JP2007035762A - Tray for single-sheet conveyance - Google Patents

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博 深沢
Ryosuke Tawara
良祐 田原
Hideo Yoshimura
英夫 芳村
Shigeru Yoshimura
滋 芳村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tray for single-sheet conveyance for placing thin plate-like articles one by one and conveying them which can prevent the generation of dust originated from the tray even if the trays are stacked. <P>SOLUTION: Resin block 8 having high wear resistance are fixed on an external frame 2 of the tray 1 for single-sheet conveyance, and form a contact portion with the stacked trays 1. Each of the resin blocks 8 is provided with a positioning portion used to vertically fitted. Further, each of the resin blocks 8 is provided with a supported portion to be supported by claws of a tray magazine. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、薄板状の物品を１枚ずつ載置して搬送するトレイに関する。特に、搬送の際にトレイからダストが発生せず、搬送する薄板状の物品（枚葉）を汚染することのない枚葉搬送用トレイに関する。   The present invention relates to a tray on which thin plate-like articles are placed and conveyed one by one. In particular, the present invention relates to a single-wafer carrying tray that does not generate dust from the tray during conveyance and does not contaminate the thin plate-like article (sheet) to be conveyed.

例えば薄型表示装置の製造工程等において、ガラス基板に代表される薄板状の物品を搬送する技術が必要となっている。薄板状の物品は捻れや撓み等の変形が発生しやすく、搬送中に変形が原因で周囲に接触して表面に傷が付いたり、破損してしまう恐れがある。このため搬送には、薄板状の物品を変形させずに載置できる専用の容器が用いられる。   For example, in a manufacturing process of a thin display device or the like, a technique for transporting a thin plate-like article typified by a glass substrate is required. A thin plate-shaped article is likely to be deformed such as twisting and bending, and may be damaged or damaged on the surface due to deformation during transportation. For this reason, a dedicated container capable of placing a thin plate-shaped article without being deformed is used for conveyance.

薄板状の物品を、１枚ずつ個別の容器に載置して搬送することで、搬送中の物品の変形を防止することができる。しかしこのような搬送形態では、搬送途中で一時保管を行う場合に、保管スペースを広く占めてしまうという問題があった。また、別の場所にまとめて移送したい場合にも手間がかかるという問題があった。   By placing and transporting thin plate-like articles one by one in individual containers, it is possible to prevent deformation of the articles being conveyed. However, in such a transport mode, there is a problem that the storage space is occupied widely when temporary storage is performed during the transport. In addition, there is a problem that it takes time and effort to transport the materials collectively to another location.

そこで、薄板状の物品を個別に載置可能であり、且つ一時保管や別の場所への移送の際には容器同士を積み重ねることのできる容器が考案された。しかしながら、これらの容器には、容器内にダストが蓄積したり、積み重ねる際に自身からダストが発生して載置した物品を汚染してしまうという問題が発生した。また、積み重ねた場合の全体の重量が重くなり、保管や運搬が不便であるという問題があった。   In view of this, a container has been devised in which thin plate-like articles can be individually placed and the containers can be stacked at the time of temporary storage or transfer to another place. However, in these containers, there is a problem that dust accumulates in the containers or dust is generated from the containers when they are stacked to contaminate the placed article. In addition, there is a problem that the total weight when stacked is inconvenient, and storage and transportation are inconvenient.

このような問題点を克服すべく、薄板状の物品を搬送するために、複数枚の物品を一度に収容するカセットが考案された。しかし、このようなカセットを用いて装置間の搬送を行う場合には、物品を投入する各装置の入り口に、薄板状の物品をカセットから取り出して投入するための専用の投入ロボットが必要となった。   In order to overcome such problems, a cassette for accommodating a plurality of articles at a time has been devised in order to transport thin-plate articles. However, when transporting between apparatuses using such a cassette, a dedicated loading robot is required at the entrance of each apparatus for loading articles to take out and load the thin plate-shaped articles from the cassette. It was.

薄型表示装置等は、クリーンルーム内で製造されることが多く、クリーンルーム内の搬送が必要となる。クリーンルーム内の各製造装置にガラス基板を投入するためには、ダストの発生が極めて少なく、且つ無人運転が可能なクリーンルーム対応の投入ロボットが必要とされる。このような投入ロボットは非常に高価であり、搬送システムの導入コストの増大を招いていた。   Thin display devices and the like are often manufactured in a clean room and need to be transported in the clean room. In order to throw a glass substrate into each manufacturing apparatus in a clean room, a throwing robot corresponding to a clean room that generates very little dust and can be operated unattended is required. Such a feeding robot is very expensive, which has led to an increase in the introduction cost of the transfer system.

また、近年、薄型表示装置の急激な大型化が進んでおり、表示装置に使用される大型のガラス基板の重量は、１枚が数十キログラムとなっている。更に、大型のガラス基板を収容するカセットには相当の強度が要求されているために、カセット自体の重量が大きくなっている。通常、搬送には２０枚から４０枚のガラス基板を収容して一度に搬送する箱状のカセットが用いられているが、ガラス基板を収容したカセットの総重量は、１トンを超える場合がある。   In recent years, the size of thin display devices has been increasing rapidly, and the weight of a large glass substrate used in a display device is several tens of kilograms. Furthermore, since the cassette which accommodates a large glass substrate is required to have a considerable strength, the weight of the cassette itself is increased. Normally, a box-shaped cassette that accommodates 20 to 40 glass substrates and conveys them at a time is used for conveyance, but the total weight of the cassette that accommodates glass substrates may exceed 1 ton. .

大型化して重いガラス基板を投入するためのロボットが、更に高価なものとなっているばかりか、総重量が１トン前後のカセットを工程と工程の間で搬送するためにはクレーンが必要になっている。これらの設備が必要なために、カセットを使用する搬送システムでは、搬送する物品の大型化に伴って著しくシステムの導入コストが増大し、問題となっている。   Robots for loading heavy glass substrates with larger sizes are becoming more expensive, and cranes are required to transport cassettes with a total weight of around 1 ton between processes. ing. Since these facilities are necessary, in the transport system using the cassette, the introduction cost of the system is remarkably increased with the increase in size of articles to be transported, which is a problem.

また、１トン前後のカセットを人力で搬送することが非常に困難になってきたために、投入ロボットやクレーンが調整や修理のために停止したとき、ガラス基板の搬送が中断してしまう可能性がでてきた。このため、従来の搬送システムにおいては、投入ロボットやクレーンの停止によって薄型表示装置の製造工程が停止してしまい、製造工程全体の稼働率の低下を招く恐れがある。   In addition, since it has become very difficult to manually transport cassettes of about 1 ton, there is a possibility that the transportation of the glass substrate may be interrupted when the loading robot or crane stops for adjustment or repair. It came out. For this reason, in the conventional transfer system, the manufacturing process of the thin display device is stopped by stopping the feeding robot and the crane, and the operation rate of the entire manufacturing process may be reduced.

本願発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、薄板状の物品を一枚ずつ載置し、搬送し、複数枚積み重ねた状態で保管することのできる枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもダストの発生によって物品を汚染することがなく、ランダムな取り出しに対応可能であって、しかも軽量化された枚葉搬送用トレイを提供することを課題としている。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and is a single-wafer carrying tray capable of placing, carrying, and storing a plurality of thin plate-like articles one by one. However, it is an object of the present invention to provide a single-wafer carrying tray that can deal with random pick-up without causing contamination of articles due to generation of dust even when they are stacked.

請求項１の発明は、複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイに関する。本発明の枚葉搬送用トレイは、外枠の上下のトレイとの接触部を他の部分に比べてダストの発生が少ない部材で構成したことを特徴とする。   The invention of claim 1 relates to a single-wafer carrying tray that can be stored in a stacked state. The single-wafer carrying tray of the present invention is characterized in that the contact portion between the outer frame and the upper and lower trays is formed of a member that generates less dust than other portions.

請求項２の発明は、上下のトレイとの接触部が、板金から成る外枠に取り付けられる樹脂ブロックで構成されており、前記樹脂ブロックに、上下に嵌め合わせることのできる位置決め部が設けられていることを特徴とする枚葉搬送用トレイである。   In the invention of claim 2, the contact portion with the upper and lower trays is constituted by a resin block attached to an outer frame made of sheet metal, and a positioning portion that can be fitted vertically is provided on the resin block. It is the sheet | seat conveyance tray characterized by having.

請求項３の発明は、外枠に取り付けられる樹脂ブロックの下側に、トレイマガジンの爪によって支持される被支持部が設けられていることを特徴とする枚葉搬送用トレイである。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a single-wafer carrying tray characterized in that a supported portion supported by a claw of a tray magazine is provided below the resin block attached to the outer frame.

本願発明により、保管及び搬送の際にダストを発生させることがなく、搬送する物品を汚染する恐れのない枚葉搬送用トレイを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a single-wafer transport tray that does not generate dust during storage and transport, and that does not contaminate transported articles.

また、本願発明により、上下方向に整然と位置決めして積み重ねることが可能であり、積み重ねの際にダストを発生させることがない接触部を備えた枚葉搬送用トレイを容易に構成することができる。   Further, according to the present invention, it is possible to position and stack in an orderly manner in the vertical direction, and it is possible to easily configure a single-wafer carrying tray provided with a contact portion that does not generate dust during stacking.

更に、本願発明により、トレイマガジンの爪によって支持される場合にも、ダストを発生させることのない枚葉搬送用トレイを提供することができる。   Furthermore, according to the present invention, it is possible to provide a single-wafer carrying tray that does not generate dust even when it is supported by claws of the tray magazine.

以下に発明を実施するための最良の形態を列記する。
（形態１） 枚葉搬送用トレイは、４本の板状部材を略長方形に接合することで構成された外枠の間に、複数の桟を架け渡すことによって薄板状の物品の載置部が形成されている。
（形態２） 略長方形の外枠は、外側平坦部と外側平坦部よりも低い位置に設けられた内側平坦部を備えており、外側平坦部と内側平坦部の間に傾斜部が設けられている。複数個の樹脂ブロックが、外側平坦部の４辺全てに取り付けられている。
（形態３） 樹脂ブロックには、クリーン対策材料として、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れているためにダストが発生しにくい樹脂であるＵＰＥ（超高分子量（高密度）ポリエチレン）が使用される。
（形態４） 樹脂ブロックの上面は、外枠の外側平坦部の上面よりも高い位置にあり、樹脂ブロックの下面は、外側平坦部の下面よりも低い位置にある。上下方向に枚葉搬送用トレイを多段で積み重ねた状態では、各々の樹脂ブロックの上面と下面が接しており、樹脂ブロックが枚葉搬送用トレイの重量を支持する。
（形態５） 樹脂ブロックの上面には凸部が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部が設けられている。下面の凹部は、上面の凸部に対応した形状を有している。上下方向に重ねた枚葉搬送用トレイの樹脂ブロックの凸部と凹部を嵌め合わせることで、枚葉搬送用トレイの位置決め固定がなされる。
（形態６） 樹脂ブロックの被支持部が、外側平坦部の下面に沿って樹脂ブロックの左右に広がっている。トレイマガジンの爪が樹脂ブロックの被支持部を支持することによって枚葉搬送用トレイを持ち上げることができる。 The best mode for carrying out the invention is listed below.
(Embodiment 1) The single-wafer carrying tray has a thin-plate-shaped article placement section that spans a plurality of crosspieces between outer frames formed by joining four plate-like members into a substantially rectangular shape. Is formed.
(Mode 2) The substantially rectangular outer frame includes an outer flat portion and an inner flat portion provided at a position lower than the outer flat portion, and an inclined portion is provided between the outer flat portion and the inner flat portion. Yes. A plurality of resin blocks are attached to all four sides of the outer flat portion.
(Embodiment 3) UPE (ultra high molecular weight (high density) polyethylene), which is a resin that has high abrasion resistance and is resistant to dust due to its excellent mechanical strength, as a clean countermeasure material for resin blocks Is used.
(Mode 4) The upper surface of the resin block is located higher than the upper surface of the outer flat portion of the outer frame, and the lower surface of the resin block is located lower than the lower surface of the outer flat portion. In a state in which the single-sheet transport trays are stacked in the vertical direction, the upper and lower surfaces of each resin block are in contact with each other, and the resin block supports the weight of the single-sheet transport tray.
(Mode 5) A convex portion is provided on the upper surface of the resin block, and a concave portion is provided on the lower surface of the resin block. The concave portion on the lower surface has a shape corresponding to the convex portion on the upper surface. Positioning and fixing of the single-wafer carrying tray is performed by fitting the convex and concave portions of the resin block of the single-wafer carrying tray stacked in the vertical direction.
(Mode 6) The supported portion of the resin block extends to the left and right of the resin block along the lower surface of the outer flat portion. The single-sheet transport tray can be lifted by the claws of the tray magazine supporting the supported portion of the resin block.

以下、本発明を適用した枚葉搬送用トレイ（以下、トレイとも言う）の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明による枚葉搬送用トレイの一実施例の構成を示す斜視図である。   Hereinafter, embodiments of a single-wafer carrying tray (hereinafter also referred to as a tray) to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an embodiment of a single-wafer carrying tray according to the present invention.

本実施例における枚葉搬送用トレイ１は、外枠２と、外枠２の対向する辺の間に掛け渡された複数の桟４と、外枠用部材の接合部近傍で隣り合う部材の間に斜めに掛け渡される接合部材６を備えている。   The single-wafer carrying tray 1 according to the present embodiment includes an outer frame 2, a plurality of crosspieces 4 spanned between opposite sides of the outer frame 2, and members adjacent to each other in the vicinity of the joint portion of the outer frame member. There is provided a joining member 6 that is slanted between them.

外枠２は、２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂから構成される。本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって同一の断面形状となるように加工されている。   The outer frame 2 includes two long side members 2a and two short side members 2b. In the present embodiment, the long side member 2a and the short side member 2b are made of SUS304 having a constant thickness, and are processed to have the same cross-sectional shape by sheet metal processing.

図２（ａ）に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの斜視図を示し、図２（ｂ）にそのＡ−Ａ断面図を示す。また、図３に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの端部付近の斜視図を示す。長辺部材２ａと短辺部材２ｂは、図２（ｂ）その断面形状に外側平坦部１１と、外側平坦部１１よりも低い位置に形成される内側平坦部１２を備えており、外側平坦部１１と内側平坦部１２の間に傾斜部１３が設けられている。傾斜部１３は、外枠２が形成されたときに上方に向けて広がったコーン形状となるように角度が付けられている。又、外側平坦部１１の外側には、フランジ１４が設けられている。   FIG. 2A shows a perspective view of the long side member 2a and the short side member 2b, and FIG. FIG. 3 is a perspective view of the vicinity of the end portions of the long side member 2a and the short side member 2b. The long side member 2a and the short side member 2b are provided with an outer flat portion 11 and an inner flat portion 12 formed at a position lower than the outer flat portion 11 in the cross-sectional shape of FIG. An inclined portion 13 is provided between 11 and the inner flat portion 12. The inclined portion 13 is angled so as to have a cone shape that spreads upward when the outer frame 2 is formed. A flange 14 is provided outside the outer flat portion 11.

この傾斜部１３の高さは、１枚の薄板状の物品を安全に収容するために必要な収容高さを越えた高さとなっている。その高さは、長辺部材２ａと短辺部材２ｂが長方形の外枠２として組み合わされた場合に、外枠２の平面を維持するために必要な強度を保てる高さに設定されており、外枠２の形状が大型化された場合には、外枠２を強化するために傾斜部１３の高さはより高くなる。   The height of the inclined portion 13 is higher than the storage height necessary for safely storing one sheet-shaped article. The height is set to a height that can maintain the strength required to maintain the plane of the outer frame 2 when the long side member 2a and the short side member 2b are combined as a rectangular outer frame 2, When the shape of the outer frame 2 is increased, the height of the inclined portion 13 becomes higher in order to strengthen the outer frame 2.

長辺部材２ａと短辺部材２ｂを接合することにより、本実施例の外枠２が形成される。本実施例の外枠２は、その断面形状が、上述したように、フランジ１４，これより少し高い外側平坦部１１、これに連続して下降する傾斜部１３、この傾斜部１３の下方に連続する内側平坦部１２とで形成される。形成された外枠２単体の高さは、傾斜部１３の高さで決定されるが、複数枚の枚葉搬送用トレイ１を積み重ねる場合には、この傾斜部１３を利用してより小さいピッチで積み重ねることが可能となるので、積み重ね高さをあまり高くならないようにすることができる。   The outer frame 2 of the present embodiment is formed by joining the long side member 2a and the short side member 2b. As described above, the outer frame 2 of the present embodiment has a flange 14, an outer flat portion 11 slightly higher than the flange 14, an inclined portion 13 that descends continuously, and a lower portion of the inclined portion 13. The inner flat portion 12 is formed. The height of the formed outer frame 2 alone is determined by the height of the inclined portion 13, but when stacking a plurality of single-sheet transport trays 1, a smaller pitch is utilized by using the inclined portion 13. Therefore, it is possible to prevent the stacking height from becoming too high.

本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには、外側平坦部１１に、樹脂ブロック８を取り付けるためのブロック取付孔１５ａ、１５ｂが１部材にそれぞれ２カ所ずつ設けられている。又、それぞれの部材の外側平坦部１１の端部には、部材同士を接合するための接合孔１６が３個ずつ設けられている。内側平坦部１２には、桟４を接合するための桟取付孔１７が設けられている。   In the long side member 2a and the short side member 2b in the present embodiment, two block attachment holes 15a and 15b for attaching the resin block 8 are provided in the outer flat portion 11, respectively. Further, three joining holes 16 for joining the members to each other are provided at the end of the outer flat portion 11 of each member. The inner flat portion 12 is provided with a crosspiece mounting hole 17 for joining the crosspiece 4.

図４に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂに取り付けられる前の樹脂ブロック８の斜視図を示す。樹脂ブロック８は、略直方体の本体部２０の上面に凸部２１が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部２２が設けられている。また、本体部２０の高さは、１枚の薄板状の物品を安全に収容する為の収容高さと等しくなるように形成されている。   FIG. 4 is a perspective view of the resin block 8 before being attached to the long side member 2a and the short side member 2b. The resin block 8 is provided with a convex portion 21 on the upper surface of a substantially rectangular parallelepiped main body portion 20 and a concave portion 22 on the lower surface of the resin block. Further, the height of the main body 20 is formed to be equal to the storage height for safely storing one sheet-like article.

本実施例における樹脂ブロック８の凸部２１は、円錐台形状に形成されている。下面の凹部２２は、上面の凸部２１に対応した形状を有している。本体部２０の右面と左面には、トレイマガジンとの接触部となる被支持部２３が伸びている。被支持部２３には、長辺部材２ａ又は短辺部材２ｂに樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔２４が貫通している。   The convex portion 21 of the resin block 8 in the present embodiment is formed in a truncated cone shape. The concave portion 22 on the lower surface has a shape corresponding to the convex portion 21 on the upper surface. A supported portion 23 serving as a contact portion with the tray magazine extends on the right surface and the left surface of the main body portion 20. An outer frame mounting hole 24 for fixing the resin block 8 to the long side member 2a or the short side member 2b passes through the supported portion 23.

樹脂ブロック８は、上下に積み重ねられる枚葉搬送用トレイ１との接触部となるために、クリーン対策材料で形成されることが好ましい。本実施例における樹脂ブロック８は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れたＵＰＥで形成されている。樹脂ブロック８は、ブロック同士が接触しても摩耗せず、ダストを発生することがないために、搬送する薄板状の物品を汚染しない。   The resin block 8 is preferably formed of a clean countermeasure material in order to be a contact portion with the single-wafer carrying tray 1 stacked up and down. The resin block 8 in this embodiment is formed of UPE having high wear resistance and excellent mechanical strength. The resin block 8 does not wear even if the blocks come into contact with each other and does not generate dust, and therefore does not contaminate the thin plate-like article to be conveyed.

樹脂ブロック８は、外枠２に、リベット若しくはネジによって固定されている。図５と図６は、樹脂ブロック８が長辺部材２ａにリベット若しくはネジによって固定された状態を模式的に示す図である。図５は、長辺部材２ａの長手方向の断面図を示しており、図６は、長辺部材２ａの側面図を示している。樹脂ブロック８は、被支持部２３の上面が長辺部材２ａの外側平坦部の下面に突き当てられて、ブロック取付孔１５ａから凸部２１と本体部２０の上部が突出した状態で固定されている。   The resin block 8 is fixed to the outer frame 2 with rivets or screws. 5 and 6 are diagrams schematically showing a state in which the resin block 8 is fixed to the long-side member 2a with rivets or screws. FIG. 5 shows a sectional view in the longitudinal direction of the long side member 2a, and FIG. 6 shows a side view of the long side member 2a. The resin block 8 is fixed in a state in which the upper surface of the supported portion 23 is abutted against the lower surface of the outer flat portion of the long side member 2a and the upper portion of the convex portion 21 and the main body portion 20 protrudes from the block mounting hole 15a. Yes.

外枠２に固定された樹脂ブロック８は、本体部２０の上面が、長辺部材２ａの外側平坦部１１よりも高くなっている。また、本体部２０の下面は、外側平坦部１１に設けられたフランジ１４の下面よりも低くなっている。このような配置を採用することで、上下方向に枚葉搬送用トレイ１を多段で積み重ねると、各々のトレイの樹脂ブロック８の本体部２０の上面と下面が互いに接することとなり、枚葉搬送用トレイ１は、１枚の薄板状の物品を安全に収容する為の収容高さをピッチとして積み重ねられる。このとき、枚葉搬送用トレイ１の重量は、樹脂ブロック８によって支持されている。   As for the resin block 8 fixed to the outer frame 2, the upper surface of the main-body part 20 is higher than the outer side flat part 11 of the long side member 2a. Further, the lower surface of the main body 20 is lower than the lower surface of the flange 14 provided on the outer flat portion 11. By adopting such an arrangement, when the single-wafer carrying trays 1 are stacked in a vertical direction in the vertical direction, the upper surface and the lower surface of the main body portion 20 of the resin block 8 of each tray come into contact with each other. The tray 1 is stacked with an accommodation height for safely containing one sheet-like article as a pitch. At this time, the weight of the sheet conveying tray 1 is supported by the resin block 8.

上下のトレイの接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。   By adopting a configuration in which the resin block 8 and the outer frame 2 which are the contact portions of the upper and lower trays are separately formed from different materials and then fixed, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment can easily make the contact portion 8 Can be processed and formed. In addition, it is possible to apply a material other than the clean countermeasure material to the material of the outer frame 2, and the degree of freedom for selecting the material of the outer frame 2 can be expanded.

外枠２の構成について更に説明する。長辺部材２ａと短辺部材２ｂとは、図７に示すＬ字型の接合金具１０を用いて接合されている。本実施例における接合金具１０には、Ｌ字型のそれぞれの辺に３個ずつ係６個の接合孔１８が設けられている。接合孔１８同士の相対位置は、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合孔１６の孔同士の相対位置関係と同一になるように、配置されている。   The configuration of the outer frame 2 will be further described. The long side member 2a and the short side member 2b are joined using the L-shaped joining metal fitting 10 shown in FIG. The joint fitting 10 according to the present embodiment is provided with six joint holes 18 each having three L-shaped sides. The relative positions of the joint holes 18 are arranged to be the same as the relative positional relationship between the joint holes 16 of the long side member 2a and the short side member 2b.

接合金具１０の一辺は、長辺部材２ａの端部に重ね合わされる。長辺部材２ａの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、長辺部材２ａと接合金具１０がリベット接合される。接合金具１０の他辺は、短辺部材２ｂの端部に重ね合わされる。短辺部材２ｂの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、短辺部材２ｂと接合金具１０がブラインドリベット接合される。２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂが４個の接合金具１０を用いてブラインドリベット接合されて、略長方形の外枠２が形成される。   One side of the joint fitting 10 is overlapped with the end of the long side member 2a. A blind rivet is struck so as to penetrate both the joint hole 16 of the long side member 2a and the joint hole 18 of the joint fitting 10, and the long side member 2a and the joint fitting 10 are rivet joined. The other side of the joint fitting 10 is overlaid on the end of the short side member 2b. A blind rivet is struck so as to penetrate both the joint hole 16 of the short side member 2b and the joint hole 18 of the joint fitting 10, and the short side member 2b and the joint fitting 10 are blind rivet joined. The two long side members 2a and the two short side members 2b are blind rivet-joined using the four joining fittings 10 to form the substantially rectangular outer frame 2.

ブラインドリベット接合により形成された外枠２は、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合部の上部に、空間１９（図１参照）が設けられている。空間１９が設けられていることで、接合部にダストが留まることがなく、又外枠２の洗浄と乾燥を容易に行うことができる。即ち空間１９を設けていることによって、外枠２の接合部にダストが蓄積されなくなり、載置する薄板状の物品の汚染を未然に防止する効果が得られている。   The outer frame 2 formed by blind rivet bonding is provided with a space 19 (see FIG. 1) at the upper part of the joint between the long side member 2a and the short side member 2b. Since the space 19 is provided, dust does not stay at the joint, and the outer frame 2 can be easily cleaned and dried. That is, by providing the space 19, dust is not accumulated at the joint portion of the outer frame 2, and the effect of preventing contamination of the thin plate-like article to be placed is obtained.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の対向する短辺部材２ｂの間に、複数の桟４が掛け渡されて、薄板状の物品の載置部が形成されている。桟４には一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって所定の断面形状をとるように加工されている。   In the single-wafer carrying tray 1 of the present embodiment, a plurality of crosspieces 4 are spanned between the opposing short side members 2b of the outer frame 2 to form a sheet-like article placement portion. The crosspiece 4 is made of SUS304 having a certain thickness, and is processed to have a predetermined cross-sectional shape by sheet metal processing.

桟４の一端部の拡大図を図８に示す。桟４は、両側に外枠２への平坦な取付部２５が形成されており、平坦部の間に上方に突出する膨出部２６が形成されている。取付部２５の端部には、外枠２に接合するための外枠取付孔２７が設けられている。膨出部２６には、薄板状の物品を支持するための複数の載置ピン２８が固定されている。   An enlarged view of one end of the crosspiece 4 is shown in FIG. The crosspiece 4 is formed with flat attachment portions 25 to the outer frame 2 on both sides, and a bulging portion 26 protruding upward is formed between the flat portions. An outer frame mounting hole 27 for joining to the outer frame 2 is provided at the end of the mounting portion 25. A plurality of mounting pins 28 for supporting the thin plate-like article are fixed to the bulging portion 26.

載置ピン２８は耐磨耗性の高いＵＰＥで形成されており、薄板状の物品を繰り返し搭載しても、磨耗によるダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   The mounting pin 28 is formed of UPE having high wear resistance, and even if a thin plate-like article is repeatedly mounted, dust due to wear is not generated and the thin plate-like article is not contaminated.

桟４の外枠取付孔２７と、外枠２の桟取付孔１７を貫通するようにリベットが打たれて、外枠２と桟４がリベット接合されている。桟４が膨出部２６を備えているために、桟４は外枠２に対して両端に開口部を持った状態で接合されている。このため外枠２と桟４の接合部にダストが蓄積されにくく、又枚葉搬送用トレイ１を洗浄する際に桟４の部分の洗浄と乾燥を容易に行うことができる。   A rivet is struck through the outer frame attachment hole 27 of the crosspiece 4 and the crosspiece attachment hole 17 of the outer frame 2, and the outer frame 2 and the crosspiece 4 are joined by rivets. Since the crosspiece 4 includes the bulging portion 26, the crosspiece 4 is joined to the outer frame 2 with openings at both ends. For this reason, it is difficult for dust to accumulate at the joint between the outer frame 2 and the crosspiece 4, and when the single-sheet transport tray 1 is washed, the portion of the crosspiece 4 can be easily cleaned and dried.

又、桟４は、膨出部２６が形成されているために、平板の部材を用いた場合よりも梁強度が向上している。このため、桟４にはより板厚の薄い素材を用いることが可能となっており、桟４の軽量化が図られている。   Further, since the bulge portion 26 is formed in the crosspiece 4, the beam strength is improved as compared with the case where a flat plate member is used. For this reason, it is possible to use a material with a thinner plate thickness for the crosspiece 4, thereby reducing the weight of the crosspiece 4.

接合部材６は、枚葉搬送用トレイ１に搭載される薄板状の物品の位置決めと、外枠２のコーナー部の補強のために、外枠２のコーナー部近傍の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの間に、斜めに掛け渡されている。接合部材６の斜視図を図９に示す。接合部材６は、桟４と同様に膨出部２６が設けられており、膨出部の上に、薄板状の物品を支持するための載置ピン２８と、薄板状の物品のコーナー部を突き当てて載置位置の位置決めを行うための２個の位置決めピン２９が固定されている。   The joining member 6 includes a long side member 2a and a short side in the vicinity of the corner portion of the outer frame 2 in order to position the thin plate-like article mounted on the sheet conveying tray 1 and to reinforce the corner portion of the outer frame 2. It is spanned diagonally between the members 2b. A perspective view of the joining member 6 is shown in FIG. The joining member 6 is provided with a bulging portion 26 similarly to the crosspiece 4, and a mounting pin 28 for supporting a thin plate-like article and a corner portion of the thin plate-like article are provided on the bulging portion. Two positioning pins 29 for abutting and positioning the mounting position are fixed.

接合部材６の位置決めピン２９は、薄板状の物品のコーナー位置を定めるために設けられており、実際の薄板状の物品の寸法に対して片側で２ミリメートルから３ミリメートルのクリアランスを確保できるように配置されている。位置決めピン２９は、耐磨耗性の高いＵＰＥで形成されており、薄板状の物品が位置決めのために繰り返し接触しても、磨耗によるダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   The positioning pin 29 of the joining member 6 is provided to determine the corner position of the thin plate-like article so that a clearance of 2 mm to 3 mm can be secured on one side with respect to the dimensions of the actual thin plate-like article. Has been placed. The positioning pin 29 is formed of UPE having high wear resistance, and even if a thin plate-like article is repeatedly contacted for positioning, dust due to wear is not generated and the thin plate-like article is not contaminated.

図１０に、枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す。
枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の傾斜部１３を利用することによって、１枚の薄板状の物品を安全に収容するために必要な収容高さを上下のピッチとして積み重ねられており、小さなスペースで多くのトレイを保管することが可能となっている。
枚葉搬送用トレイ１は、全ての樹脂ブロック８の凸部２１と凹部２２を嵌め合わせて積み重ねられている。凸部２１が円錐台形状であるために、上積みされる枚葉搬送用トレイ１が多少ずれて降下してきた場合でも、凸部２１と凹部２２の正確な嵌め合わせが可能である。 FIG. 10 schematically shows a state in which a plurality of single-wafer carrying trays 1 are stacked in the vertical direction.
The single-wafer carrying tray 1 is stacked by using the inclined portion 13 of the outer frame 2 so that the accommodation height necessary for safely accommodating one thin plate-like article is set at an upper and lower pitch. Many trays can be stored in a small space.
The single-wafer carrying tray 1 is stacked by fitting the convex portions 21 and concave portions 22 of all the resin blocks 8 together. Since the convex portion 21 has a truncated cone shape, the convex portion 21 and the concave portion 22 can be accurately fitted even when the stacked single-sheet transport trays 1 are slightly shifted and lowered.

枚葉搬送用トレイ１は、凸部２１と凹部２２を嵌め合わされることで、位置決めされて正確に積み重ねられる。積み重ねられた状態では、多少の衝撃が加わった場合でも、積み重ねた枚葉搬送用トレイ１がずれたり落ちたりする恐れがなく、安定して積み重ねられる。   The single-wafer carrying tray 1 is positioned and accurately stacked by fitting the convex portion 21 and the concave portion 22 together. In the stacked state, even when a slight impact is applied, the stacked single-wafer carrying tray 1 does not have a risk of shifting or dropping, and can be stably stacked.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１が上下方向に積み重ねられているとき、上下の枚葉搬送用トレイ１の間では、樹脂ブロック８だけが接触しており、外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と全く接触しない。樹脂ブロック８はＵＰＥで形成されているために接触によってもダストが発生しない。また外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と接触しないためにダストを発生させない。このように、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は積み重ねてもダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   When the single-wafer carrying trays 1 of the present embodiment are stacked in the vertical direction, only the resin block 8 is in contact between the upper and lower single-wafer carrying trays 1, and the outer frame 2 and the crosspiece 4 are the other. No contact is made with the single-wafer carrying tray 1. Since the resin block 8 is made of UPE, no dust is generated even when contacted. Further, since the outer frame 2 and the crosspiece 4 do not come into contact with the other single-wafer carrying tray 1, no dust is generated. As described above, the single-wafer carrying tray 1 according to the present embodiment does not generate dust even when stacked, and does not contaminate thin plate-like articles.

更に、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１の荷重を、樹脂ブロック８が支持する構成となっており、外枠２には、上側の枚葉搬送用トレイ１の荷重が加えられることがない。このために、外枠２は、自らの重量と、載置した薄板状の物品の重量を支持できる強度を備えていればよく、外枠２によって上積みされた枚葉搬送用トレイ１を支持する構成を採用した場合と比較すると、要求される強度は小さい。このため、外枠２の板厚をより薄くして軽量化することが可能となる。   Furthermore, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment is configured such that the resin block 8 supports the load of the stacked single-wafer carrying tray 1, and the upper single-wafer carrying is provided on the outer frame 2. The load on the tray 1 is not applied. For this purpose, the outer frame 2 only needs to have a strength capable of supporting its own weight and the weight of the placed thin plate-like article, and supports the single-wafer carrying tray 1 stacked by the outer frame 2. Compared with the case where the configuration is adopted, the required strength is small. For this reason, it is possible to reduce the thickness of the outer frame 2 by reducing the plate thickness.

本実施例の枚葉搬送用トレイ１を適用した搬送システムの一態様を、図１１から図１４に示し、樹脂ブロック８に設けられた被支持部２３の作用効果について説明する。ここでは、薄板状の物品を載置して積み重ねられた枚葉搬送用トレイ１の中から、任意の枚葉搬送用トレイ１を指定して搬出する場合を例にとって詳細な説明を行う。   One mode of a transport system to which the single-wafer transport tray 1 of the present embodiment is applied is shown in FIGS. 11 to 14 and the function and effect of the supported portion 23 provided in the resin block 8 will be described. Here, a detailed description will be given by taking as an example a case where an arbitrary single-wafer carrying tray 1 is designated and carried out of the single-wafer carrying trays 1 stacked and stacked with thin plate-like articles.

枚葉搬送用トレイ１は、薄板状の物品を載置して昇降装置３１の受け座３２上に積み重ねられている。昇降装置３１は、図示されない搬送コントローラに制御されており、搬送コントローラが指定した枚葉搬送用トレイ１を、昇降装置３１の上部に設けられたコンベア３３に移載できる位置に移動させる。   The single-wafer carrying tray 1 is stacked on a receiving seat 32 of an elevating device 31 with a thin plate-like article placed thereon. The lifting device 31 is controlled by a transport controller (not shown), and moves the single-wafer transport tray 1 designated by the transport controller to a position where it can be transferred to a conveyor 33 provided on the upper portion of the lifting device 31.

搬送コントローラが搬出を指定した枚葉搬送用トレイ１の上に、他のトレイ１が積み重ねられている場合には、コンベア３３の上部に配置されているトレイマガジン３４が降下して、指定の枚葉搬送用トレイ１の上に積み重ねられているトレイ１を収容して持ち上げる。   When other trays 1 are stacked on the single-sheet transport tray 1 designated by the transport controller, the tray magazine 34 disposed on the upper portion of the conveyor 33 is lowered to designate the specified sheet. The trays 1 stacked on the leaf transport tray 1 are accommodated and lifted.

トレイマガジン３４は、枚葉搬送用トレイ１の対向する２辺に固定されている樹脂ブロック８を支持して、枚葉搬送用トレイ１を持ち上げる。ここで、トレイマガジン３４の爪３５は、図１２及び図１３に示すように、樹脂ブロック８の被支持部２３を支持することによって枚葉搬送用トレイを持ち上げる。   The tray magazine 34 supports the resin blocks 8 fixed to the two opposing sides of the sheet conveying tray 1 and lifts the sheet conveying tray 1. Here, the claw 35 of the tray magazine 34 lifts the single-wafer carrying tray by supporting the supported portion 23 of the resin block 8 as shown in FIGS.

樹脂ブロック８はＵＰＥで形成されており、被支持部２３も同一の素材で形成されているために、トレイマガジン３４の爪３５が接触しても、ダストが発生しない。即ち、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は搬出、搬入のためにトレイマガジン３４の爪３５に支持される場合でも、積み重ねて保管する場合と同様にダストが発生せず、薄板状の物品を汚染しない。   Since the resin block 8 is made of UPE, and the supported portion 23 is also made of the same material, no dust is generated even if the claws 35 of the tray magazine 34 come into contact with each other. That is, even when the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment is supported by the claws 35 of the tray magazine 34 for carrying out and carrying in, dust is not generated as in the case of stacking and storing, and a thin plate-like article. Do not pollute.

搬出が指定された枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１がトレイマガジン３４によって取り除かれると、図１４に示すように、コンベア３３によって外枠２のフランジ部１４を支持される。昇降装置３１が降下して、搬出される以外の枚葉搬送用トレイ１は低い位置に保持される。指定された枚葉搬送用トレイ１は、コンベア３３によって搬出される。   As shown in FIG. 14, the single-wafer carrying tray 1 designated for unloading supports the flange portion 14 of the outer frame 2 by the conveyor 33 when the stacked single-wafer carrying tray 1 is removed by the tray magazine 34. Is done. The single-wafer carrying tray 1 other than the lifting device 31 is lowered and carried out is held at a low position. The designated sheet feeding tray 1 is carried out by the conveyor 33.

以上述べてきたように、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、外枠２に樹脂ブロック８が固定されており、積み重ねた際には、樹脂ブロック８の上面と下面で上下の枚葉搬送用トレイ１が接触する。また、搬入と搬出の際には、トレイマガジン３４の爪３５が樹脂ブロック８の被支持部２３を支持する。樹脂ブロック８は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れた樹脂で形成されているために、積み重ねられた際や、トレイマガジン３４に支持された際にダストを発生せず、載置してある薄板状の物品を汚染しない。   As described above, in the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment, the resin block 8 is fixed to the outer frame 2, and when stacked, the upper and lower single-wafers on the upper and lower surfaces of the resin block 8. The conveyance tray 1 comes into contact. In addition, the claw 35 of the tray magazine 34 supports the supported portion 23 of the resin block 8 during loading and unloading. Since the resin block 8 is formed of a resin having high wear resistance and excellent mechanical strength, dust is not generated when the resin block 8 is stacked or supported by the tray magazine 34. It does not contaminate the laminar articles that are placed.

また、上下の枚葉搬送用トレイ１の接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。   Further, by adopting a configuration in which the resin block 8 and the outer frame 2 which are the contact portions of the upper and lower single-wafer carrying trays 1 are separately formed from different materials and then fixed, the single-wafer carrying tray 1 of this embodiment is used. Can easily process and form the contact portion 8. In addition, it is possible to apply a material other than the clean countermeasure material to the material of the outer frame 2, and the degree of freedom for selecting the material of the outer frame 2 can be expanded.

更に、本実施例の枚葉搬送用トレイ１の桟４は、膨出部を設けることによって従来よりも梁強度が高められている。これに加えて、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、上積みされた枚葉搬送用トレイ１の荷重を樹脂ブロック８が支持する構成を採用しており、外枠２に必要な強度が低減されている。これらの構成によって、枚葉搬送用トレイ１の外枠２と桟４を従来よりも軽量化することが可能となった。   Furthermore, the crosspiece 4 of the sheet conveying tray 1 according to the present embodiment has a beam strength higher than that of the related art by providing a bulging portion. In addition to this, the single-wafer carrying tray 1 of the present embodiment employs a configuration in which the resin block 8 supports the load of the stacked single-wafer carrying tray 1, and the outer frame 2 has a necessary strength. Has been reduced. With these configurations, it is possible to reduce the weight of the outer frame 2 and the crosspiece 4 of the single-wafer carrying tray 1 as compared with the conventional art.

以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。たとえば、実施例における外枠２の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合方法や接合箇所、外枠２と桟４の接合方法や接合箇所は、搭載する薄板状の物品の大きさや重量に合わせて、適宜変更が可能である。また、樹脂ブロック８の形状や配置も、作用効果を損なわない範囲において、変更が可能である。   As mentioned above, although the specific example of this invention was described in detail in the Example, these are only illustrations and do not limit a claim. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above. For example, the joining method and joining location of the long side member 2a and the short side member 2b of the outer frame 2 and the joining method and joining location of the outer frame 2 and the crosspiece 4 in the embodiment depend on the size and weight of the thin plate-like article to be mounted. In addition, it can be changed as appropriate. Moreover, the shape and arrangement of the resin block 8 can be changed within a range not impairing the effects.

実施例の枚葉搬送用トレイ１の概要を説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the outline | summary of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example. 実施例の外枠２を構成する部材の斜視図である。It is a perspective view of the member which comprises the outer frame 2 of an Example. 実施例の外枠２を構成する部材端部の斜視図である。It is a perspective view of the member edge part which comprises the outer frame 2 of an Example. 実施例の樹脂ブロック８の斜視図である。It is a perspective view of the resin block 8 of an Example. 実施例の樹脂ブロック８が固定された長辺部材２ａの断面図である。It is sectional drawing of the long side member 2a to which the resin block 8 of the Example was fixed. 実施例の長辺部材２ａに固定された樹脂ブロック８の側面図である。It is a side view of the resin block 8 fixed to the long side member 2a of the Example. 実施例の接合金具１０の斜視図である。It is a perspective view of the joining metal fitting 10 of an Example. 実施例の桟４の一端部の拡大図である。It is an enlarged view of the one end part of the crosspiece 4 of an Example. 実施例の接合部材６の斜視図である。It is a perspective view of the joining member 6 of an Example. 実施例の枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the state which piled up the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example in the up-down direction. 実施例の枚葉搬送用トレイ１を適用した搬送システムの一態様を模式的に示す正断面図である。It is a front sectional view showing typically one mode of a conveyance system to which single-sheet conveyance tray 1 of an example is applied. 実施例の枚葉搬送用トレイ１をトレイマガジン３４の爪３５が指示する様子を模式的に示す正断面図である。FIG. 3 is a front sectional view schematically showing a state in which the claws 35 of the tray magazine 34 indicate the single-wafer carrying tray 1 according to the embodiment. 実施例の枚葉搬送用トレイ１の樹脂ブロック８をトレイマガジン３４の爪３５が指示する様子を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically a mode that the nail | claw 35 of the tray magazine 34 instruct | indicates the resin block 8 of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example. 実施例の枚葉搬送用トレイ１のフランジ１４をコンベア３３が支持する様子を模式的に示す正断面図である。It is front sectional drawing which shows typically a mode that the conveyor 33 supports the flange 14 of the sheet | seat conveyance tray 1 of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

１： 枚葉搬送用トレイ
２： 外枠
２ａ： 長辺部材
２ｂ： 短辺部材
４： 桟
６： 接合部材
８： 樹脂ブロック
１０： 接合金具
１１： 外側平坦部
１２： 内側平坦部
１３： 傾斜部
１４： フランジ
１５ａ，１５ｂ： ブロック取付孔
１６，１８： 接合孔
１７： 桟取付孔
１９： 空間
２０： 本体部
２１： 凸部
２２： 凹部
２３： 被支持部
２４,２７： 外枠取付孔
２５： 取付部
２６： 膨出部
２８： 載置ピン
２９： 位置決めピン
３１： 昇降装置
３２： 受け座
３３： コンベア
３４： トレイマガジン
３５： 爪 1: Single-wafer carrying tray 2: Outer frame 2a: Long side member 2b: Short side member
4: Crosspiece 6: Joining member 8: Resin block 10: Joining metal fitting 11: Outer flat part 12: Inner flat part 13: Inclined part 14: Flange 15a, 15b: Block attachment holes 16, 18: Joining hole 17: Cross attachment hole 19: space 20: body part 21: convex part 22: concave part 23: supported parts 24, 27: outer frame attaching hole 25: attaching part 26: bulging part 28: mounting pin 29: positioning pin 31: lifting device 32 : Receiving seat 33: Conveyor 34: Tray magazine 35: Claw

Claims (3)

複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、外枠の上下のトレイとの接触部を他の部分に比べてダストの発生が少ない部材で構成したことを特徴とする枚葉搬送用トレイ。   A single-wafer carrying tray that can be stored in a stacked state, wherein the contact portion of the outer frame with the upper and lower trays is configured with a member that generates less dust than other portions. Single-sheet transport tray. 上下のトレイとの接触部が、板金から成る外枠に取り付けられる樹脂ブロックで構成されており、前記樹脂ブロックに上下に嵌め合わされる位置決め部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の枚葉搬送用トレイ。   The contact portion with the upper and lower trays is composed of a resin block attached to an outer frame made of sheet metal, and a positioning portion is provided to be fitted vertically to the resin block. The tray for sheet feeding described. 外枠に取り付けられる樹脂ブロックの下側に、トレイマガジンの爪によって支持される被支持部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の枚葉搬送用トレイ。   The single-wafer carrying tray according to claim 2, wherein a supported portion supported by a pawl of a tray magazine is provided below the resin block attached to the outer frame.
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