KR20080057550A - 고체산화물 연료전지용 분리판 및 이의 제조방법 - Google Patents

고체산화물 연료전지용 분리판 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고체산화물 연료전지용 분리판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상기 분리판은 금속 기재; 및 상기 금속 기재 위에 형성된 코팅층을 포함하며, 상기 코팅층은 코발트(Co)-M 합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 것이다.
본 발명에 따른 고체산화물 연료전지용 분리판은 고온의 산화분위기에서 금속 기재의 표면에 전도성이 우수한 산화물을 형성시킬 수 있어 내산화성 및 고온전도성이 우수하며, 고체산화물 연료전지로의 적용시 수명특성, 출력특성 등 전지특성을 향상시킬 수 있다.
고체산화물 연료전지, 분리판, 코팅층, 스테인레스 강판

Description

고체산화물 연료전지용 분리판 및 이의 제조방법{SEPERATOR FOR SOLID OXIDE FUEL CELL AND PREPARING METHOD THEREOF}
본 발명은 고체산화물 연료전지(solid oxide fuel cell: SOFC)용 분리판 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 우수한 내산화성 및 고온전도성을 가져 고체산화물 연료전지에의 적용시 전지 특성을 향상시킬 수 있는 고체산화물 연료전지용 분리판 및 이의 제조방법에 것이다.
고체산화물 연료전지에 사용되는 분리판은 한 셀의 양극과 이웃하는 셀의 음극을 전기적으로 연결하는 역할을 하기 때문에 우수한 내산화성 및 고온전도성을 가져야 한다.
지금까지 고체산화물 연료전지용 분리판으로 사용된 물질로는 크게 Cr을 기본으로 하는 Cr계 합금, Fe를 기본으로 하는 Fe-Cr 합금, 및 Ni을 기본으로 하는 Ni계 초합금 등이 있다.
상기 Cr계 합금은 고온에서 안정한 Cr2O3 산화물을 형성하기 때문에 SOFC 분리판으로 개발되어 왔다. 또한 Cr계 합금은 열팽창계수가 SOFC를 구성하는 다른 세 라믹 재료와 유사하며, 고온에서의 기계적 성질이 우수한 장점을 가진다. Cr계 합금 개발 연구는 Cr2O3 산화물의 밀착성을 증가시키고, 성장속도를 낮출 수 있는 합금을 개발하는 쪽으로 진행되어 왔다. 이러한 목표를 만족시키기 위하여, 대부분의 Cr계 합금에는 Y, La, Ce, Zr 같은 원소를 산화물 분산 강화(oxide dispersion strengthening: ODS) 합금의 형태로 첨가하게 된다. 대표적인 Cr계 합금인 Cr-5Fe-1Y2O3(Plansee Company사제)와 Cr-0.4La2O3 등이 이런 배경에서 개발되었다고 볼 수 있다. 상기 Cr-5Fe-1Y2O3는 원래 1000℃ 정도의 고온에서 작동되는 평탄형 SOFC의 세라믹 연결재를 대체하기 위하여 개발하였는데, 장기안정성에 문제가 있어 사용에 한계가 있다.　 따라서 작동온도가 800℃이하의 온도에서 적용을 하여야 하지만, Cr-5Fe-1Y2O3를 800℃이하의 SOFC용 분리판으로 사용하는 경우는 거의 없다. 왜냐하면 IT SOFC(intermediate temperature solid oxide fuel cell)의 온도범위(650 내지 800℃)에서는, 가공성이 나쁘고 가격이 비싼 Cr계 합금 대신에 Fe계나 Ni계 합금을 적용할 수 있기 때문이다.
이미 기존에 상업적으로 사용되고 있는 Ni계 합금이 SOFC용 분리판으로 적용되어 연구되고 있다. Ni계 초합금인 Haynes 230, Inconel 625, Inconel 718 등이 사용되고 있는데, Haynes 230이 가장 높은 전기전도성을 보여주는 것으로 알려져 있다. 이는 Haynes 230의 산화거동과 관련이 있는데, Haynes 230 합금이 가장 작은 산화성장 속도를 가지기 때문이다. 하지만 Haynes 230 합금도 SOFC 요구수명을 충분하게 만족시키지는 못하기 때문에, 사용에 한계가 있다.
한편 Fe-Cr 합금에는 ZMG232(Hitachi Metals사제)와 Crofer22(ThyssenKrupp사제)가 있다. 상기 ZMG232는 22%의 Cr를 함유하고, 0.04%의 La과 0.22%의 Zr를 첨가한 Ferritic Fe-22Cr 합금이다. ZMG232의 특징을 간단하게 살펴보면, 열팽창계수가 12.8×10-6/℃이며, 700 내지 1000℃의 온도범위에서 기존의 STS430보다 우수한 내산화성과 전기전도성을 보인다. 이는 산화분위기에서 표면에 형성되는 산화물의 특성과 관련이 있다. 즉 ZMG232 합금의 경우에는 산화물의 조직이 치밀하고 밀착성이 높으며, 전기전도성이 우수한 구조를 가지기 때문이다. 한편 Crofer22(ThyssenKrupp사제)는 원래 자동차 APU(Auxiliary Power Unit)용으로 개발한 Ferritic Fe-Cr 합금이다. Crofer22는 Cr의 증발을 최소화하고, 열팽창계수를 낮추기 위하여 0.08%의 La을 미량 포함하는 것이다. 여기에 Mn과 Ti를 첨가하여, 고온의 산화분위기에서, 산화물 구조를 상층의 (Mn,Cr)2O4와 하층의 Cr2O3를 형성시킨다. 여기서 스피넬 구조의 (Mn,Cr)2O4산화물은 Cr의 증발을 방지하는 기능도 가진다. 상기 Crofer22는 ZMG232보다도 우수한 전기전도도 특성을 갖는다.
그러나 분리판은 고체산화물 연료전지 작동환경에서 표면에 산화물을 형성하기 때문에, 저항이 증가하여 전기전도성이 감소하게 된다. 즉 분리판의 전기전도성은 금속 자체가 가지는 전기전도성보다는 표면에 형성된 산화물의 전기전도성에 의존한다. 따라서 표면에 전도성이 우수한 산화물을 형성하는 것이 중요하다. 고체산화물 연료전지용 분리판이 대부분 Cr2O3-기재(Cr2O3-former)를 바탕으로 설계하는 이유가 바로 이것 때문이다.
두 번째 큰 문제점은 Cr2O3-former형 분리판은 고체산화물 연료전지 가동 환경에서 휘발성의 Cr(Ⅵ)를 만든다는 것이다. 이들 Cr(Ⅵ)는 전지의 정상적인 전기화학반응을 방해하여 전지의 성능을 감소시키는 요인으로 작용한다.
상기와 같은 모순적인 문제점으로 인해 분리판을 개발하는데 어려움이 있다. 따라서 고체산화물 연료전지용 분리판 개발은 합금개발 자체와 함께, 표면특성을 제어하기 위한 표면처리 기술이 병행되어야 한다.
표면 처리 물질은 기존 제품의 내산화성 및 전기전도성을 증가시키고 Cr 증발을 방지하기 위하여, 란타늄-스트로튬-망간 합금(LSM)과 같은 페롭스카이트(Perovskite) 구조의 산화물을 코팅한다.
코팅방법은 분무 열분해법(spray pyrolysis), 물리증기증착법(Physical Vaper Deposition: PVD), 용사법, 슬러리 코팅법 등 다양한 기술이 적용되고 있다. 지금까지 페롭스카이트 세라믹 코팅기술과 관련된 기술을 보면, 무엇보다도 코팅층은 전자전도성이 우수하여야 하고, 열팽창계수가 이웃하는 구성요소와 유사하여야 한다. 그리고 코팅층의 밀착성이 우수하여 박리가 일어나지 않아야 한다. 이는 코팅층의 내열응력성과도 밀접한 관계를 가진다. 두 번째는 고온에서 장시간 노출하였을 때, 코팅층과 기판의 계면에서 스피넬 구조의 (Mn, Cr)2O4 같은 산화물이 형성되는 것이 유리하다는 것이다. 왜냐하면 이들 산화물은 비절연성이기 때문에, 계면에서의 접촉저항을 크게 증가시키지는 않는다. 대신에 절연성의 SrCrO4나 La2O3 같은 산화물이 반응물로 형성되면 코팅층의 전기전도성을 크게 저하시키게 된다. 세 번째는 코팅층의 조직이 치밀하여야 한다. 이는 외부로부터 코팅층을 통해 안쪽으로 확산하는 산소의 이동을 방지하고, 기판으로부터 Cr 성분의 외부확산을 방지할 수 있기 때문이다. 따라서 코팅층이 같은 페롭스카이트 상을 갖는다 하더라도, 코팅층의 성분, 코팅층의 조직 및 구성에 따라 다른 특성을 가질 수 있다. 특히 코팅층의 조직제어는 코팅공정과 밀접한 관계를 가지기 때문에, 경제성이 있으면서 우수한 물성의 코팅층을 가지는 적절한 코팅방법을 적용할 필요가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 고온의 산화분위기에서 금속 기재의 표면에 전도성이 우수한 산화물을 형성하여 개선된 내산화성 및 고온전도성을 나타낼 수 있는 분리판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 또한 상기 분리판의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 또한 상기 분리판을 포함하는 고체 산화물 연료전지를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 금속 기재; 및 상기 금속 기재 위에 형성된 코팅층을 포함하며, 상기 코팅층은 코발트(Co)-M 합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 것인 고체산화물 연료전지용 분리판을 제공한다.
본 발명은 또한 코발트 그레인 및 금속 M 그레인(상기 M은 희토류 원소 임)의 혼합물을 준비하는 단계; 및 상기 혼합물을 전자빔 증착법(E-beam evaporation)으로 금속 기재위에 증착시켜 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 고체산화물 연료 전지용 분리판의 제조방법을 제공한다.
본 발명은 또한 상기 분리판을 포함하는 고체산화물 연료전지를 제공한다.
이하 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
일반적으로 고체산화물 연료전지 작동환경인 고온의 산화분위기에서 분리판 표면에 산화물이 형성되게 된다. 이와 같이 분리판 표면에 형성되는 산화물로 인하여 분리판의 저항이 증가하고, 결과 전기전도성이 감소하게 된다. 즉 분리판의 전기전도성은 금속 자체가 가지는 전기전도성 보다는 표면에 형성된 산화물의 전기전도성에 의존하게 된다. 이에 따라 고온의 산화분위기에서 분리판 표면에 가능한 전도성이 우수한 산화물을 형성하는 것이 중요하다.
이에 대해 본 발명에서는 고체산화물 연료전지용 분리판의 금속기재에 대하여 고온의 산화분위기에서 금속 기재의 표면에 전도성이 우수한 산화물을 형성할 수 있는 조성을 갖는 코팅층을 형성함으로써, 분리판의 내산화성 및 고온전도성을 개선시키고 또한 고체산화물 연료전지로의 적용시 수명특성, 출력특성 등 전지특성을 향상시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 고체산화물 연료전지용 분리판은 금속 기재; 및 상기 금속 기재 위에 형성된 코팅층을 포함하며, 상기 코팅층은 코발트(Co)-M 합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 것이다.
상기 금속 기재로는 고체산화물 연료전지용 분리판으로 사용가능한 금속 기재라면 특별한 한정없이 사용할 수 있으며, 바람직하게는 페라이트계 스테인레스 강판을 사용하는 것이 좋다. 보다 바람직하게는 Fe-Cr-N 합금(상기 N은 Mn, Ni, Cu, Zn, Mg, Cd, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것임)을 포함하는 페라이트계 스테인레스 강판인 것이 좋다.
상기 금속 기재 위에는 코팅층이 위치한다.
상기 코팅층은 코발트(Co)-M 합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 것이다. 구체적으로 상기 M은 Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되며, 바람직하게는 Y 또는 La 이다. 이에 따라 상기 코팅층은 Co-Y 합금, 또는 Co-La 합금을 포함하는 것이 보다 바람직하다.
코팅층내에 포함되는 Co는 고체산화물 연료전지의 구동시 고온산화 분위기하에서 분리판의 금속 기재내 포함된 Cr성분과 함께 코팅층 표면에 (Co,Cr)2O4같은 스피넬의 산화물을 형성할 수 있다. 이때 형성되는 (Co,Cr)2O4산화물은 기존의 (Mn,Cr)2O4 스피넬 구조보다 우수한 전도성을 갖는 산화물로 분리판의 고온 전도성을 향상시킬수 있다.
이와 같이 코팅층내에 포함되는 Co는 고온 산화 분위기하에서 우수한 전도성을 갖는 산화물을 형성하여 분리판의 고온 전도성 및 내산화성을 증가시키는 동시에 금속 기재내 포함된 Cr의 증발을 방지하는 역할을 한다.
또한, 코팅층내에 포함된 금속 M은 직접 또는 간접적으로 합금의 전기전도성에 관여할 뿐만 아니라, 표면에 형성되는 다른 산화물의 산화 거동에도 효과적으로 참여하여 성장 속도를 감소시켜 합금의 전기전도성을 증가시키는 역할을 한다. 또 한, 상기 금속 M은 미량으로도 고온분위기에서 산화물의 성장 속도를 감소시켜 산화물의 접착력을 증대시키는 역할도 한다.
이에 따라 코팅층이 우수한 내산화성 및 전도성을 나타낼 수 있도록 상기 M은 코팅층 총 중량에 대하여 1 내지 10중량%로 포함되는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 5 내지 10중량%로 포함되는 것이 좋다. 금속 M의 함량이 1중량% 미만이면 산화물의 성장속도 감소 등 금속 M 첨가에 따라 얻어지는 효과가 미미하여 바람직하지 않다. 또한 금속 M의 함량이 10중량%를 초과하면 금속 기재와 코팅층간의 밀착성을 저하시켜 박리가 발생할 우려가 있어 바람직하지 않다.
상기와 같은 코팅층은 0.1 내지 1㎛의 두께를 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5 내지 1㎛의 두께를 갖는 것이 좋다. 코팅층의 두께가 0.1㎛ 미만이면 표면에 형성되는 산화물에서 우수한 전도성을 가지는 (Co,Cr)2O4의 형성이 안정적으로 이루어지지 않을 우려가 있어 바람직하지 않다. 또한 코팅층의 두께가 1㎛를 초과하면 표면에 (Co,Cr)2O4의 형성 대신에 Co3O4 같은 절연성의 산화물이 형성되기 쉽고 결과 전도성이 저하될 우려가 있어 바람직하지 않다.　
상기와 같은 구성을 갖는 고체 산화물 연료전지용 분리판은 코발트 그레인(Grain) 및 금속 M 그레인의 혼합물을 준비하는 단계; 및 상기 혼합물을 전자빔 증착법으로 금속 기재위에 증착시켜 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 제조방법에 의해 제조될 수 있다.
상기 금속 M은 앞서 설명한 바와 같이 희토류 원소이다.
먼저 코발트 그레인 및 금속 M 그레인을 혼합하여 혼합물을 준비한다. 상기 그레인은 보통 수 mm크기의 덩어리를 의미한다.
이때 코발트 그레인과 금속 M 그레인의 혼합비는 금속 기재위에 형성되는 코팅층내 포함되는 금속 M의 함량을 고려하여 적절히 조절할 수 있다. 구체적으로는 코팅층내 포함되는 금속 M이 코팅층 총 중량에 대하여 1 내지 10중량%로 포함되도록 하는 양으로 코발트 그레인과 혼합되는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 코팅층 총 중량에 대하여 5 내지 10중량%로 포함되도록 하는 양으로 코발트 그레인과 혼합되는 것이 좋다.
제조된 코발트와 금속 M 그레인을 혼합물을 전자빔 증착법으로 금속 기재위에 증착시켜 코팅층을 형성한다.
상기 전자빔 증착법은 일례로 코발트와 금속 M 그레인의 혼합물을 알루미나 도가니 안에서 전자빔을 조사하여 금속 기재위에 증착시킨다.
이때 금속 기재는 앞서 설명한 바와 동일하다.
상기 전자빔 증착시 금속 기재의 온도는 200℃ 이상으로 유지하는 것이 바람직하다. 금속 기재의 온도가 200℃ 미만이면 코팅층의 밀착성을 확보하기 어렵기 때문에 바람직하지 않다. 보다 바람직하게는 금속 기재의 온도는 200 내지 500℃인 것이 좋다.
또한 전자빔 증착은 진공하에서 실시하는 것이 바람직한데 이때 진공도는 1×10-4torr 이하로 유지하는 것이 바람직하다. 진공도가 1×10-4torr를 초과하면 코 팅층의 밀착성이 떨어지기 때문에 바람직하지 않다. 보다 바람직하게는 1×10-6torr 내지 1×10-4torr이며, 보다 더 바람직하게는 1×10-6torr 내지 5×10-5torr인 것이 좋다.
상기와 같은 전자빔 증착법에 의해 금속 기재위에 Co-M합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 코팅층이 형성되게 된다.
이와 같은 제조방법에 의해 제조된 고체산화물 연료전지용 분리판은 우수한 내산화성 및 고온전도성을 나타내어 고체산화물 연료전지로의 적용시 수명특성, 출력특성 등 전지특성을 향상시킬 수 있다.
이에 따라 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따르면 상기 분리판을 포함하는 고체산화물 연료전지를 제공한다.
상기 고체 산화물 연료전지는 상기 제조된 분리판을 포함하는 것을 제외하고는 통상의 고체 산화물 연료전지의 구조를 갖는다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예 및 비교예를 기재한다. 그러나 하기한 실시예는 본 발명의 바람직한 일 실시예일뿐 본 발명이 하기한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
알루미나 도가니 안에 Co 그레인 및 Y그레인의 혼합물을 장입시킨 후 페라이트계 스테인리스 강판(STS444, POSCO사제)의 기판에 전자빔 증착법을 이용하여 Co-Y 합금의 코팅층을 형성하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
상기 진공증착시 기판의 온도는 250℃로 고정하였고, 진공도는 5×10-5torr 이하로 유지하였다. 또한 코팅층의 두께는 0.1㎛로 하였으며, 코팅층내 포함된 Y의 함량은 5중량%로 하였다.
(실시예 2 내지 4)　
Co-Y 합금 코팅층의 두께를 0.5㎛로 하고, 코팅층내에 포함되는 Y의 함량을 1중량%(실시예 2), 5중량%(실시예 3) 및 10중량%(실시예 4)로 다양하게 변화시키는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
(실시예 5)　
Co-Y 합금 함유 코팅층의 두께를 1㎛로 하고, 코팅층내에 포함되는 Y의 함량을 5중량%로 하는 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 동일한 방법으로 실시하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
(실시예 6)
알루미나 도가니 안에 Co 그레인 및 La그레인의 혼합물을 장입시킨 후 페라이트계 스테인리스 강판(STS444, POSCO 사제)의 기판에 전자빔 증착법을 이용하여 Co-La 합금의 코팅층을 형성하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
상기 진공증착시 기판의 온도는 250℃로 고정하였고, 진공도는 5×10-5torr 이하로 유지하였다. 또한 코팅층의 두께는 0.1㎛로 하였으며, 코팅층내 포함된 La의 함량은 5중량%로 하였다.
(실시예 7 내지 9)　
Co-La 합금 함유 코팅층의 두께를 0.5㎛로 하고, 코팅층내에 포함되는 La의 함량을 1중량%(실시예 7), 5중량%(실시예 8) 및 10중량%(실시예 9)로 다양하게 변화시키는 것을 제외하고는 상기 실시예 6과 동일한 방법으로 실시하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
(실시예 10)　
Co-La 합금 함유 코팅층의 두께를 1㎛로 하고, 코팅층내에 포함되는 La의 함량을 5중량%로 하는 것을 제외하고는 상기 실시예 6과 동일한 방법으로 실시하여 고체산화물 연료전지용 분리판을 제조하였다.
(비교예 1)　
페라이트계 스테인리스 강판(STS444, POSCO사제)을 고체산화물 연료전지용 분리판으로 사용하였다.
상기 실시예 1 내지 10, 및 비교예 1의 분리판에 대하여 내산화성, 고온전도성 등의 품질 특성을 평가하였다.
고온 전도성 측정을 위하여 700℃ 공기분위기에서 500시간 동안 노출 시킨 후 산화된 분리판에 대하여 고온전도성(Area specific resistance: ASR)을 측정하였다.　
평가기준은 ASR값이 0.01Ωcm2이하이면 ◎, 0.01 내지 0.015Ωcm2이면 ○, 0.015Ωcm2 이상이면 ×로 하였다.
구분 두께(㎛) 조성(중량%) 고온전도성
Co Y La
실시예1 0.1 95 5 0 ◎
실시예2 0.5 99 1 0 ○
실시예3 0.5 95 5 0 ◎
실시예4 0.5 90 10 0 ◎
실시예5 1 95 5 0 ◎
실시예6 0.1 95 0 5 ◎
실시예7 0.5 99 0 1 ○
실시예8 0.5 95 0 5 ◎
실시예9 0.5 90 0 10 ◎
실시예10 1 95 0 5 ◎
비교예1 0 0 0 0 ×
상기 표 1에 나타난 바와 같이 금속 기재에 Co-Y 합금 또는 Co-La 합금을 포함하는 코팅층을 형성한 실시예 1 내지 10의 분리판은 코팅층을 포함하지 않는 비교예 1의 분리판에 비해 우수한 고온전도성을 나타내었다. 이로부터 본 발명에 따른 코팅층을 포함하는 분리판이 우수한 내산화성을 가짐을 또한 알 수 있다.
이상과 같은 본 발명에 따른 고체산화물 연료전지용 분리판은 고온의 산화분위기에서 금속 기재의 표면에 전도성이 우수한 산화물을 형성시킬 수 있어 내산화성 및 고온전도성이 우수하며, 고체산화물 연료전지로의 적용시 수명특성, 출력특성 등 전지특성을 향상시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 금속 기재; 및
    상기 금속 기재 위에 형성된 코팅층을 포함하며,
    상기 코팅층은 코발트(Co)-M 합금(상기 M은 희토류 원소임)을 포함하는 것인 고체산화물 연료전지용 분리판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 기재는 페라이트계 스테인레스 강판인 것인 고체산화물 연료전지용 분리판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 M은 Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 고체 산화물 연료전지용 분리판.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 M은 Y, La 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 것인 고체 산화물 연료전지용 분리판.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 M은 코팅층 총 중량에 대하여 1 내지 10중량%로 포함되는 것인 고체산화물 연료전지용 분리판.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅층은 0.1 내지 1㎛의 두께를 갖는 것인 고체산화물 연료전지용 분리판.
  7. 코발트 그레인 및 금속 M 그레인(상기 M은 희토류 원소임)의 혼합물을 준비하는 단계; 및
    상기 혼합물을 전자빔 증착법으로 금속 기재위에 증착시켜 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 고체산화물 연료전지용 분리판의 제조방법.
  8. 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 한 항에 따른 분리판을 포함하는 고체산화물 연료전지.
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