JP2005089049A - Carrier system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently store trays in a layered condition in an automatic warehouse and transfer a desired transferred article to a processing device in a one-by-one fashion. <P>SOLUTION: In this system, the tray is stored in a shelf of the automatic warehouse 102 in the layered condition, and is transferred to a stacking storage device by a stacker crane 104, a desired tray is taken out to a conveyer 4, the transferred article is taken out from the tray at a station 6, and is carried to the processing device by a conveyer 10. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

この発明はトレイを用いた搬送システムに関する。   The present invention relates to a transport system using a tray.

液晶基板等の大形化に伴い、基板をカセットに複数枚収容して搬送するのは無理になりつつある。そこで発明者は、基板を1枚ずつトレイに収容して搬送することを検討したが、基板を収容したトレイを1枚ずつ保管すると保管効率が低下する。   With the increase in size of liquid crystal substrates and the like, it is becoming impossible to accommodate and transport a plurality of substrates in a cassette. Therefore, the inventor studied to store the substrates one by one in the tray and transport them. However, storing the trays storing the substrates one by one reduces the storage efficiency.

この発明の基本的課題は、トレイを積層保管できるようにして保管効率を増すと共に、トレイを1枚ずつ搬送でき、しかもトレイからの搬送物の出し入れができる、搬送システムを提供することにある。
請求項2の発明での追加の課題は、フォークやロボットのハンドなどを用いずに、トレイから搬送物を出し入れできるようにすることにある。
請求項3の発明での追加の課題は、搬送システムをクリーンルーム内に設置する場合において、局所的に高クリーン度を実現すれば良いようにすることにある。
A basic object of the present invention is to provide a transport system that can stack and store trays to increase storage efficiency, transport the trays one by one, and take in and out transported materials from the trays.
An additional problem in the invention of claim 2 is to enable a transported object to be taken in and out from the tray without using a fork or a robot hand.
An additional problem in the invention of claim 3 is to achieve a high degree of cleanness locally when the transport system is installed in a clean room.

この発明の搬送システムは、トレイを積層した状態で保管するための棚と、前記トレイを積層して保管するための積層保管装置と、前記棚と積層保管装置との間でトレイを積層した状態で搬送する搬送手段と、前記積層保管装置とトレイに搬送物を出し入れするためのステーションとを接続するコンベヤとを備えて、前記積層保管装置を、コンベヤとの間でトレイを1枚ずつやり取りすると共に、該コンベヤの搬送面よりも高い位置にトレイを積層保管するようにしたものである。なお積層保管装置では、積層したトレイを保持するためのチャックと、目的のトレイよりも下段のトレイを退避させるための退避手段とを備えて、積層保管したトレイ中の所望のトレイをコンベヤへ取り出せるようにすることが好ましい。   The transport system according to the present invention includes a shelf for storing trays in a stacked state, a stack storage device for stacking and storing the trays, and a stack of trays between the shelf and the stack storage device. And a conveyor for connecting the stack storage device and a station for loading and unloading the transported goods to and from the tray, and the tray is transferred to the stack storage device one by one with the conveyor. At the same time, the trays are stacked and stored at a position higher than the conveying surface of the conveyor. The stacked storage device includes a chuck for holding the stacked trays and a retracting unit for retracting a tray lower than the target tray, and a desired tray in the stacked and stored trays can be taken out to the conveyor. It is preferable to do so.

好ましくは、前記トレイの底部に開口を設けて、前記ステーションでは、該開口を介して搬送物の底面に搬送力を加えて、トレイから搬送物を出し入れする。   Preferably, an opening is provided in the bottom of the tray, and in the station, a conveying force is applied to the bottom surface of the conveyed product through the opening, and the conveyed product is taken in and out of the tray.

また好ましくは、前記コンベヤの少なくとも一部を平面視で前記棚と重ねて配置すると共に、前記棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とし、かつ前記ステーションと自動倉庫外の処理装置とを接続する搬送路、例えばステーションと処理装置間のコンベヤ、を局所的にクリーンに保つための手段を設ける。   Preferably, at least a part of the conveyor is arranged so as to overlap the shelf in a plan view, and the shelf, the stack storage device, the transport unit, the station, and a portion overlapping the shelf in the conveyor in a plan view are used for a clean room. And a means for locally keeping a conveyance path connecting the station and a processing device outside the automatic warehouse, for example, a conveyor between the station and the processing device.

この発明の搬送システムでは、積層保管装置と棚との間では、トレイを複数積層した状態で搬送して保管し、棚の保管効率や搬送手段の効率を向上させる。また積層保管装置とステーションとの間では、トレイをコンベヤで1枚ずつ搬送し、ステーションでトレイから搬送物を取り出し、処理装置へ搬送物を1枚ずつ供給する。なお積層保管装置を、積層したトレイを保持するためのチャックと、目的のトレイよりも下段のトレイを退避させるための退避手段とを備えて、積層保管したトレイ中の所望のトレイをコンベヤへ取り出せるようにすると、積層保管装置のチャックでトレイを積層して支持し、退避手段で不要なトレイを退避させて、目的のトレイのみを取り出すことができる。このため、積層保管装置で、棚に収容するために任意に積層されたトレイの中から、所望のトレイのみを取り出して、必要な搬送物を処理装置などに供給できる。従って、所望のトレイを一番下にする等の、トレイの積層順序を変更するための装置を設けたり、移載装置によりトレイの積層順序を変更して移載装置に負担をかける必要がない。   In the transport system according to the present invention, the stack storage device and the shelf are transported and stored in a state where a plurality of trays are stacked, thereby improving shelf storage efficiency and transport means efficiency. Further, between the stack storage device and the station, the trays are conveyed one by one by a conveyor, the conveyed items are taken out from the tray at the station, and the conveyed items are supplied to the processing device one by one. The stacked storage device includes a chuck for holding the stacked trays and a retracting means for retracting a tray lower than the target tray so that a desired tray in the stacked and stored trays can be taken out to the conveyor. By doing so, it is possible to stack and support the trays with the chuck of the stacking storage device, and retract the unnecessary trays with the retracting means, and take out only the target tray. For this reason, it is possible to take out only a desired tray from the trays arbitrarily stacked for storage on the shelf, and supply necessary transported items to the processing device or the like by the stacked storage device. Therefore, there is no need to provide a device for changing the stacking order of trays, such as placing the desired tray at the bottom, or to change the stacking order of the trays by the transfer device and place a burden on the transfer device. .

請求項2の発明では、ステーションでは、トレイの底部の開口を介して、搬送物の底面をローラコンベヤなどのコンベヤで搬送したり、気体を吹き付けて浮上搬送したりすることができる。このため大きな搬送物を、大きなロボットのハンドなどで移載する必要がない。   In the invention of claim 2, in the station, the bottom surface of the conveyed product can be conveyed by a conveyor such as a roller conveyor or can be floated and conveyed by blowing a gas through the opening at the bottom of the tray. For this reason, it is not necessary to transfer a large transported object with a large robot hand or the like.

請求項3の発明では、搬送システムをクリーンルーム内に配置する場合において、棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とするので、自動倉庫内を局所的にクリーンにすると、他の部分のクリーン度は低くても良い。またステーションと処理装置とを接続する搬送路を局所的にクリーンにするので、他の部分を高クリーン度に保つ必要がない。これらのため、クリーンルーム全体を高クリーンにする必要が無く、トレイの搬送や積層したトレイの保管に必要な部分のみを高クリーンにすることができる。   In the invention of claim 3, when the transfer system is arranged in the clean room, the shelf, the stack storage device, the transfer means, the station, and the portion overlapping the shelf in plan view in the conveyor are used as an automatic warehouse for the clean room. When the inside of the automatic warehouse is locally cleaned, the cleanliness of other parts may be low. Further, since the conveyance path connecting the station and the processing apparatus is locally cleaned, it is not necessary to keep the other portions highly clean. For this reason, it is not necessary to make the entire clean room highly clean, and it is possible to make only the portions necessary for transporting trays and storing stacked trays highly clean.

発明を実施するための形態BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。   In the following, an optimum embodiment for carrying out the present invention will be shown.

トレイと積層保管装置、ステーション
図1〜図10に、実施例の搬送システムから、自動倉庫に対応する部分を除いたものを示す。これらの図ではトレイや積層保管装置の変形例も示すが、特に指摘した点以外は、変形例も実施例と同様とする。これらの図において、2はトレイを用いた搬送システムで、4,4は左右一対のコンベヤで、ローラコンベヤでもベルトコンベヤ等でも良いが、ここではローラコンベヤとし、搬送方向の左右一対のコンベヤを双方とも駆動ローラを用いたコンベヤとするが、片側にのみ駆動ローラを配置し、他側に従動ローラを配置しても良い。コンベヤ4の搬送路内に、ステーション6,6と積層保管装置12とがあり、他に分岐用のコンベヤ24へとトレイを分岐させるための分岐台20とがある。
Tray and stack storage device, station FIGS. 1 to 10 show the transfer system of the embodiment except for the part corresponding to the automatic warehouse. Although these drawings also show modifications of the tray and the stack storage device, the modifications are the same as those of the embodiments except for the points specifically pointed out. In these drawings, 2 is a transport system using trays, 4 and 4 are a pair of left and right conveyors, which may be roller conveyors or belt conveyors, but here are roller conveyors, and both the pair of left and right conveyors in the transport direction are both Both of them are conveyors using driving rollers, but driving rollers may be arranged only on one side and driven rollers on the other side. In the conveyance path of the conveyor 4, there are stations 6 and 6 and a stack storage device 12, and there is a branching stand 20 for branching the tray to a branching conveyor 24.

搬送する物品の種類は任意であるが、ここでは1辺が1〜3m角程度の液晶基板を想定し、その厚さは数mm程度で、質量は例えば10kg程度である。大きく重くかつ脆弱な液晶基板を搬送物とし、塵芥の付着を防止しながら搬送することが重要である。   The type of article to be conveyed is arbitrary, but here, a liquid crystal substrate having a side of about 1 to 3 m square is assumed, the thickness is about several mm, and the mass is about 10 kg, for example. It is important that a large, fragile and fragile liquid crystal substrate is used as a transport object and transported while preventing dust from adhering.

ステーション6には、コンベヤ4と同様の左右一対のコンベヤ7,7があり、左右のコンベヤ7,7間にローラコンベヤ付のリフター8がある。そしてリフター8を上昇させて、そのローラコンベヤでトレイの底面を介して搬送物を搬出入することにより、トレイからの物品の出し入れができる。10はトレイから取り出した搬送物を、枚葉単位でその底面を支持して搬送するためのコンベヤで、例えばローラコンベヤなどとし、処理装置にトレイから取り出した搬送物を搬出入するためのコンベヤである。なお、処理装置には、検査装置などを含むものとする。   The station 6 has a pair of left and right conveyors 7 and 7 similar to the conveyor 4, and a lifter 8 with a roller conveyor is provided between the left and right conveyors 7 and 7. Then, the lifter 8 is raised, and the conveyed product is carried in and out through the bottom surface of the tray by the roller conveyor, so that articles can be taken in and out from the tray. 10 is a conveyor for supporting the bottom surface of a sheet taken out from the tray and transporting it, for example, a roller conveyor, and a conveyor for carrying in and out the conveyed material taken out from the tray to the processing apparatus. is there. Note that the processing device includes an inspection device and the like.

積層保管装置12には、左右一対のコンベヤ14,14を設け、シリンダ15などによりコンベヤ14,14を幅方向(搬送方向に直角な方向)に移動させて待避できるようにする。16はチャックで、積層保管したトレイの例えば最下段のトレイでの積層支持部をチャックし、18はリフターで、コンベヤ14よりも低い位置で待機して、トレイの昇降を行う。なおチャック16は昇降自在で高さ位置が可変のチャックでも、あるいは高さ位置が固定のチャックでも良い。   The stacked storage device 12 is provided with a pair of left and right conveyors 14 and 14, and the conveyors 14 and 14 are moved in the width direction (a direction perpendicular to the transport direction) by a cylinder 15 or the like so that they can be retracted. Reference numeral 16 denotes a chuck for chucking the stacking support portion of, for example, the lowermost tray of the stacked and stored trays, and reference numeral 18 denotes a lifter that waits at a position lower than the conveyor 14 to raise and lower the tray. The chuck 16 may be a vertically movable chuck whose height position is variable, or a chuck whose height position is fixed.

分岐台20にはコンベヤ4,4の他に分岐搬送用のコンベヤ22,22を設け、分岐台20の外側には分岐搬送用のコンベヤ24,24が設けてある。   In addition to the conveyors 4, 4, branching conveyors 22, 22 are provided on the branching table 20, and branching conveyors 24, 24 are provided outside the branching table 20.

トレイの構造
図2,図3に移り、トレイ30の構造を説明する。トレイ30は上面に蓋などがなく、上面が開放しており、載置部31に載置した搬送物は露出して、載置部31の底面には開口32が複数設けてある。載置部31の外側の4周は、壁36や脱落防止壁39などにより載置部から区画されて、載置部31の外側に一対の搬送支持部34と積層支持部35とが設けてある。搬送支持部34や積層支持部35は、載置部31の外側4周に突き出したフランジ状の部材で、その底面は例えば平坦である。また実施例では搬送支持部34と積層支持部35とを同じ高さに配置したが、これらの高さを違えても良く、また支持部34,35には適宜に切れ目などを設けても良い。壁36には突起37などを設け、壁36の底面に設けた図示しない嵌合孔などに嵌合して、トレイ30を積層できるようにする。38はフォーク挿入口で、脱落防止壁39よりもトレイの上端をこの部分で低くし、搬送物の移載用のフォークやスカラアームなどを挿入できるようにする。しかしながらフォーク挿入口38を設けず、この部分を脱落防止壁39と同じ高さに揃えても良い。40は載置部31に設けた突起で、その上面でガラス基板42などの搬送物を支持する。
Tray Structure Turning to FIGS. 2 and 3, the structure of the tray 30 will be described. The tray 30 does not have a lid or the like on the top surface, and the top surface is open, the conveyed product placed on the placement unit 31 is exposed, and a plurality of openings 32 are provided on the bottom surface of the placement unit 31. The outer periphery of the placement portion 31 is divided from the placement portion by a wall 36, a drop prevention wall 39, and the like, and a pair of transport support portions 34 and a stacking support portion 35 are provided outside the placement portion 31. is there. The conveyance support part 34 and the lamination | stacking support part 35 are the flange-shaped members protruded to the outer 4 circumference | surroundings of the mounting part 31, The bottom face is flat, for example. Moreover, although the conveyance support part 34 and the lamination | stacking support part 35 are arrange | positioned at the same height in the Example, these heights may differ and support part 34,35 may provide a cut | interruption etc. suitably. . Protrusions 37 and the like are provided on the wall 36 and are fitted into fitting holes (not shown) provided on the bottom surface of the wall 36 so that the trays 30 can be stacked. Reference numeral 38 denotes a fork insertion port which lowers the upper end of the tray at this portion from the drop prevention wall 39 so that a fork or a SCARA arm for transferring a transfer object can be inserted. However, the fork insertion port 38 may not be provided, and this portion may be arranged at the same height as the drop prevention wall 39. Reference numeral 40 denotes a protrusion provided on the mounting portion 31, and supports a transported object such as a glass substrate 42 on its upper surface.

図3は、トレイ30を複数積層して保管する状態を示し、搬送支持部34は載置部31よりも平面視で外側にあるため、搬送支持部34の底面にコンベヤなどから付着した塵芥は、載置部31内には落下しがたい。また積層支持部35側では、壁36と下壁41とにより、載置部31と分離されるので、積層支持部35からの塵芥は、載置部31には侵入しない。さらにフォーク挿入口38を設けたので、図3のように積層保管した状態から、任意のトレイを選び出して、収納しているガラス基板を取り出したり、ガラス基板をトレイ内に載置したりすることができる。   FIG. 3 shows a state in which a plurality of trays 30 are stacked and stored, and the conveyance support unit 34 is outside the placement unit 31 in a plan view, so that dust attached to the bottom surface of the conveyance support unit 34 from the conveyor or the like It is difficult to fall into the mounting portion 31. Further, on the stacked support part 35 side, the wall 36 and the lower wall 41 separate the mounting part 31, so that dust from the stacked support part 35 does not enter the mounting part 31. Furthermore, since the fork insertion port 38 is provided, it is possible to select an arbitrary tray from the stacked and stored state as shown in FIG. 3 and take out the stored glass substrate or place the glass substrate in the tray. Can do.

ステーションでの動作
図4により、ステーション6でのガラス基板42の出し入れを説明する。トレイ30がステーション6に到着すると、ステーション内のローラコンベヤ付のリフターが上昇し、ローラ44が開口32を通ってガラス基板42の底面に接触する。そしてガラス基板を脱落防止壁39よりも高く持ち上げた状態で、ローラ44を駆動すると、コンベヤ10側のローラ45へ受け渡すことができる。またコンベヤ10側からガラス基板をトレイ30内へ受け渡す際には、ローラコンベヤ付のリフターを上昇させて、例えばローラ44とローラ45との搬送面の高さを同一に揃え、コンベヤ10からステーション6へとガラス基板を搬入する。この時も搬送面は、脱落防止壁39よりも高くする。なお、ステーション6でのトレイ30からガラス基板42の取り出しに、ステーション内のローラコンベヤ付のリフターを用いたが、ローラコンベヤの代わりに、例えばエア噴出手段を用いて、エアの力によりガラス基板42を浮上させると共に、目的の方向に移動させるようにしても良い。
Operation at the Station With reference to FIG. 4, the loading and unloading of the glass substrate 42 at the station 6 will be described. When the tray 30 arrives at the station 6, the lifter with a roller conveyor in the station rises, and the roller 44 contacts the bottom surface of the glass substrate 42 through the opening 32. When the roller 44 is driven in a state where the glass substrate is lifted higher than the drop prevention wall 39, the glass substrate can be transferred to the roller 45 on the conveyor 10 side. Further, when the glass substrate is transferred from the conveyor 10 side into the tray 30, the lifter with roller conveyor is raised, for example, the height of the conveying surface of the roller 44 and the roller 45 is made equal, A glass substrate is carried into 6. Also at this time, the conveying surface is made higher than the drop prevention wall 39. In addition, although the lifter with a roller conveyor in a station was used for taking out the glass substrate 42 from the tray 30 in the station 6, instead of using the roller conveyor, for example, an air jetting unit is used to generate the glass substrate 42 by the force of air. May be lifted and moved in the target direction.

積層保管装置の動作
図5,図6に積層保管装置12の動作を示す。50は支柱で、チャック駆動部52は、支柱50に沿って昇降自在でも、高さ位置が固定でも良い。チャック駆動部52の高さ位置を固定の場合、トレイの高さ方向の厚さをコンベヤ14の高さ方向の厚さよりも大きくし、積層したトレイの上下の搬送支持部の間にコンベヤ14のローラを収めることができるようにする。チャック16は、チャック駆動部52により水平面内で回動する、あるいは進退するなどにより、積層支持部35の底面を支持した状態と支持しない状態との間で切り替え自在である。図6に示すように、例えばチャック16上に複数のトレイからなるトレイ群60が積層保管され、リフター18上にも1枚あるいは複数枚のトレイ群61が載置されているものとする。前記のように、コンベヤ14,14はシリンダ15などの進退手段により、搬送支持部34の底面を支持した状態と、トレイ30とは干渉しない状態との間で移動できる。積層保管するトレイは、ガラス基板などの搬送物を載置した状態でも、空の状態でも良いが、搬送物を載置した状態での保管が特に意味がある。
Operation of Laminated Storage Device FIGS. 5 and 6 show the operation of the laminated storage device 12. Reference numeral 50 denotes a support, and the chuck driving unit 52 may be movable up and down along the support 50, or the height position may be fixed. When the height position of the chuck driving unit 52 is fixed, the thickness in the height direction of the tray is made larger than the thickness in the height direction of the conveyor 14, and the conveyor 14 is placed between the upper and lower conveyance support portions of the stacked trays. Be able to fit the roller. The chuck 16 can be switched between a state in which the bottom surface of the stacked support portion 35 is supported and a state in which it is not supported by rotating or moving back and forth in the horizontal plane by the chuck driving portion 52. As shown in FIG. 6, for example, a tray group 60 including a plurality of trays is stacked and stored on the chuck 16, and one or a plurality of tray groups 61 are also placed on the lifter 18. As described above, the conveyors 14 and 14 can move between a state in which the bottom surface of the conveyance support unit 34 is supported and a state in which the tray 30 does not interfere with the advancing / retreating means such as the cylinder 15. The tray to be stacked and stored may be a state where a transported object such as a glass substrate is placed or an empty state, but storage in a state where the transported object is placed is particularly significant.

チャック駆動部52が昇降しないものとして説明する。図6のトレイ群60の下側に、新たに到着したトレイを1枚重ねたいとする。この場合、リフター18を上昇させ、トレイ群61の上面でコンベヤ14,14上のトレイの底面を支持し、次いでシリンダ15によりコンベヤ14,14を待避させる。リフター18をさらに上昇させ、トレイ群60の最下段のトレイの底面を、リフター18で上昇中のトレイ群の最上段のトレイの上面で支持する。トレイ群60をリフター18で支持すると、チャック16を退避させ、リフター18をトレイ1段分上昇させて、目的のトレイの積層支持部をチャック16で支持する。次いでリフター18を下降させると、1トレイ新たに積層することができる。   The description will be made assuming that the chuck driving unit 52 does not move up and down. It is assumed that one newly arrived tray is to be stacked below the tray group 60 in FIG. In this case, the lifter 18 is raised, the bottom surface of the tray on the conveyors 14, 14 is supported by the upper surface of the tray group 61, and then the conveyors 14, 14 are retracted by the cylinder 15. The lifter 18 is further raised, and the bottom surface of the lowermost tray of the tray group 60 is supported by the upper surface of the uppermost tray of the tray group being raised by the lifter 18. When the tray group 60 is supported by the lifter 18, the chuck 16 is retracted, the lifter 18 is raised by one stage of the tray, and the stack support portion of the target tray is supported by the chuck 16. Next, when the lifter 18 is lowered, one tray can be newly stacked.

所望のトレイがチャック16でチャックできる位置まで、リフター18でトレイ群61を上昇させると、トレイ群61中の所望の位置のトレイをチャック16でチャックできる。トレイ群60から任意の位置のトレイを取り出す場合、コンベヤ14,14を待避させて、リフター18を上昇させ、トレイ群60とトレイ群61とを合体し、この後リフター18を操作して、目的のトレイの1段上のトレイをチャック16で支持する。この後リフター18を下降させ、目的のトレイの搬送支持部の底面がコンベヤ14の搬送面よりやや高い位置で下降を停止させ、シリンダ15によりコンベヤ14を前進させる。次いでリフター18を再度下降させ、目的のトレイのみをコンベヤ14,14上に載置する。このように、チャック16の高さを固定するには、コンベヤ14の高さ方向の厚さを、トレイ30を積層した際の搬送支持部34,34間の間隔よりも薄くする必要がある。   When the tray group 61 is lifted by the lifter 18 until the desired tray can be chucked by the chuck 16, the tray at the desired position in the tray group 61 can be chucked by the chuck 16. When a tray at an arbitrary position is taken out from the tray group 60, the conveyors 14 and 14 are retracted, the lifter 18 is raised, the tray group 60 and the tray group 61 are combined, and then the lifter 18 is operated to A tray 16 is supported by a chuck 16 on the first level. Thereafter, the lifter 18 is lowered, the lowering is stopped at a position where the bottom surface of the conveyance support portion of the target tray is slightly higher than the conveyance surface of the conveyor 14, and the conveyor 14 is advanced by the cylinder 15. Next, the lifter 18 is lowered again, and only the target tray is placed on the conveyors 14 and 14. Thus, in order to fix the height of the chuck 16, it is necessary to make the thickness in the height direction of the conveyor 14 smaller than the interval between the conveyance support portions 34, 34 when the trays 30 are stacked.

以上のようにして、
・ コンベヤ14,14上のトレイを、トレイ群60の最下段に追加する、
・ トレイ群60,61を合体させる、
・ トレイ群60中の任意のトレイをコンベヤ14,14上に載置する、などの動作ができる。またトレイ群61から任意のトレイをコンベヤ4上へ送り出す場合、リフター18を上昇させて、トレイ群60,61を合体し、目的のトレイの1段上のトレイをチャック16でチャックした後、リフター18を下降させて、目的のトレイをチャック群61の最上段からコンベヤ14へと移し替えればよい。
As above,
-Add trays on conveyors 14 and 14 to the bottom of tray group 60.
-Combine tray groups 60 and 61,
-Arbitrary trays in the tray group 60 can be placed on the conveyors 14 and 14. Further, when an arbitrary tray is sent from the tray group 61 onto the conveyor 4, the lifter 18 is raised, the tray groups 60 and 61 are united, and the upper tray of the target tray is chucked by the chuck 16, and then the lifter is moved. The target tray may be moved from the uppermost stage of the chuck group 61 to the conveyor 14 by lowering 18.

チャック駆動部52が昇降自在な場合、動作はより簡単になり、トレイを積層した際に搬送支持部と搬送支持部との高さ方向の隙間が、コンベヤ14の高さ方向の厚さよりも大きいとの制限が不要になる。トレイ群60の底部に1トレイ追加する場合、コンベヤ14上に目的のトレイを載置し、チャック16を下降して、トレイ群60を目的のトレイの上部に積み重ねる。次いでチャック16を退避させ、目的のトレイの積層支持部をチャック16で支持して、チャック16を上昇させればよい。トレイ群60やトレイ群61から任意のトレイを取り出す場合、コンベヤ14,14を待避させ、リフター18を上昇させて、トレイ群60,61を合体させる。次いでチャック16を掴み替えて、目的のトレイをチャックし、目的のトレイよりも下のトレイ群をリフター18で下降させる。この後コンベヤ14をトレイを支持できる位置へ前進させ、チャック16を下降させて目的のトレイをコンベヤ14上に移し替える。その後チャック16を上昇させて、目的のトレイよりも上のトレイをチャックして上昇させればよい。   When the chuck driving unit 52 can be moved up and down, the operation becomes simpler, and the gap in the height direction between the conveyance support unit and the conveyance support unit when the trays are stacked is larger than the thickness of the conveyor 14 in the height direction. And no restrictions are needed. When adding one tray to the bottom of the tray group 60, the target tray is placed on the conveyor 14, the chuck 16 is lowered, and the tray group 60 is stacked on top of the target tray. Next, the chuck 16 is retracted, the stack support portion of the target tray is supported by the chuck 16, and the chuck 16 is raised. When an arbitrary tray is taken out from the tray group 60 or the tray group 61, the conveyors 14 and 14 are retracted, the lifter 18 is raised, and the tray groups 60 and 61 are combined. Next, the chuck 16 is gripped, the target tray is chucked, and the tray group below the target tray is lowered by the lifter 18. Thereafter, the conveyor 14 is advanced to a position where the tray can be supported, the chuck 16 is lowered, and the target tray is transferred onto the conveyor 14. Thereafter, the chuck 16 may be raised and the tray above the target tray may be chucked and raised.

なおチャック16を用いずに、任意のトレイを取り出せる積層保管装置も可能である。この場合例えば、トレイの搬送支持部と搬送支持部の間隔は、コンベヤ14の高さ方向の厚さよりも大きなものとし、積層保管するトレイ群はトレイ群61のみである。トレイ群61から所望のトレイを取り出す場合、目的のトレイよりも上部のトレイをコンベヤ14へ移載して、積層保管装置12の片側へと搬出する。次に目的のトレイをコンベヤ14へ移し替え、積層保管装置12の他側へと搬出する。目的のトレイよりも上側のトレイを、コンベヤ14上へと移し戻し、リフター18を上昇させて、リフター18へ移し替える。しかしながらこのようにすると、目的のトレイを取り出すために積層保管装置12の両側のコンベヤを使用せねばならないため、他の搬送作業の妨げとなり、かつトレイの移し替えやコンベヤ14の移動回数も多く、効率的ではない。   A stacked storage device that can take out an arbitrary tray without using the chuck 16 is also possible. In this case, for example, the interval between the conveyance support portions of the trays is larger than the thickness of the conveyor 14 in the height direction, and the tray group 61 is the only tray group to be stacked and stored. When a desired tray is taken out from the tray group 61, the tray above the target tray is transferred to the conveyor 14 and carried out to one side of the stack storage device 12. Next, the target tray is transferred to the conveyor 14 and carried out to the other side of the stacked storage device 12. The tray above the target tray is moved back onto the conveyor 14, the lifter 18 is raised, and transferred to the lifter 18. However, if this is done, the conveyors on both sides of the stack storage device 12 must be used in order to take out the target tray. Not efficient.

図5,図6の実施例では、コンベヤ14の搬送面の下側をトレイのバッファに利用し、このためリフター18が必要であった。リフター18を設けない変形例を図7に示す。なおこの場合、チャック駆動部72は支柱70に沿って昇降自在とする。図7,図8の積層保管装置74は、左右のコンベヤ4をトレイのバッファとして利用し、他の点では図5,図6の積層保管装置12と同様である。   In the embodiment shown in FIGS. 5 and 6, the lower side of the conveying surface of the conveyor 14 is used as a buffer for the tray, so that the lifter 18 is necessary. A modification in which the lifter 18 is not provided is shown in FIG. In this case, the chuck driving unit 72 can be moved up and down along the column 70. 7 and 8 uses the left and right conveyors 4 as tray buffers, and is otherwise the same as the stack storage device 12 of FIGS.

チャック16でチャックしたトレイ群60から所望のトレイを切り出す場合、チャック16を下降させ、コンベヤ14上へトレイ群60を移し替える。そして目的のトレイをチャック16でチャックし直し、それよりも下側のトレイ群61を図8のように左右いずれかのコンベヤ4上へと搬出する。その後チャック16を下降して、トレイ群をコンベヤ14へ移し替え、目的のトレイよりも上部のトレイをチャック16でチャックし、上昇させる。このようにして目的のトレイを切り出し、他側のコンベヤ(例えば図8の右側)へと搬出する。例えばこれと同時に、図8の左側のトレイ群61をコンベヤ14上に搬入して、チャック16を昇降させ、トレイ群60と一体にする。トレイ群60に新たなトレイを1枚追加する場合、コンベヤ14上へ新たなトレイを搬入し、チャック16を下降させて、新たなトレイとトレイ群60を積層し、チャック16で新たなトレイを支持するとよい。   When a desired tray is cut out from the tray group 60 chucked by the chuck 16, the chuck 16 is lowered and the tray group 60 is transferred onto the conveyor 14. Then, the target tray is re-chucked by the chuck 16, and the lower tray group 61 is carried out onto either the left or right conveyor 4 as shown in FIG. Thereafter, the chuck 16 is lowered, the tray group is transferred to the conveyor 14, and the tray above the target tray is chucked by the chuck 16 and raised. In this manner, the target tray is cut out and carried out to the other conveyor (for example, the right side in FIG. 8). For example, at the same time, the left tray group 61 in FIG. 8 is carried onto the conveyor 14 and the chuck 16 is moved up and down to be integrated with the tray group 60. When adding a new tray to the tray group 60, the new tray is loaded onto the conveyor 14, the chuck 16 is lowered, the new tray and the tray group 60 are stacked, and the new tray is loaded with the chuck 16. It is good to support.

図9,図10に、トレイの変形例90を示す。この変形例では、積層支持部95を例えば搬送支持部34の上側に配置し、他の点では図2のトレイ30と同様である。実施例では液晶用の大型ガラス基板の搬送を例にしたが、搬送物はこれに限るものではない。   9 and 10 show a variation 90 of the tray. In this modification, the stacking support portion 95 is disposed, for example, on the upper side of the transport support portion 34, and is otherwise the same as the tray 30 of FIG. In the embodiment, the conveyance of a large glass substrate for liquid crystal is taken as an example, but the conveyed product is not limited to this.

システム構成
図11に、図1〜図10に記載のトレイと、積層保管装置並びにステーションに、自動倉庫等を組み合わせた搬送システムの全体構成を示す。なお図1〜図10と同じ符号は同じものを表し、図11では図5,図6の積層保管装置12を用いるように示しているが、図7,図8の積層保管装置74を用いても良い。
System Configuration FIG. 11 shows an overall configuration of a transport system in which an automatic warehouse or the like is combined with the tray, stack storage device, and station shown in FIGS. The same reference numerals as those in FIGS. 1 to 10 denote the same components. In FIG. 11, the stacked storage device 12 shown in FIGS. 5 and 6 is used, but the stacked storage device 74 shown in FIGS. Also good.

100は長距離コンベヤで、トレイを複数積層して搬送し、前記のコンベヤ4に接続されている。102は自動倉庫で、コンベヤ4や積層保管装置12,ステーション6などの上部に棚106を設けて、トレイを複数積層して保管する。104はスタッカークレーンで、搬送手段の例であり、棚106と積層保管装置12との間でトレイを積層して搬送し、積層保管装置12は自動倉庫102のステーションでもある。自動倉庫102は、積層保管装置12,ステーション6、棚106、コンベヤ4の棚106の下部の部分、スタッカークレーン104を備えている。なお積層保管装置12以外のステーションを自動倉庫102に設ける場合、そのステーションにもトレイを積層して搬出入する。また搬送手段は、スタッカークレーンに限らず、積層保管装置12と棚106の間で、トレイを積層して搬送できるものであればよい。   Reference numeral 100 denotes a long-distance conveyor which transports a plurality of trays stacked and connected to the conveyor 4. An automatic warehouse 102 is provided with a shelf 106 above the conveyor 4, the stack storage device 12, the station 6, and the like, and stores a plurality of trays stacked. Reference numeral 104 denotes a stacker crane, which is an example of a transport means, and stacks and transports trays between the shelf 106 and the stack storage device 12, and the stack storage device 12 is also a station of the automatic warehouse 102. The automatic warehouse 102 includes a stack storage device 12, a station 6, a shelf 106, a lower part of the shelf 106 of the conveyor 4, and a stacker crane 104. When a station other than the stack storage device 12 is provided in the automatic warehouse 102, trays are stacked on the station and carried in and out. The transport means is not limited to a stacker crane, and any means may be used as long as trays can be stacked and transported between the stack storage device 12 and the shelf 106.

ステーション6では、前記のようにローラコンベヤなどを用いてガラス基板などの搬送物をトレイから取り出し、前記のコンベヤ10などにより、処理装置EQ1〜EQ8などに搬出入する。搬出入先は処理装置に限らず検査装置などでも良い。また必要であれば、トレイ1枚単位で、搬送物をトレイから出さずに搬送する、長距離コンベヤ108などを設けても良い。そしてコンベヤ4でのトレイの搬送単位は、トレイを積層した状態とトレイ1枚単位の2種類である。さらに必要であれば、長距離コンベヤ100とコンベヤ4との間に、段ばらし装置109や段積み装置110などを設けても良い。これらの装置109,110も積層保管装置の一種ではあるが、積層保管したトレイから任意のトレイを取り出すことができない点が、積層保管装置12と異なる。   In the station 6, as described above, a transported object such as a glass substrate is taken out from the tray using the roller conveyor, and is carried into and out of the processing apparatuses EQ1 to EQ8 by the conveyor 10 or the like. The carry-in / out destination is not limited to the processing apparatus, and may be an inspection apparatus or the like. Further, if necessary, a long-distance conveyor 108 or the like that conveys a conveyed product in one tray unit without taking it out of the tray may be provided. And the conveyance unit of the tray in the conveyor 4 has two types, the state which laminated | stacked the tray, and the tray 1 sheet unit. Further, if necessary, a spreading device 109 or a stacking device 110 may be provided between the long distance conveyor 100 and the conveyor 4. Although these devices 109 and 110 are also a kind of stacked storage device, they differ from the stacked storage device 12 in that an arbitrary tray cannot be taken out from the stacked and stored trays.

搬送システムの全体は、液晶ディスプレイ製造用や半導体製造用などのクリーンルームに収容され、クリーンルーム全体ではなく必要な部分のみを局所的に高クリーンにするため、自動倉庫102はクリーンルーム対応のものとする。例えば自動倉庫102を天井と壁とで囲って周囲と分離し、自動倉庫102内に図示しないFFU(フィルターファンユニット)を設けて、自動倉庫102の天井や棚106にクリーンエアを供給し、棚106やコンベヤ4中の自動倉庫102内の部分、ステーション6,積層保管装置12及びスタッカークレーン104を、高クリーンな環境に保つ。またステーション6と処理装置EQ1〜EQ8などの搬出入先とを接続するコンベヤ10や、コンベヤ4中の自動倉庫102外の部分を、及び長距離コンベヤ100,108を局所的に高クリーンに保つ。このため例えば、これらのコンベヤの上部をフード112や壁などで覆って、周囲の空気の流れ込みを遮断もしくは少なくし、かつフード112などにFFU114を設けて、コンベヤに下向きにクリーンエアを供給する。なお、本実施例では、自動倉庫102に搬出入する搬送物をトレイごと搬送する手段として、長距離コンベヤ100,108等のコンベヤを用いているが、トレイを収納する物品収納庫を高クリーンな環境に保つための手段、例えばFFUを備えた搬送車等を用いても良い。   The entire transport system is accommodated in a clean room for liquid crystal display manufacturing, semiconductor manufacturing, and the like, and only the necessary part, not the entire clean room, is made highly clean locally. For example, the automatic warehouse 102 is surrounded by a ceiling and a wall to be separated from the surroundings, and an FFU (filter fan unit) (not shown) is provided in the automatic warehouse 102 to supply clean air to the ceiling and the shelf 106 of the automatic warehouse 102. 106, the part in the automatic warehouse 102 in the conveyor 4, the station 6, the stacking storage device 12, and the stacker crane 104 are kept in a highly clean environment. Further, the conveyor 10 that connects the station 6 to the loading / unloading destinations such as the processing devices EQ1 to EQ8, the portion outside the automatic warehouse 102 in the conveyor 4, and the long-distance conveyors 100 and 108 are locally kept clean. For this reason, for example, the upper portions of these conveyors are covered with a hood 112 or a wall to block or reduce the flow of ambient air, and the FFU 114 is provided on the hood 112 or the like, and clean air is supplied downward to the conveyor. In this embodiment, conveyors such as the long-distance conveyors 100 and 108 are used as means for transporting the transported goods to / from the automatic warehouse 102 together with the trays. Means for maintaining the environment, for example, a transport vehicle equipped with FFU may be used.

実施例の動作を示す。長距離コンベヤ100で積層されて搬送されて来たトレイは、例えばコンベヤ4に入り、積層保管装置12からスタッカークレーン104を介して棚106に積層保管する。処理の順番が来ると、棚106から積層保管装置12に出庫し、積層保管装置12で所望のトレイのみを取り出してステーション6へ供給し、ガラス基板等の搬送物のみを取り出し、コンベア10から処理装置へ供給する。積層保管装置12は、スタッカークレーン104を介して自動倉庫の棚106へと積層したトレイを搬入するためのステーションとなり、棚106へトレイを積層して保管する際にその順序を整えたり、棚106から任意に積層されたトレイから所望のトレイを取り出してステーション6へ供給するためなどに用いる。積層保管装置12の作業量が多い場合、段ばらし装置109を設けて、長距離コンベヤ100から積層して供給されるトレイを、トレイ1枚ずつに分けて、積層を解除すると良い。処理装置EQ1〜EQ8などに、トレイ中のガラス基板を供給すると、空のトレイが発生する。このような空のトレイは積層保管装置12で積層し、棚106にストックしても良い。あるいは積層保管装置12や段積み装置110で積層し、長距離コンベヤ100へ搬出しても良い。   The operation of the embodiment will be described. The trays stacked and transported by the long-distance conveyor 100 enter, for example, the conveyor 4 and are stacked and stored on the shelf 106 from the stack storage device 12 via the stacker crane 104. When the order of processing comes, the product is delivered from the shelf 106 to the stack storage device 12, and only the desired tray is taken out by the stack storage device 12 and supplied to the station 6, and only the transported object such as a glass substrate is taken out and processed from the conveyor 10. Supply to the device. The stack storage device 12 serves as a station for carrying trays stacked on the shelf 106 of the automatic warehouse via the stacker crane 104. Is used to take out a desired tray from the arbitrarily stacked trays and supply it to the station 6. When the work amount of the stack storage device 12 is large, a stacking device 109 is provided, and the trays stacked and supplied from the long-distance conveyor 100 are divided into trays one by one and the stacking is released. When the glass substrate in the tray is supplied to the processing apparatuses EQ1 to EQ8, an empty tray is generated. Such empty trays may be stacked by the stack storage device 12 and stocked on the shelf 106. Alternatively, they may be stacked by the stack storage device 12 or the stacking device 110 and carried out to the long distance conveyor 100.

処理装置EQ5〜EQ8などから処理済みの搬送物が搬出されると、ステーション6でトレイに移載し、次の処理装置のステーションへ搬送する、積層保管装置12で適宜に積層して、自動倉庫の棚106に保管する、あるいは長距離コンベヤ100へ搬出する、などを行う。   When the processed goods are unloaded from the processing apparatuses EQ5 to EQ8, etc., they are transferred to a tray at the station 6 and transported to the station of the next processing apparatus. To the shelf 106 or to the long-distance conveyor 100.

本実施例は、棚106を設けて、トレイを積層した状態で収納することで、トレイを効率よく収納することができる。そして、積層保管装置12と棚106との間を、トレイを積層状態で運ぶことにより、トレイを1枚1枚搬送した場合に比し、スタッカークレーンの搬送回数を減らすことができる。また、コンベヤ4より高速搬送できるスタッカークレーン104により、棚106と積層保管装置12との間を搬送するため、搬送効率がよい。また、積層保管装置12を所望のトレイのみを取り出し可能とすることで、任意に積層されたトレイの中から、所望のトレイを取り出すことができ、処理装置に所望のトレイを供給できるように、所望のトレイをトレイ1番下にしたり、処理する順番となるように下から順に積層したりする等のトレイの積層順番を変更するための装置を設けたり、スタッカークレーンによりトレイの積層順番を変更させることで、スタッカークレーンに負荷をかけたりすることがない。
In this embodiment, by providing the shelf 106 and storing the trays in a stacked state, the trays can be efficiently stored. Then, by transporting the trays in a stacked state between the stack storage device 12 and the shelf 106, the number of transports of the stacker crane can be reduced as compared with the case where the trays are transported one by one. Moreover, since the stacker crane 104 that can be conveyed at a higher speed than the conveyor 4 conveys between the shelf 106 and the stack storage device 12, the conveyance efficiency is good. In addition, by enabling only the desired tray to be taken out from the stacked storage device 12, the desired tray can be taken out from the arbitrarily stacked trays, and the desired tray can be supplied to the processing device. A device is provided to change the stacking order of the trays, such as placing the desired tray at the bottom of the tray or stacking from the bottom so that the processing order is the same, or changing the stacking order of the trays with a stacker crane By doing so, no load is applied to the stacker crane.

実施例の搬送システムから自動倉庫を除いたレイアウトを示す平面図The top view which shows the layout which excluded the automatic warehouse from the conveyance system of an Example 実施例のトレイの平面図Top view of the tray of the embodiment 実施例でトレイを上下に積層した状態を示す側面図The side view which shows the state which laminated | stacked the tray up and down in the Example 実施例での、ステーションでのトレイからのガラス基板の出し入れを模式的に示す平面図The top view which shows typically the insertion / extraction of the glass substrate from the tray in a station in an Example. 実施例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの平面図Plan view of tray stacking storage device and surrounding conveyor in the embodiment 実施例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの側面図Side view of tray stacking storage device and surrounding conveyor in embodiment 変形例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの平面図Plan view of tray stacking storage device and surrounding conveyor in a modified example 変形例でのトレイ積層保管装置と周囲のコンベヤの側面図Side view of tray stack storage device and surrounding conveyor 変形例のトレイの平面図Plan view of a modified tray 変形例のトレイの側面図Side view of a modified tray 実施例の搬送システムのレイアウトを示す平面図The top view which shows the layout of the conveyance system of an Example

符号の説明Explanation of symbols

4 コンベヤ
6 ステーション
7 コンベヤ
8 ローラコンベヤ付きリフター
10 コンベヤ
12,74 積層保管装置
14 コンベヤ
15 シリンダ
16 チャック
18 リフター
20 転換台
22,24 コンベヤ
30,90 トレイ
31 載置部
32 開口
34 搬送支持部
35,95 積層支持部
36 壁
37 突起
38 フォーク挿入口
39 脱落防止壁
40 突起
41 下壁
42 ガラス基板
44,45 ローラ
50,70 支柱
52,72 チャック駆動部
60,61 トレイ群
100 長距離コンベヤ
102 自動倉庫
104 スタッカークレーン
106 棚
108 長距離コンベヤ
109 段ばらし装置
110 段積み装置
112 フード
114 FFU
4 Conveyor 6 Station 7 Conveyor 8 Lifter 10 with Roller Conveyor 12, 74 Laminate Storage Device 14 Conveyor 15 Cylinder 16 Chuck 18 Lifter 20 Conversion Table 22, 24 Conveyor 30, 90 Tray 31 Placement Section 32 Opening 34 Conveyance Support Section 35, 95 Lamination Support 36 Wall 37 Protrusion 38 Fork Insertion Port 39 Fall-off Prevention Wall 40 Protrusion 41 Lower Wall 42 Glass Substrate 44, 45 Roller 50, 70 Post 52, 72 Chuck Drive 60, 61 Tray Group 100 Long Distance Conveyor 102 Automatic Warehouse 104 Stacker crane 106 Shelf 108 Long-distance conveyor 109 Stacking device 110 Stacking device 112 Hood 114 FFU

Claims (3)

トレイを積層した状態で保管するための棚と、前記トレイを積層して保管するための積層保管装置と、前記棚と積層保管装置との間でトレイを積層した状態で搬送する搬送手段と、前記積層保管装置とトレイに搬送物を出し入れするためのステーションとを接続するコンベヤとを備えて、前記積層保管装置を、コンベヤとの間でトレイを1枚ずつやり取りすると共に、該コンベヤの搬送面よりも高い位置にトレイを積層保管するようにした搬送システム。 A shelf for storing trays in a stacked state, a stack storage device for stacking and storing the trays, and a transport means for transporting the trays in a stacked state between the shelves and the stack storage device, A conveyor for connecting the stack storage device and a station for loading and unloading the transported goods to and from the tray, and transferring the tray to the stack storage device one by one with the conveyor, and a transport surface of the conveyor A transport system that stacks and stores trays at a higher position. 前記トレイの底部に開口を設けて、前記ステーションでは、該開口を介して搬送物の底面に搬送力を加えて、トレイから搬送物を出し入れするようにしたことを特徴とする、請求項1の搬送システム。 2. The tray according to claim 1, wherein an opening is provided at the bottom of the tray, and in the station, a conveying force is applied to the bottom surface of the object to be conveyed through the opening so that the object is taken in and out of the tray. Conveying system. 前記コンベヤの少なくとも一部を平面視で前記棚と重ねて配置すると共に、前記棚と積層保管装置と搬送手段とステーションと前記コンベヤ中の平面視で棚と重なる部分を、クリーンルーム用の自動倉庫とし、かつ前記ステーションと自動倉庫外の処理装置とを接続する搬送路を局所的にクリーンに保つための手段を設けたことを特徴とする、請求項1または2の搬送システム。 At least a part of the conveyor is arranged so as to overlap with the shelf in plan view, and the shelf, the stack storage device, the transport means, the station, and the part overlapping the shelf in plan view in the conveyor are used as an automatic warehouse for a clean room. 3. A transfer system according to claim 1, further comprising means for locally keeping a transfer path connecting the station and a processing apparatus outside the automatic warehouse.
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