JP2001029753A - フィルター組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決課題】 液漏れ防止性に優れたフィルター組立体
を提供する。 【解決手段】 液入口として作用する第１配管１１、液
出口として作用する第２配管１２、ベント口として作用
する第３配管１３と有するベース部１０と、ベース部１
０に当接する当接面２１ａ、当接面２１ａに設けられた
各々上記第１〜第３配管に対応する第１開口２４、第２
開口２５、第３開口２６を有する中空のカプセルフィル
ター２０と、を当接面２１ａに設けられているシール部
材設置部２７にシール部材２８を配することにより、液
密に連結させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液漏れ防止性に優
れたフィルター組立体に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】従来よ
り、工業プロセスにおける汚染制御のために、液体を分
離するフィルター組立体が用いられている。かかるフィ
ルター組立体は、特開平１０−７１３２６号公報に記載
されているように、各種医薬品、飲食料品や半導体等の
各種製品の製造工程において用いられている。

【０００３】そして、特開平１０−７１３２６号公報に
おいては、内部にフィルター要素を有する液体分離器モ
ジュールと、液入口、液出口及びベント口として作用す
る３つの配管とを有し、該配管は、該液体分離器モジュ
ールに設けられた雌型コネクタと、該液体分離器モジュ
ールの上部に配置されるマニホールドブロックに設けら
れた雄型コネクタとからなるフィルター組立体が開示さ
れている。さらに、該公報には、液漏れを防止するため
に、雄型コネクタの先端にシール材を配することが開示
されている。

【０００４】しかし、このような構造を有するフィルタ
ー組立体においては、未だ液漏れが生じる場合があり、
各種製造業において要求されている程度に液漏れ防止性
に優れたフィルター組立体の開発が要望されている。

【０００５】従って、本発明の目的は、液漏れ防止性に
優れたフィルター組立体を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも、
液入口として作用する第１配管、液出口として作用する
第２配管及びベント口として作用する第３配管を有する
ベース部と、前記ベース部に当接する当接面を備え、内
部にフィルター要素が配置された中空のカプセルフィル
ターと、を具備するフィルター組立体であって、前記カ
プセルフィルターにおける前記当接面には、前記第１配
管、前記第２配管及び前記第３配管それぞれに対応し
て、第１開口、第２開口及び第３開口が設けられて、該
カプセルフィルターの内部と外部とが各配管を介して連
通されており、前記第１開口、前記第２開口及び前記第
３開口における前記当接面側端部には、それぞれ、シー
ル部材を載置するシール部材設置部が形成されて、前記
シール部材設置部に配されたシール部材により、液密構
造となされていることを特徴とするフィルター組立体を
提供することにより、前記目的を達成したものである。

【０００７】本発明において、前記シール部材設置部の
深さは、前記シール部材の厚みよりも薄く、また、該シ
ール部材設置部の幅は、シール部材の幅よりも小さいこ
とが好ましい。

【０００８】また、前記第１配管、前記第２配管及び前
記第３配管は、液滴落下を防止するために、それぞれそ
れらの内径が絞られていることが好ましい。更に、前記
カプセルフィルターは、前記ベース部に脱着可能に固定
されており、前記第１配管、前記第２配管及び前記第３
配管には、それぞれ、内部の清浄度を保持するために、
取り外し可能な封止部材が設けられていることが好まし
い。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明のフィルター組立体
の好ましい一実施形態について、図面を参照して説明す
る。ただし、本発明は、本実施形態により制限されるも
のではない。

【００１０】本実施形態のフィルター組立体１は、図１
〜４に示すように、液入口として作用する第１配管１
１、液出口として作用する第２配管１２及びベント口と
して作用する第３配管１３を有するベース部１０と、ベ
ース部１０に当接する当接面２１ａを備え、内部にフィ
ルター要素２２が配置された中空のカプセルフィルター
２０と、を具備する。

【００１１】具体的には、本実施形態のフィルター組立
体１において、ベース部１０は、円盤状であり、第１配
管１１、第２配管１２及び第３配管１３は、ベース部１
０の直径方向に向けて直線状に整列されて配されてい
る。第１配管１１、第２配管１２及び第３配管１３は、
それぞれ、ベース部１０の径方向と垂直方向に円筒状の
管をその両端部がそれぞれベース部１０の表面１０ａ側
及び裏面１０ｂ側から数cm延出されるように配設されて
いる。また、ベース部１０の表面１０ａ側に位置する端
部には、Ｌ字型で両端部にねじ切りが形成され、ナット
部材１４が螺合されてなる連結部材１５がナット部材１
４を介して連結されて、プロセス配管（図示せず）と連
結可能にされている。

【００１２】また、カプセルフィルター２０は、中空の
円柱体２１と、その内部に配置された円筒状のフィルタ
ー要素２２とからなる。また、カプセルフィルター２０
の上面が当接面２１ａとされており、当接面２１ａの周
縁部には、円柱体２１の周縁から外方に延出するように
形成されたフランジ部２３が設けられている。

【００１３】また、ベース部１０は、カプセルフィルタ
ー２０の当接面２１ａ上に載置されて、ベース部１０の
周縁部とカプセルフィルター２０のフランジ部２３とを
覆うように配されたクランプ機構等の公知の圧接機構を
有する圧接部材３０により圧接されている。

【００１４】そして、本実施形態のフィルター組立体１
においては、カプセルフィルター２０における当接面２
１ａには、第１配管１１、第２配管１２及び第３配管１
３それぞれに対応して、第１開口２４、第２開口２５及
び第３開口２６が設けられて、カプセルフィルター２０
の内部と外部とが各配管１１，１２，１３を介して連通
されており、第１開口２４、第２開口２５及び第３開口
２６における当接面２１ａ側端部には、それぞれ、シー
ル部材２８を載置するシール部材設置部２７が形成され
て、シール部材設置部２７に配されたシール部材２８に
より、液密構造となされている。

【００１５】更に詳述すると、第１〜３開口２４，２
５，２６は、それぞれカプセルフィルター２０の当接面
体を貫通する円形貫通孔であり、第１開口２４及び第２
開口２５は、それぞれフィルター要素２２の直上に位置
し、第３開口２６は、フィルター要素２２の存在しない
空間上に位置している。第１〜第３開口２４，２５，２
６の内径は、それぞれ、第１〜３配管１１，１２，１３
の外径よりも若干大きく、各配管１１，１２，１３を容
易に挿通可能としている。なお、本実施形態において
は、各配管１１，１２，１３の外径及び内径は、それぞ
れ同じであり、各開口２４，２５，２６の内径もそれぞ
れ同じである。

【００１６】また、シール部材設置部２７は、第１〜第
３開口２４，２５，２６の当接面２１ａ側端部を各開口
２４，２５，２６の内径よりも広く、円形に凹欠させて
なり、シール部材設置部２７には、シール部材２８とし
てのＯ−リングが設けられている。もっとも、シール部
材２８は、ベース部とカプセルフィルターとを液密構造
にすることができる限り、制限されない。

【００１７】また、シール部材設置部２７の深さは、シ
ール部材２８の厚みよりも薄く、また、シール部材設置
部２７の幅は、シール部材２８の幅よりも小さい。これ
により、カプセルフィルター２０とベース部材１０とを
当接させる前の段階において、カプセルフィルター２０
にシール部材２８を設置したときに、シール部材２８が
カプセルフィルター２０の当接面２１ａから凸出するよ
うになされている。

【００１８】また、シール部材２８の内径は、第１〜３
配管１１，１２，１３の外形とほぼ同じである。第１配
管１１、第２配管１２及び第３配管１３は、形状、構
造、材質等全て同一であってもよいし、形状、構造、材
質の何れか又は全てが異なっていても良い。

【００１９】第１配管１１、第２配管１２及び第３配管
１３の一実施形態について、図５に示す。もっとも、配
管の形状、構造は、この実施形態に限られず、液体を通
過させることができる限り、制限はない。

【００２０】第１配管１１、第２配管１２及び第３配管
１３は、液滴落下を防止するために、それぞれそれらの
内径が絞られていることが好ましい。具体的には、第１
〜３配管１１，１２，１３におけるベース部１０の裏面
１０ｂ側に位置する端部には、その内面を周方向に沿っ
て凸出させて形成された縮径部１１ａ，１２ａ，１３ａ
が設けられており、これにより、各配管１１，１２，１
３の内径を絞っている。縮径部１１ａ，１２ａ，１３ａ
の内径は、他の部位の内径を１００としたとき、６０〜
８０となるようにするのが、液滴落下防止性と液流れ性
とのバランスの点から好ましい。

【００２１】縮径部１１ａ，１２ａ，１３ａは、配管１
１、１２、１３の端部に配置されていることが好まし
く、配管１１、１２、１３の軸方向、即ち、図５では、
図面の上下方向の長さを１００としたときには、縮径部
１１ａ、１２ａ、１３ａは、端部から０．１〜２０の位
置に配置されていることが好ましく、１〜１５の位置に
配置されていることが好ましく、３〜１２の位置に配置
されていることが好ましい。なお、配管の軸方向の長さ
とは、下部で開口している端面から、上部で曲がってい
る面までの距離である。

【００２２】また、本実施形態においては、カプセルフ
ィルター２０は、ベース部１０に脱着可能に固定されて
おり、第１配管１１、第２配管１２及び第３配管１３に
は、それぞれ、内部の清浄度を保持するために、取り外
し可能な封止部材４０が設けられている。封止部材は、
再利用されるものでもよいし、使い捨てされるものでも
よい。

【００２３】具体的には、本実施形態においては、図１
に示すように、第１配管１１、第２配管１２及び第３配
管１３の開口端に、封止部材として、粘着テープが貼付
されている。そして、封止部材４０を取り外して、第１
配管及び第２配管を、それぞれ図示されていないプロセ
ス配管に連結することができる。

【００２４】図５では、配管１１の端部には、開口して
いるナット部材が設けられている。ここで、開口してい
るナット部材の代わりに、断面コの字状のキャップ材
が、封止部材として配置されていてもよい。

【００２５】このように、ベース部１０とカプセルフィ
ルター２０とを別体にすることにより、ベース部１０の
第１配管及び第２配管をプロセス配管に連結した状態
で、カプセルフィルター２０を交換することができる。
これにより、カプセルフィルター２０を交換するとき
に、第１配管及び第２配管の連結、取り外しという作業
を省略することができる。

【００２６】次いで、本実施形態のフィルター組立体１
の各部材の好ましい形成材料について説明する。ベース
部１０としては、テトラフルオロエチレン等のフッ素樹
脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド等の熱
可塑性樹脂；ステンレス鋼等の金属材料等が用いられ
る。

【００２７】カプセルフィルター２０のハウジングとし
ては、テトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリアミド等の熱可塑性樹
脂；ステンレス鋼等の金属材料等が用いられる。

【００２８】フィルター要素２２としては、テトラフル
オロエチレン等のフッ素樹脂、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリアミド等の熱可塑性樹脂等が用いられる。
第１配管１１、第２配管１２及び第３配管１３として
は、テトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂、ポリエチ
レン、ポリプロピレン等の熱可塑性樹脂；ステンレス鋼
等の金属材料等が用いられる。

【００２９】連結部材１５としては、フッ素樹脂、ポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリアミド等の熱可塑性樹
脂；ステンレス鋼等の金属材料等が用いられる。シール
部材２８としては、パーフロロゴム、フッ素ゴム、エチ
レンプロピレンゴム、シリコンゴム等のゴム材料等が用
いられる。

【００３０】封止部材としては、テトラフルオロエチレ
ン等のフッ素樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リアミド等の熱可塑性樹脂；パーフロロゴム、フッ素ゴ
ム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム等のゴム材
料等が用いられる。

【００３１】本実施形態のフィルター組立体１は、第１
配管１１を連結部材１５を介して各種製造プロセスの被
処理液体の排出配管（図示せず）に連結し、第２配管１
２を連結部材１５を介して処理済み液体の導入配管（図
示せず）に連結し、第３配管１３を連結部材１５を介し
て気体排出用の配管（図示せず）に連結し、第１配管１
１に被処理液体を導入することにより使用することがで
きる。

【００３２】そして、本実施形態のフィルター組立体１
は、上述のようにシール部材２８としてのＯ−リングを
有する構成とされ、ベース部１０とカプセルフィルター
２０とが圧接されているので、ベース部１０とシール部
材２８とが圧接されると共に圧接されて潰れたシール部
材２８の内径面が各配管１１，１２，１３の外周面に圧
接される。このため、一つのシール部材２８により、シ
ール部材２８と各配管１１，１２，１３との接触部分及
びシール部材２８とベース部１０の裏面１０ｂとの接触
部分の２カ所でシールをすることができ、従来のものに
比してより高い液密構造とすることができる。

【００３３】また、縮径部を有する等内径が絞られた構
造を有する場合には、さらに液滴落下を防止することが
できるので、フィルターの交換時等において、各配管か
ら液滴が落下することがない。

【００３４】さらに、封止部材を有する場合には、フィ
ルター組立体の保存時における保存性がより向上され
る。本実施形態のフィルター組立体は、従来のこの種の
フィルター組立体の製造時に用いられる手法を特に制限
なく用いて製造できる。

【００３５】本実施形態のように構成される本発明のフ
ィルター組立体は、半導体デバイスの製造プロセスにお
いて用いることができる。なお、本発明のフィルター組
立体は、この実施形態に制限されるものではなく、種々
変形可能である。

【００３６】例えば、カプセルフィルターとして、特開
平１０−６６８３６号公報に記載されている液体分離器
モジュールを用いても良い。

【００３７】

【発明の効果】本発明のフィルター組立体は、液漏れ防
止性に優れたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のフィルター組立体の好ましい
一実施形態の断面図である。

【図２】図２は、図１に示すフィルター組立体の分解斜
視図である。

【図３】図３は、図１に示すフィルター組立体の側面図
である。

【図４】図４は、図１に示すフィルター組立体の上面図
である。

【図５】図５は、本発明のフィルター組立体の一実施形
態に用いることができる、配管の断面図である。

【符号の説明】

１ フィルター組立体 １０ ベース部 １０ａ 表面 １０ｂ 裏面 １１ 第１配管 １２ 第２配管 １３ 第３配管 １１ａ、１２ａ、１３ａ 縮径部 １４ ナット部材 １５ 連結部材 ２０ カプセルフィルター ２１ 円柱体 ２１ａ 当接面 ２２ フィルター要素 ２３ フランジ部 ２４ 第１開口 ２５ 第２開口 ２６ 第３開口 ２７ シール部材設置部 ２８ シール部材 ３０ 圧接部材 ４０ 封止部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平永 一 茨城県稲敷郡阿見町大字香澄の里46 日本 ポール株式会社 筑波事業場内 (72)発明者 月田 博史 東京都品川区戸越３丁目９番20号 平田機 工株式会社内 (72)発明者 藤原 五男 東京都品川区戸越３丁目９番20号 平田機 工株式会社内 Ｆターム(参考） 4D006 GA02 HA21 JA14A JA14B JA14C JA18A JA18B JA18C JA22A JA23A JA23C JA25C JA27C JA30C MC22 MC23 MC30 MC54 PB12 PC01

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも、液入口として作用する第１
   配管、液出口として作用する第２配管及びベント口とし
   て作用する第３配管を有するベース部と、 前記ベース部に当接する当接面を備え、内部にフィルタ
   ー要素が配置された中空のカプセルフィルターと、 を具備するフィルター組立体であって、 前記カプセルフィルターにおける前記当接面には、前記
   第１配管、前記第２配管及び前記第３配管それぞれに対
   応して、第１開口、第２開口及び第３開口が設けられ
   て、該カプセルフィルターの内部と外部とが各配管を介
   して連通されており、 前記第１開口、前記第２開口及び前記第３開口における
   前記当接面側端部には、それぞれ、シール部材を載置す
   るシール部材設置部が形成されて、前記シール部材設置
   部に配されたシール部材により、液密構造となされてい
   ることを特徴とするフィルター組立体。
2. 【請求項２】 前記シール部材設置部の深さは、前記シ
   ール部材の厚みよりも薄く、また、該シール部材設置部
   の幅は、シール部材の幅よりも小さい請求項１に記載の
   フィルター組立体。
3. 【請求項３】 前記第１配管、前記第２配管及び前記第
   ３配管は、液滴落下を防止するために、それぞれそれら
   の内径が絞られている請求項１又は２に記載のフィルタ
   ー組立体。
4. 【請求項４】 前記カプセルフィルターは、前記ベース
   部に脱着可能に固定されており、前記第１配管、前記第
   ２配管及び前記第３配管には、それぞれ、内部の清浄度
   を保持するために、取り外し可能な封止部材が設けられ
   ている請求項１〜３の何れかに記載のフィルター組立
   体。