JP2002253936A - 分離膜チューブ及び分離膜モジュール - Google Patents
分離膜チューブ及び分離膜モジュールInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被処理液体中への気体の溶解効率又は被処理
液体からの脱気効率の向上した分離膜チューブを提供す
る。 【解決手段】 液体不透過性であって且つ気体透過性の
チューブからなり、該チューブの液体通路の断面積また
は断面形状が、１ヵ所以上で変化されていることを特徴
とする分離膜チューブ。
液体からの脱気効率の向上した分離膜チューブを提供す
る。 【解決手段】 液体不透過性であって且つ気体透過性の
チューブからなり、該チューブの液体通路の断面積また
は断面形状が、１ヵ所以上で変化されていることを特徴
とする分離膜チューブ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体不透過性であ
って且つ気体透過性の分離膜チューブ及びその製造方法
と、該分離膜チューブからなるチューブ束をハウジング
内に収納した分離膜モジュールと、該分離膜モジュール
を用いた液体中への気体の溶解方法及び液体の脱気方法
に関するものである。
って且つ気体透過性の分離膜チューブ及びその製造方法
と、該分離膜チューブからなるチューブ束をハウジング
内に収納した分離膜モジュールと、該分離膜モジュール
を用いた液体中への気体の溶解方法及び液体の脱気方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開平７−２１３８８０号及び特開平１
１−２２７０８７号の各公報には、延伸多孔質ＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）（ｅＰＴＦＥ）チュー
ブを用いたオゾン等のガス溶解モジュールが提案されて
いるが、ガス溶解モジュールのチューブ内側に被処理液
体を流し、チューブ外側にオゾンガスを供給した場合、
チューブ内の被処理液体の流れが層流となるため、チュ
ーブ内壁面近傍に流速が低くオゾン濃度の高い層が形成
され、境膜抵抗が高くなり、オゾンガスの溶解効率が低
下するという問題があった。チューブ径を小さくすれば
境膜抵抗を小さくすることができるが、ｅＰＴＦＥは製
法上の問題からチューブ内径を１ｍｍ以下とすることは
困難であり、そのため所定のオゾン濃度を達成するため
の最適チューブ長が長くなっていた。チューブ長が１ｍ
を超えると、ハウジングに収納する際にチューブを螺旋
状に巻いて収納することになり、ハウジング内に無駄な
スペースが生じるため、ハウジングが大型化するという
問題があった。
１−２２７０８７号の各公報には、延伸多孔質ＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）（ｅＰＴＦＥ）チュー
ブを用いたオゾン等のガス溶解モジュールが提案されて
いるが、ガス溶解モジュールのチューブ内側に被処理液
体を流し、チューブ外側にオゾンガスを供給した場合、
チューブ内の被処理液体の流れが層流となるため、チュ
ーブ内壁面近傍に流速が低くオゾン濃度の高い層が形成
され、境膜抵抗が高くなり、オゾンガスの溶解効率が低
下するという問題があった。チューブ径を小さくすれば
境膜抵抗を小さくすることができるが、ｅＰＴＦＥは製
法上の問題からチューブ内径を１ｍｍ以下とすることは
困難であり、そのため所定のオゾン濃度を達成するため
の最適チューブ長が長くなっていた。チューブ長が１ｍ
を超えると、ハウジングに収納する際にチューブを螺旋
状に巻いて収納することになり、ハウジング内に無駄な
スペースが生じるため、ハウジングが大型化するという
問題があった。
【０００３】チューブ内を流れる被処理液体の乱流を促
進することにより膜モジュールの分離効率又は溶解効率
を向上させる方法について、以下に示すような方法が提
案されている。 （１）ＬＥＴＴＥＲＳ ＩＮ ＨＥＡＴ ＡＮＤ ＭＡＳ
Ｓ ＴＲＡＮＳＦＥＲ，Ｖｏｌ．２（６），４８１−４
８５（１９７６）には、ハウジングの中にチューブ状膜
を螺旋状に配置する方法が提案されている。この方法で
は１〜２割程度の効率アップは達成できるものの、ハウ
ジング内に無駄なスペースが生じてしまい、チューブを
収納するハウジングの容積が、チューブをハウジング内
に直線的に配置する方法と比較して大型化するため、製
造コストが高くなり、又設置スペースが増大するという
問題があった。 （２）実開昭６３−４９２８５号公報には、チューブの
長手方向に沿って線材を内蔵させる方法が開示されてい
る。この方法によれば境膜抵抗を小さくすることができ
るが、圧力損失が大きくなるため、被処理液体の処理量
が大きな用途には適用できない。また、チューブ内に線
材を挿入するには非常に手間がかかるため、コストが高
くなるという問題がある。 （３）特開２０００−９３７２９号公報には、ガス分離
フィルタ管を複数本束ねてなる収束体を乱流発生部材を
介して接続したことを特徴とするガス分離モジュールが
提案されているが、ハウジングの構造が複雑化し、製造
コストが高くなり、又設置スペースが増大するという問
題があった。
進することにより膜モジュールの分離効率又は溶解効率
を向上させる方法について、以下に示すような方法が提
案されている。 （１）ＬＥＴＴＥＲＳ ＩＮ ＨＥＡＴ ＡＮＤ ＭＡＳ
Ｓ ＴＲＡＮＳＦＥＲ，Ｖｏｌ．２（６），４８１−４
８５（１９７６）には、ハウジングの中にチューブ状膜
を螺旋状に配置する方法が提案されている。この方法で
は１〜２割程度の効率アップは達成できるものの、ハウ
ジング内に無駄なスペースが生じてしまい、チューブを
収納するハウジングの容積が、チューブをハウジング内
に直線的に配置する方法と比較して大型化するため、製
造コストが高くなり、又設置スペースが増大するという
問題があった。 （２）実開昭６３−４９２８５号公報には、チューブの
長手方向に沿って線材を内蔵させる方法が開示されてい
る。この方法によれば境膜抵抗を小さくすることができ
るが、圧力損失が大きくなるため、被処理液体の処理量
が大きな用途には適用できない。また、チューブ内に線
材を挿入するには非常に手間がかかるため、コストが高
くなるという問題がある。 （３）特開２０００−９３７２９号公報には、ガス分離
フィルタ管を複数本束ねてなる収束体を乱流発生部材を
介して接続したことを特徴とするガス分離モジュールが
提案されているが、ハウジングの構造が複雑化し、製造
コストが高くなり、又設置スペースが増大するという問
題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、被処理液体
中への気体の溶解効率又は被処理液体からの脱気効率の
向上した分離膜チューブ及びその製造方法を提供すると
ともに、該分離膜チューブからなるチューブ束をハウジ
ング内に収納させた分離膜モジュール及び該分離膜モジ
ュールを用いた液体中への気体の溶解方法及び液体の脱
気方法を提供することをその課題とする。
中への気体の溶解効率又は被処理液体からの脱気効率の
向上した分離膜チューブ及びその製造方法を提供すると
ともに、該分離膜チューブからなるチューブ束をハウジ
ング内に収納させた分離膜モジュール及び該分離膜モジ
ュールを用いた液体中への気体の溶解方法及び液体の脱
気方法を提供することをその課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記課題
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、以下に示す分離膜チ
ューブ、分離膜モジュール、液体中への気体の溶解方
法、液体の脱気方法及び分離膜チューブの製造方法が提
供される。 （１）液体不透過性であって且つ気体透過性のチューブ
からなり、該チューブの液体通路の断面積または断面形
状が、１ヵ所以上で変化されていることを特徴とする分
離膜チューブ。 （２）該チューブの液体通路の断面積変化又は断面形状
変化が、該チューブの圧縮によるものである前記（１）
に記載の分離膜チューブ。 （３）該チューブの液体通路の断面積変化又は断面形状
変化が、該チューブの外側に取り付けられた圧縮用部材
によるものである前記（１）に記載の分離膜チューブ。 （４）該チューブの液体通路の断面形状変化は、チュー
ブの内側表面に外接する最大円の直径をチューブの内側
表面に内接する最小円の直径で割った値で定義した異形
度で表わした場合に、該チューブの液体通路断面形状変
化部の異形度Ｋ（Ａ）と該チューブの液体通路断面形状
未変化部の異形度Ｋ（Ｂ）との比Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）
が、１．１〜１０の範囲にある請求項１〜３のいずれか
に記載の分離膜チューブ。 （５）該チューブが、多孔質ＰＴＦＥからなる前記
（１）〜（４）のいずれかに記載の分離膜チューブ。 （６）前記（１）〜（５）のいずれかに記載の分離膜チ
ューブからなるチューブ束をハウジング内に収納させた
構造を有することを特徴とする分離膜モジュール。 （７）前記（６）に記載の分離膜モジュールを用いて液
体中に気体を溶解させる方法であって、該液体を該チュ
ーブ内に流通させるとともに、該ハウジング内に該気体
を存在させることを特徴とする液体中への気体の溶解方
法。 （８）該気体がオゾンを含んだ気体である前記（７）に
記載の方法。 （９）前記（６）に記載の分離膜モジュールを用いて液
体中に溶解した気体を脱気させる方法であって、該液体
を該チューブ内に流通させるとともに、該ハウジング内
を減圧に保持するか又は該ハウジング内に希釈用ガスを
存在させることを特徴とする液体中に溶解する気体の脱
気方法。 （１０）該希釈用ガスが、窒素ガスである前記（９）に
記載の方法。 （１１）前記（１）又は（２）に記載の分離膜チューブ
の製造方法であって、該液体不透過性であって且つ気体
透過性のチューブを押出し成形装置を用いて該装置から
押出した後延伸する際に、該延伸されたチューブに対
し、間隔を置いて圧縮力を加えて圧縮させることを特徴
とする分離膜チューブの製造方法。 （１２）該チューブの圧縮を、加熱下で行う前記（１
１）に記載の方法。 （１３）該チューブが多孔質ＰＴＦＥからなり、該圧縮
後、焼成する前記（１１）又は（１２）に記載の方法。
を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明によれば、以下に示す分離膜チ
ューブ、分離膜モジュール、液体中への気体の溶解方
法、液体の脱気方法及び分離膜チューブの製造方法が提
供される。 （１）液体不透過性であって且つ気体透過性のチューブ
からなり、該チューブの液体通路の断面積または断面形
状が、１ヵ所以上で変化されていることを特徴とする分
離膜チューブ。 （２）該チューブの液体通路の断面積変化又は断面形状
変化が、該チューブの圧縮によるものである前記（１）
に記載の分離膜チューブ。 （３）該チューブの液体通路の断面積変化又は断面形状
変化が、該チューブの外側に取り付けられた圧縮用部材
によるものである前記（１）に記載の分離膜チューブ。 （４）該チューブの液体通路の断面形状変化は、チュー
ブの内側表面に外接する最大円の直径をチューブの内側
表面に内接する最小円の直径で割った値で定義した異形
度で表わした場合に、該チューブの液体通路断面形状変
化部の異形度Ｋ（Ａ）と該チューブの液体通路断面形状
未変化部の異形度Ｋ（Ｂ）との比Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）
が、１．１〜１０の範囲にある請求項１〜３のいずれか
に記載の分離膜チューブ。 （５）該チューブが、多孔質ＰＴＦＥからなる前記
（１）〜（４）のいずれかに記載の分離膜チューブ。 （６）前記（１）〜（５）のいずれかに記載の分離膜チ
ューブからなるチューブ束をハウジング内に収納させた
構造を有することを特徴とする分離膜モジュール。 （７）前記（６）に記載の分離膜モジュールを用いて液
体中に気体を溶解させる方法であって、該液体を該チュ
ーブ内に流通させるとともに、該ハウジング内に該気体
を存在させることを特徴とする液体中への気体の溶解方
法。 （８）該気体がオゾンを含んだ気体である前記（７）に
記載の方法。 （９）前記（６）に記載の分離膜モジュールを用いて液
体中に溶解した気体を脱気させる方法であって、該液体
を該チューブ内に流通させるとともに、該ハウジング内
を減圧に保持するか又は該ハウジング内に希釈用ガスを
存在させることを特徴とする液体中に溶解する気体の脱
気方法。 （１０）該希釈用ガスが、窒素ガスである前記（９）に
記載の方法。 （１１）前記（１）又は（２）に記載の分離膜チューブ
の製造方法であって、該液体不透過性であって且つ気体
透過性のチューブを押出し成形装置を用いて該装置から
押出した後延伸する際に、該延伸されたチューブに対
し、間隔を置いて圧縮力を加えて圧縮させることを特徴
とする分離膜チューブの製造方法。 （１２）該チューブの圧縮を、加熱下で行う前記（１
１）に記載の方法。 （１３）該チューブが多孔質ＰＴＦＥからなり、該圧縮
後、焼成する前記（１１）又は（１２）に記載の方法。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の分離膜チューブは、液体
不透過性であって且つ気体体透過性の分離膜チューブに
おいて、そのチューブの液体通路の断面積又は断面形状
が１ヵ所以上で変化されていることを特徴とする。この
場合の液体不透過性であるが、気体透過性である分離膜
チューブ自体は、従来公知のものである。このようなも
のは、熱可塑性樹脂を成形材料として用い、これを押出
し成形装置の先端から、ダイスを介してチューブ状に押
出し、延伸すること等によって製造することができる。
本発明で用いる分離膜チューブ用材料としては、ポリエ
チレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂や、
ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂を
用いることが可能であるが、好ましくは含フッ素系樹脂
が用いられる。含フッ素系樹脂としては、ＰＴＦＥ（ポ
リテトラフルオロエチレン）、ＦＥＰ（テトラフルオロ
エチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体）、ＥＴ
ＦＥ（テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体）、
ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキ
ルビニルエーテル共重合体）、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロ
トリフルオロエチレン）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリ
デン）、ＰＶＦ（ポリビニルフルオライド）等が挙げら
れる。本発明では、特にＰＴＦＥの使用が好ましい。
不透過性であって且つ気体体透過性の分離膜チューブに
おいて、そのチューブの液体通路の断面積又は断面形状
が１ヵ所以上で変化されていることを特徴とする。この
場合の液体不透過性であるが、気体透過性である分離膜
チューブ自体は、従来公知のものである。このようなも
のは、熱可塑性樹脂を成形材料として用い、これを押出
し成形装置の先端から、ダイスを介してチューブ状に押
出し、延伸すること等によって製造することができる。
本発明で用いる分離膜チューブ用材料としては、ポリエ
チレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂や、
ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂等の熱可塑性樹脂を
用いることが可能であるが、好ましくは含フッ素系樹脂
が用いられる。含フッ素系樹脂としては、ＰＴＦＥ（ポ
リテトラフルオロエチレン）、ＦＥＰ（テトラフルオロ
エチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体）、ＥＴ
ＦＥ（テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体）、
ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキ
ルビニルエーテル共重合体）、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロ
トリフルオロエチレン）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリ
デン）、ＰＶＦ（ポリビニルフルオライド）等が挙げら
れる。本発明では、特にＰＴＦＥの使用が好ましい。
【０００７】本発明で用いる分離膜チューブにおいて、
ＰＴＦＥチューブを延伸して得られる延伸多孔質ＰＴＦ
Ｅ（ｅＰＴＦＥ）膜チューブは、溶出物が少なく、耐薬
品性、耐熱性、オゾンガス等の酸化性ガスに対する耐久
性に優れ、しかも高い気体（ガス）透過性を有するの
で、特に好ましく用いられる。このようなｅＰＴＦＥチ
ューブを製造するには、ＰＴＦＥのファインパウダーを
成形助剤と混合することにより得られるペースト状の成
形体を、二重管構造の金型からチューブ状に押出し、成
形助剤を除去した後あるいは除去せずに一軸延伸し、さ
らに必要に応じて焼成する。一軸延伸したチューブは、
フィブリルが延伸方向に配向するとともに、フィブリル
間が空孔となった繊維質構造となっている。このような
構造を有するｅＰＴＦＥチューブは、空孔を介して気体
が通過することはできるが、ＰＴＦＥの撥水性のために
液体は通過できない。従って、チューブ状膜の場合、ｅ
ＰＴＦＥチューブ内に液体が流通している間に気体がチ
ューブ内に侵入し、液体中に溶解することができる。ｅ
ＰＴＦＥチューブの製造方法としては、例えば、特開平
４−３１４４３号、特開平７−２１３８８０号、特開平
１１−２２７０８７号各公報に提案されている方法を用
いることができる。
ＰＴＦＥチューブを延伸して得られる延伸多孔質ＰＴＦ
Ｅ（ｅＰＴＦＥ）膜チューブは、溶出物が少なく、耐薬
品性、耐熱性、オゾンガス等の酸化性ガスに対する耐久
性に優れ、しかも高い気体（ガス）透過性を有するの
で、特に好ましく用いられる。このようなｅＰＴＦＥチ
ューブを製造するには、ＰＴＦＥのファインパウダーを
成形助剤と混合することにより得られるペースト状の成
形体を、二重管構造の金型からチューブ状に押出し、成
形助剤を除去した後あるいは除去せずに一軸延伸し、さ
らに必要に応じて焼成する。一軸延伸したチューブは、
フィブリルが延伸方向に配向するとともに、フィブリル
間が空孔となった繊維質構造となっている。このような
構造を有するｅＰＴＦＥチューブは、空孔を介して気体
が通過することはできるが、ＰＴＦＥの撥水性のために
液体は通過できない。従って、チューブ状膜の場合、ｅ
ＰＴＦＥチューブ内に液体が流通している間に気体がチ
ューブ内に侵入し、液体中に溶解することができる。ｅ
ＰＴＦＥチューブの製造方法としては、例えば、特開平
４−３１４４３号、特開平７−２１３８８０号、特開平
１１−２２７０８７号各公報に提案されている方法を用
いることができる。
【０００８】本発明の分離膜チューブにおいて、その内
径は０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．５〜５ｍｍであ
り、その長さは０．１〜１０ｍ、好ましくは０．３〜５
ｍである。そのチューブ壁厚さは、０．０５〜１ｍｍ、
好ましくは０．１〜０．５ｍｍである。チューブの液体
通路断面積が変化されている部分（本明細書では断面積
変化部とも言う）又は断面形状が変化されている部分
（本明細書では断面形状変化部とも言う）の数は、少な
くとも１つであるが、好ましくは、チューブ長さ１ｍ当
り、１〜３０、好ましくは５〜２０である。その断面積
変化部又は断面形状変化部が多くなりすぎると、分離膜
チューブを流れる液体の圧力損失が大きくなる等の問題
が生じるので好ましくない。
径は０．１〜１０ｍｍ、好ましくは０．５〜５ｍｍであ
り、その長さは０．１〜１０ｍ、好ましくは０．３〜５
ｍである。そのチューブ壁厚さは、０．０５〜１ｍｍ、
好ましくは０．１〜０．５ｍｍである。チューブの液体
通路断面積が変化されている部分（本明細書では断面積
変化部とも言う）又は断面形状が変化されている部分
（本明細書では断面形状変化部とも言う）の数は、少な
くとも１つであるが、好ましくは、チューブ長さ１ｍ当
り、１〜３０、好ましくは５〜２０である。その断面積
変化部又は断面形状変化部が多くなりすぎると、分離膜
チューブを流れる液体の圧力損失が大きくなる等の問題
が生じるので好ましくない。
【０００９】チューブの液体通路の断面積又は断面形状
を変化させて該液体通路内を流れる液体に乱流を生起さ
せる具体的方法としては、チューブの圧縮による方法が
最も経済的である。チューブの圧縮方法は、ペースト状
のＰＴＦＥ成形体を二重管構造の金型からチューブ状に
押出し、成形助剤を除去した後あるいは除去せずに一軸
延伸し、その後、ＰＴＦＥチューブの長手方向に対して
垂直に間欠的に繰り返して加熱圧縮し、さらに焼成して
成形することが好ましい。さらに好ましくは、チューブ
の長手方向に対して垂直に繰り返して加熱圧縮する場
合、圧縮方向を周期的に又はランダムに角度をずらして
加熱圧縮することが好ましい。この方法では、連続的に
チューブ製造過程で圧縮することができて経済的であ
る。前記押出し装置から押出されたＰＴＦＥチューブを
延伸後に加熱圧縮する場合、その金型の加熱温度は、Ｐ
ＴＦＥチューブに所定の変形を与えられる範囲であれば
特に限定されないが、、通常２５０〜４００℃、好まし
くは３００〜３４０℃である。ＰＴＦＥチューブは通常
２５０℃以上に加熱しながら延伸されるため、延伸直後
でチューブに余熱が残っていれば金型は常温でもよい。
また、延伸をする場合のその延伸倍率は、１．０１〜
１．５倍、好ましくは１．１〜１．４倍である。
を変化させて該液体通路内を流れる液体に乱流を生起さ
せる具体的方法としては、チューブの圧縮による方法が
最も経済的である。チューブの圧縮方法は、ペースト状
のＰＴＦＥ成形体を二重管構造の金型からチューブ状に
押出し、成形助剤を除去した後あるいは除去せずに一軸
延伸し、その後、ＰＴＦＥチューブの長手方向に対して
垂直に間欠的に繰り返して加熱圧縮し、さらに焼成して
成形することが好ましい。さらに好ましくは、チューブ
の長手方向に対して垂直に繰り返して加熱圧縮する場
合、圧縮方向を周期的に又はランダムに角度をずらして
加熱圧縮することが好ましい。この方法では、連続的に
チューブ製造過程で圧縮することができて経済的であ
る。前記押出し装置から押出されたＰＴＦＥチューブを
延伸後に加熱圧縮する場合、その金型の加熱温度は、Ｐ
ＴＦＥチューブに所定の変形を与えられる範囲であれば
特に限定されないが、、通常２５０〜４００℃、好まし
くは３００〜３４０℃である。ＰＴＦＥチューブは通常
２５０℃以上に加熱しながら延伸されるため、延伸直後
でチューブに余熱が残っていれば金型は常温でもよい。
また、延伸をする場合のその延伸倍率は、１．０１〜
１．５倍、好ましくは１．１〜１．４倍である。
【００１０】チューブの通路の断面積又は断面形状を変
化させるための他の方法としては、チューブの外側にと
りつけられた圧縮用部材（クリップ等）を用いるもので
もよい。チューブの外側にとりつけられた圧縮用部材に
よりチューブを圧縮する場合、そのチューブの圧縮方向
は、周期的に又はランダムに角度をずらして圧縮できる
ように圧縮用部材を取り付けるのが好ましい。
化させるための他の方法としては、チューブの外側にと
りつけられた圧縮用部材（クリップ等）を用いるもので
もよい。チューブの外側にとりつけられた圧縮用部材に
よりチューブを圧縮する場合、そのチューブの圧縮方向
は、周期的に又はランダムに角度をずらして圧縮できる
ように圧縮用部材を取り付けるのが好ましい。
【００１１】分離膜チューブ内を流れる液体流に乱流を
生起させる他の方法としては、チューブ内の該液体通路
を流れる液体の流れを妨害するために、該チューブの液
体通路内の１ヵ所以上に、流れ妨害部材を配設する方法
を示すことができる。このような方法としては、チュー
ブ内壁面に、シリカやアルミナ、チタニア等の無機粒子
を付着させる方法、チューブ内にビーズを挿入する方
法、チューブ内に微細帯状体を挿入する方法等が挙げら
れる。
生起させる他の方法としては、チューブ内の該液体通路
を流れる液体の流れを妨害するために、該チューブの液
体通路内の１ヵ所以上に、流れ妨害部材を配設する方法
を示すことができる。このような方法としては、チュー
ブ内壁面に、シリカやアルミナ、チタニア等の無機粒子
を付着させる方法、チューブ内にビーズを挿入する方
法、チューブ内に微細帯状体を挿入する方法等が挙げら
れる。
【００１２】本発明の分離膜チューブの液体通路断面積
変化部におけるその液体通路断面積の変化割合は、その
チューブ内の液体通路を流れる液体流に乱流を生じさせ
るような割合であればよい。本発明では、その変化割合
は、その断面積変化部におけるその液体通路断面積Ｓ
（Ａ）と断面積未変化部におけるその液体通路断面積Ｓ
（Ｂ）との比Ｓ（Ａ）／Ｓ（Ｂ）が、０．９５〜０．
１、好ましくは０．７〜０．３の範囲になるような割合
にするのがよい。その変化割合が前記範囲より大きくな
ると、その断面積変化部での液体流の乱流化が不十分に
なる。一方、前記範囲より小さくなると、チューブ内を
流れる液体の圧力損失が大きくなる等の問題を生じる。
また、本発明では、その断面形状変化部におけるその断
面形状の変化割合は、チューブの内側表面に外接する最
大円の直径（図２ａ）をチューブの内側表面に内接する
最小円の直径（図２ｂ）で割った値（ａ／ｂ）を異形度
Ｋと定義した場合に、該チューブの液体通路断面形状変
化部の異形度Ｋ（Ａ）と該チューブの液体通路断面形状
未変化部の異形度Ｋ（Ｂ）との比Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）
が、１．１〜１０、好ましくは１．５〜５の範囲になる
ような割合にするのがよい。その変化割合が前記範囲よ
り小さくなると、その断面形状変化部での液体流の乱流
化が不十分になる。一方、前記範囲より大きくなると、
チューブ内を流れる液体の圧力損失が大きくなるなどの
問題を生じる。
変化部におけるその液体通路断面積の変化割合は、その
チューブ内の液体通路を流れる液体流に乱流を生じさせ
るような割合であればよい。本発明では、その変化割合
は、その断面積変化部におけるその液体通路断面積Ｓ
（Ａ）と断面積未変化部におけるその液体通路断面積Ｓ
（Ｂ）との比Ｓ（Ａ）／Ｓ（Ｂ）が、０．９５〜０．
１、好ましくは０．７〜０．３の範囲になるような割合
にするのがよい。その変化割合が前記範囲より大きくな
ると、その断面積変化部での液体流の乱流化が不十分に
なる。一方、前記範囲より小さくなると、チューブ内を
流れる液体の圧力損失が大きくなる等の問題を生じる。
また、本発明では、その断面形状変化部におけるその断
面形状の変化割合は、チューブの内側表面に外接する最
大円の直径（図２ａ）をチューブの内側表面に内接する
最小円の直径（図２ｂ）で割った値（ａ／ｂ）を異形度
Ｋと定義した場合に、該チューブの液体通路断面形状変
化部の異形度Ｋ（Ａ）と該チューブの液体通路断面形状
未変化部の異形度Ｋ（Ｂ）との比Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）
が、１．１〜１０、好ましくは１．５〜５の範囲になる
ような割合にするのがよい。その変化割合が前記範囲よ
り小さくなると、その断面形状変化部での液体流の乱流
化が不十分になる。一方、前記範囲より大きくなると、
チューブ内を流れる液体の圧力損失が大きくなるなどの
問題を生じる。
【００１３】本発明の分離膜モジュールは、前記分離膜
チューブからなるチューブ束を、ハウジング内に収納さ
せた構造のものであり、このような構造のものは、従来
よく知られている。本発明の分離膜モジュールの模式図
を図１に示す。図１において、１、２、３はＰＴＦＥ多
孔質チューブ、１１はハウジング、１２はＰＴＦＥ製フ
ランジ、１３はチューブを取付けるＰＴＦＥ製マニホー
ルド形成部、１４は液体入口、１５は液体出口、１６は
気体入口、１７は気体出口を示す。１、２及び３は、分
離膜チューブからなるチューブ束を示す。
チューブからなるチューブ束を、ハウジング内に収納さ
せた構造のものであり、このような構造のものは、従来
よく知られている。本発明の分離膜モジュールの模式図
を図１に示す。図１において、１、２、３はＰＴＦＥ多
孔質チューブ、１１はハウジング、１２はＰＴＦＥ製フ
ランジ、１３はチューブを取付けるＰＴＦＥ製マニホー
ルド形成部、１４は液体入口、１５は液体出口、１６は
気体入口、１７は気体出口を示す。１、２及び３は、分
離膜チューブからなるチューブ束を示す。
【００１４】本発明の分離膜モジュールは、被処理液体
中にガス成分を溶解させるための気体溶解用モジュール
として、又は被処理液中に含まれるガス成分を除去する
ための脱気用モジュールとして適用される。
中にガス成分を溶解させるための気体溶解用モジュール
として、又は被処理液中に含まれるガス成分を除去する
ための脱気用モジュールとして適用される。
【００１５】図１に示した分離膜モジュールを用いて被
処理液体中にガス成分を溶解させるには、被処理液体を
液体入口１４からモジュールに供給し、チューブ束を形
成するＰＴＦＥ多孔質チューブ１、２、３の内部を流通
させ、液体出口１５から排出させる。一方、供給ガスは
ガス供給口１６からハウジング１１内に導入する。この
ハウジング内に導入されたガスは、ＰＴＦＥ多孔質チュ
ーブ１、２、３の外表面と接触した後、ガス排出口１７
から排出される。供給ガスは、ハウジング内でＰＴＦＥ
多孔質チューブの外表面と接触した際に、ＰＴＦＥ多孔
質チューブの管壁を透過して、ＰＴＦＥ多孔質チューブ
内を流れる被処理液体中に溶け込む。
処理液体中にガス成分を溶解させるには、被処理液体を
液体入口１４からモジュールに供給し、チューブ束を形
成するＰＴＦＥ多孔質チューブ１、２、３の内部を流通
させ、液体出口１５から排出させる。一方、供給ガスは
ガス供給口１６からハウジング１１内に導入する。この
ハウジング内に導入されたガスは、ＰＴＦＥ多孔質チュ
ーブ１、２、３の外表面と接触した後、ガス排出口１７
から排出される。供給ガスは、ハウジング内でＰＴＦＥ
多孔質チューブの外表面と接触した際に、ＰＴＦＥ多孔
質チューブの管壁を透過して、ＰＴＦＥ多孔質チューブ
内を流れる被処理液体中に溶け込む。
【００１６】一方、図１に示した分離膜モジュールを脱
気用モジュールとして適用するには、液体入口１４から
ガス成分が溶存する被処理液体を膜モジュールに供給
し、チューブ束を形成するＰＴＦＥ多孔質チューブ内部
を流通させ、液体出口１５から排出させる。ガス供給口
１６から希釈用ガス（キャリアーガス）、例えば、窒素
ガスやアルゴンガス等を供給し、ガス排出口１７から排
出させる。また、ハウジング内に希釈用ガスを流通させ
ずに、希釈用ガス、好ましくは減圧状態の希釈用ガス、
例えば、減圧空気等を非流通状態で存在させてもよい。
前記の操作により、被処理液体中に溶存するガス成分、
例えば、酸素等はチューブ管壁を通過して希釈用ガス中
に移行する。
気用モジュールとして適用するには、液体入口１４から
ガス成分が溶存する被処理液体を膜モジュールに供給
し、チューブ束を形成するＰＴＦＥ多孔質チューブ内部
を流通させ、液体出口１５から排出させる。ガス供給口
１６から希釈用ガス（キャリアーガス）、例えば、窒素
ガスやアルゴンガス等を供給し、ガス排出口１７から排
出させる。また、ハウジング内に希釈用ガスを流通させ
ずに、希釈用ガス、好ましくは減圧状態の希釈用ガス、
例えば、減圧空気等を非流通状態で存在させてもよい。
前記の操作により、被処理液体中に溶存するガス成分、
例えば、酸素等はチューブ管壁を通過して希釈用ガス中
に移行する。
【００１７】図１に示した分離膜モジュールを用いて被
処理液体中に溶存するガス成分を脱気する場合、ガス供
給口１６を閉塞させるとともに、ガス排出口１７を真空
ポンプに連結し、ハウジング１１内を真空（減圧）にす
ることもできる。前記の操作により、被処理液体中に溶
存するガス成分は、真空状態のハウジング１１内に脱気
される。
処理液体中に溶存するガス成分を脱気する場合、ガス供
給口１６を閉塞させるとともに、ガス排出口１７を真空
ポンプに連結し、ハウジング１１内を真空（減圧）にす
ることもできる。前記の操作により、被処理液体中に溶
存するガス成分は、真空状態のハウジング１１内に脱気
される。
【００１８】ハウジング材料として用いられるフッ素樹
脂としては、炭素−フッ素結合を有する樹脂、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとエチレン系不飽和単量体との共重合体
（例えば、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプ
ロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオ
ロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）等）、ポリクロロトリフルオロエチレン（Ｐ
ＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤ
Ｆ）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）等を用いるこ
とができるが、中でもＰＴＦＥと、ＰＴＦＥとエチレン
系不飽和単量体との共重合体が、耐オゾン性に優れるた
め、特に好ましく用いられる。この場合、ＰＴＦＥと共
重合可能なエチレン系不飽和単量体としては、ＰＦＡ、
ＦＥＰ等が好ましく用いられる。ハウジング１１は、Ｐ
ＴＦＥ多孔質膜を気密に収納できれば良く、その形状は
特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜を収納するハウ
ジング１１部分を円筒状にすれば、各種規格品のパイプ
を使用できるためコストが安くなり好ましい。ハウジン
グ１１とフランジ１２との接合や、フランジ１２とマニ
ホールド形成部１３との接合には、溶接、接着、ネジ止
め等の方法が適宜用いられる。ハウジング内にチューブ
束として収納させるチューブの数は、特に制約されず、
多い程良いが、通常１０〜１０００本、好ましくは１０
〜３００本である。
脂としては、炭素−フッ素結合を有する樹脂、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとエチレン系不飽和単量体との共重合体
（例えば、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプ
ロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオ
ロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチ
レン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
（ＰＦＡ）等）、ポリクロロトリフルオロエチレン（Ｐ
ＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤ
Ｆ）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ）等を用いるこ
とができるが、中でもＰＴＦＥと、ＰＴＦＥとエチレン
系不飽和単量体との共重合体が、耐オゾン性に優れるた
め、特に好ましく用いられる。この場合、ＰＴＦＥと共
重合可能なエチレン系不飽和単量体としては、ＰＦＡ、
ＦＥＰ等が好ましく用いられる。ハウジング１１は、Ｐ
ＴＦＥ多孔質膜を気密に収納できれば良く、その形状は
特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜を収納するハウ
ジング１１部分を円筒状にすれば、各種規格品のパイプ
を使用できるためコストが安くなり好ましい。ハウジン
グ１１とフランジ１２との接合や、フランジ１２とマニ
ホールド形成部１３との接合には、溶接、接着、ネジ止
め等の方法が適宜用いられる。ハウジング内にチューブ
束として収納させるチューブの数は、特に制約されず、
多い程良いが、通常１０〜１０００本、好ましくは１０
〜３００本である。
【００１９】近年、超純水にわずかなガス成分、例え
ば、水素、オゾン、炭酸ガス等や薬品を添加した水が、
シリコンウェーハ表面上の微粒子や金属元素等の不純物
を除去する機能があることが見いだされた。この機能性
洗浄水による洗浄は、従来の高濃度の薬品を使用する洗
浄と同等以上の洗浄効果があることが次第に分かってき
た。例えば、微量のオゾンを添加した超純水は酸化剤と
して働き、シリコンウェーハ表面の界面活性剤等の残留
有機物を分解、除去し、均一で平坦な酸化膜を形成す
る。また、液晶ディスプレイ製造工程においても、ガラ
ス基板の洗浄、エッチング処理後の洗浄、ラビング処理
後の洗浄等にも用いられている。該分離膜モジュール
は、超純水等の液体にわずかなガス成分を効率的に、経
済的に溶解するのに好ましく用いられる。電子産業以外
にも、例えば、医薬分野等における微生物培養液への酸
素供給、水産分野では活魚水槽への酸素の供給、医療分
野では人工的に血液への酸素供給を行う人工肺等にも用
いることができる。
ば、水素、オゾン、炭酸ガス等や薬品を添加した水が、
シリコンウェーハ表面上の微粒子や金属元素等の不純物
を除去する機能があることが見いだされた。この機能性
洗浄水による洗浄は、従来の高濃度の薬品を使用する洗
浄と同等以上の洗浄効果があることが次第に分かってき
た。例えば、微量のオゾンを添加した超純水は酸化剤と
して働き、シリコンウェーハ表面の界面活性剤等の残留
有機物を分解、除去し、均一で平坦な酸化膜を形成す
る。また、液晶ディスプレイ製造工程においても、ガラ
ス基板の洗浄、エッチング処理後の洗浄、ラビング処理
後の洗浄等にも用いられている。該分離膜モジュール
は、超純水等の液体にわずかなガス成分を効率的に、経
済的に溶解するのに好ましく用いられる。電子産業以外
にも、例えば、医薬分野等における微生物培養液への酸
素供給、水産分野では活魚水槽への酸素の供給、医療分
野では人工的に血液への酸素供給を行う人工肺等にも用
いることができる。
【００２０】また、該分離膜モジュールは、液体中に溶
存している空気等の溶存ガスを効率よく脱気するために
も用いられる。例えば、半導体製造工程では超純水の脱
気やウエハー上に塗布されたレジストにパターンを露光
して現像する工程で気泡が発生しやすい現像液の脱気
に、写真フイルム製造工程では感光性コーティング剤の
脱気に、分析機器では分析に使用する液体の脱気等に用
いることができる。
存している空気等の溶存ガスを効率よく脱気するために
も用いられる。例えば、半導体製造工程では超純水の脱
気やウエハー上に塗布されたレジストにパターンを露光
して現像する工程で気泡が発生しやすい現像液の脱気
に、写真フイルム製造工程では感光性コーティング剤の
脱気に、分析機器では分析に使用する液体の脱気等に用
いることができる。
【００２１】
【実施例】次に本発明を実施例によりさらに詳述する。
【００２２】実施例１ 特開平７−２１３８８０号公報の実施例１に準ずる方法
でＰＴＦＥ製多孔質チューブ状膜を作製した。すなわ
ち、内径２ｍｍ、外径２．７ｍｍ、空孔率５０％のチュ
ーブ状多孔質膜を作製し、さらに、空孔率４０％、平均
孔径０．２μｍ、厚さ７０μｍの一軸延伸ＰＴＦＥの未
延伸フィルムを上記チューブ状多孔質膜の周囲にラッピ
ングした後、３６０℃、１５分間焼成してＰＴＦＥ製多
孔質チューブ状膜を作製した。このチューブは内径２ｍ
ｍ、外径３．１ｍｍで液体流路断面積３．１ｍｍ2、異
形度１、耐水圧は約５００ｋＰａであった。このチュー
ブ状膜に２０ｃｍ問隔で２個所に図３に示すＰＦＡ製の
クリップを取り付け、チューブ内を流れる水の乱流を促
進させる効果を付与した。液体流路変化部の形状は偏平
の楕円形で、長軸長さは２．８ｍｍ、短軸長さは１．６
ｍｍで、液体流路断面積３．１ｍｍ2、異形度１．７５
であった。すなわち、Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）は１．７５で
あった。このチューブ状膜を１５本束にして図１に示す
構造の直管状のモジュールを作製した。モジュールの大
きさは、外径２．２ｃｍ、内径１．６ｃｍ、長さ６７ｃ
ｍで、チューブ状膜の有効長は６０ｃｍであった。クリ
ップはモジュールの端から各々２０ｃｍの位置になるよ
うに、チューブ１本につき２ヵ所設けた。
でＰＴＦＥ製多孔質チューブ状膜を作製した。すなわ
ち、内径２ｍｍ、外径２．７ｍｍ、空孔率５０％のチュ
ーブ状多孔質膜を作製し、さらに、空孔率４０％、平均
孔径０．２μｍ、厚さ７０μｍの一軸延伸ＰＴＦＥの未
延伸フィルムを上記チューブ状多孔質膜の周囲にラッピ
ングした後、３６０℃、１５分間焼成してＰＴＦＥ製多
孔質チューブ状膜を作製した。このチューブは内径２ｍ
ｍ、外径３．１ｍｍで液体流路断面積３．１ｍｍ2、異
形度１、耐水圧は約５００ｋＰａであった。このチュー
ブ状膜に２０ｃｍ問隔で２個所に図３に示すＰＦＡ製の
クリップを取り付け、チューブ内を流れる水の乱流を促
進させる効果を付与した。液体流路変化部の形状は偏平
の楕円形で、長軸長さは２．８ｍｍ、短軸長さは１．６
ｍｍで、液体流路断面積３．１ｍｍ2、異形度１．７５
であった。すなわち、Ｋ（Ａ）／Ｋ（Ｂ）は１．７５で
あった。このチューブ状膜を１５本束にして図１に示す
構造の直管状のモジュールを作製した。モジュールの大
きさは、外径２．２ｃｍ、内径１．６ｃｍ、長さ６７ｃ
ｍで、チューブ状膜の有効長は６０ｃｍであった。クリ
ップはモジュールの端から各々２０ｃｍの位置になるよ
うに、チューブ１本につき２ヵ所設けた。
【００２３】実施例２ 延伸多孔質ＰＴＦＥチューブの製造工程において、その
押出成形装置から押出されたＰＴＦＥチューブを１．３
倍の延伸倍率で延伸した後、２０ｃｍの間隔を置いて、
温度３２０℃に加熱した幅３ｍｍの帯状プレスを用いて
圧縮した。このようにして、内径２．１ｍｍ、外径２．
８ｍｍ、チューブ壁厚さ０．３５ｍｍの延伸多孔質ＰＴ
ＦＥチューブにおいて、１ｍの長さ当り５個の断面変形
部を有する本発明の分離膜チューブを得た。このチュー
ブの断面変化部の液体通路の断面積Ｓ（Ａ）は２．８ｍ
ｍ2であり、断面積未変化部の液体通路の断面積Ｓ
（Ｂ）は３．５ｍｍ2であり、その断面積の比Ｓ（Ａ）
／Ｓ（Ｂ）は０．８であった。また、このチューブの断
面形状変化部の形状は偏平の楕円形で、長軸長さは２．
１ｍｍ、短軸長さは１．５ｍｍで、異形度Ｋ（Ａ）は
１．４であった。断面積未変化部は内径２．１ｍｍのほ
ぼ円形で、異形度は１であった。すなはち、Ｋ（Ａ）／
Ｋ（Ｂ）は１．４であった。このチューブ状膜を１５本
束にして図１に示す構造の直管状のモジュールを作製し
た。モジュールの大きさは、外径２．２ｃｍ、内径１．
６ｃｍ、長さ６７ｃｍで、チューブ状膜の有効長は６０
ｃｍであった。断面形状変化部はモジュールの端から各
々２０ｃｍの位置になるようにしてチューブを配置し
た。
押出成形装置から押出されたＰＴＦＥチューブを１．３
倍の延伸倍率で延伸した後、２０ｃｍの間隔を置いて、
温度３２０℃に加熱した幅３ｍｍの帯状プレスを用いて
圧縮した。このようにして、内径２．１ｍｍ、外径２．
８ｍｍ、チューブ壁厚さ０．３５ｍｍの延伸多孔質ＰＴ
ＦＥチューブにおいて、１ｍの長さ当り５個の断面変形
部を有する本発明の分離膜チューブを得た。このチュー
ブの断面変化部の液体通路の断面積Ｓ（Ａ）は２．８ｍ
ｍ2であり、断面積未変化部の液体通路の断面積Ｓ
（Ｂ）は３．５ｍｍ2であり、その断面積の比Ｓ（Ａ）
／Ｓ（Ｂ）は０．８であった。また、このチューブの断
面形状変化部の形状は偏平の楕円形で、長軸長さは２．
１ｍｍ、短軸長さは１．５ｍｍで、異形度Ｋ（Ａ）は
１．４であった。断面積未変化部は内径２．１ｍｍのほ
ぼ円形で、異形度は１であった。すなはち、Ｋ（Ａ）／
Ｋ（Ｂ）は１．４であった。このチューブ状膜を１５本
束にして図１に示す構造の直管状のモジュールを作製し
た。モジュールの大きさは、外径２．２ｃｍ、内径１．
６ｃｍ、長さ６７ｃｍで、チューブ状膜の有効長は６０
ｃｍであった。断面形状変化部はモジュールの端から各
々２０ｃｍの位置になるようにしてチューブを配置し
た。
【００２４】比較例１ 実施例１で作製したチューブ状膜にクリップを付けずに
実施例１と同じ直管状のモジュールを作製した。
実施例１と同じ直管状のモジュールを作製した。
【００２５】試験１ 実施例１，２と比較例１で作製したモジュールに、各
々、水入口から純水を圧力６０ｋＰａ、流量１１／ｍｉ
ｎ、液温２５℃で供給した。一方、ガス供給口から純炭
酸ガスを２０ｋＰａ、流量１．６Ｎｌ／ｍｉｎ、ガス温
度２５℃で通気した。この条件で水出口から採取した純
水中の炭酸ガス濃度をガスクロマトグラフィで測定した
結果、実施例１のモジュールでは１７７ｍｇ／ｌ、実施
例２のモジュールでは１８２ｍｇ／ｌ、比較例１のモジ
ュールでは１２１ｍｇ／ｌであった。
々、水入口から純水を圧力６０ｋＰａ、流量１１／ｍｉ
ｎ、液温２５℃で供給した。一方、ガス供給口から純炭
酸ガスを２０ｋＰａ、流量１．６Ｎｌ／ｍｉｎ、ガス温
度２５℃で通気した。この条件で水出口から採取した純
水中の炭酸ガス濃度をガスクロマトグラフィで測定した
結果、実施例１のモジュールでは１７７ｍｇ／ｌ、実施
例２のモジュールでは１８２ｍｇ／ｌ、比較例１のモジ
ュールでは１２１ｍｇ／ｌであった。
【００２６】試験２ 実施例１，２と比較例１で作製したモジュールに、各
々、水入口から純水を圧力２００ｋＰａ、流量１１／ｍ
ｉｎ、液温２５℃で供給した。一方、ガス供給口からオ
ゾンガス（オゾン濃度２００ｇ／Ｎｍ3）を１００ｋＰ
ａ、流量１Ｎｌ／ｍｉｎ、ガス温度２５℃で通気した。
この条件で水出口から採取した純水中のオゾン濃度を紫
外線分析計で測定した結果、実施例１のモジュールでは
６．６ｍｇ／ｌ、実施例２のモジュールでは７．０ｍｇ
／ｌ、比較例１のモジュールでは４．６ｍｇ／ｌであっ
た。
々、水入口から純水を圧力２００ｋＰａ、流量１１／ｍ
ｉｎ、液温２５℃で供給した。一方、ガス供給口からオ
ゾンガス（オゾン濃度２００ｇ／Ｎｍ3）を１００ｋＰ
ａ、流量１Ｎｌ／ｍｉｎ、ガス温度２５℃で通気した。
この条件で水出口から採取した純水中のオゾン濃度を紫
外線分析計で測定した結果、実施例１のモジュールでは
６．６ｍｇ／ｌ、実施例２のモジュールでは７．０ｍｇ
／ｌ、比較例１のモジュールでは４．６ｍｇ／ｌであっ
た。
【図１】本発明の分離膜モジュールの模式図を示す。
【図２】異形度の測定方法を示す図である。
【図３】実施例１に用いたＰＦＡ製クリップを示す図で
ある。
ある。
１、２、３ ＰＴＦＥ多孔質チューブ（分離膜チュー
ブ） １１ ハウジング １２ フランジ １３ マニホールド形成部 １４ 液体入口 １５ 液体出口 １６ 気体入口 １７ 気体出口
ブ） １１ ハウジング １２ フランジ １３ マニホールド形成部 １４ 液体入口 １５ 液体出口 １６ 気体入口 １７ 気体出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 63/06 Ｂ０１Ｄ 63/06 67/00 67/00 71/36 71/36 Ｂ０１Ｆ 1/00 Ｂ０１Ｆ 1/00 Ａ 3/04 3/04 Ａ 5/06 5/06 Ｆターム(参考） 4D006 GA41 GA47 HA22 JA02A JA52A MA02 MA22 MA24 MA33 MA34 MA40 MB10 MB11 MC25 MC29 MC30X MC86 NA34 NA50 NA63 PA10 PC01 PC80 4D011 AA08 AA16 4G035 AA01 AE17
Claims (13)
- 【請求項１】 液体不透過性であって且つ気体透過性の
チューブからなり、該チューブの液体通路の断面積また
は断面形状が、１ヵ所以上で変化されていることを特徴
とする分離膜チューブ。 - 【請求項２】 該チューブの液体通路の断面積変化又は
断面形状変化が、該チューブの圧縮によるものである請
求項１に記載の分離膜チューブ。 - 【請求項３】 該チューブの液体通路の断面積変化又は
断面形状変化が、該チューブの外側に取り付けられた圧
縮用部材によるものである請求項１に記載の分離膜チュ
ーブ。 - 【請求項４】 該チューブの液体通路の断面形状変化
は、チューブの内側表面に外接する最大円の直径をチュ
ーブの内側表面に内接する最小円の直径で割った値で定
義した異形度で表わした場合に、該チューブの液体通路
断面形状変化部の異形度Ｋ（Ａ）と該チューブの液体通
路断面形状未変化部の異形度Ｋ（Ｂ）との比Ｋ（Ａ）／
Ｋ（Ｂ）が、１．１〜１０の範囲にある請求項１〜３の
いずれかに記載の分離膜チューブ。 - 【請求項５】 該チューブが、多孔質ポリテトラフルオ
ロエチレンからなる請求項１〜４のいずれかに記載の分
離膜チューブ。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の分離膜
チューブからなるチューブ束をハウジング内に収納させ
た構造を有することを特徴とする分離膜モジュール。 - 【請求項７】 請求項６に記載の分離膜モジュールを用
いて液体中に気体を溶解させる方法であって、該液体を
該チューブ内に流通させるとともに、該ハウジング内に
該気体を存在させることを特徴とする液体中への気体の
溶解方法。 - 【請求項８】 該気体がオゾンを含んだ気体である請求
項７に記載の方法。 - 【請求項９】 請求項６に記載の分離膜モジュールを用
いて液体中に溶解した気体を脱気させる方法であって、
該液体を該チューブ内に流通させるとともに、該ハウジ
ング内を減圧に保持するか又は該ハウジング内に希釈用
ガスを存在させることを特徴とする液体中に溶解する気
体の脱気方法。 - 【請求項１０】 該希釈用ガスが、窒素ガスである請求
項９に記載の方法。 - 【請求項１１】 請求項１又は２に記載の分離膜チュー
ブの製造方法であって、該液体不透過性であって且つ気
体透過性のチューブを押出し成形装置を用いて該装置か
ら押出した後延伸する際に、該延伸されたチューブに対
し、間隔を置いて圧縮力を加えて圧縮させることを特徴
とする分離膜チューブの製造方法。 - 【請求項１２】 該チューブの圧縮を、加熱下で行う請
求項１１に記載の方法。 - 【請求項１３】 該チューブが多孔質ポリテトラフルオ
ロエチレンからなり、該圧縮後、焼成する請求項１１又
は１２に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001055279A JP2002253936A (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 分離膜チューブ及び分離膜モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001055279A JP2002253936A (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 分離膜チューブ及び分離膜モジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002253936A true JP2002253936A (ja) | 2002-09-10 |
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ID=18915482
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001055279A Withdrawn JP2002253936A (ja) | 2001-02-28 | 2001-02-28 | 分離膜チューブ及び分離膜モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002253936A (ja) |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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