JP3625714B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、小型化および高集積化に適応した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
昨今における半導体装置の小型化および高集積化に伴って、限られた面積内でICメモリの容積を向上させるための半導体チップ積層技術の開発が進められており、1つのパッケージ内に複数の半導体チップを積層して搭載する半導体装置が実用化されている。
【0003】
図10に示す半導体装置Aは、1つの基板Bに複数の半導体チップCa,Cb,Cc,Cdを順次積層して実装するとともに、基板Aの配線パターンと各半導体チップCa〜Cdとを、それぞれボンディングワイヤW,W…を介して接続し、上記各半導体チップCa〜CdとボンディングワイヤW,W…とを、パッケージPで樹脂封止することによって構成されている。
【0004】
上記構成の半導体装置Aによれば、基板B上に複数の半導体チップCa〜Cdを搭載した場合でも、パッケージPの平面サイズはあまり大きくならず、もって外観の小型化に関して有利なものとなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の半導体装置Aでは、基板Bに複数の半導体チップCa〜Cdを搭載することによって以下の如き問題が発生している。
【0006】
すなわち、基板Aの配線パターンと各半導体チップCa〜Cdとは、上述の如くボンディングワイヤW,W…を介して電気的に接続されており、積層する半導体チップの個数を増加させた場合、それに伴ってボンディングワイヤWの使用本数も増加するため、限られた面積の基板A上において、ボンディングワイヤWを接続させるポイントが確保できなくなってしまう。
【0007】
このため、積層する半導体チップの個数を増加させる場合には、基板の面積を大きくしなければならず、これによってパッケージの平面サイズ、すなわち半導体装置の外観が大型化することとなる。一例として、パッケージサイズが8mm×8mmの場合、4個以上の半導体チップを積層すると、基板にボンディングワイヤを接続させるポイントが確保できないため、4個以上の半導体チップを積層する場合には、パッケージサイズを9mm×9mmに大型化しなければならない。
【0008】
また、上記構成の半導体装置Aでは、基板Bに対して複数の半導体チップCa〜Cdを搭載する工程や、基板Bと複数の半導体チップCa〜Cdとを接続するワイヤボンディング工程が繁雑であるため、1つの半導体装置を製造するのに時間が掛かるばかりでなく、基板Bに搭載する半導体チップの個数やサイズに合わせて、基板Bにおける配線パターンやパッケージの形状を設計する必要があるため、半導体チップの個数やサイズ等の仕様が変更される毎に、上述した配線パターン等を設計しなければならず、これによって製品のリードタイムが長期化する不都合があった。
【0009】
本発明は上記実状に鑑みて、平面サイズの大形化を伴うことなく任意の個数の半導体チップを積層することが可能であるとともに、リードタイムの短縮をも達成することの可能な半導体装置の提供を目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するべく、本発明に関わる半導体装置は、一方面に配線パターンの形成された基板と、該基板の一方面に搭載され前記配線パターンと電気的に接続される半導体チップとを有し、少なくとも前記半導体チップと前記配線パターンとの接続部を樹脂封止して成り、樹脂封止部の外方に突出させて露呈する基板の縁部に、配線パターンと接続されるとともに縁部の端面、縁部の一方面、および縁部の他方面から突出した形態のハンダボールを設けている。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、一実施例を示す図面に基づいて、本発明を詳細に説明する。
図1および図2に示す如く、本発明に関わる半導体装置1は、半導体チップ2と該半導体チップ2を搭載する基板10とを具備している。
【0012】
基板10は、ポリイミドやBTレジン等の絶縁材料から形成されており、図3に示すように、一方面の略中央域は半導体チップ搭載部10Aを構成しているとともに、左右の側縁域には半導体チップ搭載部10aを挟む態様で配線パターン11,11…が形成されており、これら配線パターン11,11…は、Cu(銅)等の導電性金属から形成され、半導体チップ搭載部10Aから外方に向けて延在している。
【0013】
また、上記基板10における左右の縁部10Eは、後述するパッケージ3の外方に突出する態様で延設されており、これら縁部10Eには後述するハンダボール4,4…の設置される切欠き10a,10a…が形成されている。
【0014】
さらに、上述した各切欠き10a,10a…の縁部には、上記配線パターン11の一部を延設して成る接続部11a,11a…が設けられている。
なお、上記接続部11aは配線パターン11と一体に形成したものでも、あるいは配線パターン11とは別工程で形成して配線パターン11と接続させたものであっても良い。
【0015】
図2に示すように、半導体チップ2の電極パッド(図示せず)と各配線パターン11とは、それぞれボンディングワイヤW,W…を介して電気的に接続されており、上記半導体チップ2、各ボンディングワイヤW、および各配線パターン11の基部は、パッケージ3によって樹脂封止されている。
【0016】
さらに、上記パッケージ2から突出して延在する、基板10の縁部10Eにおける切欠き10a,10a…には、該切欠き10aの縁部および上下面を覆う態様で、接続部11a,11a…を介して配線パターン11,11…と接続されるハンダボール4,4…が形成されている。
ここで、各々のハンダボール4,4…は球形状を呈しており、図1 ( a ) 、 ( b ) において明示する如く、基板10における縁部10Eの端面から側方に向けて突出し、さらに縁部10Eの下面 ( 一方面 ) から下方へ向けて突出するとともに、縁部10Eの上面 ( 他方面 ) から上方へ向けて突出している。
【0017】
なお、基板10の縁部10Eにおける切欠き10a,10a…の形状は、球形状のハンダボール4を安定して形成する上では、図4に示す如く一方の解放された半円形状を呈していることが望ましく、また基板10の縁部10Eに形成し得るハンダボール4の個数を増大させる上では、狭ピッチでの形成が可能である点から図5に示す如く一方の解放された四角形状であることが望ましい。
【0018】
一方、上述した半導体装置1の製造工程を説明すると、先ず図6(a)に示す如く基板10の半導体チップ搭載部10Aに、Agペースト等の接着剤によって半導体チップ2を接着固定して搭載する。
【0019】
次いで、図6(b)に示す如く半導体チップ2の電極パッド(図示せず)と、基板10の各配線パターン11とを、Au(金)線等から成るボンディングワイヤWを用いて各々電気的に接続したのち、図5(c)に示す如くパッケージ3によって半導体チップ2、各ボンディングワイヤW、および各配線パターン11の基部を樹脂封止する。
【0020】
次いで、パッケージ2から突出する基板10の縁部10Eにおける切欠き10a,10a…に、図6(d)に示す如く各々ハンダボール4を形成することによって、製品としての半導体装置1が完成することとなる。
【0021】
図7に示す如く、実装基板100に半導体装置1を実装する場合には、実装基板100上の所定位置、具体的には接続端子101,101…上にハンダボール4,4…が位置する態様で、実装基板100上に半導体装置1を載置する。
【0022】
ここで、複数個の半導体装置1,1…を積層する場合には、図示していない治具を用いて、所定個数の半導体装置1,1…を互いに位置決めしつつ単純に積み上げる。
【0023】
また、複数個の半導体装置1,1…を水平方向に展開する場合には、個々の半導体装置1を、各々実装基板100に対して位置決めしつつ互いに隣接する位置態様で配置する。
【0024】
所定個数の半導体装置1,1…を、実装基板100上の所定位置にセットしたのち、図示していないリフロー炉を通すことにより、各半導体装置1におけるハンダボール4,4…が溶融・凝固して、各半導体装置1,1…が互いに電気的に接続されるとともに、実装基板100の接続端子101,101…と電気的に接続されることとなる。
【0025】
上述した如く、本発明に関わる半導体装置1によれば、基板10の縁部10E,10Eを、パッケージ3の外方に突出させるとともに、上記縁部10E,10Eに、配線パターン11,11…と接続されるハンダボール4,4…を設けたことにより、実装基板100に対する載置面積の増大を伴うことなく、所望する複数個の半導体装置1,1…を積層することができ、また積層し得る半導体装置の個数に実質的な制限もない。
【0026】
また、本発明に関わる半導体装置1によれば、リフロー炉を通すのみで複数個の半導体装置1,1…を、一括して電気的に接続させることが可能なので、大幅なリードタイムの短縮が可能となる。
【0027】
また、本発明に関わる半導体装置1は、縦方向に積層した状態で実装されるのみならず、互いに隣接させた状態で水平方向へ展開して実装することも可能なので、実装基板100上における半導体装置の集積度が大幅に向上する。
【0028】
また、半導体装置1を構成する基板10は、配線パターン11,11…を一方面にのみ形成し、かつスルーホールを設けていない極めて簡易な構造であるために、半導体装置1の製造に関わるコストを低減することができる。
【0029】
また、本発明に関わる半導体装置1によれば、種類の異なる半導体装置であっても、その外観の形状やサイズを統一しておくことにより、種類の異なる半導体装置を混在させて実装(積層/水平方向に展開)することが可能となる。
【0030】
さらに、本発明に関わる半導体装置1では、半導体チップ2と基板10上の配線パターン11,11…とが直接に結合されていないので、実装基板100に実装された状態において、半導体チップ2と実装基板100との間における応力が緩和されることとなる。
【0031】
また、上述した実施例においては、ハンダボール4,4…を左右(2方向)に設けた半導体装置1を例示したが、図8に示した半導体装置1′のように、ハンダボール4′,4′…を4方向に設けることも勿論可能である。
【0032】
なお、半導体装置1′の構成は、基板10における配線パターン11,11…のレイアウトが異なる以外、上述した半導体装置1と基本的に変わるところはないので、半導体装置1における各部の符合に′(ダッシュ)を付すことで詳細な説明は省略する。
【0033】
また、上述した実施例においては、半導体チップ2と基板10の配線パターン11とをボンディングワイヤWで接続した半導体装置1を例示したが、図9に示した半導体装置1″のように、半導体チップ2″をハンダボール2a″を介して基板10″の配線パターン11″と接続させる、いわゆるフリップチップ接続を採用することも可能である。
【0034】
このように、半導体チップ2″と基板10″とを、フリップチップ接続することにより、半導体装置1″における外観の小型化が達成されることとなる。
【0035】
なお、半導体装置1″の構成は、半導体チップ2″と基板10″との接続態様、および樹脂封止の態様が異なる以外、上述した半導体装置1と基本的に変わるところはないので、半導体装置1の構成要素と同一の作用を為す要素の符合に、″(ツーダッシュ)を付すことで詳細な説明は省略する。
【0036】
【発明の効果】
以上、詳述した如く、本発明に関わる半導体装置は、一方面に配線パターンの形成された基板と、該基板の一方面に搭載されて配線パターンと電気的に接続される半導体チップとを有し、少なくとも半導体チップと配線パターンとの接続部を樹脂封止して成り、樹脂封止部の外方に突出させて露呈する基板の縁部に、配線パターンと接続されるとともに縁部の端面、縁部の一方面、および縁部の他方面から突出した形態のハンダボールを設けている。
【0037】
上記構成によれば、実装基板に対する載置面積の増大を伴うことなく、所望する複数個の半導体装置を積層することができ、また積層し得る半導体装置の個数に実質的な制限もない。
【0038】
また、上記構成によれば、リフロー炉を通すのみで複数個の半導体装置を一括して電気的に接続させることが可能なので、従来の半導体装置に比べて大幅なリードタイムの短縮が可能となる。
【0039】
このように、本発明に関わる半導体装置によれば、平面サイズの大形化を伴うことなく任意の個数の半導体チップを積層することが可能であり、かつリードタイムの大幅な短縮をも達成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)および(b)は本発明に関わる半導体装置を示す外観平面図および外観側面図。
【図2】本発明に関わる半導体装置を示す断面側面図。
【図3】本発明に関わる半導体装置の構成要素である基板を示す平面図。
【図4】(a),(b)は本発明に関わる半導体装置の基板における配線パターンを示す要部平面図および要部断面図。
【図5】本発明に関わる半導体装置の基板における配線パターンの変形例を示す要部平面図。
【図6】(a),(b),(c),(d)は本発明に関わる半導体装置の製造工程を順を追って示す概念的な平面図。
【図7】本発明に関わる半導体装置の実装態様を概念的に示す側面図。
【図8】(a)および(b)は本発明に関わる半導体装置の他の実施例を示す外観平面図および外観側面図。
【図9】(a)および(b)は本発明に関わる半導体装置の他の実施例を示す外観平面図および断面側面図。
【図10】従来の半導体装置を示す断面側面図。
【符号の説明】
1…半導体装置、
2…半導体チップ、
3…パッケージ、
4…ハンダボール、
10…基板、
10E…縁部、
10a…切欠き、
11…配線パターン。
Claims (4)
- 一方面に配線パターンの形成された基板と、該基板の一方面に搭載され前記配線パターンと電気的に接続される半導体チップとを有し、少なくとも前記半導体チップと前記配線パターンとの接続部を樹脂封止して成る半導体装置であって、
前記樹脂封止部の外方に突出させて露呈する前記基板の縁部に、前記配線パターンと接続されるとともに前記縁部の端面、前記縁部の一方面、および前記縁部の他方面から突出した形態のハンダボールを設けて成ることを特徴とする半導体装置。 - 前記基板の縁部にハンダボールの設置される切欠きを設けるとともに、前記切欠きの縁部に配線パターンの一部を設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記基板の切欠きは、一方の解放された半円形状を呈していることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記基板の切欠きは、一方の解放された四角形状を呈していることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
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