KR20070119487A - 노광용 조명장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 각각의 램프 상태를 파악할 수 있는 복수의 램프로 이루어지는 노광용 조명장치에 관한 것으로, 각 램프(1)마다 전원 모듈(2)이 설치되어 있으며, 이 복수의 전원 모듈(2)을 제어장치(3)에 의해 제어되도록 하여 각 램프(1)의 점등이 이루어지게 된다. 전원 모듈(2)은 점등회로(20)를 가지고 있으며, 이 점등회로(20)에 점등 검출기(21)가 달려 있어서, 각 램프(1)의 점등, 불점등의 신호를 제어장치(3)에 보내게 되고, 표시장치(4)에 표시된다.

점등 회로(20)에는 전압 검출장치(22)가 접속되어 있어 각 램프(1)의 점등시 전압을 검출하며, 전압 판정장치(23)는 램프가 정격사양 전압에서 점등이 되고 있는가, 아닌 가를 판별한다. 전압 판정장치(23)에서 상한(上限)과 하한(下限)의 기준전압은 상, 하한 기준전압 설정장치(5)에 의해서 임의로 설정되고, 램프(1)의 특성이나 노광의 조건등에 따라서 램프 전압의 적부(適否) 기준을 변경시킬 수 있다. 전압 판정장치(23)에 의한 판정 결과는 제어장치(3)로 보내어지고, 표시장치(4)에 표시되어 고지(告知)하게 된다.

노광장치, 조명장치, 반도체.

Description

노광용 조명장치{Lighting device exposure}

도 1은 본 발명의 1 실시형태를 나타내는 기능 불럭도이고,

도 2는 본 발명의 1 실시형태의 동작을 나타내는 플로어챠트도이고,

도 3은 램프의 전압 변화와 노광동작 적정범위를 나타내는 그래프이고,

도 4는 램프를 선택적으로 점등, 불점등으로 한 패턴의 1 예를 나타내는 설명도이고,

도 5는 미리 결정된 점등 패턴의 1 예를 나타내는 설명도이고,

도 6은 미리 결정된 점등 패턴의 타의 예를 나타내는 설명도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 램프 2 : 전원 모듈

3 : 제어장치 4 : 표시장치

5 : 상하한 기준전압 설정장치 6 : 점등패턴 선정장치

20 : 점등회로 21 : 점등 검출기

22 : 전압 검출장치 23 : 전압 판정장치

24 : 외부 출력장치

일본의 공개특허인 특개 2004-361746호

본 발명은 노광용 조명장치에 관한 것으로, 반도체 회로나 프린트 배선기판을 제작할 경우, 포토레지스트를 시공한 기판에 노광장치에 의해서 회로패턴을 인화하게 된다.

노광장치의 노광용 조명으로는 일반적으로 자외선이 사용되어지고, 이를 위해 조명램프로는 고압의 수은램프가 일반적으로 쓰이고 있다.

이와 같은 노광용 조명장치로는 다수의 램프를 사용하는 일본의 공개특허인 특개 2004-361746호에 기재된 것과 같은 멀티램프시스템이 알려져 있다.

상기한 멀티램프시스템의 경우에는 고출력(高出力)을 얻을 수 있는 잇점은 있으나, 이를 구성하는 복수의 램프 개개가 모두 소정의 규격사양의 전압에서 점등되고 있는지를 검출할 수 있는 기능이 없고, 또 모든 램프가 소정의 조도(照度)로 점등되고 있는지를 눈짐작으로 파악하는 것이 아주 곤란하였다.

또한, 램프의 수명을 판정함에 있어서, 램프의 적산(積算) 점등시간이 적용 되고, 램프의 밝기에 관계없이 적산 점등시간이 설정된 수명의 시간을 초과하게 되면 램프의 수명이 끊어지게 되어 램프의 사용 효율을 악화시키게 된다.

본 발명은 이와 같은 종래기술의 문제점을 해결함을 그 목적으로 하고 있다.

상기한 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 복수의 램프를 갖는 노광용 조명장치로서, 램프의 점등회로와, 각 램프가 점등되고 있다는 것을 개별적으로 검출하는 점등 검출수단과, 각 램프 점등시의 점등전압을 개별적으로 검출하는 전압 검출수단과, 이 검출된 램프의 점등전압이 소정의 전압 범위 내에 있다는 것을 판정하는 전압 판정수단과, 상기 점등 검출수단에 의한 검출결과와 전압 판정수단에 의한 판정결과를 고지하는 수단을 구비함을 특징으로 한다.

이상과 같이 각 램프의 점등 및 전압을 검출함으로써 점등되지 않은 램프나 전압이 부적당한 램프를 식별할 수 있게 되고, 부적합 램프의 수 및 위치 등을 파악할 수 있게 된다.

또, 상기 점등 검출수단에 의한 검출 결과와 전압 판정수단에 의한 판정 결과로부터 부적합 램프의 수를 산출하고, 이 부적합 램프의 수가 소정의 수 이상일 경우에 “노광불가”라고 판단하는 수단등을 함께 가짐으로서 노광 가(可) 및 불가(不可)의 판단도 자동적으로 가능하게 된다.

또, 상기 전압 판정수단의 판정결과에 근거하여 램프의 수명을 판별하는 것도 가능하다.

상기 복수의 램프는 동일한 사양이 아니고, 서로 다른 사양의 램프를 포함하더라도 좋다. 이 경우, 각 램프마다 그 사양에 적합한 램프의 점등회로와, 점등 검출수단과 전압 검출수단 및 전압 판정수단을 구비함으로서 대응가능하게 된다. 상기한 복수의 램프는 사용조건에 따라 전체의 램프를 사용할 수도 있고, 일부의 램프를 사용할 수도 있다. 이 경우, 복수 램프의 각 램프에 대해서 임의로 사용 또는 불사용을 선정하는 수단을 가지게 함으로써 그 대응이 가능하게 된다.

또한, 상기 복수의 램프의 각 램프 적산(積算) 점등시간을 평균화할 수 있도록 상기 복수 램프의 각 램프에 대해 사용, 불사용을 선정하는 수단을 갖도록 하고, 이 수단에 의해서 램프의 교환주기를 연장시키게 된다.

이 경우, 복수의 점등 패턴을 미리 설정해 두고. 램프 점등시에 패턴을 서로 바꿀수 있도록 구성하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의해 각 램프의 적산 점등시간을 평균화할 수 있고, 램프의 사용가능 기간(교환주기)을 연장시킬 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.

도 1에 있어서, 본 발명의 노광용 조명장치는 복수의 램프(1)과 복수의 전원모듈(2)로 구성되고 있으며, 각 램프(1) 마다 전원모듈(2)이 설치되어 있다.

이 전원모듈(2)은 제어장치(3)에 의해 제어되고, 각 램프(1)의 점등이 이루워지도록 구성되어 있다.

전원모듈(2)에는 제어장치(3)에 의해 제어되는 점등회로(20)가 설치되어 있 고, 이 점등회로(20)에 점등 검출기(21)가 붙어 있어서, 각 램프(1)의 점등, 불점등의 신호를 제어장치(3)에 보낼 수 있도록 되어 있다. 이 점등, 불점등의 검출결과는 표시장치(4)에 표시되어져 사용자가 알 수 있게 된다.

점등회로(20)에는 또 전압검출장치(22)가 접속되어 있어서 각 램프(1)의 점등전압을 검출할 수 있도록 구성되어 있다.

제어장치(3)는 각 램프의 점등회로(2)에 신호를 보내고, 모든 램프(1)를 점등시켜도 좋고, 또는 임의로 선출된 램프(1)만을 점등시켜도 좋다.

여기에 대하여는 뒤에 다시 설명하기로 한다.

도 3에 램프(1)의 전압 특성을 나타낸다. 앞에서 설명한 바와 같이 노광 조명장치에 쓰이는 램프(1)는 일반적으로 고압 수은램프이다. 이 램프는 전원 이온에서 전압이 안정될 때까지 소정의 시간이 필요하게 된다.

이 전압이 안정되는 영역을 노광동작 적정 동작영역이라 하고, 각 램프(1)의 전압이 이 영역에 도달한 때를 노광적정시기라고 한다. 또, 이와 같은 램프는 적산 점등시간이 길어지면, 서서히 안정시의 전압이 높아지고, 동시에 조도가 떨어진다. 따라서 램프(1)의 전압에 의한 수명을 사전에 알 수 있게 되므로 손쉽게 램프의 교환을 할 수 있게 된다.

전압 검출장치(22)는 각 램프(1)의 점등시 전압을 검출하고, 전압 판정장치(23)는 다시 이 점등전압에서 램프가 정격사양 전압하에서 점등되고 있는지를 판별하게 된다. 전압 판정장치(23)에는 도 3에 도시된 정격사양 전압의 상한과 하한의 기준전압이 설정되어 있고, 램프가 점등된 후, 정격사양(定格仕樣) 전압의 하한 을 넘으면 노광 가능이라고 판단할 수 있도록 구성되어 있다. 또, 일정시간 경과 후, 정격사양 전압 범위에서 벗어나는 램프가 있을 경우에는 이 램프가 정격사양 전압에 없다는 신호를 출력하게 된다.

이 전압 판정장치(23)에서 상한(上限)과 하한(下限)의 기준전압은 상·하한 기준전압 설정장치(5)에 의해 사용자가 임의로 설정할 수 있도록 되어 있으며, 램프(1)의 특성이나 노광의 조건 등에 의해 램프 전압의 적부 기준을 변경시킬 수 있게 되어 있다.

전압 판정장치(23)에 의한 판정 결과는 제어장치(3)에 보내어져, 표시장치(4)에 표시되고, 고지되도록 구성되어 있다. 즉, 각 램프(1)가 상기한 상한과 하한 사이의 적정 전압 범위 안에 들어왔다는 것과, 소정 시간 후에도 이 적정 전압 범위 안에 없는 램프(1)를 표시하도록 구성되어 있다.

상기 표시장치(4)의 표시에 의해서 사용자는 불점등 램프(1)의 수 및 적정 전압에 있지않은 램프(1)의 수를 파악할 수 있게 되며, 노광동작을 계속할 것인가 또는 노광 중지를 할 것인가를 판단할 수 있게 된다.

이와 같은 실시형태에서는 특별히 제어장치(3)가 점등 검출기(21)에 의해서 불점등 램프의 수와 전압 판정장치(23)에 의해 비적정 전압 범위 내에 있는 램프의 수가 소정의 수 이상인지 또는 아닌지를 판별하고, 노광이 가능한지 또는 불가능한지를 판단하는 구성을 가지게 된다. 이와 같은 구성에 의해서 자동적으로 노광의 적부를 판단할 수 있게 된다.

도 2 에 의해서 동작을 설명한다.

사용자가 램프 점등 조작을 하게 되면, 제어장치(3)는 점등회로(20)에 램프 점등 지령을 출력하게 되고 (스탭 S1), 동시에 램프번호(N)에 1을 두게 된다(스탭 S2). 그리하여 전압안정 시간이 경과 후 (스탭 S3), 점등 검출기(21)의 신호에 의해서, 램프 불점등의 경우에는 (스탭 S4) 표시장치 (4)에 그 뜻의 표시를 하게 된다(스탭 S5). 램프가 점등되어 있는 경우에는 (스탭 S4), 전압 판정장치(23)의 신호에 의해서 전압이 상한을 초과하는 경우에는 (스탭 S6), 램프(1)의 수명이 다 되었다는 것을 표시장치(4)에 표시한다 (스탭 S7). 상한치 이하이거나, 하한치 이하인 경우(스탭 S8), 저 전압이라는 것을 표시장치(4)에 표시한다 (스탭 S9) .

스탭(S5)、(S7)、(S9)의 경우에는 어느 경우나 램프의 불량으로 판단되어 제어장치(3)는 불량수를 카운트하게 된다 (스탭 S10).

그리하여 상기 스탭 S4에서 S10 까지를 각 램프에 대해 실행하고(스탭 S11, S12)、불량수(D)가 기준치 이내라고 판단한다(스탭 S13). 기준치 이내인 경우에는 노광이 가능하다고 판단하고, 표시장치(4)에 표시한다. (스탭 S14). 기준치 이상인 경우에는 노광 불가라고 판단하고, 그 뜻의 표시를 하게 된다 (스탭 S15) .

사용자는 표시장치(4)의 표시에 의해서 각종 판단을 할 수 있게 된다.

그러나, 상기 제어장치(3)는 모든 램프(1)를 점등케 하거나 또는 임의의 램프(1)만을 점등케 하는 것도 가능케 한다. 예로써 도 4에서는 7 × 6개의 램프(1) 중 외주부분의 램프(1')를 점등시키지 않고, 나머지의 중앙부분의 램프(1)만을 점등시키고 있다. 이와 같이 선택적으로 점등케 함으로써 전체의 조도를 조정하거나, 조명의 위치를 조정하는 것이 가능케 된다.

이와 같은 실시형태는 도 1에서와 같이 점등 패턴의 선정장치(6)를 가지고 있다. 점등 패턴의 선정장치(6)는 미리 결정된 점등패턴을 기억시켜 두고, 이 패턴을 선택하거나, 선택된 패턴에 따라 램프(1)를 점등시키는 것이다.

도 5와 도 6에 그 실시예를 도시한다. 도 5와 도 6에서는 소나무모양으로 램프(1)를 점등, 불점등시키고, 도 5와 도 6에서는 서로 다르게 점등시키도록 되어 있다. 이와 같이 점등패턴을 서로 교체시킴으로서 각 램프의 적산 점등시간을 평균화할 수 있고, 램프의 사용 가능 기간(교환주기)을 연장시킬 수 있다.

본 발명의 노광용 조명장치에 의하면, 점등되지 않은 램프를 검출할 수 있게 되고, 또 각 램프의 점등전압을 검출할 수 있게 된다. 이 때문에 조명장치의 조도가 기준치 이상인가, 아닌가의 판별이 가능하게 되고, 노광의 적부나 노광 개시의 타이밍을 알 수 있게 된다.

또, 개개의 램프의 전압으로부터 점등중의 램프의 열화(劣化)를 판정할 수 있고, 초기 조도보다 현저하게 어두워지기 전에 램프를 교환하여야 할 시기를 알 수 있게 된다. 또한, 사양이 다른 램프를 혼재하여 사용하는 것도 가능하게 되는 등의 효과가 있다.

Claims (6)

1. 복수의 램프를 갖는 노광용 조명장치로서,

   램프의 점등회로와,

   각 램프가 점등된 것을 개별적으로 검출하는 점등 검출수단과,

   각 램프 점등시 점등전압을 개별적으로 검출하는 전압 검출수단과,

   이 검출된 램프의 점등 전압이 소정의 전압 범위에 있다는 것을 판정하는 전압 판정수단과,

   상기 점등 검출수단에 의한 검출 결과와 전압 판정수단의 판정 결과를 알려주는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광용 조명장치.
2. 청구항 1 에 있어서,

   상기 점등 검출수단에 의한 검출 결과와 전압 판정수단의 판정 결과로 부적합 램프의 수를 산출하여, 이 부적합 램프의 수가 소정의 수 이상인 경우, 노광불가(露光不可)라고 판단하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광용 조명장치.
3. 청구항 1 에 있어서,

   상기 전압 판정수단의 판정 결과에 근거하여 램프의 수명을 판별하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광용 조명장치.
4. 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 복수의 램프가 그 사양(仕樣)이 상이한 램프를 포함하고, 각 램프마다 그 사양에 적합한 램프의 점등회로와 점등 검출수단과 전압 검출수단 및 전압 판정수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광용 조명장치.
5. 청구항 1 에 있어서,

   상기 복수 램프의 각 램프에 대하여 사용, 불사용을 임의로 선정하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 노광용 조명장치.
6. 청구항 1 에 있어서,

   상기 복수 램프의 각 램프의 적산(積算) 점등시간을 평균화하도록, 상기 복수 램프의 각 램프에 대해서 사용, 불사용을 선정하는 수단을 가지며, 이 수단에 의해서 램프의 교환주기를 연장시킴을 특징으로 하는 노광용 조명장치.

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