KR102269567B1 - Sorting Apparatus for Semiconductor Device - Google Patents

Sorting Apparatus for Semiconductor Device Download PDF

Info

Publication number
KR102269567B1
KR102269567B1 KR1020170168965A KR20170168965A KR102269567B1 KR 102269567 B1 KR102269567 B1 KR 102269567B1 KR 1020170168965 A KR1020170168965 A KR 1020170168965A KR 20170168965 A KR20170168965 A KR 20170168965A KR 102269567 B1 KR102269567 B1 KR 102269567B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
burn
sorting
board
elements
Prior art date
Application number
KR1020170168965A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170139481A (en
Inventor
유홍준
Original Assignee
(주)제이티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)제이티 filed Critical (주)제이티
Publication of KR20170139481A publication Critical patent/KR20170139481A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102269567B1 publication Critical patent/KR102269567B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601Apparatus or methods therefor
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2644Adaptations of individual semiconductor devices to facilitate the testing thereof
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 소자소팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 분류기준에 따라서 자동으로 분류하는 소자소팅장치에 관한 것이다. 본 발명은, 제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 제1소자들을 전달받아 DC테스트를 수행하는 DC테스트부와; 제2소자들이 인출된 빈 자리에 상기 DC테스트부에서 양품으로 테스트된 제1소자를 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과; 상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와; 상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부와; 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부, X-Y테이블 상의 소켓프레스, 및 버퍼부를 자동으로 교환하는 키트교환부를 포함하는 소자소팅장치가 개시한다.The present invention relates to a device sorting device, and more particularly, to a device sorting device for automatically classifying devices such as semiconductor chips according to classification criteria. The present invention, a loading unit on which a tray loaded with first elements is loaded; a DC test unit receiving the first elements and performing a DC test; an X-Y table for moving a burn-in board on which the first element tested as good by the DC test unit is loaded in the empty position where the second elements are drawn out in the X-Y direction; a buffer unit in which the second element retrieved from the X-Y table is temporarily loaded; an unloading unit in which a second element of good quality among the second elements loaded in the buffer unit is loaded on a tray; Disclosed is an element sorting apparatus including a DC test unit, a socket press on an X-Y table, and a kit exchange unit that automatically exchanges a buffer unit according to the specifications of the element to be sorted when the specifications of the element to be sorted are changed.

Figure R1020170168965
Figure R1020170168965

Description

소자소팅장치 {Sorting Apparatus for Semiconductor Device}Device sorting device {Sorting Apparatus for Semiconductor Device}

본 발명은 소자소팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체칩과 같은 소자를 분류기준에 따라서 자동으로 분류하는 소자소팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device sorting device, and more particularly, to a device sorting device for automatically classifying devices such as semiconductor chips according to classification criteria.

반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다. Semiconductor devices (hereinafter referred to as 'devices') undergo various tests such as electrical characteristics and reliability tests for heat and pressure after the packaging process is completed.

이러한 반도체소자에 대한 검사들 중에는 번인테스트(Burn-in Test)가 있는데, 번인테스트는 번인보드에 다수의 소자들을 삽입하고, 이 번인보드를 번인테스트장치 내에 수납시켜 일정시간 동안 열이나 압력을 가한 뒤 소자에 불량이 발생하는지 판별하는 테스트이다.Among the tests for such semiconductor devices, there is a burn-in test. In the burn-in test, a number of devices are inserted into a burn-in board, the burn-in board is placed in a burn-in test device, and heat or pressure is applied for a certain period of time. This is a test to determine if a defect occurs in the back element.

번인테스트용 소자소팅장치는 일반적으로 번인테스트를 마친 소자를 적재하고 있는 번인보드로부터 양품, 불량품 등 각 소자별 검사결과에 따라서 부여된 분류기준에 따라서 소자를 각 트레이로 분류(언로딩)하면서, 소자가 위치하고 있던 번인보드의 비어있는 자리(소켓)에 다시 번인테스트를 수행할 새로운 소자를 삽입(로딩)하는 장치를 말한다. The device sorting device for burn-in test generally classifies (unloads) devices into trays according to the classification criteria given according to the inspection results for each device, such as good and defective products, from the burn-in board on which the devices that have completed the burn-in test are loaded. It refers to a device that inserts (loads) a new device to perform burn-in test again in an empty spot (socket) of the burn-in board where the device was located.

한편 상기와 같은 소자소팅장치의 성능은 단위 시간당 소팅 개수(UPH: Units Per Hour)로 평가되며, UPH는 소자소팅장치를 구성하는 각 구성요소 사이에서 소자의 이송, 번인보드의 이송에 소요되는 시간에 따라서 결정된다.Meanwhile, the performance of the device sorting device as described above is evaluated by the number of sorts per unit time (UPH: Units Per Hour). is determined according to

따라서 소자소팅장치의 성능인 UPH를 높이기 위하여 각 구성요소의 구조 및 배치를 개선할 필요가 있다.Therefore, in order to increase the UPH, which is the performance of the device sorting apparatus, it is necessary to improve the structure and arrangement of each component.

상기와 같이 UPH를 높이기 위한 소자소팅장치로서, 한국 등록특허 제10-1133188호 및 한국 등록특허 제10-1177319호 등이 있다.As an element sorting device for increasing the UPH as described above, there are Korean Patent Registration Nos. 10-1133188 and 10-1177319, and the like.

그런데 종래의 소자소팅장치는, 소팅대상인 소자의 종류, 즉 규격이 달라질 수 있는데 이 경우 로딩부 및 언로딩부의 경우 해당 규격에 대응되는 트레이를 로딩하면 DC테스트부, 번인보드 상의 소켓프레스, 이동버퍼 등 장치 내에 해당 소자규격에 맞춰진 부재들은 사용자의 수작업에 의하여 일일이 교환되어야 하므로 교체작업이 번거로운 문제점이 있다.However, in the conventional device sorting device, the type of device to be sorted, that is, the standard may be different. In this case, in the case of the loading part and the unloading part, if a tray corresponding to the standard is loaded, the DC test part, the socket press on the burn-in board, and the moving buffer There is a problem in that the replacement work is cumbersome because the members in the light device conforming to the device standard must be replaced one by one by the user's manual operation.

특히 중량물이 설치된 장치의 내측으로 사용자가 접근하여 작업하여야 하므로 오작동에 의하여 작업자가 부상을 입을 수 있는 문제점이 있다.In particular, there is a problem that the operator may be injured due to a malfunction because the user must approach the inside of the device in which the heavy object is installed and work.

본 발명의 목적은, 소팅될 소자규격에 대응되는 DC테스트부, 소켓프레스 등의 키트들을 자동으로 교환할 수 있는 키트자동교환부를 추가로 포함함으로써 소자소팅장치의 처리속도를 현저하게 향상시킬 수 있으며 교체작업이 편리한 소자소팅장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to significantly improve the processing speed of the element sorting apparatus by additionally including an automatic kit exchange unit that can automatically exchange kits such as a DC test unit and a socket press corresponding to the element standard to be sorted. An object of the present invention is to provide an element sorting device that is convenient for replacement.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 제1소자들이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 제1소자들을 전달받아 DC테스트를 수행하는 DC테스트부와; 제2소자들이 인출된 빈 자리에 상기 DC테스트부에서 양품으로 테스트된 제1소자를 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과; 상기 X-Y테이블로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 버퍼부와; 상기 버퍼부에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부와; 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부, X-Y테이블 상의 소켓프레스, 및 버퍼부를 자동으로 교환하는 키트교환부를 포함하는 소자소팅장치가 개시한다.The present invention has been created in order to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the first element is loaded with a loading unit on which the tray is loaded; a DC test unit receiving the first elements and performing a DC test; an X-Y table for moving a burn-in board on which the first element tested as good by the DC test unit is loaded in the empty position where the second elements are drawn out in the X-Y direction; a buffer unit in which the second element retrieved from the X-Y table is temporarily loaded; an unloading unit in which a second element of good quality among the second elements loaded in the buffer unit is loaded on a tray; Disclosed is an element sorting apparatus including a DC test unit, a socket press on an X-Y table, and a kit exchange unit that automatically exchanges a buffer unit according to the specifications of the element to be sorted when the specifications of the element to be sorted are changed.

본 발명에 따른 소자소팅장치는, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우, 즉 달라진 규격의 소자가 담긴 트레이가 로딩되는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부, X-Y테이블 상의 소켓프레스, 및 버퍼부를 자동으로 교환하는 키트교환부를 포함함으로써 DC테스트부 등의 교체시간을 단축시킴으로써 처리속도를 현저하게 높일 수 있는 이점이 있다.The device sorting device according to the present invention automatically adjusts the DC test unit, the socket press on the XY table, and the buffer unit according to the specifications of the device when the standard of the device to be sorted is different, that is, when a tray containing a device of a different standard is loaded. By including a kit exchange part to replace with a DC test part, there is an advantage that the processing speed can be significantly increased by shortening the replacement time of the DC test part.

도 1은 본 발명에 따른 소자소팅장치의 일예를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 소자소팅장치의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 1의 소자소팅장치의 제1이동버퍼들 및 제2이동버퍼들의 구성을 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 1의 소자소팅장치에서 X-Y테이블 및 번인보드의 이동과정을 보여주는 배치도이다.
도 5는 도 1의 소자소팅장치에서 X-Y테이블 및 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서,
도 5a는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 최초로 번인보드를 교환하기 전의 상태를,
도 5b는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환한 후의 상태를,
도 5c 및 도 5d는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 도면들이다.
도 6은 도 1의 소자소팅장치에서 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서,
도 6a는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를,
도 6b는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입되는 중간상태를,
도 6c는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입된 상태를,
도 6d는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출되는 중간상태를,
도 6e는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출된 상태를 보여주는 개념도들이다.
도 7은 보드로더의 구성을 보여주는 측면도이다.
도 8a는 도 1의 소자소팅장치에서 변형된 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더를 보여주는 측단면도이다.
도 8b는 도 8a의 보드로더를 보여주는 측면도이다.
도 9는 도 2의 소자검사장치의 변형례를 보여주는 개념도이다.
도 10은 도 2의 소자검사장치에서 교환키트가 테스트부인 경우의 교환과정을 보여주는 개념도이다.
도 11은 도 10의 교환키트의 교환과정을 보여주는 일부 평면도이다.
도 12는, 본 발명의 변형된 제1실시예에 따른 소자소팅장치를 보여주는 평면도이다.
1 is a conceptual diagram showing an example of an element sorting apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the device sorting apparatus of FIG. 1 .
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the configuration of first and second transfer buffers of the device sorting apparatus of FIG. 1 .
FIG. 4 is a layout view showing the movement process of the XY table and the burn-in board in the device sorting apparatus of FIG. 1 .
5 is a conceptual diagram showing an exchange process of a burn-in board between an XY table and a burn-in board exchange buffer unit in the device sorting apparatus of FIG. 1;
Figure 5a is a state before the first exchange of the burn-in board between the XY table and the burn-in board exchange buffer unit,
Figure 5b shows the state after exchanging the burn-in board between the XY table and the burn-in board exchange buffer unit;
5c and 5d are diagrams showing an exchange process of the burn-in board between the XY table and the burn-in board exchange buffer unit.
6 is a conceptual diagram showing an exchange process of a burn-in board between a burn-in board exchange buffer unit and a board loader in the device sorting apparatus of FIG. 1;
Figure 6a is a state before exchanging the burn-in board between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader,
6b is an intermediate state in which the burn-in board is drawn into the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader;
Figure 6c shows a state in which the burn-in board is inserted into the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader;
6d is an intermediate state in which the burn-in board is drawn out from the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader;
6E is a conceptual diagram showing a state in which the burn-in board is drawn out from the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader.
7 is a side view showing the configuration of the board loader.
8A is a side cross-sectional view showing a burn-in board exchange buffer unit and a board loader having a modified configuration in the element sorting apparatus of FIG. 1 .
Fig. 8b is a side view showing the board loader of Fig. 8a;
9 is a conceptual diagram illustrating a modified example of the device inspection apparatus of FIG. 2 .
FIG. 10 is a conceptual diagram illustrating an exchange process in the case where the exchange kit is a test unit in the device inspection apparatus of FIG. 2 .
11 is a partial plan view showing an exchange process of the exchange kit of FIG.
12 is a plan view showing a device sorting apparatus according to a first modified embodiment of the present invention.

이하 본 발명에 따른 소자소팅장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a device sorting apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 소자소팅장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩부(100), 언로딩부(200), 소팅부(300) 및 소자(10)들을 이송하기 위한 복수개의 이송툴(510, 520, 530, 540, 550, 560, 570)들을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the device sorting apparatus according to an embodiment of the present invention includes a plurality of loading units 100 , unloading units 200 , sorting units 300 , and a plurality of devices for transferring the elements 10 . It is configured to include four transfer tools (510, 520, 530, 540, 550, 560, 570).

상기 번인보드(20)는 번인테스트장치(미도시)에서 번인테스트를 거칠 수 있도록 제1소자(10)들이 적재되는 보드를 말하며, 고온 하에서 전기특성, 신호특성들에 대한 테스트가 가능하도록 소자(10)들이 각각 삽입되는 소켓들을 구비한다.The burn-in board 20 refers to a board on which the first elements 10 are loaded so that a burn-in test can be performed in a burn-in test device (not shown), and the element ( 10) are provided with sockets into which they are respectively inserted.

상기 번인보드(20)는 소자소팅장치에 설치된 X-Y테이블(410)에 탑재되어 번인테스트를 마친 제2소자(10)들이 언로딩됨과 아울러 제1소자(10)들이 적재된다.The burn-in board 20 is mounted on the X-Y table 410 installed in the device sorting device, so that the second devices 10 that have completed the burn-in test are unloaded and the first devices 10 are loaded.

상기 X-Y테이블(410)은 제2소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)를 로딩하는 동시에 제1소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)를 언로딩하기 위하여 번인보드(20)를 한 구성으로서, 도 1, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 소자(10)의 교환을 수행할 번인보드(20)를 공급받거나 소자(10)의 교환을 마친 번인보드(20)를 배출하기 위하여 번인보드교환장치(미도시)를 포함한다.The XY table 410 loads the burn-in board 20 in which the second elements 10 are inserted and simultaneously unloads the burn-in board 20 in which the first elements 10 are inserted. As one configuration, as shown in FIGS. 1, 2 and 4 , the burn-in board 20 for exchanging the element 10 is supplied or the burn-in board 20 after the exchange of the element 10 is discharged. In order to do so, it includes a burn-in board exchange device (not shown).

그리고 상기 X-Y테이블(410)은 제1이송툴(530)에 의하여 번인보드(20)의 빈자리에 제1소자(10)들이 삽입되거나 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들이 인출될 수 있도록 X-Y테이블구동부(미도시)에 의하여 구동되어 번인보드(20)를 이동시키도록 구성된다.In addition, in the XY table 410 , the first elements 10 may be inserted into the empty positions of the burn-in board 20 by the first transfer tool 530 , or the second elements 10 may be withdrawn from the burn-in board 20 . It is driven by an XY table driving unit (not shown) so as to move the burn-in board 20 .

상기 X-Y테이블구동부는 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)이 소자(10)들을 번인보드(20)로부터 인출하거나 적재하는데 용이하도록 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)과 연동하여 번인보드(20)가 로딩된 X-Y테이블(410)의 X-Y이동 또는 X-Y-θ이동 등 다양한 구성이 가능하다.The XY table driving unit includes a second transfer tool 540 and a first transfer tool so that the second transfer tool 540 and the first transfer tool 530 can easily take out or load the elements 10 from the burn-in board 20 . Various configurations such as XY movement or XY-θ movement of the XY table 410 loaded with the burn-in board 20 in conjunction with the 530 are possible.

즉, 상기 X-Y테이블구동부는 제2이송툴(540)과 연동하여 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 인출함과 아울러 제1이송툴(530)과 연동하여 제1소자(10)들을 번인보드(20)의 빈자리로 삽입하도록 X-Y테이블(410)을 이동시키고 번인보드(20)에 제1소자(10)들의 삽입이 완료되면, X-Y테이블(410)을 번인보드 교환위치로 이동시키도록 구성될 수 있다.That is, the XY table driver interlocks with the second transfer tool 540 to withdraw the second elements 10 from the burn-in board 20 and interworks with the first transfer tool 530 to obtain the first element 10 . When the XY table 410 is moved to insert the elements into the empty seat of the burn-in board 20 and the insertion of the first elements 10 into the burn-in board 20 is completed, the XY table 410 is moved to the burn-in board replacement position. It can be configured to

한편 상기 X-Y테이블(410)은 본 발명에 따른 소자소팅장치를 구성하는 본체(40)에 설치되며, 본체(40)는 제2이송툴(540) 및 제1이송툴(530)이 소자(10)들을 번인보드(20)로부터 인출하거나 적재하기 위한 개구부(41)가 형성된 상판(42)을 포함할 수 있다.Meanwhile, the XY table 410 is installed on the main body 40 constituting the element sorting apparatus according to the present invention, and the main body 40 includes the second transfer tool 540 and the first transfer tool 530 for the element 10 . ) may include a top plate 42 formed with an opening 41 for withdrawing or loading from the burn-in board 20 .

그리고 상기 X-Y테이블(410)의 상측에는 번인보드(20)에서의 소자인출 및 적재의 편의를 위하여 번인보드(20)에 설치된 소켓을 가압하는 소켓프레스(45)가 설치된다.And a socket press 45 for pressing the socket installed on the burn-in board 20 is installed on the upper side of the X-Y table 410 for the convenience of taking out and loading elements from the burn-in board 20 .

상기 소켓프레스(45)는, 번인보드(20)의 소켓에 꼽힌 소자의 인출이 가능하도록 하거나 적재가 가능하도록 하며 번인보드(20)의 소켓 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The socket press 45 enables the extraction or loading of elements inserted into the socket of the burn-in board 20, and various configurations are possible according to the socket structure of the burn-in board 20.

상기 로딩부(100)는 번인보드(20)에 적재될 다수개의 제1소자(10)들이 적재된 트레이(30)(이하 '로딩트레이'라 한다)들을 로딩하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.The loading unit 100 is a configuration for loading the trays 30 (hereinafter referred to as 'loading trays') on which a plurality of first elements 10 to be loaded on the burn-in board 20 are loaded, and various configurations are possible. Do.

또한 상기 언로딩부(200)는 제2소자(10)들 중 양호한 소자(이하 '양품'이라 한다)들을 트레이(30)(이하 '언로딩트레이'라 한다)에 적재하여 언로딩하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.In addition, the unloading unit 200 is configured for loading and unloading good devices (hereinafter referred to as 'good products') among the second devices 10 on the tray 30 (hereinafter referred to as 'unloading tray'). As such, various configurations are possible.

상기 로딩부(100) 및 언로딩부(200)는 도 2에 도시된 바와 같이, 각각 트레이(30)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일(110, 210)과, 트레이(30)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성됨이 일반적이다.As shown in FIG. 2 , the loading unit 100 and the unloading unit 200 include a pair of guide rails 110 and 210 for guiding the tray 30 to be moved, respectively, and the tray 30 . It is generally configured to include a driving unit (not shown) for moving the .

또한 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(200)는 설계조건에 따라 다양한 배치가 가능하나, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 테스트부(170), 언로딩부(200), 소팅부(300), 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 등이 사이에 설치되도록 서로 평행하게 배치됨이 일반적이나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.In addition, the loading unit 100 and the unloading unit 200 can be arranged in various ways depending on the design conditions, but as shown in FIGS. 1 and 2, the test unit 170, the unloading unit 200, the sorting unit The unit 300, the first transfer buffer 600, the second transfer buffer 700, etc. are generally arranged parallel to each other so as to be installed therebetween, but is not necessarily limited thereto.

한편 상기 로딩부(100)에서 트레이(30)로부터 제1소자(10)들이 인출된 후 빈 트레이(30)들은 트레이이송부(미도시)에 의하여 제2소자(10)들이 적재될 수 있도록 언로딩부(200)로 전달될 수 있다.Meanwhile, after the first elements 10 are withdrawn from the tray 30 in the loading unit 100, the empty trays 30 are unloaded so that the second elements 10 can be loaded by a tray transfer unit (not shown). may be transmitted to the unit 200 .

이때 트레이(30)에 소자(10)가 잔존할 수 있는바, 트레이(30)가 로딩부(100)에서 언로딩부(200)로 전달되기 전에 트레이(30)에 잔존하는 소자(10)들을 제거하기 위하여 트레이(30)를 회전시켜 잔존하는 소자(10)를 제거하는 트레이회전부(150)가 추가로 설치될 수 있다.At this time, since the element 10 may remain in the tray 30 , the elements 10 remaining in the tray 30 are removed before the tray 30 is transferred from the loading unit 100 to the unloading unit 200 . In order to remove the tray 30, a tray rotating unit 150 for removing the remaining elements 10 by rotating the tray 30 may be additionally installed.

상기 트레이회전부(150)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩부(100) 및 언로딩부(200) 사이에서 트레이(30)의 이송경로 상에 설치되며 트레이이송부에 의하여 로딩부(100)로부터 트레이(30)를 전달받아 트레이(30)를 회전시킨 후 언로딩부(200)로 트레이(30)를 전달하도록 구성된다. As shown in FIGS. 1 and 2, the tray rotating unit 150 is installed on the transfer path of the tray 30 between the loading unit 100 and the unloading unit 200, and the loading unit ( It is configured to receive the tray 30 from 100 , rotate the tray 30 , and then transfer the tray 30 to the unloading unit 200 .

이때 상기 트레이회전부(150)의 일측에는 소팅부(300) 이외에 소팅부(300), 언로딩부(200) 등으로 빈 트레이(30)를 공급하거나 로딩부(100)로부터 빈 트레이(30)를 임시로 적재할 수 있는 빈트레이부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.At this time, on one side of the tray rotating unit 150 , in addition to the sorting unit 300 , the empty tray 30 is supplied to the sorting unit 300 , the unloading unit 200 , or the empty tray 30 from the loading unit 100 . An empty tray unit (not shown) that can be temporarily loaded may be additionally installed.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 양품의 제1소자(10)만을 번인보드(20)에 적재하기 위하여 번인보드(20)에 적재하기 전에 로딩부(100)들로부터 제1소자(10)들을 공급받아 소자(10)에 대한 DC특성과 같은 전기적 특성을 미리 테스트하기 위한 테스트부(170)가 추가로 설치될 수 있다.Meanwhile, the device sorting device according to the present invention removes the first devices 10 from the loading units 100 before loading on the burn-in board 20 in order to load only the first device 10 of good quality on the burn-in board 20 . A test unit 170 for receiving the supply and testing electrical characteristics such as DC characteristics of the device 10 in advance may be additionally installed.

상기 테스트부(170)는 로딩부(100) 및 제1이동버퍼(600) 사이에 설치되어, 제1소자(10)들이 전기적으로 연결될 수 있는 복수 개의 소켓들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하며, 바람직하게는 가로방향으로 트레이(30)의 가로방향 개수와 동일한 수의 소켓들이 설치될 수 있다.The test unit 170 is installed between the loading unit 100 and the first transfer buffer 600, and various configurations are possible, such as consisting of a plurality of sockets to which the first elements 10 can be electrically connected. , preferably the same number of sockets in the horizontal direction as the number of the tray 30 in the horizontal direction can be installed.

상기 테스트부(170)의 각 제1소자(10)에 대한 테스트결과는 후술하는 소팅부(300)에서 소팅하기 위한 데이터로 활용된다.The test result for each first element 10 of the test unit 170 is used as data for sorting by the sorting unit 300 to be described later.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 테스트부(170)의 테스트결과 불량으로 판정된 제1불량소자(10)들, 제2소자(10)들 중 분류가 필요한 제2불량소자(10)들을 분류하여 적재하기 위한 소팅부(300)를 포함할 수 있다.Meanwhile, the device sorting device according to the present invention classifies the second defective elements 10 that need to be classified among the first defective elements 10 and the second elements 10 determined to be defective as a result of the test by the test unit 170 . and may include a sorting unit 300 for loading.

상기 소팅부(300)는 그 배치 및 분류기준에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 각 분류기준(양호(Good), 불량1(Contact Reject), 불량2(DC Failure) 등)에 따라서 소자(10)가 적재되는 적정한 수의 트레이(30)-소팅트레이-들을 포함하며, 앞서 설명한 로딩부(100)의 구성과 유사한 구성을 가지거나 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본체(40)에 고정된 상태로 로딩부(100) 및 언로딩부(200) 사이에 배치될 수 있다.The sorting unit 300 can be configured in various ways according to its arrangement and classification criteria, and the device 10 according to each classification criterion (Good, Bad 1 (Contact Reject), Bad 2 (DC Failure), etc.) It includes an appropriate number of trays 30 -sorting trays - on which is loaded, and has a configuration similar to that of the loading unit 100 described above or is fixed to the body 40 as shown in FIGS. 1 and 2 . It may be disposed between the loading unit 100 and the unloading unit 200 in a state of being in a state of being loaded.

또한 상기 소팅부(300)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 고정되어 설치되는 구성이외에, 로딩부(100) 및 언로딩부(200)의 구성과 유사하게 각각 트레이(30)가 이동될 수 있도록 가이드하는 한 쌍의 가이드레일과, 트레이(30)를 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the sorting unit 300 is similar to the configuration of the loading unit 100 and the unloading unit 200, in addition to the configuration in which it is fixedly installed as shown in FIGS. 1 and 2, respectively, the tray 30 can be moved. It may be configured to include a pair of guide rails for guiding and a driving unit (not shown) for moving the tray 30 .

상기 이송툴은 번인보드(20) 및 로딩부(100), 테스트부(170), 언로딩부(200), 소팅부(300), 후술하는 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700) 사이에서 소자(10)들을 이송하기 위한 구성으로 각 구성의 배치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The transfer tool includes a burn-in board 20, a loading unit 100, a test unit 170, an unloading unit 200, a sorting unit 300, a first moving buffer 600, a second moving buffer (to be described later) ( 700) as a configuration for transferring the elements 10 between them, and various configurations are possible according to the arrangement of each configuration.

예를 들면, 상기 이송툴은 로딩부(100) 및 테스트부(170) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제3이송툴(510)과, 테스트부(170) 및 제1이동버퍼(600) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제4이송툴(520)과, 제2이동버퍼(700) 및 언로딩부(200) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제5이송툴(550) 및 상기 제1이동버퍼(600), 및 제2이동버퍼(700)와 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 하나 이상의 소팅툴(560, 570)을 포함할 수 있다.For example, the transfer tool includes a third transfer tool 510 for transferring the elements 10 between the loading unit 100 and the test unit 170 , the test unit 170 and the first transfer buffer 600 . A fourth transfer tool 520 for transferring the elements 10 therebetween, a fifth transfer tool 550 for transferring the elements 10 between the second transfer buffer 700 and the unloading unit 200, and the It may include one or more sorting tools 560 and 570 for transferring the elements 10 between the first moving buffer 600 and the second moving buffer 700 and the sorting unit 300 .

또한 상기 이송툴(510, 520, 530, 540, 550, 560, 570)은 제1이동버퍼(600) 및 번인보드(20) 사이에서 로딩부(100)의 트레이(30)에 적재된 소자(10)들을 전달받아 번인보드(20)의 빈자리로 삽입하는 제1이송툴(530)과, 번인보드(20) 및 제2이동버퍼(700) 사이에서 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 이송하는 제2이송툴(540)을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the transfer tools (510, 520, 530, 540, 550, 560, 570) are loaded on the tray 30 of the loading unit 100 between the first transfer buffer 600 and the burn-in board 20 ( The second element 10 from the burn-in board 20 between the first transfer tool 530 and the burn-in board 20 and the second transfer buffer 700 to receive the 10) and insert it into an empty seat of the burn-in board 20 . ) may be configured to include a second transfer tool 540 to transfer the.

한편 상기 번인보드(20)에 적재되는 소자(10)들의 배열은 로딩부(100) 등의 트레이(30)에 적재되는 소자(10)들의 배열과 서로 다르며, 번인보드(20) 상의 배열이 상대적으로 많다.Meanwhile, the arrangement of the elements 10 loaded on the burn-in board 20 is different from the arrangement of the elements 10 loaded on the tray 30 such as the loading unit 100 , and the arrangement on the burn-in board 20 is relatively as many

따라서 상기 번인보드(20)로 소자(10)를 이송하거나 인출하는 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 나머지 이송툴들과는 상대적으로 많은 수의 소자(10)들을 이송하도록 구성됨이 바람직하다. 예를 들면, 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 12×2로하고, 나머지 이송툴들은 8×1, 8×2 등으로 할 수 있다.Accordingly, the first transfer tool 530 and the second transfer tool 540 for transferring or withdrawing the element 10 to the burn-in board 20 are configured to transfer a relatively large number of elements 10 from the other transfer tools. This is preferable. For example, the first transfer tool 530 and the second transfer tool 540 may be 12 × 2, and the remaining transfer tools may be 8 × 1, 8 × 2, or the like.

상기와 같이 이송툴들을 구성하는 경우 상대적으로 많은 수의 소자(10)들의 이송이 필요한 위치를 제외하고 상대적으로 적은 수의 이송이 필요한 위치에서 적은 수의 소자(10)들을 이송하는 이송툴의 사용이 가능해져 장치의 제조비용을 절감함과 동시에 장치의 크기 및 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.In the case of configuring the transfer tools as described above, use of a transfer tool for transferring a small number of elements 10 at positions requiring a relatively small number of transfers except for positions requiring transfer of a relatively large number of elements 10 This makes it possible to reduce the manufacturing cost of the device and at the same time improve the size and stability of the device.

한편 상기 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)은 번인보드(20) 상에서 소자(10)의 적재 및 인출이 번갈아 수행됨을 고려하여 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.Meanwhile, the first transfer tool 530 and the second transfer tool 540 may be configured to move integrally with each other in consideration of alternate loading and unloading of the elements 10 on the burn-in board 20 .

상기 제3이송툴(510) 및 제4이송툴(520) 또한 테스트부(170)를 사이에 두고 소자(10)를 이송하게 되므로 서로 일체로 이동하도록 구성될 수 있다.Since the third transfer tool 510 and the fourth transfer tool 520 also transfer the element 10 with the test unit 170 interposed therebetween, they may be configured to move integrally with each other.

또한 상기 제1이송툴(530) 및 제2이송툴(540)의 픽커들의 가로방향 개수는 소자(10)의 효율을 고려하여 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)에서 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈(미도시)의 가로방향 개수와 같게 구성될 수 있다.In addition, the number of pickers in the horizontal direction of the first transfer tool 530 and the second transfer tool 540 is determined in the first transfer buffer 600 and the second transfer buffer 700 in consideration of the efficiency of the element 10 . (10) may be configured to be the same as the number of elements accommodating grooves (not shown) in the horizontal direction for loading.

상기 소팅툴(560, 570)은 하나 또는 복수개로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.The sorting tools 560 and 570 may be configured in various configurations, such as one or a plurality of sorting tools.

특히 상기 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)에서 불량 등으로 분류될 소자(10)들의 신속한 소팅을 위하여, 소팅툴(560, 570)은 도 1, 도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제1소팅툴(560)과, 제2이동버퍼(700) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제2소팅툴(570)로 구성될 수 있다.In particular, sorting tools 560 and 570 are shown in FIGS. 1, 2 and 9 for quick sorting of the elements 10 to be classified as defective in the first transfer buffer 600 and the second transfer buffer 700 . As shown, between the first sorting tool 560 for transferring the elements 10 between the first transfer buffer 600 and the sorting unit 300 , and the second transfer buffer 700 and the sorting unit 300 . The second sorting tool 570 for transferring the elements 10 may be configured.

상기 제1소팅툴(560)은, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이를 이동하면서 제1이동버퍼(600)에 담긴 소자(10) 중 DC테스트부(170)에서 불량으로 검사된 소자(10)를 소팅부(300)에 배치된 트레이들 중 DC불량으로 지정된 트레이에 적재하는 등 소팅툴이동영역에서 이동하면서 소자(10)를 이송할 수 있다.The first sorting tool 560, while moving between the first moving buffer 600 and the sorting unit 300, was defective in the DC test unit 170 among the devices 10 contained in the first moving buffer 600. The element 10 may be transported while moving in the sorting tool movement area, such as loading the inspected element 10 on a tray designated as DC defective among the trays disposed in the sorting unit 300 .

한편, 상기 제1소팅툴(560)은, 제1이동버퍼(600) 및 소팅부(300) 사이를 이외에, DC테스트부(170)까지 이동되도록 구성됨으로써, DC테스트부(170)에서 불량으로 검사된 소자(10)를 바로 소팅부(300)에 배치된 트레이들 중 DC불량으로 지정된 트레이에 적재할 수 있다.On the other hand, the first sorting tool 560 is configured to move to the DC test unit 170 in addition to between the first transfer buffer 600 and the sorting unit 300, so that the DC test unit 170 is defective. The inspected device 10 may be directly loaded onto a tray designated as DC defective among the trays disposed in the sorting unit 300 .

이때 상기 제4이송툴(520)과의 이동간섭을 고려하여, DC테스트부(170)는 불량으로 검사된 소자(10)를 도면 상에서 하측으로 수평이동됨으로써 제1소팅툴(560)은, 제4이송툴(520)과의 이동간섭없이 소자(10)를 이송할 수 있다.At this time, in consideration of the movement interference with the fourth transfer tool 520 , the DC test unit 170 horizontally moves the defective element 10 to the lower side in the drawing, so that the first sorting tool 560 is 4 It is possible to transfer the element 10 without movement interference with the transfer tool 520 .

상기 제2소팅툴(570)은, 제2이동버퍼(700) 및 소팅부(300) 사이에서 소자(10)들을 이송하는 제2이동버퍼(700)에 담긴 소자(10)들 중 양품의 소자를 제외한 분류등급에 따라서 소자(10)를 소팅부(300)에 설치된 하나 이상의 트레이에 적재하는 등 소팅툴이동영역에서 이동하면서 소자(10)를 이송할 수 있다.The second sorting tool 570 is a non-defective device among the devices 10 contained in the second transfer buffer 700 for transferring the elements 10 between the second transfer buffer 700 and the sorting unit 300 . Depending on the classification grade except for , the element 10 may be transported while moving in the sorting tool moving area, such as loading the element 10 on one or more trays installed in the sorting unit 300 .

상기와 같이, 상기 소팅툴(560, 570)이 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)로 구성되면 보다 신속한 소자분류가 이루어질 수 있다.As described above, when the sorting tools 560 and 570 are composed of the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570, more rapid device sorting can be achieved.

한편, 상기 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)에 의하여 소팅부(300)의 트레이 상에 소자(10)가 바로 적재되는 경우 소팅부(300)의 트레이들 중 어느 하나의 트레이에 해당 분류등급의 소자가 모두 적재된 경우 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)의 소자 이송이 불가능한 경우가 발생될 수 있다.On the other hand, when the element 10 is directly loaded on the tray of the sorting part 300 by the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 , any one of the trays of the sorting part 300 is When all of the elements of the corresponding classification grade are loaded on the tray, there may be a case in which the transfer of the elements of the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 is impossible.

이에, 상기 소팅부(300)는, 소팅부(300)의 트레이들 중 어느 하나의 트레이에 해당 분류등급의 소자가 모두 적재된 경우 트레이들 중 임시 적재를 위한 버퍼트레이를 구비하거나, 다른 분류등급의 트레이에 임시로 소자를 적재한 후에 분류등급의 소자가 모두 적재된 트레이가 새로운 트레이로 교체된 후 임시로 적재된 소자를 재적재하도록 구성될 수 있다.Accordingly, the sorting unit 300 is provided with a buffer tray for temporary loading among the trays when all the elements of the corresponding classification class are loaded on any one tray of the trays of the sorting unit 300, or a different classification class. After temporarily loading the devices into the tray of , the tray loaded with all devices of the classification class may be configured to be replaced with a new tray, and then the temporarily loaded devices may be reloaded.

한편 상기 이송툴들은 각각 끝단에 소자(10)를 진공압에 의하여 흡착하는 흡착헤드를 구비하는 하나 이상의 픽커와 픽커를 X-Z, Y-Z 또는 X-Y-Z방향으로 이동시키기 위한 픽커이송장치를 포함하여 구성될 수 있다.Meanwhile, the transfer tools may include one or more pickers each having a suction head for adsorbing the element 10 by vacuum pressure at their ends, and a picker transfer device for moving the pickers in the XZ, YZ or XYZ directions. .

특히 상기 이송툴들은 픽커들이 일렬로 배치되거나, 12×2 등 복렬로 배치될 수 있다.In particular, the transfer tools may have pickers arranged in a line, or may be arranged in a double line such as 12×2.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 로딩부(100)로부터 제1소자(10)들을 번인보드(20)에 적재하거나 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 언로딩부(200)로 인출할 때 그 적재 및 인출속도를 향상시킬 수 있도록 로딩부(100) 및 번인보드(20) 사이, 번인보드(20) 및 언로딩부(200) 사이에 각각 설치되어 제1소자(10) 및 제2소자(10)들이 임시적재 및 전달하는 제1이동버퍼(600)들 및 제2이동버퍼(700)들을 포함할 수 있다.Meanwhile, the device sorting device according to the present invention loads the first devices 10 from the loading unit 100 onto the burn-in board 20 or loads the second devices 10 from the burn-in board 20 to the unloading unit 200 . The first element 10 and the first element 10 and the unloading unit 200 are respectively installed between the loading unit 100 and the burn-in board 20 and between the burn-in board 20 and the unloading unit 200 to improve the loading and unloading speed when withdrawing. The second devices 10 may include first transfer buffers 600 and second transfer buffers 700 for temporarily loading and transferring.

상기 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(700)는 본체(40)에 이동가능하게 설치되어 번인보드(20)와 소자를 교환하는 소자교환위치③, 로딩부(100) 또는 언로딩부(200)와 소자를 교환하는 소자교환위치① 및 소팅부(300)와 소자를 교환하는 소팅위치②를 이동하면서 소자(10)의 교환이 끊김없이 원활하게 이루어지도록 함으로써 소팅작업속도를 현저하게 향상시킬 수 있다.The first transfer buffer 600 and the second transfer buffer 700 are movably installed in the main body 40 to exchange elements with the burn-in board 20 at an element exchange position ③, the loading unit 100 or unloading. By moving the element exchange position ① for exchanging the element 200 with the element and the sorting position ② for exchanging the element 300 with the sorting unit 300, the element 10 can be exchanged smoothly without interruption, thereby significantly reducing the sorting operation speed. can be improved

상기 제1이동버퍼(600)는 테스트부(170)로부터 제1소자(10)들을 제2이송툴(540)에 의하여 전달받아 적재하는 로딩위치(소자교환위치) ①과, 제1불량소자(10)들을 소팅부(300)의 소팅트레이(30)로 소팅툴(560, 570)에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제1불량소자(10)들이 제거된 나머지 제1소자(10)들을 후술하는 제3이송툴(510)에 의하여X-Y테이블(410)의 번인보드(20)에 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③으로 이동하도록 구성된다.The first transfer buffer 600 includes a loading position (element exchange position) ① for receiving and loading the first elements 10 from the test unit 170 by the second transfer tool 540, and a first defective element ( 10) to the sorting tray 30 of the sorting unit 300, the sorting position ②, and the remaining first elements 10 from which the first defective elements 10 are removed will be described later by the sorting tools 560 and 570. It is configured to move to the loading position (element exchange position) ③ loaded on the burn-in board 20 of the XY table 410 by the third transfer tool 510.

상기 제1이동버퍼(600)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 각각 소자(10)들이 적재되는 소자수용부(610)와, 소자수용부(610)를 본체(40)에 이동가능하게 지지하는 가이드부재(620)와, 가이드부재(620)을 통하여 소자수용부(610)를 이동시키는 이동장치(미도시)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3 , the first moving buffers 600 include an element accommodating part 610 on which the elements 10 are loaded, and the element accommodating part 610 movably supporting the main body 40 . It is configured to include a guide member 620 and a moving device (not shown) for moving the element accommodating part 610 through the guide member 620 .

상기 소자수용부(610)는 적재위치 ③에서 보다 많은 수의 소자(10)들이 적재될 수 있도록 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수가 트레이(30)에 소자(10)를 적재하기 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수보다 많은 것이 좋다.The element accommodating part 610 has the number of elements 10 in the tray 30 in the horizontal direction of the element accommodating groove for loading the element 10 so that a larger number of elements 10 can be loaded at the loading position ③. ) is better than the number of elements accommodating grooves in the horizontal direction for loading.

여기서 상기 소자수용부(610)는 소자(10)들의 적재를 위한 구성으로서, 소자(10)들이 직접 적재되도록 구성되거나, 소팅 대상인 소자(10)의 종류에 따라서 크기가 달라질 수 있는바 소자수용홈들이 형성된 별도의 수용부재(610a)를 포함할 수 있다.Here, the element accommodating part 610 is a configuration for loading the elements 10, and the elements 10 are directly loaded, or the size of the element accommodating groove may vary depending on the type of the element 10 to be sorted. It may include a separate accommodating member 610a formed therein.

상기 제1이동버퍼(600)들은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 각 위치(①, ②, ③)들에서 동시에 과정이 수행될 수 있도록 3개로 구성됨이 바람직하다. 이때 상기 가이드부재(620)는 이동시 다른 가이드부재(620)와 간섭되지 않도록 구성된다.As shown in FIGS. 1 and 2 , the first transfer buffers 600 are preferably composed of three so that the process can be simultaneously performed at each position (①, ②, and ③). In this case, the guide member 620 is configured not to interfere with other guide members 620 during movement.

즉, 상기 제1이동버퍼(600)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(621)에 지지되어 수평 이동하는 제1소자수용부(611)와, 제2가이드부재(622)에 지지되어 수평 이동하는 제2소자수용부(612)와, 제3가이드부재(623)에 지지되어 수평 이동하는 제3소자수용부(613)를 포함하여 구성될 수 있다. That is, as shown in FIG. 3 , the first moving buffers 600 are supported by a first guide member 621 to move horizontally to a first element accommodating part 611 and a second guide member 622 . It may be configured to include a second element accommodating part 612 supported and horizontally moved, and a third element accommodating part 613 supported by the third guide member 623 and horizontally moved.

상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들은 각 소자수용부(611, 612, 613)들이 수평이동될 수 있도록 가이드하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(621)는 본체(40)의 설치된 지지부재(640)의 상부, 즉 상단에 설치되고, 제2가이드부재(622)는 지지부재(640)의 중간부분, 즉 중간에 설치되고, 제3가이드부재(623)은 지지부재(640)의 하측, 즉 하단에 또는 본체(40)의 상판(42)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들은 소자수용부(620)을 안정적으로 지지할 수 있도록 쌍을 이루어 구성될 수 있다.The first to third guide members 621, 622, and 623 are configured to guide the respective element accommodating parts 611, 612, and 613 to be horizontally moved, and various configurations are possible, as shown in FIG. As shown, the first guide member 621 is installed on the upper portion of the support member 640 installed in the main body 40, that is, the second guide member 622 is the middle portion of the support member 640, that is, the middle portion. is installed, and the third guide member 623 may be installed on the lower side of the support member 640 , that is, at the lower end or on the upper plate 42 of the main body 40 . Here, the first to third guide members 621 , 622 , and 623 may be configured in pairs to stably support the element accommodating part 620 .

한편 상기 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들을 수평이동시키는 이동장치(630)는 구동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들을 각각 수평이동시키는 제1 내지 제3이동장치(631, 632, 633)들을 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 내지 제3이동장치(631, 632, 633)들은 각각 회전력을 발생시키는 모터와, 제1 내지 제3가이드부재(621, 622, 623)들과 결합되는 벨트, 특히 타이밍벨트 및 풀리의 조합에 의하여 구성될 수 있다.On the other hand, the moving device 630 for horizontally moving the first to third guide members 621, 622, 623 can have various configurations according to the driving method, and the first to third guide members 621, 622, 623 It may include first to third moving devices 631, 632, and 633 for horizontally moving them, respectively. At this time, the first to third moving devices 631 , 632 , and 633 are a motor generating rotational force, respectively, and a belt coupled to the first to third guide members 621 , 622 and 623 , in particular a timing belt and a pulley It can be configured by a combination of

상기와 같은 구성을 가지는 제1이동버퍼(600)의 작동을 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the first transfer buffer 600 having the above configuration will be described in detail as follows.

상기 제1이동버퍼(600)들은 로딩위치 ①에서, 로딩과정 즉, 테스트부(170)로부터 제1소자(10)들이 소자수용부(610)로 로딩된다. 이때 소자수용부(610)로 로딩되는 제1소자(10)들은 테스트부(170)에서 불량으로 판정된 제1불량소자(10)들이 포함된바 이를 선별할 필요가 있다.The first transfer buffers 600 are loaded at the loading position ①, in the loading process, that is, the first elements 10 from the test unit 170 are loaded into the element accommodating unit 610 . At this time, since the first devices 10 loaded into the device accommodating unit 610 include the first defective devices 10 determined to be defective by the test unit 170 , it is necessary to select them.

따라서 상기 제1이동버퍼(600)들은 로딩위치 ①에서 소자(10)들의 로딩이 완료된 후에 제1불량소자(10)들을 선별하기 위하여 소팅위치 ②로 이동한다.Accordingly, the first transfer buffers 600 move from the loading position ① to the sorting position ② to sort the first defective elements 10 after the loading of the elements 10 is completed.

상기 제1이동버퍼(600)가 소팅위치 ②에 위치되면, 제1소팅과정 즉, 이송툴에 의하여 제1불량소자(10)들이 소자수용부(610)에서 소팅부(300)로 이송된다. 이때 각 제1불량소자(10)들은 그 불량기준에 따라서 소팅부(300)의 트레이(30)에 적재된다.When the first transfer buffer 600 is positioned at the sorting position ②, the first defective elements 10 are transferred from the element accommodating unit 610 to the sorting unit 300 by the first sorting process, that is, the transfer tool. At this time, each of the first defective elements 10 is loaded on the tray 30 of the sorting unit 300 according to the failure criteria.

여기서 상기 소팅위치 ②에서 소자수용부(610) 중 제1불량소자(10)들이 제거된 자리에는 테스트부(170)의 테스트 결과 양품으로 판정된 소자(이하 '제1정상소자'자라 한다)(10)들이 미리 적재된 제1고정버퍼(미도시)로부터 제1정상소자(10)들로 채워질 수 있다-버퍼링과정.Here, in the sorting position ②, in the place where the first defective elements 10 of the element accommodating unit 610 are removed, the element determined as a good product as a result of the test by the test unit 170 (hereinafter referred to as 'first normal element') ( 10) may be filled with the first normal elements 10 from a preloaded first fixed buffer (not shown) - the buffering process.

한편 상기 제1고정버퍼는 본체(40)에 설치되어 테스트 결과 제1정상소자(10)들이 미리 적재되어 있으며, 최초 또는 작동 중에 비워진 경우 제1이동버퍼(600)가 소팅위치 ②에 위치된 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610)에 제1정상소자(10)들이 적재될 수 있다. On the other hand, the first fixed buffer is installed in the main body 40, and as a result of the test, the first normal elements 10 are loaded in advance, and when emptied for the first time or during operation, the first transfer buffer 600 is located at the sorting position ② The first normal devices 10 may be loaded in the device accommodating part 610 of the first transfer buffer 600 .

상기 제1이동버퍼(600)에서 제1소팅과정이 모두 완료되면 소팅위치 ②에서 적재위치 ③으로 이동한다. 그리고 제1이동버퍼(600)에 적재된 제1정상소자(10)들은 이송툴에 의하여 번인보드(20)에 적재되는 적재과정이 수행된다.When all of the first sorting process in the first transfer buffer 600 is completed, it moves from the sorting position ② to the loading position ③. In addition, a loading process is performed in which the first normal elements 10 loaded in the first transfer buffer 600 are loaded onto the burn-in board 20 by a transfer tool.

그리고 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610)가 모두 비워지면 제1소자(10)들이 적재될 수 있도록 적재위치 ③에서 로딩위치 ①로 이동하여 로딩과정이 다시 수행된다.Then, when the element accommodating part 610 of the first transfer buffer 600 is all empty, the loading process is performed again by moving from the loading position ③ to the loading position ① so that the first elements 10 can be loaded.

상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 구성으로서, 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들을 전달받아 제2이송툴(540)에 의하여 적재하는 적재위치(소자교환위치) ③과, 제2불량소자(10)들을 소팅부(300)의 트레이(30)-소팅트레이-로 이송툴에 의하여 이송하는 소팅위치 ②와, 제2불량소자(10)들이 제거된 나머지 제2소자(10)들을 제5이송툴(550)에 의하여 트레이(30)-언로딩트레이-에 적재하는 언로딩위치(소자교환위치) ①로 반복하여 이동하도록 구성된다.The second transfer buffer 700 has a configuration similar to that of the first transfer buffer 600, and receives the second elements 10 from the burn-in board 20 and loads them by the second transfer tool 540 ( element exchange position) ③, the sorting position ② in which the second defective elements 10 are transferred to the tray 30-sorting tray- of the sorting unit 300 by the transfer tool, and the second defective elements 10 are removed It is configured to move repeatedly to the unloading position (element exchange position) ① in which the remaining second elements 10 are loaded onto the tray 30-unloading tray- by the fifth transfer tool 550 .

상기와 같은 구성을 가지는 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(700)와 유사한 구성을 가지며, 도 3에 도시된 바와 같이, 소자(10)들이 적재되는 소자수용부(710)와, 소자수용부(710)를 본체(40)에 이동가능하게 지지하는 가이드부재(720)와, 가이드부재(720)를 통하여 소자수용부(710)를 수평이동시키는 이동장치(730)를 포함하여 구성된다.The second transfer buffer 700 having the above configuration has a configuration similar to that of the first transfer buffer 700, and as shown in FIG. 3 , the element accommodating part 710 on which the elements 10 are loaded; A guide member 720 for movably supporting the element accommodating part 710 on the main body 40, and a moving device 730 for horizontally moving the element accommodating part 710 through the guide member 720. do.

상기 소자수용부(710)는 적재위치 ③에서 보다 많은 수의 소자(10)들이 적재될 수 있도록 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향의 개수가 트레이(30)의 소자(10)의 적재를 위한 소자수용홈의 가로방향 개수보다 많은 것이 좋다.The element accommodating part 710 has the number of elements 10 in the tray 30 in the horizontal direction of the element accommodating groove for loading the element 10 so that a larger number of elements 10 can be loaded at the loading position ③. ), it is better to have more than the number of element accommodating grooves in the horizontal direction for loading.

여기서 상기 소자수용부(710)는 소자(10)들의 적재를 위한 구성으로서, 소자(10)들이 직접 적재되도록 구성되거나, 소팅 대상인 소자(10)의 종류에 따라서 크기가 달라질 수 있는바 소자수용홈들이 형성된 별도의 수용부재(610a)로 구성될 수 있다.Here, the element accommodating part 710 is a configuration for loading the elements 10, and the elements 10 are directly loaded, or the size of the element accommodating groove may vary depending on the type of element 10 to be sorted. It may be composed of a separate accommodating member 610a formed therein.

상기 제2이동버퍼(700)는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 각 위치(①, ②, ③)들에서 과정이 수행될 수 있도록 3개로 구성됨이 바람직하다. 이때 상기 가이드부재(720)는 이동시 다른 가이드부재(720)와 간섭되지 않도록 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 2, the second transfer buffer 700 is preferably composed of three so that the process can be performed at each position (①, ②, and ③). At this time, the guide member 720 is configured not to interfere with other guide members 720 during movement.

즉, 상기 제2이동버퍼(700)들은 도 3에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(721)에 지지되어 수평 이동하는 제1소자수용부(711)와 제2가이드부재(722)에 지지되어 수평 이동하는 제2소자수용부(712)와 제3가이드부재(723)에 지지되어 수평 이동하는 제3소자수용부(713)를 포함하여 구성될 수 있다. That is, as shown in FIG. 3 , the second transfer buffers 700 are supported by the first element accommodating part 711 and the second guide member 722 that are supported by the first guide member 721 and move horizontally. It may be configured to include a second element accommodating part 712 that horizontally moves and a third element accommodating part 713 that is supported by the third guide member 723 and moves horizontally.

상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들은 각 버퍼(711, 712, 713)들이 수평 이동될 수 있도록 가이드하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1가이드부재(721)는 본체(40)의 설치된 지지부재(740)의 상부, 즉 상단에 설치되고, 제2가이드부재(722)는 제1가이드부재(721)의 지지부재(740)의 중간부분, 즉 중단에 설치되고, 제3가이드부재(723)는 지지부재(740)의 하부, 즉 하단에 또는 본체(40)의 상판(42)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들은 소자수용부(720)를 안정적으로 지지할 수 있도록 쌍을 이루어 구성될 수 있다.The first to third guide members 721, 722, and 723 are configured to guide the respective buffers 711, 712, and 713 to be horizontally moved, and various configurations are possible, as shown in FIG. , the first guide member 721 is installed on the upper part, that is, on the upper end of the support member 740 installed in the body 40, and the second guide member 722 is the support member 740 of the first guide member 721. It is installed in the middle part, that is, the middle part, and the third guide member 723 may be installed in the lower part of the support member 740 , that is, at the lower end or on the upper plate 42 of the main body 40 . Here, the first to third guide members 721 , 722 , and 723 may be configured in pairs to stably support the element accommodating part 720 .

한편 상기 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들을 수평이동시키는 이동장치(730)는 구동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들을 각각 수평이동시키는 제1 내지 제3이동장치(731, 732, 733)들을 포함할 수 있다. 이때 상기 제1 내지 제3이동장치(731, 732, 733)들은 각각 회전력을 발생시키는 모터와, 제1 내지 제3가이드부재(721, 722, 723)들과 결합되는 벨트, 특히 타이밍벨트 및 풀리의 조합에 의하여 구성될 수 있다.On the other hand, the moving device 730 for horizontally moving the first to third guide members 721, 722, 723 can have various configurations according to the driving method, and the first to third guide members 721, 722, 723 It may include first to third moving devices (731, 732, 733) for horizontally moving, respectively. At this time, the first to third moving devices 731 , 732 , and 733 are a motor generating rotational force, respectively, and a belt coupled to the first to third guide members 721 , 722 , 723 , in particular a timing belt and a pulley It can be configured by a combination of

상기와 같은 구성을 가지는 상기 제2이동버퍼(700)는 제1이동버퍼(600)와 유사한 방식으로 작동하며, 적재위치 ③에서 번인보드(20)로부터 제2소자(10)들이 소자수용부(710)에 적재되는 적재과정과, 소팅위치 ②에서 제2불량소자(10)들을 소팅부(300)로 이송하는 제2소팅과정과, 언로딩위치 ①에서 나머지 제2소자(10)들을 언로딩부(200)의 트레이(30)로 이송하는 언로딩과정을 수행하게 된다.The second transfer buffer 700 having the above configuration operates in a similar manner to the first transfer buffer 600, and in the loading position ③, the second elements 10 from the burn-in board 20 are placed in the element accommodating part ( 710), a second sorting process of transferring the second defective elements 10 to the sorting unit 300 at the sorting position ②, and unloading the remaining second elements 10 at the unloading position ① An unloading process of transferring to the tray 30 of the unit 200 is performed.

상기 적재과정에서는 제1이동버퍼(600)에서 적재되는 소자(10)들의 개수와 동일한 개수의 소자들, 예를 들면 12×2와 같이 배열된 소자들을 한꺼번에 이송한다.In the loading process, the same number of elements as the number of elements 10 loaded in the first transfer buffer 600, for example, elements arranged such as 12×2 are transferred at once.

상기 제2소팅과정에서는 이송툴에 의하여 제2불량소자(10)들이 소자수용부(710)에서 소팅부(300)로 이송된다. 이때 각 제2불량소자(10)들은 그 불량기준에 따라서 소팅부(300)의 트레이(30)에 적재된다.In the second sorting process, the second defective elements 10 are transferred from the element accommodating part 710 to the sorting part 300 by the transfer tool. At this time, each of the second defective elements 10 is loaded on the tray 30 of the sorting unit 300 according to the failure criteria.

여기서 상기 소팅위치 ②에서 소자수용부(710) 중 제2불량소자들이 제거된 자리에는 제2정상소자(10)들이 미리 적재된 제2고정버퍼(미도시)로부터 제2정상소자(10)들이 채워질 수 있다-버퍼링과정.Here, in the sorting position ②, the second normal devices 10 from the second fixed buffer (not shown) in which the second normal devices 10 are pre-loaded are placed at the positions where the second defective devices are removed from the device accommodating part 710 . Can be filled-buffering process.

한편 상기 제2고정버퍼는 본체(40)에 설치되어 제2정상소자(10)들이 미리 적재되어 있으며, 최초 또는 작동 중에 비워진 경우 제2이동버퍼(700)가 소팅위치 ②에 위치된 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)에 제2정상소자(10)들이 적재될 수 있다. On the other hand, the second fixed buffer is installed in the main body 40 and the second normal elements 10 are loaded in advance, and when emptied for the first time or during operation, the second transfer buffer 700 is located in the sorting position ②. The second normal devices 10 may be loaded in the device accommodating part 710 of the buffer 700 .

도 5는 도 1의 소자소팅장치에서 X-Y테이블 및 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서, 도 5a는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를, 도 5b는 X-Y테이블과 번인보드교환버퍼부 사이에서 번인보드를 교환한 후의 상태를 보여주는 도면들이고, 도 6은 도 1의 소자소팅장치에서 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드의 교환과정을 보여주는 개념도들로서, 도 6a는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드를 교환하기 전의 상태를, 도 6b는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입되는 중간상태를, 도 6c는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로 인입된 상태를, 도 6d는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출되는 중간상태를, 도 6e는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더 사이에서 번인보드가 보드로더의 랙으로부터 인출된 상태를 보여주는 개념도들이고, 도 7은 보드로더의 구성을 보여주는 측면도이다.5 is a conceptual diagram showing the exchange process of the burn-in board between the XY table and the burn-in board exchange buffer unit in the device sorting apparatus of FIG. 1, and FIG. 5 a is a state before the burn-in board is exchanged between the XY table and the burn-in board exchange buffer unit. 5B is a view showing the state after exchanging the burn-in board between the XY table and the burn-in board exchange buffer part, and FIG. 6 is the burn-in board between the burn-in board exchange buffer part and the board loader in the element sorting apparatus of FIG. As conceptual diagrams showing the exchange process, FIG. 6A is a state before exchanging the burn-in board between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader, and FIG. 6B is the burn-in board between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader to the rack of the board loader. 6c shows a state in which the burn-in board is inserted into the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer part and the board loader, and FIG. 6d shows the burn-in board exchange buffer part and the board loader between the burn-in board exchange buffer part and the board loader. 6e is a conceptual diagram showing a state in which the burn-in board is drawn out from the rack of the board loader between the burn-in board exchange buffer unit and the board loader, and FIG. 7 is a side view showing the configuration of the board loader.

한편 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)에서 제1소자(10) 및 제2소자(10)의 교환이 완료되면 X-Y테이블(410)은 보드로더(800)와 제2소자(10)들이 적재된 새로운 번인보드(20)와 교환한다.On the other hand, when the exchange of the first element 10 and the second element 10 in the burn-in board 20 on the XY table 410 is completed, the XY table 410 is the board loader 800 and the second element 10 . Replace it with a new loaded burn-in board (20).

그런데 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)가 교환될 때, 제1소자(10)의 로딩 및 제2소자(10)의 언로딩이 중지되므로 소자(10)의 로딩 및 언로딩은 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20) 교환시간만큼 지체된다.However, when the burn-in board 20 on the XY table 410 is exchanged, the loading and unloading of the device 10 stops because the loading of the first device 10 and the unloading of the second device 10 are stopped. The burn-in board 20 on 410 is delayed by the replacement time.

따라서 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20) 교환시간을 단축하게 되면 그만큼 소자소팅장치의 처리속도, 소위 UPH를 향상시킬 수 있는 바, 본 발명에 따른 소자소팅장치는 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20) 및 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 번갈아 임시로 저장하며, X-Y테이블(410)의 제1소자(10)가 삽입된 번인보드(20)를 다수개의 번인보드(20)들이 적재된 보드로더(800)의 제2소자(10)가 삽입된 번인보드(20)와 교환하는 번인보드교환버퍼부(420)를 추가로 포함한다.Therefore, if the exchange time of the burn-in board 20 on the XY table 410 is shortened, the processing speed of the element sorting apparatus, so-called UPH, can be improved by that much. In the element sorting apparatus according to the present invention, the first elements 10 are The stacked burn-in board 20 and the second element 10 are alternately temporarily stored, and the burn-in board 20 in which the first element 10 of the XY table 410 is inserted is stored. It further includes a burn-in board exchange buffer part 420 for exchanging the burn-in board 20 into which the second element 10 of the board loader 800 on which the plurality of burn-in boards 20 are loaded is inserted.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800) 및 X-Y테이블(410) 사이에 설치되어 번인보드(20)를 중개하는 구성으로서, 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The burn-in board exchange buffer unit 420 is installed between the board loader 800 and the X-Y table 410 to mediate the burn-in board 20, and various configurations are possible depending on the design and design.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 장치의 구성에 따라서 본체(40), 특히 X-Y테이블(410)의 이동영역 중 최외단의 일측 또는 보드로더(800)의 내부에 설치될 수 있다.The burn-in board exchange buffer unit 420 may be installed on one side of the outermost end of the main body 40 , particularly one of the moving areas of the X-Y table 410 , or inside the board loader 800 , depending on the configuration of the device.

한편 상기 번인보드(20)의 교환시간을 단축시킬 수 있도록, X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)는 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20) 및 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 동시에 교환하는 것이 바람직하다.On the other hand, in order to shorten the exchange time of the burn-in board 20, the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer unit 420 include the burn-in board 20 and the second element ( 10) It is preferable to exchange the burn-in board 20 loaded with them at the same time.

그리고 번인보드(20)의 동시교환을 위하여 상기 X-Y테이블(410)은 상하로 번인보드(20)가 안착되는 한 쌍의 번인보드안착부(411)와, 한 쌍의 번인보드안착부(411) 사이에서 상측 및 하측 중 적어도 일방향으로 번인보드안착부(411)에 안착된 번인보드(10)를 이동시키는 번인보드승강부(412)를 포함하여 구성될 수 있다.And for the simultaneous exchange of the burn-in board 20, the XY table 410 includes a pair of burn-in board seating parts 411 on which the burn-in board 20 is mounted, and a pair of burn-in board seating parts 411. It may be configured to include a burn-in board lifting unit 412 for moving the burn-in board 10 seated on the burn-in board mounting unit 411 in at least one direction of the upper side and the lower side therebetween.

이때, 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)의 번인보드안착부(411)에 대응되어 상하로 번인보드(20)가 안착되는 한 쌍의 번인보드버퍼부(421)들을 포함하여 구성될 수 있다.At this time, the burn-in board exchange buffer part 420 includes a pair of burn-in board buffer parts 421 in which the burn-in board 20 is seated up and down corresponding to the burn-in board seating part 411 of the XY table 410 . can be configured.

상기 번인보드버퍼부(421)는 번인보드(20)가 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 후술하는 제1핑거부(441), 제2핑거부(442) 등의 이동에 간섭되지 않도록 구성되는 것이 바람직하다.The burn-in board buffer unit 421 can have any configuration as long as the burn-in board 20 can be loaded, and does not interfere with the movement of the first finger unit 441, the second finger unit 442, etc., which will be described later. It is preferably configured not to.

한편 상기 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420) 사이에서의 번인보드(20)의 이송은 도 5a 내지 도 5d에 도시된 바와 같이, 제1핑거부(441) 및 제2핑거부(442)에 의하여 이루어지며, 제1핑거부(441) 및 제2핑거부(442)의 구성 및 설치 위치는 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능한다.Meanwhile, the transfer of the burn-in board 20 between the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer part 420 is performed by a first finger part 441 and a second finger part as shown in FIGS. 5A to 5D. 442, the configuration and installation position of the first finger portion 441 and the second finger portion 442 may be variously configured according to the design and design.

상기와 같은 구성을 가지는 상기 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420) 사이에서의 번인보드(20)의 교환과정은 각 구성에 따라서 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 그 일례를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The exchange process of the burn-in board 20 between the XY table 410 having the above configuration and the burn-in board exchange buffer unit 420 may be made in various forms according to each configuration, an example of which is shown in the accompanying drawings. It is described in detail with reference to the following.

최초에 상기 X-Y테이블(410)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다. 이때 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)가 번인보드(20)가 상하로 배치될 수 있는 구성을 가지는 경우 상측 또는 하측 중 어느 하나에서 X-Y테이블(410)은 번인보드교환버퍼부(420)로부터 번인보드(20)를 공급받을 수 있으며, 특히 도 6d 및 도 6e에 도시된 바와 같이, 상측에서 공급받는 것이 바람직하다.Initially, the X-Y table 410 receives the burn-in board 20 on which the second elements 10 are loaded from the burn-in board exchange buffer unit 420 as shown in FIGS. 5A and 5B . At this time, when the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer part 420 have a configuration in which the burn-in board 20 can be disposed up and down, the XY table 410 in either the upper or lower side is the burn-in board exchange buffer part. The burn-in board 20 may be supplied from the 420 , and in particular, as shown in FIGS. 6D and 6E , it is preferable to receive the burn-in board 20 from the upper side.

상기 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받은 X-Y테이블(410)은 개구부(41)를 통하여 제2소자(10)가 언로딩 및 제1소자(10)가 로딩될 수 있도록 X-Y방향으로 구동된다.In the XY table 410 supplied with the burn-in board 20 on which the second elements 10 are loaded, the second element 10 can be unloaded and the first element 10 can be loaded through the opening 41 . driven in the XY direction.

상기 제2소자(10)의 언로딩 및 제1소자(10)의 로딩을 위하여 X-Y테이블(410)이 이동할 때 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다.When the XY table 410 moves for the unloading of the second device 10 and the loading of the first device 10 , the burn-in board exchange buffer unit 420 moves from the board loader 800 to the second device 10 . They are supplied with the loaded burn-in board 20 .

그리고 제2소자(10)의 언로딩 및 제1소자(10)의 로딩이 완료되면 제1소자(10)가 적재된 번인보드(20)는 도 5c에 도시된 바와 같이, 제2소자(10)들이 적재된 다른 번인보드(20)를 공급받기 위하여 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동한다. And when the unloading of the second device 10 and the loading of the first device 10 are completed, the burn-in board 20 on which the first device 10 is loaded is displayed as shown in FIG. 5C , the second device 10 . ) moves toward the burn-in board exchange buffer unit 420 in order to receive the other loaded burn-in board 20 .

이때 상기 X-Y테이블(410)이 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동하면서 X-Y테이블(410) 상의 번인보드(20)는 도 5c에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)와의 번인보드(20) 교환을 위하여 번인보드승강부(412)에 의하여 하측으로 이동한다.At this time, as the XY table 410 moves toward the burn-in board exchange buffer part 420, the burn-in board 20 on the XY table 410 is a burn-in board with the burn-in board exchange buffer part 420, as shown in FIG. 5c. (20) It moves downward by the burn-in board lifting unit 412 for exchange.

한편 번인보드교환버퍼부(420) 쪽으로 이동한 X-Y테이블(410)은 도 5d에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)의 상측에 위치된 번인보드(20)를 공급받게 되며, 이때 X-Y테이블(410)의 하측에 위치된 번인보드(20)는 번인보드교환버퍼부(420)의 하측에 위치된 번인보드버퍼부(421)로 이동된다.On the other hand, the XY table 410 moved toward the burn-in board exchange buffer part 420 is supplied with the burn-in board 20 located on the upper side of the burn-in board exchange buffer part 420, as shown in FIG. 5D, at this time The burn-in board 20 located at the lower side of the XY table 410 is moved to the burn-in board buffer unit 421 located below the burn-in board exchange buffer unit 420 .

그리고 X-Y테이블(410) 및 번인보드교환버퍼부(420) 사이의 번인보드(20) 교환은 그 교환시간을 단축시키기 위하여 동시에 이루어지는 것이 바람직하다.And it is preferable that the exchange of the burn-in board 20 between the X-Y table 410 and the burn-in board exchange buffer unit 420 is performed at the same time in order to shorten the exchange time.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 번인보드(20)를 지속적으로 공급받을 수 있도록 일측에 설치된 보드로더(800)를 포함한다.Meanwhile, the device sorting device according to the present invention includes a board loader 800 installed on one side so as to continuously receive the burn-in board 20 as shown in FIGS. 1 and 2 .

상기 보드로더(800)는 제2소자(20)들이 삽입된 번인보드(20)들을 적재하여 로딩함과 아울러 제1소자(10)들이 삽입된 번인보드(20)들을 순차적으로 적재하여 번인테스트로 이송하기 구성, 즉 X-Y테이블(410)과 번인보드(20)를 지속적으로 교환하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The board loader 800 loads and loads the burn-in boards 20 in which the second elements 20 are inserted, and sequentially loads the burn-in boards 20 in which the first elements 10 are inserted to perform a burn-in test. Various configurations are possible as a configuration for transferring, that is, a configuration for continuously exchanging the XY table 410 and the burn-in board 20 .

한편 상기 랙(50)들 중 어느 하나의 번인보드(20)들 모두에 제1소자(10)들이 적재되면, 제1소자(10)들의 적재가 완료된 랙(50)은 언로딩될 제2소자(10)들을 적재하고 있는 다른 랙(50)과 교체된다.On the other hand, when the first elements 10 are loaded on all of the burn-in boards 20 of any one of the racks 50 , the rack 50 on which the first elements 10 are loaded is the second element to be unloaded. (10) is replaced with another rack (50) is loaded.

그런데 상기 X-Y테이블(410) 등은 보드로더(800)에서 랙(50)이 교체가 완료되어 새로운 번인보드(20)를 공급받을 때까지 대기하여야 하므로 그만큼 소자소팅장치의 처리속도가 저하되는 문제점이 있다.However, since the XY table 410 and the like have to wait until the replacement of the rack 50 in the board loader 800 is completed and a new burn-in board 20 is supplied, the processing speed of the element sorting device is lowered by that much. have.

이에 본 발명에 따른 소자소팅장치의 보드로더(800)는 도 7에 도시된 바와 같이, 번인보드(20) 상의 소자(10)의 로딩 및 언로딩에 영향을 주지 않고 랙(50)을 교환할 수 있도록, X-Y테이블(410)의 Y축방향으로 배치되어 다수개의 번인보드(20)들이 적재된 랙(50)이 복수개의 단으로 적재되는 한 쌍의 랙적재부(810)와 한 쌍의 랙적재부(810) 사이에 설치되어 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 랙(50)을 상하이동시키는 엘리베이터부(820)를 포함하여 구성될 수 있다.Accordingly, the board loader 800 of the device sorting device according to the present invention can exchange the rack 50 without affecting the loading and unloading of the device 10 on the burn-in board 20 as shown in FIG. 7 . A pair of rack loading units 810 and a pair of racks arranged in the Y-axis direction of the XY table 410 and loaded with a plurality of burn-in boards 20 are stacked in a plurality of stages. It may be configured to include an elevator unit 820 installed between the loading units 810 to withdraw the rack 50 from the rack loading unit 810 to vertically move the rack 50 .

상기 랙적재부(810)는 랙(50)이 적재될 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The rack loading unit 810 may have any configuration as long as the rack 50 can be loaded.

특히 상기 랙적재부(810)는 한 쌍으로 구성되어 엘리베이터부(820)를 중심으로 엘리베이터부(820)의 양측에 설치됨이 바람직하다.In particular, it is preferable that the rack loading unit 810 is configured as a pair and installed on both sides of the elevator unit 820 with the elevator unit 820 as the center.

상기 엘리베이터부(820)는 랙적재부(810)로부터 랙(50)을 인출하여 상하로 이동시키면서 X-Y테이블(410), 번인보드교환버퍼부(420)가 구비된 경우 번인보드교환버퍼부(420)와 번인보드(20)를 교환하도록 구성된다.The elevator unit 820 withdraws the rack 50 from the rack loading unit 810 and moves it up and down while the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer unit 420 are provided when the burn-in board exchange buffer unit 420 is provided. ) and the burn-in board 20 is configured to exchange.

한편 상기 보드로더(800)는 한 쌍의 랙적재부(810)에 대응되어 랙적재부(810) 각각에 적재된 랙(50)을 인출하기 위한 한 쌍의 랙인출부(830)를 포함한다.On the other hand, the board loader 800 includes a pair of rack withdrawing units 830 corresponding to a pair of rack mounting units 810 to withdraw the racks 50 loaded on each of the rack mounting units 810 . .

상기 랙인출부(830)는 랙적재부(810)로부터 엘리베이터부(820)의 지지부(821)로 랙(50)을 인출하거나, 반대로 엘리베이터부(820)로부터 랙적재부(810)로 랙(50)을 적재하도록 구성된다.The rack withdrawing unit 830 withdraws the rack 50 from the rack loading unit 810 to the support 821 of the elevator unit 820, or vice versa, from the elevator unit 820 to the rack loading unit 810. 50) is configured to load.

상기와 같은 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이에서의 번인보드(20)의 교환과정은 각 구성에 따라서 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 그 일례를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.The exchange process of the burn-in board 20 between the burn-in board exchange buffer unit 420 and the board loader 800 having the above configuration may be made in various forms according to each configuration, an example of which is shown in the accompanying drawings. It is described in detail with reference to the following.

최초에 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 도 6c 및 도 6d에 도시된 바와 같이, 보드로더(800)로부터 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)를 공급받는다. 이때 X-Y테이블(410)과 번인보드교환버퍼부(420)가 번인보드(20)가 상하로 배치될 수 있는 구성을 가지는 경우 상측 또는 하측 중 어느 하나에서 번인보드교환버퍼부(420)는 보드로더(800)로부터 번인보드(20)를 공급받을 수 있으며, 특히 X-Y테이블(410) 및 번인보드교환버퍼부(420) 사이의 보드교환을 고려하여 상측에서 공급받는 것이 바람직하다.Initially, the burn-in board exchange buffer unit 420 receives the burn-in board 20 on which the second elements 10 are loaded from the board loader 800 as shown in FIGS. 6C and 6D . At this time, when the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer part 420 have a configuration in which the burn-in board 20 can be disposed up and down, the burn-in board exchange buffer part 420 in either the upper or lower side is the board loader. It is possible to receive the burn-in board 20 from the 800, and in particular, it is preferable to receive the supply from the upper side in consideration of the board exchange between the XY table 410 and the burn-in board exchange buffer unit 420.

즉, 상기 제2소자(10)들이 적재된 번인보드(20)는 보드로더(800)로부터 인출되어 번인보드교환버퍼부(420)의 상측에 위치된 번인보드버퍼부(421)를 거쳐 X-Y테이블(410)의 상측에 위치된 번인보드안착부(411)로 전달되며, 제1소자(10)들이 적재된 번인보드(20)는 X-Y테이블(410)의 하측에 위치된 번인보드안착부(411)를 거쳐 보드로더(800)로 배출된다.That is, the burn-in board 20 on which the second elements 10 are loaded is drawn out from the board loader 800 and passes through the burn-in board buffer part 421 located above the burn-in board exchange buffer part 420 to the XY table. The burn-in board 20 is transferred to the burn-in board seating part 411 located on the upper side of the 410, and the burn-in board 20 on which the first elements 10 are loaded is the burn-in board seating part 411 located on the lower side of the XY table 410. ) through the board loader 800 .

한편 상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)과의 보드교환을 마친 후 보드로더(800)와는 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같은 과정을 거쳐 번인보드(20)를 교환한다.Meanwhile, the burn-in board exchange buffer unit 420 exchanges the burn-in board 20 with the board loader 800 through the process shown in FIGS. 6A and 6B after the board exchange with the XY table 410 is completed. .

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 X-Y테이블(410)로부터 전달받은 번인보드(20), 특히 하측에 위치된 번인보드버퍼부(421)에 안착된 번인보드(20)를 보드로더(800)의 랙(50)의 빈자리로 인입시킨다. 여기서 상기 랙(50)은 번인보드(20)가 인입 또는 인출될 수 있도록 엘리베이터부(820)에 의하여 승하강되며 번인보드(20)의 원활한 교환을 위하여 가장 최상측 또는 최하측 중 적어도 하나는 번인보드(20)가 채워지지 않는 것이 바람직하다.The burn-in board exchange buffer part 420 is a board loader 800 for the burn-in board 20 received from the XY table 410, in particular, the burn-in board 20 seated on the burn-in board buffer part 421 located on the lower side. of the rack 50 is introduced into the empty seat. Here, the rack 50 is raised and lowered by the elevator unit 820 so that the burn-in board 20 can be drawn in or out, and at least one of the uppermost or lowermost side is burn-in for smooth exchange of the burn-in board 20 . It is preferred that the board 20 is not filled.

상기 번인보드교환버퍼부(420)는 제2소자(10)가 적재된 새로운 번인보드(20)를 랙(50)으로부터 인출한다. 여기서 상기 번인보드(20)는 랙(50)으로부터 인출되어, 번인보드교환버퍼부(420), 특히 상측에 위치된 번인보드버퍼부(421)에 안착된다.The burn-in board exchange buffer unit 420 draws out a new burn-in board 20 on which the second element 10 is loaded from the rack 50 . Here, the burn-in board 20 is withdrawn from the rack 50 and is seated on the burn-in board exchange buffer part 420, in particular, the burn-in board buffer part 421 located on the upper side.

상기와 같은 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이의 번인보드(20)의 교환과정은, 도 6a 내지 도 6d에 도시된 바와 같이, 번인보드(20)가 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이에서의 하나 이상의 서브핑거(443, 444)들에 의하여 이송되어 이루어진다.The exchange process of the burn-in board 20 between the burn-in board exchange buffer unit 420 and the board loader 800 as described above, as shown in FIGS. 6A to 6D, the burn-in board 20 is the burn-in board exchange buffer. It is carried by one or more sub-fingers 443 and 444 between the part 420 and the board loader 800 .

이때 상기 서브핑거(443, 444)들은 번인보드교환버퍼부(420) 및 보드로더(800) 사이의 이동구간을 각 서브핑거(443, 444)들에 대응되는 복수개의 서브이동구간에서 번인보드(20)를 이송하도록 구성될 수 있다.At this time, the sub-fingers 443, 444 move the movement section between the burn-in board exchange buffer unit 420 and the board loader 800 in a plurality of sub-movement sections corresponding to the respective sub-fingers 443 and 444. 20) can be configured to transport.

도 8a는 도 1의 소자소팅장치에서 변형된 구성을 가지는 번인보드교환버퍼부 및 보드로더를 보여주는 측단면도이고, 도 8b는 도 8a의 보드로더를 보여주는 측면도이다.8A is a side cross-sectional view showing a burn-in board exchange buffer unit and a board loader having a modified configuration in the element sorting apparatus of FIG. 1, and FIG. 8B is a side view showing the board loader of FIG. 8A.

한편 본 발명에 따른 소자소팅장치는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 보드로더(800)가 랙(50)을 상하로 이동시키는 엘리베이터부의 구성을 설치하지 않고 랙(50)만이 적재되는 랙적재부(810)만으로 구성하고, 각 랙적재부(810)에 적재된 랙(50)으로부터 번인보드(20)를 인출할 수 있도록 번인보드교환버퍼부(420)가 상하좌우로 이동되도록 구성될 수 있다.On the other hand, in the device sorting device according to the present invention, as shown in FIGS. 8a and 8b, the board loader 800 does not install an elevator unit that moves the rack 50 up and down, and only the rack 50 is loaded on the rack. It is composed of only the loading part 810, and the burn-in board exchange buffer part 420 is configured to move up, down, left and right so that the burn-in board 20 can be withdrawn from the rack 50 loaded on each rack loading part 810. can

즉, 상기 보드로더(800)은 도 8b에 도시된 바와 같이, 복수개의 랙(50)들, 본 실시예에서는 9개의 랙(50)들이 적재될 수 있는 랙적재부(810)들로 구성될 수 있다.That is, as shown in FIG. 8B , the board loader 800 is configured with a plurality of racks 50 , and in this embodiment, nine racks 50 , which can be loaded with rack loading units 810 . can

그리고 본 발명에 따른 소자소팅장치는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)의 수직 및 수평이동을 위한 교환버퍼구동부(430)을 추가로 포함할 수 있다.And as shown in FIGS. 8A and 8B , the device sorting apparatus according to the present invention may further include an exchange buffer driving unit 430 for vertical and horizontal movement of the burn-in board exchange buffer unit 420 .

상기 교환버퍼구동부(430)는 각 랙적재부(810)에 적재된 랙(50)으로부터 번인보드(20)를 인출할 수 있도록 번인보드교환버퍼부(420)가 상하좌우, 즉 수직 및 수평이동을 구동하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The exchange buffer driving unit 430 moves the burn-in board exchange buffer unit 420 vertically and horizontally, that is, vertically and horizontally, so as to take out the burn-in board 20 from the rack 50 loaded on each rack loading unit 810 . Various configurations are possible as a configuration for driving the .

상기 교환버퍼구동부(430)는 그 일예로서, 보드로더(800)에 적재된 랙(50)의 상하를 기준으로 번인보드교환버퍼부(420)의 상하이동을 구동하는 제1구동부(432) 및 보드로더(800)에 랙(50)이 배치된 수평방향을 기준으로 번인보드교환버퍼부(420)의 수평이동을 구동하는 제2구동부(431)를 포함하여 구성될 수 있다.The exchange buffer driving unit 430 is an example of the first driving unit 432 for driving the vertical movement of the burn-in board exchange buffer unit 420 based on the top and bottom of the rack 50 loaded on the board loader 800, and It may be configured to include a second driving unit 431 for driving the horizontal movement of the burn-in board exchange buffer unit 420 based on the horizontal direction in which the rack 50 is arranged in the board loader 800 .

상기 제1구동부(432) 및 제2구동부(431)는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 번인보드교환버퍼부(420)를 지지하도록 설치되어 스크류잭, 또는 선형이동장치 등으로 구성되어 번인보드교환버퍼부(420)가 상하방향 및 수평방향으로 이동하도록 구동한다.The first driving unit 432 and the second driving unit 431 are installed to support the burn-in board exchange buffer unit 420, as shown in FIGS. 8A and 8B, and are composed of a screw jack, or a linear movement device. The burn-in board exchange buffer unit 420 is driven to move in the vertical and horizontal directions.

상기와 같은 구성에 의하여 본 발명에 따른 소자소팅장치는 랙(50)이 고정된 상태에서 번인보드교환버퍼부(420)를 상하좌우로 이동시켜 번인보드(20)를 인출함으로써 번인보드(20)를 인출시간을 줄여 소자소팅장치의 처리속도를 현저히 높일 수 있다.According to the configuration as described above, the device sorting device according to the present invention moves the burn-in board exchange buffer part 420 up, down, left and right to draw out the burn-in board 20 while the rack 50 is fixed. It is possible to significantly increase the processing speed of the element sorting apparatus by reducing the retrieval time.

또한 상기 번인보드교환버퍼부(420)를 상하좌우로 이동시키도록 구성함으로써 보드로더(800)의 구성에서 엘리베이터부의 설치를 요하지 않아 보드로더(800)의 구성을 간단화 할 수 있으며 보드로더(800)에 적재되는 랙(50)의 숫자를 늘려 랙(50)의 교체주기가 길어져 작업효율을 향상시킬 수 있다.In addition, by configuring the burn-in board exchange buffer unit 420 to move up, down, left and right, the installation of the elevator unit is not required in the configuration of the board loader 800, so that the configuration of the board loader 800 can be simplified and the board loader 800 ) by increasing the number of racks 50 loaded on the rack 50, the replacement cycle of the rack 50 can be lengthened to improve work efficiency.

한편 상기 번인보드교환버퍼부(420) 및 교환버퍼구동부(430)는 보드로더(800)와 함께 하나의 보드로더모듈로도 구성이 가능하다.Meanwhile, the burn-in board exchange buffer unit 420 and the exchange buffer driving unit 430 may be configured as one board loader module together with the board loader 800 .

한편 상기와 같은 구성을 가지는 소자소팅장치는, 소팅대상인 소자의 종류, 즉 규격이 달라질 수 있는데 이 경우 로딩부(100) 및 언로딩부(200)의 경우 해당 규격에 대응되는 트레이(30)를 로딩하면 DC테스트부(170), 번인보드(20) 상의 소켓프레스(45), 버퍼부(600, 700) 등 장치 내에 해당 소자규격에 맞춰진 부재들은 사용자의 수작업에 의하여 일일이 교환되어야 하므로 교체작업이 번거로운 문제점이 있다.On the other hand, in the device sorting device having the above configuration, the type of the device to be sorted, that is, the standard may be different. In this case, the loading unit 100 and the unloading unit 200 use a tray 30 corresponding to the corresponding standard. When loading, the DC test unit 170, the socket press 45 on the burn-in board 20, the buffer units 600 and 700, etc., which meet the device specifications in the device, must be replaced one by one by the user's manual operation, so the replacement operation is difficult. There is a cumbersome problem.

이에 본 발명에 따른 소자소팅장치는, 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스(45), 및 버퍼부(600, 700) 등 중 적어도 일부를 자동으로 교환하는 키트교환부(900)를 추가로 포함할 수 있다.Accordingly, in the device sorting device according to the present invention, as shown in FIGS. 1 and 9 , when the standard of the element to be sorted is changed, the DC test unit 170 and the socket press on the XY table 410 according to the standard of the element. (45), and may further include a kit exchange unit 900 for automatically exchanging at least some of the buffer units (600, 700) and the like.

상기 키트교환부(900)는, 소팅대상인 소자의 규격이 달라지는 경우 해당 소자의 규격에 따라서 DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스(45), 및 버퍼부(600, 700) 등 중 적어도 일부를 자동으로 교환하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.The kit exchange unit 900 includes a DC test unit 170, a socket press 45 on the XY table 410, and buffer units 600 and 700 according to the specifications of the device when the specifications of the element to be sorted are different. Various configurations are possible with a configuration for automatically exchanging at least some of the lights.

여기서 교환대상인 교환키트는, DC테스트부(170), X-Y테이블(410) 상의 소켓프레스, 및 버퍼부(600, 700) 등이 될 수 있다.Here, the exchange kit to be exchanged may be a DC test unit 170 , a socket press on the X-Y table 410 , and buffer units 600 and 700 .

여기서 버퍼부(600, 700)의 경우 교환키트는, 버퍼부전체보다는, 버퍼부의 일부를 구성하는 소자수용부(610, 710), 제1고정버퍼 및 제2고정버퍼 등이 될 수 있다.Here, in the case of the buffer units 600 and 700, the replacement kit may be the element accommodating units 610 and 710 constituting a part of the buffer unit, rather than the entire buffer unit, the first fixed buffer and the second fixed buffer.

상기 키트교환부(900)는, 도 10에 도시된 바와 같이, 구체적인 예로서, 교환될 교환키트의 임시 저장이 가능한 버퍼공간(910)이 설치된 본체부(901)과, 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 버퍼공간(920)에 임시 저장하고 새로운 교환키트로 교환하는 교환부(930)를 포함할 수 있다.The kit exchange unit 900 is, as shown in FIG. 10 , as a specific example, a main body portion 901 provided with a buffer space 910 capable of temporarily storing an exchange kit to be exchanged, and a main body 40 installed in the main body 40 . It may include an exchange unit 930 for withdrawing the exchange kit, temporarily storing it in the buffer space 920 and exchanging it with a new exchange kit.

상기 본체부(901)는, 교환될 새로운 교환키트가 하나 이상 적재되며 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 적재할 빈 공간이 포함하는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.The main body portion 901, one or more new replacement kits to be exchanged are loaded, and any configuration is possible as long as an empty space for loading and unloading the replacement kit installed in the body 40 is included.

그리고 상기 본체부(901)는, 교환키트의 교환의 편의를 위하여 상하로 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.And it is preferable that the body part 901 is installed to be movable up and down for the convenience of exchange of the exchange kit.

상기 교환부(930)는, 본체(40)에 설치된 교환키트를 인출하여 버퍼공간(920)에 임시 저장하고 새로운 교환키트로 교환하는 구성으로 교환키트의 종류 및 구성, 교환방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The exchange unit 930 withdraws the exchange kit installed in the main body 40, temporarily stores it in the buffer space 920, and exchanges it with a new exchange kit. Various configurations are available depending on the type, configuration, and exchange method of the exchange kit. It is possible.

이때, 교환키트의 교환의 편의를 위하여 본체(40)에는 교환키트의 선형이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드레일(902)이 설치됨이 바람직하다.At this time, it is preferable that one or more guide rails 902 for guiding the linear movement of the replacement kit are installed on the main body 40 for the convenience of replacement of the replacement kit.

또한 교환키트 중 DC테스트부(170)의 경우 전기적 연결이 필요한바, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, DC테스트부(170)의 이동방향으로 삽입되며 DC테스트부(170)와 전기적 연결을 위한 전기연결부(171)가 본체(40)에 설치될 수 있다.In addition, in the case of the DC test unit 170 of the replacement kit, an electrical connection is required. As shown in FIGS. 10 and 11 , it is inserted in the moving direction of the DC test unit 170 and is electrically connected to the DC test unit 170 . An electrical connection 171 for the may be installed in the main body (40).

상기 전기연결부(171)은, DC테스트부(170)에 의한 DC테스트가 가능하도록 DC테스트부(170)와 전기적으로 연결되는 구성으로서, 하나 이상의 단자부재로 구성될 수 있다.The electrical connection unit 171 is configured to be electrically connected to the DC test unit 170 so that a DC test by the DC test unit 170 is possible, and may be composed of one or more terminal members.

또한 교환키트 중 버퍼부(600, 700)의 경우 버퍼부(600, 700)의 구성 및 위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.In addition, in the case of the buffer units 600 and 700 of the exchange kit, various configurations are possible depending on the configuration and location of the buffer units 600 and 700 .

상기 버퍼부(600, 700)는, 소자를 임시로 적재하는 구성으로 다양한 위치에 다양한 숫자 및 이동가능 또는 고정된 상태로 본체(40)에 설치될 수 있다.The buffer units 600 and 700 may be installed in the main body 40 in various numbers and movable or fixed states at various positions in a configuration for temporarily loading elements.

일예로서, 상기 버퍼부(600, 700)는, 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600), 제2이동버퍼(700), 하나 이상의 고정버퍼 등을 포함할 수 있다.As an example, the buffer units 600 and 700 may include, as shown in FIGS. 1 and 9 , a first transfer buffer 600 , a second transfer buffer 700 , one or more fixed buffers, and the like. .

이때 상기 교환키트는, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710), 하나 이상의 고정버퍼가 될 수 있다.In this case, the exchange kit may be the device receiving unit 610 of the first moving buffer 600 , the device receiving unit 710 of the second moving buffer 700 , and one or more fixed buffers.

그리고 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)의 교환은, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710)의 선형이동방향을 따라서 각각 이루어지고, 하나 이상의 고정버퍼의 교환(단, 교환버퍼가 설치되지 않은 경우도 있음)은 제1이동버퍼(600) 및 제2이동버퍼(600)의 끝단 중 적어도 어느 하나에서 이루어질 수 있다.And the exchange of the element accommodating part 610 of the first transfer buffer 600 and the element accommodating part 710 of the second transfer buffer 700 is, as shown in FIG. 1, the first transfer buffer 600 Each of the element accommodating part 610 of the and the second moving buffer 700 is made along the linear movement direction of the element accommodating part 710, and one or more fixed buffers are exchanged (however, there are cases where the exchange buffer is not installed) ) may be formed at at least one of the ends of the first transfer buffer 600 and the second transfer buffer 600 .

또한 상기 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610), 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 및 하나 이상의 고정버퍼(단, 교정버퍼가 설치되지 않을 수 있음)의 교환은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 중 어느 하나의 선형이동방향을 따라서 도입되고, 고정버퍼(고정버퍼가 설치된 경우)를 거쳐 제1이동버퍼(600)의 소자수용부(610) 및 제2이동버퍼(700)의 소자수용부(710) 중 나머지 하나의 선형이동방향으로 배출될 수 있다.In addition, the element accommodating part 610 of the first moving buffer 600, the element accommodating part 710 of the second moving buffer 700, and one or more fixed buffers (however, the calibration buffer may not be installed) is exchanged. is introduced along the linear movement direction of any one of the element accommodating part 610 of the first moving buffer 600 and the element accommodating part 710 of the second moving buffer 700, as shown in FIG. , discharged in the linear movement direction of the other one of the element accommodating part 610 of the first moving buffer 600 and the element accommodating part 710 of the second moving buffer 700 through a fixed buffer (when a fixed buffer is installed) can be

한편, 상기 키트교환부(900)는, 로딩부(100), 언로딩부(200)의 배치방향을 기준으로 소팅부(300)와 대향되는 위치에서 본체(40)에 인접되어 이동가능하게 설치됨이 바람직하다.On the other hand, the kit exchange unit 900 is installed movably adjacent to the main body 40 at a position opposite to the sorting unit 300 based on the arrangement direction of the loading unit 100 and the unloading unit 200 . This is preferable.

상기와 같이, 상기 키트교환부(900)가 로딩부(100), 언로딩부(200)의 배치방향을 기준으로 소팅부(300)와 대향되는 위치에서 본체(40)에 인접되어 이동가능하게 설치되는 경우 교환키트의 교환 및 작업자에 의한 교환이 보다 용이해지며 장치가 컴팩트하게 구성될 수 있게 된다.As described above, the kit exchange unit 900 is adjacent to the main body 40 at a position opposite to the sorting unit 300 based on the arrangement direction of the loading unit 100 and the unloading unit 200 to be movable. When installed, exchange of the exchange kit and exchange by an operator are easier, and the device can be compactly configured.

한편, 소자의 종류가 다양해 지면서, 교환될 교환키트가 복수개 설치됨이 바람직한바 이의 교환을 위하여, 본체부(901)와는 별도로 교환될 복수의 교환키트들이 적재된 교환키트적재부(910)가 소자소팅장치에 분리된 상태로 이동가능하게 추가로 설치될 수 있다.On the other hand, as the types of elements are diversified, it is preferable that a plurality of exchange kits to be exchanged are installed. For this exchange, the exchange kit loading unit 910 loaded with a plurality of exchange kits to be exchanged separately from the main body 901 is device sorting It may be additionally installed to be movable in a detached state from the device.

상기 교환키트적재부(910)는, 교환될 교환키트가 복수개 설치됨이 바람직한바 이의 교환을 위하여, 본체부(901)와는 별도로 교환될 복수의 교환키트들이 적재되며 소자소팅장치에 분리된 상태로 이동가능하게 추가로 설치됨으로써 키트교환부(900)의 구성을 간소화하면서 장치의 공간사용효율을 극대화할 수 있게 된다.The exchange kit loading unit 910, it is preferable that a plurality of replacement kits to be exchanged are installed. For this exchange, a plurality of replacement kits to be exchanged separately from the main body 901 are loaded and moved in a state separated by the element sorting device. By being additionally installed as possible, it is possible to maximize the space use efficiency of the device while simplifying the configuration of the kit exchange unit 900 .

즉, 상기 키트교환부(900) 및 교환키트적재부(910)는, 교환키트의 교체를 요할 때만 소자소팅장치로 이동하여 교환키트를 교환함으로써 전체 구성을 간소화하면서 장치의 공간사용효율을 극대화할 수 있게 된다.That is, the kit exchange unit 900 and the exchange kit loading unit 910 move to the element sorting device only when the replacement kit is required to exchange the replacement kit, thereby simplifying the overall configuration and maximizing the space use efficiency of the device. be able to

한편 도 1에 도시된 소자소팅장치는, 소팅툴이동영역 내에서 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)의 이동에 의하여 소팅부(300)에 설치된 하나 이상의 트레이에 적재하는 등 소팅툴이동영역에서 이동하면서 소자(10)를 이송할 수 있다.On the other hand, the element sorting apparatus shown in FIG. 1 is loaded on one or more trays installed in the sorting unit 300 by the movement of the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 within the sorting tool moving area. The element 10 can be transported while moving in the sorting tool moving region.

특히 상기 소팅툴이동영역은, 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)의 안정적이 이동을 위하여 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570) 각각이 이동하는 2개의 이동영역으로 분할되는 등 다양한 방식에 의하여 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)의 이동이 제어될 수 있다.In particular, the sorting tool movement area includes two pieces in which the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 each move in order to stably move the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 . The movement of the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 may be controlled by various methods such as division into moving areas.

한편, 상기 제1소팅툴(560) 및 제2소팅툴(570)는, 그 이동시 간섭 등이 있어 작동이 불편한 문제점이 있다.On the other hand, the first sorting tool 560 and the second sorting tool 570 have a problem in that they are inconvenient to operate due to interference during their movement.

이에, 도 1에 도시된 소자소팅장치의 변형례로서, 소팅툴이동영역의 배치방향으로 하나 이상의 소팅버퍼(61, 62)가 이동가능하게 설치되는 소팅버퍼부(60)가 추가로 설치될 수 있다.Accordingly, as a modification of the element sorting apparatus shown in FIG. 1, a sorting buffer unit 60 in which one or more sorting buffers 61 and 62 are movably installed in the arrangement direction of the sorting tool movement area may be additionally installed. have.

상기 소팅버퍼부(60)는, 소팅툴이동영역의 배치방향으로 하나 이상의 소팅버퍼(61, 62)가 이동가능하게 설치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The sorting buffer unit 60 has a configuration in which one or more sorting buffers 61 and 62 are movably installed in the arrangement direction of the sorting tool movement area, and various configurations are possible.

즉, 상기 하나 이상의 소팅버퍼(61, 62)가 제1이송툴(560)의 이동이 가능한 위치 ①, 제2이송툴(570)의 이동이 가능한 위치 ② 사이에서 이동하도록 구성될 수 있다.That is, the one or more sorting buffers 61 and 62 may be configured to move between a position ① where the first transfer tool 560 can move and a position ② where the second transfer tool 570 can move.

그리고 상기 소팅버퍼(61, 62) 및 그 이동구조는, 도 3에 도시된 제1이동버퍼들 및 제2이동버퍼들의 구조 및 이동구조와 유사하게 구성될 수 있다.In addition, the sorting buffers 61 and 62 and their movement structures may be configured similarly to those of the first and second transfer buffers shown in FIG. 3 .

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.Since the above has only been described with respect to some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, the scope of the present invention, as noted, should not be construed as being limited to the above embodiments, and It will be said that the technical idea and the technical idea with the root are all included in the scope of the present invention.

110: X-Y테이블
210: 로딩부 220: 언로딩부
310: 테스트부 320: 소팅부
600: 제1이동버퍼 700: 제2이동버퍼
510, 520, 530, 540, 550, 560, 570: 이송툴
900 : 키트교환부
110: XY table
210: loading unit 220: unloading unit
310: test unit 320: sorting unit
600: first transfer buffer 700: second transfer buffer
510, 520, 530, 540, 550, 560, 570: transfer tool
900: kit exchange part

Claims (10)

번인테스트를 거치지 않은 소자들(이하, 제1소자들)이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와;
상기 제1소자들을 전달받아 DC테스트를 수행하는 DC테스트부와;
상기 DC테스트부에서 양품으로 테스트된 제1소자가 임시로 적재되는 제1이동버퍼와;
상기 제1이동버퍼에서 인출된 제1소자가 번인테스트를 거친 소자들(이하, 제2소자들)이 인출된 빈 자리에 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과;
상기 번인보드로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 제2이동버퍼와;
상기 제2이동버퍼에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부와;
제1소자들 중 상기 DC테스트부의 테스트결과 불량으로 판정된 제1불량소자들 및 제2소자들 중 분류가 필요한 제2불량소자들을 분류하여 적재하는 소팅부와;
상기 로딩부, 상기 DC테스트부, 상기 제1이동버퍼, 상기 X-Y테이블, 상기 제2이동버퍼, 상기 언로딩부 및 상기 소팅부 사이에서 소자를 이송하는 이송툴을 포함하며,
소팅대상인 소자의 규격에 따라서 상기 DC테스트부, 상기 X-Y테이블 상의 소켓프레스, 상기 제1이동버퍼 및 상기 제2이동버퍼 중 적어도 일부를 자동으로 교환하는 키트교환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
a loading unit on which a tray loaded with elements that have not undergone a burn-in test (hereinafter, first elements) are loaded;
a DC test unit receiving the first elements and performing a DC test;
a first transfer buffer in which the first device tested as a good product in the DC test unit is temporarily loaded;
an XY table for moving the burn-in board in the XY direction on which the first elements drawn from the first transfer buffer have undergone the burn-in test (hereinafter, the second elements) are loaded in empty positions;
a second transfer buffer in which the second element drawn from the burn-in board is temporarily loaded;
an unloading unit in which a second element of good quality among the second elements loaded in the second transfer buffer is loaded on a tray;
a sorting unit for classifying and loading the first defective elements determined to be defective among the first elements and second defective elements that need to be classified among the second elements;
a transfer tool for transferring elements between the loading unit, the DC test unit, the first moving buffer, the XY table, the second moving buffer, the unloading unit and the sorting unit,
Device sorting apparatus, characterized in that it comprises a kit exchange unit for automatically exchanging at least a portion of the DC test unit, the socket press on the XY table, the first transfer buffer and the second transfer buffer according to the standard of the element to be sorted. .
청구항 1에 있어서,
상기 키트교환부는,
교환될 교환키트의 임시 저장이 가능한 버퍼공간이 설치된 본체부와, 기 설치된 교환키트를 인출하여 버퍼공간에 임시 저장하고 상기 교환될 교환키트로 교환하는 교환부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
The method according to claim 1,
The kit exchange unit,
A device sorting device comprising: a main body provided with a buffer space capable of temporarily storing an exchange kit to be exchanged; and an exchange unit configured to withdraw a pre-installed exchange kit, temporarily store it in the buffer space, and exchange the exchange kit with the exchange kit to be exchanged.
청구항 2에 있어서,
상기 본체부는,
상하로 이동가능한 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
3. The method according to claim 2,
The body part,
Element sorting device, characterized in that it is movable up and down.
청구항 2에 있어서,
상기 교환키트의 선형이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
3. The method according to claim 2,
Element sorting apparatus comprising one or more guide rails for guiding the linear movement of the exchange kit.
청구항 1에 있어서,
상기 DC테스트부의 전기적 연결을 위하여 상기 DC테스트부의 이동방향으로 삽입되는 전기연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
The method according to claim 1,
and an electrical connection part inserted in the moving direction of the DC test part for electrical connection of the DC test part.
청구항 1에 있어서,
상기 키트교환부는,
상기 제1이동버퍼의 소자수용부와 상기 제2이동버퍼의 소자수용부를 각각 상기 제1이동버퍼의 소자수용부 및 상기 제2이동버퍼의 소자수용부의 선형이동방향을 따라서 교환하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
The method according to claim 1,
The kit exchange unit,
The element accommodating part of the first transfer buffer and the element accommodating part of the second transfer buffer are respectively exchanged along the linear movement direction of the element accommodating part of the first transfer buffer and the element accommodating part of the second transfer buffer. element sorting device.
청구항 1에 있어서,
상기 키트교환부는,
상기 로딩부 및 상기 언로딩부의 배치방향을 기준으로 상기 소팅부와 대향되는 위치에서 인접되어 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
The method according to claim 1,
The kit exchange unit,
The element sorting apparatus according to claim 1, wherein the loading part and the unloading part are adjacent to each other at a position opposite to the sorting part based on an arrangement direction of the unloading part and are movably installed.
청구항 2에 있어서,
상기 키트교환부는,
상기 본체부와는 별도로 교환될 복수의 교환키트들이 적재되는 교환키트적재부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
3. The method according to claim 2,
The kit exchange unit,
Element sorting apparatus, characterized in that it further comprises an exchange kit loading part in which a plurality of exchange kits to be exchanged separately from the body part are loaded.
번인테스트를 거치지 않은 소자들(이하, 제1소자들)이 적재된 트레이가 로딩되는 로딩부와;
상기 제1소자들을 전달받아 DC테스트를 수행하는 DC테스트부와;
상기 DC테스트부에서 양품으로 테스트된 제1소자가 임시로 적재되는 제1이동버퍼와;
상기 제1이동버퍼에서 인출된 제1소자가 번인테스트를 거친 소자들(이하, 제2소자들)이 인출된 빈 자리에 적재되는 번인보드를 X-Y방향으로 이동시키는 X-Y테이블과;
상기 번인보드로부터 인출된 제2소자가 임시로 적재되는 제2이동버퍼와;
상기 제2이동버퍼에 적재된 제2소자 중 양품의 제2소자가 트레이에 적재되는 언로딩부와;
제1소자들 중 상기 DC테스트부의 테스트결과 불량으로 판정된 제1불량소자들 및 제2소자들 중 분류가 필요한 제2불량소자들을 분류하여 적재하는 소팅부와;
상기 로딩부, 상기 DC테스트부, 상기 제1이동버퍼, 상기 X-Y테이블, 상기 제2이동버퍼, 상기 언로딩부 및 상기 소팅부 사이에서 소자를 이송하는 이송툴을 포함하며,
상기 이송툴은,
소팅툴이동영역 내에서 상기 제1이동버퍼 및 상기 소팅부 사이에서 소자들을 이송하는 제1소팅툴과, 제2이동버퍼 및 소팅부 사이에서 소자들을 이송하는 제2소팅툴을 포함하며,
상기 소팅툴이동영역의 배치방향으로 하나 이상의 소팅버퍼가 이동가능하게 설치되는 소팅버퍼부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
a loading unit on which a tray loaded with elements that have not undergone a burn-in test (hereinafter, first elements) are loaded;
a DC test unit receiving the first elements and performing a DC test;
a first transfer buffer in which the first device tested as a good product in the DC test unit is temporarily loaded;
an XY table for moving the burn-in board in the XY direction on which the first elements drawn from the first transfer buffer have undergone the burn-in test (hereinafter, the second elements) are loaded in empty positions;
a second transfer buffer in which the second element drawn from the burn-in board is temporarily loaded;
an unloading unit in which a second element of good quality among the second elements loaded in the second transfer buffer is loaded on a tray;
a sorting unit for classifying and loading the first defective elements determined to be defective among the first elements and second defective elements that need to be classified among the second elements;
a transfer tool for transferring elements between the loading unit, the DC test unit, the first moving buffer, the XY table, the second moving buffer, the unloading unit and the sorting unit,
The transfer tool is
A first sorting tool for transferring elements between the first moving buffer and the sorting unit in the sorting tool moving region, and a second sorting tool for transferring elements between the second moving buffer and the sorting unit,
The device sorting apparatus according to claim 1, further comprising a sorting buffer in which one or more sorting buffers are movably installed in an arrangement direction of the sorting tool moving region.
청구항 9에 있어서,
상기 하나 이상의 소팅버퍼는,
상기 제1소팅툴의 이동이 가능한 위치와 상기 제2소팅툴의 이동이 가능한 위치 사이에서 이동하는 것을 특징으로 하는 소자소팅장치.
10. The method of claim 9,
The one or more sorting buffers,
Device sorting apparatus, characterized in that it moves between a movable position of the first sorting tool and a movable position of the second sorting tool.
KR1020170168965A 2014-10-24 2017-12-11 Sorting Apparatus for Semiconductor Device KR102269567B1 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140145535 2014-10-24
KR20140145535 2014-10-24
KR20140149681 2014-10-30
KR1020140149681 2014-10-30
KR1020150065768A KR101810082B1 (en) 2014-10-24 2015-05-12 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150065768A Division KR101810082B1 (en) 2014-10-24 2015-05-12 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170139481A KR20170139481A (en) 2017-12-19
KR102269567B1 true KR102269567B1 (en) 2021-06-25

Family

ID=56022112

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150065768A KR101810082B1 (en) 2014-10-24 2015-05-12 Sorting Apparatus for Semiconductor Device
KR1020170168965A KR102269567B1 (en) 2014-10-24 2017-12-11 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150065768A KR101810082B1 (en) 2014-10-24 2015-05-12 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Country Status (1)

Country Link
KR (2) KR101810082B1 (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180089325A (en) * 2017-01-31 2018-08-08 (주)제이티 Device handler
KR102035413B1 (en) * 2018-02-07 2019-10-23 주식회사 이노비즈 Apparatus for handling semiconductor devices
KR20190105893A (en) * 2018-03-06 2019-09-18 (주)제이티 Device handler
KR102710467B1 (en) * 2018-04-16 2024-09-26 (주)제이티 Device handler
KR102603158B1 (en) * 2018-06-22 2023-11-16 (주)제이티 Device handler
KR102581147B1 (en) * 2018-07-12 2023-09-25 (주)테크윙 Apparatus for relocating electronic components
KR20200039861A (en) 2018-10-05 2020-04-17 삼성전자주식회사 Apparatus for sawing semi-conductor package
WO2021006627A1 (en) * 2019-07-08 2021-01-14 (주)제이티 Apparatus for inspecting element

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101177319B1 (en) * 2009-09-03 2012-08-30 (주)제이티 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100804674B1 (en) * 2006-04-27 2008-02-20 미래산업 주식회사 Burn-in sorter and sorting method using the same
KR101188841B1 (en) * 2006-06-13 2012-10-08 미래산업 주식회사 Burn-in sorter and sorting method using the same
KR101017698B1 (en) * 2009-03-27 2011-02-25 (주)제이티 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101177319B1 (en) * 2009-09-03 2012-08-30 (주)제이티 Sorting Apparatus for Semiconductor Device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101810082B1 (en) 2017-12-18
KR20160048628A (en) 2016-05-04
KR20170139481A (en) 2017-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102269567B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device
KR101133188B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device and Sorting Method for the Same
KR102401058B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device
KR100491304B1 (en) Sorting Handler for Burn-in Tester
KR20230165173A (en) Device handler
KR101177746B1 (en) Semiconductor device inspection apparatus
JP4545776B2 (en) Burn-in sorter and burn-in sort method using the same
KR101017698B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device
US6209194B1 (en) Apparatus for loading and unloading semiconductor device packages using servo motors
KR100401014B1 (en) Test Handler
KR101177319B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device
KR101216359B1 (en) Device inspection apparatus
KR20100083885A (en) Apparatus for sorting semiconductor package and method for the same
KR20050066313A (en) Handler for testing semiconductor
KR100674416B1 (en) Test semiconductor device sorting apparatus
KR20080104927A (en) Sorting handler for burn-in test
KR102603158B1 (en) Device handler
KR100805655B1 (en) Apparatus for sorting semiconductor device
KR100560727B1 (en) Method for Operating Handler for Testing Module IC
TWI804322B (en) Tray displacing device and handler
KR20230151427A (en) Device sorting apparatus
KR20000065747A (en) stacker for stacking empty tray in handler for Burn-in Test
KR101038047B1 (en) Sorting Apparatus for Semiconductor Device
KR20150056020A (en) Device test handler
KR20100042743A (en) Contactor installation and the moving way to test semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant