KR20080006532A

KR20080006532A - 탈기 장치

Info

Publication number: KR20080006532A
Application number: KR1020077004131A
Authority: KR
Inventors: 하지메 오오야
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2005-05-09
Filing date: 2006-05-01
Publication date: 2008-01-16
Also published as: JP4584018B2; JP2006312140A; KR101270316B1; US7686867B2; US20070240569A1; WO2006120965A1

Abstract

감압 챔버를 구성하는 용기와 덮개체와의 사이의 밀봉 부재의 배치를 생략할 수 있으면서도, 밀봉성의 저하(기밀의 저하)가 억제된 탈기 장치를 제공한다. 중심축을 따라 신장하는 통형체인 용기, 및 통형체 단부의 개구부를 밀봉하는 덮개체를 구비하는 감압 챔버와, 감압 챔버 외부로부터 유입한 피탈기 액체가 내부를 통과하고 통과 후의 피탈기 액체가 감압 챔버 외부로 유출하도록 감압 챔버의 내부에 수용된 기체 투과성 튜브를 구비하는 탈기 장치이며, 용기에 있어서의 개구부 근방의 내주면에, 중심축에 대해 소정 각도(θ)로 경사져 용기의 개구측으로 감에 따라서 중심축으로부터 이격되어 가는 제1 경사면이 형성되어 있고, 덮개체에 있어서의 용기와의 접촉부에 개구부를 밀봉한 상태에서 중심축에 대해 각도(θ)로 경사져 감압 챔버의 내부측으로 감에 따라서 중심축으로 근접해 가는 제2 경사면이 형성되어 있고, 상기 개구부는 제1 경사면과 제2 경사면이 접촉한 상태에서 용기와 덮개체가 접합됨으로써 밀봉되어 있는 탈기 장치로 한다.

감압 챔버, 덮개체, 기체 투과성 튜브, 접속구, 유입구, 유출구

Description

탈기 장치{DEAERATOR}

본 발명은 액체에 포함되는 기체를 탈기하는 탈기 장치에 관한 것이다.

액체 중의 용존 가스는 액체가 유통하는 관체의 부식, 기포의 발생에 의한 압력이나 열교환율의 저하, 발생한 기포에 의한 액체의 도포 불균일 등의 원인이 된다. 이로 인해, 액체의 사용 방법이나 사용 목적에 따라서는 탈기가 필요하다.

액체(피탈기 액체)의 탈기에는, 예를 들어 일본 특허 공개 제2002-253936호 공보(문헌 1)에 개시되어 있는 분리막 모듈(도2를 참조)을 응용할 수 있다. 도2에 도시하는 분리막 모듈(101)은 통 형상의 하우징(102), 및 하우징(102)의 개구부를 밀봉하는 플랜지(103)를 구비하고 있다. 분리막 모듈(101)에서는, 기체 투과성 튜브로서 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 다공질 튜브(109)가 하우징(102)의 내부에 수용되고, PTFE 다공질 튜브(109)의 양단부는 각각 피탈기 액체의 입구(액체 입구)(105) 및 출구(액체 출구)(106)에 접속되어 있다. 이와 같은 분리막 모듈(101)에서는, 액체 입구(105)로부터 피탈기 액체를 유입시켜 PTFE 다공질 튜브(109) 내부를 통과시키는 동시에, 하우징(102)에 형성된 가스 공급구(107) 및/또는 가스 배출구(108)를 통해 하우징(102) 내부를 감압함으로써 피탈기 액체의 탈기를 행할 수 있다(문헌 1에 있어서의 단락 [0017]에 기재).

문헌 1에 개시되어 있는 분리막 모듈(101)에서는, 하우징(102)과 플랜지(103)는 용접, 접착, 나사 고정 등의 방법에 의해 접합된다(문헌 1에 있어서의 단락 [0018]에 기재). 용접에 의한 접합에서는, 하우징(102)과 플랜지(103) 사이의 밀봉성은 양호하지만, 용접시의 열에 의해 하우징(102) 내에 수용된 부재, 예를 들어 기체 투과성 튜브에 손상이 생기는 경우가 있다. 접착에 의한 접합에서는, 기체 투과성 튜브를 가스 상태에서 투과한 물질에 의해 접착제가 열화되어 하우징(102)과 플랜지(103) 사이의 밀봉성이 저하되는 경우가 있다. 나사 고정에 의한 접합에서는 하우징(102)과 플랜지(103) 사이의 밀봉성을 유지하기 위해, 밀봉 테이프, O링, 그랜드 패킹 등의 밀봉 부재의 배치가 필요하다. 또한, 피탈기 액체의 종류에 따라서는, 상기 액체에 대해 화학적인 내성을 갖는 밀봉 부재의 사용이 요구되지만, 적절한 밀봉 부재가 존재하지 않거나, 혹은 존재해도 매우 고가이다.

그래서 본 발명에서는, 플랜지와는 다른 형태로 접합하는 덮개체와 용기를 조합함으로써, 용기와 덮개체 사이의 밀봉 부재의 배치를 생략할 수 있으면서도, 밀봉성의 저하(기밀의 저하)가 억제된 탈기 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 탈기 장치는 중심축을 따라 신장하는 통형체인 용기, 및 상기 통형체 단부의 개구부를 밀봉하는 덮개체를 구비하는 감압 챔버와, 상기 감압 챔버 외부로부터 유입한 피탈기 액체가 내부를 통과하고, 또한 통과 후의 상기 피탈기 액체가 상기 감압 챔버 외부로 유출하도록 상기 감압 챔버의 내부에 수용된 기체 투과성 튜브를 구비한다. 본 발명의 탈기 장치에서는, 상기 용기에 있어서의 상기 개구부 근방의 내주면에, 상기 중심축에 대해 소정 각도(θ)로 경사지고, 또한 상기 용기의 개구측으로 감에 따라서 상기 중심축으로부터 이격되어 가는 제1 경사면이 형성되어 있다. 또한, 상기 덮개체에 있어서의 상기 용기와의 접촉부에 상기 개구부를 밀봉한 상태에서 상기 중심축에 대해 상기 각도(θ)로 경사지고, 또한 상기 감압 챔버의 내부측으로 감에 따라서 상기 중심축으로 근접해 가는 제2 경사면이 형성되어 있다. 상기 개구부는 상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면이 접촉한 상태에서 상기 용기와 상기 덮개체가 접합됨으로써 밀봉되어 있다.

본 발명에 따르면, 감압 챔버를 구성하는 용기 및 덮개체로서, 소정 각도 및 방향을 갖는 제1 경사면이 개구부 근방의 내주부에 형성된 용기와, 소정 각도 및 방향을 갖는 제2 경사면이 용기와의 접촉부에 형성된 덮개체를 이용하여, 상기 제1 및 제2 경사면이 서로 접촉한 상태에서 용기와 덮개체를 접합시킨 구조를 갖는 탈기 장치로 함으로써, 용기와 덮개체 사이의 밀봉 부재의 배치를 생략할 수 있으면서도 탈기 장치의 밀봉성의 저하(기밀의 저하)를 억제할 수 있다.

도1은 본 발명의 탈기 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.

도2는 탈기 장치에 응용 가능한 종래의 분리막 모듈의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 동일한 부재에 동일한 부호를 부여하고 중복하는 설명을 생략하는 경 우가 있다.

도1에 본 발명의 탈기 장치의 일례를 나타낸다. 도1에 도시하는 탈기 장치(1)는 중심축(6)을 따라 신장하고, 양쪽 단부에 개구부가 존재하는 통형체인 용기(2), 및 상기 개구부를 밀봉하는 덮개체(3)(3a 및 3b)를 구비하는 감압 챔버(4)와, 감압 챔버(4)의 내부에 수용된 기체 투과성 튜브(5)를 구비하고 있다. 기체 투과성 튜브(5)는 감압 챔버(4) 외부로부터 유입한 피탈기 액체가 내부를 통과하고, 또한 통과 후의 피탈기 액체가 감압 챔버(4) 외부로 유출하도록 덮개체(3a)에 형성된 유입구(11) 및 유출구(12)와 접속되어 있다. 용기(2)에는 감압 장치와 접속되는 접속구(13)가 형성되어 있다.

탈기 장치(1)에서는 접속구(13)에 감압 장치를 접속하고, 감압 챔버(4) 내부를 소정 압력으로 감압한 상태에서, 기체 투과성 튜브(5) 내에 피탈기 액체를 유통시킴으로써 피탈기 액체의 탈기를 행할 수 있다.

여기서, 도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는, 용기(2)에 있어서의 상기 개구부 근방의 내주면에 중심축(6)에 대해 소정 각도(경사도)(θ)로 경사지고, 또한 용기(2)의 개구측으로 감에 따라서 중심축(6)으로부터 이격되어 가는 제1 경사면(7)이 형성되어 있다. 또한, 덮개체(3a 및 3b)의 측면에, 용기(2) 및 덮개체(3)가 감압 챔버(4)를 구성한 상태에서[용기(2)에 있어서의 상기 개구부를 밀봉한 상태에서], 중심축(6)에 대해 상기 소정 각도(경사도)(θ)로 경사지고, 또한 감압 챔버(4)의 내부측으로 감에 따라서 중심축(6)에 근접해 가는 제2 경사면(8)이 형성되어 있다. 용기(2)에 있어서의 상기 개구부는 제1 경사면(7)과 제2 경사면(8)이 접 촉한 상태에서, 용기(2) 및 덮개체(3)(3a 및 3b)가 접합됨으로써 밀봉되어 있다.

이와 같은 구성에서는, 감압 챔버(4) 내부를 감압하였을 때에 덮개체(3)가 감압 챔버(4)의 내부를 향해 압박되는 동시에, 제1 경사면(7)과 제2 경사면(8)을 보다 밀착시키는 방향으로 힘이 작용한다. 이로 인해, 용기(2)와 덮개체(3) 사이의 밀봉 부재의 배치를 생략할 수 있으면서도, 감압 챔버(4)의 밀봉성의 저하(기밀의 저하)가 억제된 탈기 장치(1)로 할 수 있다.

도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는, 제1 경사면(7) 및 제2 경사면(8)은 각각 꼭지각이 각도(θ)인 원뿔 측면의 일부이고, 제1 경사면(7)은 용기(2)를 주회하도록, 제2 경사면(8)은 덮개체(3)를 주회하도록 형성되어 있다. 본 발명의 탈기 장치에 있어서, 제1 경사면(7) 및 제2 경사면(8)은 반드시 원뿔 측면의 일부가 아니라도 좋지만, 이와 같은 구성으로 함으로써 감압 챔버(4)의 밀봉성의 저하를 보다 억제할 수 있다.

도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는 제2 경사면(8)이 덮개체(3)의 측면에 형성되어 있지만, 제2 경사면(8)은 덮개체(3)에 있어서의 용기(2)와의 접촉부에 형성되어 있으면 좋다.

본 발명의 탈기 장치에서는, 용기(2)와 덮개체(3)를 접합하기 위해, 문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은 분리막 모듈과 같이 반드시 용접 또는 접착을 행하지 않아도 좋다. 예를 들어, 도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는 용기(2)에 있어서의 개구부 근방의 내주면의 형상이 원통 형상이고, 상기 내주면에 제1 나사부(21)가 형성되어 있다. 또한, 하우징(3)에 있어서의 측면의 형상이 원통형이며, 상기 측 면에 제2 나사부(22)가 형성되어 있다. 제1 나사부(21) 및 제2 나사부(22)는 모두 중심축(6)에 따른 면에 형성되어 있다. 용기(2)와 덮개체(3)는 제1 나사부(21) 및 제2 나사부(22)가 나사 결합함으로써 접합되어 있다. 이 접합 방법에서는, 용접의 경우와는 달리 용기(2)와 덮개체(3)의 재분리가 용이하므로, 예를 들어 기체 투과성 튜브(5)의 교환이 용이해진다. 또한, 접착의 경우에 보이는 바와 같은 피탈기 액체에 의한 밀봉성의 저하를 억제할 수 있다.

도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는 제2 나사부(22)가 덮개체(3)의 측면에 형성되어 있지만, 제2 나사부(22)는 덮개체(3)에 있어서의 용기(2)와의 접촉부에 형성되어 있으면 좋다.

용기(2)와 덮개체(3)는 도1에 도시한 바와 같이 나사 결합에 의해 접합되어 있을 뿐만 아니라, 끼워 맞춤에 의해 접합되어 있어도 좋고, 나사 결합 및 끼워 맞춤의 병용에 의해 접합되어 있어도 좋다. 끼워 맞춤에 의한 접합을 행하기 위해서는, 예를 들어 서로 대응하는 끼워 맞춤부가 각각 형성된 용기(2) 및 덮개체(3)로 하면 된다. 끼워 맞춤부는 상술한 제1 및 제2 나사부와 같은 장소에 형성되어 있으면 된다.

밀봉성의 발현이 보다 용이한 것, 용기(2)와 덮개체(3)와의 재분리가 보다 용이한 것 등으로부터, 용기(2)와 덮개체(3)는 나사 결합에 의해 접합되어 있는 것이 바람직하다.

제1 경사면(7)은 용기(2)의 개구부 근방의 내주면에 있어서의 임의의 장소에 형성되어 있으면 좋지만, 상기 내주면에 제1 나사부(21)가 함께 형성되어 있는 경 우, 제1 나사부(21)에 대해 용기(2)의 개구측에 제1 경사면(7)이 형성되어 있어도 좋고, 개구측과는 반대측에 제1 경사면(7)이 형성되어 있어도 좋다. 감압 챔버(4)의 밀봉성의 저하를 더 억제할 수 있으므로, 제1 나사부(21)에 대해 용기(2)의 개구측에 제1 경사면(7)이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 끼워 맞춤부가 형성된 용기(2)에 있어서의 끼워 맞춤부 및 제1 경사면(7)의 위치 관계에 대해서도 마찬가지이다.

본 발명의 탈기 장치에서는, 제1 경사면(7) 및 제2 경사면(8) 이외에, 서로 접촉한 상태에 있는 면이 용기(2) 및 덮개체(3)에 존재해도 좋다. 상기 면의 구성에 따라서는, 감압 챔버(4)의 밀봉성의 저하를 더욱 억제할 수 있다. 도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는, 덮개체(3)의 측면에 플랜지부(23)가 형성되어 있고, 플랜지부(23)에 있어서의 면(9)과, 용기(2)에 있어서의 면(8)이 서로 접촉한 상태에 있다.

용기(2)의 형상은 제1 경사면(7)이 형성되어 있는 한 특별히 한정되지 않지만, 나사 결합에 의한 용기(2)와 덮개체(3)와의 접합을 행하기 위해서는 용기(2)의 내주면에 있어서의 제1 나사부(21)를 형성하는 부분의 형상이 원통 형상일 필요가 있다.

용기(2)의 외주면 형상은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 원통형이라도 좋고, 각통형(角筒狀)이라도 좋다. 상기 외주면이 원통형인 경우, 감압 챔버(4)의 강도를 향상시킬 수 있고, 상기 외주면이 각이진 통형인 경우, 복수의 탈기 장치(1)를 나란히 배치하는 경우에 설치 면적을 공간 절약화할 수 있다.

또한, 도1에 도시하는 탈기 장치(1)와 같이 양쪽 단부에 개구부가 형성된 용기(2)라도 좋고, 한쪽 단부에만 개구부가 형성된 용기(2)[이 경우, 용기(2)는 바닥이 있는 통형체임]라도 좋다. 양쪽 단부에 개구부가 형성된 용기(2)는, 예를 들어 긴 파이프를 소정 길이로 절단하여 얻을 수 있으므로, 이와 같은 용기(2)로 함으로써 탈기 장치(1)의 생산성을 향상시킬 수 있다.

각도(경사도)(θ)는 통상 2°내지 88°의 범위이면 좋고, 감압 챔버(4)의 밀봉성의 저하를 더욱 억제하기 위해서는 5°내지 80°의 범위가 바람직하다.

용기(2)에 이용하는 재료는 금속(특히, 화학적인 내성이 우수하기 때문에 스테인레스가 바람직함), 글래스, 플라스틱 등이면 좋고, 플라스틱에는 통상 불소 수지나 폴리올레핀이 이용된다. 불소 수지로서는 예를 들어 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라플루오로에틸렌 공중합체(ETFE), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE) 등을 이용하면 좋고, 폴리올레핀으로서는 예를 들어 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP) 등을 이용하면 좋다. 그 중에서도 저렴하고, 내약품성, 리사이클성 및 가공성이 우수하기 때문에, 폴리프로필렌으로 이루어지는 용기(2)인 것이 바람직하다.

덮개체(3)의 형상은 용기(2)의 개구부를 밀봉할 수 있는 형상이고, 제1 경사면(7)과 접촉하는 제2 경사면(8)이 형성되어 있는 한 특별히 한정되지 않는다.

덮개체(3)에 이용하는 재료는 용기(2)에 이용하는 재료와 동일하면 좋다.

도1에 도시하는 탈기 장치(1)에서는 감압 장치와 접속하기 위한 접속구(13) 가 용기(2)에 설치되어 있지만, 덮개체(3)에 접속구(13)가 설치되어 있어도 좋다.

기체 투과성 튜브(5)에는 탈기 장치에 일반적으로 이용되는 튜브를 이용하면 된다. 구체적으로는, 예를 들어 PTFE, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 에틸렌-테트라플루오로에틸렌 공중합체(ETFE), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE) 등의 불소 수지류로 이루어지는 튜브, 폴리에틸렌(PE), 폴리프로필렌(PP) 등의 폴리올레핀류로 이루어지는 튜브를 이용하면 된다. 단위 용적당 막 면적을 넓게 하기 위해서는, 다수개의 중공 사체(絲體)를 집속한 튜브인 것이 바람직하고, 이 경우, 하나의 중공 사체의 직경은 통상 내경으로 하여 수십 ㎛ 내지 ㎜ 정도의 범위이고, 그 집속 개수는 통상 수개 내지 수백개 정도의 범위이다. 기체 투과성 튜브(5)의 단부에 있어서, 중공 사체끼리가 불소 수지 등의 열융착성을 갖는 수지에 의해 서로 접합되어 있어도 좋다.

기체 투과성 튜브(5)의 유출구(11) 및 유입구(12)로의 접속에는 일반적인 방법을 이용하면 된다. 예를 들어 도1에 도시한 바와 같이 기체 투과성 튜브(5)의 단부에 육각 캡 너트(14)를 이용하여 접속 부재(15)를 고정한 후에, 기체 투과성 튜브(5)를 고정한 접속 부재(15)를, 너트(16)를 이용하여 덮개체(3)의 개구부에 고정하면 된다. 이들 부재는 화학적인 내성이 우수하기 때문에 불소 수지로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 기체 투과성 튜브(5)가 접속 부재(15)에 고정된 상태를 탈기 엘리먼트라 칭하는 경우가 있다.

감압 챔버(4) 내에 기체 투과성 튜브(5)를 수용하는 방법은, 감압 챔버(4) 외부로부터 유입한 피탈기 액체가 내부를 통과하고, 또한 통과 후의 피탈기 액체가 감압 챔버(4) 외부로 유출하도록 수용되어 있는 한, 특별히 한정되지 않는다.

기체 투과성 튜브(5)가 접속되는 유출구(11) 및/또는 유입구(12)는 용기(2)에 형성되어 있어도 좋다.

감압 챔버(4) 내에 있어서 기체 투과성 튜브(5)가 수용되는 형상은 특별히 한정되지 않지만, 탈기 장치(1)의 탈기 능력을 향상할 수 있으므로 다중 코일 형상으로 수용되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 탈기 장치는 상술한 부재 이외에도, 필요에 따라서 임의의 부재를 포함하고 있어도 좋다.

이하, 실시예에 의해 본 발명을 더 구체적으로 설명한다. 본 발명은 이하에 나타내는 실시예에 한정되지 않는다.

본 실시예에서는 도1에 도시한 바와 같은 탈기 장치(1)를 제작하고, 그 밀봉성을 평가하였다.

처음에, 본 실시예에 있어서 평가한 각 샘플의 제작 방법을 나타낸다.

(실시예 샘플 1)

처음에, 폴리프로필렌으로 이루어지는 원통형의 파이프(내경 : 10 ㎝)를 길이 27 ㎝로 절단하고, 그 개구부 근방의 내주면에 도1에 도시한 바와 같이 제1 경사면(7) 및 제1 나사부(21)를 형성하고, 용기(2)로 하였다. 이 때, 제1 경사면(7)과 중심축(6)이 이루는 각도(θ)를 60°로 하고, 제1 나사부(21)의 피치는 2.0 ㎜로 하였다. 또한, 용기(2)의 측면에 감압 장치를 접속하는 접속구(13)를 형성하였 다.

다음에, 폴리프로필렌을 압출 성형 및 절삭하고, 제2 경사면(8) 및 제2 나사부(22)가 측면에 형성된, 도1에 도시하는 형상을 갖는 한 쌍의 덮개체(3a 및 3b)를 형성하였다. 한쪽 덮개체(3a)에는 유입구(11) 및 유출구(12)를 형성하였다.

다음에, 상술한 바와 같이 형성된 용기(2)과 덮개체(3b)를 제1 경사면(7)과 제2 경사면(8)이 접촉하도록 나사 결합시켜, 한쪽 개구부가 밀봉된 감압 챔버(4)를 형성하였다.

다음에, 형성한 감압 챔버(4) 내에 PTFE로 이루어지는 중공 사체(내경 0.95 ㎜, 두께 0.13 ㎜, 길이 3.5 m) 125개를 집속한 기체 투과성 튜브를 수용하였다. 수용은 기체 투과성 튜브의 단부에 PFA 분말을 살포한 후에 열처리하여(370 ℃, 10분), 중공 사체의 단부를 서로 접합시킨 상태에서 행하였다. 또한, PTFE로 이루어지는 육각 캡 너트(14), 접속 부재(15) 및 너트(16)를 이용하여 기체 투과성 튜브(5)와, 덮개체(3a)에 형성된 유입구(11) 및 유출구(12)를 접속하였다.

마지막으로, 용기(2)에 있어서의 아직 밀봉되지 않은 개구부와, 덮개체(3a)를 제1 경사면(7)과 제2 경사면(8)이 접촉하도록 나사 결합시켜, 도1에 도시한 바와 같은 탈기 장치(1)를 형성하여 샘플 1로 하였다.

(실시예 샘플 2)

샘플 1과 마찬가지로, 탈기 장치(1)를 형성하여 샘플 2로 하였다. 단, 각도(θ)을 85°로 하였다.

(실시예 샘플 3)

샘플 1과 마찬가지로, 탈기 장치(1)를 형성하여 샘플 3으로 하였다. 단, 각도(θ)를 5°로 하였다.

(비교예 샘플)

샘플 1과 마찬가지로 탈기 장치를 형성하였다. 단, 각도(θ)를 90°로 하고, 제1 경사면(7) 및 제2 경사면(8)이 형성되어 있지 않은 비교예 샘플로 하였다.

이와 같이 제작한 각 탈기 장치 샘플에 있어서의 유입구(11), 유출구(12) 및 접속구(13)를 각각 밸브를 통해 진공 펌프에 접속하고, 기체 투과성 튜브(5)의 내부를 포함하는 감압 챔버(4)의 내부 전체를 5.3 ㎪(절대압)가 될 때까지 감압하였다. 감압 후, 상기 밸브를 폐쇄하여 감압 챔버(4) 내부의 압력의 시간 변화를 측정하였다.

그 결과, 밸브를 폐쇄하고 나서 5분 후의 감압 챔버(4) 내부의 압력은 실시예 샘플 1 내지 3에서는 변화가 보이지 않았지만, 비교예 샘플에서는 6.8 ㎪(절대압)와, 감압 챔버(4) 내부의 진공도가 저하되었다.

본 발명은 그 의도 및 본질적인 특징으로부터 일탈하지 않는 한 다른 실시예에 적용할 수 있다. 본 명세서에 개시되어 있는 실시 형태는 모든 점에서 설명적인 것이며 이에 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는 상기 설명이 아닌 첨부한 클레임에 의해 개시되어 있고, 클레임과 균등한 의미 및 범위에 있는 모든 변경은 그것에 포함된다.

본 발명에 따르면, 감압 챔버를 구성하는 용기와 덮개체 사이의 밀봉 부재의 배치를 생략할 수 있으면서도, 밀봉성의 저하(기밀의 저하)가 억제된 탈기 장치를 제공할 수 있다.

Claims

중심축을 따라 신장하는 통형체인 용기, 및 상기 통형체 단부의 개구부를 밀봉하는 덮개체를 구비하는 감압 챔버와,

상기 감압 챔버 외부로부터 유입한 피탈기 액체가 내부를 통과하고, 또한 통과 후의 상기 피탈기 액체가 상기 감압 챔버 외부로 유출하도록 상기 감압 챔버의 내부에 수용된 기체 투과성 튜브를 구비하는 탈기 장치이며,

상기 용기에 있어서의 상기 개구부 근방의 내주면에, 상기 중심축에 대해 소정 각도(θ)로 경사지고, 또한 상기 용기의 개구측으로 감에 따라서 상기 중심축으로부터 이격되어 가는 제1 경사면이 형성되어 있고,

상기 덮개체에 있어서의 상기 용기와의 접촉부에 상기 개구부를 밀봉한 상태에서 상기 중심축에 대해 상기 각도(θ)로 경사지고, 또한 상기 감압 챔버의 내부측으로 감에 따라서 상기 중심축으로 근접해 가는 제2 경사면이 형성되어 있고,

상기 개구부는 상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면이 접촉한 상태에서 상기 용기와 상기 덮개체가 접합됨으로써 밀봉되어 있는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면은 꼭지각을 상기 각도(θ)로 하는 원뿔 측면의 일부이고,

상기 제1 경사면은 상기 용기를 주회하도록 형성되어 있고,

상기 제2 경사면은 상기 덮개체를 주회하도록 형성되어 있는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 덮개체의 측면에 상기 제2 경사면이 형성되어 있는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 용기와 상기 덮개체가 나사 결합 및 끼워 맞춤으로부터 선택되는 적어도 하나의 방법에 의해 접합되어 있는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 용기에 있어서의 개구부 근방의 내주면에 제1 나사부가 형성되어 있고,

상기 덮개체에 있어서의 상기 용기와의 접촉부에 제2 나사부가 형성되어 있고,

상기 용기와 상기 덮개체는 상기 제1 나사부 및 상기 제2 나사부가 나사 결합함으로써 접합되어 있는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 소정 각도가 2°내지 88°의 범위인 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면 이외에, 서로 접촉한 상태에 있는 면이 상기 용기 및 상기 덮개체에 존재하는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 용기 및 상기 덮개체로부터 선택되는 적어도 하나가 불소 수지 및 폴리올레핀으로부터 선택되는 적어도 하나의 재료로 이루어지는 탈기 장치.
제8항에 있어서, 상기 용기 및 상기 덮개체로부터 선택되는 적어도 하나가 폴리프로필렌으로 이루어지는 탈기 장치.
제1항에 있어서, 상기 기체 투과성 튜브가 불소 수지로 이루어지는 탈기 장치.
제10항에 있어서, 상기 불소 수지가 폴리테트라플루오로에틸렌인 탈기 장치.