KR20080025415A - 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용한 유체공급계의 이상 검출 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계에 조립되어 있는 복수의 밸브의 동작 불량이나 시트 리크 등의 이상을 유체 공급계의 배관로로부터 밸브를 분리하는 것없이 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치의 기능을 이용하여 간단하고 또한 신속, 정확하게 체크할 수 있게 한다.
구체적으로는, 유량의 설정 기구와 유량 및 압력의 표시 기구 및/또는 유량 자기 진단 기구를 구비한 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 구비한 유체 공급계에 있어서, 상기 유량 제어 장치, 및 그 상류측 또는 하류측에 설치된 제어 밸브의 이상을 상기 유량 제어 장치의 상기 압력의 표시값 및/또는 유량 자기 진단 기구의 진단값을 이용하여 검출한다.
압력 센서, 유량 제어 장치, 유체 공급계, 이상 검출 방법

Description

압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법{METHOD OF DETECTING ABNORMALITY IN FLUID SUPPLY SYSTEM, USING FLOW RATE CONTROL DEVICE HAVING PRESSURE SENSOR}
본 발명은 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용하여 유량 제어 장치, 및 그 상류측 및 하류측에 설치된 밸브의 이상을 검출하는 방법에 관한 것이며, 주로 반도체 제조 설비나 화학 관계 설비에 있어서 사용되는 것이다.
반도체 제조 설비나 화학 관계 설비에 있어서는 일반적으로 유체 공급계의 유량 제어에 압력식 유량 제어 장치(FCS)와 열식 질량 제어 장치(MFC)가 널리 이용되고 있다.
또한, 상기 압력식 유량 제어 장치(FCS)에는 음속 노즐이나 오리피스 등의 스로틀(throttle) 기구의 상류측 및/또는 하류측의 유체 압력을 검출하는 압력 센서와, 각 검출 압력을 외부에 표시하는 수단이 구비되어 있고, 이 압력 센서에 의해 유체가 실제로 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 통하여 유통하지 않아도 유체 공급계의 각 부의 압력을 용이하게 검지할 수 있다.
이에 대하여, 상기 열식 질량 유량 제어 장치(MFC) 쪽은 압력식 유량 제어 장치(FCS)와 같이 가스 공급계의 각 부의 압력을 검지하여 이것을 외부로 표시하는 것이 곤란하다. 압력식 유량 제어 장치(FCS)와 열식 질량 유량 제어 장치(MFC)는 압력 센서의 작동 기구(압력의 검출 기능)을 기본적으로 달리하기 때문이다.
도 13은 상기 압력식 유량 제어 장치(FCS)나 열식 질량 유량 제어 장치(MFC)로 이루어지는 유량 제어 장치(D)를 이용한 유체 공급계의 유량 제어의 기본적인 회로 구성을 나타낸 것이며, 여기서는 피제어 유체를 가스체로 하고 있다.
도 13을 참조하여 압력식 유량 제어 장치(FCS) 또는 열식 질량 유량 제어 장치(MFC)로 이루어지는 유량 제어 장치(D)의 상류측에는 퍼지 가스 공급계(B)와 프로세스 가스 공급계(A)가 병렬 상으로 접속되고, 또한 유량 제어 장치(D)의 하류측에는 프로세스 가스 사용계(C)가 접속되어 있다.
게다가, 상기 각 가스 공급계(A,B) 및 가스 사용계(C)에는 각각의 밸브(V1, V2 및 V3)가 각각 개설(介設)되어 있다.
한편, 해당 도 13과 같은 유체 공급계에 있어서는 정기적으로 밸브(V1~V3)의 동작 상황 등을 점검하는 것이 일반적이고, 이 점검 작업은 프로세스 가스 사용계(C)를 통하여 필요한 프로세스 가스를 소정 개소에 안정하게 공급하는데 필요 불가결한 것이다.
다시 말해, 상기 밸브(V1~V3)의 점검(이하 체크라고 함)에서는 보통 각 밸브의 동작 상태(밸브 액츄에이터의 작동을 포함)의 체크와, 각 밸브의 시트 리크(sheet leak)의 체크가 행해진다.
그러나, 유량 제어 장치(D)로서 열식 질량 유량 제어 장치(MFC)를 이용하고 있는 경우에는, 예를 들면 이것을 이용하여 프로세스 가스 사용계(C)의 가스 압력의 변동을 검출하여 이 검출값으로부터 밸브(V3)의 시트 리크를 검출하는 것은 할 수 없다.
그 결과, 프로세스 가스 사용계(C)의 밸브(V3)의 시트 리크 체크시에는 밸브(V3)를 관로로부터 분리하고 이것을 별도로 제공한 시험 장치를 사용하여 체크할 필요가 있고, 밸브(V3)의 시트 리크 체크에 많은 수고와 시간을 필요로 하는 문제가 있다.
또한, 이것은 유량 제어 장치(D)의 상류측의 밸브(V1) 및 밸브(V2)에 대해서도 마찬가지이고, 보통 이러한 밸브(V1,V2)의 시트 리크는 각 밸브(V1,V2)를 관로로부터 분리하고 별도로 제공되는 시트 리크 시험 장치로 체크를 하도록 하고 있다. 그 때문에 많은 수고와 시간을 필요로 하는 문제가 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 평8-338546호
[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 2000-66732호
[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 2000-322130호
[특허 문헌 4] 일본 특허 공개 2003-195948호
[특허 문헌 5] 일본 특허 공개 2004-199109호
[특허 문헌 5] 일본 특허 공개 2004-199109호 공보
본 발명은 종래의 열식 질량 유량 제어 장치나 그 밖의 기구의 유량 제어 장치를 이용한 가스 공급계에 있어서 상술과 같은 문제, 즉 유량 제어 장치의 상류측 및 하류측에 설치된 밸브의 시트 리크 등의 체크시에 각 밸브를 관로로부터 분리하여야 하여 시트 리크의 체크에 많은 수고나 시간을 필요로 하는 문제를 해결하려고하는 것으로 유량 제어 장치를 유량 설정 기구와, 유량 및 압력의 표시 기구 및/또는 유량 자기 진단 기구를 구비한 유량 제어 장치로 함과 아울러, 해당 유량 제어 장치의 압력 센서나 상기 각 기구를 이용하여 유량 제어 장치, 및 그 상류측 및/또는 하류측에 배치한 각 밸브의 동작 상태나 시트 리크의 체크를 각 밸브 등을 관로로부터 분리하는 것 없이 간단하고 동시에 정확하게 행할 수 있도록 하는 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본원 발명은 유량 자기 진단 기구의 진단값으로부터 밸브나 유량 제어 장치 자체의 작동에 이상이 있는 것이 검출된 경우에 그 진단의 기초로 한 압력 강하 특성의 형태로부터 이상의 발생 원인을 특정, 표시할 수 있도록 하는 것을 발명의 다른 목적으로 하는 것이다.
또한, 본원 발명은 밸브의 시트 리크 이상이 검출된 경우에 발생하는 리크량을 간단히 연산, 표시할 수 있도록 하는 것을 발명의 또 다른 목적으로 하는 것이다.
상기 발명의 과제를 해결하기 위해서 청구항 1의 발명은 유량의 설정 기구와, 유량 및 압력의 표시 기구 및/또는 유량 자기 진단 기구를 구비한 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 구비한 유체 공급계에 있어서, 상기 유량 제어 장치, 및 그 상류측 또는 하류측에 설치된 밸브의 이상을 상기 유량 제어 장치의 유량 및 압력의 표시 기구의 표시값 및/또는 유량 자기 진단 기구의 진단값을 이용하여 검출하는 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
또한, 청구항 2의 발명은 청구항 1의 발명에 있어서 이상 검출의 대상으로 하는 밸브를 유량 제어 장치의 상류측에 설치된 퍼지 가스 공급계의 밸브와 프로세스 가스 공급계의 밸브 및 유량 제어 장치의 하류측의 프로세스 가스 사용계에 설치된 밸브로 함과 아울러, 검출하는 이상의 종류를 밸브의 개폐 동작 및 시트 리크로 하도록 하는 것이다.
청구항 3의 발명은 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서 유량 제어 장치의 유량 자기 진단 기구를 초기 설정한 압력 강하 특성과 진단시의 압력 강하 특성을 대비하여 이상을 진단하는 구성의 기구로 함과 아울러, 프로세스 가스와 퍼지 가스의 혼합 가스가 유입하였을 때의 상기 진단값의 변화로부터 프로세스 가스 공급계 또는 퍼지 가스 공급계의 밸브의 시트 리크를 검출하도록 하는 것이다.
청구항 4의 발명은 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서 유량 자기 진단 기구에 의한 유량 자기 진단시의 압력 강하 특성의 형태로부터 검출된 이상의 원인을 판정하는 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
청구항 5의 발명은 청구항 1의 발명에 있어서 프로세스 가스 사용계의 배관을 통하여 유량 제어 장치의 상류측 및 하류측의 배관 내를 진공화하여 상기 유량 제어 장치의 압력의 표시값으로부터 각 밸브의 시트 리크 이상을 검지하도록 하는 것이다.
청구항 6의 발명은 청구항 1 또는 청구항 2의 발명에 있어서 밸브의 시트 리크 이상이 검출되었을 때에 그 리크량(Q)(sccm)을 연산, 표시하는 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
청구항 7의 발명은 청구항 6의 발명에 있어서 밸브 시트로부터의 리크량(Q)(sccm)을 Q = K·273·R/(273+T)[단, K는 정수, T는 온도(℃), R은 압력 강하율(Pa abs·m3/s)이며, 또한 R는 밀폐 배관계의 내용적(v)(m3) 및 Δt(sec) 사이의 압력 지시값의 변위가 ΔP(Pa abs)일 때 R = -ΔP×v/Δt에 의해 주어지는 값이다.]로 연산하는 것을 발명의 기본 구성으로 하는 것이다.
본 발명에 있어서는 가스 공급계로 되어 있는 압력식 유량 제어 장치(FCS) 그 자체를 이용하여 가스 공급계 내의 밸브의 개폐 동작이나 시트 리크, 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 영점 등의 이상을 각 밸브류를 배관로로부터 분리하는 것 없이 극히 용이하고 또한 정확하게 체크할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 밸브의 시트 리크나 밸브의 작동 이상, 압력식 유량 제어 장치의 영점 이상이 생겼을 경우에 그 이상 발생의 원인을 압력 강하 특성 곡선의 형태로부터 정확하게 특정 판단할 수 있고, 필요한 기기 등의 보수, 조정을 보다 능률적으로 행할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에서는 시트 리크 이상의 검출과 아울러, 단시간 내에 그 리크량을 자동적으로 연산 표시할 수 있으므로 기기 장치 등의 운전 계속의 가부나 시트 리크의 발생에 의한 영향을 정확하고 또한 신속하게 판단할 수 있다.
도 1은 본 발명을 실시하기 위한 유체 공급계의 일례를 나타낸 블록 구성도이다.
도 2는 본 발명에 의한 유체 공급계의 밸브의 이상 검출 방법의 일례를 나타낸 플로우시트이다.
도 3은 압력식 유량 제어 장치의 유량 자기 진단에 있어서 공급압이 부족한 경우의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 4(a)는 2차측의 에어 구동형 밸브의 구동 기구에 고장이 있는 경우의, 또한 도 4(b)는 2차측에 외부로부터 리크가 있는 경우의 장력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 5(a)는 플로우 팩터가 큰 가스가 혼입된 경우의, 또한 도 5(b)는 플로우 팩터가 작은 가스가 혼입된 경우의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 6(a)는 오리피스에 막힘이 있는 경우의, 또한 도 6(b)는 오리피스가 확대되는 경우의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 7은 FCS의 컨트롤 밸브에 시트 리크가 있는 경우의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 8은 FCS의 컨트롤 밸브의 구동부에 고장이 있는 경우의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 9는 FCS의 영점 변동시의 압력 강하 특성의 대표 예를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 3으로부터 도 9까지의 각 압력 강하 특성의 형태(패턴)로부터 도출된 4개의 압력 강하 특성의 유형을 나타낸 도면이다.
도 11은 압력식 유량 제어 장치의 유량 자기 진단에 있어서의 압력 강하 특성의 측정 장치의 계통도이다.
도 12는 도 11의 측정 장치로 측정한 압력 강하 특성의 일례를 나타낸 것이며, 도 12(a)는 소용량(10sccm)의 FCS에 있어서의 소량의 리크 발생(0.2sccm)시의, 또한 도 12(b)는 대용량(2000sccm)의 FCS에 있어서의 대량의 리크 발생(4sccm)시의 압력 강하 특성의 일례를 나타낸 도면이다.
도 13은 종래의 유량 제어 장치를 구비한 유체 공급계의 일례를 나타낸 블록 구성도이다.
도 14는 종래의 압력식 유량 제어 장치의 구성을 나타낸 개요도이다.
<부호의 설명>
A: 프로세스 가스 공급계
A1: 배관
B: 퍼지 가스 공급계
B1: 배관
C: 프로세스 가스 사용계
1c: 배관
D: 압력식 유량 제어부
V1~V3: 밸브
Go: 퍼지 가스
Gp: 프로세스 가스
1a: 압력식 유량 제어 장치의 상류측 배관
FCS: 압력식 유량 제어 장치
1b: 압력식 유량 제어 장치의 하류측 배관
E: 프로세스 챔버
이하, 도면에 의거하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 14(a) 및 도 14(b)는 종래의 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 기본 구성의 일례를 나타낸 것이며, 컨트롤 밸브(2), 압력 검출기(6,27), 음속 노즐이나 오리피스로 이루어지는 스로틀 기구(8), 유량 연산 회로(13), 유량 설정 회로(14), 연산 제어 회로(16), 유량 출력 회로(12) 등으로 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 요부가 형성되어 있다. 게다가, 도 14(a) 및 도 14(b)에서는 스로틀 기구(8)에 오리피스가 사용되고 있다.
도 14(a) 및 도 14(b)에 있어서 3은 오리피스 상류측 배관, 4는 밸브 구동부, 5는 오리피스 하류측 배관, 9는 밸브, 15는 유량 변환 회로, 10, 11, 22, 28은 증폭기, 7은 온도 검출기, 17, 18, 29는 A/D 변환기, 19는 온도 보정 회로, 20, 30은 연산 회로, 21은 비교 회로, Qc는 연산 유량 신호, Qf는 스위칭 연산 유량 신 호, Qe는 유량 설정 신호, Qo는 유량 출력 신호, Qy는 유량 제어 신호, P1은 오리피스 상류측 기체 압력, P2는 오리피스 하류측 기체 압력, k는 유량 변환율이다.
또한, 해당 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 도 14(a) 및 도 14(b)에 기재되어 있는 기본 회로의 이외에 연산 등에 필요한 처리 프로그램이나 데이터 등의 기억 장치나 각종 연산 처리부가 제공되어 있는 것은 물론이다.
상기 도 14(a)의 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 오리피스 상류측 기체 압력(P1)과 오리피스 하류측 기체 압력(P2)의 비(P2/P1)가 유체의 임계값과 동일하거나 또는 이것보다 낮은 경우(소위 기체의 흐름이 임계 상태 하에 있을 때)에 주로 이용되는 것이며, 오리피스(8)를 유통하는 기체 유량(Qc)은 Qc = KP1(단, K는 비례 정수)으로 주어진다.
또한, 상기 도 14(b)의 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 임계 상태와 비임계 상태의 양쪽의 흐름 상태가 되는 기체의 유량 제어에 주로 이용되는 것이며, 오리피스(8)를 흐르는 기체의 유량은 Qc = KP2 m(P1-P2)n(K는 비례 정수, m 및 n은 정수)로 주어진다.
상기 도 14(a)의 압력식 유량 제어 장치에 있어서 제어 유량의 설정값은 유량 설정 신호(Qe)로서 전압값으로 제공되고, 예를 들면 상류측 압력(P1)의 압력 제어 범위 0~3(kgf/cm2abs)을 전압 범위 0~5V로 표시한다면 Qe = 5V(풀 스케일값)는 3(kgf/cm2abs)의 압력(P1)에 있어서의 유량(Qc)에 상당하는 것이 된다.
예를 들면, 현재 유량 변환 회로(15)의 변환율이 1로 설정되어 있을 때 유량설정 신호(Qe) = 5V가 입력되면 스위칭 연산 유량 신호(Qf)(Qf = kQc)는 5V가 되어 상류측 압력(P1)이 3(kgf/cm2abs)이 될 때까지 컨트롤 밸브(2)가 개폐 조작되게 되고, P1 = 3(kgf/cm2abs) 에 대응하는 유량(Qc) = KP1의 기체가 오리피스(8)를 유통하게 된다.
해당 도 14(a) 및 도 14(b)의 압력식 유량 제어 장치(FCS)에는 유량의 설정 기구에 해당하는 유량 설정 회로(14)와, 압력의 표시 기구에 해당하는 압력 표시 기구(도시 생략)와, 유량을 표시하는 유량 출력 회로(12) 등이 설치되어 있다.
또한, 해당 압력식 유량 제어 장치(FCS)에는 소위 유량 자기 진단 기구(도시 생략)가 설치되어 있고, 후술하는 바와 같이 초기 설정한 압력 강하 특성과 진단시의 압력 강하 특성을 대비하여 이상 상태를 판정함과 아울러, 그 판정 결과를 출력하도록 구성되어 있다.
게다가, 압력식 유량 제어 장치(FCS)에는 컨트롤 밸브(2)로의 가스 공급원으로부터의 공급 압력이 부족하게 됨으로써 설정 유량의 가스 유량을 공급할 수 없게 되거나, 또는 임계 조건을 유지할 수 없게 되는 경우에는 공급압 부족 신호의 발신 기구가 설치되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시 대상인 상기 압력식 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 일례를 나타낸 것이며, 해당 유체 공급계는 퍼지 가스 공급계(B)와, 프로세스 가스 공급계(A)와, 압력식 유량 제어부(D)와, 프로세스 가스 사용계(C) 등으로 구성되어 있다.
또한, 해당 유체 공급계의 사용시에는 일반적으로 우선 퍼지 가스 공급계(B)로부터 N2나 Ar 등의 불활성 가스를 퍼지 가스(Go)로서 관로(1a), 압력식 유량 제어 장치(FCS), 관로(1b) 등에 흘려 유체 공급계 내를 퍼지한다. 그후, 퍼지 가스(Go)를 대신하여 프로세스 가스(Gp)를 공급하고, 압력식 유량 제어부(D)에 있어서 소망의 유량으로 조정하면서 프로세스 가스(Gp)를 프로세스 가스 사용계(C)에 공급한다.
또한, 도 1에 있어서 V1, V2, V3는 밸브이며, 유체압 구동부나 전동 구동부를 구비한 자동 개폐 밸브가 일반적으로 사용되고 있다.
본 발명을 이용하여 점검되는 밸브는 상기 도 1에 있어서의 밸브(V1,V2,V3) 등이며, 해당 밸브(V1~V3)의 소위 시트 리크와 동작 이상이 압력식 유량 제어 장치(이하, FCS라고 함)를 이용하여 프로세스 챔버(E)로의 프로세스 가스의 공급 개시의 준비중, 또는 프로세스 가스의 공급 정지의 준비 중 등에 행하여진다.
보다 구체적으로는, 각 밸브(V1,V2,V3)의 동작 이상은 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 이용한 다음과 같은 순서에 의해 점검된다.
A. 밸브(V1)의 동작 이상
a. 소정의 실가스[프로세스 가스(Gp)]를 유통시키고, FCS에 의해 소정의 설정 유량의 가스를 유통시킨다. 이때, FCS의 유량 지시값이나 압력 지시값[배관로(1a) 및/또는 배관로(1b)]이 0으로 변화될 경우에는 밸브(V1)의 동작에 이상(부동작)이 있게 된다.
b. FCS에 소정의 실가스[프로세스 가스(Gp)]를 유통시키고, FCS의 실가스 제어 유량이 소정 유량이 되는지의 여부를 진단중(이하, 실가스 유량 자기 진단시라고 함)에, FCS로부터 공급압 부족의 에러 신호가 발신되는 경우에는 밸브(V1)의 동작에 이상(부동작)이 있게 된다.
B. 밸브(V2)의 동작 이상
a. 퍼지 가스(G)로서 N2를 유통시키고, FCS에 의해 소정의 설정 유량의 가스를 유통시킨다. 이때, FCS의 유량 지시값이나 압력 지시값이 0으로 변화될 경우에는 밸브(V2)의 동작 이상(부동작)이 있게 된다.
b. FCS에 N2 가스를 유통시키고, FCS의 N2 제어 유량이 설정 유량이 되는지의 여부를 진단중(이하, N2 유량 자기 진단시라고 함)에 FCS로부터 공급압 부족의 에러 신호가 발신되는 경우에는 밸브(V2)의 동작에 이상(부동작)이 있게 된다.
C. 밸브(V3)의 동작 이상
a. N2 또는 실가스를 흘려보낸 상태 하에 있어서의 N2 유량 자기 진단시 또 는 실가스 유량 자기 진단시에 FCS로부터 유량 자기 진단 에러 신호가 발신되는 경우에는 밸브(V3)의 동작에 이상(부동작)이 있게 된다.
b. 배관(1c) 등의 진공화시에 FCS의 압력 출력 표시가 영으로 하강하지 않는 경우에는 밸브(V3)의 동작에 이상(부동작)이 있게 된다.
c. FCS의 유량 설정시에 상기 유량 설정값을 적당하게 변화시켜도 FCS의 압력 표시값에 변화가 없는 경우에는 밸브(V3)의 동작 이상(부동작)이 있게 된다.
또한, 각 밸브(V1,V2,V3)의 시트 리크는 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 이용한 다음의 순서에 의해 점검된다.
A. 밸브(V1)의 시트 리크
a. N2에 의한 FCS의 유량 자기 진단시에 밸브(V1)에 시트 리크가 있으면 N2가 실가스(Gp)측으로 역류하여 밸브(V1)의 상류측의 실가스(Gp)가 N2와 실가스(Gp)의 혼합 가스로 된다.
그 후, FCS의 실가스 유량 자기 진단을 실시하면 해당 실가스 유량 자기 진단이 혼합 가스로 행하여지게 되어 진단값이 이상값이 된다.
이 진단값이 이상값이 됨으로써 밸브(V1)에 시트 리크가 있는 것이 판명된다.
구체적으로는, 실가스[프로세스 가스(Gp)]의 플로우 팩터(F.F.) > 1 의 경우에는 진단 결과가 -측에, 또한 실가스[프로세스 가스(Gp)]의 F.F. < 1 의 경우에는 진단 결과가 +측에 치우쳐 위치하게 된다.
또한, 플로우 팩터(F.F.)는 FCS의 오리피스 및 오리피스 상류측 압력(P1)이 동일한 경우에 실가스 유량이 기준 가스(N2) 유량의 몇배가 되는지를 나타내는 값이며, F.F.= 실가스 유량/N2 유량으로 정의되는 값이다(일본 특허 공개 2000-66732호 공보 등 참조).
B. 밸브(V2)의 시트 리크
실가스 유량 자기 진단시의 진단값이 이상값이 되는 경우에는 밸브(V2)에 시트 리크가 발생하게 된다.
왜냐하면, FCS의 상류측 배관(1a)의 실가스(Gp) 내에 N2 가스가 혼입하게 되어 FCS에서는 혼합 가스에 의한 실가스 유량 자기 진단이 행하여지므로 진단값이 이상값이 된다.
C. 밸브(V3)의 시트 리크
FCS에 의한 유량 제어의 완료 후 밸브(V3)를 페쇄 상태로 유지함과 아울러, FCS의 유량 설정을 0(유량이 영이 되도록 설정)으로 한다.
그 후, FCS의 압력 지시값이 하강하면 밸브(V3)에 시트 리크가 발생하게 된다.
상기와 같은 FCS를 이용한 각 조작을 행함으로써 도 1의 구성의 유체 공급계 에 있어서는 밸브(V1,V2,V3)의 동작 이상 및 시트 리크를 FCS를 이용하여 검출할 수 있다.
또한, 도 1의 실시형태에 있어서는 3개의 밸브를 구비한 유체 공급계를 본 발명의 적용 대상으로 하고 있지만, 프로세스 가스 공급계(A)의 수가 복수이거나, 또는 프로세스 가스 사용계(C)의 수가 복수여도 본 발명의 적용이 가능한 것은 물론이다.
도 2는 도 1에 나타낸 유체 공급 장치의 각 밸브(V1,V2,V3)의 이상을 체크하는 경우의 플로우 시트를 나타낸 것이다.
또한, 본 플로우 시트는 도 1에 있어서 (a) 각 밸브(V1,V2,V3), FCS 및 배관계(1a,1b,1c) 등에는 시트 리크 이외의 외부 리크(예를 들면, 이음새나 보닛 등으로부터의 누출)은 없는 것, (b) 각 밸브의 구동부는 정상으로 동작하는 것, (c) FCS는 정상으로 동작하는 것, (d) V1, V2는 동시에 개방되지 않는 것 등이 전제되어 있다.
우선, 스텝(S0)에서 이상 체크를 시작한다. 계속해서, 스텝(S1)에서 V1 폐쇄, V2 개방→폐쇄(스위칭), V3 폐쇄, FCS 컨트롤 밸브 개방의 조작을 행하고 FCS의 하류측 배관(1b)에 N2를 충전한다.
스텝(S2)에서 FCS의 장력 표시(P1)를 체크하고, P1의 증감(ΔP1)이 0인지의 여부를 판단한다.
ΔP1이 0이 아닌 경우이며 P1 상승인 경우에는 V1 또는 V2의 어느 한쪽 또는 양쪽이 이상(시트 리크 또는 동작 불량)이고, 또한 P1이 감소인 경우에는 V3이 이상(시트 리크 또는 동작 불량)으로 판단된다[스텝(S3)].
그 다음에, 스텝(S4)에서 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방, FCS 컨트롤 밸브 개방으로 배관 내를 진공화한 후 V1 개방, V2 폐쇄로 하여 프로세스 가스(실가스)(Gp)를 FCS에 흘리고, 스텝(S5)에서 FCS의 장력 표시(P1)를 체크한다. P1의 상승이 있으면 V1의 동작은 정상[스텝(S7)], P1의 상승이 없으면 V1의 동작 이상[스텝(S6)]으로 판단하여 V1의 동작 상황을 확인한다.
그 후, 스텝(S8)에서 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방, FCS 컨트롤 밸브 개방으로 배관 내를 진공화한 후 V1 폐쇄, V2 개방으로 하여 FCS의 압력 표시(P1)를 체크한다[스텝(S9)]. P1이 상승하지 않으면 V2의 동작 이상으로 판단하여[스텝(S10)] V2의 동작 상황을 확인한다.
또한, P1이 상승하면, V2의 동작은 정상으로 판단된다[스텝(S11)].
계속해서, 스텝(S12)에서 상기 스텝(S2)에 있어서의 밸브류의 이상이 밸브(V3)의 동작 이상에 해당하는지의 여부를 판단한다. 다시 말해, 스텝(S2)의 판단이 NO[밸브(V1,V2,V3) 내의 어느 것은 동작 이상)이고, 또한 밸브(V1 및 V2)의 동작 이 정상이면 밸브(V3)가 동작 이상으로 판단되고[스텝(S13)], 또한 스텝(S2)에 있어서의 판단이 YES인 경우에는 각 밸브(V1,V2,V3)의 동작이 정상으로 판단된다[스텝(S14)].
그 다음에, 각 밸브(V1,V2,V3)의 시트 리크의 체크가 행해진다. 다시 말해, 스텝(S15)에 있어서 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방, FCS 컨트롤 밸브 개방으로 배관 내를 진공화한 후 스텝(S1)과 같이 V1 폐쇄, V2 개방→폐쇄(스위칭), V3 폐쇄로 하고 FCS와 밸브(V3) 사이의 배관(1b)을 가압하여 FCS의 압력 표시를 P1으로 유지[컨트롤 밸브(2)과 밸브(V3) 사이에서 압력을 유지)한다.
스텝(S16)에서 상기 P1의 감압을 체크하고, 감압이 있으면 밸브(V3)에 시트 리크가 있다고 판단한다[스텝(S17)]. 또한, 감압이 없으면 밸브(V3)에 시트 리크없음으로 판단한다[스텝(S18)].
그 다음에, 스텝(S19)에서 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방, FCS 컨트롤 밸브 개방으로 배관 내를 진공화한 후, 밸브 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방으로 배관로(1a,1b, 1c)를 감압(진공화)한 후 밸브(V3)를 폐쇄한다[스텝(S20)].
그 후, 스텝(S21)에서 FCS의 압력 표시(P1)를 체크하고, 압력 표시(P1)가 증 압(增壓)되지 않으면 스텝(S22)에서 밸브(V1,V2)에 시트 리크가 없다고 판단하고 이상 체크를 완료한다[스텝(S31)].
또한, 스텝(S21)에서 P1에 증압이 있으면 밸브(V1 또는 V2) 중 어느 것에 시트 리크가 있다고 판단하고[스텝(S23)], 시트 리크가 있는 밸브가 어느 것인지를 판단하는 공정으로 들어간다.
스텝(S24)에서 V1 폐쇄, V2 폐쇄, V3 개방, FCS 컨트롤 밸브 개방으로 배관 내를 진공재기한 후 밸브 V1 개방, V2 폐쇄로 하여 FCS의 실가스 유량 자기 진단을 행한다. 다시 말해, 실가스[프로세스 가스(Gp)]를 흘려보냈을 때의 압력 강하 특성과 초기 설정 압력 강하 특성을 대비하여 양자간의 차이가 허용값 이하이면 진단값에 이상이 없다고 판단한다. 또한, 반대로 상기 양자간의 차이가 허용값 이상이 되는 경우에는 진단값에 이상이 있다고 판단한다.
스텝(S24)에서 진단값에 이상이 없으면 밸브(V1)에만 시트 리크가 있다고 판단한다[스텝(S26)]. 밸브(V1)에 시트 리크가 있어도 밸브(V2)에 시트 리크가 없으면 FCS로 유입하는 유체는 프로세스 가스(Gp)뿐이고, 따라서 상기 실가스 유량 자기 진단의 진단값에는 이상이 나오지 않기 때문이다.
한편, 스텝(S24)에 있어서 진단값에 이상이 있을 경우에는 스텝(S27)에서 밸브(V1) 폐쇄, 밸브(V2) 개방으로 하여 FCS의 N2 유량 자기 진단이 행해진다. 다시 말해, N2 가스를 흘려보냈을 때의 압력 강하 특성과 초기 압력 강하 특성을 대비하여 양자의 차이가 허용값 이하이면 진단값에 이상이 없다고 진단한다. 또한, 양자의 차이가 허용값 이상이면 진단값에 이상이 있다고 진단한다.
스텝(S28)에 있어서 N2 유량 자기 진단의 진단값에 이상이 없으면 스텝(S29)에서 밸브(V2)에만 시트 리크가 있다고 판단한다. 왜냐하면, 밸브(V1)가 시트 리크를 발생시키면 실가스가 N2 내로 혼입하고 FCS의 유량 자기 진단값에 이상이 나오기 때문이다.
반대로, 스텝(S28)에 있어서 N2 유량 자기 진단값에 이상이 있을 경우에는 밸브(V1)가 시트 리크를 발생시키고 N2와 실가스의 혼합 가스가 FCS에 유입함으로써 상기 진단값에 이상이 생기게 된다. 이에 따라, 스텝(S30)에서 밸브(V1 및 V2)의 양쪽에 시트 리크가 있다고 판단한다.
또한, 도 2의 이상 체크 플로우 시트에 있어서는 스텝(S3)에서 밸브(V1,V2,V3)의 이상을 검출한 후 각 밸브(V1,V2,V3)의 동작 이상과 시트 리크 이상을 각각 순서로 체크해 가는 플로우로 되어 있다. 그러나, 스텝(S3)에 있어서 이상이 검출되면 이상의 변동 정도로부터 이상의 종류가 밸브의 동작 이상인지 또는 시트 리크의 어느 것인지를 우선 판정하고, 동작 이상이면 스텝(S4)~스텝(S13)까지를, 또 한 시트 리크 이상이면 스텝(S15)~스텝(S30)을 각각 실시하도록 해도 좋다.
또한, 상기 동작 이상의 판정은 스텝(S3)에 있어서의 P1의 상승율 또는 P1의 감소율로부터 판단가능하다. 예를 들면 Pl의 상승율이 크면 밸브의 개폐 이상, P1의 상승율이 작으면 밸브의 시트 리크 이상으로 판단할 수 있다.
그 다음에, 유량 자기 진단시의 압력 강하 특성과 유량 자기 진단의 결과가 이상으로 판정된 경우의 이상 원인 등의 관계에 대하여 검증하였다.
또한, 유량 자기 진단은 상기와 같이 초기 설정한 압력 강하 특성과 진단시의 압력 강하 특성을 대비하여 그 차이가 미리 정해진 범위 외가 되는 경우에 이상으로 판단하는 것이다.
우선, 발명자 등은 도 1에 나타낸 기본적인 유체 공급계를 구성하고 고장(이상)을 모의적으로 발생시킴과 아울러, 각 이상시의 압력 강하 특성을 조사하였다. 또한, 얻어진 압력 강하 특성과 그 발생 요인의 관계를 해석하고, 그 해석 결과로 압력 강하 특성의 형태와 이상 발생의 원인 사이에 밀접한 일정 관계가 존재한다는 것을 찾아냈다. 다시 말해, 이상 발생시의 압력 강하 특성의 형태를 알면 이상 발생의 원인을 알아낼 수 있음을 찾아내었다.
표 1은 유량 자기 진단에 있어서 모의적으로 발생시킨 구체적인 고장의 종류 A(고장의 특정)와, 그에 의해 발생하는 현상 B와, 발생한 현상 B에 직접 결부되는 고장의 총괄적인 요인 C의 관계를 조사하고 이를 정리한 것이다.
또한, 압력 강하 특성의 형태의 란의 수치(1~4)는 후술하는 바와 같이 구체 적인 고장 A에 대하여 각기 발생하는 압력 강하 특성의 형태의 유형을 나타낸 것이다.
Figure 112008008934006-PCT00001
도 3 ~ 도 9는 표 1에 나타낸 각각의 구체적인 고장을 발생하는 경우의 유량 자기 진단에 있어서의 압력 강하 특성을 나타낸 것이며, 가로축은 시간을, 또한 세로축은 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 검출 압력을 각각 나타낸 것이다.
즉, 도 3에서는 가스 공급원측에서의 공급압 부족 때문에 100% 유량 유지시에 제어압이 부족하게 되고 압력 강하 특성의 형태가 후술하는 유형 4의 형태가 된다.
도 4(a)에서는 2차측(FCS의 출력측)의 에어 작동 밸브(V3)의 에어 작동이 고장이므로 오리피스 2차측 압력이 상승하고, 그 결과 진단 도중부터 압력 강하가 느려진다(유형 2의 형태가 됨).
또한, 도 4(b)에서는 오리피스 2차측의 외부로부터 리크 가스가 2차측으로 유입되므로 오리피스 2차측 압력이 상승하고 압력 강하 특성의 형태는 상기 도 4(a)의 경우와 같은 유형 2의 형태가 된다.
도 5(a)에서는 플로우 팩터(F.F.)가 큰 가스가 압력식 제어 장치(FCS)의 1차측으로 유입되므로 스로틀 기구(오리피스)로부터 가스가 빠지기 쉬워지고, 그 결과 압력 강하 특성에 있어서의 압력 강하가 빨라지게 된다(유형 3의 형태).
반대로, 도 5(b)에서는 플로우 팩터(F.F.)가 작은 가스가 유입되므로 스로틀 기구(오리피스)로부터 가스가 빠지기 어려워지고 압력 강하 특성에 있어서의 압력 강하가 지연된다(유형 1의 형태). 또한, 이하의 기술에서는 스로틀 기구를 오리피스로도 표현한다.
도 6(a)에서는 오리피스가 막힘으로써 오리피스로부터 가스가 빠지기 어려워지고 압력 강하 특성에 있어서의 압력 강하가 지연되게 된다(유형 1의 형태).
반대로, 도 6(b)에서는 오리피스가 확대되므로 오리피스로부터 가스가 빠지기 쉬워지고 압력 강하가 빨라지게 된다(유형 3의 형태).
도 7에서는, 컨트롤 밸브가 시트 리크를 발생시키므로 유량 자기 진단시에 컨트롤 밸브로부터 가스가 유입되고 압력 강하 특성에 있어서의 압력 강하가 지연되게 된다(유형 1의 형태).
도 8에서는 컨트롤 밸브의 구동부의 전달계에 이상이 있으므로 컨트롤 밸브가 원활하게 밸브 개방을 하지 않는다. 그 결과, 가스의 공급이 행해지지 않고 가스가 흐르지 않으므로 압력 강하 특성이 변화하지 않게 된다(유형 4의 형태).
도 9는 압력식 유량 제어 장치의 영점 조정이 틀어지는 경우를 나타내는 것이며, 영점이 플러스측으로 변동할 때에는 압력 강하가 지연되고 유형 1의 형태가 된다.
또한, 영점이 마이너스측으로 변동할 때에는 압력 강하가 빨라지고 그 압력 강하 특성은 유형 3의 형태가 된다.
도 10은 상기 도 3 ~ 도 9에 나타낸 유량 자기 진단시에 있어서의 압력 강하 특성의 유형의 형태를 정리하여 표시한 것이다.
즉, 압력 강하 특성은 다음의 1~4의 4개 유형의 형태(패턴)로 크게 구별된다.
[유형 1의 압력 강하 특성(진단 직후부터 압력 강하가 늦어짐)]
플로우 팩터가 작은 가스의 혼입, 오리피스로의 생성물의 부착·쓰레기 막힘, 컨트롤 밸브의 쓰레기 물림, 생성물 부착(시트 리크), 제로점의 플러스 변동 등의 고장의 경우에 발생한다.
[유형 2의 압력 강하 특성(진단 도중부터 압력 강하가 늦어짐)]
2차측 밸브의 에어 오퍼레이션 기구의 고장, 2차측으로의 외부로부터 리크 등의 고장의 경우에 발생한다.
[유형 3의 압력 강하 특성(진단 직후부터 압력 강하가 빨라짐)]
플로우 팩터가 큰 가스의 혼입, 부적절한 제로점 입력, 부식에 의한 구멍(오리피스)의 막힘, 오리피스 플레이트의 파손, 제로점의 마이너스 변동 등의 고장의 경우에 발생한다.
[유형 4의 압력 강하 특성(진단시의 초기가 100% 유량에 도달하지 않음)]
공급 압력의 부족, 1차측 밸브의 에어 오퍼레이션 기구의 고장, [프리필터(pre-filter)]의 쓰레기 막힘, 컨트롤 밸브의 구동부의 전달계의 이상(컨트롤 밸브의 고장) 등의 경우에 발생한다.
상기 표 1 및 도 4 ~ 도 10의 기재로부터도 명확해지는 바와 같이, 본 발명에서는 유량 자기 진단시의 압력 강하 특성의 형태가 1~4의 어느 유형에 해당하는지를 검토함으로써 고장의 원인이나 그 발생 개소를 용이하게 알 수 있고, 가스 공급계의 보수(또는 점검)를 능률적이고 신속하게 행할 수 있게 된다.
한편, 가스 공급계의 밸브에 시트 리크 등의 이상이 존재하다는 것이 판명될 때 그 누설량을 구체적으로 파악할 필요가 자주 발생한다. 왜냐하면, 누설량의 대·소를 앎으로써 긴급 보수가 필요한지 또는 보수까지 약간 시간적인 여유를 가질 수 있는지 등의 판단을 할 수 있기 때문이다.
도 11은 압력식 유량 제어 장치의 2차측 밸브에 시트 리크가 발생하는 경우에 그 압력 강하 특성으로부터 시트 리크를 실제로 검지할 수 있는지의 여부를 확인하기 위해서 이용된 시험 장치의 계통도이고, RG는 압력 조정 장치, MFC는 유량 모니터 장치(열식 질량 유량계), FCS는 압력식 유량 제어 장치, V1은 입구 밸브, V3는 모의 리크량 발생 밸브, Vp은 진공 펌프이며, 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 배관 계통을 포함하는 내용적(v)는, v = 6.69×10-6m3로 설정되어 있다. 또한, 리크량 발생 밸브(V3) 리크량은 4sccm과 0.2sccm(공급 압력 350kPa abs)의 두 종류로 스위칭 조정가능하다.
도 11을 참조하여, 우선 공급 압력 350kPa abs으로도 N2 가스를 공급하고, 유량 모니터 장치(MFC)로 공급 유량을 모니터링하면서 모의 리크량을 리크량 발생 밸브(V3)의 폐쇄 정도 조절에 의해 조정한다[입구 밸브(V1)는 개방, 압력식 유량 제어 장치(FCS)는 강제 개방으로 함).
그 다음에, 입구 밸브(V1)를 개방, 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 폐쇄로 한다.
그리고, 입구 밸브(V1)를 개방함과 동시에, 압력식 유량 제어 장치(FCS)를 강제 개방함(이후, FCS는 강제 개방을 유지함)과 아울러, 몇초 후에 입구 밸브(V1)를 폐쇄한다.
그 후, 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 압력 지시값과 공급 압력(P)을 측정하고, 리크량 발생 밸브의 시트 리크에 의한 압력식 유량 제어 장치를 포함하는 가스 공급계의 압력 강하 특성을 측정하였다.
그 다음에, 압력 강하 특성이 구해지면 그 압력 강하 특성을 이용하여 리크량의 산출을 행하였다.
우선 리크량의 산출식에 앞서 FCS의 압력 강하 특성으로부터 압력 강하율(R) = ΔP/Δt×v(Pa abs·m3/s) … (1)을 계산한다. 단, 식 (1)에 있어서 ΔP(Pa abs)는 시간[Δt(s)] 사이의 압력 지시값의 변위이며, v(m3)는 FCS계의 내용적(v = 6.09×10-6m3)이다.
압력 강하율(R)이 구해지면 리크량[Q(sccm)]을 다음 식 (2)에 의해 산출한다.
Q(sccm) = -1(atm)/{760(Torr)×133.3(Pa·abs/Torr)}×273(K)/(273+T)(K)×v(m3)×106(cc/m3)×ΔP(Pa·abs)/Δt(s)/60
= 60×106/(760×133.3)×273/(273+T)×R
=K×273/(273+T)×R …… (2)
단, T는 가스 온도(℃)이다.
또한, 실제의 리크량의 산정에서 있어서는 압력 강하율(R)를 구하기 위한 Δt의 기산점을 입구 밸브(V1)의 폐쇄로부터 몇 sec 후로 할지가 문제가 된다.
도 12(a)는 정격 유량 10sccm의 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 리크 발생 밸브(V3)의 리크량이 10sccm일 때의 압력 강하 특성을 나타낸 것이고, 또한 도 12(b)는 정격 유량 2000sccm의 압력식 유량 제어 장치(FCS)의 리크 발생 밸브(V3)의 리크량이 4sccm일 때의 압력 강하 특성을 나타낸 것이다.
도 12(a) 및 도 12(b)나 그 외의 같은 시험 데이터의 결과로부터 입구 밸브(V1)을 폐쇄로 하고부터 압력 강하 특성의 기울기가 안정할때 까지의 시간으로서는 15sec간 정도가 충분하고, 또한 압력 강하율(R)을 산정하기 위한 Δt(s)는 5sec간 정도가 양호하다고 판명된다.
또한, 도 12(a)에 있어서의 상기 식 (2)에 의한 연산값(Q)는 0.15(sccm)이며, 도 12(b)의 경우의 연산값은 2.8(sccm)이다. 단, 가스 온도(T)는 21℃로 하고 있다. 리크 발생(V3)의 리크량이 0.2(sccm) 및 4(sccm)이므로 본 발명의 상기 식 (2)로도 실용에 견디는 레벨의 정밀도로도 리크량의 산출이 가능하다고 판명되었다.
본 발명은 반도체 제조 산업이나 화학 산업, 식품 산업 등의 압력 센서를 보유하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계 전반에 적용가능한 것이다.

Claims (7)

  1. 유량의 설정 기구, 및 유량 및 압력의 표시 기구 및/또는 유량 자기 진단 기구로 구성되는 압력 센서를 보유하는 압력식 유량 제어 장치를 구비한 유체 공급계에 있어서, 상기 유량 제어 장치, 및 그 상류측 및/또는 하류측에 설치된 밸브의 이상을 상기 유량 제어 장치의 압력의 표시값 및/또는 유량 자기 진단 기구의 진단값을 이용하여 검출하는 구성으로 한 압력 센서를 보유하는 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    이상 검출의 대상으로 하는 밸브를 상기 유량 제어 장치의 상류측에 설치된 퍼지 가스 공급계의 밸브와 프로세스 가스 공급계의 밸브 및 상기 유량 제어 장치의 하류측의 프로세스 가스 사용계에 설치된 밸브로 함과 아울러, 검출하는 이상의 종류를 밸브의 개폐 동작 및 시트 리크로 하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유량 제어 장치의 유량 자기 진단 기구를 초기 설정한 압력 강하 특성과 진단시의 압력 강하 특성을 대비하여 이상을 진단하는 구성의 기구로 함과 아울러, 프로세스 가스와 퍼지 가스의 혼합 가스가 유입하였을 때의 상기 진단값의 변 화로부터 상기 프로세스 가스 공급계 또는 상기 퍼지 가스 공급계의 밸브의 시트 리크를 검출하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유량 자기 진단 기구에 의한 유량 자기 진단시의 압력 강하 특성의 형태로부터 검출된 이상의 원인을 판정하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    프로세스 가스 사용계의 배관을 통하여 상기 유량 제어 장치의 상류측 및 하류측의 배관 내를 진공화하고, 상기 유량 제어 장치의 압력의 표시값으로부터 각 밸브의 시트 리크 이상을 검지하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브의 시트 리크 이상이 검출되었을 때에 그 리크량(Q)(sccm)을 연산, 표시하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    밸브 시트로부터의 리크량(Q)(sccm)을 Q = K·273·R/(273+T)[단, K는 정수, T는 온도(℃), R은 압력 강하율(Pa abs·m3/s)이며, 또한 R은 밀폐 배관계의 내용적(v)(m3) 및 Δt(sec) 사이의 압력 지시값의 변위가 ΔP(Pa abs)일 때 R = -ΔP×v/Δt에 의해 주어지는 값임]에 의해 연산하도록 한 것을 특징으로 하는 유량 제어 장치를 이용한 유체 공급계의 이상 검출 방법.
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