KR20080071068A

KR20080071068A - 전자 소자 운반 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20080071068A
Application number: KR1020070135709A
Authority: KR
Inventors: 지안 롱 리 창
Original assignee: 혼. 테크놀로지스, 인코포레이티드
Priority date: 2007-01-29
Filing date: 2007-12-21
Publication date: 2008-08-01
Also published as: CN101234704A; JP4879914B2; CN101234704B; JP2008185583A

Abstract

본 발명에 의한 전자 소자 운반 장치 및 방법은 검사 과정을 거치도록 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 분리된 하나 이상의 작업부, 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 한 쪽 면에 배치된 제1 입력 캐리어(carrier), 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 다른 한 쪽 면에 배치된 제2 입력 캐리어, 검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제1 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제1 수집 캐리어, 검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제2 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제2 수집 캐리어, 슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되어지고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제1 이동성 피커(picker), 슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되어지고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제2 이동성 피커로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

입력 캐리어(input carrier), 수집 캐리어(collecting carrier), 이동성 피커(movable picker)

Description

전자 소자 운반 장치 및 방법 {Device and Method for Carrying Electronic Elements}

제1도는 TW 93110783에 따른 종래 IC 검사 장치 어셈블리의 사시도이다.

제2도는 TW 93110783에 따른 종래 IC 검사 장치의 제1 피킹 메커니즘 어셈블리의 사시도이다.

제3도는 TW 93110783에 따른 종래 IC 검사 장치의 제2 피킹 메커니즘 어셈블리의 사시도이다.

제4도는 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치의 평면도이다.

제5도는 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치 어셈블리의 평면도이다.

제6도는 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치의 이동성 피커 어셈블리의 정면도이다.

제7도는 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치 작동부의 평면도이다.

제8도는 다음 단계의 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치 작동부의 평면도이다.

제9도는 다음다음 단계의 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치 작동부의 평면도이다.

제10도는 본 발명에 따른 다른 전자 소자 운반 장치 작동부의 평면도이다.

제11도는 본 발명에 따른 또 다른 전자 소자 운반 장치 작동부의 평면도이다.

제12도는 검사한 전자 소자를 프레스하는 본 발명의 이동성 피커의 정면도이다.

발명의 분야

본 발명은 작업부 위에 부착된 제1 및 제2 이동성 피커를 사용하여 작업부로 전자 소자를 운반할 수 있고, 세 방향으로 부드럽게 움직일 수 있으며, 전자 소자를 안정적으로 편평하게 작업부에 배치하여 검사를 수행할 수 있고, 제조가 용이하며, 검사 질을 향상시킬 수 있는 전자 부품 운반 장치 및 방법에 관한 것이다.

발명의 배경

제1도 내지 제3도에 도시된 바와 같이, TW 93110783에 개시된 종래의 IC 검사 장치는 테스트 부(10), 제1 및 제2 피킹 메커니즘(20, 30), 입력 메커니즘(40) 및 출력 메커니즘(50)을 포함하고, 상기 테스트 부(10)는 양 쪽 면에 각각 배치된 제1 및 제2 피킹 메커니즘(20, 30)을 포함하고, 각각은 서로 조합되는 수평 및 수직 이동 구조를 가진다. 상기 수평 이동 구조는 기계 프레임에 배치된 측면 슬라이드 레일(21, 31)과 수평 나선부(22, 32)를 포함하고, 상기 수평 나선부는 모터(23, 33)에 의해 작동된다. 추가적으로, 상기 수평 이동 구조는 부싱(busing)(241, 341)이 포함된 미끄럼 부재(24, 34), 수평 미끄럼 테이블(242, 342), 측면 슬라이드 레일(21, 31)과 수평 나선부(22, 32)가 이동할 수 있도록 조립된 것을 포함하고, 서로 다른 면에 장착된 수직 미끄럼 테이블(243, 343)을 포함한다. 상기 수직 이동 구조는 바닥에 부착된 흡입기(253, 353) 및 미끄럼 부재(24, 34)의 수직 미끄럼 테이블(243, 343)에 미끄러지게 하는 수직 미끄럼 레일(251, 351)이 형성된 피커(25, 35)를 포함한다. 또한 수평 이동 구조는 피커(25, 35)의 최상단부에 고정된 수평 미끄럼 테이블(252, 352)을 포함하고, 상기 수평 미끄럼 테이블(252, 352)은 지지대(26, 36)의 측면 슬라이드 레일(261, 361)에 부드럽게 이동하도록 배치되고, 수직 이동 구조는 지지대(26, 36)의 다른 면에 배치된 수직 미끄럼 테이블(262, 362)과 부싱(263, 363)을 포함한다. 상기 수직 미끄럼 테이블(262, 362)과 부싱(263, 363)은 수직 슬라이드 레일(27, 37)과 모터(29, 39)에 의해 작동되는 수직 나선부(28, 38)와 조립된다. 수평 이동 구조의 모터(23, 33)는 수평 나선부(22, 32)를 작동시키고, 미끄럼 부재(24, 34)의 수평 미끄럼 테이블(242, 342)과 피커(25, 35)의 수평 미끄럼 테이블(252, 352)은 기계 프레임의 측면 슬라이드 레일(21, 31)과 지지대(26, 36)의 측면 슬라이드 레일(261, 361) 축으로 X 방향으로 왕복 운동할 수 있게 한다. 마찬가지로, 수직 이동 구조의 모터(29, 39)는 수직 나선부(28, 38) 를 작동시키고, 지지대(262, 362)의 수직 미끄럼 테이블(262, 362)과 피커(25, 35)의 수직 미끄럼 테이블(251, 351)은 기계 프레임의 수직 슬라이드 레일(27, 37)과 미끄럼 부재(24, 34)의 수직 미끄럼 테이블(243, 343) 축으로 Z 방향으로 왕복 운동할 수 있게 한다. 입력 메커니즘(40)과 출력 메커니즘(50)은 테스트 부(10)의 앞면과 뒷면으로 나누어지고, 각각은 IC를 운반하는 캐리어(41이나 51)를 구비한 운반 구조와 IC를 선별/배치하는 흡입기(42나 52)를 구비한 피킹 구조를 포함한다. 상기 입력 메커니즘(40)의 각 흡입기(42)는 미검사된 IC를 캐리어(41)로 배치하고, 그런 다음 미검사 IC를 제1 피킹 메커니즘(20)의 피커(25) 아래로 운반시킨다. 상기 제1 메커니즘에서 피커(25)의 흡입기는 선별하고, 검사하기 위해 테스트 부(10)로 미검사 IC를 배치한다. 그 후에 캐리어(41)는 다른 미검사 IC를 운반하기 위해 다시 뒤로 배치된다. 입력 메커니즘(40)의 캐리어(41)가 미검사 IC를 테스트 부(10)의 옆으로 운반할 때, 제2 피킹 메커니즘(30)의 피커(35)는 미검사 IC를 선별하는 입력 메커니즘(40)의 캐리어(41) 위에 위치하도록 X방향으로 옮겨진다. 제1 피킹 메커니즘(20)인 IC 검사 과정 후에, 피커(25)는 출력 메커니즘(50)의 캐리어(51) 위에 위치하도록 작동되며, 캐리어(51)에 검사된 IC를 내려놓도록 하강한다. 그 사이 제2 피킹 메커니즘(30)의 피커(35)는 X 및 Z 방향으로 이동되며, 캐리어(35)의 다른 미검사 IC는 검사하기 위해 테스트 부(10)에 배치된다. 그 때에, 제1 피킹 메커니즘(20)의 피커(25)는 다른 미검사 IC를 선별하기 위해 입력 메커니즘(40)의 캐리어(41)로 돌아간다. 또한, 검사된 IC는 제2 출력 메커니즘(30)의 피커(35)에 의해 내려놓아져 출력 메커니즘(50)의 캐리어(51)에 배치되고, 제1 피킹 메커니즘(20)은 다른 미검사 IC를 테스트 부(10)에 배치하는데, 이러한 과정으로 IC가 제1 및 제2 피킹 메커니즘(20, 30)에 의해 검사된다.

제1 및 제2 피킹 메커니즘(20, 30)의 피커(25, 35)로 인해 X 및 Y 방향으로 이동되지만, 피킹 위치와 시험 위치를 미세하게 조정할 수는 없어서, 이에 따라 테스트 부(10)에 대하여 캐리어(41, 51)의 위치를 정하는 것과 테스트 부(10), 캐리어(41, 51)에 대하여 피커(25, 35)를 정하는 것이 정확하게 지정되어야 하므로 제조가 어렵고 비용이 많이 든다. 게다가, 흡입기(25, 35)는 L-모양의 구조물에 의하여 테스트 부(10)의 양 면으로 지지됨으로, 미검사 IC를 프레스하는 동안 평행을 유지하는데 부정확함이 발생한다.

본 발명은 상술한 단점을 보완하고자 한 것이다.

본 발명의 목적은 작업부, 작업부의 한 면에 배치된 제1 입력 캐리어와 제1 수집 캐리어, 작업부의 다른 한 면에 배치된 제2 입력 캐리어와 제2 수집 캐리어, 제1 및 제2 이동성 피커를 포함하며, 제1 및 제2 이동성 피커의 제1 및 제2 수직 이동축의 하단 끝부분에 흡입기가 부착되고, 상기 수직 이동축은 슬라이드 레일 어셈블리를 사용해 작업부 상단의 기계 프레임에 부착되어 세 방향으로 부드럽게 움직일 수 있도록 배치되고 작업부의 정해진 위치 사이의 오류는 제1 및 제2 입력 캐리어와 제1 및 제2 수집 캐리어는 미세한 위치에 대하여도 움직일 수 있고, 제조가 용이하게 하며, 제조단가가 낮은 전자 소자 운반 장치 및 방법을 제공하기 위한 것 이다.

본 발명의 다른 목적은 수직 이동축은 슬라이드 레일 어셈블리를 사용하여 세 방향으로 부드럽게 움직일 수 있도록 작업부 위의 기계 프레임에 부착되고, 검사하는 동안, 수직 이동축의 하단 끝부분에 있는 흡입기는 전자 소자를 보다 편평한 상태로 배치하고 프레스하여 검사 질을 향상시킨 전자 소자 운반 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 상기 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

본 발명에 의한 전자 소자 운반 장치는 검사 과정을 거치도록 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 분리된 하나 이상의 작업부, 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 한 쪽 면에 배치된 제1 입력 캐리어(carrier), 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 다른 한 쪽 면에 배치된 제2 입력 캐리어, 검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제1 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제1 수집 캐리어, 검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제2 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제2 수집 캐리어, 슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되어지고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제1 이동성 피커(picker) 및 슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되어지고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제2 이동성 피커로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전자 소자 운반 장치 및 방법은 입력 메커니즘(60), 제1 운반 메커니즘(70), 작업구역(80), 제2 운반 메커니즘(90) 및 수집 메커니즘(100)으로 구성된다. 상기 제1 운반 메커니즘(70)은 입력 메커니즘(60)에서 미검사 전자 소자를 제1 및 제2 입력 캐리어로 운반하고, 작업구역(80)의 제1 및 제2 수집 캐리어(83, 84)에서 검사된 전자 소자는 검사 결과를 기초로 분류되어 제2 운반 메커니즘(90)에 의해 수집 메커니즘(100)으로 운반된다.

제 5도 및 제6도에 도시된 바와 같이, 작업구역(80)에는 작업부(85), 한 쪽 면으로 배치된 제1 입력 캐리어(81)와 제1 수집 캐리어(83), 다른 한 쪽 면으로 배치된 제2 입력 캐리어(82)와 제2 수집 캐리어(84), 제1 이동성 피커(86) 및 제2 이동성 피커(87)가 포함된다. 상기 제1 및 제2 입력 캐리어(81, 82)는 미검사 전자 소자를 수용하고, 상기 제1 및 제2 수집 캐리어(83, 84)는 검사된 전자 소자를 수용하며, 제1 및 제2 입력 캐리어(81, 82)와 제1 및 제2 수집 캐리어(83, 84)는 작업부(85)에서 정해진 위치에 고정될 수 있으며, 이에 따라 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)와 제1 및 제2 운반 메커니즘은 공급하고 수집하는 과정을 수행한다. 또 한, 제1 및 제2 입력 캐리어(81, 82)와 제1 및 제2 수집 캐리어(83, 84)는 작업부(85)의 정해진 위치에서 측면으로 왕복 운동하도록 설치될 수 있으며, 이에 따라 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)와 제1 및 제2 운반 메커니즘(83, 84)은 공급하고 수집하는 과정을 수행한다. 상기 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)는 슬라이드 레일 어셈블리(861, 871)를 사용함으로써 작업부(85) 상부의 기계 프레임에 부착되고, 각각 X, Y, Z 방향으로 움직일 수 있으며, 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)의 제1 및 제2 수직 이동축(862, 872)의 하단 끝부분에 측면 패널(863, 874)을 지나서 2개의 흡입기(864, 874)가 배치된다. 상기 흡입기(864, 874)는 슬라이드 레일 어셈블리(861, 871), 수직 이동축(862, 872) 및 측면 패널(863, 874)을 이용하여 X, Y, Z 방향으로 움직임으로써 작업부에서 검사받도록 전자 소자를 운반한다.

제7도에 도시된 바와 같이, 작업구역(80)에서 검사하는 과정에서, 제2 이동성 피커(87)는 검사된 전자 소자(110)를 프레스(press)하기 위해 작업부(85) 위에 위치시키고, 제1 이동성 피커(86)는 미검사된 전자 소자(111)을 고르기 위해 제1 입력 캐리어(81)에 위치시킨다. 제8도를 보면, 전자 소자(110)를 검사한 후, 제2 이동성 피커(87)는 제1 운반 메커니즘에 의해 검사 결과를 기초로 분류하는 과정이 행해지는 수집 메커니즘으로 운반하기 위해 제2 수집 캐리어(84)로 검사된 전자 소자(110)를 운반한다. 그 사이 제1 이동성 피커(86)는 미검사된 전자 소자(111)를 작업구역(85)으로 선별하여 운반하며 그런 다음 검사받을 수 있도록 프레스한다. 제9도와 관련하여, 전자 소자(111)를 검사하는 동안 제2 이동성 피커(87)는 검사된 전자 소자(110)를 이동할 수 있게 제2 수집 캐리어(84)에 준비하고, 제2 입력 캐리 어(82)로 수평 이동시킨다. 제1 운반 메커니즘은 미검사된 전자 소자(112)를 제2 입력 캐리어(82)로 운반시키고, 제2 이동성 피커(87)는 제2 입력 캐리어(82) 위의 미검사된 전자 소자(112)를 집는다. 제10도에 도시된 바와 같이, 전자 소자(111)를 검사한 후, 제1 이동성 피커(86)는 검사된 전자 소자(111)를 제1 수집 캐리어(83)로 운반시키는 것은 제2 운반 메커니즘에서 검사 결과를 기초로 검사된 전자 소자((111)를 수집 메커니즘으로 운반하는 것이다. 동시에 제2 이동성 피커(87)는 미검사 전자 소자(112)를 선별하여 작업부(85)로 이동시키며 검사받도록 하기 위해 그것들을 프레스한다. 제11도를 살펴보면, 전자 소자(112)를 검사하는 동안, 제1 이동성 피커(86)는 검사된 전자 소자(111)를 제1 수집 캐리어(83)에 두고, 제1 입력 캐리어(81)로 측면 이동한다. 제1 운반 메커니즘은 미검사된 전자 소자(113)를 제1 입력 캐리어(81)로 운반시키고, 제1 이동성 피커(86)는 미검사 전자 소자(113)를 검사하기 위해 제1 입력 캐리어(81)에서 선별한다. 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)는 작업부(85)의 양 면에서 검사 받도록 전자 소자를 운반시킬 수 있다.

본 발명에 따른 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)는 세 방향으로 부드럽게 움직일 수 있고, 작업부의 정해진 대응 위치 사이에서 발생할 수 있는 오류는 고정된 입력 캐리어와 고정된 수집 캐리어로 보완할 수 있고, 제조가 편리하며, 제조 비용이 적게 든다.

제12도에서 보는 것처럼, 본 발명에 따른 제1 및 제2 이동성 피커(86, 87)는 검사하는 동안 세 방향으로 부드럽게 움직일 수 있고 수직 이동축(862, 872)의 하단 끝부분의 흡입기(864, 874)는 작업부(85)에서 전자 소자를 정확하게 배치하고 프레스할 수 있어 검사 질을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에 의하여 보다 구체화될 것이며, 상기 실시예는 본 발명의 구체적인 예시에 불과하며 본 발명의 보호범위를 한정하거나 제한하고자 하는 것은 아니다.

본 발명은 작업부 상단에 부착된 제1 및 제2 이동성 피커를 사용하여 작업부로 전자 소자를 세 방향으로 자유롭게 움직일 수 있도록 하여, 전자 소자를 안정적으로 작업부에 배치하여 검사할 수 있게 하며, 제조가 용이하고, 검사 질을 향상시킬 수 있는 전자 부품 운반 장치 및 방법을 제공하는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상적인 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

검사 과정을 거치도록 미검사 전자 소자를 수용하기 위해 분리된 하나 이상의 작업부;

미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 한 쪽 면에 배치된 제1 입력 캐리어(carrier);

미검사 전자 소자를 수용하기 위해 상기 작업부의 다른 한 쪽 면에 배치된 제2 입력 캐리어;

검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제1 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제1 수집 캐리어;

검사된 전자 소자를 수용하기 위해 상기 제2 입력 캐리어의 같은 면에 부착된 제2 수집 캐리어;

슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제1 이동성 피커(picker); 및

슬라이드 레일 어셈블리를 이용하여 상기 작업부 위의 기계 프레임에 부착되어지고, 전자 소자를 운반할 수 있도록 세 방향으로 부드럽게 이동할 수 있는 제2 이동성 피커;

로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 입력 캐리어는 고정되거나 움직일 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 수집 캐리어는 고정되거나 움직일 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 이동성 피커의 제1 수직 이동축의 하단 끝부분에 상기 입력 캐리어에서 상기 작업부와 상기 수집 캐리어 사이로 전자 소자를 운반하고 검사받을 전자 소자를 프레스(press)하기 위한 흡입기(sucker)가 부착된 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 장치.
제1항에 있어서, 상기 제2 이동성 피커의 제2 수직 이동축의 하단 끝부분에 상기 입력 캐리어에서 상기 작업부와 상기 수집 캐리어 사이로 전자 소자를 운반하고 검사받을 전자 소자를 프레스하기 위한 흡입기가 부착된 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 장치.
A. 미검사 전자 소자를 운반하기 위해 제1 이동성 피커를 제1 입력 캐리어로 이동시키고, 검사 과정을 실행하기 위해 작업부로 제2 이동성 피커를 이동시키는 단계;

B. 상기 작업부에서의 검사 과정 후에, 검사된 전자 소자를 상기 제2 이동성 피커를 이용하여 제2 수집 캐리어로 이동시키고, 동시에 미검사 전자 소자를 검사하기 위해 제1 이동성 피커를 이용하여 상기 작업부로 운반시키는 단계;

C. 상기 작업부에서 전자 소자를 검사하는 동안, 미검사 전자 소자를 운반하기 위해 상기 제2 이동성 피커를 제2 입력 캐리어로 이동시키는 단계;

D. 상기 작업부에서의 검사 과정 후에, 검사된 전자 소자를 상기 제1 이동성 피커를 이용하여 제1 수집 캐리어로 이동시키고, 동시에 미검사 전자 소자를 검사하기 위해 상기 제2 이동성 피커를 이용하여 상기 작업부로 운반시키는 단계; 및

E. 상기 작업부에서 미검사 전자 소자를 검사하는 동안, 미검사 전자 소자를 운반하기 위해 상기 제1 이동성 피커를 상기 입력 캐리어로 이동시키는 단계;

로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 방법.
제6항에 있어서, 미검사 전자 소자를 상기 제1 이동성 피커에 의해 상기 작업부로 이동시키고, 검사받기 위해 프레스하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 방법.
제6항에 있어서, 미검사 전자 소자를 상기 제2 이동성 피커에 의해 상기 작업부로 이동시키고, 검사받기 위해 프레스하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 방법.
제6항에 있어서, 미검사 전자 소자를 검사받기 위해 상기 제1 및 제2 입력 캐리어로 운반하기 위한 제1 운반 메커니즘을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 방법.
제6항에 있어서, 검사된 전자 소자를 분류시키기 위해 상기 제1 및 제2 출력 캐리어로 운반하기 위한 제2 운반 메커니즘을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 소자 운반 방법.