KR20080057339A - 페이스트 도포 장치 및 이것을 사용한 표시 패널의 제조장치, 페이스트 도포 방법 - Google Patents

페이스트 도포 장치 및 이것을 사용한 표시 패널의 제조장치, 페이스트 도포 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20080057339A
KR20080057339A KR1020087011233A KR20087011233A KR20080057339A KR 20080057339 A KR20080057339 A KR 20080057339A KR 1020087011233 A KR1020087011233 A KR 1020087011233A KR 20087011233 A KR20087011233 A KR 20087011233A KR 20080057339 A KR20080057339 A KR 20080057339A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
paste
screw
pump
nozzle
container
Prior art date
Application number
KR1020087011233A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100965476B1 (ko
Inventor
고이치 하라다
에이이치 이시야마
Original Assignee
시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2005336326A external-priority patent/JP2007136397A/ja
Priority claimed from JP2006095606A external-priority patent/JP5142477B2/ja
Priority claimed from JP2006217500A external-priority patent/JP2008036590A/ja
Application filed by 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 filed Critical 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Publication of KR20080057339A publication Critical patent/KR20080057339A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100965476B1 publication Critical patent/KR100965476B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Spray Control Apparatus (AREA)

Abstract

노즐(36)을 가지는 실린더(40) 내에, 나선형 돌기(T1, T2) 또는 리세스를 형성한 봉형의 스크루(41)를 설치하고, 스크루(41)를 회전시킴으로써 실린더(40) 내의 페이스트를 축방향으로 송출하여 노즐(36)로부터 토출시키는 페이스트 도포 장치에 있어서, 상기 스크루(41)는 상기 나선형 돌기(T1, T2) 또는 리세스를 복수 개 가진다.

Description

페이스트 도포 장치 및 이것을 사용한 표시 패널의 제조 장치, 페이스트 도포 방법 {PASTE APPLYING APPARATUS, METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY PANEL USING SAME AND PASTE APPLYING METHOD}
본 발명은, 페이스트를 도포하는 페이스트 도포 장치 및 이것을 사용한 표시 패널의 제조 장치, 페이스트 도포 방법에 관한 것이며, 특히, 액정 표시 장치의 제조과정에 사용하기에 바람직한 페이스트 도포 장치 및 표시 패널의 제조 장치, 페이스트 도포 방법에 관한 것이다.
유리 기판 상에 페이스트로서의 시일제로 패턴을 묘화하는 기술로서는, 노즐로부터 시일제를 토출시키면서, 기판과 노즐 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대하여 기판의 상면을 따르는 평면 내에서 이동시킴으로써 패턴을 기판의 상면에 묘화하는 방법이 알려져 있다. 상기 방법에 있어서, 종래의 페이스트 도포 장치에서는, 시린지(syringe) 내에 미리 설정된 압력의 기체 압력을 가함으로써, 노즐로부터 시일제를 토출시킨다.
일본국 특개평11-119232호 공보에는 이와 같은 기술이 개시되어 있다.
그러나, 기체 압력에 의해 시일제를 노즐로부터 토출시키는 방식에서는, 기판 상면과 노즐 사이의 간극이 변화되면, 노즐로부터의 시일제의 토출 저항이 변화 되어 시일제의 토출량이 변화된다. 또한, 주위 온도의 변화에 따라 시일제의 점도가 변화되면, 시일제가 노즐을 통과할 때의 저항이 변화되어, 노즐로부터의 토출량이 변화된다. 또한, 시린지 내의 시일제의 잔량이 감소함으로써도 노즐로부터의 시일제의 토출량이 감소된다. 그 결과, 균일한 도포량으로 시일제를 기판 상에 도포할 수 없는 문제가 있다.
이와 같이, 시일제를 기판 상에 균일한 도포량으로 도포할 수 없으면, 그 후, 이 기판이 시일제를 통하여 다른 기판과 접합되었을 때, 다른 기판과 시일제와의 접착력에 강한 부분과 약한 부분이 생긴다. 그리고, 접착력이 약한 부분으로부터, 2개의 기판과 시일제로 에워싸인 공간 내에 밀봉된 액정이 누출되거나, 그 공간 내에 공기가 침입하는 것에 의해 표시 불량이 발생하고, 액정 표시 패널의 품질을 해치게 된다.
본 발명의 과제는, 페이스트를 기판 상에 필요한 도포량으로 정밀하게 도포하고, 도포 품질을 향상시킬 수 있는 페이스트 도포 장치 및 이것을 이용한 표시 패널의 제조 장치, 페이스트 도포 방법을 제공하는 것이다.
즉, 본 발명은, 노즐을 가지는 실린더 내에, 나선형 돌기부 또는 리세스를 형성한 봉형의 스크루를 설치하고, 스크루를 회전시킴으로써 실린더 내의 페이스트를 축방향으로 송출하여 노즐로부터 토출시키는 페이스트 도포 장치로서, 상기 스크루는 나선형 돌기부 또는 리세스를 복수 개 가지는 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 페이스트 도포 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 도포 장치에서의 토출 장치의 모식 단면도이다.
도 3a는 2개의 돌기부를 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)가 상하 방향으로 대와 소인 경우의 모식도이다.
도 3b는 개구부와 실린더의 거리(간극)가 좌우 방향으로 중과 중인 경우의 모식도이다.
도 4는 3개의 돌기부를 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)를 설명하기 위한 모식도이다.
도 5는 2개의 돌기부를 상이한 피치로 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)를 설명하기 위한 모식도이다.
도 6은 액정 표시 패널의 제조 공정을 나타낸 블록도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 페이스트 도포 장치를 나타낸 사시도이다.
도 8은 토출 장치와 함께 용기 내의 압력 제어용 배관을 나타낸 블록도이다.
도 9는 묘화 패턴을 나타내는 모식도이다.
도 10은 묘화 패턴의 도포 위치와 펌프의 모터 회전 속도의 관계를 나타내는 모식도이다.
도 11은 용기 내의 압력의 전환을 나타내는 타이밍 차트도이다.
도 12는 펌프의 모터의 회전 속도에 맞추어 용기 내의 압력을 바꾸는 경우의 타이밍 차트도이다.
도 13은 본 발명의 제3 실시예의 시일제의 온도 조절 기구를 제어 블록도와 함께 나타내는 모식도이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하면서 설명한다.
(제1 실시예)
도 1 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시예를 나타낸다. 도 1은 페이스트 도포 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 페이스트 도포 장치에서의 토출 장치의 모식 단면도이고, 도 3은 2개의 돌기부를 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)를 설명하기 위한 모식도이며, (a)는 개구부와 실린더의 거리(간극)가 상하 방향(도면에서 지면 상하 방향)에서 대와 소인 경우, (b)는 개구부와 실린더의 거리(간극)가 좌우 방향(도면에서 지면 좌우 방향)에서 중과 중인 경우의 모식도이고, 도 4는 3개의 돌기부를 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)를 설명하기 위한 모식도이고, 도 5는 2개의 돌기부를 상이한 피치로 가지는 스크루의 개구부의 외주와 실린더의 내주의 거리(간극)를 설명하기 위한 모식도이고, 도 6은 액정 표시 패널의 제조 공정을 나타낸 블록도이다.
도 6은 액정 표시 패널 제조 장치(1)를 나타내고, 이 액정 표시 패널 장치(1)는 이하의 장치로 이루어지고, 대략, 이하의 공정을 거쳐 액정 표시 패널을 제조한다.
공정 (1)에서, 페이스트 도포 장치(10)에 의해, 2개의 직사각형의 유리 기판 중 하부 기판에 형성된 표시 영역을 에워싸는 주변부에, 페이스트로서의 시일제를 소정의 두께(예를 들면, 30㎛)로 테두리형으로 도포한 후, 공정 (2)에서 액정 적하 장치(11)에 의해, 하부 기판의 시일제의 내측의 표시 영역에 액정이 적하된다. 그리고, 시일제를 상부 기판에 도포하여, 대향하는 하부 기판의 표시 영역에 액정을 적하해도 된다. 다음에, 공정 (3)에서 기판 접합 장치(12)에 의해, 하부 기판의 위에 상부 기판을 진공 챔버 내에서 위치맞춤을 한 후, 상하의 기판을 상하 방향으로 가압하여 접합시킨다. 공정 (4)에서 자외선 조사 장치(13)에 의해, 시일제에 자외선을 조사하여 경화시켜, 2개의 기판과 시일제의 내측에 액정을 밀봉한 액정 표시 패널을 제조한다.
도 1에 나타내는 페이스트 도포 장치(10)는, 상기의 공정 (1)의 상부 기판 또는 하부 기판의 주변부에 페이스트로서의 시일제를 테두리형으로 도포하기 위해 사용하는 것이다.
도 1에서, X축과 Y축은 서로 직교하고 각각 수평 방향으로 연장되며, Z축은 X축과 Y축에 대하여 수직 방향으로 연장된다. 도 1은 페이스트 도포 장치(10)의 개략적 구성을 나타낸 사시도로서, 페이스트 도포 장치(10)는 직육면체형의 베이스(20)를 구비한다. 베이스(20)의 상면에, 도 1에 나타낸 바와 같이, Y테이블(22)이 Y축 방향(도 1에서, 페이스트 도포 장치(10)의 전후 방향)을 따라 이동 가능하게 설치되고, Y테이블(22)은 도시하지 않은 볼나사와 너트 및 볼나사를 회전시키는 서보 모터(23)로 이루어지는 구동 수단에 의해 구동된다.
상기 Y테이블(22)의 상면에 θ회전기구(24)를 통하여 스테이지(25)가 설치된 다. 스테이지(25)는 θ회전기구(24)에 의해, 도 1에 나타낸 바와 같이, Z축(도 1에서, 페이스트 도포 장치(10)의 상하 방향) 주위로 수평면 내에서 회전 가능하게 되어 있다. 스테이지(25)의 상면에는, 액정 표시 패널의 제조에 사용되는 유리제의 직사각형 기판(26)이 탑재되고, 도시하지 않은 진공 흡착 등의 수단에 의해 흡착 지지된다.
베이스(20)의 상면에는, Y테이블(22)을 건너는 상태로 게이트형의 지지체(30)가 설치된다. 이 지지체(30)의 수평인 빔부의 앞면에 Y축방향과 직교하는 X축 방향(도 1에서, 도포 장치(10)의 좌우 방향)을 따라 가이드 레일(31)이 고정된다. 가이드 레일(31) 상에 2개의 X테이블(32)가 X축방향으로 각각 이동 가능하게 설치되고, 2개의 X테이블(32)은 도시하지 않은 리니어 모터로 이루어지는 구동 수단에 의해 구동된다. 리니어 모터는 가이드 레일(31) 상에 설치된 마그넷과 X테이블(32)에 설치된 코일로 이루어진다.
각각의 X테이블(32) 상에 Z테이블(33)이 Z축 방향(상하 방향)으로 이동 가능하게 설치되고, Z테이블(33)은 볼나사와 너트(모두 도시하지 않음) 및 볼나사를 회전시키는 서보 모터(34)로 이루어지는 구동 수단에 의해 구동된다.
또한, 각각의 Z테이블(33) 상에, 토출 장치(35)가 각각 설치된다. 토출 장치(35)에 대하여는, 후에 상세하게 설명하지만, 도 2에 나타낸 바와 같이, 선단부에 노즐(36)을 가지는 실린더(40) 내에 2개의 나선형 돌기(T1, T2)를 동일한 피치로 형성한 봉형의 스크루(41)를 가지고, 스크루(41)를 서보 모터(44)에 의해 회전시킴으로써, 실린더(40) 내의 시일제(S)를 축방향으로 송출하여 노즐(36)로부터 토 출시킨다.
Z테이블(33) 상에는, 레이저 변위계(45)로 이루어지는 거리 검출기가 실린더(40)와 일체로 장착되어 고정되고, 레이저 변위계(45)는 기판(26) 상면까지의 거리를 측정한다.
또한, 각 Z테이블(33) 상에는, 스테이지(25) 상에 기판(26)을 위치결정하기 위한 CCD 카메라(46)로 이루어지는 촬상 장치가 설치된다.
상기 도포 장치(10)의 베이스(20)의 일측에는 제어 장치(50)가 설치된다. 제어 장치(50)는 Y테이블(22)을 구동하는 서보 모터(23), X테이블(32)을 구동하는 도시하지 않은 리니어 모터, Z테이블(33)을 구동하는 서보 모터(34)를 각각 제어한다.
또한, 제어 장치(50)는, 토출 장치(35)의 스크루(41)를 회전 구동시키는 서보 모터(44)를 제어한다.
제어 장치(50)에는 모니터용의 디스플레이(52)와 입력용의 키보드(53)가 접속된다.
다음에, 상기 구성의 페이스트 도포 장치(10)에 의해 기판(26) 상에 시일제(S)를 도포하는 동작에 대하여 설명한다.
먼저, 스테이지(25)의 상면에, 도시하지 않은 로봇 등에 의해 기판(26)이 공급 탑재되면, 기판(26)에 부여된 도시하지 않은 얼라인먼트 마크가 CCD 카메라(46)에 의해 촬상되어 촬상 신호가 제어 장치(50)에 입력된다. 제어 장치(50)는, 촬상된 화상으로부터 화상 인식에 의해 미리 설정된 위치 사이의 위치 어긋남을 검출하 고, 그 어긋남이 0이 되도록 X테이블(32), Y테이블(22), θ회전기구(24)를 제어한다.
페이스트 도포 장치(10)의 제어 장치(50)는, X테이블(32)의 리니어 모터와 Y테이블(22)의 서보 모터(23)를 구동하여 X테이블(32)과 Y테이블(22)을 수평 방향으로 이동시키고, Z테이블(33)의 서보 모터(34)를 구동하여 Z테이블(33)을 상하 방향으로 이동시킨다.
제어 장치(50)는, 2개의 토출 장치(35)의 서보 모터(44)를 구동하여 스크루(41)를 회전시켜 노즐(36)로부터 시일제(S)를 토출시켜, X축방향으로 정렬된 2개의 패턴(51)을 동시 병행적으로 도포 묘화시킨다.
레이저 변위계(45)는 기판(26) 상면까지의 거리를 측정하고, 제어 장치(50)는, 레이저 변위계(45)의 측정값에 따라 노즐(36)의 선단과 기판(26) 상면의 간격(이하, 갭이라고 말함)이 항상 일정하게 되도록 서보 모터(34)를 구동하여 Z테이블(33)을 이동 제어(이하, 간극 제어라고 말함)하고, 균일한 폭 및 두께의 패턴(51)을 기판(26) 상에 도포 묘화한다.
이상과 같이 하여, 페이스트 도포 장치(10)는 4개의 패턴(51)을 기판(26) 상에 테두리형으로 도포 묘화한다.
다음에, 전술한 토출 장치(35)에 대하여 상세하게 설명한다.
토출 장치(35)는, 전술한 것처럼 도 2에 나타낸 바와 같이, 선단부에 노즐(36)을 가지는 실린더(40)와 실린더(40)의 내주에 회전 가능하게 설치된 봉형의 스크루(41)를 구비한다. 스크루(41)는 원기둥형의 축부(41A)의 외주에 단면이 사 각형인 2개의 나선형 돌기(T1, T2)를 동일한 피치(P)로 가지고, 리드(L)는 L=2P 로 된다. 2개의 나선형 돌기(T1, T2)의 사이에 2개의 나선형의 홈(G1, G2)이 형성되고, 나선형의 홈(G1, G2)의 축 방향의 선단에 있어서의 개구부(A1, A2)(A2는 A1의 180도 반대쪽)가, 스크루(41)의 외주에서 동일한 간격의 배치가 되도록 설치된다. 스크루(41)의 나선형 돌기(T1, T2)의 외주와 실린더(40)의 내주 사이에는 미소 간극이 형성되고, 2개의 나선형의 홈(G1, G2)과 실린더(40)의 내주 사이에 각각 나선형의 액실(R)이 각각 구획된다.
그리고, 스크루(41)는 2개 이상의 복수 개의 나선형 돌기(T)를 가질 수도 있고, 또한 복수 개의 나선형 돌기(T)를 상이한 피치(P)로 가질 수도 있다.
토출 장치(35)는, 실린더(40)의 상단의 기단부에 장착된 전술한 서보 모터(44)를 구비하고, 서보 모터(44)의 회전축(44A)에 연결 부재(54)를 통하여 스크루(41)가 연결되고, 스크루(41)는 서보 모터(44)의 회전축(44A)을 지지하는 도시하지 않은 베어링에 의해 지지된다.
토출 장치(35)는, 또한 실린더(40)와 병렬로 설치된 저류 용기(55)를 구비한다. 저류 용기(55) 내에는 시일제(S)가 저류되고, 시일제(S)의 상부에 압력 기체실(55A)이 설치되고, 압력 기체실(55A)은 호스(56)를 통하여 도시하지 않은 기체 압력원에 연결된다. 또한, 스크루(41)의 상단부의 나선형 돌기(T1, T2)의 외주에 대향하여 실린더(40)의 측벽의 상부에 연통공(60)이 형성되고, 이 연통공(60)에 파이프(57)를 통하여 저류 용기(55)의 저부가 연결된다.
상기 구성으로 이루어지는 토출 장치(35)의 시일제(S)의 토출 동작에 대하 여, 이하에 설명한다.
페이스트 도포 장치(10)의 제어 장치(50)는, 토출 장치(35)의 서보 모터(44)를 구동하여 스크루(41)를 회전시킨다. 이 스크루(41)의 회전에 의해, 나선형의 홈(G1, G2)과 실린더(40)의 내주 사이에 구획되는 액실(R) 내의 시일제(S)가, 나선형의 홈(G1, G2)을 따라 축방향으로 압출하여 홈(G1, G2)의 축 방향의 선단에 있어서의 2개의 개구부(A1, A2)로부터 토출된다. 또 저류 용기(55)로부터 실린더(40)의 연통공(60)을 통하여 실린더(40) 내에 시일제(S)가 보급되고 보급된 시일제(S)는 스크루(41)의 기단부 외주의 나선형의 홈(G1, G2)의 각 개구부로부터 흡입된다.
제어 장치(50)는, 토출 장치(35)의 스크루(41)를 회전 구동시키는 서보 모터(44)를 제어하여, 노즐(36)로부터의 시일제(S)의 토출, 정지를 제어한다.
그리고, 스크루(41)의 회전이 개시되는 타이밍보다 미리 설정된 시간만큼 빠른 타이밍에서, 기체 압력원으로부터 저류 용기(55) 내의 압력 기체실(55A)에 압력 기체의 공급이 개시되고, 또한, 스크루(41)의 회전을 정지시키는 타이밍에서 압력 기체실(55A)로의 압력 기체의 공급이 정지된다.
또한, 실린더(40) 내의 액실(R)을 시일제(S)로 채우기 위하여, 토출 장치(35)의 예비 토출 동작이 행해진다. 즉, 압력 기체실(55A) 내에 압력 기체를 공급하고, 이 상태에서 스크루(41)를 회전시킨다. 액실(R) 내부가 시일제(S)로 채워지고 시일제(S) 노즐(36)로부터 토출될 때까지 스크루(41)의 회전을 계속시킨다. 이 때, 시일제(S) 노즐(36)로부터 토출된 후에도 일정 시간 스크루(41)를 계속 회전시키면, 액실(R) 내에 공기를 잔류시키지 않고 시일제(S)를 액실(R) 내에 충만시 키는 것이 가능하므로 바람직하다.
또한, 노즐(36)로부터의 시일제(S)의 토출을 정지시킬 때, 스크루(41)를 역전시킴으로써, 시일제(S)의 토출 정지 시 등에서 노즐(36)의 선단으로부터의 시일제(S)가 늘어지는 것을 방지할 수 있다.
그런데, 스크루(41)의 축심과 실린더(40)의 축심이 편심되어 있으면, 스크루(41)의 회전 각도에 의해, 나선형의 홈(G)의 축 방향의 선단에 있어서의 개구부(A)의 외주와 실린더(140) 내주 사이의 거리가 일정하지 않게 된다. 그 결과, 시일제(S)가 개구부(A)를 통과할 때의 저항이 커지거나 작아지도록 하여 스크루(41)의 회전 각도에 의해 시일제(S)의 토출량이 상이하고, 패턴(51)의 개소에 의해 도포량이 흩어지거나 끊어지는 문제가 발생한다.
상기 토출 장치(35)는, 스크루(41)의 축심과 실린더(40)의 축심이 편심되어 있는 경우, 다음과 같이 동작한다.
스크루(41)는 2개의 나선형 돌기(T1, T2)를 동일한 피치로 가지므로, 스크루(41)가 실린더(40)에 대하여 편심하고 있는 경우에 있어서 스크루(41)의 축 방향 선단의 외주에 있어서의 2개의 홈(G1, G2)의 개구부(A1, A2)의 배치는, 도 3a에 나타낸 바와 같이, (1) 한쪽의 홈(G1)의 개구부(A1)와 실린더(40)의 내주의 거리(간극)(H1)가 작으며 다른 쪽의 홈(G2)의 개구부(A2)와 실린더(40)의 내주의 거리(간극)(H2)가 큰 경우와, 도 3b에 나타낸 바와 같이, (2) 한쪽의 홈(G1)과 다른 쪽의 홈(G2)의 각 개구부(A1, A2)와 실린더(40)의 내주의 거리(H1, H2)가 중간과 중간인 경우와, (3) 상기 (1)과 (2)의 중간인 경우가 있다.
도 3a의 경우에, 실린더(40)의 내주의 거리(H1)가 작은 위치에 있는 개구부(A1)의 외주에서의 토출 저항이 크기 때문에 시일제(S)의 토출량은 작으며, 또한, 실린더(40) 내주의 거리(H2)가 큰 위치에 있는 개구부(A2)의 외주에서의 토출 저항이 작으므로 시일제(S)의 토출량은 크다. 상기 (1), (2), (3) 어느 경우도 스크루(41)로부터의 시일제(S)의 토출량이 평균화된다. 그 결과, 스크루의 회전 각도에 관계없이 일정량의 페이스트를 토출하여 단위 길이당의 도포량을 일정하게 할 수 있다.
그리고, 스크루(41)는 2개 이상의 복수 개의 나선형 돌기(T)를 동일한 간격으로 가질 수도 있고, 이 경우, 복수 개의 개구부(A)는 스크루(41)의 선단부의 외주에 동일한 간격으로 배치되고, 시일제(S)의 토출량이 평균화된다. 도 4에 3개의 돌기(T1, T2, T3)를 동일한 피치로 가지는 스크루(41)를 나타낸다.
또한, 스크루(41)는 복수 개의 나선형 돌기(T)를 상이한 피치(P)로 가질 수도 있다. 도 5는, 2개의 돌기(T1, T2)를 상이한 피치(P)로 가지는 스크루(41)의 경우의 예로, 2개의 개구부(A1, A2)가 스크루(41)의 외주에 원주 방향으로 90도 분산된 배치로 되어 있다.
이 경우, 도 5에 나타낸 바와 같이, 한쪽의 개구부(A1)가 실린더(40)의 내주의 거리가 최소로 되는 위치에 있을 때는, 다른 쪽의 개구부(A2)에 있어서의 실린더(40)의 내주의 거리는 한쪽의 개구부(A1)보다 크다. 또한, 한쪽의 개구부(A1)가 실린더(40)의 내주의 거리가 최대가 되는 위치에 있을 때는, 다른 쪽의 개구부(A2)에 있어서의 실린더(40)의 내주의 거리는 한쪽의 개구부(A1)보다 작다.
따라서, 한쪽의 개구부(A1)로부터의 시일제(S)의 공급량이 적을 때, 다른 쪽의 개구부(A2)로부터는 그보다 많은 양으로 시일제(S)가 공급되고, 한쪽의 개구부(A1)로부터의 시일제(S)의 공급량이 많을 때, 다른 쪽의 개구부(A2)로부터 그보다 적은 양으로 시일제(S)가 공급된다. 이와 같이, 한쪽의 개구부(A1)에 있어서의 시일제(S)의 공급량의 불균일은, 다른 쪽의 개구부(A2)에 의해 완화된다. 따라서, 스크루(41)의 돌기(T)가 1개인 경우에 비하여, 노즐(36)로부터의 시일제(S)의 토출량을 평균화할 수 있다.
다음에, 개구부(A1, A2)의 외주와 실린더(40)의 내주 사이에서의 토출 저항은, 스크루(41)를 지지하는 작용을 한다. 도 3a에 나타낸 바와 같이, 실린더(40)의 내주의 거리(간극)(H1)가 작으며 토출 저항이 큰 개구부(A1)의 외주에서는, 거리(간극)(H2)가 크며 토출 저항이 작은 개구부(A2)의 외주로부터, 스크루(41)을 그 중심 방향으로 누르는 작용이 크다. 이것은, 개구부(A1) 측에서는 토출 저항이 큰 만큼, 시일제(S)의 반력이 강하게 작용하기 때문이다. 그리고, 이 개구부(A1) 측의 시일제(S)의 반력은, 도 3b에 나타낸 상태에 가까워짐에 따라 서서히 감소하고, 도 3b에 나타낸 상태에 있어서 개구부(A2) 측과 동등하게 된다. 한편, 개구부(A2) 측에서는, 시일제(S)의 반력은, 도 3a에 나타낸 상태로부터 도 3b에 나타낸 상태에 가까워짐에 따라 서서히 증가한다. 그 결과, 스크루(41)의 선단부는, 시일제(S)의 반력에 의해, 편심을 교정하는 방향으로 항상 가압되게 된다. 따라서, 본 실시예와 같이, 스크루(41)를 상단부 측에서 외팔보로 지지하는 구조에 있어서는, 스크루(41)의 선단부 측의 편심이 시일제(S)의 반력에 의해 교정되게 된다. 그러므로, 2개의 개구부(A1, A2)에 의해 시일제(S)의 토출량이 평균화되는 것 외에 스크루(41)의 편심이 교정되므로, 시일제(S)를 보다 균일한 토출량으로 토출시키는 것이 가능하다.
다음에, 2개의 돌기(T1, T2)를 가지는 스크루(41)가 일 회전 하면 시일제(S)는 1리드 만큼, 즉 2피치 만큼의 시일제(S)를 토출한다. 따라서, 배경 기술에서의 토출 장치와 동일한 토출량을 얻는데 필요한 회전수는 1/2로 된다.
그리고, 이 경우, 2개의 돌기(T1, T2)를 가지는 스크루(41)의 피치는 반드시 1개의 돌기(T)를 가지는 스크루(141)와 동일한 피치(P)일 필요는 없고, 동등 이상의 피치를 동일한 피치로 가지는 스크루(41)이면 된다.
본 실시예에 따르면, 이하의 작용 효과를 얻을 수 있다.
(a) 페이스트 도포 장치(10)의 스크루(41)는 나선형 돌기(T)를 복수 개 구비함으로써, 나선형 돌기(T) 사이의 나선형 홈(G)의 축 방향의 선단에 있어서의 개구부(A)가, 스크루(41)의 외주에서 원주 방향으로 분산되어 배치된다. 그 결과, 스크루(41)가 실린더(40)에 대하여 편심되어 있는 경우, 나선형의 홈(G)의 개구부(A)의 외주와 실린더(40) 내주의 거리가 작은 부분과 큰 부분이 생긴다. 실린더(40) 내주의 거리(H1)가 작은 개구부(A1)의 외주에서의 토출 저항은 커지고 시일제(S)의 토출량은 작아지고, 또한 실린더(40) 내주의 거리(H2)가 큰 개구부(A2)의 외주에서의 토출 저항은 작아지고 시일제(S)의 토출량은 커진다. 따라서, 실린더(40) 내주의 거리(H1)가 작은 개구부(A1)에서의 작은 토출량과 거리(H2)가 큰 개구부(A2)에서의 큰 토출량에 의해, 스크루(41)로부터 토출되는 시일제(S)의 토출량이 개구 부(A1, A2)의 배치의 각도에 따라 평균화된다. 이 경우, 개구부(A1, A2)의 배치가 동일한 간격으로 가까워짐에 따라 토출량은 더욱 평균화된다. 따라서, 스크루(41)의 회전 각도에 의한 토출량의 불균일을, 1개의 나선형 돌기(T)의 경우에 비해 적게 할 수 있다.
(b) 페이스트 도포 장치(10)의 스크루(41)는 나선형 돌기(T)를 복수 개 구비하고, 또한 나선형 돌기(T1, T2) 사이에 형성되는 나선형의 홈(G1, G2)의 축 방향의 선단에서의 개구부(A1, A2)가, 스크루(41)의 외주부에서 동일한 간격의 배치가 되도록 설치된다. 그 결과, 개구부(A1)의 외주와 실린더(40)의 내주의 거리(H1)가 작은 개구부(A1)에서의 작은 토출량과 거리(H2)가 큰 개구부(A2)에서의 큰 토출량ㅇ에 의해, 스크루(41)로부터 토출되는 시일제(S)의 토출량이 평균화되어, 편심되어 있지 않은 경우의 토출량과 동일하거나 거의 동일하게 된다. 따라서, 스크루(41)의 회전 각도에 관계없이, 일정량의 시일제(S)를 토출하여 단위 길이당의 도포량을 일정하게 할 수 있다.
(c) 나선형 돌기(T1, T2) 사이에 형성되는 나선형의 홈(G1, G2)의 축 방향의 선단에서의 개구부(A1, A2)가, 스크루(41)의 외주부에서 동일한 간격의 배치가 되도록 설치된다. 그 결과, 개구부(A1, A2)의 외주와 실린더(40)의 내주에서의 시일제(S)의 토출 저항에 의해, 스크루(41)에 그 편심을 교정하는 힘이 작용하게 된다. 즉, 홈(G1)의 개구부(A1)와 실린더(40)의 내주의 거리(L1)가 작은 쪽에서는 시일제(S)의 반력이 크고, 거리(L2)가 큰 쪽에서는 시일제(S)의 반력이 작다. 그러므로, 스크루(41)의 편심이 시일제(S)의 반력에 의해 교정되어 시일제(S)를 보다 균 일한 토출량으로 토출시키는 것이 가능하다.
(d) 페이스트 도포 장치(10)의 스크루(41)는 복수 개의 나선의 돌기(T)를 동일한 피치(P)로 구비한다. 복수 개의 돌기(T)를 동일한 피치(P)로 가지는 스크루(41)의 개수를 n으로 하면, 리드(L)는 L=nP로 된다. 또한, 1개의 돌기(T)를 가지는 스크루(141)와 동일한 피치(P)를 가지는 n개의 돌기(T)를 가지는 스크루(41)가 1개의 돌기(T)를 가지는 스크루(141)와 동일한 토출량을 얻기 위해 필요한 모터의 회전수는 1/n로 된다. 그 결과, 스크루(41)를 회전 구동시키는 모터의 회전수는 1/n이 되므로, 스크루(41)와 시일제(S) 또는 시일제(S)끼리의 마찰, 또는 모터의 발열이 시일제(S)에 전달되는 것 등에 의해, 시일제(S)가 발열하여 경화되거나 열화되는 것을 억제할 수 있고, 고가의 시일제(S)를 폐기하는 것에 의한 손실의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 시일제(S)의 열화를 억제할 수 있는 것에 의해, 제조되는 액정 표시 패널의 품질을 향상시킬 수 있다.
(e) 2개의 기판 중 적어도 한쪽의 기판(26)에, 기판(26)에 형성된 표시 영역을 에워싸도록 시일제(S)를 도포하고, 시일제(S)를 통하여 한쪽의 기판(26)과 다른 쪽의 기판을 접합시키는 액정 표시 패널의 제조 장치(1)는, 상기의 페이스트 도포 장치(10)를 구비한다. 그 결과, 페이스트 도포 장치(10)에 의해 균일한 두께 및 도포 폭의 패턴(51)이 기판(26) 상에 도포되므로, 시일제(S)로 에워싸인 액정 표시 패널의 내부의 액정 등이 누출되거나 액정 표시 패널 내에 공기가 들어가는 것을 방지할 수 있으므로, 액정 표시 패널의 불량의 발생을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명의 제1 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서의 설계의 변경 등도 본 발명에 포함된다.
예를 들면, 축부의 외주에 돌기를 가지는 예를 들어 설명하였으나, 돌기 대신에, 원기둥형의 축부의 외주에 나선형의 리세스를 가지는 것이어도 된다. 그러나, 나선형 돌기를 가지거나 리세스를 가지는 것은, 나선형의 홈의 저부를 축부로 보아 돌기를 가지는 것으로 할 것인지, 나선형 돌기의 정상부를 축부로 보아 리세스를 가지는 것으로 할 것인지의 표현상의 차이에 지나지 않기 때문에, 리세스를 가지는 경우도 포함하는 것은 물론이다.
또한, 간극 제어를 행하는 예를 들어 설명하였으나, 간극 제어를 생략해도 된다. 이 경우, 간극 제어를 전혀 행하지 않도록 해도 되고, 노즐을 도포 개시점에 위치시킬 때만 간극 제어를 행하고, 패턴의 묘화 중에는 간극 제어를 생략하도록 해도 된다.
또한, 페이스트 도포 장치는, 기판 상에 시일제를 도포하는 것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 프린트 기판 등의 회로 기판에 도전성 회로 패턴을 형성하는 것이어도 된다.
또한, 선형의 패턴을 도포하는 예를 들어 설명하였으나, 점형의 패턴을 도포하도록 해도 된다.
또한, 액정 표시 패널 제조 장치의 예를 들어 설명하였으나, 표시 패널의 제조 장치는 액정 이외의 물질, 예를 들면, 유기 또는 무기 EL 물질이어도 된다.
(제2 실시예)
다음에, 본 발명의 제2 실시예를 도 7 내지 도 12를 참조하여 설명한다.
이 실시예는 토출 장치의 변형예를 나타낸다.
도 7은 페이스트 도포 장치를 나타낸 사시도이고, 도 8은 토출 장치와 함께 용기 내의 압력 제어용 배관을 나타낸 블록도이고, 도 9는 묘화 패턴을 나타내는 모식도이고, 도 10은 묘화 패턴의 도포 위치와 펌프의 모터의 회전 속도와의 관계를 나타내는 모식도이고, 도 11은 용기 내의 압력의 전환을 나타내는 타이밍 차트도이고, 도 12는 펌프의 모터의 회전 속도에 맞추어 용기 내의 압력을 바꾸는 경우의 타이밍 차트도이다.
도 7에 나타내는 페이스트 도포 장치(110)는 4개의 레그(112) 상에 직사각 평판형의 베이스(111)를 갖는다. 베이스(111)의 상면에, X테이블 유닛(117), Y테이블 유닛(118)을 통하여, 직사각 판형의 테이블(130)이 설치된다. 여기서, X축 방향은 도 7의 베이스(111) 상면을 따르는 좌우 방향이고, Y축 방향은 도 7의 베이스(111) 상면을 따르는 전후 방향이다.
X테이블 유닛(117)은, X축 방향으로 이동 가능한 X테이블(113), 및 X테이블(113)을 이동시키는 이동 기구(114)를 가지고 구성된다. X테이블(113) 상에는, Y테이블 유닛(118)이 탑재된다.
Y테이블 유닛(118)은, Y축방향으로 이동 가능한 Y테이블(115), 및 Y테이블(115)을 이동시키는 이동 기구(116)를 가지고 구성된다. Y테이블(115) 상에는, 테이블(130)이 고정된다.
또한, 베이스(111) 상에는 게이트형의 컬럼(120)이 고정되고, 컬럼(120)의 수평 빔부(120A)의 전면부에 고정된 직선 가이드(121) 상에 2개의 도포 헤드(122)가 좌우 방향으로 소정 간격을 두어 설치된다. 2개의 도포 헤드(122)는 이동 기구(123)를 갖고, 이동 기구(123)에 의해 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 이로써, 2개의 도포 헤드(122)의 X축 방향의 간격을, 후술하는 기판(26) 상에 도포하는 복수 개의 패턴(Q)의 X축 방향에서의 배치 간격으로 맞추는 것이 가능하도록 되어 있다.
이동 기구(114, 116, 123)는, 각각 도시하지 않은 이송 나사와 너트, 및 이송 나사를 회전시키는 구동용의 서보 모터(124, 125, 126)를 구비한다.
테이블(130) 상에는 액정 표시 패널의 제조에 사용되는 유리 기판(26)이 유지된다.
도포 헤드(122)는 토출 장치(132)를 가지고, 토출 장치(132)는 Z테이블 유닛(137) 상에 설치된다. Z테이블 유닛(137)은 도시하지 않은 이동 기구를 가지고, 토출 장치(132)를 Z축 방향(도 1에서 상하 방향)으로 구동한다.
그리고, 이동 기구(114, 116, 123)는 직선형의 고정자와 이 고정자 상을 이동하는 가동자로 이루어지는 리니어 모터일 수 있다.
토출 장치(132)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 펌프(134), 내부에 페이스트로서의 시일제(S)를 저장한 용기(140), 및 시일제(S)를 토출하는 노즐(133)을 가지고, 펌프(134)는 용기(140) 내로부터 공급된 시일제(S)를 노즐(133)로부터 토출하여 기판(131) 상에 도포한다.
모터(124, 125)는, 각각 X테이블 유닛(117)과 Y테이블 유닛(118)을 구동하여 테이블(130)을 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키고, 테이블(130) 상의 기판(26)을 펌프(134)의 노즐(133)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시킨다.
페이스트 도포 장치(110)는, 노즐(133)과 일체적으로 설치된, 도시하지 않은 레이저 변위계 등의 거리 측정기를 가진다. 후술하는 제어 장치(156)는, 이 거리 측정기에 의한 기판(26) 면까지의 거리의 측정값에 의한 피드백 제어에 의해, 노즐(133) 선단과 기판(26) 면 사이의 간극을 미리 설정된 간극으로 유지하도록 제어(간극 제어) 한다.
펌프(134)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 케이싱으로서의 중공 원통형의 실린더(135), 이 실린더(135) 내에 회전 가능하게 설치된 토출 부재로서의 스크루(136), 및 실린더(135)의 상단부에 설치된 모터(141)로 이루어진다. 실린더(135)는 Z테이블 유닛(137) 상에 Z축 방향(상하 방향)으로 장착되고, 실린더(135)의 하단부에는 노즐구멍(133A)을 가지는 노즐(133)이 일체로 형성된다. 스크루(136)의 외주에는 나선형 돌기(136A)가 일체로 형성되고, 인접하는 돌기(136A)와 돌기(136A) 사이에 나선형의 홈(136B)이 구획되고, 돌기의 외주와 실린더(135) 내주 사이에는 스크루(136)가 회전하기 위해 필요한 미소한 환형 간극이 형성된다. 그리고, 실린더(135) 내에 펌프실(139)이 형성된다. 모터(141)는 서보 모터로 이루어지고, 모터(141)의 축에 연결 부재(138)를 통하여 스크루(136)가 연결되고, 모터(141)를 회전시킴으로써 스크루(136)가 회전 구동된다.
또한, 토출 장치(132)는 원통형의 용기(140)를 가지고, 용기(140)의 하단부 에 파이프형의 접속부(140A)가 일체로 형성된다. 용기(140)의 접속부(140A)는 실린더(135) 상부의 흡입구멍(143)에 연결되고, 흡입구멍(143)은 스크루(136)의 상부 외주의 펌프실(139)로 개구된다. 용기(140) 내에 저류된 시일제(S)의 상부는 기체실(145)로 되고, 기체실(145)은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 배관(146)을 통하여 정압원(153)에 접속되고, 후술하는 바와 같이, 정압원(153)으로부터 용기(140) 내에 시일제(S)의 가압 수단으로서 가압 기체가 공급된다.
펌프(134)의 모터(141)를 회전하여 스크루(136)를 회전시키면, 용기(140) 내의 시일제(S)가 실린더(135)의 흡입구멍(143)으로부터 스크루(136) 상부의 펌프실(139) 내에 공급되고, 시일제(S)는 스크루(136)의 나선형의 홈(136B)을 따라 밀려 나와 실린더(135)의 하단부의 노즐(133)로부터 토출된다. 모터(141)의 회전량에 따른 양의 시일제(S)가 노즐(133)로부터 토출된다.
예를 들면, 스크루(136)가 일회전 하면, 돌기(136A)의 피치 상당 분량의 시일제(S)가 노즐(133)로부터 토출된다. 그리고, 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 단위 시간당의 토출량은, 펌프(132)의 모터(141)의 회전 속도(단위 시간당의 회전량)에 비례하므로, 모터(141)의 회전 속도를 바꿈으로써 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 단위 시간당의 토출량을 바꿀 수가 있다. 펌프(134)는, 종래 기술과 같이, 압력 기체에 의해 시일제(S)를 밀어내는 것이 아니라, 스크루(136) 외주의 돌기(136A)에 의해 직접 기계적으로 액상의 시일제(S)를 밀어 내므로, 펌프(132)의 모터(141)의 회전량에 비례한 토출량을 얻을 수 있다.
페이스트 도포 장치(110)는 제어 장치(156)를 구비한다. 제어 장치(156)는, X테이블 유닛(117) 및 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(124, 125)에 구비되는 인코더 등으로부터, 노즐(133)과 기판(26)의 X축 방향의 상대 이동 속도와 Y축 방향의 상대 이동 속도, 및 이들 X축 방향과 Y축 방향의 상대 이동 속도를 합성한 상대 이동 속도에 따라 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 제어하여, 펌프(134)의 토출량을 제어한다.
다음에, 상기 구성의 도포 장치(110)에 의해, 테이블(130) 상에 유지된 유리 기판(26)의 주위 둘레부에 시일제(S)를 도포하는 동작에 대하여, 도 7, 도 9, 도 10을 참조하여 설명한다. 그리고, 여기서, 2개의 도포 헤드(122)는, 동일한 도포 패턴(Q)을 병행하여 도포 묘화하므로, 설명을 간단하게 하기 위하여, 2개의 도포 헤드(122) 중 1개의 도포 헤드(122)에 의한 도포 동작에 대하여만 설명한다.
도포 장치(110)는 직사각형의 유리 기판(26)의 주위 둘레부를 따라 시일제(S)를, 도 9의 시계방향으로 선형으로 도포하여, 직사각형의 패턴(Q)을 도포 묘화한다.
제어 장치(156)는, X테이블 유닛(117)의 모터(124)와 Y테이블 유닛(118)의 모터(125)를 회전시켜, 기판(26)을 노즐(133)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 동시에, 각 모터(124, 125)의 회전에 맞추어 펌프(134)의 모터(141)를 회전시켜, 노즐(133)로부터 시일제(S)를 토출시켜, 기판(26) 상에 패턴(Q)을 도포 묘화한다.
도 10은 가로축에 묘화 개시점(O)으로부터 묘화 종료점(F)에 이르는 과정에 있어서의 기판(26) 상의 도포 위치를 나타내고, 세로축에 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 나타낸다.
묘화 개시점 부근(PO)에서는, X테이블 유닛(117)을 구동하는 모터(124)의 회전 속도를 정지 상태로부터 가속하므로, 테이블(130)은 모터(124)의 가속에 따라 가속된다. 그래서, 제어 장치(156)는 모터(124)의 회전 속도에 맞추어, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 정지 상태(O)로부터 모터(124)의 회전 속도에 대응하는 회전 속도(V1)까지 가속한다.
이어서, 테이블(130)은, X테이블 유닛(117)을 구동하는 모터(124)의 회전 속도에 대응하는 일정한 속도로 이동하므로, 제어 장치(156)는, 모터(124)의 회전 속도에 대응하는 일정한 회전 속도(V1)로 펌프(134)의 모터(141)를 회전하여 펌프(134)를 구동하고, 직선부(PS)를 도포 묘화한다.
이어서, 원호형의 코너부(PC)를, X테이블 유닛(117)을 구동하는 모터(124)와 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(125)를 동시에 회전시킴으로써, 테이블(130)을 이동시킨다. 이 때의 테이블(130)의 이동 속도는, X테이블(113)과 Y테이블(115)의 이동 속도를 합성한 이동 속도로 된다. 테이블(130)은, 코너부(PC)의 입구 부근에서 서서히 감속되고, 코너부(PC)의 이동 중간에, 감속된 일정한 속도(V2)로 이동하고, 코너부(PC)의 출구 부근에서 서서히 가속된다. 따라서, 코너부(PC)에서는, X테이블(113)과 Y테이블(115)의 이동 속도를 합성한 이동 속도에 따라 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 제어하여, 펌프(134)의 토출량을 제어한다.
마찬가지로, 다른 3개의 직선부(PS) 및 코너부(PC)를 도포 묘화한다.
묘화 종료점 부근(PF)에서는, X테이블 유닛(117)을 구동하는 모터(124)의 회 전 속도를 회전 속도(V1)로부터 감속하므로, 제어 장치(156)는 모터(124)의 회전 속도에 맞추어, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를, 모터(124)의 회전 속도에 대응하는 회전 속도(V1)로부터 정지 상태까지 감속한다.
이어서, 모터(124)의 정지에 맞추어 펌프(134)의 모터(141)를 정지시킨다.
이상과 같이, 묘화 개시점 부근(PO)와 묘화 종료점 부근(PF)에서는, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 X테이블 유닛(117)의 모터(124)의 회전 속도에 맞추어, 코너부(PC)에서는, X테이블 유닛(117)과 Y테이블 유닛(118) 양쪽의 모터(124, 125)에 의해 이동되는 테이블(130)의 이동 속도에 맞추어, 직선부(PS)의 회전 속도(V1)보다도 낮은 회전 속도(V2)로 한다. 그 결과, 묘화 개시점 부근(PO), 묘화 종료점 부근(PF), 및 코너부(PC)에서의 단위 길이 당의 시일제(S)의 도포량을 직선부(PS)의 도포량과 동일하게 하고, 이들 부분에서의 도포 패턴(Q)의 선폭 방향 및 두께의 팽창을 방지한다.
이어서, 노즐(133)을, 묘화 종료점(F)으로부터 다음 패턴(Q)의 묘화 개시점(O)으로 이동시킨다. 이번 패턴(Q)이 기판(26) 상에 형성해야 할 최후의 패턴(Q)인 경우에는, 묘화 종료점(F)으로부터 묘화 개시점(O)으로의 이동은 불필요하다. 이상으로 유리 기판(26) 상에 시일제(S)를 도포하는 1사이클이 종료된다.
다음에, 페이스트 도포 장치(110)는, 노즐(133)로부터 시일제(S)를 안정적으로 토출하기 위하여, 도 9에 나타낸 바와 같이, 용기(140) 내의 기체실(145)에 가압 기체를 공급하기 위한 정압원(正壓源)(153)을 구비하고, 또한 펌프(134)의 정지 시에 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 누출을 방지하기 위하여, 부압원(負壓源 )(154)과 대기원(大氣源)(155)을 구비한다.
(A) 최초에, 묘화의 도중에 용기(140) 내로 공급하는 가압 기체의 설정 압력을 바꾸는 일 없이 도포하는 경우에 대하여 설명한다.
용기(140) 내의 기체실(145)에 접속되는 배관(146)에는, 3개의 배관(150, 151, 152)이 접속되고, 3개의 배관(150, 151, 152)은, 정압원(153)에 접속되는 정압원 배관(150), 부압원(154)에 접속되는 부압원 배관(151), 및 대기원(155)에 접속되는 대기 개방 배관(152)으로 이루어진다. 그런데 여기서, 대기원(155)은 대기압이므로, 따라서, 대기 개방 배관(152)은 그 단부가 대기로 개방되어 있으면 된다.
정압원 배관(150)에는, 정압원(153) 측으로부터 전공(電空) 레귤레이터(전기적 신호로 공기압력을 조정하는 레귤레이터)(R1) 및 전자기 밸브(M1)가 배치된다. 부압원 배관(151)에도 마찬가지로 전공 레귤레이터(R2) 및 전자기 밸브(M2)가 배치된다. 대기 개방 배관(152)에는 전자기 밸브(M3)가 배치된다. 정압원(153)은 예를 들어 질소 가스의 공급 탱크로 이루어지고, 부압원(154)은 예를 들어 진공 펌프(134)로 이루어진다. 또한, 이들 전자기 밸브(M1, M2, M3) 및 전공 레귤레이터(R1, R2)는 각각 제어 장치(156)에 접속된다.
제어 장치(156)는, 전자기 밸브(M1)를 개폐하여 정압원(153)으로부터 용기(140) 내에 가압 기체를 공급하거나 공급을 중단하고, 또한 펌프(134)의 구동을 정지시킨 후에는, 전자기 밸브(M2, M3)의 개폐를 제어하여 용기(140) 내의 압력을 대기압 또는 부압으로 전환한다. 또한, 제어 장치(156)는, 전공 레귤레이터(R1, R2)의 전압을 제어하여, 용기(140) 내의 기체실(145)에 공급하는 가압 기체의 설정 압력을 바꾼다. 전공 레귤레이터(R1, R2)에 인가되는 전압의 최적 값은, 예를 들면 실험에 의해 구하고, 구해진 전압값은, 제어 장치(156) 내의 도시하지 않은 기억부에 기억된다. 제어 장치(156)는, 기억부 등에 기억된 전압 값을 판독하고, 전공 레귤레이터(R1, R2)에 공급한다.
상기의 구성을 구비한 페이스트 도포 장치(110)가, 펌프(134)의 구동 시에 용기(140) 내로 가압 기체를 공급하는 경우의 동작과 공급을 중단하는 경우의 동작에 대하여, 도 8, 도 9, 도 11을 참조하여 설명한다.
여기서, 정압원(153)으로부터는 질소 가스가 항상 공급되고 있으므로, 부압원(154)의 진공 펌프(134)는 항상 구동 상태로 되어 있고, 스크루(136)의 회전을 정지시키고 있는 대기 상태에서는, 3개의 전자기 밸브(M1, M2, M3)는 폐쇄되어 있는 것으로 한다.
(1) 먼저, 제어 장치(156)는, 도 11의 타이밍 차트에 나타낸 바와 같이, 정압원 배관(150)의 전자기 밸브(M1)를 열어, 정압원(153)으로부터 용기(140) 내로 가압 기체를 공급한다. 용기(140) 내로 공급하는 가압 기체의 압력 값은 전공 레귤레이터(R1)에 의해 설정된다.
(2) 이어서, X테이블 유닛(117)의 모터(124)를 회전시켜, 테이블(130)을 노즐(133)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동을 개시하도록 하는 동시에, 펌프(134)의 모터(141)를, 시일제(S)를 토출하는 방향으로 회전(정회전)시켜 펌프(134)를 구동한다. 정압원 배관(150)의 전자기 밸브(M1)가 개방된 후 소정 시간(t1) 늦은 타 이밍에서, X테이블 유닛(117)의 모터(124)와 펌프(134)의 모터(141)가 구동된다. 여기서, 소정 시간(t1)은, 전자기 밸브(M1)가 개방된 후 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력이 진공 레귤레이터(R1)에 의해 설정된 압력에 도달하는데 충분한 시간이다.
이와 같이, 용기(140) 내에 공급된 가압 기체가, 시일제(S)를 노즐(133)로부터 토출시키는 방향으로 가압하므로, 실린더(135) 내의 펌프실(139)의 흡입구멍(143) 부분에서의 흡입 부족이 생기는 것이 방지될 수 있다.
그리고 여기서, 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력이 전공 레귤레이터(R1)에 의해 설정된 압력에 도달하기 전에도, 기체실(145) 내에는 대기압 이상의 압력이 작용하고 있으므로, 이 압력에 의해서도 용기(140) 내의 시일제(S)는 펌프실(139)로 가압된다. 따라서, 소정 시간(t1)을 설정하지 않고, 전자기 밸브(M1)를, 펌프(134)의 모터(141)의 회전을 개시하는 동시에 개방해도, 펌프실(139)의 흡입구멍(143) 부분에서의 흡입 부족을 방지할 수 있다.
(3) 이어서, 테이블(130)을 노즐(133)에 대하여 상대 이동시키고, 노즐(133)이 기판(26) 상의 묘화 종료점(F)에 도달하면, X테이블 유닛(117)의 모터(124)의 회전을 정지시켜, 테이블(130)의 이동을 정지시키는 동시에, 모터(124)의 회전의 정지에 맞추어, 펌프(134)의 모터(141)의 회전을 정지시킨다.
또한, 펌프(134)의 모터(141)의 정지와 동시에 정압원 배관(150)의 전자기 밸브(M1)를 폐쇄하여, 용기(140) 내로의 가압 기체의 공급을 중단시킨다.
이상과 같이, 모터(141)에 의해 펌프(134)를 구동하고 있을 때, 즉 도 11에 나타낸 바와 같이, 모터(141)를 회전(정회전)시켜 펌프(134)의 구동을 개시한 후부터 정지할 때까지의 사이에, 용기(140)의 기체실(145) 내에, 전공 레귤레이터(R1)에 의해 설정된 가압 기체가 공급되고, 이 가압 기체가 흡입구멍(143)을 향해 밀어내는 방향으로 시일제(S)를 가압한다. 따라서, 시일제(S)의 점도가 높은 경우나 스크루(136)가 고속으로 회전하는 경우에도, 펌프실(139) 내에 시일제(S)가 안정적으로 공급된다. 그 결과, 스크루(136)의 회전시에 펌프실(139)의 흡입구멍(143) 부분에서의 흡입 부족이 방지될 수 있다.
그러나, 정압원 배관(150)의 전자기 밸브(M1)를 폐쇄하여 가압 기체의 공급을 중단하는 것만으로는, 용기(140)의 기체실(145) 내에는 가압 기체를 공급했을 때의 정압이 존재한다. 이 정압은 시일제(S)를 노즐(133)로부터 밀어내는 힘으로서 작용한다. 용기(140)와 노즐(133)의 사이는, 스크루(136)의 홈(136B)을 통하여 항상 연통된 상태에 있으므로, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 정지 중에, 기체실(145) 내에 가압 기체의 압력이 작용하고 있기 때문에, 시일제(S)가 밀려나와 노즐(133)로부터 많이 누출되는 것이 염려된다. 따라서, 전자기 밸브(M1)를 닫는 동시에, 대기 개방 배관(152)의 전자기 밸브(M3)를 열어 용기(140)의 기체실(145) 내부를 대기로 개방한다. 전자기 밸브(M3)는 소정 시간(t2) 경과한 시점에서 폐쇄된다. 여기서, 소정 시간(t2)은, 전자기 밸브(M3)를 개방한 후 기체실(145) 내부가 대기압에 도달하는데 충분한 시간이다. 이와 같이, 기체실(145) 내부를 대기로 개방함으로써, 펌프실(139) 내의 시일제(S)를 노즐(133)로부터 밀어내는 힘을 저감시킴으로써, 기체실(145) 내에 가압 기체가 잔존하는 것에 따른, 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 누출을 방지할 수 있다.
그리고, 이 때, 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 누출 방지가 양호하므로, 기체실(145) 내의 압력은 반드시 대기압까지 낮아질 필요는 없다.
(4) 또한, 용기(140)의 기체실(145) 내부를 대기로 개방하여 대기압으로 해도, 용기(140) 내의 시일제(S)의 잔량이 많은 경우에는, 시일제(S)가 자중에 의해 노즐(133)로부터 누출될 우려가 있다. 그래서, 도 11에 나타낸 바와 같이, 대기 개방 배관(152)의 전자기 밸브(M3)를 닫는 동시에, 부압원 배관(151)의 전자기 밸브(M2)를 열어, 부압원(154)으로부터 용기(140)의 기체실(145) 내에 부압을 작용시킨다. 실린더(135) 내에 작용하는 부압의 크기는 전공 레귤레이터(R2)에 의해 설정된다. 전자기 밸브(M2)를 개방한 후 소정 시간(t3) 후에는 용기(140)의 기체실(145) 내에 소정의 부압이 작용한다. 이와 같이, 용기(140)의 기체실(145) 내부를 부압으로 함으로써, 노즐(133)로부터 시일제(S)를 흡인하는 방향의 힘을 작용시켜, 노즐(133)로부터 시일제(S)가 누출되는 것을 확실하게 방지한다.
이 때, 용기(140) 내의 시일제(S)의 무게는, 시일제(S)의 잔량의 감소와 함께 경량화되므로, 시일제(S)의 잔량이 감소함에 따라 시일제(S)가 노즐(133)로부터 쉽게 누출되지 않게 된다. 한편, 용기(140)의 기체실(145) 내의 용적은 증대되므로, 기체실(145) 내의 압력이 전공 레귤레이터(R2)에 의해 설정된 압력에 도달할 때까지의 시간이 길어진다. 그러므로, 용기(140) 내의 시일제(S)의 잔량의 감소에 맞추어, 부압의 크기가 작아지도록, 그리고, 소정 시간(t3)이 길어지도록 제어해도 된다.
또한, 패턴(Q)의 묘화 종료점(F)에서는, 묘화 종료점(F)으로부터 노즐(133)을 상승시킬 때 시일제(S)가 늘어지는 것을 방지하기 위해, 펌프(134)의 모터(141)의 회전(정회전)을 정지시킨 후, 시일제(S)의 토출 방향과 역방향으로 펌프(134)의 모터(141)를 회전(역회전)시켜, 여분의 시일제(S)를 노즐(133)로부터 흡인하는 경우가 있다. 또한, 묘화 종료점 부근(PF)에서 시일제(S)의 도포량을 제어하여 원하는 종점 형상으로 하는 경우에도, 가압 기체의 공급을 중단한 후 모터(141)을 역회전시키는 경우가 있다. 이와 같은 경우에, 기체실(145) 내에 가압 기체가 잔존하면, 가압 기체의 압력이 시일제(S)를 노즐(133)로부터 밀어내는 방향으로 작용하기 위해 노즐(133)로부터 시일제(S)를 안정적으로 흡인할 수가 없는 우려가 있다.
그래서, 펌프(134)의 모터(141)을 역회전시켜 노즐(133)로부터 시일제(S)를 흡인하는 경우에도, 전술한 (3)과 같이, 정압원 배관(50)의 전자기 밸브(M1)를 폐쇄한 후, 대기 개방 배관(152)의 전자기 밸브(M3)를 개방하여, 용기(140) 내에 공급되고 있던 가압 기체를 대기로 개방하여, 시일제(S)를 밀어내는 힘을 무력화시키거나, 또는 (4)와 같이, 대기 개방 배관(152)의 전자기 밸브(M3)를 폐쇄한 후, 부압원 배관(151)의 전자기 밸브(M2)를 개방하여, 용기(140) 내에 부압을 작용시켜, 실린더(135) 내에 시일제(S)를 흡인하기 쉽게 할 수도 있다.
(5) 다음에, 언제까지나 부압원 배관(151)의 전자기 밸브(M2)를 개방하여 두면, 시일제(S)가 노즐(133)로 인입되어 버릴 경우가 있으므로, 적당한 시간(t3) 후에 전자기 밸브(M2)를 폐쇄한다. 그리고, 여기서, 적당한 시간(t3)은, 전자기 밸브(M2)를 개방한 후 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력이 전공 레귤레이터(R2)에 의해 설정된 소정의 부압에 도달하는데 충분한 시간이다.
그리고, 전술한 시간 t1, t2, t3은, 각각 실험에 의해 정해질 수 있다.
또한, 시간 t1, t2, t3은, 실린더(135) 내의 압력을 검출하는 센서를 설치하여 두고, 실린더(135) 내의 압력이 설정한 압력이나 대기압으로 된 타이밍에서 전환하는 것도 가능하다.
(B) 다음에, 패턴(Q)의 묘화 도중에, 정압원(153)으로부터 용기(140) 내로 공급되는 가압 기체의 설정 압력을 바꾸는 경우에 대하여 설명한다.
페이스트 도포 장치(10)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 패턴(Q)의 묘화 도중의 코너부(PC)에서, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 V1로부터 V2(또는 V2로부터 V1)로 바꾼다. 이 경우, 제어 장치(156)는, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도의 증감에 따라 정압원(153)으로부터 용기(140) 내부로의 가압 기체의 압력을 증감시킨다. 그러므로, 페이스트 도포 장치(110)는, 제어 장치(156)의 기억부에, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도와 이 회전 속도에 적절한 가압 기체의 압력과의 관계를 나타내는 상관 데이터를 기억하고 있다. 상관 데이터는, 미리, 실험 등에 의해 구해진다. 제어 장치(156)는, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 바꿀 때, 기억부의 상관 데이터에 따라 전공 레귤레이터(R1)를 제어하여 용기(140)의 기체실(145) 내로 공급되는 가압 기체의 압력을 증감시킨다.
상기의 구성을 구비한 페이스트 도포 장치(110)가, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도의 증감에 따라 정압원(153)으로부터 공급되는 가압 기체의 압력을 증감시키는 경우의 동작에 대하여, 도 12를 참조하여 설명한다.
이하에 설명하는 동작 (6) 내지 (9)는 전술한 (A)에 있어서의 동작 (2)와 (3) 사이에 개재된다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도(V1)를 일단 V2로 감속하고, 다시 원래의 회전 속도(V1)로 되돌리는 예를 들어 설명한다.
(6) 제어 장치(156)는, X테이블 유닛(17) 및 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(124, 125)에 구비되는 인코더의 출력 신호로부터 노즐(133)과 기판(26)의 상대 위치 정보를 검출하고, 노즐(133)이 기판(26) 상에서 묘화하는 패턴(Q)의 코너부(PC)에 도달한 타이밍(Tm1)에서, 모터(124, 125)의 회전을 제어하여 테이블(130)을 감속시킨다. 그리고, 이 감속에 맞추어 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 감소시킨다.
(7) 제어 장치(156)는, 펌프(134)의 모터(141)를 감속시키는 타이밍(Tm1)으로부터 소정의 시간(t4)(모터(41)의 회전 속도(V1)가 감속 후의 회전 속도(V2)로 되는데 필요한 시간) 늦은 타이밍(Tr1)에서 전공 레귤레이터(R1)로의 공급 전압을, 감속한 후의 모터(141)의 회전 속도(V2)에 적절한 압력을 얻을 수 있는 전압 값으로, 상관 데이터에 따라 변경한다. 이로써, 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력은, 모터(141)의 회전 속도(V1)에 대응하는 압력(P1)으로부터 회전 속도(V2)에 대응하는 압력(P2)으로 저하된다.
이와 같이, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도가 회전 속도(V2)로 된 시점에서 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력을 P1로부터 P2로 변경하므로, 모터(141)가 회전 속도(V1)로 회전하고 있는 동안에는, 기체실(145) 내에는 압력 P1을 작용 시킬 수 있고, 회전 속도(V2)보다 빠른 회전 속도(V1)로 스크루(136)가 구동되고 있는 펌프실(139) 내에 확실하게 시일제(S)를 공급할 수 있다.
(8) 제어 장치(156)는, X테이블 유닛(17) 및 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(124, 125)에 구비되는 인코더의 출력 신호로부터 노즐(133)과 기판(26)의 현재의 상대 위치 정보를 얻고, 얻어진 현재의 상대 위치 정보, 및 노즐(133)과 기판(26)의 상대 이동 속도로부터, 패턴(Q)의 코너부(PC)의 출구 부근에서의 펌프(134)의 모터(141)가 가속되어야 할 위치에 도달할 때까지의 시간을 산출하고, 이 시간으로부터 모터(141)를 가속하는 타이밍(Tm2)을 산출한다.
그리고, 제어 장치(156)는, 펌프(134)의 모터(141)가 가속되는 타이밍(Tm2)보다 소정 시간(t5) 빠른 타이밍(Tr2)에서 전공 레귤레이터(R1)로의 공급 전압을, 가속한 후의 모터(141)의 회전 속도(V1)에 적절한 압력 P1을 얻을 수 있는 전압 값으로 상관 데이터에 따라 변경한다. 이로써, 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력은 P2로부터 P1로 상승된다. 여기서, 소정 시간(t5)은, 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력이 P2로부터 P1로 변화하는데 충분한 시간이다.
이와 같이, 펌프(134)의 모터(141)가 가속되어 회전 속도 V1로 회전할 때는, 용기(140)의 기체실(145) 내의 압력은 P1로 되어 있고, 용기(140) 내의 시일제(S)는 압력 P1로 펌프실(139) 내에 공급되므로, 펌프실(139)의 흡입구멍(143) 부분에서의 시일제(S)의 흡입 부족을 방지할 수 있다.
(9) 제어 장치(156)는, 소정 시간(t5) 후의 펌프(134)의 모터(141)가 가속되는 타이밍(Tm2)에서 모터(141)로의 공급 전압을 증가시키고 회전 속도를 높인다.
본 실시예에 따르면, 이하의 작용 효과를 얻을 수 있다.
(a) 페이스트 도포 장치(110)는, 모터(141)에 의해 펌프(145)의 토출 부재로서의 스크루(136)를 회전시켜, 용기(140) 내의 페이스트로서의 시일제(S)를 노즐(133)로부터 토출하므로, 시일제(S)의 점도에 관계없이 펌프(134)의 스크루(136)의 회전량에 따른 양의 시일제(S)를 노즐(133)로부터 토출시키는 것이 가능하다. 그 결과, 시일제(S)의 도포 품질을 향상시킬 수 있다.
또한, 펌프(134)를 구동하여 스크루(136)를 회전시키는 동안, 즉 모터가 회전(정회전)하여 펌프(134)가 구동을 개시한 후부터 정지할 때까지의 사이에, 정압원(153)으로부터 용기(140)의 기체실(145) 내에 가압 기체를 공급한다. 가압 기체는, 시일제(S)를 흡입구멍(143)을 향해 밀어내는 방향으로 가압하므로, 펌프실(139)의 흡입구멍(143) 부분에서의 시일제(S)의 흡입 부족이 없어져, 시일제(S)가 펌프실(139) 내에 확실하게 공급된다. 그 결과, 시일제(S)를 노즐(133)로부터 안정적으로 토출시키는 것이 가능하고, 도포량이 균일하게 되어, 묘화된 시일제(S)의 패턴(Q)이 단선되는 등의 문제를 방지할 수 있다. 특히, 시일제(S)의 점도가 높은 경우나, 펌프(134)의 스크루(136)의 회전 속도가 빠른 경우에 유효하다.
또한, 펌프(134)의 구동을 정지시켜 스크루(136)의 회전을 정지시켰을 때, 즉 펌프(134)의 구동을 정지시켰을 때는, 가압 기체의 공급을 중단하여 시일제(S)에 대한 가압력의 인가를 중단시키므로, 실린더(135) 내의 시일제(S)가 노즐(133)로부터 누출되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 다음번 기판(26) 위에 도포할 때, 노즐(133)로부터 누출되어 노즐(133)의 선단에 고인 시일제(S)가 기판(26) 상의 도 포 개시 위치에 부착되어, 그 부분에서 도포량이 과다하게 이루어지는 것을 방지할 수 있다. 이로써도, 시일제(S)의 도포 품질을 향상시킬 수 있다.
이와 같이, 기판(26) 상에서의 표시 영역의 주변부에 원하는 도포량으로, 또한 균일한 도포량으로 시일제(S)의 패턴(Q)을 형성할 수 있다. 그 결과, 이 기판(26)이 시일제(S)를 통하여 다른 쪽의 기판(26)과 접합되었을 때, 다른 쪽의 기판(26)과 시일제(S) 사이에 충분하고 균일한 접착력을 얻을 수 있고, 액정 누출이나 기포의 혼입이 방지되고, 제조되는 액정 표시 패널의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
(b) 용기(140) 내부로의 가압 기체의 공급을 중단시키는 것만으로, 용기(140)의 기체실(145) 내에는 가압 기체가 잔류하고 있으므로, 실린더(135) 내의 시일제(S)에는 잔류하고 있던 가압 기체의 압력이 걸려 있다. 용기(140)에서 노즐(133)과의 사이는 스크루(136)의 홈(136B)을 통하여 연통되어 있으므로, 노즐(133)로부터 시일제(S)가 누출될 우려가 있다.
그러나, 펌프(134)의 구동을 정지시켜 스크루(136)의 회전을 정지시켰을 때는, 용기(140)의 기체실(145) 내부가 감압되거나 대기로 개방되므로, 실린더(135) 내의 시일제(S)를 노즐(33)로부터 밀어내는 힘이 감소되거나 없어진다. 따라서, 펌프(134)의 구동이 정지되어 있는 동안에, 노즐(133)로부터 시일제(S)가 누출되는 것을 확실하게 방지할 수 있다.
이로써, 누출되어 노즐(133)의 선단에 고인 시일제(S)가, 다음에, 시일제(S)를 도포할 때 그 도포 패턴(Q)의 묘화 개시점(O)에서 시일제(S)의 도포량이 과다하 게 이루어지는 것이 방지되고, 시일제(S)를 보다 균일하게 도포하는 것이 가능해진다. 그 결과, 전술한 (a)의 경우와 마찬가지로, 액정 표시 패널의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
(c) 펌프(134)의 구동이 정지되어 있을 때 용기(140) 내부로의 가압 기체의 공급을 중단하고, 부압원(154)으로부터 용기(140) 내에 부압을 작용시키므로, 전술한 (b)의 경우보다, 펌프(134)가 정지되어 있을 때 노즐(133)로부터의 시일제(S)의 누출을 확실하게 방지할 수 있다.
(d) 펌프(134)의 모터(141)가 감속된 상태로, 모터(141)가 감속되기 전에 기체실(145) 내부로 공급하고 있던 압력과 동일한 압력의 가압 기체를 공급 계속 하면, 용기(140)와 노즐(133) 사이는 스크루(136)의 홈(136B)에 의해 연통되어 있으므로, 기체실(145) 내의 압력에 의해 시일제(S)가 밀려나와 시일제(S)의 토출량이 스크루(136)의 회전에 의한 토출량보다 과다해질 우려가 있다.
그러나, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도의 증감에 따라 용기(140)의 기체실(145) 내부로의 가압 기체의 압력이 증감되므로, 패턴(Q)의 묘화 개시점 부근(PO), 코너부(PC), 묘화 종료점 부근(PF) 등에서 펌프(134)의 스크루(136)의 회전 속도를 증감시키는 경우, 회전 속도에 따른 양의 시일제(S)를 실린더(135) 내의 펌프실(139)에 공급할 수 있다.
그 결과, 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도에 따른 양의 시일제(S)를 노즐(133)로부터 안정적으로 토출시키는 것이 가능하다. 따라서, 묘화 개시점 부근(PO), 코너부(PC), 묘화 종료점 부근(PF) 등에서 펌프(134)의 모터(141)의 회전 속도를 변화시키는 경우에도, 균일한 도포량의 시일제(S)의 패턴(Q)을 도포 묘화할 수 있다.
(e) 묘화 종료점(F) 등에서 시일제(S)를 토출시키는 방향과 반대 방향으로 펌프(134)의 스크루(136)를 회전시켜, 노즐(133)로부터 실린더(135) 내에 시일제(S)를 흡인하고 있을 때, 용기(140)의 기체실(145) 내부를 대기로 개방하거나, 또는 용기(140)의 기체실(145) 내부에 부압을 작용시킴으로써, 시일제(S)를 실린더(135) 내로 흡인하기 용이하게 할 수 있다. 그 결과, 묘화 종료점 부근(F)에서의 묘화 패턴(Q)을 원하는 형상으로 하거나, 시일제(S)의 흡인 감소를 방지할 수 있고, 도포 품질을 향상시킬 수 있다.
(f) 토출 부재가 스크루(136)에서 이루어지는 펌프(134)의 경우, 용기(140) 내의 시일제(S)와 노즐구멍(133A) 내의 시일제(S)는 스크루(136) 외주의 나선형의 홈(136B)을 통하여 연통되어 있다. 따라서, 용기(140)의 기체실(145) 내에 가압 기체의 압력이 작용하고, 실린더(135) 내의 시일제(S)에는 나선형의 홈(136B)을 따라 시일제(S)를 밀어내는 힘이 항상 작용한다. 또한, 시일제(S)의 흡입구멍(143)은 실린더(135)의 상부로 개구되어 있으므로, 용기(140) 내의 시일제(S)는 실린더(135) 내의 시일제(S)보다 높은 위치에 있다.
따라서, 시일제(S)의 자중에 의해서도, 노즐(133)로부터 밀어내는 힘이 시일제(S)에 항상 작용한다. 따라서, 토출 부재가 스크루(136)에서 이루어지는 펌프(134)의 경우, 펌프(134)의 구동을 정지하고 있을 때 용기(140) 내부로의 가압 기체의 공급을 중단하고, 또한 용기(140) 내부를 감압하거나 대기로 개방하여, 용 기(140) 내에 부압을 작용시키는 것은 특히 유효하다.
이상, 본 발명의 제2 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명했지만, 본 발명의 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위의 설계의 변경 등도 본 발명에 포함된다. 예를 들면, 제2 실시예에서는, 실린더(135) 내에 토출 부재로서 스크루(136)를 설치한 펌프(134)의 예를 들어 설명하였으나, 예를 들면, 토출 부재로서 회전자의 외주에 베인을 설치한 베인 펌프, 또는 일반적으로, 케이싱 내에 회전체로 이루어지는 토출 부재를 설치한 회전형의 펌프이어도 된다.
또한, 시일제(S)를 가압하는 수단으로서 가압 기체를 사용하는 예를 들어 설명하였으나, 피스톤을 사용하여 시일제(S)를 기계적인 이송 기구에 의해 가압하는 것이어도 된다.
(제3 실시예)
다음에, 본 발명의 제3 실시예를 도 12를 참조하면서 설명한다.
제3 실시예는 토출 장치(232)의 변형예로서, 페이스트 도포 장치(110)의 토출 장치(232)를 제외한 구성은 도 7에 나타낸 제2 실시형태의 구성과 동일하므로, 동일 부분에는 동일 부호를 부여하고 상세한 설명은 생략한다.
토출 장치(232)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 펌프(234), 내부에 페이스트로서의 시일제(S)를 넣는 저류 용기(237), 및 시일제(S)를 토출하는 노즐(233)을 가지며, 펌프(234)는 저류 용기(237)로부터 공급된 시일제(S)를 노즐(233)로부터 토출하여 기판(26) 상에 도포한다.
X테이블 유닛(117)과 Y테이블 유닛(118)의 서보 모터(124, 125)를 구동하여 테이블(130)을 X축 방향과 Y축방향으로 이동시키고, 테이블(130) 상의 기판(26)(도 7에 도시)을 펌프(234)의 노즐(233)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시킨다.
페이스트 도포 장치(110)는, 노즐(233) 및 일체적으로 설치된 도시하지 않은 레이저 변위계 등의 거리 측정기를 가진다. 후술하는 제어 장치(256)는, 이 거리 측정기에 의한 기판(26) 상면까지의 거리의 측정값에 의한 피드백 제어에 의해, 도 7에 나타낸 Z테이블 유닛(137)의 모터(도시하지 않음)를 회전 구동하여 토출 장치(232)의 노즐(233) 선단과 기판(26) 상면 사이의 간극을 미리 설정된 간극으로 유지하도록 제어(간극 제어)한다.
펌프(234)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 중공 원통형의 실린더(235), 이 실린더(235) 내에 회전 가능하게 설치되어 스테인레스강 등의 금속으로 이루어지는 스크루(236), 실린더(235)의 상단부에 고정하여 설치된 실린더 블록(240), 및 실린더 블록(240)의 상단부에 장착된 모터(241)로 이루어진다.
실린더(235)는 Z테이블 유닛(137) 상에 Z축 방향(상하 방향)으로 장착되고, 실린더(235)의 하단부에는 노즐구멍(233A)을 가지는 노즐(233)이 일체로 형성된다. 스크루(236)의 축부(236A)의 외주에는 나선형 돌기(236B)가 일체로 형성되고, 인접하는 돌기(236B)와 돌기(236B) 사이에 나선형의 홈(236C)이 구획된다.
그리고, 실린더(235)의 내주와 스크루(236)의 외주 사이에 나선형의 홈(236C)으로 이루어지는 펌프실(238)이 형성된다. 그리고, 돌기(236B)의 외주와 실린더(235) 내주 사이에는, 스크루(236)가 회전하기 위해 필요한 미소한 환형 간 극이 형성된다. 모터(241)는 서보 모터로 이루어지고, 모터(241)의 회전축(242)에 연결 부재(244)를 통하여 스크루(236)가 연결되고, 모터(241)를 회전시키면 스크루(236)가 회전 구동된다.
실린더(235)의 상부에는 흡입구멍(243)이 스크루(236)의 상부 외주의 펌프실(238)로 개구되어 형성된다. 펌프(234)와 평행하게 원통형의 저류 용기(237)가 설치되고, 저류 용기(237)의 하단부에 일체로 형성된 파이프형의 배관부(237A)가 흡입구멍(243)에 접속된다. 저류 용기(237) 내의 시일제(S)의 상부는 기체실(245)이 되고, 기체실(245)은 배관(246)을 통하여 도시하지 않은 정압원에 접속되고, 정압원으로부터 저류 용기(237) 내에 시일제(S)의 가압 수단으로서의 가압 기체가 공급된다.
펌프(234)의 모터(241)를 회전하여 스크루(236)를 회전시키면, 저류 용기(237) 내의 시일제(S)가 실린더(235)의 흡입구멍(243)으로부터 스크루(236) 상부의 펌프실(238) 내에 공급되고, 시일제(S)는 스크루(236)의 나선형의 홈(236C)을 따라 밀려나와 실린더(235)의 하단부의 노즐(233)로부터, 모터(241)의 회전량에 따른 양으로 토출된다. 예를 들면, 스크루(236)가 일 회전 하면, 돌기(236B)의 피치 상당분의 시일제(S)가 노즐(233)로부터 토출된다. 그리고, 노즐(233)로부터의 시일제(S)의 단위 시간당의 토출량은, 펌프(234)의 모터(241)의 회전 속도(단위 시간당의 회전량)에 비례하므로, 모터(241)의 회전 속도를 변화시킴으로써 노즐(233)로부터의 시일제(S)의 단위 시간당의 토출량을 변화시킬 수 있다. 펌프(234)는, 종래 기술과 같이, 압력 기체에 의해 시일제(S)를 밀어내는 것이 아니라, 스크 루(236) 외주의 돌기(236B)에 의해 기계적으로 액상의 시일제(S)를 밀어내므로, 펌프(234)의 모터(241)의 회전량에 비례한 토출량을 얻을 수 있다.
페이스트 도포 장치(110)는 제어 장치(256)를 구비한다. 제어 장치(256)는, X테이블 유닛(217)과 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(124, 125)에 구비되는 인코더로부터의 단위 시간당의 출력 펄스 수로부터, 기판(26)의 X축 방향의 이동 속도와 Y축 방향의 이동 속도, 및 이들 X축 방향과 Y축 방향의 이동 속도를 합성한 이동 속도를 검출하고, 검출된 이동 속도에 따라 기판(26)의 수평 방향의 이동 속도를 소정의 속도로 제어한다.
그리고, 이 실시예에서는, 노즐(233)은 고정되어 있으므로, 제어 장치(256)는, 기판(26)의 이동 속도를 제어함으로써, 노즐(233)과 기판(26)의 수평 방향에서의 상대 이동 속도를 제어한다.
다음에, 페이스트 도포 장치(110)는 시일제(S)의 온도를 조절하는 온도 조절 기구(249)를 구비한다.
시일제(S)의 온도 조절 기구(249)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 스크루(236) 내에 형성된 내부 유로(250), 내부 유로(250)에 접속되고 스크루(236)의 외부에 형성된 외부 유로(251), 내부 유로(250)와 외부 유로(251) 내를 순환하고 흡열 및 방열을 행하는 매체, 외부 유로(251)에 설치되어 열 매체를 냉각시키는 냉각 수단으로서의 냉각용 열교환기(258) 또는/및 가열하는 가열 수단으로서의 가열용 열교환기(259)로 이루어진다.
내부 유로(250)는, 모터(241)의 회전축(242)의 외주에 일단이 개구되고, 모 터(241)의 회전축(242)과 스크루(236)의 축부(236A) 내에 축방향을 따라 형성되고, 스크루(236) 내의 저부로 전환되어, 내부 유로(250)의 일단으로부터 아래쪽으로 이격된 위치에 타단이 개구된다.
한편, 스크루(236)의 외부에는, 내부 유로(250)와 접속하여 외부 유로(251)가 형성된다. 즉, 모터(241)의 회전축(242)의 외주에 설치된 실린더 블록(240)의 내주에, 상하 방향으로 이격되어 2개의 환형 홈(252, 253)이 형성되고, 2개의 환형 홈(252, 253)에 외부 유로(251)의 양 단부가 각각 개구된다. 외부 유로(251)는 실린더 블록(240)에 형성된 상하의 유로부(251A, 251B), 및 상하의 유로부(251A, 251B)에 양 단부를 접속하는 배관부(251C)로 이루어진다. 그리고, 2개의 환형 홈(252, 253)의 내주에, 스크루(236) 내의 내부 유로(250)의 양 단부가 각각 개구되어, 내부 유로(250)와 외부 유로(251)가 접속된다.
스크루(236) 내의 내부 유로(250), 및 스크루(236)의 외부에 형성된 외부 유로(251) 내에는, 공기 등의 기체로 이루어지는 매체가 기밀하게 밀봉된다. 실린더 블록(240) 내주의 2개의 환형 홈(252, 253)의 상하에는, 모터(241)의 회전축(242)의 외주 사이를 밀봉하기 위한 3개의 환형의 실링 부재(254)가 각각 개재된다.
외부 유로(251)의 배관부(251C)에는, 내부 유로(250)와 외부 유로(251) 내에 열매체를 순환시키기 위한 펌프(257)가 설치되고, 펌프(257)는 제어 장치(256)에 접속된다.
외부 유로(251)의 배관부(251C)의 펌프(257)의 흡입 측이 되는 부분에는, 열매체의 냉각 수단으로서의 냉각용 열교환기(258), 및 열매체의 가열 수단으로서의 가열용 열교환기(259)가 설치된다. 냉각용 열교환기(258)와 가열용 열교환기(259)는, 각각의 배관부(251C)의 일부가 사행으로 형성된 도시하지 않은 열교환부, 및 열교환부에 접촉하여 설치된 도시하지 않은 펠티에(peltier) 소자로 이루어지고, 냉각용 열교환기(258)에는 펠티에 소자의 냉각 측이 접촉 배치되고, 가열용 열교환 기(259)에는 펠티에 소자의 가열 측이 접촉 배치된다.
냉각용 열교환기(258)와 가열용 열교환기(259)는, 각각 온도 컨트롤러(262)에 접속되고, 온도 컨트롤러(262)는 제어 장치(256)에 접속된다. 온도 컨트롤러(262)는 냉각용 열교환기(258) 및 가열용 열교환기(259) 중 어느 한쪽을 선택적으로 작동시켜, 실린더(235) 내의 시일제(S)를 냉각시킬 필요가 있는 경우에는 냉각용 열교환기(258)를 작동시켜 열매체를 냉각하여 스크루(236)를 냉각시킨다. 반대로 실린더(235) 내의 시일제(S)를 가열할 필요가 있는 경우에는 가열용 열교환기(259)를 작동시켜 열매체를 가열하여 스크루(236)를 가열한다.
스크루(236)를 회전 구동시키는 모터(241)에는, 인코더(263)가 설치되고, 인코더(263)와 모터(241)는 각각 서보 컨트롤러(264)에 접속된다. 서보 컨트롤러(264)는, 인코더(263)의 출력 값으로부터 모터(241)의 회전 속도를 검출하여, 모터(241)의 회전 속도가 설정된 값이 되도록, 모터(241)에 인가하는 전압 값을 제어한다. 이로써, 스크루(236)의 회전 속도를 소정의 회전 속도로 유지한다.
제어 장치(256)는, 서보 컨트롤러(264), 펌프(257), 및 온도 컨트롤러(262)를 제어한다. 제어 장치(256) 내에는, 도시하지 않은 기억부와 비교부가 설치된다. 기억부에는, 기판(26) 상에 시일제(S)를 선형의 패턴, 예를 들면, 직사각형 테두리형 등의 폐쇄 루프 형상의 패턴(Q)으로 도포 묘화할 때의 기판(26)과 노즐(233)의 상대 이동 속도(S0), 이때의 모터(241)의 회전 속도(R0), 및 이때 모터(241)에 인가되는 전압 값(전압의 기준값)(V0)이 기억된다.
여기서, 회전 속도(R0)는, 패턴(Q)을 생성하는데 적절한 점도의 시일제(S)가, 기판(26)과 노즐(233)의 상대 이동 속도가 S0일 때 패턴(Q)을 생성하는데 필요한 도포량으로 도포 되었을 때의 회전 속도이며, 전압의 기준값(V0)은 이때의 회전 속도(R0)를 얻기 위해 모터(241)에 인가된 전압 값이며, 이들 값은 실험에 의해 구할 수 있다. 비교부는, 스크루(236)를 구동하는 모터(241)에 인가되는 전압값(Vx)과 기억시킨 전압의 기준값(V0)을 비교하여 스크루(236)의 토크 변동(스크루(236)의 회전 저항의 변동)을 검출한다. 비교부는 스크루(236)의 토크 변동 검출 수단을 구성한다.
모터(241)에 인가되는 전압값(Vx)은, 서보 컨트롤러(264)가 모터(241)에 인가하는 전압값을 제어 장치(256)에 의해 감시함으로써 검출할 수 있다.
제어 장치(256)는, 검출된 스크루(236)의 토크 변동의 결과에 따라 온도 조절 기구(249)를 작동시킨다.
다음에, 상기 구성으로 이루어지는 페이스트 도포 장치(11O)에 의해, 테이블(13O) 상에 유지된 기판(26)에 시일제(S)를 도포하는 동작에 대하여, 도 7 및 도 13을 참조하여 설명한다. 그리고, 여기서는, 2개의 도포 헤드(122)는, 동일한 도포 패턴(Q)을 평행하게 도포 묘화하므로, 설명을 간단하게 하기 위하여, 2개의 도포 헤드(122) 중 1개의 도포 헤드(122)에 의한 도포 동작에 대하여만 설명한다.
페이스트 도포 장치(110)는 직사각형의 유리 기판(26)에 시일제(S)를 선형으로 도포하여, 직사각형의 패턴(Q)을 도포 묘화한다.
제어 장치(256)는, X테이블 유닛(117)의 모터(124)와 Y테이블 유닛(118)의 모터(125)를 회전시켜, 기판(26)을 노즐(233)에 대하여 수평 방향으로 상대 이동시키는 동시에, 토출 장치(232)의 펌프(234)의 모터(241)를 연속 회전시켜, 노즐(233)로부터 시일제(S)를 토출시켜, 기판(26) 상에 패턴(Q)을 도포 묘화한다.
제어 장치(256)는, 패턴(Q)의 도포 묘화 중, 기판(26)과 노즐(233)의 수평 방향의 상대 이동 속도가 기억부에 기억된 상대 이동 속도(S0)가 되도록, X테이블 유닛(117)을 구동하는 모터(124)와 Y테이블 유닛(118)을 구동하는 모터(125)를 제어한다.
그리고, 이 패턴(Q)을 도포 묘화하는 사이, 서보 컨트롤러(264)는, 인코더(263)의 출력값으로부터 펌프(234)의 모터(241)의 회전 속도를 검출하여, 모터(241)의 회전 속도가 설정된 값(R0)이 되도록 제어한다.
다음에, 시일제(S)의 온도 조절 기구(249)의 동작에 대하여 설명한다.
스크루(236)가 실린더(235) 내에서 회전하면, 스크루(236)와 시일제(S) 사이의 마찰에 의해, 스크루(236)가 가열되므로, 그 열이 시일제(S)에 전달되어 시일 제(S)의 온도가 상승하고, 시일제(S)의 점도가 떨어진다. 시일제(S)의 점도가 떨어지면, 스크루(236)의 회전 저항이 감소하므로, 모터(241)에 인가되는 전압값이 동일해도 모터(241)의 회전 속도가 빨라진다. 그래서, 서보 컨트롤러(264)는 모터(241)의 회전 속도를 설정된 값(R0)으로 유지하기 위해, 모터(241)에 인가하는 전압을 낮춘다. 시일제(S)의 점도가 오른 경우는 그 반대로 된다.
서보 컨트롤러(264)가 모터(241)에 인가하는 전압값(Vx)은 제어 장치(256)의 비교부에 입력되고, 이때의 전압값(Vx)에 의해 스크루(236)의 토크 변동이 검출된다. 그리고, 비교부는, 검출된 전압값(Vx)을 기억부에 기억된 전압의 기준값(V0)과 비교하여, 스크루(236)의 토크 변동을 검출한다. 비교의 결과, Vx<V0이면, 펌프(257)와 냉각용 열교환기(258)를 작동시켜 열매체를 냉각하고, 스크루(236)의 내부 유로(250) 내에 냉각된 열매체를 순환시켜 스크루(236)를 냉각시킨다. 그 결과, 스크루(236)와 접촉하는 실린더(235) 내의 시일제(S)가 냉각되어 점도가 올라간다. 반대로, Vx>V0이면, 가열용 열교환기(259)를 작동시켜, 열매체를 가열하고, 스크루(236)의 내부 유로(250) 내에 가열된 열매체를 순환시켜 스크루(236)를 가열한다. 그 결과, 실린더(235) 내의 시일제(S)가 가열되어 시일제(S)의 점도가 떨어진다.
여기서, Xx<V0로 되는 경우에는, 스크루(236)와 시일제(S) 사이의 마찰에 의해 스크루(236)가 가열되고 그 열이 시일제(S)에 전해져 시일제(S)의 온도가 상승 되고, 시일제(S)의 점도가 떨어지는 경우가 있다.
또한, Vx>V0로 되는 경우에는, 저류 용기(237)가 새로운 저류 용기(237)로 교환된 직후가 고려된다.
즉, 저류 용기(237)는, 시일제(S)의 열화를 방지하기 위하여 냉동 보존되어 있고, 교환할 때는 미리 클린룸 내(25℃ 전후의 분위기 내)에 방치되어 해동된다. 그러나, 방치되는 시간의 불균일 등에 의해, 교환 시점에서 시일제(S)의 온도가 도포에 적절한 온도보다 낮은 경우가 있다. 이와 같은 경우, 시일제(S)의 점도가 도포에 적절한 점도보다 높아지므로, 스크루(236)의 회전 저항이 증대되고, Vx>V0로 된다.
그리고, 전술에 있어서, 냉각용 열교환기(258) 또는 가열용 열교환기(259)를 작동시킬 때, 다른 쪽의 열교환기가 작동 중인 경우에는, 그 열교환기의 작동을 정지시킨다.
또한, 검출된 전압값(Vx)을 전압의 기준값(V0)과 비교했지만, 전압의 기준값(V0)은 허용값을 포함한 값이어도 된다. 즉, 전압값(Vx)이 전압의 기준값(V0)보다 허용값 이상 작으면 냉각용 열교환기(258)를 작동시키고, 전압값(Vx)이 전압의 기준값(V0)보다 허용값 이상 크면 가열용 열교환기(259)를 작동시킨다.
스크루(236)의 토크 검출은, 테두리형의 도포 패턴(Q)을 묘화하는 1사이클의 도포 동작 중에서 연속하여 검출하도록 하여, 스크루(236)의 온도 조절을 해도 되 고, 복수 개 사이클(복수 개의 패턴)마다 스크루(236)의 토크를 검출하도록 하여 스크루(236)의 온도 조절을 하도록 해도 된다.
본 실시예에 따르면, 이하의 작용 효과를 얻을 수 있다.
(a) 실린더(235) 내에서 스크루(236)가 회전하면, 스크루(236)와 시일제(S)의 마찰에 의해 스크루(236)가 가열되므로, 이 열에 의해 시일제(S)의 온도가 상승된다. 시일제(S)의 온도를 조절하는 온도 조절 기구(249)를 스크루(236) 자체에 설치함으로써, 스크루(236)의 가열을 방지하고, 시일제(S)의 온도 상승을 효율적으로 억제할 수 있다.
따라서, 시일제(S)의 온도 상승에 의해 생기는 점도 저하에 기인하는 시일제(S)의 도포 높이의 불균일을 억제하여, 기판 상에 시일제(S)를 균일한 도포 높이로 정밀하게 도포할 수 있다. 또한, 시일제(S)가 열경화성을 가지는 경우, 시일제의 온도가 경화 개시 온도까지 상승하면 시일제가 열경화되어 버린다.
시일제(S)가 열경화되면, 나중에 기판(26)이 시일제(S)를 통해 다른 기판과 접합되었을 때, 시일제(S)의 열경화된 부분과 다른 기판 사이에 충분한 접합 상태를 얻지 못하고, 제조된 액정 표시 패널로부터 액정이 누출되기 시작하는 제품 불량이 생길 우려가 있다.
그러나, 온도 조절 기구(249)에 의해 시일제(S)의 온도가 경화 개시 온도보다 낮은 온도로 유지되도록 스크루(236)의 온도를 억제함으로써, 시일제(S)가 열 경화되는 것을 방지할 수 있고, 시일제(S)의 도포 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
[0191](b)시일제(S)의 온도 상승은 스크루(236)에서 시일제(S)와의 마찰에 의해 스크루(2)
(36)이 가열됨으로써 생긴다. 스크루(236)의 토크 변동을 검출하여 시일제(S)의 온도 상승을 검출함으로써, 시일제(S)의 온도 상승이 발생하는 가장 가까운 곳에서 시일제(S)의 온도 변화를 검출할 수 있다. 그 결과, 시일제(S)의 온도 변화의 검출 누출을 방지할 수 있다.
따라서, 시일제(S)의 점도 변화를 억제할 수 있다. 또한, 온도 상승의 검출의 지연이 방지되므로, 시일제(S)의 온도가 경화 개시 온도까지 상승하는 것을 방지할 수 있고, 시일제(S)로서의 기능을 상실하지 않게 된다.
(c) 시일제(S)의 온도 상승이 발생하는 개소에서 온도 변화를 검출하고, 열의 발생원인 스크루(236)를 직접 냉각시키도록 했다. 그러므로, 스크루(236)에서 시일제(S) 사이의 마찰에 기인하여 시일제(S)의 온도가 상승했을 때는, 그 온도 상승을 즉시 검출하여 스크루(236)를 냉각할 수 있다. 그 결과, 스크루(236)의 회전 속도를 고속화하는 것이 가능해지고, 액정 표시 패널의 생산성을 향상시키는 것이 가능해진다.
(d) 토크 변동 검출 수단은, 스크루(236)를 회전 구동시키는 모터(241)에 인가된 전압값(Vx)과 전압의 기준값(V0)을 비교함으로써 스크루(236)의 토크 변동을 검출하므로, 특별한 검출 장치를 필요로 하지 않고, 저가의 구성으로 스크루(236)의 토크 변동을 검출할 수 있고, 비용 상승을 초래하지 않고, 또한 장치 구성을 복 잡하게 하지 않는다.
(e) 제어 장치(256)에 의해 검출된, 모터(241)에 인가된 전압값(Vx)이 전압의 기준값(V0)보다 작은 경우에, 스크루(236)를 냉각시킴으로써, 시일제(S)의 점도 상승을 억제하여 시일제(S)의 도포 높이의 불균일을 억제할 수 있다.
그러므로, 이 기판(26)이 시일제(S)를 통하여 다른 쪽의 기판(26)과 접합되었을 때, 다른 쪽의 기판(26)과 시일제(S) 사이에, 시일제(S)의 도포 높이의 불균일에 기인하여 생기는 접착력의 불균일을 억제할 수 있다. 그 결과, 시일제(S)와 기판(26)의 접착력이 약한 부분으로부터의 액정 누출이나 기포의 혼입이 방지되고, 제조되는 액정 표시 패널의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.
이상, 본 발명의 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명했지만, 본 발명의 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위의 설계의 변경 등도 본 발명에 포함된다. 예를 들면, 본 실시예에서는, 공기 등의 기체로 이루어지는 열 매체를 사용하였으나, 물 등의 액체로 이루어지는 열 매체를 사용해도 된다. 또한, 온도 조절 기구로서 냉각 수단만을 설치하는 것이어도 된다.
또한, 실시예에서는, 스크루(236)의 토크 변동을 검출하여 스크루(236)를 냉각 또는 가열하도록 했지만, 스크루(236)의 토크 변동을 검출하여 실린더(235)를 냉각 또는 가열하여 시일제(S)를 냉각 또는 가열하도록 해도 된다.
또한, 모터(241)에 인가된 전압값(Vx)과 전압의 기준값(V0)을 비교하여 스크 루(236)의 토크 변동을 검출하였으나, 모터(241)의 회전축(242)과 스크루(236) 사이에 토크 검출기를 배치하고, 토크 검출기의 출력값을 얻어 스크루(236)의 토크 변동을 검출해도 된다.
또한, 온도 조절 기구(249)가 냉각 수단과 가열 수단을 가지는 예를 들어 설명하였으나, 스크루(236)와 시일제(S) 사이의 마찰에 의해 스크루(236)가 가열만 되는 것과 같은 경우 등 가열할 필요가 없는 경우에는, 냉각 수단만을 설치하도록 해도 된다.
또한, 액정 표시 패널의 제조에 적용한 예를 들어 설명하였으나, 유기 EL 패널, 플라즈마 디스플레이 패널 등에도 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 페이스트를 토출하는 토출 장치의 토출량의 불균일을 적게 하여 도포량을 양호하게 얻을 수 있다.

Claims (11)

  1. 노즐을 가지는 실린더 내에 나선형 돌기부 또는 리세스를 형성한 봉형의 스크루를 설치하고, 상기 스크루를 회전시킴으로써 상기 실린더 내의 페이스트(paste)를 축방향으로 송출하여 상기 노즐로부터 토출시키는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 스크루는 상기 나선형 돌기부 또는 리세스를 복수 개 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 나선형 돌기 사이에 형성된 나선형의 홈 또는 상기 나선형 리세스의 축 방향의 선단에 있어서의 개구부가, 상기 스크루의 외주에서 동일한 간격으로 배치된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  3. 2개의 기판 중 적어도 한쪽의 기판에 페이스트를 도포하고, 상기 페이스트를 통해 한쪽의 기판과 다른 쪽의 기판을 접합시키는 표시 패널의 제조 장치에 있어서서,
    제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에 기재된 페이스트 도포 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 장치.
  4. 케이싱 내에 모터에 의해 회전되는 토출 부재를 설치한 펌프, 페이스트를 저류하는 용기, 및 상기 페이스트를 토출하는 노즐을 구비하고, 상기 펌프를 구동하여 상기 용기 내의 페이스트를 상기 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 도포하는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 용기 내에 가압 기체를 공급하는 정압원(正壓源), 및
    상기 펌프가 구동 중일 때는 상기 용기 내에 가압 기체를 공급하고, 상기 펌프의 구동이 정지되었을 때는 상기 가압 기체의 공급을 중단하고 상기 용기 내부를 대기로 개방시키는 제어 장치
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  5. 케이싱 내에 모터에 의해 회전되는 토출 부재를 설치한 펌프, 페이스트를 저류하는 용기, 및 상기 페이스트를 토출하는 노즐을 구비하고, 상기 펌프를 구동하여 상기 용기 내의 페이스트를 상기 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 도포하는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 용기 내에 가압 기체를 공급하는 정압원, 및
    상기 펌프가 구동 중일 때는 상기 용기 내에 가압 기체를 공급하고, 상기 펌프의 구동이 정지되었을 때는 상기 용기 내부로의 가압 기체의 공급을 중단하고, 상기 페이스트를 토출하는 방향과 반대 방향으로 상기 토출 부재를 회전시키도록 상기 펌프가 구동 중일 때는 상기 용기 내부를 대기로 개방하는 제어 장치
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  6. 케이싱 내에 모터에 의해 회전되는 토출 부재를 설치한 펌프에 의해, 용기 내에 저류된 페이스트를 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 도포하는 페이스트 도포 방법에 있어서,
    상기 펌프가 구동 중일 때는 상기 용기 내부에 가압 기체를 공급하고,
    상기 펌프의 구동이 정지되었을 때는 상기 가압 기체의 공급을 중단하고 상기 용기 내부를 대기로 개방하는
    것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  7. 케이싱 내에 모터에 의해 회전되는 토출 부재를 설치한 펌프에 의해, 용기 내에 저류된 페이스트를 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 도포하는 페이스트 도포 방법에 있어서,
    상기 펌프가 구동 중일 때는 상기 용기 내부에 가압 기체를 공급하고,
    상기 펌프의 구동을 정지되었을 때는 상기 가압 기체의 공급을 중단하고,
    상기 페이스트를 토출하는 방향과 반대 방향으로 상기 토출 부재를 회전시키도록 상기 펌프가 구동 중일 때는, 상기 용기 내부를 대기로 개방하거나 상기 용기 내부에 부압(負壓)을 작용시키는
    것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  8. 실린더 내에 스크루를 회전 가능하게 설치하고, 실린더 내의 페이스트를 노 즐로부터 토출시켜 기판 상에 페이스트의 패턴을 도포하는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 스크루의 온도를 조절하는 온도 조절 기구, 및
    상기 온도 조절 기구를 제어하는 제어 장치를 포함하고,
    상기 스크루의 온도를 조절함으로써 상기 페이스트의 온도를 조절하는
    것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  9. 실린더 내에 스크루를 회전 가능하게 설치하고, 실린더 내의 페이스트를 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 페이스트의 패턴을 도포하는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 페이스트의 온도를 조절하는 온도 조절 기구,
    상기 스크루의 회전 저항의 변동을 검출하는 토크 변동 검출 수단, 및
    상기 스크루의 토크 변동 검출 수단의 검출 결과에 따라 상기 페이스트의 온도 조절 기구를 제어하는 제어 장치
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
  10. 실린더 내의 스크루를 회전 구동하여, 실린더 내의 페이스트를 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 페이스트의 패턴을 도포하는 페이스트 도포 장치에 있어서,
    상기 스크루의 온도를 조절함으로써 상기 페이스트의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
  11. 실린더 내의 스크루를 회전 구동하여, 실린더 내의 페이스트를 노즐로부터 토출시켜 기판 상에 페이스트의 패턴을 도포하는 페이스트 도포 방법에 있어서,
    상기 스크루의 회전 저항의 변동을 검출하고, 상기 검출 결과에 따라 상기 페이스트의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
KR1020087011233A 2005-11-21 2006-11-16 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법 KR100965476B1 (ko)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00336326 2005-11-21
JP2005336326A JP2007136397A (ja) 2005-11-21 2005-11-21 ペースト塗布装置及びこれを用いた表示パネルの製造装置
JP2006095606A JP5142477B2 (ja) 2006-03-30 2006-03-30 ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JPJP-P-2006-00095606 2006-03-30
JP2006217500A JP2008036590A (ja) 2006-08-09 2006-08-09 ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JPJP-P-2006-00217500 2006-08-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080057339A true KR20080057339A (ko) 2008-06-24
KR100965476B1 KR100965476B1 (ko) 2010-06-24

Family

ID=38048642

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087011233A KR100965476B1 (ko) 2005-11-21 2006-11-16 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR100965476B1 (ko)
TW (1) TW200727018A (ko)
WO (1) WO2007058258A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101334815B1 (ko) * 2010-12-28 2013-11-29 에이피시스템 주식회사 디스펜싱 장치 및 이를 이용한 디스펜싱 방법
KR102356067B1 (ko) * 2021-12-06 2022-02-08 주식회사 우정이엔지 냉동고용 기압조정장치

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4623525B2 (ja) * 2007-10-23 2011-02-02 芝浦メカトロニクス株式会社 表示パネル製造装置
JP5082813B2 (ja) * 2007-12-10 2012-11-28 パナソニック株式会社 ペースト塗布装置
JP5280702B2 (ja) * 2008-02-18 2013-09-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の塗布方法、その装置およびそのプログラム
TWI397733B (zh) * 2008-04-22 2013-06-01 Shuz Tung Machinery Ind Co Ltd 面板檢測機之電連接器自動連接機構
TWI398690B (zh) * 2008-04-22 2013-06-11 Shuz Tung Machinery Ind Co Ltd 面板檢測修補機
JP5897263B2 (ja) * 2011-03-18 2016-03-30 株式会社日立製作所 ペースト塗布ヘッド，ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
KR102011753B1 (ko) * 2012-05-21 2019-08-19 주식회사 탑 엔지니어링 액정토출노즐 조립체

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52158757U (ko) * 1976-05-28 1977-12-02
JPS6086482U (ja) * 1983-11-18 1985-06-14 トキコ株式会社 塗布用ガン
JP3582921B2 (ja) * 1995-12-05 2004-10-27 富士写真フイルム株式会社 セルロースの低級脂肪酸エステル溶液の製造方法
JP3811028B2 (ja) * 2001-07-25 2006-08-16 株式会社 日立インダストリイズ ペースト塗布機とその制御方法
JP2003047898A (ja) * 2001-08-03 2003-02-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体塗布装置及び方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101334815B1 (ko) * 2010-12-28 2013-11-29 에이피시스템 주식회사 디스펜싱 장치 및 이를 이용한 디스펜싱 방법
KR102356067B1 (ko) * 2021-12-06 2022-02-08 주식회사 우정이엔지 냉동고용 기압조정장치

Also Published As

Publication number Publication date
TWI359302B (ko) 2012-03-01
TW200727018A (en) 2007-07-16
WO2007058258A1 (ja) 2007-05-24
KR100965476B1 (ko) 2010-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100965476B1 (ko) 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법
KR20070061772A (ko) 페이스트 도포 장치 및 페이스트 도포 방법
JP2019063806A (ja) 基材上に粘性材料を供給する方法
KR101096847B1 (ko) 처리 장치 및 처리액 공급 방법 및 처리액 공급 프로그램을 저장한 기억 매체
JP6195806B2 (ja) 塗布装置
WO2014069498A1 (ja) 位置補正機能を有する作業装置および作業方法
JP5897263B2 (ja) ペースト塗布ヘッド，ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JP4782813B2 (ja) 粘性流体塗布方法
JP2005173067A (ja) 液晶表示装置の製造方法及びそれに用いる液晶滴下装置
JP5142477B2 (ja) ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
CN1249214A (zh) 防止失禁液滴的方法和系统
KR20040081336A (ko) 기판처리장치 및 송액장치
CN115066103A (zh) 一种led线路板线路蚀刻设备及方法
JP2007136397A (ja) ペースト塗布装置及びこれを用いた表示パネルの製造装置
JP4184124B2 (ja) 基板処理装置
JP5641994B2 (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP2011156338A (ja) シリンジポンプ
JP2008182268A (ja) 送液装置
JP4135028B2 (ja) 固定スクロールの位置決め装置及び位置決め方法
KR101201408B1 (ko) 원료 적하 유닛 및 이를 구비하는 원료 적하 장치
JP4541190B2 (ja) 基板処理装置および処理液供給方法
JP2008036590A (ja) ペースト塗布装置及びペースト塗布方法
JP2004281645A (ja) 基板処理装置
US20220363008A1 (en) Three-dimensional fabrication apparatus
US11198297B2 (en) Inkjet printing device and operation method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130524

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140530

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee