KR20080088372A - Film feeding apparatus and film feeding method - Google Patents

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KR20080088372A
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아키히코 하세
료 모리
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후지필름 가부시키가이샤
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Abstract

A film feeding apparatus and a film feeding method are provided to transfer smoothly a film by improving a stopping effect of the film in a film transferring process. A unit body(94) includes a cutting unit(106) for cutting a film(22), an upstream side film transfer roller couple arranged in an upstream side of a transferring direction of the cutting unit, and a downstream side film transfer roller couple arranged in a downstream side of the transferring direction of the cutting unit. A driving mechanism moves the unit body in an opposite transferring direction along a transferring path(88) in a stopping state of the film when a front end of the film is inserted between the downstream side film transfer rollers. A plurality of torque motors apply rotatory torque in a film transferring direction in order to transfer the film in the transferring direction with respect to the upstream side film transfer roller couple and the downstream side film transfer roller couple.

Description

필름 반송 장치 및 필름 반송 방법{FILM FEEDING APPARATUS AND FILM FEEDING METHOD}Film conveying apparatus and film conveying method {FILM FEEDING APPARATUS AND FILM FEEDING METHOD}

본 발명은 정지되어 있는 필름의 선단부를 유지하고, 상기 필름을 반송로를 따라 반송하기 위한 필름 반송 장치 및 필름 반송 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a film conveying apparatus and a film conveying method for retaining the tip of a stopped film and conveying the film along a conveying path.

예를 들면, 액정 패널용 기판, 프린트 배선용 기판, PDP 패널용 기판은 감광성 수지층(감광 재료층)을 갖는 감광성 시트체[감광성 웹(photosensitive web]를 기판 표면에 부착해서 구성된다. 감광성 시트체는 예를 들면, 가요성 플라스틱 지지체 상에 감광성 수지층과 보호 필름이 순차적으로 적층되어 있다.For example, the board | substrate for liquid crystal panels, the board | substrate for printed wirings, and the board | substrate for PDP panels are comprised by attaching the photosensitive sheet body (photosensitive web) which has a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to the surface of a board | substrate. For example, the photosensitive resin layer and the protective film are laminated | stacked sequentially on the flexible plastic support body.

이러한 종류의 감광성 시트체의 부착에 사용되는 제조 장치는 통상, 유리 기판이나 수지 기판 등의 기판을 소정의 간격씩 이간시켜서 라미네이션 롤러 사이로 반송함과 아울러, 상기 기판에 부착되는 감광성 수지층의 범위에 대응하는 보호 필름을 박리한 감광성 시트체를 상기 라미네이션 롤러 사이로 반송하는 방식이 채용되고 있다.The manufacturing apparatus used for the attachment of this kind of photosensitive sheet body usually conveys a substrate such as a glass substrate or a resin substrate at predetermined intervals and transports them between lamination rollers, and also in the range of the photosensitive resin layer adhered to the substrate. The system which conveys the photosensitive sheet | seat which peeled the corresponding protective film between the said lamination rollers is employ | adopted.

예를 들면, 일본 특허공개 평8-183146호 공보에 개시되어 있는 드라이 레지스트 필름의 라미네이트 방법에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 예열부, 라 미네이트부, 기판 냉각부, 기판상 필름 절단부 및 필름 제거부가 기판(1)의 반송 방향을 따라 순차적으로 배치되어 있다. 이 기판(1)은 기판 예열부의 예열 히터(2)에 의해 소정의 온도로 가열된 후, 라미네이트부에 이송된다.For example, in the lamination method of the dry resist film disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 8-183146, as shown in FIG. 8, a board | substrate preheat part, a laminate part, a board | substrate cooling part, a board | substrate film cut part, The film removal part is arrange | positioned sequentially along the conveyance direction of the board | substrate 1. The substrate 1 is heated to a predetermined temperature by the preheat heater 2 of the substrate preheating unit, and then transferred to the laminate unit.

라미네이트부에는 한쌍의 라미네이트 롤러(3a, 3b)가 배치되어 있고, 상기 라미네이트 롤러(3a, 3b) 사이에는 기판(1)과 드라이 레지스트 필름(4)이 이송되기 때문에 상기 드라이 레지스트 필름(4)이 상기 기판(1)에 열압착된다. 또한, 드라이 레지스트 필름(4)은 미리 커버 필름(5)이 박리되어 있고, 도시하지 않은 레지스트층이 기판(1)측을 향해서 열압착된다.A pair of laminate rollers 3a and 3b are disposed in the laminate portion, and the dry resist film 4 is transferred between the laminate rollers 3a and 3b because the substrate 1 and the dry resist film 4 are transferred. The substrate 1 is thermocompressed. In addition, the cover film 5 is peeled off beforehand in the dry resist film 4, and the resist layer which is not shown in figure is thermocompressed toward the board | substrate 1 side.

또한, 드라이 레지스트 필름(4)이 열압착된 기판(1)은 반송 롤러(6)를 통해 기판 냉각부에 이송되고, 기판 냉각 수단(7)을 통해 냉각된다. 기판 냉각부에 의해 드라이 레지스트 필름(4)이 냉각됨으로써 이 드라이 레지스트 필름(4)의 레지스트층이 경화됨과 아울러, 기판(1)과의 밀착력이 향상된다. 따라서, 다음 단의 기판상 필름 절단부에 있어서 드라이 레지스트 필름(4)을 절단할 때에 절단의 응력에 의해 레지스트층의 박리가 발생되는 것을 방지한다.Moreover, the board | substrate 1 to which the dry resist film 4 was thermocompression-bonded is conveyed to the board | substrate cooling part via the conveyance roller 6, and is cooled by the board | substrate cooling means 7. As the dry resist film 4 is cooled by the substrate cooling unit, the resist layer of the dry resist film 4 is cured and the adhesion to the substrate 1 is improved. Therefore, the peeling of a resist layer is prevented from occurring by the stress of cutting | disconnection, when cut | disconnecting the dry resist film 4 in the board | substrate film cutting part of the next stage.

이어서, 기판(1)끼리를 연결하고 있는 드라이 레지스트 필름(4)은 기판상 필름 절단부이며, 커터를 구비한 기판상 필름 절단 수단(8)에 의해 절단됨과 아울러, 상기 기판(1)은 필름 제거부에 이송된다. 이 필름 제거부에서는 기판(1)이 가열 롤(9)에 의해 재가열된 후, 필름 박리 수단(10)을 통해 상기 기판(1) 사이를 연결하고 또한 절단 공정에 의해 형성된 절단면 사이의 드라이 레지스트 필름(4)이 상기 기판(1)으로부터 제거된다.Subsequently, the dry resist film 4 which connects the board | substrates 1 to each other is a board | substrate film cutting part, and is cut | disconnected by the board | substrate film cutting means 8 provided with the cutter, and the said board | substrate 1 is made of film Are rejected. In this film removing part, after the board | substrate 1 is reheated by the heating roll 9, the dry resist film between the cut surfaces formed between the said board | substrates 1 through the film peeling means 10, and formed by a cutting process. (4) is removed from the substrate (1).

상기 종래 기술에서는 드라이 레지스트 필름(4)만을 화살표 방향으로 반송하는 경우가 있다. 예를 들면, 자동 운전에 의해 라미네이트를 개시할 때나 자동 운전 중에 기판(1)이 공급되지 않고 라미네이트 롤러(3a, 3b)에 의해 가열된 상기 드라이 레지스트 필름(4)을 1매분 반송해서 제거할 때나 수동 조작에 의해 상기 드라이 레지스트 필름(4)을 배출해서 컷팅하여 작업을 종료할 때 등이다.In the said prior art, only the dry resist film 4 may be conveyed in an arrow direction. For example, when starting lamination by automatic operation or when conveying and removing the said dry resist film 4 heated by the lamination rollers 3a and 3b for one minute without removing the board | substrate 1 during automatic operation, This is when the dry resist film 4 is discharged and cut by manual operation and finished.

이러한 종류의 처리가 행해지는 경우, 드라이 레지스트 필름(4)은 기판상 필름 절단 수단(8)에 의해 절단된 상태로 정지되어 있다. 그리고, 작업이 재개될 때에는 드라이 레지스트 필름(4)의 선단부가 기판상 필름 절단 수단(8)의 상류측에 배치된 반송 롤러의 회전 작용하에 상기 기판상 필름 절단 수단(8)의 하류측에 배치된 반송 롤러에 이송된다.When this kind of treatment is performed, the dry resist film 4 is stopped in a state of being cut by the film cutting means 8 on the substrate. And when a work is resumed, the front-end | tip part of the dry resist film 4 is arrange | positioned downstream of the said board | substrate film cutting means 8 under the rotational action of the conveyance roller arrange | positioned upstream of the board | substrate film cutting means 8, and so on. Is conveyed to the conveying roller.

그러나 드라이 레지스트 필름(4)은 직접, 반송 롤러에 슬라이딩 접촉하기 때문에 박리 대전 등에 의한 정전기가 발생되고, 상기 드라이 레지스트 필름(4)이 필름 반송용 가이드 부재(도시하지 않음) 등에 접착될 우려가 있다. 이것에 의해 드라이 레지스트 필름(4)은 양호하게 반송되지 않고 막힘이 야기되기 쉽고, 예를 들면, 기판(1)의 정상적인 반송이 저지되어 버려 상기 기판(1)이 파손되는 등의 설비 고장이 발생된다는 문제가 있다.However, since the dry resist film 4 is in direct sliding contact with the conveying roller, static electricity due to peeling charging or the like is generated, and the dry resist film 4 may adhere to a film conveying guide member (not shown) or the like. . Thereby, the dry resist film 4 is not conveyed satisfactorily, and clogging is easy to occur, for example, normal equipment conveyance of the board | substrate 1 is interrupted | blocked, and the malfunction of equipment, such as the said board | substrate 1 being damaged, arises. There is a problem.

본 발명은 이러한 종류의 문제를 해결하는 것이며, 간단한 구성 및 공정으로 필름의 막힘을 가급적으로 저지할 수 있고, 정지되어 있는 필름의 선단부를 유지하고, 상기 필름을 반송로를 따라 원활하고 또한 확실하게 반송할 수 있는 필름 반송 장치 및 필름 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention solves this kind of problem, and it is possible to prevent clogging of the film with a simple configuration and process as much as possible, to maintain the tip of the stopped film and to smoothly and reliably move the film along the conveying path. It aims at providing the film conveying apparatus and film conveying method which can be conveyed.

본 발명은 정지되어 있는 필름의 선단부를 유지하고, 상기 필름을 반송로를 따라 반송하기 위한 필름 반송 장치에 관한 것이다.This invention relates to the film conveying apparatus for holding the tip part of the film which is stopped and conveying the said film along a conveyance path.

필름 반송 장치는 필름을 절단하는 절단 기구, 상기 절단 기구의 반송 방향 상류측에 배치되는 상류측 필름 반송 롤러쌍 및 상기 절단 기구의 반송 방향 하류측에 배치되는 하류측 필름 반송 롤러쌍이 수용되는 유닛 본체와, 상기 절단 기구에 의해 절단된 상기 필름의 선단부를 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍 사이에 끼울 때에 상기 필름이 정지된 상태에서 상기 유닛 본체를 상기 반송로를 따라 반송 방향과는 반대인 반송 반대 방향으로 이동시키는 구동 기구와, 상기 유닛 본체가 상기 반송 방향으로 이동할 때에 상기 상류측 필름 반송 롤러쌍 및 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍에 대해서 상기 필름을 상기 반송 방향으로 송출하기 위한 필름 이송 방향으로 회전 토크를 부여하는 토크 모터를 구비하고 있다.The film conveying apparatus is a unit main body which accommodates the cutting mechanism which cuts a film, the upstream film conveyance roller pair arrange | positioned at the conveyance direction upstream of the said cutting mechanism, and the downstream film conveyance roller pair arrange | positioned at the conveyance direction downstream of the said cutting mechanism. And an opposite direction of conveyance along the conveying path opposite to the conveying direction along the conveying path in the state in which the film is stopped when the distal end portion of the film cut by the cutting mechanism is sandwiched between the downstream film conveying roller pairs. Rotational torque in the film conveying direction for conveying the film in the conveying direction with respect to the drive mechanism for moving the film and the unit body moving in the conveying direction and the upstream film conveying roller pair and the downstream film conveying roller pair; It is provided with a torque motor to give.

또한, 본 발명은 정지되어 있는 필름의 선단부를 유지하고, 상기 필름을 반송로를 따라 반송하기 위한 필름 반송 방법에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the film conveyance method for holding the tip part of the film which is stopped, and conveying the said film along a conveyance path.

필름 반송 방법은 필름을 정지시킨 상태에서 필름 반송 롤러쌍을 필름 이송 방향으로 회전시키면서 반송 방향과는 반대인 반송 반대 방향으로 이동시키는 공정 과, 상기 필름 반송 롤러쌍에 의해 상기 필름의 선단부를 끼움과 아울러, 상기 필름 반송 롤러의 회전 작용하에 상기 필름을 상기 반송 방향으로 송출하는 공정을 갖고 있다.The film conveying method includes the steps of moving the film conveying roller pair in a film conveying direction while moving the film in a direction opposite to the conveying direction while the film is stopped, and sandwiching the tip of the film by the film conveying roller pair; Moreover, it has a process of sending out the said film in the said conveyance direction under the rotation action of the said film conveyance roller.

본 발명에서는 필름이 정지된 상태에서 필름 반송 롤러쌍이 필름 이송 방향으로 회전하면서 반송 방향과는 반대인 반송 반대 방향으로 이동한다. 이 때문에 필름을 필름 반송 롤러쌍을 향해서 반송시키는 경우에 비해서 상기 필름을 원하는 평면 형상으로 유지할 수 있어 상기 필름의 막힘을 가급적으로 저지하는 것이 가능해진다. 이것에 의해 간단한 구성 및 공정으로 필름의 선단부를 확실하게 유지하고, 상기 필름을 반송로를 따라 원활하고 또한 양호하게 반송할 수 있다.In the present invention, the film conveying roller pair rotates in the film conveying direction while the film is stopped and moves in the conveying opposite direction opposite to the conveying direction. For this reason, compared with the case where a film is conveyed toward a film conveyance roller pair, it can hold | maintain the said film in a desired flat shape, and it becomes possible to prevent clogging of the said film as much as possible. Thereby, the front-end | tip part of a film is reliably held by a simple structure and process, and the said film can be conveyed smoothly and satisfactorily along a conveyance path.

첨부한 도면과 협동하는 다음의 바람직한 실시형태예의 설명으로부터 상기 목적, 특징 및 이점이 보다 명백해질 것이다.The above objects, features, and advantages will become more apparent from the following description of the preferred embodiments in cooperation with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 필름 반송 장치를 장착하는 감광성 적층체의 제조 시스템(20)의 개략 구성도이다. 이 제조 시스템(20)은 액정 또는 유기 EL용 컬러 필터 등의 제작 공정에서 소정의 폭 치수로 이루어지는 긴 형상 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)(후술함)을 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)하는 작업을 행한다.1: is a schematic block diagram of the manufacturing system 20 of the photosensitive laminated body which mounts the film conveyance apparatus which concerns on embodiment of this invention. This manufacturing system 20 uses the photosensitive resin layer 28 (to be described later) of the elongate photosensitive web 22 having a predetermined width dimension in a manufacturing process such as a liquid crystal or a color filter for an organic EL or the like on the glass substrate 24. Thermal transfer (lamination) is performed.

도 2는 제조 시스템(20)에 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 단면도이다. 이 긴 형상 감광성 웹(22)은 가요성 베이스 필름(지지체)(26)과, 감광성 수지층(감광 재료층)(28)과, 보호 필름(30)을 적층해서 구성된다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web 22 used in the manufacturing system 20. This elongate photosensitive web 22 is comprised by laminating | stacking the flexible base film (support) 26, the photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and the protective film 30. As shown in FIG.

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)은 긴 형상 감광성 웹(22)을 롤 형상으로 권취한 감광성 웹롤(23)을 수용하고, 상기 감광성 웹롤(23)로부터 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 송출할 수 있는 웹 송출 기구(32)와, 송출된 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)의 폭 방향으로 절단할 수 있는 2개소의 경계 부분인 하프컷 부위(34a, 34b)(도 2 참조)를 형성하는 가공 기구(36)와, 일부에 비접착부(38a)를 갖는 접착 라벨(38)(도 3 참조)을 상기 보호 필름(30)에 접착시키는 라벨 접착 기구(40)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the manufacturing system 20 accommodates the photosensitive web roll 23 which wound the elongate photosensitive web 22 in roll shape, and the said elongate photosensitive web 22 from the said photosensitive web roll 23 is carried out. It is a boundary part of two places which can cut | disconnect in the width direction of the web delivery mechanism 32 which can send out the said, and the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28 of the said elongate photosensitive web 22 which were sent out. A processing mechanism 36 forming half cut portions 34a and 34b (see FIG. 2), and an adhesive label 38 (see FIG. 3) having a non-adhesive portion 38a on a portion thereof is attached to the protective film 30. It is provided with a label adhesion mechanism 40 to adhere.

라벨 접착 기구(40)의 하류에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 택트(tact) 이송으로부터 연속 이송으로 변경하기 위한 리저버(reserver) 기구(42)와, 상기 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 소정의 길이 간격으로 박리시키는 박리 기구(44)가 배치된다.Downstream of the label adhesive mechanism 40 is a reservoir mechanism 42 for changing the elongate photosensitive web 22 from tact transfer to continuous transfer and a protective film from the elongate photosensitive web 22. The peeling mechanism 44 which peels 30 at predetermined length space | intervals is arrange | positioned.

박리 기구(44)의 하류에는 유리 기판(24)을 소정의 온도로 가열한 상태에서 부착 위치에 공급하는 기판 공급 기구(45)와, 보호 필름(30)의 박리에 의해 노출된 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 일체적으로 부착하는 부착 기구(46)와, 본 실시형태에 따른 필름 반송 장치(48)가 배치된다.Downstream of the peeling mechanism 44, the substrate supply mechanism 45 which supplies the glass substrate 24 to the attachment position in the state heated at the predetermined temperature, and the photosensitive resin layer exposed by peeling of the protective film 30 ( The attachment mechanism 46 which attaches 28 to the said glass substrate 24 integrally, and the film conveyance apparatus 48 which concern on this embodiment are arrange | positioned.

웹 송출 기구(32)의 하류 근방에는 대략 사용이 완료된 긴 형상 감광성 웹(22)의 후단과, 새롭게 사용되는 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단을 부착하는 부착대(49)가 배치된다. 부착대(49)의 하류에는 감광성 웹롤(23)의 권취 어긋남에 의한 폭 방향의 어긋남을 제어하기 위해서 필름 단말 위치 검출기(53)가 배치된다.In the downstream vicinity of the web delivery mechanism 32, a mounting table 49 is attached to the rear end of the elongated photosensitive web 22, which has been substantially used, and the tip of the elongated photosensitive web 22 to be used. Downstream of the mounting base 49, the film terminal position detector 53 is disposed in order to control the shift in the width direction due to the shift in winding of the photosensitive web roll 23.

가공 기구(36)는 웹 송출 기구(32)에 수용 권취되어 있는 감광성 웹롤(23)의 롤 직경을 산출하기 위한 롤러쌍(50)의 하류에 배치된다. 가공 기구(36)는 거리(M)(도 2 참조)만큼 이간된 한쌍의 둥근날(52a, 52b)을 구비한다. 둥근날(52a, 52b)은 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 주행해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 사이에 둔 소정의 2개소의 위치에 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성한다(도 2 참조).The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 23 accommodated in the web delivery mechanism 32. The processing mechanism 36 has a pair of round blades 52a and 52b spaced apart by the distance M (see FIG. 2). The round blades 52a and 52b travel in the width direction of the elongate photosensitive web 22 and are half-cut portions 34a and 34b at two predetermined positions between the remaining portions B of the protective film 30. ) (See FIG. 2).

하프컷 부위(34a, 34b)는 적어도 보호 필름(30) 및 감광성 수지층(28)을 절단할 필요가 있고, 실제상, 가요성 베이스 필름(26)까지 절개되도록 둥근날(52a, 52b)의 절개 깊이가 설정된다. 둥근날(52a, 52b)은 회전하는 일 없이 고정된 상태로 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이나 상기 긴 형상 감광성 웹(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하면서 상기 폭 방향으로 이동해서 상기 하프컷 부위(34a, 34b)를 형성하는 방식이 채용된다.The half cut portions 34a and 34b need to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28, and in fact, the rounded edges 52a and 52b of the round blades 52a and 52b are cut out to the flexible base film 26. The incision depth is set. The round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 in a fixed state without being rotated to form half cut portions 34a and 34b or the elongate photosensitive web 22. A method of forming the half cut portions 34a and 34b by moving in the width direction while rotating the image without slipping is adopted.

하프컷 부위(34a, 34b)는 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)에 부착했을 때, 예를 들면, 상기 유리 기판(24)의 양 단부로부터 각각 10㎜씩 내측으로 들어간 위치로 되도록 설정된다. 또한, 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)은 후술하는 부착 기구(46)에 있어서 감광성 수지층(28)을 상기 유리 기판(24)에 액자 형상으로 부착할 때의 마스크로서 기능하는 것이다. When the half cut portions 34a and 34b are attached to the glass substrate 24 with the photosensitive resin layer 28, for example, the half cut portions 34a and 34b are positioned to enter inwards from each end of the glass substrate 24 by 10 mm, respectively. Is set. In addition, when the remaining part B of the protective film 30 between the glass substrates 24 attaches the photosensitive resin layer 28 to the said glass substrate 24 in a frame shape in the attachment mechanism 46 mentioned later, It functions as a mask of.

라벨 접착 기구(40)는 유리 기판(24) 사이에 대응해서 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)을 남기기 때문에 하프컷 부위(34b)측의 박리 부분(A)과 하프컷 부위(34a)측의 박리 부분(A)을 연결하는 접착 라벨(38)을 공급한다.Since the label adhesive mechanism 40 leaves the remaining part B of the protective film 30 corresponding to the glass substrate 24, the peeling part A and the half cut part 34a on the half cut part 34b side are left. The adhesive label 38 which connects the peeling part A of the side is supplied.

도 3에 나타내는 바와 같이, 접착 라벨(38)은 좁고 긴 형상으로 구성되어 있고, 예를 들면, 보호 필름(30)과 동일한 수지재로 형성된다. 접착 라벨(38)은 중앙부에 점착제가 도포되지 않은 비접착부(미세 점착을 포함함)(38a)를 가짐과 아울러, 이 비접착부(38a)의 양 측, 즉, 상기 접착 라벨(38)의 길이 방향 양 단부에 전방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 1 접착부(38b)와, 후방의 박리 부분(A)에 접착되는 제 2 접착부(38c)를 갖는다.As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is comprised by the narrow elongate shape, for example, is formed with the same resin material as the protective film 30. As shown in FIG. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including microadhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and both sides of the non-adhesive portion 38a, that is, the length of the adhesive label 38. It has the 1st adhesion part 38b adhering to the peeling part A of a front side, and the 2nd adhesion part 38c adhering to the back peeling part A at the both ends of a direction.

도 1에 나타내는 바와 같이, 라벨 접착 기구(40)는 최대 7장의 접착 라벨(38)을 소정 간격씩 이간해서 부착할 수 있는 흡착 패드(54a~54g)를 구비함과 아울러, 상기 흡착 패드(54a~54g)에 의한 상기 접착 라벨(38)의 부착 위치에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 하방으로부터 유지하기 위한 수용대(56)가 승강 가능하게 배치된다.As shown in FIG. 1, the label sticking mechanism 40 is equipped with the adsorption pads 54a-54g which can attach up to 7 adhesive labels 38 spaced at predetermined intervals, and is the said adsorption pad 54a. At the attachment position of the adhesive label 38 by ˜54 g), a receiving table 56 for holding the elongate photosensitive web 22 from below is provided to be liftable.

리저버 기구(42)는 상류측의 긴 형상 감광성 웹(22)의 택트 반송과, 하류측의 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 연속 반송의 속도차를 흡수하기 위해서 화살표 방향으로 요동 가능한 댄서 롤러(60)를 구비한다.The reservoir mechanism 42 is a dancer roller capable of swinging in the direction of an arrow so as to absorb the speed difference between the tact conveyance of the upstream elongate photosensitive web 22 and the continuous conveyance of the elongate photosensitive web 22 downstream. 60).

리저버 기구(42)의 하류에 배치되는 박리 기구(44)는 긴 형상 감광성 웹(22)의 송출측의 텐션 변동을 차단하여 라미네이트시의 텐션을 안정화시키기 위한 석션 드럼(62)을 구비한다. 석션 드럼(62)의 근방에는 박리 롤러(63)가 배치됨과 아울러, 이 박리 롤러(63)를 통해 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 예각의 박리각으로 박리되는 보호 필름(30)은 잔존 부분(B)을 제외하고 보호 필름 권취부(64)에 권취된다.The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 is provided with a suction drum 62 for blocking tension fluctuations on the delivery side of the elongate photosensitive web 22 and stabilizing tension during lamination. The peeling roller 63 is arrange | positioned in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 peeled off from the elongate photosensitive web 22 at an acute peeling angle via this peeling roller 63 is the remaining part ( Except for B), the film is wound around the protective film winding 64.

박리 기구(44)의 하류측에는 긴 형상 감광성 웹(22)에 텐션을 부여할 수 있는 텐션 제어 기구(66)가 배치된다. 텐션 제어 기구(66)는 실린더(68)의 구동 작용하에 텐션 댄서(70)가 요동 변위됨으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 텐션을 조정할 수 있다. 또한, 텐션 제어 기구(66)는 필요에 따라 사용하면 좋고, 삭제할 수도 있다.On the downstream side of the peeling mechanism 44, a tension control mechanism 66 capable of applying tension to the elongate photosensitive web 22 is disposed. The tension control mechanism 66 can adjust the tension of the elongate photosensitive web 22 by the swing of the tension dancer 70 under the driving action of the cylinder 68. In addition, the tension control mechanism 66 may be used as needed and can be deleted.

기판 공급 기구(45)는 유리 기판(24)을 끼우도록 배치되는 기판 가열부(예를 들면, 히터)(74)와, 이 유리 기판(24)을 화살표(Y) 방향으로 반송하는 반송부(76)와, 상기 유리 기판(24)의 후단부의 정지 위치를 검출하는 정지 위치 검출 센서(78)를 구비한다. 기판 가열부(74)에서는 유리 기판(24)의 온도를 상시 감시해서 이상시에는 반송부(76)의 정지나 경보를 발생시킴과 아울러, 이상 정보를 발신해서 이상 유리 기판(24)을 후공정에서 NG 배출, 품질 관리 또는 생산 관리 등에 활용할 수 있다. 반송부(76)에는 도시하지 않은 에어 부상 플레이트가 배치되어 유리 기판(24)이 부상되어 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 유리 기판(24)의 반송은 롤러 컨베이어로도 행할 수 있다.The board | substrate supply mechanism 45 is a board | substrate heating part (for example, heater) 74 arrange | positioned so that the glass substrate 24 may be fitted, and the conveyance part which conveys this glass substrate 24 to arrow Y direction ( 76 and a stop position detection sensor 78 for detecting a stop position of the rear end of the glass substrate 24. The substrate heating unit 74 constantly monitors the temperature of the glass substrate 24, and in the event of an abnormality, stops or alarms the conveying unit 76, and transmits abnormality information to transfer the abnormal glass substrate 24 in a later step. It can be used for NG emissions, quality control or production control. The air floating plate which is not shown in figure is arrange | positioned at the conveyance part 76, and the glass substrate 24 floats and is conveyed in the arrow Y direction. The conveyance of the glass substrate 24 can also be performed with a roller conveyor.

유리 기판(24)의 온도 측정은 기판 가열부(74) 내 또는 부착 위치 바로 앞에서 행하는 것이 바람직하다. 측정 방법으로서는 접촉식(예를 들면, 열전대) 외에 비접촉식이어도 좋다.It is preferable to perform temperature measurement of the glass substrate 24 in the board | substrate heating part 74 or just before an attachment position. As a measuring method, in addition to a contact type (for example, a thermocouple), a non-contact type may be sufficient.

부착 기구(46)는 상하에 배치됨과 아울러, 소정 온도로 가열되는 고무 롤러(압착 롤러)(80a, 80b)를 구비한다. 고무 롤러(80a, 80b)에는 백업 롤러(82a, 82b)가 슬라이딩 접촉한다. 한쪽의 백업 롤러(82b)는 롤러 클램프부(83)를 구성하는 가 압 실린더(84)에 의해 고무 롤러(80b)측에 가압된다.The attachment mechanism 46 is provided above and below, and is provided with the rubber roller (compression roller) 80a, 80b heated to predetermined temperature. The backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. One backup roller 82b is pressed by the pressure cylinder 84 which comprises the roller clamp part 83 to the rubber roller 80b side.

유리 기판(24)은 부착 기구(46)로부터 화살표(Y) 방향으로 연장되는 반송로(88)를 통해 반송된다. 이 반송로(88)에는 필름 반송 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(92)가 배치된다. 고무 롤러(80a, 80b)와 기판 반송 롤러(92)의 간격은 유리 기판(24)의 1매분의 길이 이하로 설정되는 것이 바람직하다.The glass substrate 24 is conveyed through the conveyance path 88 extended from the attachment mechanism 46 to the arrow Y direction. Film conveyance rollers 90a and 90b and the substrate conveyance roller 92 are arrange | positioned at this conveyance path 88. As shown in FIG. It is preferable that the space | interval of the rubber roller 80a, 80b and the board | substrate conveyance roller 92 is set to the length of one sheet or less of the glass substrate 24.

도 4에 나타내는 바와 같이, 필름 반송 장치(48)는 유닛 본체(94)를 구비하고, 이 유닛 본체(94)는 구동 기구(96)를 통해 반송 방향{화살표(Y) 방향} 및 반송 반대 방향{화살표(Z) 방향}으로 이동할 수 있다. 구동 기구(96)는 가설대(98)에 장착되는 모터(100)를 구비하고, 이 모터(100)에 연결되어 수평 방향으로 연장되는 볼 나사(102)는 가설대(98)에 회전 가능하게 지지된다. 볼 나사(102)는 유닛 본체(94)의 하부에 형성되는 너트부(104)에 나사 결합됨과 아울러, 상기 유닛 본체(94)는 가이드 레일(105) 상에 진퇴 가능하게 탑재된다. 또한, 구동 기구(96)는 유닛 본체(94)에 장착되는 자주식 구동부에 의해 구성되어도 좋다. As shown in FIG. 4, the film conveying apparatus 48 is provided with the unit main body 94, This unit main body 94 conveys direction (arrow (Y) direction) and a conveyance opposite direction through the drive mechanism 96. As shown in FIG. Move in the {arrow (Z) direction} direction. The drive mechanism 96 includes a motor 100 mounted to the temporary stand 98, and the ball screw 102 connected to the motor 100 and extending in the horizontal direction is rotatable to the temporary stand 98. Supported. The ball screw 102 is screwed to the nut part 104 formed in the lower part of the unit main body 94, and the unit main body 94 is mounted on the guide rail 105 so as to be retractable. In addition, the drive mechanism 96 may be comprised by the self propellered drive part attached to the unit main body 94. FIG.

유닛 본체(94) 내에는 각 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 절단 기구(106)가 수용된다. 이 절단 기구(106)는 긴 형상 감광성 웹(22)을 폭 방향으로 절단하는 커터(108)와, 상기 커터(108)에 대향해서 승강 가능한 필름 가압부(110)를 구비한다.In the unit main body 94, the inter-substrate cutting mechanism 106 which cuts the elongate photosensitive web 22 between each glass substrate 24 is accommodated. This cutting mechanism 106 is provided with the cutter 108 which cut | disconnects the elongate photosensitive web 22 in the width direction, and the film press part 110 which can raise and fall facing the said cutter 108. As shown in FIG.

절단 기구(106)의 반송 방향{화살표(Y) 방향} 상류측에는 제 1 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 제 2 필름 반송 롤러쌍(112b)이 배치됨과 아울러, 상기 절단 기구(106)의 반송 방향 하류측에는 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)이 배치된다.In the conveyance direction (arrow (Y) direction) upstream of the cutting mechanism 106, while the 1st film conveyance roller pair 112a and the 2nd film conveyance roller pair 112b are arrange | positioned, the conveyance direction of the said cutting mechanism 106 On the downstream side, the third film conveying roller pair 112c is disposed.

제 1 필름 반송 롤러쌍(112a)~제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)은 구동 롤러(114a, 114b 및 114c)와, 종동 롤러(116a, 116b 및 116c)를 구비한다. 구동 롤러(114a~114c)에는 긴 형상 감광성 웹(22)을 반송 방향으로 송출하기 위한 필름 송출 방향{화살표(C) 방향}으로 회전 토크를 부여하는 토크 모터(118a~118c)가 연결된다. 종동 롤러(116a~116c)는 실린더(120a~120c)를 통해 구동 롤러(114a~114c)에 대해서 근접 및 이간되는 방향으로 변위할 수 있다.The 1st film conveyance roller pair 112a-the 3rd film conveyance roller pair 112c are equipped with the drive roller 114a, 114b, and 114c, and the driven roller 116a, 116b, and 116c. Torque motors 118a to 118c are applied to the driving rollers 114a to 114c to impart rotational torque in the film feeding direction (arrow C direction) for feeding the elongate photosensitive web 22 in the conveying direction. The driven rollers 116a to 116c may be displaced in a direction of being close to and separated from the driving rollers 114a to 114c through the cylinders 120a to 120c.

제 1 필름 반송 롤러쌍(112a)과 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c) 사이에는 반송로(88)를 따라 가이드 판(122a, 122b)이 절단 기구(106)를 사이에 두고 배치된다. 절단 기구(106)의 하류측에 배치되는 가이드판(122b) 상에는 긴 형상 감광성 웹(22)이 슬라이딩 접촉하는 상면부에 대응해서 벨트재(124)가 부착된다. 벨트재(124)는 예를 들면, 폴리에스테르 범포에 우레탄을 코팅함과 아울러, 표면에 메시 형상의 미세한 요철이 형성되어 있다. 가이드판(122b)의 상방에는 제전 바(126)가 필요에 따라서 배치된다.Guide plates 122a and 122b are disposed between the first film conveying roller pair 112a and the third film conveying roller pair 112c along the conveying path 88 with the cutting mechanism 106 interposed therebetween. On the guide plate 122b disposed downstream of the cutting mechanism 106, the belt member 124 is attached to the upper surface portion on which the elongate photosensitive web 22 is in sliding contact. The belt member 124 is, for example, coated with urethane on a polyester canvas, and fine irregularities of mesh shape are formed on the surface thereof. The antistatic bar 126 is arrange | positioned above the guide plate 122b as needed.

제 3 필름 반송 롤러쌍(12c)의 하류 근방에는 회전 롤러(128)가 설치된다. 회전 롤러(128)는 모터(130)를 통해 회전 구동됨과 아울러, 실린더(132)의 작용하에 승강 가능하며, 배출되는 긴 형상 감광성 웹(22){이하, 배출 필름(22a)이라고도 함}을 반송로(88)로부터 분기되는 집적로(134)로 안내한다.The rotary roller 128 is provided in the downstream vicinity of the 3rd film conveyance roller pair 12c. The rotary roller 128 is rotationally driven through the motor 130 and is capable of lifting and lowering under the action of the cylinder 132 and conveying the discharged long-shaped photosensitive web 22 (hereinafter also referred to as discharge film 22a). Guide to an aggregating furnace 134 branching from the furnace 88.

집적로(134)에는 배출 필름(22a)을 집적 상자(집적 부위)(136)로 반송하는 필름 이송 기구(138)가 배치된다. 필름 이송 기구(138)는 각각 모터(140a, 140b)를 통해 둘레 주행되는 안내 벨트(142a, 142b)를 구비한다. 집적 상자(136) 내에는 대 전 접착 방지재(144)가 설치됨과 아울러, 바닥면에는 경사면(146)이 형성된다.The film conveyance mechanism 138 which conveys the discharge film 22a to the accumulation box (integrated part) 136 is arrange | positioned in the accumulation path 134. As shown in FIG. The film conveying mechanism 138 is provided with guide belts 142a and 142b which are circumferentially run through the motors 140a and 140b, respectively. An anti-adhesion material 144 is installed in the integrated box 136, and an inclined surface 146 is formed on the bottom surface.

유닛 본체(94) 내에는 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)의 출구 근방에 제 1 필름 검출 센서(148)가 배치됨과 아울러, 필름 이송 기구(138)의 하부측에는 제 2 필름 검출 센서(150)가 배치된다. 제 1 필름 검출 센서(148) 및 제 2 필름 검출 센서(150)는 예를 들면, 투과형의 광센서이며, 온(차광)으로 됨으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 존재를 검출한다.In the unit main body 94, the first film detection sensor 148 is disposed near the outlet of the third film conveying roller pair 112c, and the second film detection sensor 150 is disposed on the lower side of the film transfer mechanism 138. Is placed. The 1st film detection sensor 148 and the 2nd film detection sensor 150 are a transmissive optical sensor, for example, and it detects the presence of the elongate photosensitive web 22 by being turned on (shielding).

도 1에 나타내는 바와 같이, 제조 시스템(20)에서는 웹 송출 기구(32), 가공 기구(36), 라벨 접착 기구(40), 리저버 기구(42), 박리 기구(44) 및 텐션 제어 기구(66)가 부착 기구(46)의 상방에 배치되어 있지만 이것과는 반대로 상기 웹 송출 기구(32)로부터 상기 텐션 제어 기구(66)까지를 상기 부착 기구(46)의 하방에 배치하고, 긴 형상 감광성 웹(22)의 상하가 반대로 되어 감광성 수지층(28)을 유리 기판(24)의 하측에 부착하는 구성이어도 좋고, 또한, 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송로를 직선 형상으로 구성해도 좋다.As shown in FIG. 1, in the manufacturing system 20, the web delivery mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, and the tension control mechanism 66 ) Is disposed above the attachment mechanism 46, but on the contrary, the web delivery mechanism 32 to the tension control mechanism 66 is disposed below the attachment mechanism 46 to form an elongated photosensitive web. The structure of attaching the photosensitive resin layer 28 to the lower side of the glass substrate 24 may be sufficient as the up-and-down of 22, and the conveyance path of the elongate photosensitive web 22 may be comprised linearly.

제조 시스템(20) 내는 구획벽(160)을 통해 제 1 클린룸(162a)과 제 2 클린룸(162b)으로 구획된다. 제 1 클린룸(162a)과 제 2 클린룸(162b)은 관통부(164)를 통해 연통된다. 제조 시스템(20)은 제어부(166)를 통해 제어된다.The interior of the manufacturing system 20 is partitioned into a first clean room 162a and a second clean room 162b through partition walls 160. The first clean room 162a and the second clean room 162b communicate with each other through the through part 164. The manufacturing system 20 is controlled via the control unit 166.

이렇게 구성되는 제조 시스템(20)의 동작에 대해서 본 실시형태에 따른 반송 방법과의 관련에 의해 설명한다.The operation of the manufacturing system 20 configured as described above will be described with reference to the conveying method according to the present embodiment.

우선, 웹 송출 기구(32)에 부착되어 있는 감광성 웹롤(23)로부터 긴 형상 감광성 웹(22)이 송출된다. 긴 형상 감광성 웹(22)은 가공 기구(36)로 반송된다.First, the elongate photosensitive web 22 is sent out from the photosensitive web roll 23 attached to the web delivery mechanism 32. The elongate photosensitive web 22 is conveyed to the processing mechanism 36.

가공 기구(36)에서는 둥근날(52a, 52b)이 긴 형상 감광성 웹(22)의 폭 방향으로 이동해서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 보호 필름(30)으로부터 감광성 수지층(28) 내지 가요성 베이스 필름(26)까지 절개한다. 이것에 의해 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)만큼 이간되는 하프컷 부위(34a, 34b)가 형성되어고, 긴 형상 감광성 웹(22)에는 상기 잔존 부분(B)을 사이에 두고 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)이 형성된다(도 2 참조).In the processing mechanism 36, the round blades 52a and 52b move in the width direction of the elongate photosensitive web 22 to move the elongate photosensitive web 22 from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 to the flexible. The incision to the base film 26 is cut. As a result, half-cut portions 34a and 34b spaced apart by the width M of the remaining portion B of the protective film 30 are formed, and the remaining portion B is formed in the elongated photosensitive web 22. A peeling part A on the front side and a peeling part A on the back side are formed in between (refer FIG. 2).

이어서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 라벨 접착 기구(40)로 반송되고, 보호 필름(30)의 소정의 부착 부위가 수용대(56) 상에 배치된다. 라벨 접착 기구(40)에서는 소정 매수의 접착 라벨(38)이 흡착 패드(54b~54g)에 의해 흡착 유지된다. 그리고, 각 접착 라벨(38)은 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)에 걸쳐서 전방의 박리 부분(A)과 후방의 박리 부분(A)에 일체적으로 접착된다(도 3 참조).Subsequently, the elongate photosensitive web 22 is conveyed to the label adhesive mechanism 40, and the predetermined attachment part of the protective film 30 is arrange | positioned on the accommodating stand 56. In the label adhesion mechanism 40, the predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorption pads 54b to 54g. And each adhesive label 38 is integrally adhere | attached on the peeling part A of the front and the peeling part A of the back over the remaining part B of the protective film 30 (refer FIG. 3).

예를 들면, 7장의 접착 라벨(38)이 접착된 긴 형상 감광성 웹(22)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 리저버 기구(42)를 통해 송출측의 텐션 변동을 방지한 후, 박리 기구(44)에 연속적으로 반송된다. 박리 기구(44)에서는 긴 형상 감광성 웹(22)의 가요성 베이스 필름(26)이 석션 드럼(62)에 흡착 유지됨과 아울러, 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 상기 긴 형상 감광성 웹(22)으로부터 박리된다. 이 보호 필름(30)은 박리 롤러(63)를 통해 박리되어 보호 필름 권취부(64)에 권취된다(도 1 참조).For example, as shown in FIG. 1, the elongate photosensitive web 22 to which the seven adhesive labels 38 adhere | attached prevents the tension fluctuation of the sending side via the reservoir mechanism 42, and then removes the peeling mechanism ( Is conveyed continuously. In the peeling mechanism 44, the flexible base film 26 of the elongate photosensitive web 22 is adsorbed and held on the suction drum 62, and the protective film 30 leaves the remaining portion B, and the elongated photosensitive It peels off the web 22. This protective film 30 is peeled off through the peeling roller 63 and wound up by the protective film winding part 64 (refer FIG. 1).

박리 기구(44)의 작용하에 보호 필름(30)이 잔존 부분(B)을 남기고 가요성 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후, 긴 형상 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(66) 에 의해 텐션 조정이 행해진다.After the protective film 30 is peeled from the flexible base film 26 under the action of the peeling mechanism 44, leaving the remaining portion B, the elongated photosensitive web 22 is tensioned by the tension control mechanism 66. Adjustment is made.

이어서, 긴 형상 감광성 웹(22)은 부착 기구(46)로 반송됨으로써 유리 기판(24)에 대한 감광성 수지층(28)의 열전사 처리(라미네이트)가 행해진다. 부착 기구(46)에서는 미리 고무 롤러(80a, 80b)가 이간된 상태로 설정되어 있다. 그리고, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에 긴 형상 감광성 웹(22)의 하프컷 부위(34a)가 위치 결정된 상태에서 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 반송이 일단 정지된다.Subsequently, the elongate photosensitive web 22 is conveyed to the attachment mechanism 46, and the thermal transfer process (lamination) of the photosensitive resin layer 28 with respect to the glass substrate 24 is performed. In the attachment mechanism 46, the rubber rollers 80a and 80b are set in the state separated from previously. And the conveyance of the said elongate photosensitive web 22 is stopped once in the state in which the half cut part 34a of the elongate photosensitive web 22 was positioned in the predetermined position between rubber rollers 80a and 80b.

또한, 기판 공급 기구(45)를 구성하는 기판 가열부(74)에 의해 소정 온도로 가열된 유리 기판(24)의 선단부가 반송부(76)에 의해 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 반입되면 가압 실린더(84)의 작용하에 백업 롤러(82b) 및 고무 롤러(80b)가 상승된다. 따라서, 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)은 고무 롤러(80a, 80b) 사이에 소정의 프레스 압력으로 끼워 넣어진다. 또한, 고무 롤러(80a, 80b)는 소정의 라미네이트 온도로 가열되어 있다.Moreover, when the front-end | tip part of the glass substrate 24 heated by the board | substrate heating part 74 which comprises the board | substrate supply mechanism 45 is carried in between the rubber rollers 80a and 80b by the conveyance part 76, Under the action of the pressure cylinder 84, the backup roller 82b and the rubber roller 80b are raised. Thus, the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are sandwiched between the rubber rollers 80a and 80b at a predetermined press pressure. In addition, the rubber rollers 80a and 80b are heated by predetermined | prescribed lamination temperature.

다음에, 고무 롤러(80a, 80b)가 회전하고, 유리 기판(24) 및 긴 형상 감광성 웹(22)이 화살표(Y) 방향으로 반송된다. 이것에 의해 감광성 수지층(28)이 가열 용융되어 유리 기판(24)에 열전사(라미네이트)된다.Next, the rubber rollers 80a and 80b rotate, and the glass substrate 24 and the elongate photosensitive web 22 are conveyed in the arrow Y direction. Thereby, the photosensitive resin layer 28 is melted by heat, and is thermally transferred (laminated) to the glass substrate 24.

또한, 라미네이트 조건으로서는 속도가 1.0m/min~10.0m/min, 고무 롤러(80a, 80b)의 온도가 80℃~140℃, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 고무 경도가 40도~90도, 상기 고무 롤러(80a, 80b)의 프레스압(선압)이 50N/㎝~400N/㎝이다.Moreover, as lamination conditions, the speed is 1.0 m / min-10.0 m / min, the temperature of the rubber rollers 80a, 80b is 80 degreeC-140 degreeC, and the rubber hardness of the said rubber rollers 80a, 80b is 40 degree-90 degree The press pressures (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b are 50 N / cm to 400 N / cm.

유리 기판(24)에 대해서 긴 형상 감광성 웹(22)의 1매분의 라미네이트가 종 료되면 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다. 한편, 긴 형상 감광성 웹(22)이 라미네이트된 유리 기판(24)인 감광성 적층체(170)의 선단부는 기판 반송 롤러(92)에 의해 클램핑된다. 이 때, 고무 롤러(80a, 80b) 사이의 소정 위치에는 하프컷 부위(34b)가 배치된다.Rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped when the lamination of one sheet of the elongate photosensitive web 22 with respect to the glass substrate 24 is complete | finished. On the other hand, the front end of the photosensitive laminated body 170 which is the glass substrate 24 in which the elongate photosensitive web 22 was laminated is clamped by the board | substrate conveyance roller 92. As shown in FIG. At this time, the half cut part 34b is arrange | positioned in the predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b.

그리고, 고무 롤러(80b)는 고무 롤러(80a)로부터 이간되는 방향으로 퇴피해서 클램프가 해제됨과 아울러, 기판 반송 롤러(92)의 회전이 저속으로 다시 개시된다. 감광성 적층체(170)는 화살표(Y) 방향으로 보호 필름(30)의 잔존 부분(B)의 폭(M)에 대응하는 거리만큼 반송되고, 다음의 하프컷 부위(34a)가 고무 롤러(80a)의 하방 부근의 소정 위치로 반송된 후, 고무 롤러(80a, 80b)의 회전이 정지된다.And the rubber roller 80b is evacuated in the direction away from the rubber roller 80a, a clamp is released, and rotation of the board | substrate conveyance roller 92 is restarted at low speed again. The photosensitive laminated body 170 is conveyed by the distance corresponding to the width | variety M of the remaining part B of the protective film 30 in the arrow Y direction, and the next half cut part 34a is a rubber roller 80a. After being conveyed to the predetermined position of the vicinity of (), rotation of the rubber rollers 80a and 80b is stopped.

한편, 상기 상태에 있어서 기판 공급 기구(45)를 통해 다음 유리 기판(24)이 부착 위치를 향해서 반송된다. 이상의 동작이 반복됨으로써 감광성 적층체(170)가 연속적으로 제조된다.On the other hand, the next glass substrate 24 is conveyed toward the attachment position through the substrate supply mechanism 45 in the said state. By repeating the above operation, the photosensitive laminated body 170 is continuously manufactured.

부착 기구(46)에 의해 라미네이트된 감광성 적층체(170)는 유닛 본체(94) 내에 수용되어 있는 절단 기구(106)에 의해 유리 기판(24) 사이의 긴 형상 감광성 웹(22)이 절단됨으로써 분리된다. 분리된 감광성 적층체(170)에는 가요성 베이스 필름(26)이 장착되어 있고, 이 가요성 베이스 필름(26)이 유리 기판(24) 사이의 보호 필름(30)과 함께 박리된 후, 다음 처리 공정에 공급된다.The photosensitive laminate 170 laminated by the attachment mechanism 46 is separated by cutting the elongate photosensitive web 22 between the glass substrates 24 by the cutting mechanism 106 accommodated in the unit body 94. do. The separated photosensitive laminated body 170 is equipped with the flexible base film 26, and this flexible base film 26 is peeled with the protective film 30 between the glass substrates 24, and then processed. Supplied to the process.

그런데, 상기 제조 시스템(20)에서는 긴 형상 감광성 웹(22)만을 반송로(88)를 따라 반송하는 경우가 있다. 예를 들면, 자동 운전에 의해 라미네이트를 개시할 때에는 소정 매수만큼의 긴 형상 감광성 웹(22)을 집적 상자(136)에 폐기함과 아울 러, 절단 기구(106)에 의해 절단하고, 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단부를 상기 절단 기구(106)에 대응해서 배치하는 경우이다.By the way, in the said manufacturing system 20, only the elongate photosensitive web 22 may be conveyed along the conveyance path 88. For example, when starting lamination by automatic operation, in addition to discarding the predetermined number of long shape photosensitive webs 22 in the accumulation box 136, it cuts by the cutting mechanism 106, and the said elongate shape This is a case where the distal end portion of the photosensitive web 22 is disposed corresponding to the cutting mechanism 106.

한편, 자동 운전을 중단하기 위해서 라미네이트 처리를 일단 정지시켜 라미네이트 후의 유리 기판(24)을 배출한 직후에 자동 운전을 개시하는 경우도 동일하다.On the other hand, in order to stop automatic operation, the lamination process is stopped once and automatic operation is started immediately after discharging the glass substrate 24 after lamination.

또한, 상기 자동 운전 중에 유리 기판(24)이 기판 공급 기구(45)로부터 부착 기구(46)에 공급되지 않을 때, 고무 롤러(80a)에 의해 가열된 긴 형상 감광성 웹(22)을 예를 들면, 1매분 제거하기 위해서 반송하는 경우이다.In addition, when the glass substrate 24 is not supplied from the board | substrate supply mechanism 45 to the attachment mechanism 46 during the said automatic operation, the elongate photosensitive web 22 heated by the rubber roller 80a may be taken as an example. It is a case where it conveys in order to remove 1 minute.

또한, 수동 조작에 의해 긴 형상 감광성 웹(22)을 집적 상자(136)에 배출시킨 후, 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 절단 기구(106)에 의해 절단하는 경우이다.Moreover, it is a case where the said elongate photosensitive web 22 is cut | disconnected by the cutting mechanism 106, after discharging the elongate photosensitive web 22 to the integrated box 136 by manual operation.

그리고, 이러한 종류의 처리가 행해지는 경우, 긴 형상 감광성 웹(22)은 절단 기구(106)에 의해 절단된 상태로 정지되어 있다. 이 때문에 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단부는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제 2 필름 반송 롤러쌍(112b)과 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c) 사이에 배치되어 있다.And when this kind of process is performed, the elongate photosensitive web 22 is stopped in the state cut | disconnected by the cutting mechanism 106. FIG. For this reason, as shown in FIG. 5, the front end part of the said elongate photosensitive web 22 is arrange | positioned between the 2nd film conveyance roller pair 112b and the 3rd film conveyance roller pair 112c.

그래서, 본 실시형태에서는 긴 형상 감광성 웹(22)을 정지시킨 상태에서 유닛 본체(94)가 구동 기구(96)를 구성하는 모터(100)의 회전 작용하에 반송 반대 방향{화살표(Z) 방향}으로 이동을 개시한다. 그 때, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제 1 필름 반송 롤러쌍(112a)~제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)은 토크 모터(118a~118c)가 구동됨으로써 각 구동 롤러(114a~114c)가 화살표(C) 방향(필름 이송 방향)으로 회전 구동되어 있다. 이 때문에 제 1 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 제 2 필름 반송 롤 러쌍(112b)에서는 구동 롤러(114a, 114b)가 정지되어 있는 긴 형상 감광성 웹(22) 상을 미끄러지는 일 없이 회전하고 있어 박리 대전을 방지할 수 있다.Therefore, in the present embodiment, the unit main body 94 in the state of stopping the elongate photosensitive web 22 is stopped under the rotational action of the motor 100 constituting the drive mechanism 96 (the direction of the arrow Z). Start the move. At that time, as shown in FIG. 6, the torque motors 118a-118c drive the 1st film conveyance roller pair 112a-the 3rd film conveyance roller pair 112c, and each drive roller 114a-114c has an arrow. It is rotationally driven in the direction (C) (film feed direction). For this reason, in the 1st film conveyance roller pair 112a and the 2nd film conveyance roller pair 112b, it rotates without slipping on the elongate photosensitive web 22 in which the drive rollers 114a and 114b are stopped, and peeling off. The charging can be prevented.

한편, 유닛 본체(94)가 화살표(Z) 방향으로 이동할 때, 회전 롤러(128) 및 안내 벨트(142a, 142b)는 각각 회전 구동되어 있다. 또한, 필름 가압부(110)는 일단 상승되어 있고, 긴 형상 감광성 웹(22)과 접촉하는 것을 방지하고 있다.On the other hand, when the unit main body 94 moves in the direction of the arrow Z, the rotary roller 128 and the guide belts 142a and 142b are respectively rotated and driven. Moreover, the film press part 110 is raised up once, and is preventing contact with the elongate photosensitive web 22. As shown in FIG.

유닛 본체(94)가 화살표(Z) 방향으로 이동함으로써 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)은 회전하면서 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단부를 사이에 끼운다. 따라서, 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단부는 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)에 대해서 화살표(Y) 방향으로 상대적으로 인출된다.As the unit body 94 moves in the direction of the arrow Z, the third film conveying roller pair 112c is sandwiched between the distal ends of the elongate photosensitive web 22 while rotating. Therefore, the front end of the elongate photosensitive web 22 is drawn out relatively in the arrow Y direction with respect to the 3rd film conveyance roller pair 112c.

여기에서, 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)의 출구 근방에 배치되어 있는 제 1 필름 검출 센서(148)가 차광(온)되면 이 제 1 필름 검출 센서(148)의 차광 타이밍으로부터 도시하지 않은 타이머에 의해 계시가 행해진다. 그리고, 소정의 시간만큼 경과한 후, 회전 롤러(128)가 실린더(132)의 작용하에 하강된다(도 7 참조).Here, when the 1st film detection sensor 148 arrange | positioned near the exit of the 3rd film conveyance roller pair 112c is light-shielded (on), the timer which is not shown from the light-shielding timing of this 1st film detection sensor 148 is shown. By means of revelation. Then, after the predetermined time elapses, the rotating roller 128 is lowered under the action of the cylinder 132 (see FIG. 7).

또한, 이 타이머는 회전 롤러(128)를 하강시키는 타이밍을 설정함으로써 긴 형상 감광성 웹(22)의 선단부의 돌출량을 적정한 범위 내로 유지하는 기능을 갖는 한편, 상기 긴 형상 감광성 웹(22)의 막힘에 의한 설비의 정지를 행하기 위한 이상 검출 수단으로서의 기능도 갖는다.In addition, this timer has a function of maintaining the protrusion amount of the tip of the elongate photosensitive web 22 within an appropriate range by setting the timing for lowering the rotary roller 128, while the elongated photosensitive web 22 is blocked. It also has a function as an abnormality detection means for stopping the installation by the.

회전 롤러(128)가 하강되는 타이밍에서 유닛 본체(94)의 화살표(Z) 방향으로의 이동을 정지시킴과 아울러, 필름 반송 롤러(90a, 90b)가 구동되어 긴 형상 감광성 웹(22)의 화살표(Y) 방향으로의 반송을 개시한다. 회전 롤러(128)는 배출 필 름(22a)이 절단 기구(106)에 의해 절단된 후, 제 1 필름 검출 센서(148)가 오프(투과)로 되었을 때에 실린더(132)를 통해 상승된다.At the timing when the rotary roller 128 is lowered, the movement of the unit body 94 in the direction of the arrow Z is stopped, and the film conveying rollers 90a and 90b are driven to drive the arrow of the elongate photosensitive web 22. The conveyance in the (Y) direction is started. The rotary roller 128 is lifted up through the cylinder 132 when the first film detection sensor 148 is turned off (transmissive) after the discharge film 22a is cut by the cutting mechanism 106.

한편, 회전 롤러(128)를 통해 반송로(88)로부터 집적로(134)에 이송되는 배출 필름(22a)의 선단부는 안내 벨트(142a, 142b) 사이로 반송된다. 따라서, 배출 필름(22a)은 안내 벨트(142a, 142b)의 안내 작용하에 집적 상자(136) 내에 이송됨과 아울러, 이 집적 상자(136) 내의 경사면(146)의 경사를 따라 양호하게 집적된다. 그 때, 집적 상자(136)의 내면측에는 대전 접착 방지재(144)가 설치되어 있고, 상기 집적 상자(136) 내에 배출 필름(22a)을 원하는 집적 자세로 확실하게 집적할 수 있다.On the other hand, the tip end of the discharge film 22a conveyed from the conveyance path 88 to the integration path 134 via the rotating roller 128 is conveyed between guide belts 142a and 142b. Accordingly, the discharge film 22a is conveyed in the integration box 136 under the guiding action of the guide belts 142a and 142b, and is well integrated along the inclination of the inclined surface 146 in the integration box 136. At that time, the antistatic adhesive material 144 is provided on the inner surface side of the integration box 136, and the discharge film 22a can be reliably integrated in the integration box 136 in a desired integration posture.

안내 벨트(142a, 142b)의 하부측에는 제 2 필름 검출 센서(150)가 설치되어 있다. 이 제 2 필름 검출 센서(150)를 통해 안내 벨트(142a, 142b) 사이에 규정량의 배출 필름(22a)이 반송된 것이 검출되면 필름 반송 롤러(90a, 90b)에 의한 웹 이송이 일단 정지된다. 안내 벨트(142a, 142b) 사이에 소정량 이상의 배출 필름(22a)이 반송되면 이 배출 필름(22a)이 집적 상자(136)로부터 밀려나오는 등의 문제가 발생되기 때문이다.The second film detection sensor 150 is provided on the lower side of the guide belts 142a and 142b. When it is detected that the discharge film 22a of the prescribed amount is conveyed between the guide belts 142a and 142b through the second film detection sensor 150, the web feed by the film conveying rollers 90a and 90b is once stopped. . This is because when the discharge film 22a of a predetermined amount or more is conveyed between the guide belts 142a and 142b, the discharge film 22a is pushed out of the integrated box 136.

이 경우, 본 실시형태에서는 선단부가 절단 기구(106)에 대응해서 배치되어 있는 배출 필름(22a)을 집적 상자(136)에 배출할 때, 이 배출 필름(22a)이 정지된 상태에서 제 1 필름 반송 롤러쌍(112a)~제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)을 필름 이송 방향으로 회전시키면서 유닛 본체(94)가 반송 반대 방향{화살표(Z) 방향}으로 이동하고 있다.In this case, in this embodiment, when discharging | discharging the discharge film 22a by which the front-end | tip is arrange | positioned corresponding to the cutting mechanism 106 to the accumulation box 136, a 1st film is in the state which this discharge film 22a stopped. The unit main body 94 is moving in the conveyance opposite direction (arrow Z direction), rotating the conveying roller pair 112a-the 3rd film conveying roller pair 112c in the film conveyance direction.

이 때문에 유닛 본체(94)를 정지시킨 상태에서 제 1 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 제 2 필름 반송 롤러쌍(112b)의 회전 작용하에 배출 필름(22a)을 화살표(Y) 방향으로 반송하는 경우에 비해서 박리 대전 등을 양호하게 방지함과 아울러, 상기 배출 필름(22a)을 원하는 평면 형상으로 유지할 수 있다. 따라서, 배출 필름(22a)의 선단부를 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)에 보다 확실하게 파지하는 것이 가능해져 상기 배출 필름(22a)의 막힘을 가급적으로 저지할 수 있다.For this reason, when conveying the discharge film 22a to the arrow Y direction under the rotation action of the 1st film conveyance roller pair 112a and the 2nd film conveyance roller pair 112b in the state which stopped the unit main body 94. FIG. In comparison with the above, the discharge film 22a can be maintained in a desired planar shape while being able to prevent peeling charging and the like. Therefore, the tip part of the discharge film 22a can be gripped more reliably by the 3rd film conveyance roller pair 112c, and the clogging of the said discharge film 22a can be prevented as much as possible.

이것에 의해 필름 반송 장치(48)는 간단한 구성 및 공정으로 배출 필름(22a)의 선단부를 확실하게 유지하고, 상기 배출 필름(22a)을 반송로(88)로부터 집적로(134)를 따라 원활하고 또한 확실하게 반송하는 것이 가능해진다는 효과가 얻어진다. 또한, 상기 처리는 긴 형상 감광성 웹(22){배출 필름(22a)}만을 반송하는 동작이 필요한 각종의 상황에 있어서 마찬가지로 행해진다.Thereby, the film conveying apparatus 48 reliably keeps the front-end | tip of the discharge film 22a with a simple structure and process, and it is smooth to move the said discharge film 22a along the integration path 134 from the conveyance path 88. Moreover, the effect that it becomes possible to convey reliably is acquired. In addition, the said process is performed similarly in various situations in which the operation | movement which conveys only elongate photosensitive web 22 (exhaust film 22a) is required.

또한, 제 1 필름 검출 센서(148) 및 제 2 필름 검출 센서(150)를 사용함으로써 이하에 나타내는 각종 기능을 가질 수 있다.Moreover, it can have various functions shown below by using the 1st film detection sensor 148 and the 2nd film detection sensor 150. FIG.

우선, 제 1 필름 검출 센서(148)와 제 2 필름 검출 센서(150)가 모두 배출 필름(22a)을 검출했을 때(온)에는 유닛 본체(94)의 화살표(Z) 방향으로의 이동을 정지함과 아울러, 필름 반송 롤러(90a, 90b)를 구동시켜 상기 배출 필름(22a)의 이송 동작을 가능하게 한다.First, when both the first film detection sensor 148 and the second film detection sensor 150 detect the discharge film 22a (on), the movement in the direction of the arrow Z of the unit main body 94 is stopped. In addition, the film conveying rollers 90a and 90b are driven to enable the conveying operation of the discharge film 22a.

또한, 제 1 필름 검출 센서(148)만이 온으로 된 경우, 원점 복귀 동작을 행하여 제 2 필름 검출 센서(150)가 온으로 되는지의 여부를 검출한다. 그리고, 일정 시간만큼 경과해도 제 2 필름 검출 센서(150)가 온으로 되지 않은 경우에는 집적 로(134)에서 배출 필름(22a)에 막힘 이상이 발생되어 있다고 판단한다.In addition, when only the 1st film detection sensor 148 is turned on, an origin return operation is performed and it detects whether the 2nd film detection sensor 150 is turned on. And when the 2nd film detection sensor 150 does not turn on even if it passes for a fixed time, it determines with the clogging abnormality generate | occur | producing in the discharge film 22a in the integration furnace 134.

또한, 일정 시간만큼 경과해도 제 1 필름 검출 센서(148)가 오프(투과)이며 또한 제 2 필름 검출 센서(150)가 온(차광)인 경우에는 집적로(134)에 배출 필름(22a)의 막힘 이상이 발생되어 있다고 판단된다.In addition, when the 1st film detection sensor 148 is off (transmission) and the 2nd film detection sensor 150 is ON (shielding) even if it passes for a fixed time, the discharge film 22a of the discharge film 22a will be carried out. It is judged that clogging abnormality has occurred.

또한, 배출 필름(22a)을 안내 벨트(142a, 142b)측으로 반송하는 동작이 행해진 후, 일정 시간만큼 경과해도 제 1 필름 검출 센서(148)와 제 2 필름 검출 센서(150)가 각각의 타이밍에서 온으로 되지 않은 경우, 상기 배출 필름(22a)에 막힘 이상이 발생되어 있다고 판단된다.In addition, after the operation | movement which conveys the discharge film 22a to the guide belt 142a, 142b side is performed, even if it passes for a fixed time, the 1st film detection sensor 148 and the 2nd film detection sensor 150 will be in each timing. If it is not turned on, it is determined that clogging abnormality has occurred in the discharge film 22a.

또한, 집적 상자(136)의 상부에 배출 필름 막힘 검출 및 만배(滿杯) 검출을 행하는 센서(172)를 배치할 수 있다. 이 센서(172)는 배출 필름(22a)의 배출 동작중에는 온(차광)으로 되어 있고, 이 배출 필름(22a)의 이송 완료 후에 기판간 컷팅을 행하고, 타이머로부터의 타이밍에 의해 오프(투과)로 되지 않은 경우에 경보를 발생시킨다. 또한, 타이머로부터의 타이밍은 제 3 필름 반송 롤러쌍(112c)과 안내 벨트(142a, 142b)를 통해 배출 필름(22a)의 후단이 집적 상자(136)에 낙하되는 정도의 시간으로 설정된다.Moreover, the sensor 172 which performs discharge film clogging detection and full magnification detection can be arrange | positioned in the upper part of the integration box 136. FIG. The sensor 172 is turned on (light-shielding) during the discharge operation of the discharge film 22a. After the transfer of the discharge film 22a is completed, the sensor 172 is cut between substrates and turned off (transmission) by timing from a timer. If not, generate an alarm. In addition, the timing from a timer is set to the time to which the rear end of the discharge film 22a falls to the integration box 136 via the 3rd film conveyance roller pair 112c and the guide belts 142a and 142b.

또한, 본 실시형태에서는 배출 필름(22a)이 정전기에 의해 접촉되는 부분에 대응해서 정전 대책이 행해지고 있다. 예를 들면, 가이드판(122b)의 상면에는 정전 대책용 벨트재(124)가 설치되어 있어 배출 필름(22a)의 정전 흡착을 저지할 수 있다.In addition, in this embodiment, the countermeasure against blackout is performed corresponding to the part which the discharge film 22a contacts by static electricity. For example, the belt material 124 for antistatic measures is provided in the upper surface of the guide plate 122b, and the electrostatic adsorption of the discharge film 22a can be prevented.

도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 필름 반송 장치를 장착하는 감광성 적층체의 제조 시스템의 개략 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram of the manufacturing system of the photosensitive laminated body which mounts the film conveyance apparatus which concerns on embodiment of this invention.

도 2는 상기 제조 시스템에 사용되는 긴 형상 감광성 웹의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an elongate photosensitive web used in the manufacturing system.

도 3은 긴 형상 감광성 웹에 접착 라벨이 접착된 상태의 설명도이다.3 is an explanatory view of a state in which an adhesive label is adhered to an elongate photosensitive web.

도 4는 상기 필름 반송 장치의 개략 구성 설명도이다.It is a schematic block diagram of the said film conveyance apparatus.

도 5는 상기 필름 반송 장치의 동작 설명도이다.5 is an operation explanatory diagram of the film conveying apparatus.

도 6은 상기 필름 반송 장치의 동작 설명도이다.6 is an operation explanatory diagram of the film conveying apparatus.

도 7은 상기 필름 반송 장치의 동작 설명도이다.7 is an operation explanatory diagram of the film conveying apparatus.

도 8은 종래 기술에 따른 드라이 레지스트 필름의 라미네이트 방법의 설명도이다.8 is an explanatory view of a lamination method of a dry resist film according to the prior art.

Claims (12)

정지되어 있는 필름(22)의 선단부를 유지하고, 상기 필름(22)을 반송로(88)를 따라 반송하기 위한 필름 반송 장치(48)로서:As the film conveying apparatus 48 for holding the tip part of the film 22 which is stopped, and conveying the said film 22 along the conveyance path 88: 상기 필름(22)을 절단하는 절단 기구(106), 상기 절단 기구(106)의 반송 방향 상류측에 배치되는 상류측 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 상기 절단 기구(106)의 반송 방향 하류측에 배치되는 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)이 수용되는 유닛 본체(94);On the cutting mechanism 106 which cuts the said film 22, the upstream film conveying roller pair 112a arrange | positioned at the conveyance direction upstream of the said cutting mechanism 106, and the conveyance direction downstream of the said cutting mechanism 106. A unit body 94 in which downstream film conveying roller pairs 112c disposed are accommodated; 상기 절단 기구(106)에 의해 절단된 상기 필름(22)의 선단부를 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c) 사이에 끼울 때에 상기 필름(22)이 정지된 상태에서 상기 유닛 본체(94)를 상기 반송로(88)를 따라 반송 방향과는 반대인 반송 반대 방향으로 이동시키는 구동 기구(96); 및When the front end of the film 22 cut by the cutting mechanism 106 is sandwiched between the downstream film conveying roller pair 112c, the unit main body 94 is held in the state where the film 22 is stopped. A drive mechanism 96 moving along the conveying path 88 in a conveying opposite direction opposite to the conveying direction; And 상기 유닛(94) 본체가 상기 반송 반대 방향으로 이동할 때에 상기 상류측 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)에 대해서 상기 필름(22)을 상기 반송 방향으로 송출하기 위한 필름 이송 방향으로 회전 토크를 부여하는 토크 모터(118a, 118b)를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.When the unit 94 main body moves in the opposite direction to the conveyance, the film 22 is conveyed in the conveying direction with respect to the upstream film conveying roller pair 112a and the downstream film conveying roller pair 112c. The film conveying apparatus characterized by including the torque motors (118a, 118b) which provide rotational torque in a film conveyance direction. 제 1 항에 있어서, 상기 유닛 본체(94)는 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)의 하류에 배치되고, 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)의 회전 작용하에 상기 반송로(88)를 따라 송출되는 상기 필름(22)의 선단부를 상기 반송로(88)로 부터 분기되는 집적로(134)로 안내하는 회전 롤러(128)를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.The said main unit 94 is arrange | positioned downstream of the said downstream side film conveying roller pair 112c, and moves the said conveyance path 88 under the rotation action of the said downstream side film conveying roller pair 112c. And a rotating roller (128) for guiding the tip of the film (22) to be sent out along the integration path (134) branched from the conveyance path (88). 제 2 항에 있어서, 상기 회전 롤러(128)는 실린더(132)의 작용하에 상기 집적로(134)에 대해서 진퇴 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.3. The film conveying apparatus according to claim 2, wherein the rotating roller (128) is configured to be able to move back and forth with respect to the integrated path (134) under the action of the cylinder (132). 제 2 항에 있어서, 상기 집적로(134)에는 상기 필름(22)을 집적 부위(136)로 반송하는 필름 이송 기구(138)가 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.The film conveying apparatus of Claim 2 in which the film conveyance mechanism (138) which conveys the said film (22) to the accumulation site | part 136 is arrange | positioned in the said accumulation path 134. 제 4 항에 있어서, 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)의 출구 근방에 배치되는 제 1 필름 검출 센서(148); 및5. The apparatus of claim 4, further comprising: a first film detection sensor (148) disposed near an exit of said downstream film conveying roller pair (112c); And 상기 필름 이송 기구(138)에 배치되는 제 2 필름 검출 센서(150)를 구비하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 장치.The film conveying apparatus characterized by including the 2nd film detection sensor (150) arrange | positioned at the said film conveyance mechanism (138). 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름은 지지체(26) 상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되는 긴 형상 감광성 웹(22)이며;The film according to any one of claims 1 to 5, wherein the film is an elongated photosensitive web (22) in which a photosensitive material layer (28) and a protective film (30) are sequentially laminated on a support (26); 상기 유닛 본체(94)는 상기 보호 필름(30)의 박리 부분을 박리한 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 송출해서 기판(24)에 부착하는 라미네이트 기구(46)의 하류에 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 반 송 장치.The unit main body 94 sends the elongate photosensitive web 22 from which the peeling portion of the protective film 30 is peeled between the heated pair of pressing rollers 80a and 80b to be attached to the substrate 24. A film conveying apparatus, characterized in that it is disposed downstream of the laminate mechanism (46). 정지되어 있는 필름(22)의 선단부를 유지하고, 상기 필름(22)을 반송로(88)를 따라 반송하기 위한 필름 반송 방법으로서:As a film conveying method for holding the tip of the film 22 that is stationary and conveying the film 22 along the conveying path 88: 상기 필름(22)을 정지시킨 상태에서 필름 반송 롤러쌍(112a)을 필름 이송 방향으로 회전시키면서 반송 방향과는 반대인 반송 반대 방향으로 이동시키는 공정; 및Moving the film conveying roller pair (112a) in the film conveying direction in the stopped state while moving the film 22 in the conveying opposite direction opposite to the conveying direction; And 상기 필름 반송 롤러쌍(112a) 사이에 상기 필름(22)의 선단부를 끼움과 아울러, 상기 필름 반송 롤러(112a)의 회전 작용하에 상기 필름(22)을 상기 반송 방향으로 송출하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.It has a process of fitting the front-end | tip of the said film 22 between the said film conveyance roller pairs 112a, and sending out the said film 22 to the said conveyance direction under the rotation action of the said film conveyance roller 112a. Film conveyance method made into. 제 7 항에 있어서, 상기 필름(22)을 절단하는 절단 기구(106), 상기 절단 기구(106)의 반송 방향 상류측에 배치되는 상류측 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 상기 절단 기구(106)의 반송 방향 하류측에 배치되는 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)이 수용되는 유닛 본체(94)를 상기 반송 반대 방향으로 이동시키면서 상기 상류측 필름 반송 롤러쌍(112a) 및 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)에 대해서 상기 필름(22)을 상기 반송 방향으로 송출하기 위한 필름 이송 방향으로 회전 토크를 부여하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.The cutting mechanism 106 which cuts the said film 22, the upstream film conveying roller pair 112a arrange | positioned in the conveyance direction upstream of the said cutting mechanism 106, and the said cutting mechanism 106 The upstream film conveying roller pair 112a and the downstream film conveying roller while moving the unit body 94 in which the downstream film conveying roller pair 112c disposed on the conveying direction downstream side of the conveying direction is opposite to the conveying direction. The film conveying method of providing a rotation torque to the film conveyance direction for sending out the said film 22 to the said conveyance direction with respect to a pair (112c). 제 8 항에 있어서, 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)의 회전 작용하에 상 기 필름(22)을 상기 반송 방향으로 송출하는 한편, 상기 필름(22)의 선단부를 회전 롤러(128)의 가압 및 회전 작용하에 상기 반송로(88)로부터 분기되는 집적로(134)로 안내하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.The film 22 is sent out in the conveying direction under the rotational action of the downstream film conveying roller pair 112c, while the tip of the film 22 is pressed by the rotating roller 128. And a conveying path (134) branched from the conveying path (88) under rotational action. 제 9 항에 있어서, 상기 회전 롤러(128)에 의해 상기 집적로(134)로 안내되는 상기 필름(22)을 필름 이송 기구(138)를 통해 집적 부위(136)로 반송하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.10. The film according to claim 9, wherein the film (22) guided to the integration path (134) by the rotating roller (128) is conveyed to the accumulation site (136) through a film transport mechanism (138). Bounce method. 제 10 항에 있어서, 상기 하류측 필름 반송 롤러쌍(112c)의 출구 근방에 배치되는 제 1 필름 검출 센서(148)에 의해 상기 필름(22)의 유무를 검출하는 공정; 및The process of Claim 10 which detects the presence or absence of the said film (22) by the 1st film detection sensor (148) arrange | positioned in the vicinity of the exit of the said downstream film conveying roller pair (112c); And 상기 필름 이송 기구(138)에 배치되는 제 2 필름 검출 센서(150)에 의해 상기 필름(22)의 유무를 검출하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.The film conveyance method characterized by having the process of detecting the presence or absence of the said film (22) by the 2nd film detection sensor (150) arrange | positioned at the said film conveyance mechanism (138). 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름은 지지체(26)상에 감광 재료층(28)과 보호 필름(30)이 순차적으로 적층되는 긴 형상 감광성 웹(22)이며;12. The film according to any one of claims 7 to 11, wherein the film is an elongated photosensitive web (22) in which a photosensitive material layer (28) and a protective film (30) are sequentially laminated on a support (26); 상기 보호 필름(30)의 박리 부분을 박리한 상기 긴 형상 감광성 웹(22)을 가열된 한쌍의 압착 롤러(80a, 80b) 사이에 송출해서 기판(24)에 부착하는 라미네이트 기구(46)의 하류에서 상기 유닛 본체(94)가 상기 반송 방향 및 상기 반송 반대 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 필름 반송 방법.The lamination mechanism 46 which sends the said elongate photosensitive web 22 which peeled the peeling part of the said protective film 30 between the heated pair of crimping rollers 80a and 80b, and attaches to the board | substrate 24, and is downstream. The unit main body (94) moves in the said conveyance direction and the said conveyance opposite direction in the film conveyance method characterized by the above-mentioned.
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