KR20080012671A - 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지 - Google Patents

인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지 Download PDF

Info

Publication number
KR20080012671A
KR20080012671A KR1020060073867A KR20060073867A KR20080012671A KR 20080012671 A KR20080012671 A KR 20080012671A KR 1020060073867 A KR1020060073867 A KR 1020060073867A KR 20060073867 A KR20060073867 A KR 20060073867A KR 20080012671 A KR20080012671 A KR 20080012671A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
circuit board
printed circuit
interposer
semiconductor package
electrical terminals
Prior art date
Application number
KR1020060073867A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100810349B1 (ko
Inventor
김홍권
안준현
김기현
강석명
최연호
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060073867A priority Critical patent/KR100810349B1/ko
Priority to US11/672,634 priority patent/US7777324B2/en
Publication of KR20080012671A publication Critical patent/KR20080012671A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100810349B1 publication Critical patent/KR100810349B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49827Via connections through the substrates, e.g. pins going through the substrate, coaxial cables
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/02Feeding of components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05553Shape in top view being rectangular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/4847Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a wedge bond
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/485Material
    • H01L2224/48505Material at the bonding interface
    • H01L2224/48599Principal constituent of the connecting portion of the wire connector being Gold (Au)
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49109Connecting at different heights outside the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/4917Crossed wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L24/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01033Arsenic [As]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01079Gold [Au]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/014Solder alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/09372Pads and lands
    • H05K2201/094Array of pads or lands differing from one another, e.g. in size, pitch, thickness; Using different connections on the pads
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/049Wire bonding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3431Leadless components
    • H05K3/3436Leadless components having an array of bottom contacts, e.g. pad grid array or ball grid array components

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

본 발명의 제1 측면에 따른 인터포저는 서로 대향되는 제1 및 제2 면을 포함하는 다면체의 몸체와, 상기 제1 면에 형성된 복수의 전기 접점들과, 상기 제1 및 제2 면을 관통하는 복수의 홀을 포함한다. 본 발명의 제2 측면에 따른 반도체 패키지는 적어도 하나의 전기 회로 및 그 상면에 위치된 복수의 제1 전기 단자들을 포함하는 인쇄회로 기판과, 상호 대향되는 제1 및 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 및 제2 면 각각에 형성되는 제2 전기 단자들을 포함하는 다각 몸체를 포함하며, 상기 다각 몸체는 상기 제1 전기 단자들에 상기 홀과 상기 제2 전기 단자들이 대응되도록 상기 인쇄회로 기판 상에 안착된다.
반도체 패키지, 인쇄회로 기판, 반도체 다이

Description

인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지{INTERPOSER AND SEMICONDUCTOR PACKAGE USING THE SAME}
도 1은 종래 기술에 의해 반도체 다이와 인쇄회로 기판을 전기적으로 연결시킨 반도체 패키지의 일 부분을 나타내는 사진,
도 2는 도 1에 도시된 종래 반도체 패키지의 평면 상태를 도시한 도면,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 패키지를 도시한 사시도,
도 4는 도 3에 도시된 B~B'을 따라 절단된 반도체 패키지의 단면을 도시한 도면,
도 5는 도 3에 도시된 A~A'을 따라 절단된 반도체 패키지의 단면을 도시한 도면,
도 6은 도 3에 도시된 반도체 패키지의 평면 상태를 도시한 도면,
도 7은 도 3에 도시된 인터포저를 도시한 사시도.
도 8은 도 3에 도시된 인쇄회로 기판의 상면을 도시한 평면도,
도 9는 도3에 도시된 인쇄회로 기판의 일부 단면을 도시한 도면,
도 10은 도 3에 도시된 인터포저의 일부 단면을 도시한 도면.
본 발명은 반도체 다이와 인쇄회로 기판의 접합 구조에 관한 발명으로서, 특히 고집적이 가능한 반도체 다이와 인쇄회로 기판을 포함하는 반도체 패키지에 관한 발명이다.
도 1은 반도체 다이를 인쇄회로 기판 상에 다이본딩 스로세스(Die bonding processe)를 이용해서 적층한 후, 와이어 본딩(wire bonding)에 의해 반도체 다이와 인쇄회로 기판을 전기적으로 연결시킨 반도체 패키지의 일 부분을 나타내는 사진이다.
반도체 다이는 인쇄 회로 기판의 상면에 안착되며, 상기 반도체 다이 상면에는 와이어 본딩 패드가 볼 본딩(ball bonding)에 의해 전기적으로 연결된다. 또한, 볼 본딩에 의해 반도체 다이 상면에 연결된 와이어 본딩 패드의 반대 측은 스티치 본딩(stitch bonding)에 의해서 상기 인쇄회로 기판 상에 전기적으로 연결된다.
도 2는 반도체 다이(120)가 인쇄회로 기판(110) 상에 안착된 반도체 패키지(100)의 평면도이다. 도 2에 도시된 종래의 반도체 패키지(100)는 반도체 다이(120)가 인쇄회로 기판(110) 상에 안착되고, 와이어들(121)에 의해 전기적으로 연결된 상태를 나타낸다.
상기 인쇄회로 기판(110) 측에 스티치 본딩(111)된 상기 와이어들(121) 간의 간격은 상기 반도체 다이(120) 측에 볼 본딩된 간격보다 더 넓으며, 이는 인쇄회로 기판(110) 상의 패턴 제작에 따른 제한 및 상기 와이어들(121)의 휨 특성에 의해서 나타나는 현상으로 상기 와이어들(121)의 정렬 형태는 통상적으로 부채꼴 형태로 늘어지는 구조를 갖게된다.
상술한 바와 같은 다이 본딩 공정은 반도체 패키지의 부피를 최소화시켜서 소형화된 제품에 제공하는 데 그 의도가 있는 반면에, 반도체 다이와 인쇄회로 기판을 전기적으로 연결하는 와이어들의 배열이 부채꼴 형태로 늘어지므로 부품 배치 등의 공간적 제약이 발생하게 되는 문제가 있다.
본 발명은 반도체 다이와 인쇄회로 기판 사이의 배선을 단순화시켜서 부품 배치가 용이하고, 적은 부피로도 구성 가능한 반도체 패키지를 제공하는 데 있다.
본 발명의 제1 측면에 따른 인터포저는,
서로 대향되는 제1 및 제2 면을 포함하는 다면체의 몸체와;
상기 제1 면에 형성된 복수의 전기 접점들과;
상기 제1 및 제2 면을 관통하는 복수의 홀을 포함한다.
본 발명의 제2 측면에 따른 반도체 패키지는,
적어도 하나의 전기 회로 및 그 상면에 위치된 복수의 제1 전기 단자들을 포함하는 인쇄회로 기판과;
상호 대향되는 제1 및 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 및 제2 면 각각에 형성되는 제2 전기 단자들을 포함하는 다각 몸체를 포함하며,
상기 다각 몸체는 상기 제1 전기 단자들에 상기 홀과 상기 제2 전기 단자들 이 대응되도록 상기 인쇄회로 기판 상에 안착된다.
이하에서는 첨부도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능, 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 패키지를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 B~B'을 따라 절단된 반도체 패키지의 단면을 도시한 도면이고, 도 5는 도 3에 도시된 A~A'을 따라 절단된 반도체 패키지의 단면을 도시한 도면이고, 도 6은 도 3에 도시된 반도체 패키지의 평면 상태를 도시한 도면이다. 도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 실시 예에 따른 반도체 패키지(200)는 복수의 전기 접점들(202)을 포함하는 인쇄회로 기판(210)과, 인터포저(230)와, 반도체 다이(220)와, 상기 인터포저(230)와 상기 인쇄회로 기판(210)의 사이에 삽입된 지지 부재(201)를 포함한다.
도 8은 도 3에 도시된 인쇄회로 기판의 상면을 도시한 평면도이다. 도 8에 도시된 인쇄회로 기판(210)은 복수의 제1 및 제2 전기 접점들(202,231b)을 포함하며, 상기 인터포저(230)와 상기 반도체 다이(220)는 상기 인쇄회로 기판(210) 상에 안착되며, 상기 제1 및 제2 전기 접점들(202,231b)은 상기 인터포저(230)가 안착되는 상기 인쇄회로 기판(210)의 상 면에 형성된다.
상기 제2 전기 단자들(221) 중 일부는 제1 와이어들(222a)에 의해서 상기 제 1 전기 단자들(231a)과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 전기 단자들(231a)과 연결되지 않은 나머지 제2 전기 단자들(221)은 제2 와이어들(222b)에 의해서 상기 제2 전기 접점들(231b)과 전기적으로 연결된다. 상기 제1 및 제2 와이어들(222a,222b)은 스티치 본딩 또는 와이어 본딩에 의해 전기적으로 연결된다.
상기 제1 및 제2 와이어들(222a, 222b)은 초정밀 세라믹 가공 제품인 캐피러리(반도체칩과 리드 프레임을 연결해주는 골드 와이어를 부착하는 장치)에 의해 와이어 본딩될 수 있으며, 상술한 캐피러리의 이동 궤적에 따라서 상기 제2 전기 접점들(231b)에 연결되는 상기 제2 와이어들(222b)이 바닥에 닿는 형태로 형성이 가능하고, 상기 지재 부재(solder resist; 201)의 두께와 본딩된 상기 제2 와이어들(222b)의 두께를 비슷하게 형성함으로써 상기 인터포저(230) 안착시 상기 각 제2 와이어(222b)에 눌림이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 3에 도시된 인터포저를 도시한 도 7을 참조하면, 상기 인터포저(230)는 상호 대향되는 제1 및 제2 면을 포함하는 다면체 형태의 몸체(234)와, 상기 제1 및 제2 면을 관통하는 홀들(232)과, 상기 제1 면에 형성되는 제1 전기 단자들(231a)을 포함한다.
상기 인터포저(230)는 상기 제1 전기 접점들(202)에 상기 각 홀들(232)이 대응되도록 상기 인쇄회로 기판(210) 상에 안착되며 상기 각 홀(232)은 상기 제1 전기 접점들(202)과 전기적으로 연결된다.
도 9는 도3에 도시된 인쇄회로 기판의 일부 단면을 도시한 도면이고, 도 10은 도 3에 도시된 인터포저의 일부 단면을 도시한 도면이다. 상기 각 제2 전기 접 점들(202)과 상기 각 홀(232)의 상호 접하는 부분은 골드 스터드 범퍼(Gold stud bump)에 의해서 전기적으로 연결된다. 도 9 및 도 10에 도시된 바를 참조하면, 상기 각 제2 전기 접점들(202)은 골드(gold) 재질의 전극(202a)과 상기 전극(202a) 상에 형성된 솔더 범퍼(solder bumper;202a)를 포함한다. 상기 각 홀들(232)은 상기 제2 전기 접점들(202)에 접하는 측에 대칭되는 형태의 전극(232a)와, 솔더 범퍼(232b)가 형성된다.
상기 제2 전기 접점들(202)과 상기 홀(232)들은 각각의 솔더 범퍼들(202a,232b)이 상호 접하게 정렬된 후, 열처리 과정인 리플로우(Reflow)를 거쳐서 완전하게 접합된다.
또한, 상기 지지 부재(201)은 일종의 솔더 레지스터(Soler resist)로서, 상기 제2 전기 접점들(202)의 사이에 위치됨으로서, 리플로우 등의 열처리 과정 중에 솔더 범퍼들(202a,232b)이 과도하게 용융되어 인접한 다른 제2 전기 접점들과 전기적으로 연결되는 것을 방지하는 기능도 제공할 수 있으며, 바람직하게는 상기 솔더 범퍼(202a, 232b)보다 높은 두께를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.
상기 반도체 다이(220)는 복수의 제2 전기 단자들(221)을 구비하며, 상기 제2 전기 단자들(221) 중 일부는 상기 제1 전기 단자들(231a)에 전기적으로 연결되고, 상기 제2 전기 단자들(221) 중 상기 제1 전기 단자(231a)와 연결되지 않은 나머지 일부는 본딩 패드 형태의 제2 전기 접점들(231b)과 연결된다.
본 발명은 반도체 다이를 포함하는 반도체 패키지에 관한 발명으로서, 반도체 다이와 전기적으로 연결되는 인터포저를 이용해서 인쇄회로 기판과 반도체 다이를 전기적으로 연결함으로써, 라우팅 측면을 고려할 경우 재배선이 가능해 외부 입출력 핀으로의 배선이 용이하다.

Claims (8)

  1. 인터포저에 있어서,
    서로 대향되는 제1 및 제2 면을 포함하는 다면체의 몸체와;
    상기 제1 면에 형성된 복수의 전기 단자들과;
    상기 제1 및 제2 면을 관통하는 복수의 홀을 포함함을 특징으로 하는 반도체 다이와 인쇄회로 기판을 연결시키기 위한 인터포저.
  2. 반도체 패키지에 있어서,
    그 상면에 형성된 복수의 전기 접점들을 포함하는 인쇄회로 기판과;
    상호 대향되는 제1 및 제2 면과, 상기 제1 및 제2 면을 관통하는 홀과, 상기 제1 면 각각에 형성된 제1 전기 단자들을 포함하는 인터포저를 포함하며,
    상기 인터포저는 상기 전기 접점들에 상기 홀들이 대응되도록 상기 인쇄회로 기판 상에 안착됨을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 인터포저는 제2 면이 상기 인쇄회로 기판의 상 면에 대면하게 안착됨을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  4. 제2 항에 있어서, 상기 전기 접점들은,
    상기 인쇄회로 기판 상에 형성되며 상기 홀들에 일대일에 대응되는 제1 전기 접점들과;
    상기 제1 전기 단자들에 대응되는 제2 전기 접점들로 구성됨을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  5. 제2 항에 있어서, 상기 반도체 패키지는,
    복수의 제2 전기 단자들을 구비하며, 상기 인쇄회로 기판 상에 안착되는 반도체 다이를 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  6. 제4 항에 있어서, 상기 반도체 패키지는,
    상기 제2 전기 단자들 중 일부와 상기 제1 전기 단자들을 전기적으로 연결시키는 제1 와이어들과;
    상기 제2 전기 단자들 중 상기 제1 전기 단자들과 연결되지 않은 제2 전기 단자들을 상기 제2 전기 접점들과 연결시키기 위한 제2 와이어들을 더 포함함을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 와이어들은 스티치 본딩에 의해 전기적으로 연결됨을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 와이어들은 와이어 본딩에 의해 전기적으로 연결됨을 특징으로 하는 반도체 패키지.
KR1020060073867A 2006-08-04 2006-08-04 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지 KR100810349B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073867A KR100810349B1 (ko) 2006-08-04 2006-08-04 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지
US11/672,634 US7777324B2 (en) 2006-08-04 2007-02-08 Interposer and semiconductor package with reduced contact area

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060073867A KR100810349B1 (ko) 2006-08-04 2006-08-04 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080012671A true KR20080012671A (ko) 2008-02-12
KR100810349B1 KR100810349B1 (ko) 2008-03-04

Family

ID=39028344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060073867A KR100810349B1 (ko) 2006-08-04 2006-08-04 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7777324B2 (ko)
KR (1) KR100810349B1 (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8114935B2 (en) 2009-05-04 2012-02-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Microporous precipitated silica
US20130134553A1 (en) 2011-11-30 2013-05-30 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Interposer and semiconductor package with noise suppression features

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6861290B1 (en) * 1995-12-19 2005-03-01 Micron Technology, Inc. Flip-chip adaptor package for bare die
US6175158B1 (en) * 1998-09-08 2001-01-16 Lucent Technologies Inc. Interposer for recessed flip-chip package
US6218629B1 (en) * 1999-01-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Module with metal-ion matrix induced dendrites for interconnection
US6333562B1 (en) * 2000-07-13 2001-12-25 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Multichip module having stacked chip arrangement
JP4397111B2 (ja) * 2000-09-08 2010-01-13 新日本無線株式会社 チップサイズパッケージ
SG108245A1 (en) * 2001-03-30 2005-01-28 Micron Technology Inc Ball grid array interposer, packages and methods
US6528408B2 (en) * 2001-05-21 2003-03-04 Micron Technology, Inc. Method for bumped die and wire bonded board-on-chip package
JP2003204015A (ja) * 2002-01-10 2003-07-18 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置、半導体装置の製造方法、及びインターポーザ基板の製造方法
US6830463B2 (en) * 2002-01-29 2004-12-14 Fci Americas Technology, Inc. Ball grid array connection device
US8089142B2 (en) * 2002-02-13 2012-01-03 Micron Technology, Inc. Methods and apparatus for a stacked-die interposer
US7361844B2 (en) * 2002-11-25 2008-04-22 Vlt, Inc. Power converter package and thermal management
JP2006073651A (ja) * 2004-08-31 2006-03-16 Fujitsu Ltd 半導体装置
JP2006351664A (ja) * 2005-06-14 2006-12-28 Renesas Technology Corp 半導体装置
US7411292B2 (en) * 2005-09-27 2008-08-12 Kingston Technology Corporation Flash memory card
JP4726640B2 (ja) * 2006-01-20 2011-07-20 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置
US7443011B2 (en) * 2006-02-10 2008-10-28 Marvell International Technology Ltd. System and method for routing supply voltages or other signals between side-by-side die and a lead frame for system in a package (SIP) devices
US7486525B2 (en) * 2006-08-04 2009-02-03 International Business Machines Corporation Temporary chip attach carrier
US7566962B2 (en) * 2006-12-26 2009-07-28 Advanced Semiconductor Engineering Inc. Semiconductor package structure and method for manufacturing the same

Also Published As

Publication number Publication date
US7777324B2 (en) 2010-08-17
US20080029871A1 (en) 2008-02-07
KR100810349B1 (ko) 2008-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8106507B2 (en) Semiconductor package having socket function, semiconductor module, electronic circuit module and circuit board with socket
JP2967344B2 (ja) 積層型半導体パッケージモジュール及び積層型半導体パッケージモジュールの製造方法
TWI496262B (zh) 多導線架封裝
KR20150041029A (ko) Bva 인터포저
US7829990B1 (en) Stackable semiconductor package including laminate interposer
KR101479440B1 (ko) 적층형 마이크로전자 패키지
US20080029884A1 (en) Multichip device and method for producing a multichip device
JP2007324354A (ja) 半導体装置
JP2013515371A (ja) 低インダクタンス化された結合素子が接合されたマイクロ電子アセンブリ
US20050116322A1 (en) Circuit module
US20090179318A1 (en) Multi-channel stackable semiconductor device and method for fabricating the same, and stacking substrate applied to the semiconductor device
US8063474B2 (en) Embedded die package on package (POP) with pre-molded leadframe
JP2001156251A (ja) 半導体装置
WO2014203739A1 (ja) 半導体装置及びその製造方法
KR100810349B1 (ko) 인터포저와 그를 이용한 반도체 패키지
JPH03295266A (ja) 高集積半導体装置
US5946195A (en) Semiconductor device, method of making the same and mounting the same, circuit board and flexible substrate
JP2006286920A (ja) 電子部品内蔵用リードフレーム、電子部品内蔵リードフレーム、および、樹脂封止型電子部品内蔵半導体装置
JP3625714B2 (ja) 半導体装置
KR20060074146A (ko) 반도체 패키지 모듈
US20040159925A1 (en) Semiconductor device and method for manufacture thereof
JP3174238B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH0547836A (ja) 半導体装置の実装構造
US20240030107A1 (en) Semiconductor device and mounting structure thereof
KR200231862Y1 (ko) 반도체 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Re-publication after modification of scope of protection [patent]
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130130

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140128

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150129

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160128

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee