loading picker 351 during the semiconductor package replacement operation. By this, it is conveyed to the DC reject part 344, and is accommodated in a tray.

한편, 전술한 네번째 실시예의 소팅 핸들러의 작동례에서는 상기 언로딩버퍼부(363)에 양품과 함께 불량품 반도체 패키지도 수납된 다음, 언로딩픽커(354)가 상기 언로딩버퍼부(363)의 모든 양품 및 불량품 반도체 패키지들을 테스트 결과별로 양품 언로딩부(341) 또는 번인리젝트부(342, 343)에 선택적으로 분류 수납시키고 있다. 즉, 이 작동례는 언로딩픽커(354)가 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 양품 언로딩부(341)와 번인리젝트부(342, 343)에 분류 수납시키는 작업을 전담 하는 것을 예시하고 있다.On the other hand, in the operation example of the sorting handler of the fourth embodiment described above, a defective semiconductor package is also stored in the unloading buffer unit 363 together with the good product, and then the unloading picker 354 is provided with all of the unloading buffer unit 363. The good and bad semiconductor packages are selectively stored in the good unloading unit 341 or the burn-in rejecting units 342 and 343 for each test result. That is, this operation example illustrates that the unloading picker 354 is responsible for classifying and storing the burn-in tested semiconductor packages in the good quality unloading unit 341 and the burn-in reject units 342 and 343.

하지만, 이와 다르게 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 양품 언로딩부(341)와 번인리젝트부(342, 343)에 분류 수납시키는 작업을 리무브픽커(353)와 언로딩픽커(354)가 분담하여 수행하도록 할 수도 있을 것이다. 즉, 상기 리무브픽커(353)는 상기 언로딩버퍼부(363)에 불량품으로 판정된 반도체 패키지들만 수납시키고, 양품으로 판정된 것들은 직접 양품 언로딩부(341)의 트레이에 수납시키며, 언로딩픽커(354)는 상기 언로딩버퍼부(363)에 수납된 불량품 반도체 패키지들을 번인리젝트부(342, 343)에 불량 등급별로 수납시키도록 구성될 수 있다. However, the move picker 353 and the unloading picker 354 divide the burn-in-tested semiconductor packages into the good quality unloading part 341 and the burn-in rejecting parts 342 and 343. You may be able to. That is, the remove picker 353 accommodates only semiconductor packages that are determined to be defective in the unloading buffer part 363, and those that are determined to be good are stored directly in the tray of the good unloading part 341, and unloading. The picker 354 may be configured to store defective semiconductor packages stored in the unloading buffer unit 363 in the burn-in reject units 342 and 343 according to a defective grade.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 번인 테스트용 소팅 핸들러는 반도체 패키지를 인출하는 리무빙작업위치와 반도체 패키지를 삽입하는 인서트작업위치가 Y축 방향으로 일정 거리 떨어진 위치에 위치하므로, 리무브픽커가 번인보드에서 번인 테스트 완료된 반도체 패키지를 분리한 후 곧바로 인서트픽커가 번인보드의 빈 자리에 새로운 반도체 패키지를 삽입할 수 있다. As described above, according to the present invention, the burn-in test sorting handler has a removal work position for extracting the semiconductor package and an insert work position for inserting the semiconductor package at a predetermined distance away from the Y-axis direction. Immediately after removing the burn-in-tested semiconductor package from the burn-in board, the insert picker can insert a new semiconductor package into an empty spot on the burn-in board.

이에 따라, 번인보드에서 반도체 패키지를 분리하고 새로운 반도체 패키지를 삽입하는데 소요되는 시간, 즉 인덱스타임을 줄일 수 있고, 인서트픽커의 대기 시간을 최소화하여 병목 현상을 없앨 수 있다. 따라서, 단위시간당 생산량(UPH)을 증대시킬 수 있는 효과가 있다. Accordingly, the time taken to separate the semiconductor package from the burn-in board and insert the new semiconductor package, that is, the index time can be reduced, and the waiting time of the insert picker can be minimized to eliminate the bottleneck. Therefore, there is an effect that can increase the production amount (UPH) per unit time.

Claims (25)

본체와;A main body; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과;A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와;A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와;An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와;A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와;An insert picker installed on the upper part of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested and mounting them in an empty position of the burn-in board; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 반송하는 리무브픽커와;A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, and to carry out and transport the burned-in tested semiconductor packages from the burn-in board; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와;A removing work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker and performing a work of drawing out the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board by the remove picker; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러.The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. Burn-in test sorting handler configured with an insert working position. 제 1항에 있어서, 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와;The electronic device of claim 1, further comprising: a DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하는 로딩픽커와;A loading picker which picks up a semiconductor package from the loading unit and mounts the semiconductor package to the DC test unit; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.And a DC reject buffer unit configured to temporarily receive semiconductor packages that are determined to be defective as a result of the DC test in the DC test unit. 제 1항에 있어서, 상기 인서트픽커와 리무브픽커는 본체의 상측을 X축 방향으로 가로지르도록 설치되는 하나의 X축 가이드프레임의 양면에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The burn-in test sorting handler according to claim 1, wherein the insert picker and the remove picker are respectively installed on both sides of one X-axis guide frame installed to cross the upper side of the main body in the X-axis direction. 제 2항에 있어서, 상기 인서트픽커와 리무브픽커는 본체의 상측을 X축 방향으로 가로지르도록 설치되는 하나의 X축 가이드프레임의 양면에 각각 설치되며, 상기 로딩픽커는 상기 X축 가이드프레임의 어느 일면에 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.According to claim 2, wherein the insert picker and the remove picker are respectively installed on both sides of one X-axis guide frame which is installed to cross the upper side of the main body in the X-axis direction, the loading picker of the X-axis guide frame Burn-in test sorting handler, characterized in that installed on either side. 제 2항에 있어서, 상기 DC리젝트 버퍼부는, DC 테스트 결과 양품으로 판정된 복수개의 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부와, DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부의 2열로 이루어지며, 상기 보충패키지 수용부와 DC리젝트 수용부는 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The DC reject receiving unit of claim 2, wherein the DC reject buffer unit includes a supplementary package accommodating unit accommodating a plurality of semiconductor packages determined as a good DC test result, and a DC reject accommodating unit accommodating semiconductor packages determined as a poor DC test result. The burn-in test sorting handler comprising two rows, wherein the supplementary package accommodating part and the DC reject accommodating part are installed to be movable in the Y-axis direction. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지 중 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인리젝트 버퍼부와;The semiconductor device of claim 1, further comprising: a burn-in reject buffer unit configured to temporarily receive semiconductor packages which are determined to be defective in a semiconductor package separated from the burn-in board by the remove picker; 상기 번인리젝트 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 불량품 수납용 트레이에 수납시키는 리젝트 언로딩픽커를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.And a reject unloading picker which conveys the semiconductor package of the burn-in reject buffer unit to the unloading unit and stores the semiconductor package in the tray for receiving the defective product. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인 버퍼부와;The burn-in buffer unit of claim 1 or 2, further comprising: a burn-in buffer unit to temporarily receive semiconductor packages separated from the burn-in board by the remove picker; 상기 번인 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 테스트 결과별로 트레이에 수납시키는 언로딩픽커를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.And a unloading picker which transfers the semiconductor package of the burn-in buffer unit to the unloading unit and stores the semiconductor package in a tray for each test result. 제 1항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치와 인서트작업위치 각각에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 제 1클램핑랫치작동유닛과 제 2클램핑랫치작동유닛이 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.According to claim 1, wherein each of the burn-in boards are provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor package seated on the burn-in board, the clamping latches of the burn-in board at each of the removal work position and the insert work position Burn-in test sorting handler, characterized in that the first clamping latch operating unit and the second clamping latch operating unit is fixedly installed. 제 1항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치 또는 인서트작업위치에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 클램핑랫치작동유닛이 번인보드와 동기적으로 Y축 방향으로 일정 거리씩 왕복 수평 이동하도록 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.2. The clamping latch of claim 1, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing semiconductor packages mounted on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at the removing work position or the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the clamping latch operating unit is installed to reciprocate horizontally by a predetermined distance in the Y-axis direction synchronously with the burn-in board. 본체와;A main body; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과;A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와;A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언 로딩부와;An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와;A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와;A DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부와;A DC reject buffer unit which temporarily receives semiconductor packages which are determined to be defective by the DC test unit; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하는 로딩픽커와;A loading picker installed on the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor package from the loading unit and mounting the semiconductor package to the DC test unit; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와;An insert picker installed at an upper portion of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested by the DC test unit and mounting them in an empty position of the burn-in board; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 리무브픽커와;A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, for removing the burn-in test-completed semiconductor packages from the burn-in board and conveying them to the unloading unit; 상기 리무브픽커에 의해 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지 중 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인리젝트 버퍼부와;A burn-in reject buffer unit for temporarily receiving semiconductor packages, which are determined to be defective, among the semiconductor packages separated from the burn-in board by the remove picker; 상기 DC리젝트 버퍼부와 번인리젝트 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 불량품 수납용 트레이에 수납시키는 리젝트 언로딩픽커와; A reject unloading picker which transfers the semiconductor packages of the DC reject buffer unit and the burn-in reject buffer unit to the unloading unit and stores the semiconductor packages in a tray for receiving defective products; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무 브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와;A removal work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker so that the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board is taken out by the remove picker; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러.The main body is spaced a predetermined distance from the removing operation position in the Y-axis direction and disposed below the moving path of the insert picker, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. Burn-in test sorting handler configured with an insert working position. 제 10항에 있어서, 상기 로딩픽커와 인서트픽커와 리젝트 언로딩픽커는 본체의 상측을 X축 방향으로 가로지르도록 설치되는 X축 가이드프레임의 제 1면에 설치되고, 상기 리무브픽커는 상기 X축 가이드프레임의 제 1면의 반대편인 제 2면에 설치되는 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The apparatus of claim 10, wherein the loading picker, the insert picker, and the reject unloading picker are installed on a first surface of the X-axis guide frame which is installed to cross the upper side of the main body in the X-axis direction. Burn-in test sorting handler, characterized in that installed on the second surface opposite the first surface of the X-axis guide frame. 제 10항에 있어서, 상기 DC리젝트 버퍼부는, DC 테스트 결과 양품으로 판정된 복수개의 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부와, DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부의 2열로 이루어지며, 상기 보충패키지 수용부와 DC리젝트 수용부는 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The DC reject receiving unit of claim 10, wherein the DC reject buffer unit includes a replenishment package accommodating part for accommodating a plurality of semiconductor packages determined as a good DC test result, and a DC reject accommodating part for accommodating semiconductor packages determined as a poor DC test result. The burn-in test sorting handler comprising two rows, wherein the supplementary package accommodating part and the DC reject accommodating part are installed to be movable in the Y-axis direction. 제 10항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치와 인서 트작업위치 각각에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 제 1클램핑랫치작동유닛과 제 2클램핑랫치작동유닛이 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The clamping latch of claim 10, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are disposed at each of the removal work position and the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the first clamping latch operating unit and the second clamping latch operating unit to be fixed to be installed. 제 10항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치 또는 인서트작업위치에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 클램핑랫치작동유닛이 번인보드와 동기적으로 Y축 방향으로 일정 거리씩 왕복 수평 이동하도록 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The clamping latch of claim 10, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at the removing work position or the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the clamping latch operating unit is installed to reciprocate horizontally by a predetermined distance in the Y-axis direction synchronously with the burn-in board. 본체와;A main body; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과;A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와;A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와;An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; 상기 로딩부의 바로 옆에 배치되어, DC 테스트결과 불량으로 판정된 반도체패키지들이 수납되는 트레이가 구비된 DC리젝트부와;A DC reject unit disposed next to the loading unit and having a tray in which semiconductor packages, which are determined to be defective, are received; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와;A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와;A DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 DC리젝트 버퍼부와;A DC reject buffer unit which temporarily receives semiconductor packages which are determined to be defective by the DC test unit; 상기 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인 버퍼부와;A burn-in buffer unit to temporarily receive semiconductor packages separated from the burn-in board; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하거나, 상기 DC리젝트 버퍼부에서 DC 불량 반도체 패키지를 픽업하여 상기 DC리젝트부로 반송하는 로딩픽커와;It is installed to move in the X-axis direction on the upper portion of the main body, pick up the semiconductor package from the loading unit to be mounted on the DC test unit, or pick up the DC defective semiconductor package from the DC reject buffer unit and transfer it to the DC reject unit A loading picker; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와;An insert picker installed at an upper portion of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested by the DC test unit and mounting them in an empty position of the burn-in board; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 리무브픽커와;A remove picker installed to move in the X-axis direction parallel to the insert picker at a position spaced a predetermined distance from the insert picker in a Y-axis direction, for removing the burn-in test-completed semiconductor packages from the burn-in board and conveying them to the unloading unit; 상기 번인 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 테스트 결과에 따라 트레이들에 분류, 수납시키는 언로딩픽커와; An unloading picker which transfers the semiconductor package of the burn-in buffer unit to the unloading unit and sorts and stores the semiconductor package according to a test result; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무 브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와;A removal work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker so that the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board is taken out by the remove picker; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러.The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. Burn-in test sorting handler configured with an insert working position. 제 15항에 있어서, 상기 DC리젝트 버퍼부는, DC 테스트 결과 양품으로 판정된 복수개의 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부와, DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부의 2열로 이루어지며, 상기 보충패키지 수용부와 DC리젝트 수용부는 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The DC reject receiving unit according to claim 15, wherein the DC reject buffer unit includes a replenishment package accommodating part accommodating a plurality of semiconductor packages determined as a good DC test result, and a DC reject accommodating part accommodating semiconductor packages determined as a poor DC test result. The burn-in test sorting handler comprising two rows, wherein the supplementary package accommodating part and the DC reject accommodating part are installed to be movable in the Y-axis direction. 제 15항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치와 인서트작업위치 각각에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 제 1클램핑랫치작동유닛과 제 2클램핑랫치작동유닛이 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.16. The clamping latch of claim 15, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at each of the removal work position and the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the first clamping latch operating unit and the second clamping latch operating unit is fixedly installed. 제 15항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지 들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치 또는 인서트작업위치에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 클램핑랫치작동유닛이 번인보드와 동기적으로 Y축 방향으로 일정 거리씩 왕복 수평 이동하도록 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.16. The clamping latch of claim 15, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at the removing work position or the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the clamping latch operating unit is installed to reciprocate horizontally by a predetermined distance in the Y-axis direction synchronously with the burn-in board. 본체와;A main body; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과;A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납된 트레이들이 구비되는 로딩부와;A loading unit disposed at the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burn-in tested; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와;An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와;A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지며, Y축 방향으로 일정 거리로 왕복 이동 가능하게 설치된 DC 테스트부와;A DC test unit connected to the semiconductor package to be tested transferred from the loading unit to perform an electrical performance test, the DC test unit being installed to reciprocate at a predetermined distance in the Y-axis direction; 상기 DC 테스트부에서의 DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되며, Y축 방향으로 일정 거리로 왕복 이동 가능하게 설치된 DC리 젝트 버퍼부와;A DC reject buffer unit for temporarily receiving semiconductor packages determined to be defective as a result of a DC test in the DC test unit, and installed to reciprocate at a predetermined distance in the Y-axis direction; 상기 본체의 상부를 X축 방향으로 가로지르도록 설치된 X축 가이드프레임과;An X-axis guide frame installed to cross the upper portion of the main body in the X-axis direction; 상기 X축 가이드프레임의 제 1면과 제 2면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하거나 상기 DC리젝트 버퍼부에서 DC 불량 반도체 패키지를 픽업하여 언로딩부로 반송하는 제 1,2로딩픽커와;Installed on the first and second surfaces of the X-axis guide frame to move independently in the X-axis direction, the semiconductor package is picked up from the loading unit and mounted on the DC test unit, or the DC reject buffer unit is defective in DC. First and second loading pickers which pick up the semiconductor package and transfer the semiconductor package to the unloading unit; 상기 X축 가이드프레임의 제 1면과 제 2면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 제 1,2인서트픽커와;The first and second surfaces of the X-axis guide frame are installed to move independently in the X-axis direction, respectively, the first to pick up the semiconductor packages to be newly tested in the DC test unit to be mounted in the empty place of the burn-in board, 2 insert picker; 상기 X축 가이드프레임의 제 2면과 제 1면에 각각 X축 방향으로 독립적으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부로 반송하는 제 1,2리무브픽커와;First and second move pickers installed on the second and first surfaces of the X-axis guide frame to move independently in the X-axis direction, respectively, to carry out the burn-in-tested semiconductor packages to the unloading unit. Wow; 상기 본체에 상기 제 1,2인서트픽커와 제 1,2리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 각각 배치되어, 상기 제 1,2리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업과 제 1,2인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 교대로 이루어지는 제 1,2리무빙/인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러.The first and second insert pickers and the first and second remove pickers are disposed on the lower side of the moving path, respectively, and the burn-in-tested semiconductor packages on the burn-in board are drawn out by the first and second remove pickers. And first and second moving / inserting work positions in which the semiconductor packages to be newly tested by the first and second insert pickers are alternately mounted on empty positions on the burn-in board. 제 19항에 있어서, 상기 DC리젝트 버퍼부는, DC 테스트 결과 양품으로 판정된 복수개의 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부와, DC 테스트 결과 불 량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부의 2열로 이루어지며, 상기 보충패키지 수용부와 DC리젝트 수용부는 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.The DC reject buffer unit of claim 19, wherein the DC reject buffer unit includes a replenishment package accommodating unit accommodating a plurality of semiconductor packages determined as a good DC test result, and a DC reject accommodating semiconductor packages determined as a DC test result defective. The burn-in test sorting handler comprising two rows of parts, wherein the supplementary package accommodating part and the DC reject accommodating part are installed to be movable in the Y-axis direction. 제 19항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 제 1,2리무빙/인서트작업위치 각각에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 제 1클램핑랫치작동유닛과 제 2클램핑랫치작동유닛이 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.20. The clamping latch of claim 19, wherein each of the burn-in boards is provided with clamping latches for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in boards, and the clamping latches of the burn-in boards are respectively located at the first and second moving / insert working positions. Burn-in test sorting handler, characterized in that the first clamping latch operating unit and the second clamping latch operating unit for fixing the installed. 제 19항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 제 1,2리무빙/인서트작업위치에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 클램핑랫치작동유닛이 번인보드와 동기적으로 Y축 방향으로 일정 거리씩 왕복 수평 이동하도록 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.20. The clamping latch of claim 19, wherein each of the burn-in boards is provided with clamping latches for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in boards, and the clamping latches of the burn-in boards are disposed at the first and second moving / insert working positions. The sorting handler for burn-in test, characterized in that the clamping latch operating unit to be operated is installed to reciprocate horizontally by a predetermined distance in the Y-axis direction synchronously with the burn-in board. 본체와;A main body; 상기 본체의 일측에 배치되고, 복수개의 번인보드가 적재되어 대기하는 랙과;A rack disposed at one side of the main body and having a plurality of burn-in boards loaded therein; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인 테스트할 반도체 패키지들이 수납 된 트레이들이 구비되는 로딩부와;A loading unit disposed on the other side of the main body and having trays containing semiconductor packages to be burned-in; 상기 본체의 다른 일측에 배치되고, 번인보드로부터 반송된 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들이 테스트 결과별로 분류, 수납되는 트레이들이 구비되는 언로딩부와;An unloading unit disposed at the other side of the main body and having trays for sorting and storing the burn-in tested semiconductor packages conveyed from the burn-in board by test results; 상기 로딩부의 바로 옆에 배치되어, DC 테스트결과 불량으로 판정된 반도체패키지들이 수납되는 트레이가 구비된 DC리젝트부와;A DC reject unit disposed next to the loading unit and having a tray in which semiconductor packages, which are determined to be defective, are received; 상기 랙으로부터 반출된 번인보드를 반도체 패키지의 인출과 삽입이 이루어지는 위치에서 원하는 임의의 위치로 이동시키는 번인보드 스테이지와;A burn-in board stage for moving the burn-in board carried out from the rack to a desired position at the position where the semiconductor package is taken out and inserted; 상기 로딩부로부터 반송된 테스트할 반도체 패키지가 접속되어 전기적인 성능 테스트가 이루어지는 DC 테스트부와;A DC test unit configured to perform an electrical performance test by connecting a semiconductor package to be tested returned from the loading unit; DC 테스트 결과 양품으로 판정된 복수개의 반도체 패키지들이 수용되는 보충패키지 수용부와, DC 테스트 결과 불량으로 판정된 반도체 패키지들이 수용되는 DC리젝트 수용부의 2열로 이루어지며, 본체에 Y축 방향으로 소정 거리씩 이동 가능하게 설치된 DC리젝트 버퍼부와;It consists of two rows of supplementary package accommodating part accommodating a plurality of semiconductor packages determined as good as a result of DC test, and a DC reject accommodating part accommodating semiconductor packages determined as defective as a result of DC test. A DC reject buffer unit installed to be movable in increments; 상기 번인보드로부터 분리된 반도체 패키지들이 일시적으로 수납되는 번인 버퍼부와;A burn-in buffer unit to temporarily receive semiconductor packages separated from the burn-in board; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 로딩부에서 반도체 패키지를 픽업하여 DC 테스트부에 장착하고, 상기 DC리젝트 버퍼부에서 DC 불량 반도체 패키지를 픽업하여 상기 DC리젝트부로 반송하는 로딩픽커와;It is installed to move in the X-axis direction on the upper portion of the main body, the semiconductor package is picked up from the loading unit and mounted on the DC test unit, the DC defective semiconductor package is picked up from the DC reject buffer unit and returned to the DC reject unit. A loading picker; 상기 본체의 상부에 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 상기 DC 테스트부에 서 새로 테스트할 반도체 패키지들을 픽업하여 번인보드의 빈 자리에 장착하는 인서트픽커와;An insert picker installed at the upper portion of the main body to move in the X-axis direction and picking up the semiconductor packages to be newly tested from the DC test unit and mounting them in an empty position of the burn-in board; 상기 인서트픽커로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격된 위치에서 인서트픽커와 나란하게 X축 방향으로 이동하도록 설치되어, 번인보드로부터 번인 테스트 완료된 반도체 패키지들을 인출하여 상기 언로딩부 또는 상기 번인 버퍼부로 선택적으로 반송하는 리무브픽커와;It is installed to move in the X-axis direction in parallel with the insert picker at a position spaced apart from the insert picker in the Y-axis direction by a predetermined distance, and withdraw the burn-in tested semiconductor packages from the burn-in board selectively to the unloading unit or the burn-in buffer unit A return picker to return; 상기 번인 버퍼부의 반도체 패키지를 언로딩부로 반송하여 테스트 결과에 따라 트레이들에 분류, 수납시키는 언로딩픽커와; An unloading picker which transfers the semiconductor package of the burn-in buffer unit to the unloading unit and sorts and stores the semiconductor package according to a test result; 상기 본체에 상기 리무브픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되어, 상기 리무브픽커에 의해 번인보드 상의 번인 테스트 완료된 반도체 패키지가 인출되는 작업이 이루어지는 리무빙작업위치와;A removing work position disposed on the main body under the moving path of the remove picker and performing a work of drawing out the burn-in-tested semiconductor package on the burn-in board by the remove picker; 상기 본체에 상기 리무빙작업위치로부터 Y축 방향으로 일정 거리 이격되어 상기 인서트픽커의 이동 경로 상의 하측에 배치되며, 상기 인서트픽커에 의해 새로 테스트할 반도체 패키지가 번인보드 상의 빈 자리에 장착되는 작업이 이루어지는 인서트작업위치를 포함하여 구성된 번인 테스트용 소팅 핸들러.The main body is spaced apart in the Y-axis direction from the removing operation position in a lower side of the insert picker on a moving path, and the semiconductor package to be newly tested by the insert picker is mounted at an empty position on the burn-in board. Burn-in test sorting handler configured with an insert working position. 제 23항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치와 인서트작업위치 각각에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 제 1클램핑랫치작동유닛과 제 2클램핑랫치작동유닛이 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.24. The clamping latch of claim 23, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at each of the removal work position and the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the first clamping latch operating unit and the second clamping latch operating unit is fixedly installed. 제 23항에 있어서, 상기 각 번인보드에는 번인보드에 안착된 반도체 패키지들을 해제 가능하게 고정하는 클램핑랫치가 설치되며, 상기 리무빙작업위치 또는 인서트작업위치에는 상기 번인보드의 클램핑랫치들을 동작시키는 클램핑랫치작동유닛이 번인보드와 동기적으로 Y축 방향으로 일정 거리씩 왕복 수평 이동하도록 설치된 것을 특징으로 하는 번인 테스트용 소팅 핸들러.24. The clamping latch of claim 23, wherein each of the burn-in boards is provided with a clamping latch for releasably fixing the semiconductor packages seated on the burn-in board, and the clamping latches of the burn-in board are operated at the removing work position or the insert work position. Burn-in test sorting handler, characterized in that the clamping latch operating unit is installed to reciprocate horizontally by a predetermined distance in the Y-axis direction synchronously with the burn-in board.
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