KR100612501B1

KR100612501B1 - Alpha-chip handler

Info

Publication number: KR100612501B1
Application number: KR1020000009186A
Authority: KR
Inventors: 정병기
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2000-02-24
Filing date: 2000-02-24
Publication date: 2006-08-14
Also published as: KR20010084288A

Abstract

1쌍의 로딩/언로딩 흡착수단을 갖고, 테스트 등급에 따라 알파칩을 확실하게 분류할 수 있는 알파칩 핸들러가 개시된다. 개시된 본 발명은, 칩테스트 전(前)의 알파칩이 담긴 트레이가 다수 적재된 공급랙에서 트레이를 한 개씩 칩공급위치에 위치결정하며, 테스트 결과에 따라 5개 이상의 등급으로 분류된 알파칩을 담을 빈 트레이를 칩수납위치에 위치결정하고, 테스트 완료된 알파칩이 담긴 트레이를 등급별 회수랙에 적재하는 트레이 스택커와; 알파칩을 테스트 온도로 조절하는 예열챔버와; 알파칩을 흡착하는 2개의 흡착헤드로 이루어진 테스트 헤드, 테스트 헤드를 90도 선회시키는 선회축, 선회축을 축방향으로 피치이동시키는 인덱스축을 포함하며, 알파칩의 테스트를 하는 테스트챔버와; 테스트 완료된 알파칩의 온도를 상온으로 복귀시키는 회복챔버와; 복수의 알파칩을 적재한 보트를 예열챔버, 테스트챔버, 회복챔버로 순환시키며, 알파칩을 로딩/언로딩하기 위한 로딩스테이션 및 언로딩스테이션이 구비된 보트 컨베이어; 및 칩공급위치의 알파칩을 로딩스테이션으로 공급하고, 언로딩스테이션의 알파칩을 테스트 결과에 따라 등급별로 칩수납위치에 있는 트레이에 로딩하는 픽업로봇을 포함한다.An alpha chip handler is disclosed which has a pair of loading / unloading adsorption means and which can reliably classify alpha chips according to test grades. According to the present invention, an alpha chip classified into five or more grades is positioned at a chip supply position one by one in a supply rack having a plurality of trays containing alpha chips before a chip test. A tray stacker for positioning an empty tray to be stored at a chip storage position and loading a tray containing tested alpha chips into a graded recovery rack; A preheating chamber for adjusting the alpha chip to a test temperature; A test chamber comprising a test head comprising two adsorption heads for adsorbing an alpha chip, a pivot axis for pivoting the test head 90 degrees, and an index axis for pitch shifting the pivot axis in an axial direction; A recovery chamber for returning the temperature of the tested alpha chip to room temperature; A boat conveyor configured to circulate a boat having a plurality of alpha chips into a preheating chamber, a test chamber, and a recovery chamber, and a loading station and an unloading station for loading / unloading an alpha chip; And a pickup robot for supplying the alpha chip of the chip supply position to the loading station and loading the alpha chip of the unloading station into the tray at the chip storage position according to the test result.

알파칩, 알파칩핸들러, 테스트헤드, 분류, 트레이스택커Alpha Chip, Alpha Chip Handler, Test Head, Sorting, Tracer Stacker

Description

Alpha-chip handler

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 알파칩 핸들러를 나타낸 사시도.1 is a perspective view showing an alpha chip handler according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 나타낸 테스트 챔버를 상세히 나타낸 사시도.2 is a perspective view showing in detail the test chamber shown in FIG.

도 3은 보트를 나타내는 도면.3 shows a boat;

도 4는 알파칩을 담는 트레이를 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing a tray containing an alpha chip.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

2;트레이 10;베이스 프레임2; tray 10; base frame

20;메인 플레이트 100;스택커20; main plate 100; stacker

110;트레이랙 120;트레이고정판110; tray rack 120; tray fixed plate

130;트레이로봇 200;픽업로봇130; tray robot 200; pick-up robot

210;픽업유니트 300;핀검사다이210; pickup unit 300; pin inspection die

400;예열챔버 500;테스트챔버400; preheat chamber 500; test chamber

510;픽앤플레이스유니트 520;테스트헤드510; pick and place unit 520; test head

560;로케이션유니트 570;테스트 포트560; location unit 570; test port

600;회복챔버 700;보트 컨베이어600; Recovery Chamber 700; Boat Conveyor

본 발명은 조립된 반도체 디바이스를 자동으로 테스트하는 테스트 핸들러에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 알파칩을 자동으로 테스트하는 장치인 알파칩 핸들러에 관한 것이다.The present invention relates to a test handler for automatically testing an assembled semiconductor device, and more particularly to an alpha chip handler, an apparatus for automatically testing an alpha chip.

일반적으로, 워크스테이션의 메인프로세서로 사용되는 알파칩의 생산에 있어서 조립공정에서 조립이 완료되면, 조립된 알파칩의 양부(良否)를 테스트할 필요가 있다. 이 테스트의 효율을 높이기 위하여 테스트를 자동으로 하는 알파칩 핸들러라는 장치가 사용된다. In general, in the production of the alpha chip used as the main processor of the workstation, when the assembly is completed in the assembly process, it is necessary to test the quality of the assembled alpha chip. To make this test more efficient, a device called an alpha chip handler is used to automate the test.

이와 같은 목적으로 사용되는 종래의 알파칩 핸들러는 크게 알파칩을 공급하고 테스트 결과에 따라 분류 적재하는 트레이 스택커, 알파칩을 테스트 온도로 조절하는 예열챔버, 알파칩의 양부를 테스트하는 테스트챔버, 알파칩 온도를 상온으로 회복시키는 회복챔버, 알파칩을 트레이에서 보트로 로딩/언로딩시키는 로딩/언로딩수단, 및 알파칩을 탑재하는 보트를 상기 각 공정간에서 순환시키는 보트이동수단으로 이루어진다.Conventional alpha chip handlers used for this purpose include a tray stacker that supplies alpha chips and sorts them according to test results, a preheating chamber for adjusting alpha chips to a test temperature, a test chamber for testing the quality of alpha chips, A recovery chamber for restoring the alpha chip temperature to room temperature, a loading / unloading means for loading / unloading the alpha chip from the tray to the boat, and a boat moving means for circulating the boat on which the alpha chip is mounted between the above processes.

트레이 스택커는, 테스트 전의 알파칩이 담긴 트레이를 공급하는 한개의 로딩스택커, 테스트된 알파칩을 3개의 등급으로 분류하여 담는 분류스택커 및 분류스택커에서 분류된 알파칩이 담긴 트레이를 언로딩시키는 한개의 언로딩스택커으로 구성된다.The tray stacker is a loading stacker that supplies a tray containing alpha chips before testing, a sorting stacker that classifies the tested alpha chips into three classes, and a tray containing alpha chips classified by the sorting stacker. It consists of one unloading stacker for loading.

테스트챔버는, 알파칩 테스트기에 연결된 테스트 포트와, 알파칩을 흡착하여 테스트 포트에 삽입하고 취출하는 플런저로 이루어진다. 상기 플런저는 4개의 흡착수단이 십자가 형상으로 배치되고 십자가의 중심에 회전축이 결합되어 있다. 4개의 흡착수단은 2개의 삽입용과 2개의 취출용으로 구성되어 90도 간격으로 회전하며 삽입과 취출작업을 한다.The test chamber is composed of a test port connected to an alpha chip tester, and a plunger that absorbs the alpha chip into the test port and inserts it into the test port. The plunger has four adsorption means arranged in the shape of a cross and a rotating shaft is coupled to the center of the cross. The four adsorption means consist of two inserts and two take-outs, which rotate at intervals of 90 degrees and perform insertion and take-out operations.

종래 알파칩 핸들러의 동작을 간략히 설명하면 다음과 같다.The operation of the conventional alpha chip handler is briefly described as follows.

테스트전의 알파칩이 담긴 트레이가 적재된 로딩스택커로 부터 로딩/언로딩수단이 알파칩을 흡착하여 보트에 안치시킨다. 알파칩이 안착된 보트는 컨베이어나 공압실린더 등으로 구성된 보트이동수단에 의해 예열챔버를 지나 테스트챔버로 운반된다. The loading / unloading means picks up the alpha chips from the loading stacker with the tray containing the alpha chips before the test and places them in the boat. The boat on which the alpha chip is seated is transported through the preheating chamber to the test chamber by a boat moving means composed of a conveyor or a pneumatic cylinder.

보트가 테스트챔버에 오면, 플런저중 1개의 흡착수단이 알파칩을 흡착한 뒤, 90도 회전하여 보트의 이동면에 대해 수직으로 배치되어 있는 테스트포트에 알파칩을 삽입한다. 이 때 테스트가 완료된 알파칩이 테스트포트에 삽입되어 있는 경우는 현재 알파칩을 흡착한 흡착수단의 앞쪽에 설치된 언로딩용 흡착수단으로 삽입되어 있는 알파칩을 취출한 후 새로운 알파칩을 삽입하게 된다. 이처럼 플런저는 90도씩 회전하며 알파칩을 흡착하여 테스트포트에 삽입하거나 삽입되어 있는 알파칩을 흡착하여 보트로 취출하는 동작을 순차적으로 한다.When the boat comes to the test chamber, one of the adsorption means of the plunger adsorbs the alpha chip, and then rotates 90 degrees to insert the alpha chip into a test port arranged perpendicularly to the moving surface of the boat. In this case, when the tested alpha chip is inserted into the test port, the new alpha chip is inserted after extracting the alpha chip inserted into the unloading adsorption means installed in front of the adsorption means that currently adsorbs the alpha chip. . As such, the plunger rotates by 90 degrees and sequentially absorbs the alpha chips and inserts them into the test port or sucks the inserted alpha chips into the boat.

테스트 완료된 알파칩이 담긴 보트가 언로딩위치에 오면 로딩/언로딩수단이 알파칩을 흡착하여 분류스택커에 등급별로 적재한다. 알파칩의 적재가 완료된 트레이는 언로딩스택커로 반출된다. When the boat containing the tested alpha chips is in the unloading position, the loading / unloading means absorbs the alpha chips and loads them into the sorting stacker by grade. The tray where the alpha chip is loaded is taken out to the unloading stacker.

상기와 같은 동작에 의하여 종래의 알파칩 핸들러는 알파칩의 자동테스트를 할 수 있게 된다.By the above operation, the conventional alpha chip handler enables automatic testing of the alpha chip.

그러나, 상기와 같은 알파칩 핸들러는, 테스트포트에 알파칩을 삽입하는 플런저에 4개의 흡착수단이 부착되어 있어 1개의 테스트포트에 대해 각각 2개의 로딩/언로딩 흡착수단이 대응되도록 되어 구조가 복잡하고 가격대비 성능면에서 비효율적이며, 또한 플런저를 회전시키는 구동원도 큰 동력이 필요하다는 문제가 있다. However, the alpha chip handler as described above has four adsorption means attached to the plunger for inserting the alpha chip into the test port, so that two loading / unloading adsorption means correspond to each test port. It is inefficient in terms of price / performance and also requires a large power source for rotating the plunger.

종래의 알파칩 핸들러의 또 다른 문제는 언로딩 스택커가 1개뿐으로 분류스택커에서 3개의 등급으로 분류된 트레이가 1곳의 언로딩 스택커를 통해 반출되므로 섞일 우려가 있어, 작업자가 수시로 확인하여 동일한 등급의 트레이를 빼내야 하므로 전체적인 생산성이 떨어진다는 것이다.Another problem with the conventional alpha chip handler is that there is only one unloading stacker, and three sorted trays from the sorting stacker are taken out through one unloading stacker, so there is a risk of mixing. This means that the trays of the same grade must be pulled out, which reduces overall productivity.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 1개의 테스트 포트에 대응하여 1쌍의 로딩/언로딩용 흡착수단을 구비하여 구조가 단순하면서도, 종래 알파칩 핸들러와 동등이상의 테스트 효율을 갖고 구동원의 동력도 상대적으로 작은 알파칩 핸들러를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and provided with a pair of adsorption means for loading / unloading corresponding to one test port, the structure is simple, but the test efficiency equal to or higher than the conventional alpha chip handler Its purpose is to provide an alpha chip handler with a relatively small power source.

본 발명의 또 다른 목적으로는 테스트 등급에 대응할 수 있는 트레이 스택커를 구비한 알파칩 핸들러를 제공하여 작업자가 수시로 트레이를 확인하여 빼내지 않아도 확실하게 등급별로 분류되도록 함으로써 전체적으로 테스트의 생산성을 높 이는 것이다.
It is another object of the present invention to provide an alpha chip handler with a tray stacker capable of responding to a test grade, so that the operator can be surely classified by the grade without having to check and remove the tray from time to time, thereby improving overall test productivity. will be.

상기와 같은 목적으로 달성하기 위한 본 발명에 의한 알파칩 핸들러는, 테스트 전(前)의 알파칩이 담긴 트레이가 다수 적재된 공급랙에서 트레이를 한 개씩 칩공급위치에 위치결정하며, 테스트 결과에 따라 5개 이상의 등급으로 분류된 알파칩을 담을 빈 트레이를 칩수납위치에 위치결정하고, 테스트 완료된 알파칩이 담긴 트레이를 등급별 회수랙에 적재하는 트레이 스택커와; 알파칩을 테스트 온도로 조절하는 예열챔버와; 알파칩을 흡착하는 2조의 흡착헤드로 이루어진 테스트헤드, 상기 테스트헤드를 90도 선회시키는 선회축, 상기 선회축을 축방향으로 피치이동시키는 인덱스축을 포함하며, 알파칩의 테스트를 하는 테스트챔버와; 테스트 완료된 알파칩의 온도를 상온으로 복귀시키는 회복챔버와; 복수의 알파칩을 적재한 보트를 상기 예열챔버, 테스트챔버, 회복챔버로 순환시키며, 알파칩을 로딩/언로딩하기 위한 로딩스테이션 및 언로딩스테이션이 구비된 보트 컨베이어; 및 상기 칩공급위치의 알파칩을 상기 로딩스테이션으로 공급하고, 상기 언로딩스테이션의 알파칩을 테스트 결과에 따라 등급별로 칩수납위치에 있는 트레이에 로딩하는 픽업로봇을 포함한다.The alpha chip handler according to the present invention for achieving the above object, in the supply rack with a large number of trays containing the alpha chip before the test, position the trays one by one in the chip supply position, the test results A tray stacker for positioning the empty trays containing the alpha chips classified into five or more grades at the chip storage position and loading the trays containing the tested alpha chips in the recovery rack for each grade; A preheating chamber for adjusting the alpha chip to a test temperature; A test chamber including a test head comprising two sets of adsorption heads for adsorbing an alpha chip, a pivot axis for pivoting the test head 90 degrees, and an index axis for pitch shifting the pivot axis in an axial direction; A recovery chamber for returning the temperature of the tested alpha chip to room temperature; A boat conveyor having a loading station and an unloading station for circulating a boat having a plurality of alpha chips to the preheating chamber, the test chamber and the recovery chamber, and for loading / unloading the alpha chips; And a pickup robot for supplying the alpha chip of the chip supply position to the loading station and loading the alpha chip of the unloading station into a tray at a chip storage position according to a test result.

테스트챔버는, 상기 테스트챔버 천정에 설치되며 상기 흡착헤드가 보트에서 알파칩을 로딩하거나 언로딩하도록 하는 4개의 수직가압 실린더와, 테스트챔버 전방벽에 설치되며 상기 흡착헤드가 테스트포트에 알파칩을 삽입하거나 취출하도록 하는 1개의 수평가압 실린더를 포함한다.The test chamber has four vertical pressurization cylinders installed on the ceiling of the test chamber and allowing the suction head to load or unload the alpha chips from the boat, and the test chamber is mounted on the front wall of the test chamber and the suction head is connected to the test port. It includes one horizontal pressurized cylinder for insertion or withdrawal.

테스트 헤드는, 선회축에 고정되며 4개의 관통구멍이 형성된 헤드블록과 헤드블록의 관통구멍에 의해 안내되는 2조의 흡착헤드로 구성된다. The test head is composed of a head block fixed to the pivot shaft and formed with four through holes and two sets of suction heads guided by the through holes of the head block.

흡착헤드는, 선회축을 중심으로 대향하는 2개의 관통구멍에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업축, 복수의 픽업축을 연결하며 상측에는 가압실린더에 의해 가압되는 가압부가 돌설된 픽업축 연결부재, 픽업축 연결부재와 헤드블록 사이에 각각의 픽업축에 끼워진 스프링, 픽업축 연결부재에 의해 연결된 복수의 픽업축 하단에 결합된 픽업블록, 픽업블록에 조립된 4개의 진공패드를 포함한다.The suction head connects a plurality of pick-up shafts which slide into two through-holes facing each other about the pivot shaft, and the plurality of pick-up shafts, and a pick-up shaft connecting member having a pressurized portion pressurized by a pressure cylinder on the upper side. A spring is fitted to each pickup shaft between the connection member and the head block, a pickup block coupled to the bottom of the plurality of pickup shafts connected by the pickup shaft connecting member, and four vacuum pads assembled to the pickup block.

인덱스축은, 선회축을 회전지지하는 이동블록, 상기 이동블록에 결합된 볼너트, 상기 볼너트와 나사결합되는 볼스크류, 상기 볼스크류를 회전시키는 모터, 및 상기 이동블록의 직선운동을 안내하는 LM가이드를 포함한다.The index axis includes a moving block for rotating the pivot shaft, a ball nut coupled to the moving block, a ball screw screwed to the ball nut, a motor for rotating the ball screw, and an LM guide for guiding linear movement of the moving block. It includes.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail.

첨부된 도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 알파칩 핸들러를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 트레이 스택커를 상세하게 보여주는 사시도이며, 도 3은 도 1의 테스트 챔버를 상세히 나타낸 사시도이다. 도 4는 보트를 나타내는 도면이고, 도 5는 알파칩을 담는 트레이를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating an alpha chip handler according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the tray stacker of FIG. 1 in detail, and FIG. 3 is a perspective view showing the test chamber of FIG. 1 in detail. . 4 is a view showing a boat, Figure 5 is a perspective view showing a tray containing an alpha chip.

도 1에 나타낸 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 의한 알파칩 핸들러는 트레이 스택커(100), 픽업로봇(200), 핀검사다이(300), 예열챔버(soak chamber)(400), 테스트챔버(500), 회복챔버(desoak chamber)(600) 및 보트 컨베이어(700)로 이루어 진다.As shown in FIG. 1, an alpha chip handler according to an exemplary embodiment of the present invention may include a tray stacker 100, a pickup robot 200, a pin inspection die 300, a preheat chamber 400, and a test chamber. 500, a desoak chamber 600, and a boat conveyor 700.

트레이 스택커(100)는 베이스프레임(10)의 상면 전방에 설치되며, 트레이(2)를 적재하는 다수의 트레이랙(110)과, 트레이(2)를 한 개씩 고정하는 다수의 트레이 고정판(120)과, 트레이(2)를 로딩/언로딩하는 트레이 로봇(130)으로 이루어진다.Tray stacker 100 is installed in front of the upper surface of the base frame 10, a plurality of tray rack 110 for loading the tray 2, a plurality of tray fixing plate 120 for fixing the tray 2 one by one ) And a tray robot 130 for loading / unloading the tray 2.

다수의 트레이랙(110)은 베이스 프레임(10)의 상면 앞단에 나란하게 설치되고, 테스트 전(前)의 알파칩이 담긴 트레이가 다수 적재된 1개의 공급랙(110a)과, 다수의 빈 트레이가 적재된 1개의 빈 트레이랙(110b)과, 등급별로 분류된 트레이를 적재하는 5개의 회수랙(110c)으로 이루어 진다. 5개의 회수랙(110c)중 1개의 회수랙은 3단으로 구성되어 3개의 등급으로 분류된 트레이를 구분하여 적재할 수 있다. 따라서, 테스트 결과에 따라 알파칩을 7등급으로 분류하여 적재할 수 있다.The plurality of tray racks 110 are installed side by side in front of the upper surface of the base frame 10, one supply rack 110a and a plurality of empty trays in which a plurality of trays containing alpha chips before test are loaded. It consists of one empty tray rack (110b) is loaded, and five recovery rack (110c) for loading the trays classified by grade. One recovery rack of the five recovery racks 110c is composed of three tiers and can be stacked to classify the trays classified into three grades. Therefore, according to the test result, the alpha chip can be classified and loaded into 7 grades.

또한, 트레이랙(110)의 상측으로는 메인플레이트(20)가 일정한 거리 이격되어 설치되어 있다. 이 메인플레이트(20)에는 7개의 트레이랙(110)중 가운데 5개의 랙에 대응하는 위치에 트레이(2)의 알파칩 안착부(2a)가 노출되도록 관통구멍이 형성되어 있다. In addition, the main plate 20 is spaced apart from each other by a predetermined distance above the tray rack 110. The main plate 20 is formed with a through hole so that the alpha chip seat 2a of the tray 2 is exposed at a position corresponding to five racks among the seven tray racks 110.

트레이 고정판(120)은 상기 5개 랙의 사방에 수직방향으로 고정된 공압실린더(121)와 가이드레일(122) 및 상기 실린더의 로드와 가이드레일에 결합된 트레이판(123)으로 구성된다. 트레이판(123)에는 트레이를 일정한 위치에 고정하는 가이드 블록이 형성되어 있다. 공압실린더(121)가 상승하면 트레이판(123)이 상승하여 트레이(2)가 메인플레이트(20)에 형성된 관통공으로 노출된다. 이 트레이 고정판(120)은 메인플레이트(20)의 관통공에 대응되는 5개의 랙에 설치되어 있다.The tray fixing plate 120 includes a pneumatic cylinder 121 and a guide rail 122 fixed in four directions of the five racks in a vertical direction, and a tray plate 123 coupled to the rod and the guide rail of the cylinder. The tray plate 123 is formed with a guide block for fixing the tray at a fixed position. When the pneumatic cylinder 121 is raised, the tray plate 123 is raised to expose the tray 2 to the through holes formed in the main plate 20. The tray fixing plate 120 is installed in five racks corresponding to the through holes of the main plate 20.

트레이 로봇(130)은 트레이랙(110)의 후방에 설치되어, 트레이 고정판(120)과 트레이랙(110) 사이에서 트레이(2)를 로딩/언로딩한다. 트레이 로봇(130)은 트레이랙(110)열과 평행하도록 설치된 X축(131) 및 X축에 장착되어 상하로 동작하는 2개의 Z축(133), 상기 각각의 Z축에 취부된 그리퍼(135)로 구성된 직교좌표로봇이다.The tray robot 130 is installed at the rear of the tray rack 110 to load / unload the tray 2 between the tray fixing plate 120 and the tray rack 110. The tray robot 130 includes an X axis 131 installed in parallel with a row of tray racks 110, two Z axes 133 mounted on the X axis and operating up and down, and a gripper 135 mounted on each Z axis. It is composed of Cartesian coordinate robot.

픽업로봇(200)은 상기 메인플레이트(20)의 상면에 설치되며, 메인플레이트 (20)상의 임의의 점에 위치결정할 수 있는 2축 직교좌표로봇으로, 픽업유니트(210)를 구비하고 있다.Pick-up robot 200 is installed on the upper surface of the main plate 20, a two-axis rectangular coordinate robot that can be positioned at any point on the main plate 20, and has a pickup unit 210.

픽업로봇의 1축(220)은 전후로 동작하는 축으로, 메인플레이트(20)의 상면 양측에 설치된 복수의 LM가이드(221), 상기 LM가이드(221) 중 하나의 측방에 설치된 볼스크류(222), 볼스크류(222)를 구동하는 모터(224) 및 상기 LM가이드(221)와 볼스크류(222)를 연결하는 베이스판(223)으로 구성된다. 2축(230)은 좌우로 동작하는 축으로 상기 1축(220)의 베이스판(223) 상면에 설치된 볼스크류(231)와 LM가이드(232)로 이루어 지고, 2축의 이동블록(233)에는 픽업유니트(210)가 설치되어 있다. 픽업유니트(210)는 알파칩을 흡착하는 진공패드(211)가 각각 부착된 2개의 공압실린더(212)와, 이 공압실린더(212)를 승강시키는 또 다른 공압실린더(213)가 2단으로 배치되어 있다.One axis 220 of the pick-up robot is a shaft that moves forward and backward, and includes a plurality of LM guides 221 installed on both sides of the upper surface of the main plate 20, and a ball screw 222 installed on one side of the LM guide 221. The base plate 223 connects the motor 224 driving the ball screw 222 and the LM guide 221 and the ball screw 222. The two-axis 230 is an axis that operates left and right, and consists of a ball screw 231 and an LM guide 232 installed on the upper surface of the base plate 223 of the one axis 220, the two-axis moving block 233 The pickup unit 210 is installed. The pick-up unit 210 includes two pneumatic cylinders 212 each having a vacuum pad 211 for adsorbing an alpha chip, and another pneumatic cylinder 213 for elevating the pneumatic cylinder 212 in two stages. It is.

핀검사다이(300)는 메인플레이트(20)의 관통구멍 후방에 설치되며, 테스트할 알파칩의 핀의 수와 형상에 맞는 구멍이 형성된 다이로서, 2개가 배치되어 있다.The pin inspection die 300 is provided behind the through hole of the main plate 20, and two dies are formed in which holes are formed in accordance with the number and shape of the pins of the alpha chip to be tested.

예열챔버(400)는 히터등으로 챔버안으로 인입된 보트(1)상의 알파칩을 가열 또는 냉각시켜 테스트 조건에 맞는 온도로 유지시킨다.The preheating chamber 400 heats or cools an alpha chip on the boat 1 drawn into the chamber with a heater to maintain a temperature suitable for test conditions.

테스트 챔버(500)는 알파칩을 흡착하여 테스트포트(570)에 삽입/취출하는 픽앤플래이스 유니트(510), 보트의 위치를 고정시키는 로케이션(location) 유니트 (560), 및 알파칩 테스터기에 연결된 테스트 포트(570)를 포함한다.The test chamber 500 is connected to the pick-and-place unit 510 for absorbing the alpha chip into and out of the test port 570, the location unit 560 for fixing the position of the boat, and the alpha chip tester. Test port 570.

픽앤플래이스 유니트(510)는 알파칩을 흡착하는 테스트 헤드(520), 상기 테스트 헤드를 90도 선회시키는 선회축(530), 이 선회축(530)을 일정 피치로 좌우로 이동시키는 인덱스축(540) 및 테스트헤드(520)를 가압하는 복수의 가압실린더(550)로 구성된다.The pick and place unit 510 includes a test head 520 for absorbing alpha chips, a pivot shaft 530 for pivoting the test head 90 degrees, and an index shaft for moving the pivot shaft 530 left and right at a predetermined pitch ( 540 and a plurality of pressure cylinders 550 for pressing the test head 520.

테스트 헤드(520)는, 선회축(530)에 고정되며 4개의 관통구멍이 형성된 헤드블록(521)과 헤드블록(521)의 관통구멍에 의해 안내되는 2조의 흡착헤드 (520a,520b)로 구성된다. The test head 520 is composed of a head block 521 fixed to the pivot shaft 530 and formed of four through holes and two sets of suction heads 520a and 520b guided by the through holes of the head block 521. do.

흡착헤드(520a,520b)는, 헤드블록(521)에 형성된 관통구멍중에서 선회축 (530)을 중심으로 대향하는 2개의 관통구멍에 끼워져 미끄럼운동을 하는 2개의 픽업축(522), 2개의 픽업축(522)을 연결하며 상측에는 가압실린더(550)에 의해 가압되는 가압부가 돌설된 픽업축 연결부재(523), 픽업축 연결부재(523)와 헤드블록(521) 사이에 각각의 픽업축(522)에 끼워진 스프링(524), 픽업축 연결부재(523)에 의해 연결된 2개의 픽업축(522) 하단에 결합된 픽업블록(525), 픽업블록(525)에 조립된 4개의 진공패드(526)를 포함한다. The suction heads 520a and 520b are two pick-up shafts 522 and two pick-ups which slide into two through-holes facing the pivot shaft 530 among the through-holes formed in the head block 521 and slide. The pickup shaft connecting member 523, the pickup shaft connecting member 523, and the head block 521 that connect the shaft 522 and the pressurizing portion pressurized by the pressure cylinder 550 on the upper side thereof. A spring 524 fitted to the 522, a pickup block 525 coupled to the lower end of the two pickup shafts 522 connected by the pickup shaft connecting member 523, and four vacuum pads 526 assembled to the pickup block 525. ).

이처럼 테스트 헤드(520)는 4개의 진공패드(526)를 구비한 2조의 흡착헤드 (520a,520b)로 이루어져 있어 1조는 칩로딩용으로 다른 1조는 칩언로딩용으로 사용된다.As such, the test head 520 is composed of two sets of suction heads 520a and 520b having four vacuum pads 526, so that one set is used for chip loading and the other set is used for chip unloading.

선회축(530)은 테스트챔버(500)의 양측벽을 관통하여 예열챔버(400)와 회복챔버(600) 쪽으로 돌출되고, 회복챔버(600) 측으로 돌출된 일단에 선회용 스텝모터(531)가 부착되어 있다.The pivot shaft 530 penetrates both side walls of the test chamber 500 and protrudes toward the preheating chamber 400 and the recovery chamber 600, and the pivoting step motor 531 is provided at one end protruding toward the recovery chamber 600. Attached.

인덱스축(540)은 상기 선회축 모터(531)가 고정된 이동블록(532)에 연결된 볼너트(544), 이 볼너트(544)와 나사결합된 볼스크류(541), 볼스크류(541)를 구동하는 스텝모터(543), 및 선회축 이동블록(532)을 직선 안내하는 LM가이드(542)로 이루어 진다.The index shaft 540 is a ball nut 544 connected to the moving block 532 to which the pivot shaft motor 531 is fixed, a ball screw 541 screwed with the ball nut 544, and a ball screw 541. It consists of a step motor 543 for driving the LM guide 542 to linearly guide the pivot axis moving block 532.

가압실린더(550)는 테스트챔버(500)의 천정과 전방벽에 설치된다. 천정에 설치된 수직가압실린더(551)는 테스트헤드(520)의 가압부와 동일한 간격으로 설치된 2개의 실린더가 한 세트를 이루고 이것이 일정간격을 두고 2세트 설치되어 있다. 전방벽에 설치된 수평가압실린더(552)는 후방벽에 설치된 테스트포트(570)의 위치와 대향되는 곳에 설치된 1개의 실린더이다.The pressure cylinder 550 is installed on the ceiling and the front wall of the test chamber 500. In the vertical pressure cylinder 551 installed on the ceiling, two sets of cylinders provided at the same interval as the pressing portion of the test head 520 form one set, and two sets thereof are provided at a predetermined interval. The horizontal pressure cylinder 552 installed on the front wall is one cylinder installed at a position opposite to the position of the test port 570 installed on the rear wall.

로케이션 유니트(560)는 테스트챔버(500)를 관통하는 보트 컨베이어(700)의 가이드레일(710d)하부에 설치된다. 보트(1)에 형성된 안내구멍(1a)에 일치되는 안내핀(563a)이 형성된 베이스판(563)과 이 베이스판(563)을 승강시키는 공압실린더 (561) 및 가이드바(562)로 이루어진다.The location unit 560 is installed under the guide rail 710d of the boat conveyor 700 passing through the test chamber 500. And a base plate 563 having guide pins 563a corresponding to the guide holes 1a formed in the boat 1, and a pneumatic cylinder 561 and a guide bar 562 for elevating the base plate 563.

테스트포트(570)는 알파칩 테스터기로 부터 연장된 테스트 접촉부로 1개의 알파칩을 삽입할 수 있으며, 삽입수단이 장착되어 있다.The test port 570 may insert one alpha chip into a test contact extending from the alpha chip tester, and an insertion means is mounted.

회복챔버(600)는 환풍팬 등으로 테스트가 끝난 알파칩의 온도를 상온으로 환온시켜 준다.The recovery chamber 600 heats the temperature of the tested alpha chip to room temperature with a fan.

보트 컨베이어(700)는 보트가 예열챔버(400), 테스트챔버(500), 회복챔버 (600)를 순환할 수 있도록 ㅁ자 형상의 폐회로로 형성된 가이드레일(710)과 이 가이드레일(710)상에 놓여 있는 다수의 보트(1), 이 보트(1)를 밀어 다음위치로 이동되도록 하는 밀기수단으로 구성된다. 밀기수단은 가이드레일의 사각부 구석에 설치되며, 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)에서 예열챔버(400)로 보트를 미는 제 1 밀기수단 (720a), 예열챔버(400)에서 테스트챔버(500)로 미는 제 2 밀기수단, 회복챔버(600)에서 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)로 미는 제 3 밀기수단, 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)의 일단에서 타단으로 미는 제 4 밀기수단(710d)을 포함하며, 각 밀기수단은 공압실린더와 밀기부재 등으로 구성된다. 각 챔버와 핀검사다이 (300) 사이에 있는 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)의 하측에는 2개의 로케이션 유니트(730)가 설치된다. 이 것은 상기 테스트챔버(500)내의 로케이션 유니트(560)와 동일한 것으로 각각이 칩의 로딩스테이션 및 언로딩스테이션을 이룬다.The boat conveyor 700 has a guide rail 710 formed in a closed loop of a K-shaped shape so that the boat can circulate the preheating chamber 400, the test chamber 500, and the recovery chamber 600 on the guide rail 710. It consists of a number of boats 1 lying on it, and pushing means for pushing the boats 1 to the next position. Push means is installed in the corner of the guide rail, the first pushing means (720a), pushing the boat from the chip loading / unloading guide rail (710a) to the preheating chamber 400, the test chamber (in the preheating chamber 400) The fourth pushing means to push the 500, the fourth pushing means from the recovery chamber 600 to the chip loading / unloading guide rail 710a, the fourth pushing from one end to the other end of the chip loading / unloading guide rail 710a Pushing means (710d), each pushing means is composed of a pneumatic cylinder, a pushing member and the like. Two location units 730 are installed below the chip loading / unloading guide rail 710a between each chamber and the pin test die 300. This is the same as the location unit 560 in the test chamber 500, each of which constitutes a loading station and an unloading station of the chip.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 의한 알파칩 핸들러의 동작을 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the operation of the alpha chip handler according to an embodiment of the present invention configured as described above will be described in detail.

먼저 작업자가 테스트 전의 알파칩이 담긴 트레이(2)를 공급랙(110a)에 적재하고, 최소한 테스트 등급의 수와 동일한 수량의 트레이(2)를 빈 트레이랙(110b)에 적재한 뒤, 알파칩 핸들러를 기동시킨다.First, the operator loads the tray 2 containing the alpha chips before the test into the supply rack 110a, and loads the trays 2 having the same quantity as the number of test grades into the empty tray rack 110b. Start the handler.

트레이 로봇(130)이 알파칩이 적재된 트레이(2)를 파지하면 공급위치에 해당 하는 트레이 고정판(120)이 하강한다. 트레이 로봇(130)이 이 트레이 고정판(120)에 트레이(2)를 내려 놓으면 고정판(120)이 다시 상승하여 트레이(2)를 메인플레이트의 관통공으로 노출시켜 칩공급위치를 이룬다. 만일 트레이 고정판(120)에 다른 트레이가 있는 경우에는 트레이(2)를 파지하지 않은 그리퍼(135)로 파지한 뒤 알파칩이 담긴 트레이를 안착시킨다. 빈 트레이랙(110b)에 담긴 트레이는 상기와 같은 동작에 의해 나머지 트레이 고정판(120)에 로딩되어 등급별 칩회수위치를 형성하게 된다. When the tray robot 130 grips the tray 2 on which the alpha chip is loaded, the tray fixing plate 120 corresponding to the supply position descends. When the tray robot 130 lowers the tray 2 on the tray fixing plate 120, the fixing plate 120 is raised again to expose the tray 2 as a through hole of the main plate to form a chip supply position. If there is another tray in the tray fixing plate 120, the tray 2 is gripped by the gripper 135 which is not held, and then the tray containing the alpha chips is seated. The tray contained in the empty tray rack 110b is loaded on the remaining tray fixing plate 120 by the above operation to form a chip recovery position for each grade.

알파칩이 담긴 트레이가 칩공급위치에 오면 픽업로봇(200)이 픽업유니트 (210)로 알파칩을 2개씩 흡착하여 핀검사다이(300)로 이동한다. 핀검사다이(300)에 흡착한 알파칩을 삽입하여 원할하게 삽입되는지를 확인한다. 픽업유니트(210)에 설치된 로드셀과 핀검사다이의 하측에 설치되어 있는 센서에 의해 알파칩의 핀이 굽어 있는지를 판단한다.When the tray containing the alpha chip comes to the chip supply position, the pickup robot 200 absorbs two alpha chips by the pickup unit 210 and moves to the pin inspection die 300. Insert the alpha chip adsorbed to the pin inspection die 300 to check whether it is inserted smoothly. It is determined whether the pin of the alpha chip is bent by the load cell installed in the pickup unit 210 and the sensor provided below the pin inspection die.

칩이 정상이면 보트 컨베이어(700)의 로딩스테이션(730)에 위치한 보트(1)에 알파칩을 안치한다. 칩이 안착되면 제 4 밀기수단(720d)에 의해 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)상의 보트(1)가 끝단까지 밀린다. 그러면 제 1 밀기수단(720a)이 맨 끝의 보트, 즉 칩이 실린 보트를 밀어 예열챔버(400)로 인입시킨다. 제 1 밀기수단(720a)이 칩이 안치된 보트를 밀어 예열챔버(400)로 인입시키므로 예열챔버(400)내의 보트(1)가 끝까지 밀린다. 예열챔버(400)에는 수개의 보트(1)가 늘어서 있고 선입선출의 방식으로 테스트챔버(500)로 반출되기 때문에, 보트(1)가 예열챔버(400)내를 통과하는 동안 보트(1)상의 알파칩 온도가 설정된 온도로 조절된다. 제 2 밀기수단이 예열챔버(400)내의 맨 끝의 보트를 테스트챔버(500)로 밀어낸다.If the chip is normal, the alpha chip is placed in the boat 1 located in the loading station 730 of the boat conveyor 700. When the chip is seated, the boat 1 on the chip loading / unloading guide rail 710a is pushed to the end by the fourth pushing means 720d. Then, the first pushing means 720a pushes the boat at the far end, that is, the boat on which the chip is loaded, into the preheating chamber 400. Since the first pushing means 720a pushes the boat in which the chip is placed and draws it into the preheating chamber 400, the boat 1 in the preheating chamber 400 is pushed to the end. Since the preheat chamber 400 is lined with several boats 1 and taken out to the test chamber 500 in a first-in, first-out manner, the boat 1 is placed on the boat 1 while passing through the preheat chamber 400. The alpha chip temperature is adjusted to the set temperature. The second pushing means pushes the last boat in the preheat chamber 400 into the test chamber 500.

보트(1)가 테스트챔버(500)로 인입되면 로케이션 유니트(560)가 동작하여 2개의 보트(1)의 위치를 고정한다. 예열챔버(400)에 가까운 제 1 로케이션 유니트(560a)는 테스트 전의 칩이 안치되어 있는 보트이고 회복챔버 쪽의 제 2 로케이션 유니트(560b)는 테스트 완료된 칩을 안치시키는 빈 보트이다. 보트(1)가 고정되면 테스트챔버(500)의 천정에 취부된 수직가압실린더(551a)가 테스트 헤드(520)의 로딩용 흡착헤드(520a)를 가압하여 보트상의 칩 한개를 흡착한다. 그 뒤 가압실린더(551a)가 후퇴하면 스프링(524)에 의해 칩이 들리게 된다. 이 상태에서 선회축(530)이 테스트 헤드(520)를 90도 선회시킨다. 이 때 테스트포트(570)에 칩이 삽입되어 있으면 테스트챔버(500)의 전방벽에 장착된 수평가압실린더(552)가 언로딩용 흡착헤드(520b)를 가압하여 칩을 취출한다. 칩이 취출되면 인덱스축(540)이 동작하여 선회축(530)을 1피치 이동시켜 로딩용 흡착헤드(520a)가 테스트포트(570)의 앞에 위치되도록 한다. 다시 전방벽의 수평 가압실린더(552)가 동작하여 로딩용 흡착헤드(520a)를 가압하여 알파칩을 테스트포트(570)에 삽입한다. 삽입이 완료되면 테스트 헤드(520)가 하향되도록 선회축(530)을 90도 되돌린 후 인덱스축(540)이 피치이동하여 취출된 칩이 제 2 로케이션 유니트(560b)의 보트상에 위치하도록 한다. 테스트 헤드(520)의 위치가 보트상에 오면 테스트챔버 천정의 수직 가압실린더(551c)가 언로딩용 흡착헤드(520b)를 가압하여 테스트 완료된 칩을 보트(1)에 안치시킨다. 그 후 인덱스축(540)이 반대 방향으로 피치이송하여 로딩용 흡착헤드(520a)가 제 1 로케이션상(560a)의 나머지 칩상에 위치되도록 한 다. 이 후 상술한 순서대로의 동작에 의해 제 2 로케이션(560b)상의 보트(1)에 2번째 칩을 안치시킨다. 그러면 제 1 및 제 2 로케이션 유니트(560a,560b)가 하강하고, 예열챔버(400)의 제 2 밀기수단이 동작하여 보트(1)를 테스트챔버(500)로 밀어 내어 빈 보트(1)는 제 2 로케이션 유니트(560b)의 상측에 오고 테스트 전의 알파칩이 안치되어 있는 보트는 제 1 로케이션 유니트(560a) 상에 위치하게 된다. 이 후 상술한 동작이 반복되면서 알파칩의 테스트를 계속한다.When the boat 1 enters the test chamber 500, the location unit 560 is operated to fix the positions of the two boats 1. The first location unit 560a close to the preheat chamber 400 is a boat in which the chip before the test is placed and the second location unit 560b on the recovery chamber side is an empty boat in which the tested chip is placed. When the boat 1 is fixed, the vertical pressure cylinder 551a mounted on the ceiling of the test chamber 500 pressurizes the loading suction head 520a of the test head 520 to suck one chip on the boat. Then, when the pressure cylinder 551a retreats, the chip is lifted by the spring 524. In this state, the pivot shaft 530 pivots the test head 520 by 90 degrees. At this time, if the chip is inserted into the test port 570, the horizontal pressure cylinder 552 mounted on the front wall of the test chamber 500 presses the unloading suction head 520b to take out the chip. When the chip is taken out, the index shaft 540 is operated to move the pivot shaft 530 one pitch so that the loading suction head 520a is positioned in front of the test port 570. The horizontal pressure cylinder 552 of the front wall is operated again to press the loading suction head 520a to insert the alpha chip into the test port 570. When the insertion is completed, the pivot shaft 530 is rotated 90 degrees so that the test head 520 is downward, and then the index shaft 540 is pitch shifted so that the extracted chip is positioned on the boat of the second location unit 560b. . When the position of the test head 520 is on the boat, the vertical pressure cylinder 551c of the test chamber ceiling presses the adsorption head 520b for unloading to place the tested chip in the boat 1. The index axis 540 is then pitch-shifted in the opposite direction so that the loading suction head 520a is positioned on the remaining chips on the first location 560a. Thereafter, the second chip is placed in the boat 1 on the second location 560b by the above-described operations. Then, the first and second location units 560a and 560b are lowered, and the second pushing means of the preheating chamber 400 is operated to push the boat 1 into the test chamber 500 so that the empty boat 1 is removed. The boat, which is located above the two location unit 560b and where the alpha chip before the test is placed, is positioned on the first location unit 560a. After that, the above operation is repeated, and the test of the alpha chip is continued.

예열챔버(400)의 제 2 밀기수단에 의해 테스트챔버(500)의 보트 1개가 회복챔버(600)로 반출되면 회복챔버(600)내의 제 3 밀기수단이 동작하여 보트를 칩로딩/언로딩 가이드(710a) 쪽으로 밀어 낸다. 이 때 회복챔버(600)내에는 다수의 보트(1)가 늘어서 있고 밀기수단에 의해 1개 씩 순차적으로 배출되므로 배출되는 동안에 테스트조건에 맞도록 온도조정되어 있던 알파칩이 상온으로 회복되게 된다.When one boat of the test chamber 500 is taken out to the recovery chamber 600 by the second pushing means of the preheating chamber 400, the third pushing means in the recovery chamber 600 operates to guide the chip loading / unloading. Push toward 710a. At this time, since a plurality of boats 1 are arranged in the recovery chamber 600 and are sequentially discharged one by one by pushing means, the alpha chips that have been adjusted to meet the test conditions during discharge are restored to room temperature.

이 후 칩로딩/언로딩 가이드레일(710a)상의 칩로딩스테이션(730a)에 위치한 보트에 픽업로봇(200)에 의해 칩이 안치되었으면 제 4 밀기수단(720d)이 동작하여 보트를 밀어낸다. 테스트 완료된 칩을 적재한 보트가 언로딩스테이션(730b) 상에 오면 로케이션 유니트(730)가 상승하여 보트(1)를 고정시킨다. Thereafter, when the chip is placed in the boat located at the chip loading station 730a on the chip loading / unloading guide rail 710a by the pickup robot 200, the fourth pushing means 720d operates to push the boat. When the boat on which the tested chip is loaded comes on the unloading station 730b, the location unit 730 is raised to fix the boat 1.

언로딩스테이션(730b)에 보트(1)가 고정되면 픽업로봇(200)이 칩을 흡착하여 테스트 결과에 따라 등급별로 구분된 칩회수위치에 고정되어 있는 각각의 트레이에 칩을 안치시킨다. 칩언로딩시에 테스트 등급이 현재 칩회수위치에 고정된 트레이와 등급이 일치하지 않는 경우는 테스트 결과가 나온 후 핸들러 제어기가 판단하여 상기 칩을 적재한 보트가 칩언로딩 스테이션 위치에 오기전에 등급별 회수랙에 적재 되어 있는 해당 등급의 트레이를 칩회수위치에 고정시킨다.When the boat 1 is fixed to the unloading station 730b, the pickup robot 200 adsorbs the chip and places the chip in each tray which is fixed at the chip recovery position classified according to the grade according to the test result. If the test grade does not match the tray fixed at the current chip recovery position at the time of chip unloading, the handler controller judges that after the test results are obtained, before the boat loaded with the chip arrives at the chip unloading station position, Fix the tray of the grade loaded in the chip collection position.

이와 같은 동작이 반복되면서 알파칩 핸들러는 알파칩의 테스트를 자동으로 수행한다.As this behavior is repeated, the AlphaChip handler automatically tests the AlphaChip.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 1개의 테스트 포트에 대응하여 1개씩의 로딩/언로딩용 흡착수단을 구비하여 구조가 단순하면서도, 종래 알파칩 핸들러와 동등이상의 테스트 효율을 갖고 구동원의 동력도 상대적으로 작은 알파칩 핸들러를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, it is provided with one adsorption means for loading / unloading corresponding to one test port, and the structure is simple, but the test efficiency is equal to or higher than that of the conventional alpha chip handler, You can also get a relatively small alpha chip handler.

또한, 본 발명에 의한 알파칩 핸들러는 테스트 등급에 대응하여 7개의 회수트레이랙을 장착한 트레이 스택커를 구비하여 작업자가 수시로 트레이를 확인하여 빼내지 않아도 등급분류가 확실하게 이루어지므로 전체적으로 생산성이 높아진다.In addition, the alpha chip handler according to the present invention includes a tray stacker equipped with seven recovery tray racks corresponding to the test grade, so that the classification is reliably performed without the operator checking and removing the tray from time to time, thereby increasing the overall productivity. .

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고, 또한 설명하였으나, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 자진 자라면 다양한 변형실시가 가능할 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and the present invention belongs without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Various modifications will be possible to those skilled in the art.

Claims

In order to automatically test the assembled alpha chips, the trays are placed one by one in the supply rack with a large number of trays containing the alpha chips before the test. A tray stacker for positioning an empty tray for sorting the alpha chips at a chip storage position and loading a tray containing the tested alpha chips into a graded recovery rack;

A preheating chamber for adjusting the alpha chip to the test temperature;

A test chamber comprising a test head comprising two adsorption heads for adsorbing an alpha chip, a pivot axis for pivoting the test head 90 degrees, and an index axis for pitch shifting the pivot axis in an axial direction;

A recovery chamber for returning the temperature of the tested alpha chip to room temperature;

A boat conveyor configured to circulate a boat loaded with a plurality of alpha chips into the preheat chamber, the test chamber, and a recovery chamber, and a loading station and an unloading station for loading / unloading an alpha chip; And

And a pickup robot for supplying the alpha chip of the chip supply position to the loading station and loading the alpha chip of the unloading station into the tray at the chip storage position according to a test result. Chip handler.

The method of claim 1, wherein the test chamber,

Four vertical pressurizing cylinders installed on the ceiling of the test chamber and allowing the suction head to load or unload the alpha chips from the boat; And

And a horizontal pressurizing cylinder installed at the front wall of the test chamber and allowing the suction head to insert or extract the alpha chip into the test port.

The method of claim 1, wherein the test head,

And a pair of suction heads fixed to the pivot shaft and having four through holes formed therein and guided by the through holes of the head block.

According to claim 1 or 3, wherein the adsorption head,

A pickup shaft connecting member having a plurality of pickup shafts inserted into two through-holes between the pivot shafts of the head block for sliding movement, connecting the plurality of pickup shafts, and a pressing portion protruding from the upper side by pressing the pressure cylinder; A spring fitted to each pickup shaft between the pickup shaft connecting member and the head block, a pickup block coupled to a lower end of the plurality of pickup shafts connected by the pickup shaft connecting member, and four vacuum pads assembled to the pickup block. Alpha chip handler, characterized in that.

The method of claim 1, wherein the index axis,

And a moving block for rotating the pivot shaft, a ball nut coupled to the moving block, a ball screw screwed with the ball nut, a motor for rotating the ball screw, and an LM guide for guiding linear movement of the moving block. Alpha chip handler, characterized in that.