KR100956807B1 - Substrate transfer apparatus and substrate transfer method using the same - Google Patents

Substrate transfer apparatus and substrate transfer method using the same Download PDF

Info

Publication number
KR100956807B1
KR100956807B1 KR1020077026701A KR20077026701A KR100956807B1 KR 100956807 B1 KR100956807 B1 KR 100956807B1 KR 1020077026701 A KR1020077026701 A KR 1020077026701A KR 20077026701 A KR20077026701 A KR 20077026701A KR 100956807 B1 KR100956807 B1 KR 100956807B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
handling
glass substrate
board
paper
Prior art date
Application number
KR1020077026701A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20080014779A (en
Inventor
타케노리 요시자와
Original Assignee
샤프 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 샤프 가부시키가이샤 filed Critical 샤프 가부시키가이샤
Publication of KR20080014779A publication Critical patent/KR20080014779A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100956807B1 publication Critical patent/KR100956807B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B65G49/069—Means for avoiding damage to stacked plate glass, e.g. by interposing paper or powder spacers in the stack
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0294—Vehicle bodies

Abstract

설치 면적의 증대를 억제할 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것. 복수의 기판(3)이 수납된 하나의 기판 패킹 박스(2)로부터 이 글래스 기판(3)을 꺼내는 제1 핸들링 장치(6) 및 제2 핸들링 장치(7)와, 상기 제1 핸들링 장치(6)에 의해 꺼내진 글래스 기판을 반송하는 제1 컨베이어(9) 및 상기 제2 핸들링 장치(7)에 의해 꺼내진 글래스 기판(3)을 반송하는 제2 컨베이어(10)를 구비함과 동시에, 제1 핸들링 장치(6)와 제2 핸들링 장치(7)가 하나의 글래스 기판 패킹 박스(2)의 양측 근방에 각각 배치되어 글래스 기판(3)을 번갈아 꺼낸다.Provided is a substrate transport apparatus capable of suppressing an increase in an installation area. A first handling device 6 and a second handling device 7 for taking out the glass substrate 3 from one substrate packing box 2 in which a plurality of substrates 3 are housed, and the first handling device 6. And a second conveyor 10 for conveying the glass substrate 3 taken out by the second handling device 7, and a first conveyor 9 for conveying the glass substrate taken out by The 1st handling apparatus 6 and the 2nd handling apparatus 7 are respectively arrange | positioned in the vicinity of both sides of one glass substrate packing box 2, and take out the glass substrate 3 alternately.

글래스 기판, 패킹 박스, 핸들링 장치, 기판반송장치 Glass Board, Packing Box, Handling Device, Board Carrying Device

Description

기판 반송 장치 및 그를 사용한 기판 반송 방법{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD USING THE SAME}Substrate conveying apparatus and substrate conveying method using the same {SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD USING THE SAME}

본 발명은, 액정 패널용의 글래스 기판 등이 복수 장 수납된 기판 패킹 박스로부터 기판을 반송하는 장치 및 방법에 관한 것이다The present invention relates to an apparatus and a method for conveying a substrate from a substrate packing box in which a plurality of glass substrates and the like for a liquid crystal panel are stored.

근년, 액정 패널 등의 평면형의 표시 장치에 사용되는 글래스 기판은 대형화 하고 있기 때문에, 트럭 수송 등을 할 때의 글래스 기판 패킹 박스로서, 도4에 나타낸 바와 같은, 복수의 글래스 기판(3) 및 이 글래스 기판(3) 사이에 끼워진 완충재로서의 합지(合紙)(4)를 경사시켜 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 경사 적재 팰릿(2)을 사용하여, 운반 코스트를 내리도록 하고 있다. 그리고, 상기 팰릿(2)으로부터, 글래스 기판(3)을 1장 1장 꺼내서 가공 라인 등에 반송하는 장치로서, 일반적으로는, 도5에 나타낸 바와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)가 사용되고 있다.In recent years, since the glass substrate used for flat display devices, such as a liquid crystal panel, is enlarged in size, as a glass substrate packing box at the time of truck transportation etc., the several glass substrate 3 as shown in FIG. The transportation cost is reduced by using the inclined stacking pallet 2 which inclines and stacks the laminated paper 4 as a buffer material sandwiched between the glass substrates 3, and stacks it. And the glass substrate conveying apparatus 20 as shown in FIG. 5 is generally used as an apparatus which takes out one piece of glass substrate 3 from the said pallet 2, and conveys it to a processing line etc.

도시된 바와 같이 글래스 기판 반송 장치(20)에는, 팰릿(2)이 얹어지는 턴 테이블(21)과, 글래스 기판(3)을 꺼내는 핸들링 장치(22)와, 합지(4)를 제거하는 합지 제거 장치(23)와, 꺼낸 글래스 기판(3)을 세정 장치 등에 반송하는 컨베이어(24)가 구비되어 있다.As shown in the drawing, the glass substrate conveying apparatus 20 includes a turn table 21 on which the pallet 2 is placed, a handling apparatus 22 to take out the glass substrate 3, and a paper to remove the paper 4. The apparatus 23 and the conveyor 24 which conveys the taken out glass substrate 3 to a washing | cleaning apparatus etc. are provided.

도6은, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)을 사용하여, 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다. 우선, 핸들링 장치(22)의 동작에 대해 설명한다. 핸들링 장치(22)의 잡는 동작(22a)이란, 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 글래스 기판(3)을 암(25)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 14초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 운반 동작(22b)이란, 지지된 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 거치 동작(22c)이란, 글래스 기판(3)을 풀어 컨베이어(24)에 얹기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다. 핸들링 장치(22)의 복귀 동작(22d)이란, 컨베이어(24)에 글래스 기판(3)을 얹고나서 암(25)이 잡는 동작(22a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 따라서, 핸들링 장치(22)의 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 40초이다.FIG. 6 is a timing chart showing a procedure for taking out the glass substrate 3 and placing it on the conveyor 24 using the glass substrate transfer apparatus 20 as described above. First, the operation of the handling device 22 will be described. The holding | maintenance operation 22a of the handling apparatus 22 means to support the glass substrate 3 to the arm 25 after starting the operation | movement which catches the glass substrate 3, and it takes 14 second to this operation | movement. The conveyance operation 22b of the handling apparatus 22 means the operation | movement which takes out the supported glass substrate 3 and conveys it to the conveyor 24, and this operation takes 8 second. The holding operation 22c of the handling apparatus 22 refers to until the glass substrate 3 is released and placed on the conveyor 24, and this operation takes 10 seconds. The return operation 22d of the handling apparatus 22 refers to returning to the starting position of the operation 22a which the arm 25 catches after mounting the glass substrate 3 on the conveyor 24. Takes seconds. Therefore, the time taken to return after starting operation | movement which catches the glass substrate 3 of the handling apparatus 22 is 40 second.

다음에, 합지 제거 장치(23)의 동작에 대해 설명한다. 합지 제거 장치(23)의 잡는 동작(23a)이란, 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 합지(4)를 암(26)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 3초 걸린다. 구체적으로는, 이 합지 제거 장치(23)의 잡는 동작(23a)이란, 핸들링 장치(22)의 잡는 동작(22a)이 종료하고 나서 개시되도록 되어 있다(화살표 E). 합지 제거 장치(23)의 운반 동작(23b)이란, 꺼낸 합지(4)를 합지 투입 케이스(27)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 5초 걸린다. 합지 제거 장치(23)의 거치 동작(23c)이란, 합지 투입 케이스(27)에 합지(4)를 풀어 합지 투입 케이스(27)에 투입하기까지를 말하고, 이 동작에 7초 걸린다. 합지 제거 장치(23)의 복귀 동작(23d)이란, 합지(4)를 합지 투입 케이스(27)에 투입하고 나서 암(26)이 잡는 동작(23a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 5초 걸린다. 따라서, 합지 제거 장치(23)의 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 20초이다.Next, operation | movement of the paper removal apparatus 23 is demonstrated. The holding | maintenance operation 23a of the paper removal apparatus 23 means to support the paper 4 to the arm 26 after starting the operation | movement which catches the paper 4, and it takes 3 second to this operation. Specifically, the grabbing operation 23a of the paper removing device 23 is started after the grabbing operation 22a of the handling apparatus 22 ends (arrow E). The conveying operation 23b of the paper removing device 23 refers to an operation of conveying the taken out paper 4 to the paper-insertion case 27 and takes 5 seconds for this operation. The holding operation 23c of the paper removing device 23 refers to the release of the paper 4 into the paper feeding case 27 and to be put into the paper feeding case 27, which takes 7 seconds. The return operation 23d of the paper removal device 23 refers to returning to the starting position of the operation 23a that the arm 26 catches after inserting the paper 4 into the paper loading case 27. The action takes 5 seconds. Therefore, the time taken to return after starting the operation | movement which catches the paper 4 of the paper removal apparatus 23 is 20 second.

또한, 본 발명에 관련된 선행 기술 문헌으로서, 일본국 공개특허공보 특개2000-351449호를 들 수 있다.Moreover, as Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-351449 is mentioned as a prior art document related to this invention.

상기 글래스 기판 반송 장치(20)를 사용하여 글래스 기판(3)을 꺼내는 개수를 증가시키려면, 통상, 도7에 나타낸 바와 같이 글래스 기판 반송 장치(20)를 1대 더 증설한, 글래스 기판 반송장치(28)로서 구성하는 것이 행해지고 있다. 도8은, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(20)의 2대 분의 글래스 기판 반송 장치(28)를 사용하여, 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(24,24)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.In order to increase the number of the glass substrates 3 taken out using the glass substrate transfer apparatus 20, the glass substrate transfer apparatus which added one more glass substrate transfer apparatus 20 as shown in FIG. The configuration as (28) is performed. Fig. 8 shows the procedure for taking out the glass substrate 3 and placing it on the conveyors 24 and 24 using the two glass substrate transfer apparatuses 28 of the glass substrate transfer apparatus 20 as described above. This is a timing chart.

그러나, 글래스 기판의 대형화의 진행 중에, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치를 구성하는 핸들링 장치, 합지 제거 장치, 컨베이어 등도 대형화하고 있고, 증설에 의한 설치 면적의 증대를 억제하는 것이 요망되고 있다.However, during the progress of the enlargement of the glass substrate, the handling apparatus, the paper removal apparatus, the conveyor, etc. which comprise such a glass substrate conveyance apparatus are also enlarged, and it is desired to suppress the increase of the installation area by expansion.

따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 설치 면적의 증대를 억제할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것이다.Therefore, the subject which this invention is trying to solve is providing the board | substrate conveying apparatus which can suppress the increase of an installation area.

(과제를 해결하기 위한 수단)(Means to solve the task)

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관한 기판 반송 장치는, 복수의 기판이 수납된 하나의 기판 패킹 박스로부터 이 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들 장치와, 상기 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 상기 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치가 상기 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 상기 기판을 번갈아 꺼내는 것을 요지로 하고 있다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the board | substrate conveying apparatus which concerns on this invention is made by the 1st handling apparatus and 2nd handle apparatus which take out this board | substrate from one board | substrate packing box in which several board | substrate was accommodated, and the said 1st handling apparatus. And a first conveyor for transporting the taken-out substrate and a second conveyor for transporting the substrate taken out by the second handling device, wherein the first handling device and the second handling device are configured for the one substrate packing box. It is arrange | positioned at the both sides vicinity of each other, and makes it a summary to take out the said board | substrate alternately.

이 경우, 상기 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 상기 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 구성으로 하면 좋다.In this case, the said board | substrate packing box is a pallet which loads a plurality of board | substrates and the buffer material sandwiched between these board | substrates, and is equipped with one buffer material removal apparatus which removes the said buffer material, and removes this buffer material What is necessary is just the structure which an apparatus is arrange | positioned in the vicinity between the said 1st handling apparatus and the said 2nd handling apparatus.

또한, 상기 제1 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제2 핸들링 장치가 다음 기판을 잡는 동작을 개시하고, 제2 핸들링 장치(7)가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 다음의 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 당해 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제1 핸들링 장치가 다시 다음 기판을 잡는 동작을 개시하는 순서를 반복하여 행하는 구성으로 하면 좋다.Further, when the first handling device finishes holding the substrate, the buffer removing device starts the holding of the buffer material, and when the buffer removing device ends the conveying material, the second handling device stops. When the operation of holding the substrate is started and the second handling device 7 finishes the operation of holding the substrate, the buffer removing device starts the operation of holding the next buffer material, and the buffer removing device carries the operation of conveying the buffer material. When it finishes, it is good also as a structure which repeats the procedure which starts the operation | movement which a said 1st handling apparatus catches next board | substrate again.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

상기 구성을 갖는 기판 반송 장치에 의하면, 하나의 기판 패킹 박스로부터 당해 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들링 장치와, 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 제1 핸들링 장치와 제2 핸들링 장치가 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 기판을 번갈아 꺼내는 구성이기 때문에, 종래 기술의 증설에 비해 기판 패킹 박스 하나 분의 설치 면적이 축소되고, 증설에 의한 기판 반송 장치의 설치 면적의 증대를 억제할 수 있다.According to the board | substrate conveying apparatus which has the said structure, the 1st handling apparatus and 2nd handling apparatus which take out the said board | substrate from one board | substrate packing box, and the 1st conveyor and 2nd handling which convey the board | substrate taken out by the 1st handling apparatus Since the first conveying device and the second handling device are respectively disposed in the vicinity of both sides of one substrate packing box and alternately take out the substrate, the second conveyer which conveys the board | substrate taken out by the apparatus is provided, In comparison with the expansion of the substrate, the installation area of one substrate packing box is reduced, and the increase in the installation area of the substrate transfer device by the expansion can be suppressed.

이 경우, 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거 장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 제1 핸들링 장치와 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 구성으로 하면, 종래 기술의 증설과 비교하여 완충재인 합지를 제거하는 장치 1대 분의 설치 면적도 축소할 수 있어, 증설에 의한 기판 반송 장치의 설치 면적의 증대를 억제할 수 있다.In this case, the board | substrate packing box is a pallet which loads a some board | substrate and the buffer material sandwiched between these board | substrates, stacked, and also provides one buffer material removal apparatus which removes a buffer material, If the structure arrange | positioned in the vicinity between the 1st handling apparatus and the 2nd handling apparatus, compared with the expansion of the prior art, the installation area of the apparatus which removes the paper which is a buffer material can also be reduced, and the board | substrate by extension Increase of the installation area of a conveying apparatus can be suppressed.

또한, 상기 제1 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 완충재 제거 장치가 당해 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제2 핸들링 장치가 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하고, 이 제2 핸들링 장치(7)가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 다음의 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제1 핸들링 장치가 다시 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하는 순서를 반복하여 행하는 구성으로 하면, 완충재 제거 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.Further, when the first handling device ends the holding of the substrate, the buffer removing device starts the holding of the buffer, and when the buffer removing device ends the conveying of the buffer, the second handling device moves to the next. When the operation of holding the substrate is started and the second handling device 7 finishes the operation of holding the substrate, the buffer removing device starts the operation of holding the next buffer material, and the buffer removing device carries the buffer material. When the operation is finished, if the first handling device is configured to repeat the procedure of starting the next substrate holding operation, the operation rate of the shock absorber removing apparatus can be improved.

도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows schematic structure of the glass substrate conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.

도2는 도1의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍차트이다.FIG. 2 is a timing chart showing the operation procedure and time required for the glass substrate transfer apparatus of FIG.

도3은 도1에 나타낸 턴테이블의 변형례를 나타낸 도면이다.3 is a diagram showing a modification of the turntable shown in FIG.

도4는 종래 사용되어 온 복수의 글래스 기판 및 이 글래스 기판 사이에 끼워진 합지를 경사시켜 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 경사 적재 팰릿의 개략 구성을 나타낸 도면이다.Fig. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a plurality of glass substrates that have been conventionally used and inclined stacking pallets which are stacked in a state in which the paper sandwiched between the glass substrates is inclined and stacked.

도5는 종래 사용되어 온 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.Fig. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus that has been used in the past.

도6은 도5의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.FIG. 6 is a timing chart showing an operation procedure and time required for the glass substrate transfer device of FIG. 5.

도7은 도5의 글래스 기판 반송 장치가 2대로 증설된 글래스 기판 반송 장치를 나타낸 도면이다.FIG. 7 is a view showing a glass substrate transfer apparatus in which two glass substrate transfer apparatuses of FIG. 5 are expanded.

도8은 도7의 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다.FIG. 8 is a timing chart showing an operation procedure and time required for the glass substrate transfer apparatus of FIG.

이하에, 본 발명에 관한 기판 반송 장치의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도1은 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치의 개략 구성을, 도2는 글래스 기판 반송 장치의 동작 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트를 나타낸다. 또한, 본 실시예에 사용되는 글래스 기판 패킹 박스는, 종래 기술에서 설명한 도4의 경사 적재 팰릿(2)이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of the board | substrate conveyance apparatus which concerns on this invention is described in detail with reference to drawings. Fig. 1 shows a schematic configuration of a glass substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, and Fig. 2 shows a timing chart showing an operation procedure of the glass substrate transfer apparatus and the time required therefor. In addition, the glass substrate packing box used for this embodiment is the inclination loading pallet 2 of FIG. 4 demonstrated by prior art.

도시된 글래스 기판 반송 장치(1)에는, 팰릿(2)이 얹히는 1대의 턴테이블(5)과, 글래스 기판(3)을 꺼내는 2대의 제1 핸들링 장치(6) 및 제2 핸들링 장치(7)와, 합지(4)를 제거하는 1대의 합지 제거 장치(8)와, 꺼낸 글래스 기판(3)을 다음 공정으로 반송하는 2대의 제1 컨베이어(9) 및 제2 컨베이어(10)가 구비되어 있다.In the illustrated glass substrate conveying apparatus 1, one turntable 5 on which the pallet 2 is mounted, two first handling apparatuses 6 and a second handling apparatus 7 for taking out the glass substrate 3 are provided. And one paper removing device 8 for removing the paper 4 and two first conveyors 9 and a second conveyor 10 for conveying the taken out glass substrate 3 to the next step. .

턴테이블(5)은, 상측에 다음에 글래스 기판(3)을 꺼내는 팰릿(2)을 얹고, 하측의 팰릿(2)이 비워지면, 턴테이블(5)을 회전시켜 상측과 하측의 팰릿(2)을 바꾸는 장치이다. 또한, 턴테이블(5) 대신에, 도3에 나타낸 바와 같은, 팰릿 반송 장치(11)을 사용해도 된다. 이 팰릿 반송 장치(11)에는, コ자 모양의 컨베이어로 이루어지는 제1 팰릿 반송 컨베이어(12)와, 이 제1 팰릿 반송 컨베이어(12)의 중간부와 핸들링 장치(6,7) 및 합지 제거 장치(8)가 배치된 취출 작업장(14)을 왕복 반송하는 제2 팰릿 반송 컨베이어(13)가 구비되어 있다.The turntable 5 puts the pallet 2 which takes out the glass substrate 3 next to the upper side, and when the lower pallet 2 becomes empty, the turntable 5 rotates and the upper and lower pallet 2 is rotated. It is a device to change. In addition, you may use the pallet conveyance apparatus 11 as shown in FIG. 3 instead of the turntable 5. In this pallet conveying apparatus 11, the 1st pallet conveying conveyor 12 which consists of a U-shaped conveyor, the intermediate part of this 1st pallet conveying conveyor 12, the handling apparatus 6,7, and the paper removal apparatus The 2nd pallet conveyance conveyor 13 which reciprocates the take-out workshop 14 in which (8) was arrange | positioned is provided.

도1에 나타낸 제1 핸들링 장치(6) 및 제2 핸들링 장치(7)는, 예를 들면 다관절 산업용 로봇으로 이루어지고, 3개의 암(15)의 표면에는, 도시하지 않은 복수의 흡착 패드가 각각 설치되어 있다. 팰릿(2)으로부터 글래스 기판(3)을 꺼내는 것은, 암(15)에 의해 흡착 패드를 글래스 기판(3)에 눌러 글래스 기판(3)을 1매씩 지지하고, 암(15)을 회동시켜 행해진다. 꺼낸 글래스 기판(3)은, 하류에 설치된 컨베이어(9,10)에 얹히고, 컨베이어(9,10)에 의해 각각 예를 들면 세정 장치 등에 반송되도록 되어 있다.The first handling device 6 and the second handling device 7 shown in FIG. 1 are made of, for example, a multi-joint industrial robot, and a plurality of suction pads (not shown) are provided on the surfaces of the three arms 15. Each is installed. The removal of the glass substrate 3 from the pallet 2 is performed by pressing the suction pad against the glass substrate 3 by the arm 15 to support the glass substrate 3 one by one, and rotating the arm 15. . The glass substrate 3 taken out is mounted on the conveyors 9 and 10 provided downstream, and is conveyed, for example to a washing | cleaning apparatus etc. by the conveyors 9 and 10, respectively.

합지 제거 장치(8)도, 예를 들면 다관절 산업용 로봇으로 이루어지고, 1개의 암(16)의 표면에는, 도시하지 않은 흡착 패드가 설치되어 있다. 팰릿(2)으로부터의 합지(4)의 제거는, 암(16)에 의해 흡착 패드를 합지(4)에 눌러 합지(4)를 1매씩 지지하고, 암(16)을 회동시켜 행해진다. 제거된 합지(4)는, 근방에 설치된 합지 투입 케이스(17)에 투입함으로써 회수되도록 되어 있다.The paper removal apparatus 8 also consists of a multi-joint industrial robot, for example, and the adsorption pad which is not shown in figure is provided in the surface of one arm 16. As shown in FIG. Removal of the paper 4 from the pallet 2 is performed by pressing the suction pad against the paper 4 by the arm 16 to support the paper 4 one by one, and rotating the arm 16. The removed paper 4 is recovered by throwing it into the paper feeding case 17 provided in the vicinity.

도2는, 이와 같은 글래스 기판 반송 장치(1)를 사용하여, 팰릿(2)으로부터 글래스 기판(3)을 꺼내어 컨베이어(9,10)에 얹는 순서와 이에 요하는 시간을 나타낸 타이밍챠트이다. 우선, 제1 핸들링 장치(6)의 동작에 대해 설명한다. 제1 핸들링 장치(6)의 잡는 동작(6a)이란, 글래스 기판(3)을 취하러 가는 동작을 개시하고 나서 글래스 기판(3)을 암(15)에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 14초 걸린다. 제1 핸들링 장치(6)의 운반 동작(6b)이란, 지지된 글래스 기판(3)을 꺼내어 제1컨베이어(9)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 제1 핸들링 장치(6)의 거치 동작(6c)이란, 글래스 기판(3)을 풀어 제1컨베이어(9)에 얹기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다.FIG. 2 is a timing chart showing a procedure of taking out the glass substrate 3 from the pallet 2 and placing it on the conveyors 9 and 10 using the glass substrate transfer apparatus 1 as described above. First, the operation of the first handling device 6 will be described. The holding operation 6a of the first handling device 6 refers to the support of the glass substrate 3 to the arm 15 after starting the operation of taking the glass substrate 3 to take the glass substrate 3. Takes seconds. The conveyance operation 6b of the 1st handling apparatus 6 means the operation | movement which takes out the supported glass substrate 3 and conveys it to the 1st conveyor 9, and this operation takes 8 second. The mounting operation 6c of the first handling device 6 refers to the disengaging of the glass substrate 3 and placing it on the first conveyor 9, which takes 10 seconds.

또한, 제1 핸들링 장치(6)의 복귀 동작(6d)이란, 제1컨베이어(9)에 글래스 기판(3)을 얹고 나서 암(15)이 잡는 동작(6a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 8초 걸린다. 따라서, 제1 핸들링 장치(6)의 글래스 기판(3)을 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 40초이다. 다른 한쪽의 제2 핸들링 장치(7)와 제2 컨베이어(10)를 사용하여 행해지는 잡는 동작(7a), 운반 동작(7b), 거치 동작(7c), 복귀 동작(7d)에 대해서도 동일하다.In addition, with the return operation 6d of the 1st handling apparatus 6, after returning the glass substrate 3 to the 1st conveyor 9, it returns to the starting position of the operation 6a which the arm 15 catches. Speak, this action takes 8 seconds. Therefore, the time taken to return after starting operation | movement which catches the glass substrate 3 of the 1st handling apparatus 6 is 40 second. The same applies to the grabbing operation 7a, the conveying operation 7b, the mounting operation 7c, and the return operation 7d performed using the other second handling device 7 and the second conveyor 10.

다음, 합지 제거 장치(8)의 동작에 대해 설명한다. 합지 제거 장치(8)의 잡는 동작(8a)이란, 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 합지(4)를 암(16) 에 지지하기까지를 말하고, 이 동작에 2초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 운반 동작(8b)이란, 꺼낸 합지(4)를 합지 투입 케이스(17)까지 운반하는 동작을 말하고, 이 동작에 4초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 거치 동작(8c)이란, 합지 투입 케이스(17)에 합지(4)를 풀어 합지 투입 케이스(17)에 투입하기까지를 말하고, 이 동작에 10초 걸린다. 합지 제거 장치(8)의 복귀 동작(8d)이란, 합지(4)를 합지 투입 케이스(17)에 투입하고 나서 암(16)이 잡는 동작(8a)의 개시 위치로 복귀되기까지를 말하고, 이 동작에 4초 걸린다. 따라서, 합지 제거 장치(8)의 합지(4)를 잡으러 가는 동작을 개시하고 나서 복귀하기까지 걸리는 시간은 20초이다.Next, operation | movement of the paper removal apparatus 8 is demonstrated. The holding | maintenance operation 8a of the paper removal apparatus 8 means to support the paper 4 to the arm 16 after starting the operation | movement which catches the paper 4, and this operation takes 2 second. The conveyance operation | movement 8b of the paper removal apparatus 8 means the operation | movement which conveys the taken out paper 4 to the paper-loading case 17, and this operation takes 4 second. The holding operation 8c of the paper removing device 8 refers to the release of the paper 4 from the paper loading case 17 and the insertion of the paper 4 into the paper loading case 17. This operation takes 10 seconds. The return operation 8d of the paper removal device 8 refers to returning to the starting position of the operation 8a that the arm 16 catches after inserting the paper 4 into the paper loading case 17. The action takes 4 seconds. Therefore, the time taken to return after starting the operation | movement which catches the paper 4 of the paper removal apparatus 8 is 20 second.

이와 같은 글래스 기판 반송 장치(1)는, 도1에 나타낸 바와 같이, 제1 핸들링 장치(6)와 제2 핸들링 장치(7)가 하나의 팰릿(2)의 양측 근방에 각각 배치되어 글래스 기판(3)을 번갈아 꺼내는 구성으로 되어있다. 구체적으로는, 도2에 나타낸 바와 같이, 제1 핸들링 장치(6)가 글래스 기판(3)을 잡는 동작(6a)을 종료하면, 합지 제거 장치(8)가 합지(4)를 잡는 동작(8a)을 개시한다(화살표 A). 합지 제거 장치(8)가 그 합지(4)를 운반하는 동작(8b)을 종료하면, 제2 핸들링 장치(7)가 다음 글래스 기판(3)을 잡는 동작(7a)을 개시한다(화살표 B). 제2 핸들링 장치(7)가 글래스 기판(3)을 잡는 동작(7a)을 종료하면, 합지 제거 장치(8)가 다음의 합지(4)를 잡는 동작(8a)을 개시한다(화살표 C). 그리고, 합지 제거 장치(8)가 합지(4)를 운반하는 동작(8b)을 종료하면, 제1 핸들링 장치(6)가 다음의 글래스 기판(3)을 잡는 동작(6a)을 개시한다(화살표 D). 이하 동일하게, 제1 핸들링 장치(6)와 제2 핸들링 장치(7)가 글래스 기판(3)을 번갈아 꺼낸다.As shown in FIG. 1, the glass substrate conveying apparatus 1 includes a first glass handling apparatus 6 and a second handling apparatus 7 disposed at both sides of one pallet 2, respectively. It is configured to take out 3) alternately. Specifically, as shown in FIG. 2, when the first handling device 6 ends the operation 6a of holding the glass substrate 3, the operation of removing the paper 8 from the paper removal device 8 holds the paper 4. ) (Arrow A). When the paper removing device 8 finishes the operation 8b of conveying the paper 4, the second handling device 7 starts the operation 7a of holding the next glass substrate 3 (arrow B). . When the second handling device 7 finishes the operation 7a of holding the glass substrate 3, the paper removal device 8 starts the operation 8a of holding the next paper 4 (arrow C). Then, when the paper removing device 8 finishes the operation 8b of carrying the paper 4, the first handling device 6 starts the operation 6a of holding the next glass substrate 3 (arrow). D). Likewise below, the first handling device 6 and the second handling device 7 alternately take out the glass substrate 3.

도2의 타이밍챠트와, 종래 기술에서 설명한 도6 또는 도8의 타이밍챠트를 비교하면, 합지 제거 장치의 가동률이 향상하고 있는 것을 알 수 있다. 종래 기술의글래스 기판 반송 장치의 구성에서는, 핸들링 장치 1대에 대해 합지 제거 장치 1대를 구비한 구성이었던 것에 대해, 본 발명에 관한 글래스 기판 반송 장치에서는, 핸들링 장치 2대에 대해 합지 제거 장치 1대를 구비하는 구성이기 때문에, 합지 제거 장치의 가동률을 향상시켜, 그 대수를 줄이는 것이 가능하게 되어 있다.Comparing the timing chart of FIG. 2 with the timing chart of FIG. 6 or FIG. 8 described in the prior art, it can be seen that the operation rate of the paper removal apparatus is improved. In the structure of the glass substrate conveying apparatus of the prior art, what was the structure provided with one paper removing apparatus with respect to one handling apparatus, In the glass substrate conveying apparatus which concerns on this invention, the paper removing apparatus 1 with respect to two handling apparatuses Since it is a structure provided with a bag, it is possible to improve the operation rate of a paper removal apparatus and to reduce the number.

또한, 도1의 글래스 기판 반송 장치(1)의 설치 면적과, 종래 기술에 설명한 도7의 글래스 기판 반송 장치(28)의 설치 면적을 비교하면, 글래스 기판을 꺼내는 처리 능력이 동일함에도 불구하고, 설치 면적이 축소되어 있는 것을 알 수 있다. 이는, 턴테이블과 합지 제거 장치가 1대씩 삭감되었기 때문이다. 또, 이 삭감에 의해 글래스 기판 반송 장치의 코스트도 저렴하다.In addition, when the installation area of the glass substrate conveyance apparatus 1 of FIG. 1 is compared with the installation area of the glass substrate conveyance apparatus 28 of FIG. 7 demonstrated in the prior art, although the processing capability of taking out a glass substrate is the same, It can be seen that the installation area is reduced. This is because the turntable and the paper removing device are reduced one by one. Moreover, the cost of a glass substrate conveyance apparatus is also inexpensive by this reduction.

이상 설명한 본 발명의 1 실시 형태에 관한 글래스 기판 반송 장치에 의하면, 제1 핸들링장치와 제2 핸들링 장치가 하나의 글래스 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 글래스 기판을 번갈아 꺼내는 구성이기 때문에, 종래 기술과 같은 단순한 증설과 비교하여 턴테이블 등의 팰릿 반송 장치의 설치 면적을 축소할 수 있어, 증설에 의한 글래스 기판 반송 장치의 설치 면적의 확대화를 억제할 수 있다.According to the glass substrate conveyance apparatus which concerns on one Embodiment of this invention demonstrated above, since the 1st handling apparatus and the 2nd handling apparatus are respectively arrange | positioned in the vicinity of both sides of one glass substrate packing box, and take out a glass substrate alternately, Compared with simple enlargement like a technique, the installation area of pallet conveyance apparatuses, such as a turntable, can be reduced, and the enlargement of the installation area of the glass substrate conveyance apparatus by expansion can be suppressed.

또한, 글래스 기판 패킹 박스가 합지에 의한 경사 적재 팰릿인 경우에도, 사용하는 합지 제거 장치의 가동률을 높일 수 있기 때문에, 종래 기술의 증설과 비교하여 합지 제거 장치의 대수 삭감에 의한 설치 면적의 축소화가 가능하다. 더욱이, 본 발명은 이러한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 형태로 실시할 수 있다. 예를 들면, 글래스 기판 외에, 수지제의 기판의 반송에도 적용할 수 있다. 또한 완충재로서의 합지도, 수지제나 천 등과 같이 합지에 한정되지 않고, 또, 팰릿에의 기판의 적재 상태에 있어서도, 경사 적재 외에, 편평한 적재에도 적용할 수 있으며, 상기 실시 형태에 한정되지 않는다.In addition, even when the glass substrate packing box is an inclined stacking pallet made of paper, the operation rate of the paper removing device to be used can be increased, so that the reduction in the installation area due to the reduction in the number of paper removal devices in comparison with the expansion of the prior art. It is possible. Moreover, this invention is not limited to such embodiment, It can implement in various forms in the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, it can apply also to conveyance of the resin substrate other than a glass substrate. In addition, the paper as a cushioning material is not limited to paper, such as made of resin, cloth, etc., and also in the loading state of the board | substrate to a pallet, it can be applied also to flat loading other than diagonal loading, and is not limited to the said embodiment.

Claims (3)

복수의 기판이 수납된 하나의 기판 패킹 박스로부터 이 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들링 장치와, 상기 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 상기 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치가 상기 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 상기 기판을 번갈아 꺼내는 구성을 갖고, 상기 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 상기 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거 장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. The first handling device and the second handling device which take out this board | substrate from the one board | substrate packing box in which the several board | substrate was accommodated, The 1st conveyor and the said 2nd handling apparatus which convey the board | substrate taken out by the said 1st handling apparatus. In addition to having a second conveyor for transporting the substrate taken out by the above, the first handling device and the second handling device are respectively disposed in the vicinity of both sides of the one substrate packing box, has a configuration of alternately taking out the substrate, The substrate packing box is a pallet for loading a plurality of substrates and a buffer material sandwiched between the substrates in a stacked state, and further includes a buffer material removing device for removing the buffer material. It is arrange | positioned in the vicinity between a 1st handling apparatus and the said 2nd handling apparatus, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 삭제delete 복수의 기판이 수납된 하나의 기판 패킹 박스로부터 이 기판을 꺼내는 제1 핸들링 장치 및 제2 핸들링 장치와, 상기 제1 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제1 컨베이어 및 상기 제2 핸들링 장치에 의해 꺼내진 기판을 반송하는 제2 컨베이어를 구비함과 동시에, 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치가 상기 하나의 기판 패킹 박스의 양측 근방에 각각 배치되어 상기 기판을 번갈아 꺼내는 구성을 갖고, 상기 기판 패킹 박스는, 복수의 기판 및 이 기판 사이에 끼워진 완충재를 겹쳐 쌓은 상태로 적재하는 팰릿이고, 또한, 상기 완충재를 제거하는 하나의 완충재 제거 장치를 구비함과 동시에, 이 완충재 제거 장치가 상기 제1 핸들링 장치와 상기 제2 핸들링 장치 사이의 근방에 배치되어 있는 기판 반송 장치를 사용한 기판 반송 방법에 있어서, 상기 제1 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제2 핸들링 장치가 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하고, 이 제2 핸들링 장치가 기판을 잡는 동작을 종료하면, 상기 완충재 제거 장치가 다음의 완충재를 잡는 동작을 개시하고, 이 완충재 제거 장치가 완충재를 운반하는 동작을 종료하면, 상기 제1 핸들링 장치가 다시 다음의 기판을 잡는 동작을 개시하는 순서를 반복하여 행하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.The first handling device and the second handling device which take out this board | substrate from the one board | substrate packing box in which the several board | substrate was accommodated, The 1st conveyor and the said 2nd handling apparatus which convey the board | substrate taken out by the said 1st handling apparatus. In addition to having a second conveyor for transporting the substrate taken out by the above, the first handling device and the second handling device are respectively disposed in the vicinity of both sides of the one substrate packing box, has a configuration of alternately taking out the substrate, The substrate packing box is a pallet for loading a plurality of substrates and a buffer material sandwiched between the substrates in a stacked state, and further includes a buffer material removing device for removing the buffer material. In the substrate conveyance method using the substrate conveyance apparatus arrange | positioned in the vicinity between a 1st handling apparatus and the said 2nd handling apparatus. When the first handling device ends the holding of the substrate, the buffer removing device starts the holding of the buffer, and when the buffer removing device ends the conveying of the buffer, the second handling device moves to the next. When the operation of holding the substrate is started, and the second handling device finishes the operation of holding the substrate, the buffer removing device starts the operation of holding the next buffer material, and the buffer removing device ends the operation of transporting the buffer material. And repeating the procedure of starting the operation of holding the next substrate again by the first handling apparatus.
KR1020077026701A 2005-06-17 2006-04-05 Substrate transfer apparatus and substrate transfer method using the same KR100956807B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00177153 2005-06-17
JP2005177153 2005-06-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080014779A KR20080014779A (en) 2008-02-14
KR100956807B1 true KR100956807B1 (en) 2010-05-11

Family

ID=37532077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077026701A KR100956807B1 (en) 2005-06-17 2006-04-05 Substrate transfer apparatus and substrate transfer method using the same

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2006134709A1 (en)
KR (1) KR100956807B1 (en)
CN (1) CN101193811B (en)
TW (1) TW200740678A (en)
WO (1) WO2006134709A1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9004839B2 (en) 2011-10-18 2015-04-14 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Glass substrate storage and transportation system and a glass substrate storage platform
CN102502260B (en) * 2011-10-18 2013-11-06 深圳市华星光电技术有限公司 Glass substrate storing and transporting system and glass substrate storing platform
CN106315210B (en) * 2015-07-10 2019-07-23 上海微电子装备（集团）股份有限公司 A kind of film magazine access arrangement and method
CN105668206B (en) 2016-03-23 2019-02-12 深圳市华星光电技术有限公司 Shunt method, part flow arrangement and the system of processing of glass substrate
CN106335791B (en) * 2016-08-24 2019-01-22 京东方科技集团股份有限公司 Lamination device, laminating method and substrate strengthening device
JP7117193B2 (en) 2018-08-23 2022-08-12 川崎重工業株式会社 ROBOT AND ROBOT SYSTEM INCLUDING THE SAME

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0236368Y2 (en) * 1985-09-28 1990-10-03
JPH07137830A (en) * 1993-11-12 1995-05-30 Daiwa Kogyo Kk Part arranging machine
JPH0734025Y2 (en) * 1991-02-13 1995-08-02 ナショナル住宅産業株式会社 Work unloading device
KR20010071540A (en) * 1999-05-19 2001-07-28 볼케르 크론세데어 Device for introducing and/or eliminating containers

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5710940A (en) * 1980-06-25 1982-01-20 Toshiba Corp Supplying method for lead frame
JPH065293Y2 (en) * 1988-03-31 1994-02-09 日産自動車株式会社 Panel loading equipment
DE19650689A1 (en) * 1996-12-06 1998-06-10 Focke & Co Device for handling stacks of blanks
DE19815434A1 (en) * 1998-04-07 1999-10-14 Focke & Co Lifting device (palletizer) with swivel arm
JP4282827B2 (en) * 1999-06-11 2009-06-24 三島光産株式会社 Glass substrate transfer device
JP2004284772A (en) * 2003-03-24 2004-10-14 Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp Board transporting system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0236368Y2 (en) * 1985-09-28 1990-10-03
JPH0734025Y2 (en) * 1991-02-13 1995-08-02 ナショナル住宅産業株式会社 Work unloading device
JPH07137830A (en) * 1993-11-12 1995-05-30 Daiwa Kogyo Kk Part arranging machine
KR20010071540A (en) * 1999-05-19 2001-07-28 볼케르 크론세데어 Device for introducing and/or eliminating containers

Also Published As

Publication number Publication date
CN101193811B (en) 2011-11-23
TWI318959B (en) 2010-01-01
CN101193811A (en) 2008-06-04
TW200740678A (en) 2007-11-01
KR20080014779A (en) 2008-02-14
JPWO2006134709A1 (en) 2009-01-08
WO2006134709A1 (en) 2006-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100956807B1 (en) Substrate transfer apparatus and substrate transfer method using the same
JP4853204B2 (en) Plate-like material conveying method and plate-like material conveying device
KR20000011438A (en) Mounting apparatus and method for electronic component
JP4282827B2 (en) Glass substrate transfer device
JP2003051528A (en) Conveyer for substrate
KR101931818B1 (en) Packing container, packing body and method for packing
JP2005089049A (en) Carrier system
KR20050056089A (en) Glass packing system
JP6079044B2 (en) Frame body conveying apparatus and frame body conveying method using frame body conveying apparatus
JP4858045B2 (en) Plate receiving method and plate receiving apparatus
JP2010280406A (en) Boxing apparatus
JP4856935B2 (en) Transfer equipment for transferred object
JP2007035762A (en) Tray for single-sheet conveyance
JP2008260535A (en) Tool for transporting boardlike body
JP4289093B2 (en) Tray transport system
JP2008137682A (en) Tray packing/unpacking apparatus and tray packing/unpacking method
KR100929637B1 (en) Equipment connection device and in-line semiconductor device with same
WO2022176605A1 (en) Glass plate package and method for unpacking glass plate package
JP3174880B2 (en) Luggage transport and storage equipment
JP2007035765A (en) Tray for sheet transfer and tray magazine
JP2000072280A (en) Film carrying device
JP2003155034A (en) Pallet and stacking-up apparatus using the same
TWI276590B (en) Conveyance system
JP2022183852A (en) Carrying system and processing system
JP2000302244A (en) Unloading device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130404

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee