JP2009184687A - Tray for conveying work - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a tray for conveying a work which facilitates conveying in and out stacked trays. <P>SOLUTION: The tray 1 for conveying the work is used for conveying a substrate S, and includes crosspieces 4, a rectangular outer frame 2, and a supporting part 14b. The crosspieces 4 have a work placing face for placing the substrate S. The supporting part 14b is provided on the outer frame 2 and supports the crosspieces 4. The outer frame 2 has a downward slope toward the outside from the supporting part 14b, and has an inclined part 13 whose lower end part is lower than the work placing face. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、薄板状のワークを載置して搬送するトレイに関し、特に、複数のトレイを積み重ねて保管することのできるワーク搬送用トレイに関する。   The present invention relates to a tray on which a thin plate-like work is placed and transported, and more particularly to a work transport tray capable of stacking and storing a plurality of trays.

例えば薄型表示装置の製造工程等において、ガラス基板に代表される薄板状の物品を搬送する技術が必要となっている。薄板状の物品は捻れや撓み等の変形が発生しやすく、搬送中に変形が原因で周囲に接触して、表面に傷が付いたり破損したりする恐れがある。このため搬送には、薄板状の物品を変形させずに載置できる専用の容器が用いられる。
薄板状の物品を、１枚ずつ個別の容器に載置して搬送することで、搬送中の物品の変形を防止することができる。しかし、個別の容器を用いると、搬送途中で一時保管を行う場合に、保管スペースを広く占めてしまうという問題があった。また、別の場所に容器をまとめて移送したい場合にも手間がかかるという問題があった。
そこで、薄板状の物品を個別に載置可能であり、しかも一時保管や別の場所への移送の際には容器同士を積み重ねることのできる容器が考案された。しかしながら、これらの容器には、容器内にダストが蓄積したり、積み重ねる際に自身からダストが発生して載置した物品を汚染したりするという問題が発生した。また、複数の容器を積み重ねた場合の全体の重量が重くなり、保管や運搬が不便であるという問題があった。 For example, in a manufacturing process of a thin display device or the like, a technique for transporting a thin plate-like article typified by a glass substrate is required. The thin plate-like article is likely to be deformed such as twisting and bending, and may contact the surroundings due to deformation during transportation, and the surface may be scratched or damaged. For this reason, a dedicated container capable of placing a thin plate-shaped article without being deformed is used for conveyance.
By placing and transporting thin plate-like articles one by one in individual containers, it is possible to prevent deformation of the articles being conveyed. However, when individual containers are used, there is a problem that a large storage space is occupied when temporary storage is performed during transportation. In addition, there is a problem that it takes time to transport the containers together in another place.
In view of this, a container has been devised in which thin plate-like articles can be individually placed and the containers can be stacked for temporary storage or transfer to another place. However, in these containers, there is a problem that dust accumulates in the containers or dust is generated from the containers when they are stacked to contaminate the placed article. In addition, when a plurality of containers are stacked, the overall weight increases, and there is a problem that storage and transportation are inconvenient.

このような問題を解決するために、４本の枠部材からなる矩形状の外枠と、枠部材間に掛け渡された複数の桟とからなるワーク搬送用トレイが考案された（例えば、特許文献１を参照。）。
図２２に、そのようなトレイ２０１が段積みされた構造を示す（なお、以下、複数のトレイ２０１が積まれた状態を「段積みトレイ」という。）。トレイ２０１は、主に、枠２０２と複数の桟２０４とから構成されている。枠２０２は、複数の桟２０４を支持する複数の支持部２１２と、支持部２１２から外側に向かって高くなる傾斜部２１３と、傾斜部２１３の上部から外方に延びる外側平坦部２１１とを有している。桟２０４の上には、例えば、ガラス基板Ｓが載置される。外側平坦部２１１には、複数の樹脂ブロック２０８が設けられている。樹脂ブロック２０８は、外側平坦部２１１に形成された穴に下方から挿入された状態で固定され、積まれた他のトレイ２０１の樹脂ブロック２０８に係合するようになっている。複数のトレイ２０１が積み重ねられた状態で、各樹脂ブロック２０８は、自らが固定されたトレイ２０１の重量を支持するとともに、上側にある他のトレイ２０１の重量も支持する。樹脂ブロック２０８の高さを低く設定することで、各トレイ２０１同士のピッチを小さくできる。具体的には、トレイ２０１の傾斜部２１３の内側の収容空間内に、上側にある他のトレイ２０１の傾斜部２１３が入り込んでいる。
特開２００７−３５７６１号公報 In order to solve such a problem, a work transfer tray comprising a rectangular outer frame composed of four frame members and a plurality of crossings spanned between the frame members has been devised (for example, a patent) See reference 1.)
FIG. 22 shows a structure in which such trays 201 are stacked (hereinafter, a state in which a plurality of trays 201 are stacked is referred to as a “stacked tray”). The tray 201 mainly includes a frame 202 and a plurality of crosspieces 204. The frame 202 has a plurality of support portions 212 that support the plurality of crosspieces 204, an inclined portion 213 that rises outward from the support portion 212, and an outer flat portion 211 that extends outward from the upper portion of the inclined portion 213. is doing. On the crosspiece 204, for example, a glass substrate S is placed. The outer flat portion 211 is provided with a plurality of resin blocks 208. The resin block 208 is fixed in a state where it is inserted from below into a hole formed in the outer flat portion 211, and engages with the resin block 208 of another stacked tray 201. In a state where the plurality of trays 201 are stacked, each resin block 208 supports the weight of the tray 201 to which the resin block 208 is fixed, and also supports the weight of the other tray 201 on the upper side. By setting the height of the resin block 208 low, the pitch between the trays 201 can be reduced. Specifically, the inclined portion 213 of the other tray 201 on the upper side enters the accommodation space inside the inclined portion 213 of the tray 201.
JP 2007-35761 A

従来のトレイ２０１では、樹脂ブロック２０８は桟２０４より高い位置に配置されている。したがって、クレーンが段積みトレイを搬入出する際に、クレーンの爪３０１がトレイ２０１の外枠傾斜部２１３に接触しないように回避して、段積みトレイの下側に潜り込む必要があった。図２２（ａ）は、クレーンのフォークの爪３０１が段積みトレイの下方に入り込んだ状態を示している。爪３０１の先端には、上側に延びる支持部３０１ａが形成されている。図２２（ｂ）は爪３０１が上昇して樹脂ブロック２０８を支持している状態を示している。この状態では、爪３０１の支持部３０１ａが樹脂ブロック２０８の下面を支持している。
以上の構造及び動作では、図から明らかなように、図２２（ａ）のｌ（枠２０２の最下面と樹脂ブロック２０８の下面との上下方向間隔）以上のストロークＬが必要になる。 In the conventional tray 201, the resin block 208 is arranged at a position higher than the crosspiece 204. Therefore, when the crane carries in and out the stacking tray, it is necessary to avoid the claws 301 of the crane from coming into contact with the outer frame inclined portion 213 of the tray 201 and to enter the lower side of the stacking tray. FIG. 22A shows a state in which the fork claws 301 of the crane have entered the lower side of the stacking tray. A support portion 301 a extending upward is formed at the tip of the claw 301. FIG. 22B shows a state where the claw 301 is lifted to support the resin block 208. In this state, the support portion 301 a of the claw 301 supports the lower surface of the resin block 208.
In the structure and operation described above, as is apparent from the drawing, a stroke L greater than 1 (the vertical distance between the lowermost surface of the frame 202 and the lower surface of the resin block 208) in FIG.

さらに、枠２０２の強度確保のために傾斜部２１３を高くすると、図のｌ、Ｈ(支持部30１ａの高さ）、Ｌがそれぞれ高くなる。つまり、ガラス基板Ｓが大型化すると、上記問題はより顕著になる。
また、２つの段積みトレイの間、あるいは段積みトレイとこれを上下動させるためのリフタ間にフォーク３０１が入る場合、Ｈが大きいと、より大きなスペースを確保する必要がある。
また、段積みトレイを床面に直置きする場合は、樹脂ブロックを支持するための置き台を用意しなければならなかった。
本発明の課題は、段積みトレイの搬入出が容易になるワーク搬送用トレイを提供することにある。 Further, when the inclined portion 213 is increased in order to ensure the strength of the frame 202, l, H (height of the support portion 301a), and L in the figure increase. That is, when the glass substrate S is enlarged, the above problem becomes more prominent.
Further, when the fork 301 enters between the two stacking trays or between the stacking tray and the lifter for moving the stacking tray up and down, if H is large, it is necessary to secure a larger space.
In addition, when placing the stacking tray directly on the floor surface, a stand for supporting the resin block had to be prepared.
The subject of this invention is providing the tray for a workpiece | work conveyance which becomes easy to carry in / out of a stacking tray.

請求項１に記載のワーク搬送用トレイは、薄板状のワークの搬送に用いられるものであって、ワーク載置部と矩形状の枠と支持部を備えている。ワーク載置部は、ワークを載置するワーク載置面を有する。支持部は、枠に設けられ、ワーク載置部を支持する。枠は、支持部から外方に向かって下り勾配であり下端部がワーク載置面より低い傾斜部を有している。
このトレイでは、枠に傾斜部を設けることで枠の強度が十分に確保されている。さらに、枠の傾斜部が下り勾配であるため、傾斜部の下端部がワーク載置面より低い位置にあり、そのため段積みトレイの搬入出の際にクレーンのフォークが傾斜部との接触を容易に回避できる。そのため、段積みトレイの搬入出が容易になる。
なお、支持部は、枠と一体に形成されていても良いし、枠に固定された別部材でも良い。 A workpiece transfer tray according to a first aspect is used for transferring a thin plate-like workpiece, and includes a workpiece placement portion, a rectangular frame, and a support portion. The workpiece placement unit has a workpiece placement surface on which the workpiece is placed. A support part is provided in a frame and supports a workpiece | work mounting part. The frame has an inclined portion that is downwardly inclined outward from the support portion and whose lower end portion is lower than the workpiece placement surface.
In this tray, the strength of the frame is sufficiently secured by providing the inclined portion on the frame. Furthermore, since the inclined part of the frame is downwardly inclined, the lower end of the inclined part is at a position lower than the workpiece placement surface, so that the crane fork can easily contact the inclined part when loading and unloading the stacking tray. Can be avoided. Therefore, loading and unloading of the stacking tray becomes easy.
The support part may be formed integrally with the frame or may be a separate member fixed to the frame.

請求項２に記載のワーク搬送用トレイは、請求項１において、ワーク載置部のワーク載置面の周囲を覆う周囲より高い壁を有する囲い部材をさらに備えている。
従来のワーク搬送用トレイのように枠の傾斜部が外側向かって上り勾配の場合は、傾斜部がワーク載置部の周囲に配置されているため、ワークの飛び出しの問題が生じにくい。一方、請求項１に記載のワーク搬送用トレイのように枠の傾斜部が外方に向かって下り勾配である場合は、ワークの飛び出しの問題に対処する必要がある。そこで、このトレイでは、囲い部材を設けることで、例えば装置の急停止によってワークが移動しても、ワークのワーク搬送用トレイからの飛び出しを防止している。 According to a second aspect of the present invention, the workpiece transfer tray according to the first aspect further includes a surrounding member having a wall higher than the periphery covering the periphery of the workpiece mounting surface of the workpiece mounting portion.
In the case where the inclined portion of the frame is upwardly inclined like the conventional workpiece transfer tray, since the inclined portion is disposed around the workpiece placement portion, the problem of the workpiece jumping out hardly occurs. On the other hand, when the inclined portion of the frame is downwardly inclined as in the workpiece transfer tray according to the first aspect, it is necessary to deal with the problem of the workpiece jumping out. In view of this, in this tray, by providing an enclosing member, even if the workpiece moves due to a sudden stop of the apparatus, for example, the workpiece is prevented from jumping out from the workpiece transfer tray.

請求項３に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項２において、囲い部材は、枠の傾斜部と一体に形成されている。
このトレイでは、囲い部材が傾斜部と一体に形成されているため、部品点数を削減できる。 According to a third aspect of the present invention, there is provided the workpiece transfer tray according to the second aspect, wherein the enclosure member is formed integrally with the inclined portion of the frame.
In this tray, since the surrounding member is formed integrally with the inclined portion, the number of parts can be reduced.

請求項４に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項１〜３のいずれかにおいて、ワーク載置部は、枠に掛け渡されワーク載置面を上面に有する細長い複数の載置部材を有している。支持部は、枠に固定され載置部材の端部を支持する複数の支持部材を有する。
このトレイでは、複数の載置部材が複数の支持部材によって支持されているため、全体が軽量化される。 In the workpiece transfer tray according to claim 4, in any one of claims 1 to 3, the workpiece mounting portion includes a plurality of elongated mounting members that span the frame and have a workpiece mounting surface on the upper surface. ing. The support portion includes a plurality of support members that are fixed to the frame and support the end portions of the placement member.
In this tray, since the plurality of placement members are supported by the plurality of support members, the entire weight is reduced.

請求項５に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項２または３において、枠は、傾斜部の下端部から外方に延びる延出部をさらに有している。トレイは、延出部に設けられ、他のワーク搬送用トレイに重ねられた状態で他のワーク搬送用トレイとの接触を避けるためスペースを確保するスペーサをさらに備えている。傾斜部の内方には、下に積まれた他のワーク搬送用トレイの囲い部材の少なくとも一部が収容される収容空間が形成されている。
このトレイでは、複数のワーク搬送用トレイが積まれた状態で、スペーサを介して各ワーク搬送用トレイは互いにスペースを確保した状態が保持される。この場合は、下に積まれたワーク搬送用トレイの囲い部材の少なくとも一部が、上に積まれたワーク搬送用トレイの傾斜部の内方にある収容空間に収容される。したがって、積み上げられたトレイ間のピッチが小さくなり、段積みトレイの高さが低くなる。 According to a fifth aspect of the present invention, in the second or third aspect, the frame further includes an extending portion extending outward from a lower end portion of the inclined portion. The tray further includes a spacer that is provided in the extending portion and that secures a space to avoid contact with the other work transport tray in a state of being stacked on the other work transport tray. An accommodation space in which at least a part of an enclosure member of another workpiece transfer tray stacked below is accommodated is formed inside the inclined portion.
In this tray, in a state where a plurality of workpiece transfer trays are stacked, the workpiece transfer trays are maintained in a state in which a space is secured through the spacers. In this case, at least a part of the enclosure member of the workpiece transfer tray stacked below is accommodated in the accommodation space inside the inclined portion of the workpiece transfer tray stacked thereon. Therefore, the pitch between the stacked trays is reduced, and the height of the stacking tray is reduced.

本発明に係るワーク搬送用トレイでは、枠の傾斜部が外方に向かって下り勾配であるため、段積みトレイの搬入出が容易になる。   In the workpiece transfer tray according to the present invention, the inclined portion of the frame is downwardly inclined toward the outside, so that loading and unloading of the stacking tray is facilitated.

１．第１実施形態
以下、本発明を適用したワーク搬送用トレイの実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
（１）ワーク搬送用トレイの全体構造
図１は本発明に係るワーク搬送用トレイ１（以下、「トレイ１」とする）の一実施形態の構成を示す斜視図であり、図２はトレイ１の上面図である。
トレイ１は、薄板状の物品が載置され、物品を搬送するために用いられる。トレイ１は、主に、矩形状の外枠２と、外枠２の対向する長辺枠部材２ａの間に掛け渡された複数の桟４（ワーク載置部）とを備えている。なお、この実施例では、薄板状の物品としてガラス基板Ｓを用いて説明する。
（２）外枠の構造
外枠２は、２本の長辺枠部材２ａと２本の短辺枠部材２ｂとから構成される。本実施例における枠部材２ａ，２ｂには一定の板厚のアルミ押し出し材が使用されている。 1. First Embodiment Hereinafter, an embodiment of a workpiece transfer tray to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.
(1) Overall Structure of Work Transfer Tray FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an embodiment of a work transfer tray 1 (hereinafter referred to as “tray 1”) according to the present invention. FIG.
The tray 1 is used for carrying thin articles on which thin articles are placed. The tray 1 mainly includes a rectangular outer frame 2 and a plurality of crosspieces 4 (work placement portions) spanned between long side frame members 2a facing the outer frame 2. In this embodiment, a glass substrate S will be described as a thin plate-like article.
(2) Structure of outer frame The outer frame 2 is composed of two long-side frame members 2a and two short-side frame members 2b. The frame members 2a and 2b in the present embodiment are made of an extruded aluminum material having a certain thickness.

図３及び図４は段積みされたトレイ１の部分斜視図であり、図５は段積みされたトレイ１の部分縦断面図である。
枠部材２ａ，２ｂは、図５の断面形状から明らかなように、外側平坦部１１と、外側平坦部１１よりも高い位置に形成される内側平坦部１２を備えており、外側平坦部１１と内側平坦部１２の間に傾斜部１３が設けられている。内側平坦部１２は傾斜部１３の上端部から内方に延出しており、外側平坦部１１は傾斜部１３の下端部から外方に延出している。外側平坦部１１には、樹脂ブロック８（後述）を取り付けるためのブロック取付孔１７が複数箇所設けられている。傾斜部１３は、外枠２が形成されたときに下方に向けて広がった形状となるように角度が付けられている。
傾斜部１３の高さは、枠部材２ａ，２ｂ同士が長方形の外枠２として組み合わされた場合に、外枠２の平面度を所定量以内に維持するために必要な強度を保てる高さに設定される。このため、傾斜部１３の高さが、１枚の基板Ｓを安全に収容するために必要な収容高さを越えた高さになる場合がある。ここで、「安全に収容する」とは、トレイが段積みされた状態において、ガラス基板が全て、あるいは一部のトレイに搭載されており、全体が所定の移動により振動を加えられても、ガラス基板や桟の上面が上側の桟に接触することがない、ことを意味する。外枠２の形状が大型化された場合には要求される強度が大きくなり、外枠２を強化するために傾斜部１３の高さはより高くなる。小型の外枠２で要求される強度が低い場合には、傾斜部１３を低くすることができる。 3 and 4 are partial perspective views of the stacked trays 1, and FIG. 5 is a partial vertical sectional view of the stacked trays 1.
As is clear from the cross-sectional shape of FIG. 5, the frame members 2 a and 2 b include an outer flat portion 11 and an inner flat portion 12 formed at a position higher than the outer flat portion 11. An inclined portion 13 is provided between the inner flat portions 12. The inner flat portion 12 extends inward from the upper end portion of the inclined portion 13, and the outer flat portion 11 extends outward from the lower end portion of the inclined portion 13. The outer flat portion 11 is provided with a plurality of block mounting holes 17 for mounting a resin block 8 (described later). The inclined portion 13 is angled so as to have a shape that expands downward when the outer frame 2 is formed.
The height of the inclined portion 13 is such that when the frame members 2a and 2b are combined as a rectangular outer frame 2, the strength required to maintain the flatness of the outer frame 2 within a predetermined amount is maintained. Is set. For this reason, the height of the inclined portion 13 may be higher than the accommodation height necessary for safely accommodating one substrate S. Here, “accommodate safely” means that in a state where the trays are stacked, all or part of the glass substrate is mounted on the tray, and even if the whole is subjected to vibration by a predetermined movement, It means that the upper surface of the glass substrate or the crosspiece does not contact the upper crosspiece. When the shape of the outer frame 2 is increased, the required strength is increased, and the height of the inclined portion 13 is increased in order to strengthen the outer frame 2. When the strength required for the small outer frame 2 is low, the inclined portion 13 can be lowered.

枠部材２ａ，２ｂ同士を接合することにより、本実施例の外枠２が形成される。本実施例の外枠２は、その断面形状が、上述したように、外側平坦部１１、外側平坦部１１の内側端から連続して上昇する傾斜部１３、この傾斜部１３の上端部から連続する内側平坦部１２とで形成される。形成された外枠２の単体としての高さは傾斜部１３の高さで決定されるが、複数のトレイ１を積み重ねる場合には、傾斜部１３で囲まれた部分の一部が、別のトレイが入り込むための収容空間１３ａ（図５）として機能するために、より小さいピッチで積み重ねることが可能となる。
長辺枠部材２ａと短辺枠部材２ｂは、両端同士が、図１２に示すように、第１接合部材２８と第２接合部材２９によって接合される。第１接合部材２８は、Ｌ字形状のプレートであって、枠部材２ａ，２ｂの内側平坦部１２同士をリベットを介して固定している。第２接合部材２９は、Ｌ字形状のプレートであって、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１同士をリベットを介して固定している。
（３）桟の構造
外枠２の対向する長辺枠部材２ａの間に、複数の桟４が掛け渡されて、ガラス基板Ｓの載置部を構成している。桟４には一定の板厚のアルミ押し出し材が使用されている。 By joining the frame members 2a and 2b, the outer frame 2 of the present embodiment is formed. As described above, the outer frame 2 of this embodiment has a cross-sectional shape that is continuous from the outer flat portion 11, the inclined portion 13 that continuously rises from the inner end of the outer flat portion 11, and the upper end portion of the inclined portion 13. The inner flat portion 12 is formed. The height of the formed outer frame 2 as a single unit is determined by the height of the inclined portion 13, but when stacking a plurality of trays 1, a part of the portion surrounded by the inclined portion 13 is separated by another portion. Since the tray functions as an accommodation space 13a (FIG. 5) for entering, it can be stacked at a smaller pitch.
Both ends of the long side frame member 2a and the short side frame member 2b are joined by a first joining member 28 and a second joining member 29 as shown in FIG. The first joining member 28 is an L-shaped plate, and fixes the inner flat portions 12 of the frame members 2a and 2b through rivets. The second joining member 29 is an L-shaped plate, and fixes the outer flat portions 11 of the frame members 2a and 2b to each other via rivets.
(3) Structure of crosspieces A plurality of crosspieces 4 are stretched between the long-side frame members 2a of the outer frame 2 that face each other to constitute a placement portion for the glass substrate S. The crosspiece 4 is made of an extruded aluminum material having a certain thickness.

外枠２の長辺枠部材２ａには、桟４を支持するための複数の支持部材１４が固定されている。支持部材１４は、図５に示すように、プレート部材であって、外枠２の傾斜部１３の内側に接して図示しないリベットによって固定される固定部１４ａと、その上端から内側に延びる支持部１４ｂとを有している。
桟４の一端部の拡大図を図１０に示す。桟４は、ワーク載置面としての平坦部４１と、その両側に形成され断面コの字形状を構成する一対の側壁部４２と、各側壁部４２から外側に延びる一対のフランジ４３とから構成されている。以上の形状によって、桟４は、平板の部材を用いた場合よりも梁強度が向上しており、このため、桟４にはより板厚の薄い素材を用いることが可能となっており、桟４の軽量化が図られている。平坦部４１の上面には、ガラス基板Ｓを支持するための複数の載置ピン４４が固定されている。載置ピン４４は耐磨耗性の高いポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ（登録商標））や超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）等で形成されており、ガラス基板Ｓを繰り返し搭載しても、磨耗によるダストがほとんど発生せず、ガラス基板Ｓを汚染しない。平坦部４１の両端には、断面コの字形状内に支持部材１４の支持部１４ｂが配置されており、両者は図示しないリベットによって固定されている。このようにして、平坦部４１は、支持部材１４を介して外枠２に支持されている。 A plurality of support members 14 for supporting the crosspiece 4 are fixed to the long side frame member 2 a of the outer frame 2. As shown in FIG. 5, the support member 14 is a plate member that is in contact with the inside of the inclined portion 13 of the outer frame 2 and fixed by a rivet (not shown), and a support portion that extends inward from the upper end thereof. 14b.
An enlarged view of one end of the crosspiece 4 is shown in FIG. The crosspiece 4 includes a flat portion 41 as a workpiece placement surface, a pair of side wall portions 42 formed on both sides thereof to form a U-shaped cross section, and a pair of flanges 43 extending outward from the side wall portions 42. Has been. Due to the above shape, the crosspiece 4 has improved beam strength compared to the case of using a flat plate member. For this reason, it is possible to use a thinner material for the crosspiece 4. 4 is reduced in weight. A plurality of mounting pins 44 for supporting the glass substrate S are fixed to the upper surface of the flat portion 41. The mounting pin 44 is formed of polyether ether ketone (PEEK (registered trademark)) or ultra-high molecular weight polyethylene (UPE) having high wear resistance. Even if the glass substrate S is repeatedly mounted, the mounting pin 44 is worn. Dust is hardly generated and the glass substrate S is not contaminated. At both ends of the flat portion 41, support portions 14b of the support member 14 are disposed in a U-shaped cross section, and both are fixed by rivets (not shown). In this way, the flat portion 41 is supported by the outer frame 2 via the support member 14.

このトレイ１では、外枠２の枠部材２ａ，２ｂの傾斜部１３の上部と内側平坦部１２が、桟４の平坦部４１の周囲を覆う囲い部材として機能している。具体的には、囲い部材は、桟４の平坦部４１より高い壁となっている。したがって、ガラス基板Ｓの外周部が外部から保護されている。また、例えば装置の急停止によってガラス基板Ｓが移動しても、ガラス基板Ｓがトレイ１から飛び出したり、あるいは、万一破損した場合でも破片が周囲に飛散しにくい構造となっている。
（４）樹脂ブロックの構造
樹脂ブロック８は、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１に取りつけられた部材であり、各トレイ１同士の高さ方向のスペースを確保するためのスペーサであり、さらに各トレイ１同士の位置ずれを防止するためのトレイ位置規制部材である。 In this tray 1, the upper part of the inclined part 13 and the inner flat part 12 of the frame members 2 a and 2 b of the outer frame 2 function as a surrounding member that covers the periphery of the flat part 41 of the crosspiece 4. Specifically, the surrounding member is a wall higher than the flat portion 41 of the crosspiece 4. Therefore, the outer peripheral part of the glass substrate S is protected from the outside. Further, for example, even if the glass substrate S moves due to a sudden stop of the apparatus, even if the glass substrate S jumps out of the tray 1 or is broken, it is difficult for fragments to scatter around.
(4) Resin Block Structure The resin block 8 is a member attached to the outer flat portion 11 of the frame members 2a and 2b, and is a spacer for securing a space in the height direction between the trays 1, It is a tray position restricting member for preventing displacement between the trays 1.

樹脂ブロック８は、上下に積み重ねられるトレイ１との接触部となるために、ダストの発生が抑えられた素材で形成されることが好ましい。本実施例における樹脂ブロック８は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れたＰＥＥＫやＵＰＥで形成されている。樹脂ブロック８は、ブロック同士が接触しても摩耗が極めて少なく、ダストが発生したとしても落下しにくいために、搬送するガラス基板Ｓを汚染しにくい。
（５）第１樹脂ブロックと第２樹脂ブロックの構造および配置
樹脂ブロック８は、２種類のブロック、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂを有している。以下、各ブロックの構造を説明し、次に配置を説明する。
（ａ）共通構造
図６（ａ）は第１樹脂ブロック８Ａの上面図であり、図６（ｂ）は第１樹脂ブロック８Ａの正面図であり、図６（ｃ）は第１樹脂ブロック８Ａの底面図であり、図６（ｄ）は第１樹脂ブロック８Ａの側面図である。図８（ａ）は第２樹脂ブロック８Ｂの正面図であり、図８（ｂ）第２樹脂ブロック８Ｂの底面図であり、図８（ｃ）は第２樹脂ブロック８Ｂの側面図である。 Since the resin block 8 serves as a contact portion with the tray 1 stacked vertically, it is preferable that the resin block 8 be formed of a material in which generation of dust is suppressed. The resin block 8 in this embodiment is made of PEEK or UPE having high wear resistance and excellent mechanical strength. The resin block 8 has very little wear even when the blocks come into contact with each other, and even if dust is generated, the resin block 8 is unlikely to fall, and thus hardly contaminates the glass substrate S to be conveyed.
(5) Structure and arrangement of first resin block and second resin block The resin block 8 has two types of blocks, a first resin block 8A and a second resin block 8B. Hereinafter, the structure of each block will be described, and then the arrangement will be described.
(A) Common Structure FIG. 6A is a top view of the first resin block 8A, FIG. 6B is a front view of the first resin block 8A, and FIG. 6C is the first resin block 8A. FIG. 6D is a side view of the first resin block 8A. FIG. 8A is a front view of the second resin block 8B, FIG. 8B is a bottom view of the second resin block 8B, and FIG. 8C is a side view of the second resin block 8B.

最初に、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの共通構造について説明する。
樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、主に、略直方体の本体部２０を有している。本体部２０は、図左右方向に長くなっている。本体部２０の高さは、１枚の基板Ｓを安全に収容するための収容高さＨ１（図５を参照）と等しくなるように形成されている。本体部２０の上面には凸部２１が設けられている。凸部２１は、概ね円錐形または円錐台形状に形成されている。
本体部２０の両側部には、トレイを段積み、段ばらしする際に支持するための接触部となる被支持部２３が延びている。被支持部２３には、枠部材２ａ，２ｂに樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔２４が貫通しており、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、外枠２に、取付孔２４を貫通するボルト・ナット１９（図１３）もしくはリベットによって固定される。図３と図４は、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂが枠部材２ａ，２ｂにボルト・ナットもしくはリベットによって固定された状態を示す斜視図である。樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、被支持部２３の上面が枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１の下面に突き当てられて、ブロック取付孔１７から凸部２１と本体部２０の上部が突出した状態で固定されている。樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、本体部２０の上面が、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１よりも高くなっている。また、本体部２０の下面（後述する凸部２５の下面）は、外側平坦部１１の下面よりも低くなっている。 First, a common structure of the first resin block 8A and the second resin block 8B will be described.
The resin blocks 8A and 8B mainly have a substantially rectangular parallelepiped main body portion 20. The main body 20 is long in the left-right direction in the figure. The height of the main body 20 is formed to be equal to the housing height H1 (see FIG. 5) for safely housing one substrate S. A convex portion 21 is provided on the upper surface of the main body portion 20. The convex portion 21 is generally formed in a conical shape or a truncated cone shape.
Extending on both sides of the main body 20 is a supported portion 23 that serves as a contact portion for supporting trays stacked and stacked. An outer frame mounting hole 24 for fixing the resin block 8 to the frame members 2a and 2b passes through the supported portion 23, and the resin blocks 8A and 8B pass through the mounting hole 24 through the outer frame 2. It is fixed by bolts and nuts 19 (FIG. 13) or rivets. 3 and 4 are perspective views showing a state in which the resin blocks 8A and 8B are fixed to the frame members 2a and 2b by bolts / nuts or rivets. In the resin blocks 8A and 8B, the upper surface of the supported portion 23 is abutted against the lower surface of the outer flat portion 11 of the frame members 2a and 2b, and the convex portion 21 and the upper portion of the main body portion 20 protrude from the block mounting hole 17 It is fixed with. As for resin block 8A, 8B, the upper surface of the main-body part 20 is higher than the outer side flat part 11 of frame member 2a, 2b. Further, the lower surface of the main body 20 (the lower surface of the convex portion 25 described later) is lower than the lower surface of the outer flat portion 11.

このような配置により、上下方向にトレイ１を多段で積み重ねると、各々のトレイ１の樹脂ブロック８Ａ，８Ｂの本体部２０の上面と下面が互いに接することとなり、トレイ１は、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂの本体部２０の高さをピッチとして積み重ねられる。
以上に述べたように、本実施例のトレイ１は、接触部である樹脂ブロック８Ａ，８Ｂと外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成となっている。このことにより、接触部だけにダストの発生を抑えられた素材を適用することが可能となり、接触部を容易に加工し、形成することができる。一方、外枠２の他の部分は、他のトレイ１や設備等とほとんど接触しないため、ダストの抑制よりも強度を重視した素材を適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。 With such an arrangement, when the trays 1 are stacked in multiple stages in the vertical direction, the upper and lower surfaces of the main body 20 of the resin blocks 8A and 8B of the respective trays 1 are in contact with each other, and the tray 1 has the resin blocks 8A and 8B. Are stacked using the height of the main body 20 as a pitch.
As described above, the tray 1 of the present embodiment has a configuration in which the resin blocks 8A and 8B as the contact portions and the outer frame 2 are separately formed from different materials and then fixed. As a result, it is possible to apply a material in which dust generation is suppressed only to the contact portion, and the contact portion can be easily processed and formed. On the other hand, since the other parts of the outer frame 2 are hardly in contact with other trays 1 or facilities, it is possible to apply a material that emphasizes strength rather than dust suppression, and the material of the outer frame 2 is selected. The degree of freedom can be expanded.

（ｂ）異なる構造
次に、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの異なる構造について説明する。
図６に示すように、第１樹脂ブロック８Ａの本体部２０の下面には、凹部２２が設けられている。凹部２２は、本体部２０の長手方向に延びる一対の凸部２５の間に形成されており、両端が開放された溝である。凹部２２は、上面の凸部２１に対応した断面形状を有している。図７は２つの第１樹脂ブロック８Ａが互いに係合した状態を示す側面図である。この状態で、第１樹脂ブロック８Ａは本体部２０の長手方向に相対移動可能である。また、第１樹脂ブロック８Ａは凸部２１の中心軸回りに相対回転可能である。
図８に示すように、第２樹脂ブロック８Ｂの本体部２０の下面には、凹部２６が設けられている。凹部２６は、本体部２０の長手方向に離れた一対の凸部２７の間に形成されており、本体部２０の短手方向に開放されている。図９は２つの第２樹脂ブロック８Ｂが互いに係合した状態を示す部分正面図である。この状態で、凸部２１は、凹部２６に対して左右・前後に隙間を確保している。以上より、第２樹脂ブロック８Ｂは、上側にあるトレイ１の重量は支持するが、トレイ１同士を位置決めしていない。 (B) Different Structure Next, different structures of the first resin block 8A and the second resin block 8B will be described.
As shown in FIG. 6, a recess 22 is provided on the lower surface of the main body 20 of the first resin block 8A. The concave portion 22 is formed between a pair of convex portions 25 extending in the longitudinal direction of the main body portion 20, and is a groove whose both ends are open. The concave portion 22 has a cross-sectional shape corresponding to the convex portion 21 on the upper surface. FIG. 7 is a side view showing a state where two first resin blocks 8A are engaged with each other. In this state, the first resin block 8 </ b> A is relatively movable in the longitudinal direction of the main body portion 20. The first resin block 8 </ b> A can be relatively rotated around the central axis of the convex portion 21.
As shown in FIG. 8, a recess 26 is provided on the lower surface of the main body 20 of the second resin block 8B. The concave portion 26 is formed between a pair of convex portions 27 that are separated in the longitudinal direction of the main body portion 20, and is open in the short direction of the main body portion 20. FIG. 9 is a partial front view showing a state where two second resin blocks 8B are engaged with each other. In this state, the convex portion 21 secures a gap in the left / right / front / rear direction with respect to the concave portion 26. From the above, the second resin block 8B supports the weight of the tray 1 on the upper side, but does not position the trays 1 to each other.

（ｃ）配置
第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの配置について説明する。図２に示すように、樹脂ブロック８Ａ、８Ｂは、各枠部材２ａ，２ｂに三カ所ずつ合計１２カ所に設けられている。
第１樹脂ブロック８Ａは、図２のＡ位置，Ｂ位置，Ｃ位置の三カ所に配置されている。Ａ位置，Ｂ位置は、図下側の短辺枠部材２ｂの両端側である。Ｃ位置は、図左側の長辺枠部材２ａ上の図下側の短辺枠部材２ｂから離れた側である。このように、Ａ位置の第１樹脂ブロック８ＡとＢ位置の第１樹脂ブロック８Ａは同じ短辺枠部材２ｂに配置されており、凹部２２の向きも同じである。それに対して、Ｃ位置の第１樹脂ブロック８Ａは、Ａ位置の第１樹脂ブロック８ＡとＢ位置の第１樹脂ブロック８Ａを結ぶ直線上に配置されておらず、さらに凹部２２の向きが両者の凹部２２の向きと異なる。残りの９カ所には、第２樹脂ブロック８Ｂが配置されている。 (C) Arrangement The arrangement of the first resin block 8A and the second resin block 8B will be described. As shown in FIG. 2, the resin blocks 8A and 8B are provided at a total of twelve locations, three at each of the frame members 2a and 2b.
The first resin block 8A is arranged at three positions of A position, B position, and C position in FIG. A position and B position are the both ends of the short side frame member 2b on the lower side in the figure. The position C is the side away from the lower side short-side frame member 2b on the long-side frame member 2a on the left side of the drawing. As described above, the first resin block 8A at the A position and the first resin block 8A at the B position are arranged on the same short side frame member 2b, and the direction of the concave portion 22 is also the same. On the other hand, the first resin block 8A at the C position is not arranged on the straight line connecting the first resin block 8A at the A position and the first resin block 8A at the B position, and the direction of the concave portion 22 is The direction of the recess 22 is different. Second resin blocks 8B are arranged at the remaining nine locations.

以上に述べた構造によって、部品精度や組立精度のバラツキにも影響を受けずに段積みが可能になる。さらに段積み後にも最小限の隙間で第１樹脂ブロック８Ａ同士が互いの移動を規制している。したがって、段積み状態で搬送中に急制動が作用した場合でも、トレイ１のずれの累積を最小限に抑えることができる。
なお、トレイ１の寸法が大きく、しかも軽量化のために外枠２の強度を十分にとれない場合は、図２の位置Ｄの第２樹脂ブロック８Ｂは、第１樹脂ブロック８Ａに置き換えても良い。Ｄ位置は、図左側の長辺枠部材２ａ上の図下側の短辺枠部材２ｂに近い側である。その場合は、外枠の弾性変形による樹脂ブロック８間の位置変化を効果的に制限することができる。
（６）基板位置決め部材の構造
次に、トレイ１に搭載されるガラス基板Ｓを位置決めするための基板位置決め部材３０を説明する。 The structure described above enables stacking without being affected by variations in component accuracy and assembly accuracy. Further, even after stacking, the first resin blocks 8A regulate each other's movement with a minimum gap. Therefore, even when sudden braking is applied during conveyance in the stacked state, the accumulation of the deviation of the tray 1 can be minimized.
When the size of the tray 1 is large and the strength of the outer frame 2 is not sufficient for weight reduction, the second resin block 8B at the position D in FIG. 2 may be replaced with the first resin block 8A. good. The D position is a side close to the short side frame member 2b on the lower side of the long side frame member 2a on the left side of the drawing. In that case, the positional change between the resin blocks 8 due to the elastic deformation of the outer frame can be effectively limited.
(6) Structure of Substrate Positioning Member Next, the substrate positioning member 30 for positioning the glass substrate S mounted on the tray 1 will be described.

図１１は基板位置決め部材３０の斜視図であり、図１２は外枠２の枠部材２ａ，２ｂの角部分の部分上面図であり、図１３は基板位置決め部材３０を含む外枠２周辺のトレイ１の断面図である。
基板位置決め部材３０は、外枠２の角部に固定され、ガラス基板Ｓの平面方向への移動を防止するための部材である。基板位置決め部材３０は、樹脂製であり、平坦部３１と、そこから下方に延びる柱部３２と、平坦部３１の一端から上方に延びる壁部３４と、その上端からなだらかに続いて直線状に延びる傾斜部３５と、その下端部からさらに伸びる平坦部３６とを有している。平坦部３６には、球形凸状の基板載置部３７が形成されている。平坦部３１および柱部３２にはネジ穴３３が形成されている。
基板位置決め部材３０は、図１２に示すように、外枠２の各角部の二カ所に設けられており、より具体的には、各枠部材２ａ，２ｂの両端位置から枠部材の長手方向に直角に延びて配置されている。基板位置決め部材３０の平坦部３１の上面は、外枠２の内側平坦部１２の下面に当接しており、壁部３４は内側平坦部１２の先端面に当接している。この状態で、例えばボルトがネジ穴３３に螺合することによって、基板位置決め部材３０は内側平坦部１２に固定されている。この結果、平坦部３６は内側平坦部１２より内側下方に位置しており、基板載置部３７にはガラス基板Ｓが載置されている。この状態で、傾斜部３５が基板Ｓの位置決めを行っている。傾斜部３５は、実際のガラス基板Ｓの寸法に対して片側で例えば１〜３ｍｍのクリアランスを確保できるように配置されている。 11 is a perspective view of the substrate positioning member 30, FIG. 12 is a partial top view of corner portions of the frame members 2 a and 2 b of the outer frame 2, and FIG. 13 is a tray around the outer frame 2 including the substrate positioning member 30. FIG.
The substrate positioning member 30 is a member that is fixed to the corner of the outer frame 2 and prevents the glass substrate S from moving in the plane direction. The substrate positioning member 30 is made of resin, and linearly follows the flat portion 31, the column portion 32 extending downward therefrom, the wall portion 34 extending upward from one end of the flat portion 31, and gently from the upper end thereof. It has the inclination part 35 extended and the flat part 36 further extended from the lower end part. A spherical convex substrate placement portion 37 is formed on the flat portion 36. A screw hole 33 is formed in the flat portion 31 and the column portion 32.
As shown in FIG. 12, the substrate positioning member 30 is provided at two positions at each corner of the outer frame 2, and more specifically, the longitudinal direction of the frame member from both end positions of the frame members 2a and 2b. It extends at a right angle to. The upper surface of the flat portion 31 of the substrate positioning member 30 is in contact with the lower surface of the inner flat portion 12 of the outer frame 2, and the wall portion 34 is in contact with the front end surface of the inner flat portion 12. In this state, for example, the board positioning member 30 is fixed to the inner flat portion 12 by screwing the bolt into the screw hole 33. As a result, the flat portion 36 is located on the inner lower side of the inner flat portion 12, and the glass substrate S is placed on the substrate placement portion 37. In this state, the inclined portion 35 positions the substrate S. The inclined portion 35 is arranged so that a clearance of, for example, 1 to 3 mm can be secured on one side with respect to the actual size of the glass substrate S.

また、ガラス基板Ｓをトレイ１上に搭載する際、傾斜部３５によりガラス基板Ｓ端面が誘い込まれ、位置ずれを補正する。
基板位置決め部材３０が従来の脱落防止部材と載置ピンとを一体化した構造であるため、ガラス基板Ｓと外枠２との間の隙間が従来より小さくなっている。この結果、従来のトレイに比べて外枠の小型化が達成されている。
なお、基板位置決め部材３０は、耐磨耗性の高いＰＥＥＫやＵＰＥで形成されており、基板Ｓが位置決めのために繰り返し接触しても、磨耗によるダストがほとんど発生せず、基板Ｓが汚染されにくい。
（７）段積みトレイの構造
図３および図４に、トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を示す。また、図５に、５枚重ねられたトレイ１の断面図を示す。図５から明らかなように、上から載せられた別のトレイ１の傾斜部１３が下側のトレイ１の傾斜部１３を覆って積み重ねられる。言い換えると、上側のトレイ１の傾斜部１３の内側の収容空間１３ａ内に下側のトレイ１の囲い部材（外枠２の枠部材２ａ，２ｂの傾斜部１３の上部と内側平坦部１２）が入り込む。そのため、積み重ねたときに小さなスペースで多くのトレイ１を保管することが可能となっている。 Further, when the glass substrate S is mounted on the tray 1, the end surface of the glass substrate S is guided by the inclined portion 35 and the positional deviation is corrected.
Since the substrate positioning member 30 has a structure in which the conventional drop-off preventing member and the mounting pin are integrated, the gap between the glass substrate S and the outer frame 2 is smaller than the conventional one. As a result, downsizing of the outer frame is achieved as compared with the conventional tray.
The substrate positioning member 30 is made of PEEK or UPE having high wear resistance. Even if the substrate S is repeatedly contacted for positioning, almost no dust is generated due to wear, and the substrate S is contaminated. Hateful.
(7) Structure of stacked trays FIGS. 3 and 4 show a state in which a plurality of trays 1 are stacked in the vertical direction. Further, FIG. 5 shows a cross-sectional view of the tray 1 in which five sheets are stacked. As is apparent from FIG. 5, the inclined portion 13 of another tray 1 placed from above is stacked so as to cover the inclined portion 13 of the lower tray 1. In other words, the enclosure member of the lower tray 1 (the upper portion of the inclined portion 13 of the frame members 2a and 2b of the outer frame 2 and the inner flat portion 12) is accommodated in the accommodation space 13a inside the inclined portion 13 of the upper tray 1. Get in. Therefore, many trays 1 can be stored in a small space when stacked.

本実施例のトレイ１は、外枠２に固定された樹脂ブロック８の本体部２０の上面と下面だけが互いに接した状態で積み重ねられる。樹脂ブロック８の高さが、１枚のガラス基板Ｓを安全に収容する為の収容高さＨ１となっており、トレイ１の外枠２の他の部分及び桟４は、積み重ねたときに上下のトレイ１とは接触しない。このことから、トレイ１は、樹脂ブロック８によって規定される高さ、即ち収容高さＨ１をピッチとして積み重ねられる。
トレイ１が樹脂ブロック８によって規定される収容高さＨ１のピッチで積み重ねられるとき、上側のトレイ１の外枠２内に、下側のトレイ１の外枠２が入り込む。たとえ、外枠２の強度を高くするために傾斜部１３の高さを高くしたトレイ１を積み重ねたとしても、傾斜部１３が上側のトレイ１の傾斜部１３の収容空間１３ａ内に納められている限り、全体の高さに対する影響は無い。このように、本実施例のトレイ１は、上側のトレイ１の傾斜部１３に、下側の別のトレイ１の傾斜部１３が入り込む収容空間１３ａが設けられることで、たとえ傾斜部１３の高さを変更した場合であっても、常により小さいピッチで積み重ねることが可能となっている。 The tray 1 of this embodiment is stacked with only the upper and lower surfaces of the main body 20 of the resin block 8 fixed to the outer frame 2 in contact with each other. The height of the resin block 8 is an accommodation height H1 for safely accommodating one glass substrate S, and the other part of the outer frame 2 of the tray 1 and the crosspiece 4 are vertically moved when stacked. It does not come into contact with the other tray 1. Therefore, the tray 1 is stacked with the height defined by the resin block 8, that is, the accommodation height H1 as a pitch.
When the tray 1 is stacked at a pitch of the accommodation height H <b> 1 defined by the resin block 8, the outer frame 2 of the lower tray 1 enters the outer frame 2 of the upper tray 1. Even if the tray 1 with the height of the inclined portion 13 is stacked in order to increase the strength of the outer frame 2, the inclined portion 13 is stored in the accommodation space 13 a of the inclined portion 13 of the upper tray 1. As long as there is no effect on the overall height. Thus, the tray 1 of the present embodiment is provided with the accommodating space 13a in which the inclined portion 13 of the other lower tray 1 enters the inclined portion 13 of the upper tray 1, so that the height of the inclined portion 13 is increased. Even when the height is changed, it is always possible to stack at a smaller pitch.

上述したように、本実施例のトレイ１が上下方向に積み重ねられているとき、上下のトレイ１の間では、樹脂ブロック８だけが接触しており、外枠２と桟４は他のトレイ１と全く接触しない。樹脂ブロック８はＰＥＥＫやＵＰＥで形成されているために接触によってもダストがほとんど発生しない。また外枠２と桟４は他のトレイ１と接触しないためにダストを発生させない。このように、本実施例のトレイ１は積み重ねてもダストがほとんど発生せず、基板Ｓの汚染が極めて小さい。
更に、本実施例のトレイ１は、上積みされたトレイ１の重量を、樹脂ブロック８が支持する構成となっており、外枠２には、上側のトレイ１の重量が加えられることがない。このために、外枠２は、自らの重量と、載置した基板Ｓの重量を支持できる強度を備えていればよく、外枠２によって上積みされたトレイ１を支持する構成を採用した場合と比較すると、要求される強度は小さい。このため、外枠２に要求される強度を容易に得ることができ、軽量化を図ることができる。
（８）段積みトレイを搬送する動作
次に、段積みトレイをフォークで搬送する際の動作について説明する。図１４は、段積みトレイの下部にフォーク１０１の一対の爪部１０１ａが配置された状態を示す斜視図、図１５は側面図、図１６は正面図である。なお、図１７は図１５の部分拡大図である。 As described above, when the trays 1 of this embodiment are stacked in the vertical direction, only the resin block 8 is in contact between the upper and lower trays 1, and the outer frame 2 and the crosspiece 4 are connected to the other trays 1. There is no contact at all. Since the resin block 8 is formed of PEEK or UPE, almost no dust is generated by contact. Further, since the outer frame 2 and the crosspiece 4 do not come into contact with other trays 1, dust is not generated. Thus, even if the tray 1 of this embodiment is stacked, dust is hardly generated, and the contamination of the substrate S is extremely small.
Furthermore, the tray 1 of this embodiment is configured such that the weight of the stacked trays 1 is supported by the resin block 8, and the weight of the upper tray 1 is not added to the outer frame 2. For this purpose, the outer frame 2 only needs to have a strength capable of supporting its own weight and the weight of the substrate S placed thereon, and a case of adopting a configuration that supports the tray 1 stacked by the outer frame 2. In comparison, the required strength is small. For this reason, the intensity | strength requested | required of the outer frame 2 can be obtained easily, and weight reduction can be achieved.
(8) Operation for transporting the stacking tray Next, the operation for transporting the stacking tray with a fork will be described. 14 is a perspective view showing a state in which the pair of claw portions 101a of the forks 101 are arranged at the lower part of the stacking tray, FIG. 15 is a side view, and FIG. 16 is a front view. FIG. 17 is a partially enlarged view of FIG.

フォーク１０１の一対の爪部１０１ａは、一方向に長く延びており、それぞれ先端と根元に支持部１０１ｂを有している。支持部１０１ｂは、各枠部材２ａ，２ｂの両端側に設けられた樹脂ブロック８を支持可能に配置されている。支持部１０１ｂは、樹脂ブロック８の下端部の外周を支持可能な二対の斜面と、樹脂ブロック８の下面に接して荷重を受ける平坦部とを有している。
このトレイ１では、樹脂ブロック８は桟４の平坦部４１（ワーク載置面）より低い位置に配置されている。したがって、従来とは異なり、支持部１０１ｂの高さを低くできるし、また爪部の上方向へのストロークを大きくとる必要がない。さらには、クレーンのフォークの操作が容易になり、具体的には、従来の問題（例えば外枠下面にフォークの爪３０１が衝突するおそれ）が少なくなり、作業効率が向上する。 The pair of claw portions 101a of the fork 101 extends long in one direction, and has support portions 101b at the tip and the base, respectively. The support portion 101b is disposed so as to be able to support the resin blocks 8 provided on both ends of each frame member 2a, 2b. The support portion 101 b has two pairs of slopes that can support the outer periphery of the lower end portion of the resin block 8 and a flat portion that receives a load in contact with the lower surface of the resin block 8.
In the tray 1, the resin block 8 is disposed at a position lower than the flat portion 41 (work placement surface) of the crosspiece 4. Therefore, unlike the prior art, the height of the support portion 101b can be reduced, and it is not necessary to increase the upward stroke of the claw portion. Furthermore, the operation of the fork of the crane is facilitated, specifically, the conventional problems (for example, the possibility that the fork pawl 301 collides with the lower surface of the outer frame) is reduced, and the working efficiency is improved.

さらに、トレイ１からなる段積みトレイの専用の置き台が不要になる。
２．他の実施形態
以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
（１）各部材の接合
外枠の辺部材同士の接合方法や接合箇所、外枠と桟の接合方法や接合箇所は、搭載する薄板状の物品の大きさや重量に合わせて、適宜変更が可能である。
（２）各部材の構造
外枠の形状や、樹脂ブロックの形状や配置を、作用効果を損なわない範囲において、変更することが可能である。
（３）外枠の変形例
図１８は、他の実施形態における外枠の断面形状である。外枠２’は、前記実施形態の構造に加えて、外側平坦部１１の外側縁から下方に延びる延長部１５と、その下端部から外方に延びるフランジ１６とを有している。このような断面二次モーメントを有する構造により、外枠２’の剛性は前記実施形態の外枠２の剛性より高くなっている。
（４）樹脂ブロックの変形例
図１９（ａ）は他の実施形態の第３樹脂ブロック１０８の上面図であり、図１９（ｂ）は第３樹脂ブロック１０８の縦断面図である。図２０は第３樹脂ブロック１０８の側面図である。 Further, a dedicated stand for the stacking tray made of the tray 1 is not required.
2. Other Embodiments Although specific examples of the present invention have been described in detail in the examples, these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above.
(1) Joining of each member The joining method and joining location of the side members of the outer frame, and the joining method and joining location of the outer frame and the crosspiece can be appropriately changed according to the size and weight of the thin plate-like article to be mounted. It is.
(2) Structure of each member The shape of the outer frame and the shape and arrangement of the resin block can be changed within a range that does not impair the effects.
(3) Modified Example of Outer Frame FIG. 18 shows a cross-sectional shape of the outer frame in another embodiment. In addition to the structure of the above embodiment, the outer frame 2 ′ has an extension 15 that extends downward from the outer edge of the outer flat portion 11 and a flange 16 that extends outward from the lower end thereof. Due to the structure having such a cross-sectional second moment, the rigidity of the outer frame 2 'is higher than the rigidity of the outer frame 2 of the embodiment.
(4) Modification Example of Resin Block FIG. 19A is a top view of the third resin block 108 of another embodiment, and FIG. 19B is a longitudinal sectional view of the third resin block 108. FIG. 20 is a side view of the third resin block 108.

第３樹脂ブロック１０８は、主に、略直方体の本体部１２０を有している。本体部１２０の高さは、１枚の基板Ｓを安全に収容する為の収容高さＨ１と等しくなるように形成されている。本体部１２０の上面には凸部１２１が設けられている。凸部１２１は、円錐台形状に形成されている。本体部１２０の両側部には、トレイを段積み、段ばらしする際に支持するための接触部となる被支持部１２３が延びている。被支持部１２３には、枠部材に樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔１２４が貫通している。
第３樹脂ブロック１０８は、外枠に、リベット若しくはネジによって固定される。第３樹脂ブロック１０８は、被支持部１２３の上面が枠部材の外側平坦部の下面に突き当てられて、ブロック取付孔から凸部１２１と本体部１２０の上部が突出した状態で固定されている。 The third resin block 108 mainly has a substantially rectangular parallelepiped main body 120. The height of the main body 120 is formed to be equal to the housing height H1 for safely housing one substrate S. A convex portion 121 is provided on the upper surface of the main body portion 120. The convex part 121 is formed in a truncated cone shape. Extending on both sides of the main body 120 are supported portions 123 serving as contact portions for supporting trays stacked and stacked. An outer frame attachment hole 124 for fixing the resin block 8 to the frame member passes through the supported portion 123.
The third resin block 108 is fixed to the outer frame with rivets or screws. The third resin block 108 is fixed in a state where the upper surface of the supported portion 123 is abutted against the lower surface of the outer flat portion of the frame member and the convex portion 121 and the upper portion of the main body portion 120 protrude from the block mounting hole. .

このような配置により、上下方向にワーク搬送用トレイを多段で積み重ねると、各々のトレイの第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の上面と下面が互いに接することとなり、ワーク搬送用トレイは、第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の高さをピッチとして積み重ねられる。
第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の下面には凹部１２２が設けられている。凹部１２２は、凸部１２１とほぼ同じ形状及び寸法の孔であり、凹部と凸部の隙間は必要最小限確保されている図２１は２つの第３樹脂ブロック１０８が互いに係合する関係を示す側面図である。この状態で、第３樹脂ブロック１０８は左右・前後方向にはほとんど移動不能であるが、回転方向に制限なく移動できる。
第３樹脂ブロック１０８は、トレイの全ての箇所に取りつけられていても良いし、前記実施形態における第１樹脂ブロック８Ａや第２樹脂ブロック８Ｂと適宜組み合わせられても良い。
（５）囲い部材の変形例
前記実施形態では桟４の周囲を囲む囲い部材は枠部材２ａ，２ｂの傾斜部１３と一体に形成されていたが、別部材であっても良いし、枠部材２ａ，２ｂではなく樹脂ブロック８に固定されていても良い。また、前記実施形態では囲い部材は内側に延びる内側平坦部を有していたが、必ずしもそのように内側に延びる部分を有する必要はない。
（６）外枠および桟の材料の変形例
前記実施形態では枠部材はアルミの押出加工形成されていたが、一定の板厚の鋼材（例えば、ＳＵＳ３０４）を板金加工によって同一の断面形状となるように加工しても良い。
（７）支持部材の変形例
前記実施形態では支持部材は枠部材に固定されていたが、支持部材は、内側平坦部と同様に、傾斜部に一体に形成されていても良い。 With such an arrangement, when the workpiece transfer trays are stacked in multiple stages in the vertical direction, the upper surface and the lower surface of the main body 120 of the third resin block 108 of each tray come into contact with each other, and the workpiece transfer tray is The height of the main body 120 of the resin block 108 is stacked as a pitch.
A recess 122 is provided on the lower surface of the main body 120 of the third resin block 108. The concave portion 122 is a hole having substantially the same shape and size as the convex portion 121, and a gap between the concave portion and the convex portion is ensured to a minimum. FIG. 21 shows a relationship in which the two third resin blocks 108 engage with each other. It is a side view. In this state, the third resin block 108 can hardly move in the left-right and front-rear directions, but can move without limitation in the rotation direction.
The 3rd resin block 108 may be attached to all the places of a tray, and may be suitably combined with the 1st resin block 8A and the 2nd resin block 8B in the above-mentioned embodiment.
(5) Modification of Enclosure Member In the above embodiment, the enclosure member surrounding the periphery of the crosspiece 4 is formed integrally with the inclined portion 13 of the frame members 2a and 2b, but it may be a separate member or a frame member. You may fix to the resin block 8 instead of 2a, 2b. Moreover, in the said embodiment, although the surrounding member had the inner side flat part extended inside, it does not necessarily need to have the part extended so inside.
(6) Modified examples of material of outer frame and crosspieces In the above embodiment, the frame member is formed by extrusion of aluminum, but a steel material (for example, SUS304) having a certain thickness is formed into the same cross-sectional shape by sheet metal processing. You may process as follows.
(7) Modification of Support Member Although the support member is fixed to the frame member in the above embodiment, the support member may be formed integrally with the inclined portion in the same manner as the inner flat portion.

また、支持部材と桟とを固定するリベットの数は１個に限定されない。つまり、リベットは複数個でも良い。   Further, the number of rivets for fixing the support member and the crosspiece is not limited to one. That is, a plurality of rivets may be used.

本発明の一実施形態としてのワーク搬送用トレイの斜視図。The perspective view of the tray for workpiece conveyance as one Embodiment of this invention. ワーク搬送用トレイの平面図。The top view of the tray for workpiece conveyance. 段積みトレイの角部の斜視図。The perspective view of the corner | angular part of a stacking tray. 段積みトレイの角部の斜視図。The perspective view of the corner | angular part of a stacking tray. 段積みトレイの部分断面図。The fragmentary sectional view of a stacking tray. 第１樹脂ブロックの各図。Each figure of the 1st resin block. 第１樹脂ブロック同士の載置を示すための側面図。The side view for showing placement of the 1st resin blocks. 第２樹脂ブロックの各図。Each figure of the 2nd resin block. 第２樹脂ブロック同士の載置を示すための側面図。The side view for showing mounting of the 2nd resin blocks. 桟の部分斜視図。The partial perspective view of a crosspiece. 位置決め部材の斜視図。The perspective view of a positioning member. ワーク搬送用トレイの部分平面図。The partial top view of the tray for workpiece conveyance. 位置決め部材の断面図。Sectional drawing of a positioning member. 段積みトレイを下部にフォークの爪部が配置された状態を示す斜視図。The perspective view which shows the state by which the nail | claw part of the fork was arrange | positioned under the stacking tray. 段積みトレイを下部にフォークの爪部が配置された状態を示す側面図。The side view which shows the state by which the nail | claw part of the fork was arrange | positioned under the stacking tray. 段積みトレイを下部にフォークの爪部が配置された状態を示す正面図。The front view which shows the state by which the nail | claw part of the fork was arrange | positioned under the stacking tray. 図１５の部分拡大図。The elements on larger scale of FIG. 他の実施形態における外枠の断面図。Sectional drawing of the outer frame in other embodiment. 他の実施形態における樹脂ブロックの各図。Each figure of the resin block in other embodiment. 他の実施形態における樹脂ブロックの側面図。The side view of the resin block in other embodiment. 他の実施形態における樹脂ブロック同士の係合を示すための部分断面図。The fragmentary sectional view for showing engagement of resin blocks in other embodiments. 従来技術の段積みトレイをフォークの爪で持ち上げる際の動作を説明するための図。The figure for demonstrating the operation | movement at the time of lifting the stacking tray of a prior art with the nail | claw of a fork.

符号の説明Explanation of symbols

１ ワーク搬送用トレイ
２ 外枠
２ａ 長辺枠部材
２ｂ 短辺枠部材
４ 桟
８ 樹脂ブロック
１１ 外側平坦部
１２ 内側平坦部
１３ 傾斜部
１３ａ 収容空間
２０ 本体部
２１ 凸部
２２ 凹部
２３ 被支持部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work conveyance tray 2 Outer frame 2a Long side frame member 2b Short side frame member 4 Crosspiece 8 Resin block 11 Outer flat part 12 Inner flat part 13 Inclined part 13a Accommodating space 20 Main body part 21 Protruding part 22 Recessed part 23 Supported part

Claims (5)

薄板状のワークの搬送に用いられるワーク搬送用トレイであって、
前記ワークを載置するワーク載置面を有するワーク載置部と、
矩形状の枠と、
前記枠に設けられ、前記ワーク載置部を支持する支持部とを備え、
前記枠は、前記支持部から外方に向かって下り勾配であり下端部が前記ワーク載置面より低い傾斜部を有している、
ワーク搬送用トレイ。 A workpiece transfer tray used for transferring a thin plate-shaped workpiece,
A workpiece placement section having a workpiece placement surface for placing the workpiece;
A rectangular frame;
A support portion provided on the frame and supporting the work placement portion;
The frame has a slope that is downwardly descending outward from the support portion and has a lower end portion that is lower than the workpiece placement surface.
Work transfer tray. 前記ワーク載置部の前記ワーク載置面の周囲を覆う前記周囲より高い壁を有する囲い部材をさらに備えている、請求項１に記載のワーク搬送用トレイ。   The work transfer tray according to claim 1, further comprising an enclosure member having a wall higher than the periphery that covers the periphery of the work placement surface of the work placement unit. 前記囲い部材は、前記枠の前記傾斜部と一体に形成されている、請求項２に記載のワーク搬送用トレイ。   The work conveying tray according to claim 2, wherein the surrounding member is formed integrally with the inclined portion of the frame. 前記ワーク載置部は、前記枠に掛け渡され前記ワーク載置面を上面に有する細長い複数の載置部材を有し、
前記支持部は、前記枠に固定され前記載置部材の端部を支持する複数の支持部材を有する、請求項１〜３のいずれかに記載のワーク搬送用トレイ。 The workpiece placement unit has a plurality of elongated placement members that span the frame and have the workpiece placement surface on the top surface,
The said support part is a tray for work conveyance in any one of Claims 1-3 which has a some support member fixed to the said frame and supporting the edge part of the said mounting member. 前記枠は、前記傾斜部の前記下端部から外方に延びる延出部をさらに有しており、
前記延出部に設けられ、他のワーク搬送用トレイに重ねられた状態で他のワーク搬送用トレイとの接触を避けるためのスペースを確保するスペーサをさらに備え、
前記傾斜部の内方には、下に積まれた他のワーク搬送用トレイの囲い部材の少なくとも一部が収容される収容空間が形成されている、請求項２または３に記載のワーク搬送用トレイ。 The frame further includes an extending portion extending outward from the lower end portion of the inclined portion,
A spacer for securing a space for avoiding contact with the other work transport tray in a state of being provided in the extension portion and overlaid on the other work transport tray;
The work space according to claim 2 or 3, wherein a housing space for housing at least a part of an enclosure member of another work transport tray stacked below is formed inside the inclined portion. tray.
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