KR20080014779A - Substrate transfer apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 액정 패널용의 글래스 기판 등이 복수 장 수납된 기판 패킹 박스로부터 기판을 반송하는 장치에 관한 것이다This invention relates to the apparatus which conveys a board | substrate from the board | substrate packing box in which the glass substrate for liquid crystal panels, etc. were accommodated in multiple sheets.
근년, 액정 패널 등의 평면형의 표시 장치에 사용되는 글래스 기판은 대형화 하고 있기 때문에, 트럭 수송 등을 할 때의 글래스 기판 패킹 박스로서, 도4에 나타낸 바와 같은, 복수의 글래스 기판(3) 및 이 글래스 기판(3) 사이에 끼워진 완충재로서의 합지(合紙)(4)를 경사시켜 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 경사 적재 팰릿(2)을 사용하여, 운반 코스트를 내리도록 하고 있다. 그리고, 상기 팰릿(2)으로부터, 글래스 기판(3)을 1장 1장 꺼내서 가공 라인 등에 반송하는 장치로서, 일반적으로는, 도5에 나타낸 바와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)가 사용되고 있다.In recent years, since the glass substrate used for flat display devices, such as a liquid crystal panel, is enlarged in size, as a glass substrate packing box at the time of truck transportation etc., the
도시된 바와 같이 글래스 기판 반송 장치(20)에는, 팰릿(2)이 얹어지는 턴 테이블(21)과, 글래스 기판(3)을 꺼내는 핸들링 장치(22)와, 합지(4)를 제거하는 합지 제거 장치(23)와, 꺼낸 글래스 기판(3)을 세정 장치 등에 반송하는 컨베이어(24)가 구비되어 있다.As shown in the drawing, the glass
도6은, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)을 사용하여, 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다. 우선, 핸들링 장치(22)의 동작에 대해 설명한다. 핸들링 장치(22)의 잡는 동작(22a)이란, 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 글래스 기판(3)을 암(25)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 14초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 운반 동작(22b)이란, 지지된 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 거치 동작(22c)이란, 글래스 기판(3)을 풀어 컨베이어(24)에 얹기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 복귀 동작(22d)이란, 컨베이어(24)에 글래스 기판(3)을 얹고나서 암(25)이 잡는 동작(22a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 따라서, 핸들링 장치(22)의 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 40초이다.FIG. 6 is a timing chart showing a procedure for taking out the
다음에, 합지 제거 장치(23)의 동작에 대해 설명한다. 합지 제거 장치(23)의 잡는 동작(23a)이란, 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 합지(4)를 암(26)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 3초 걸린다. 구체적으로는, 이 합지 제거 장치(23)의 잡는 동작(23a)이란, 핸들링 장치(22)의 잡는 동작(22a)이 종료하고 나서 개시되도록 되어 있다(화살표 E). 합지 제거 장치(23)의 운반 동작(23b)이란, 꺼낸 합지(4)를 합지 투입 케이스(27)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 5초 걸린다. 합지 제거 장치(23)의 거치 동작(23c)이란, 합지 투입 케이스(27)에 합지(4)를 풀어 합지 투입 케이스(27)에 투입하기까지를 말하고, 이 동작에 7초 걸린다. 합지 제거 장치(23)의 복귀 동작(23d)이란, 합지(4)를 합지 투입 케이스(27)에 투입하고 나서 암(26)이 잡는 동작(23a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 5초 걸린다. 따라서, 합지 제거 장치(23)의 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 20초이다.Next, operation | movement of the
또한, 본 발명에 관련된 선행 기술 문헌으로서, 일본국 공개특허공보 특개2000-351449호를 들 수 있다.Moreover, as Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-351449 is mentioned as a prior art document related to this invention.
상기 글래스 기판 반송 장치(20)를 사용하여 글래스 기판(3)을 꺼내는 개수를 증가시키려면, 통상, 도7에 나타낸 바와 같이 글래스 기판 반송 장치(20)를 1대 더 증설한, 글래스 기판 반송장치(28)로서 구성하는 것이 행해지고 있다. 도8은, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)의 2대 분의 글래스 기판 반송 장치(28)를 사용하여, 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24,24)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.In order to increase the number of the
그러나, 글래스 기판의 대형화의 진행 중에, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치를 구성하는 핸들링 장치, 합지 제거 장치, 컨베이어 등도 대형화하고 있고, 증설에 의한 설치 면적의 증대를 억제하는 것이 요망되고 있다.However, during the progress of the enlargement of the glass substrate, the handling apparatus, the paper removal apparatus, the conveyor, etc. which comprise such a glass substrate conveyance apparatus are also enlarged, and it is desired to suppress the increase of the installation area by expansion.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 설치 면적의 증대를 억제할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.Therefore, the subject which this invention is trying to solve is providing the board | substrate conveying apparatus which can suppress the increase of an installation area.
(과제를 해결하기 위한 수단)(Means to solve the task)
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 기판 반송 장치는, 복수의 기판이 수납된 하나의 기판 패킹 박스로부터 이 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들 장치와, 상기 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 상기 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치가 상기 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 상기 기판을 번갈아 꺼내는 것을 요지로 하고 있다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the board | substrate conveying apparatus which concerns on this invention is made by the 1st handling apparatus and 2nd handle apparatus which take out this board | substrate from one board | substrate packing box in which several board | substrate was accommodated, and the said 1st handling apparatus. And a first conveyor for transporting the taken-out substrate and a second conveyor for transporting the substrate taken out by the second handling device, wherein the first handling device and the second handling device are configured for the one substrate packing box. It is arrange | positioned at the both sides vicinity of each other, and makes it a summary to take out the said board | substrate alternately.
이 경우, 상기 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 상기 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 구성으로 하면 좋다.In this case, the said board | substrate packing box is a pallet which loads a plurality of board | substrates and the buffer material sandwiched between these board | substrates, and is equipped with one buffer material removal apparatus which removes the said buffer material, and removes this buffer material What is necessary is just the structure which an apparatus is arrange | positioned in the vicinity between the said 1st handling apparatus and the said 2nd handling apparatus.
또한, 상기 제1 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제2 핸들링 장치가 다음 기판을 잡는 동작을 개시하고, 제2 핸들링 장치(7)가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 다음의 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 당해 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제1 핸들링 장치가 다시 다음 기판을 잡는 동작을 개시하는 순서를 반복하여 행하는 구성으로 하면 좋다.Further, when the first handling device finishes holding the substrate, the buffer removing device starts the holding of the buffer material, and when the buffer removing device ends the conveying material, the second handling device stops. When the operation of holding the substrate is started and the
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
상기 구성을 갖는 기판 반송 장치에 의하면, 하나의 기판 패킹 박스로부터 당해 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들링 장치와, 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 제1 핸들링 장치와 제2 핸들링 장치가 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 기판을 번갈아 꺼내는 구성이기 때문에, 종래 기술의 증설에 비해 기판 패킹 박스 하나 분의 설치 면적이 축소되고, 증설에 의한 기판 반송 장치의 설치 면적의 증대를 억제할 수 있다.According to the board | substrate conveying apparatus which has the said structure, the 1st handling apparatus and 2nd handling apparatus which take out the said board | substrate from one board | substrate packing box, and the 1st conveyor and 2nd handling which convey the board | substrate taken out by the 1st handling apparatus Since the first conveying device and the second handling device are respectively disposed in the vicinity of both sides of one substrate packing box and alternately take out the substrate, the second conveyer which conveys the board | substrate taken out by the apparatus is provided, In comparison with the expansion of the substrate, the installation area of one substrate packing box is reduced, and the increase in the installation area of the substrate transfer device by the expansion can be suppressed.
이 경우, 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거 장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 제1 핸들링 장치와 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 구성으로 하면, 종래 기술의 증설과 비교하여 완충재인 합지를 제거하는 장치 1대 분의 설치 면적도 축소할 수 있어, 증설에 의한 기판 반송 장치의 설치 면적의 증대를 억제할 수 있다.In this case, the board | substrate packing box is a pallet which loads a some board | substrate and the buffer material sandwiched between these board | substrates, stacked, and also provides one buffer material removal apparatus which removes a buffer material, If the structure arrange | positioned in the vicinity between the 1st handling apparatus and the 2nd handling apparatus, compared with the expansion of the prior art, the installation area of the apparatus which removes the paper which is a buffer material can also be reduced, and the board | substrate by extension Increase of the installation area of a conveying apparatus can be suppressed.
또한, 상기 제1 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 완충재 제거 장치가 당해 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제2 핸들링 장치가 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하고, 이 제2 핸들링 장치(7)가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 다음의 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제1 핸들링 장치가 다시 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하는 순서를 반복하여 행하는 구성으로 하면, 완충재 제거 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.Further, when the first handling device ends the holding of the substrate, the buffer removing device starts the holding of the buffer, and when the buffer removing device ends the conveying of the buffer, the second handling device moves to the next. When the operation of holding the substrate is started and the
도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematic structure of the glass substrate conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
도2는 도1의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍차트이다.FIG. 2 is a timing chart showing the operation procedure and time required for the glass substrate transfer apparatus of FIG.
도3은 도1에 나타낸 턴테이블의 변형례를 나타낸 도면이다.3 is a diagram showing a modification of the turntable shown in FIG.
도4는 종래 사용되어 온 복수의 글래스 기판 및 이 글래스 기판 사이에 끼워진 합지를 경사시켜 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 경사 적재 팰릿의 개략 구성을 나타낸 도면이다.Fig. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a plurality of glass substrates that have been conventionally used and inclined stacking pallets which are stacked in a state in which the paper sandwiched between the glass substrates is inclined and stacked.
도5는 종래 사용되어 온 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.Fig. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus that has been used in the past.
도6은 도5의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.FIG. 6 is a timing chart showing an operation procedure and time required for the glass substrate transfer device of FIG. 5.
도7은 도5의 글래스 기판 반송 장치가 2대로 증설된 글래스 기판 반송 장치를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view showing a glass substrate transfer apparatus in which two glass substrate transfer apparatuses of FIG. 5 are expanded.
도8은 도7의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.FIG. 8 is a timing chart showing an operation procedure and time required for the glass substrate transfer apparatus of FIG.
이하에, 본 발명에 관한 기판 반송 장치의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을, 도2는 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트를 나타낸다. 또한, 본 실시예에 사용되는 글래스 기판 패킹 박스는, 종래 기술에서 설명한 도4의 경사 적재 팰릿(2)이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of the board | substrate conveyance apparatus which concerns on this invention is described in detail with reference to drawings. Fig. 1 shows a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and Fig. 2 shows a timing chart showing an operation procedure of the glass substrate transfer apparatus and the time required therefor. In addition, the glass substrate packing box used for this embodiment is the
도시된 글래스 기판 반송 장치(1)에는, 팰릿(2)이 얹히는 1대의 턴테이블(5)과, 글래스 기판(3)을 꺼내는 2대의 제1 핸들링 장치(6) 및 제2 핸들링 장치(7)와, 합지(4)를 제거하는 1대의 합지 제거 장치(8)와, 꺼낸 글래스 기판(3)을 다음 공정으로 반송하는 2대의 제1 컨베이어(9) 및 제2 컨베이어(10)가 구비되어 있다.In the illustrated glass substrate conveying apparatus 1, one turntable 5 on which the
턴테이블(5)은, 상측에 다음에 글래스 기판(3)을 꺼내는 팰릿(2)을 얹고, 하측의 팰릿(2)이 비워지면, 턴테이블(5)을 회전시켜 상측과 하측의 팰릿(2)을 바꾸는 장치이다. 또한, 턴테이블(5) 대신에, 도3에 나타낸 바와 같은, 팰릿 반송 장치(11)을 사용해도 된다. 이 팰릿 반송 장치(11)에는, コ자 모양의 컨베이어로 이루어지는 제1 팰릿 반송 컨베이어(12)와, 이 제1 팰릿 반송 컨베이어(12)의 중간부와 핸들링 장치(6,7) 및 합지 제거 장치(8)가 배치된 취출 작업장(14)을 왕복 반송하는 제2 팰릿 반송 컨베이어(13)가 구비되어 있다.The turntable 5 puts the
도1에 나타낸 제1 핸들링 장치(6) 및 제2 핸들링 장치(7)는, 예를 들면 다관절 산업용 로봇으로 이루어지고, 3개의 암(15)의 표면에는, 도시하지 않은 복수의 흡착 패드가 각각 설치되어 있다. 팰릿(2)으로부터 글래스 기판(3)을 꺼내는 것은, 암(15)에 의해 흡착 패드를 글래스 기판(3)에 눌러 글래스 기판(3)을 1매씩 지지하고, 암(15)을 회동시켜 행해진다. 꺼낸 글래스 기판(3)은, 하류에 설치된 컨베이어(9,10)에 얹히고, 컨베이어(9,10)에 의해 각각 예를 들면 세정 장치 등에 반송되도록 되어 있다.The
합지 제거 장치(8)도, 예를 들면 다관절 산업용 로봇으로 이루어지고, 1개의 암(16)의 표면에는, 도시하지 않은 흡착 패드가 설치되어 있다. 팰릿(2)으로부터의 합지(4)의 제거는, 암(16)에 의해 흡착 패드를 합지(4)에 눌러 합지(4)를 1매씩 지지하고, 암(16)을 회동시켜 행해진다. 제거된 합지(4)는, 근방에 설치된 합지 투입 케이스(17)에 투입함으로써 회수되도록 되어 있다.The
도2는, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(1)를 사용하여, 팰릿(2)으로부터 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(9,10)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다. 우선, 제1 핸들링 장치(6)의 동작에 대해 설명한다. 제1 핸들링 장치(6)의 잡는 동작(6a)이란, 글래스 기판(3)을 취하러 가는 동작을 개시하고 나서 글래스 기판(3)을 암(15)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 14초 걸린다. 제1 핸들링 장치(6)의 운반 동작(6b)이란, 지지된 글래스 기판(3)을 꺼내어 제1컨베이어(9)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 제1 핸들링 장치(6)의 거치 동작(6c)이란, 글래스 기판(3)을 풀어 제1컨베이어(9)에 얹기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다.FIG. 2 is a timing chart showing a procedure of taking out the
또한, 제1 핸들링 장치(6)의 복귀 동작(6d)이란, 제1컨베이어(9)에 글래스 기판(3)을 얹고 나서 암(15)이 잡는 동작(6a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 따라서, 제1 핸들링 장치(6)의 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 40초이다. 다른 한쪽의 제2 핸들링 장치(7)와 제2 컨베이어(10)를 사용하여 행해지는 잡는 동작(7a), 운반 동작(7b), 거치 동작(7c), 복귀 동작(7d)에 대해서도 동일하다.In addition, with the return operation 6d of the
다음, 합지 제거 장치(8)의 동작에 대해 설명한다. 합지 제거 장치(8)의 잡는 동작(8a)이란, 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 합지(4)를 암(16) 에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 2초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 운반 동작(8b)이란, 꺼낸 합지(4)를 합지 투입 케이스(17)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 4초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 거치 동작(8c)이란, 합지 투입 케이스(17)에 합지(4)를 풀어 합지 투입 케이스(17)에 투입하기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 복귀 동작(8d)이란, 합지(4)를 합지 투입 케이스(17)에 투입하고 나서 암(16)이 잡는 동작(8a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 4초 걸린다. 따라서, 합지 제거 장치(8)의 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 20초이다.Next, operation | movement of the
이와 같은 글래스 기판 반송 장치(1)는, 도1에 나타낸 바와 같이, 제1 핸들링 장치(6)와 제2 핸들링 장치(7)가 하나의 팰릿(2)의 양측 근방에 각각 배치되어 글래스 기판(3)을 번갈아 꺼내는 구성으로 되어있다. 구체적으로는, 도2에 나타낸 바와 같이, 제1 핸들링 장치(6)가 글래스 기판(3)을 잡는 동작(6a)을 종료하면, 합지 제거 장치(8)가 합지(4)를 잡는 동작(8a)을 개시한다(화살표 A). 합지 제거 장치(8)가 그 합지(4)를 운반하는 동작(8b)을 종료하면, 제2 핸들링 장치(7)가 다음 글래스 기판(3)을 잡는 동작(7a)을 개시한다(화살표 B). 제2 핸들링 장치(7)가 글래스 기판(3)을 잡는 동작(7a)을 종료하면, 합지 제거 장치(8)가 다음의 합지(4)를 잡는 동작(8a)을 개시한다(화살표 C). 그리고, 합지 제거 장치(8)가 합지(4)를 운반하는 동작(8b)을 종료하면, 제1 핸들링 장치(6)가 다음의 글래스 기판(3)을 잡는 동작(6a)을 개시한다(화살표 D). 이하 동일하게, 제1 핸들링 장치(6)와 제2 핸들링 장치(7)가 글래스 기판(3)을 번갈아 꺼낸다.As shown in FIG. 1, the glass substrate conveying apparatus 1 includes a first
도2의 타이밍챠트와, 종래 기술에서 설명한 도6 또는 도8의 타이밍챠트를 비교하면, 합지 제거 장치의 가동률이 향상하고 있는 것을 알 수 있다. 종래 기술의글래스 기판 반송 장치의 구성에서는, 핸들링 장치 1대에 대해 합지 제거 장치 1대를 구비한 구성이었던 것에 대해, 본 발명에 관한 글래스 기판 반송 장치에서는, 핸들링 장치 2대에 대해 합지 제거 장치 1대를 구비하는 구성이기 때문에, 합지 제거 장치의 가동률을 향상시켜, 그 대수를 줄이는 것이 가능하게 되어 있다.Comparing the timing chart of FIG. 2 with the timing chart of FIG. 6 or FIG. 8 described in the prior art, it can be seen that the operation rate of the paper removal apparatus is improved. In the structure of the glass substrate conveying apparatus of the prior art, what was the structure provided with one paper removing apparatus with respect to one handling apparatus, In the glass substrate conveying apparatus which concerns on this invention, the paper removing apparatus 1 with respect to two handling apparatuses Since it is a structure provided with a bag, it is possible to improve the operation rate of a paper removal apparatus and to reduce the number.
또한, 도1의 글래스 기판 반송 장치(1)의 설치 면적과, 종래 기술에 설명한 도7의 글래스 기판 반송 장치(28)의 설치 면적을 비교하면, 글래스 기판을 꺼내는 처리 능력이 동일함에도 불구하고, 설치 면적이 축소되어 있는 것을 알 수 있다. 이는, 턴테이블과 합지 제거 장치가 1대씩 삭감되었기 때문이다. 또, 이 삭감에 의해 글래스 기판 반송 장치의 코스트도 저렴하다.In addition, when the installation area of the glass substrate conveyance apparatus 1 of FIG. 1 is compared with the installation area of the glass
이상 설명한 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치에 의하면, 제1 핸들링장치와 제2 핸들링 장치가 하나의 글래스 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 글래스 기판을 번갈아 꺼내는 구성이기 때문에, 종래 기술과 같은 단순한 증설과 비교하여 턴테이블 등의 팰릿 반송 장치의 설치 면적을 축소할 수 있어, 증설에 의한 글래스 기판 반송 장치의 설치 면적의 확대화를 억제할 수 있다.According to the glass substrate conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention demonstrated above, since the 1st handling apparatus and the 2nd handling apparatus are respectively arrange | positioned in the vicinity of both sides of one glass substrate packing box, and take out a glass substrate alternately, Compared with simple enlargement like a technique, the installation area of pallet conveyance apparatuses, such as a turntable, can be reduced, and the enlargement of the installation area of the glass substrate conveyance apparatus by enlargement can be suppressed.
또한, 글래스 기판 패킹 박스가 합지에 의한 경사 적재 팰릿인 경우에도, 사용하는 합지 제거 장치의 가동률을 높일 수 있기 때문에, 종래 기술의 증설과 비교하여 합지 제거 장치의 대수 삭감에 의한 설치 면적의 축소화가 가능하다. 더욱이, 본 발명은 이러한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 형태로 실시할 수 있다. 예를 들면, 글래스 기판 외에, 수지제의 기판의 반송에도 적용할 수 있다. 또한 완충재로서의 합지도, 수지제나 천 등과 같이 합지에 한정되지 않고, 또, 팰릿에의 기판의 적재 상태에 있어서도, 경사 적재 외에, 편평한 적재에도 적용할 수 있으며, 상기 실시 형태에 한정되지 않는다.In addition, even when the glass substrate packing box is an inclined stacking pallet made of paper, the operation rate of the paper removing device to be used can be increased, so that the reduction in the installation area due to the reduction in the number of paper removal devices in comparison with the expansion of the prior art. It is possible. Moreover, this invention is not limited to such embodiment, It can implement in various forms in the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, it can apply also to conveyance of the resin substrate other than a glass substrate. In addition, the paper as a cushioning material is not limited to paper, such as made of resin, cloth, etc., and also in the loading state of the board | substrate to a pallet, it can be applied also to flat loading other than diagonal loading, and is not limited to the said embodiment.
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