JP2001307988A - 照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法 - Google Patents
照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法Info
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- JP2001307988A JP2001307988A JP2000123143A JP2000123143A JP2001307988A JP 2001307988 A JP2001307988 A JP 2001307988A JP 2000123143 A JP2000123143 A JP 2000123143A JP 2000123143 A JP2000123143 A JP 2000123143A JP 2001307988 A JP2001307988 A JP 2001307988A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ランプの寿命を判断して、複数の照明用光源中
の寿命が達し交換を必要とする照明用光源の光路を、予
備用照明用光源の光路に切り替え、稼働率を向上させる
ことが可能な照明装置と照明方法、および該照明装置を
備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法を提供
する。 【解決手段】照明光源が予備用照明光源を含む複数の照
明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光束合成
光学系を備え、複数の照明光源における個々の光源の寿
命を入力電力の変化から予測し、該予測値に基づいて予
備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が安定状態に
なった後、前記寿命が達し交換を必要とする照明光源の
前記光束合成光学系に入射する前の光束の光路を、前記
予備用照明光源の光路に切り替えて照明する。
の寿命が達し交換を必要とする照明用光源の光路を、予
備用照明用光源の光路に切り替え、稼働率を向上させる
ことが可能な照明装置と照明方法、および該照明装置を
備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法を提供
する。 【解決手段】照明光源が予備用照明光源を含む複数の照
明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光束合成
光学系を備え、複数の照明光源における個々の光源の寿
命を入力電力の変化から予測し、該予測値に基づいて予
備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が安定状態に
なった後、前記寿命が達し交換を必要とする照明光源の
前記光束合成光学系に入射する前の光束の光路を、前記
予備用照明光源の光路に切り替えて照明する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、照明装置と照明方
法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによる
デバイス製造方法に関するものである。
法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによる
デバイス製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置、あるいは液晶用
製造装置等においては、その生産性を上げるために、ウ
ェハーやガラス基板サイズの大型化を促進し、さらに、
スループットの向上が要求されている。半導体及び、液
晶用露光装置にとって、スループットに影響を及ぼす要
素として、ウェハーまたは、ガラス基板サイズの搬送時
間、オートフォーカスや、位置合わせ時間、ステージの
移動時間、露光時間等が挙げられる。中でも、露光時間
の短縮が、スループットの向上に大きく影響してくる。
露光時間は、ウェハーや、ガラス基板のプロセス状態や
レジスト感度、露光照度で決定されるが、露光装置とし
ては、露光照度の向上が重要である。
製造装置等においては、その生産性を上げるために、ウ
ェハーやガラス基板サイズの大型化を促進し、さらに、
スループットの向上が要求されている。半導体及び、液
晶用露光装置にとって、スループットに影響を及ぼす要
素として、ウェハーまたは、ガラス基板サイズの搬送時
間、オートフォーカスや、位置合わせ時間、ステージの
移動時間、露光時間等が挙げられる。中でも、露光時間
の短縮が、スループットの向上に大きく影響してくる。
露光時間は、ウェハーや、ガラス基板のプロセス状態や
レジスト感度、露光照度で決定されるが、露光装置とし
ては、露光照度の向上が重要である。
【０００３】図３に、従来照朋系の構成例を示す。同図
に於いて、３１はランプ、３２はミラー、３３は照度セ
ンサー、３４はミラー、３５はコンデンサーレンズ、３
６はレチクルまたはマスク、３７は投影光学系、３８は
ウェハーまたはガラス基板であり、３９〜４４はランプ
の制御系である。ここで、照明系の透過率、すなわち効
率が一定であり、必要とする照射領域も同じとすれば、
照明装置として得られる露光照度は、照明光源であるラ
ンプの照度で決定される。
に於いて、３１はランプ、３２はミラー、３３は照度セ
ンサー、３４はミラー、３５はコンデンサーレンズ、３
６はレチクルまたはマスク、３７は投影光学系、３８は
ウェハーまたはガラス基板であり、３９〜４４はランプ
の制御系である。ここで、照明系の透過率、すなわち効
率が一定であり、必要とする照射領域も同じとすれば、
照明装置として得られる露光照度は、照明光源であるラ
ンプの照度で決定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、露光用
ランプの入力電力を大きくして、その輝度の向上を計る
ことは、ランプの耐久性や、製造コストの増大等により
限界がある。そのため、複数個の照明光源すなわちラン
プを用いて、その光を合成し、露光に必要な光量を得る
ことは、有効な手段である。しかし、複数個の照明光源
を用いて、その合成した光量を一定の照度に保とうとし
た場合、ランプ特性や、その冷却効率等のばらつきを補
正しながら、それぞれのランプの入力電力を制御したと
しても、それぞれのランプの寿命は、そのランプ固有の
特性に左右されることとなる。また、ランプの寿命等
で、ランプの交換を必要とされる場合、その交換作業
は、一般に、ランプ部が、ほぼ常温になったあと、手作
業により行われ、さらに、ランプ交換後、光量が安定す
るまで、かなりの時間を必要とされている。その上、複
数個の照明光源を用いた場合には、さらに前記ランプ交
換の可能性が増大し、露光装置の稼働時間を、一層低下
させてしまうという問題点を生じる。
ランプの入力電力を大きくして、その輝度の向上を計る
ことは、ランプの耐久性や、製造コストの増大等により
限界がある。そのため、複数個の照明光源すなわちラン
プを用いて、その光を合成し、露光に必要な光量を得る
ことは、有効な手段である。しかし、複数個の照明光源
を用いて、その合成した光量を一定の照度に保とうとし
た場合、ランプ特性や、その冷却効率等のばらつきを補
正しながら、それぞれのランプの入力電力を制御したと
しても、それぞれのランプの寿命は、そのランプ固有の
特性に左右されることとなる。また、ランプの寿命等
で、ランプの交換を必要とされる場合、その交換作業
は、一般に、ランプ部が、ほぼ常温になったあと、手作
業により行われ、さらに、ランプ交換後、光量が安定す
るまで、かなりの時間を必要とされている。その上、複
数個の照明光源を用いた場合には、さらに前記ランプ交
換の可能性が増大し、露光装置の稼働時間を、一層低下
させてしまうという問題点を生じる。
【０００５】そこで、本発明は、上記課題を解決し、ラ
ンプの寿命を判断して、複数の照明光源中の寿命が達し
交換を必要とする照明光源の光路を、予備用照明光源の
光路に切り替え、稼働率を向上させることが可能な照明
装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置と
これらによるデバイス製造方法を提供することを目的と
するものである。
ンプの寿命を判断して、複数の照明光源中の寿命が達し
交換を必要とする照明光源の光路を、予備用照明光源の
光路に切り替え、稼働率を向上させることが可能な照明
装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置と
これらによるデバイス製造方法を提供することを目的と
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、つぎの（１）〜（６）のように構成した
照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装
置とこれらによるデバイス製造方法を提供するものであ
る。 （１）照明光源によって被照射面を照明する照明装置に
おいて、前記照明装置が、予備用照明光源を含む複数の
照明光源と、前記複数の照明光源の光束を合成する光束
合成光学系と、前記光束合成光学系に入射する前の前記
複数の照明光源の光束の光路を切替える光路切替手段
と、前記複数の照明光源における個々の光源の寿命を入
力電力の変化から測定する光源寿命測定手段と、前記光
源寿命測定手段の測定値に基づいて、前記複数の照明光
源中の寿命が達し交換を必要とする照明光源の光路を、
予備用照明光源の光路に切り替えるように前記光路切替
手段を作動させる手段と、を有することを特徴とする照
明装置。 （２）前記照明装置が、前記複数の照明光源のそれぞれ
の光量を測定する合成前光量測定手段、または前記複数
の照明光源の合成された光量を測定するための合成後光
量測定手段を備え、これらの測定手段によって測定され
た光量の測定値に基づいて前記複数の照明光源の光量を
調整するように構成されていることを特徴とする上記
（１）に記載の照明装置。 （３）照明光源によって被照射面を照明する照明方法に
おいて、前記照明光源が予備用照明光源を含む複数の照
明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光束合成
光学系を備え、前記複数の照明光源における個々の光源
の寿命を入力電力の変化から予測し、該予測値に基づい
て予備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が安定状
態になった後、前記寿命が達し交換を必要とする照明光
源の前記光束合成光学系に入射する前の光束の光路を、
前記予備用照明光源の光路に切り替えて照明することを
特徴とする照明方法。 （４）前記複数の照明光源のそれぞれの光量を測定する
合成前光量測定手段、または前記複数の照明光源の合成
された光量を測定するための合成後光量測定手段とを備
え、これらの測定手段によって測定された光量の測定値
に基づいて前記複数の照明光源の光量を調整することを
特徴とする上記（３）に記載の照明方法。 （５）上記（１）〜（２）のいずれかに記載の照明装置
または上記（３）〜（４）のいずれかに記載の照明方法
を用い、前記被照射面位置に配されたパターンの形成さ
れたレチクルまたはマスクを照明し、該レチクルまたは
マスクのパターンを投影光学系によって露光基板に投影
露光することを特徴とする露光装置。 （６）上記（３）〜（４）のいずれかに記載の照明方
法、または上記（５）に記載の露光装置を用い、前記被
照射面位置に配されたパターンの形成されたレチクルま
たはマスクのパターンを照明し、該レチクルまたはマス
クのパターンを投影光学系によって露光基板に投影露光
した後、該露光基板を現像処理してデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイスの製造方法。
決するために、つぎの（１）〜（６）のように構成した
照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装
置とこれらによるデバイス製造方法を提供するものであ
る。 （１）照明光源によって被照射面を照明する照明装置に
おいて、前記照明装置が、予備用照明光源を含む複数の
照明光源と、前記複数の照明光源の光束を合成する光束
合成光学系と、前記光束合成光学系に入射する前の前記
複数の照明光源の光束の光路を切替える光路切替手段
と、前記複数の照明光源における個々の光源の寿命を入
力電力の変化から測定する光源寿命測定手段と、前記光
源寿命測定手段の測定値に基づいて、前記複数の照明光
源中の寿命が達し交換を必要とする照明光源の光路を、
予備用照明光源の光路に切り替えるように前記光路切替
手段を作動させる手段と、を有することを特徴とする照
明装置。 （２）前記照明装置が、前記複数の照明光源のそれぞれ
の光量を測定する合成前光量測定手段、または前記複数
の照明光源の合成された光量を測定するための合成後光
量測定手段を備え、これらの測定手段によって測定され
た光量の測定値に基づいて前記複数の照明光源の光量を
調整するように構成されていることを特徴とする上記
（１）に記載の照明装置。 （３）照明光源によって被照射面を照明する照明方法に
おいて、前記照明光源が予備用照明光源を含む複数の照
明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光束合成
光学系を備え、前記複数の照明光源における個々の光源
の寿命を入力電力の変化から予測し、該予測値に基づい
て予備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が安定状
態になった後、前記寿命が達し交換を必要とする照明光
源の前記光束合成光学系に入射する前の光束の光路を、
前記予備用照明光源の光路に切り替えて照明することを
特徴とする照明方法。 （４）前記複数の照明光源のそれぞれの光量を測定する
合成前光量測定手段、または前記複数の照明光源の合成
された光量を測定するための合成後光量測定手段とを備
え、これらの測定手段によって測定された光量の測定値
に基づいて前記複数の照明光源の光量を調整することを
特徴とする上記（３）に記載の照明方法。 （５）上記（１）〜（２）のいずれかに記載の照明装置
または上記（３）〜（４）のいずれかに記載の照明方法
を用い、前記被照射面位置に配されたパターンの形成さ
れたレチクルまたはマスクを照明し、該レチクルまたは
マスクのパターンを投影光学系によって露光基板に投影
露光することを特徴とする露光装置。 （６）上記（３）〜（４）のいずれかに記載の照明方
法、または上記（５）に記載の露光装置を用い、前記被
照射面位置に配されたパターンの形成されたレチクルま
たはマスクのパターンを照明し、該レチクルまたはマス
クのパターンを投影光学系によって露光基板に投影露光
した後、該露光基板を現像処理してデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイスの製造方法。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態においては、
上記した構成を適用し、複数光源の光路の切換機構によ
って、ランプの寿命を判断し、予備のランプに切り替え
るように構成することで、稼働率の低下を低減させるこ
とが可能となる照明装置と照明方法、および該照明装置
を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法を提
供することができる。
上記した構成を適用し、複数光源の光路の切換機構によ
って、ランプの寿命を判断し、予備のランプに切り替え
るように構成することで、稼働率の低下を低減させるこ
とが可能となる照明装置と照明方法、および該照明装置
を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法を提
供することができる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。 ［実施例１］図１は、本発明の実施例１の構成を示す図
であり、ランプの光を合成して、照明光源とする露光装
置の例を示している。同図において１ａ、１ｂ、１ｃは
複数の照明光源であるランプ、２ａ、２ｂ、２ｃは前記
ランプ光束を収束するミラー、３ａ、３ｂ、３ｃから８
ａ、８ｂ、８ｃはランプの制御系、９ａ、９ｂ、９ｃは
遮光板である。１０はプリズム、１１はコンデンサレン
ズであり、このプリズム１０により複数の照明光源であ
るランプ１ａ、１ｂ、１ｃの光束を合成光学系であるコ
ンデンサレンズ１１に導く。１３は照度センサであり、
これにより複数個の照明光源のそれぞれの合成前の光量
を測定し、その光量の測定値に基づいてこれらの照明光
源の光量を調整するようにすることができる。また、１
４はレチクルまたはマスク、１５は投影光学系、１６は
ウェハーまたはガラス基板である。
であり、ランプの光を合成して、照明光源とする露光装
置の例を示している。同図において１ａ、１ｂ、１ｃは
複数の照明光源であるランプ、２ａ、２ｂ、２ｃは前記
ランプ光束を収束するミラー、３ａ、３ｂ、３ｃから８
ａ、８ｂ、８ｃはランプの制御系、９ａ、９ｂ、９ｃは
遮光板である。１０はプリズム、１１はコンデンサレン
ズであり、このプリズム１０により複数の照明光源であ
るランプ１ａ、１ｂ、１ｃの光束を合成光学系であるコ
ンデンサレンズ１１に導く。１３は照度センサであり、
これにより複数個の照明光源のそれぞれの合成前の光量
を測定し、その光量の測定値に基づいてこれらの照明光
源の光量を調整するようにすることができる。また、１
４はレチクルまたはマスク、１５は投影光学系、１６は
ウェハーまたはガラス基板である。
【０００９】前述したように、一般にランプは、その特
性ばらつきが大きく、特にランプ点灯寿命に関しては、
ランプそのものの製造ばらつきや、点灯条件、冷却条件
により、かなり影響される。従って、ランプを複数個使
用した場合、複数のランプを同時期に寿命として交換で
きることは少なく、ほとんどの場合、複数個のランプが
それぞれ寿命に達したときにランプを交換することにな
る。その結果、ランプを複数個使用した場合、ランプ交
換する機会が増え、装置停止時間を長くしてしまうこと
になる。ランプの寿命は、ある一定照度を得るのに必要
なランプ入力電力が徐々に増大し、そのランプの入力電
力に達した時点と判断される。従来は、装置運用者が、
日々の点検で、ランプの入力電力から寿命を判断し、装
置運用を止めてランプ交換を行ってきた。ある一定照度
に於いて、ランプの点灯時間に対するランプの入力電力
は、一次関数か二次関数で、近似することができる。従
って、ランプ入力時間を監視していれば、そのランプの
寿命を推測することが可能である。
性ばらつきが大きく、特にランプ点灯寿命に関しては、
ランプそのものの製造ばらつきや、点灯条件、冷却条件
により、かなり影響される。従って、ランプを複数個使
用した場合、複数のランプを同時期に寿命として交換で
きることは少なく、ほとんどの場合、複数個のランプが
それぞれ寿命に達したときにランプを交換することにな
る。その結果、ランプを複数個使用した場合、ランプ交
換する機会が増え、装置停止時間を長くしてしまうこと
になる。ランプの寿命は、ある一定照度を得るのに必要
なランプ入力電力が徐々に増大し、そのランプの入力電
力に達した時点と判断される。従来は、装置運用者が、
日々の点検で、ランプの入力電力から寿命を判断し、装
置運用を止めてランプ交換を行ってきた。ある一定照度
に於いて、ランプの点灯時間に対するランプの入力電力
は、一次関数か二次関数で、近似することができる。従
って、ランプ入力時間を監視していれば、そのランプの
寿命を推測することが可能である。
【００１０】つぎに、本実施例の装置の具体的な使用例
として、３個のランプのうち、２個のランプを常時点灯
し、照明光源として用い、残りの１本を、前記２個のラ
ンプの予備とした例について説明する。図１では、１個
のランプ１ａだけが点灯されている状態が図示されてい
るが、ランプの光を合成して用いる場合には、例えば、
ランプ１ａ及びランプ１ｂを点灯し、照明光源として使
用し、ランプ１ｃは、予備として消灯待機させておく。
遮光板９ａ、９ｂは開状態、遮光板９ｃは閉状態とし、
プリズム１０は、ランプ１ａ、１ｂの光を通過する位置
にセットしておく。この状態で、露光装置を通常に稼働
させつつ、ランプ１ａ、１ｂの入力電力の変化を随時観
察しておく。入力電力観察方法は、ランプに加えている
電圧、電流をモニターし、Ａ／Ｄコンバータで、デジタ
ル信号に変換し、マイクロコンピュータ等で、演算処理
すればよい。
として、３個のランプのうち、２個のランプを常時点灯
し、照明光源として用い、残りの１本を、前記２個のラ
ンプの予備とした例について説明する。図１では、１個
のランプ１ａだけが点灯されている状態が図示されてい
るが、ランプの光を合成して用いる場合には、例えば、
ランプ１ａ及びランプ１ｂを点灯し、照明光源として使
用し、ランプ１ｃは、予備として消灯待機させておく。
遮光板９ａ、９ｂは開状態、遮光板９ｃは閉状態とし、
プリズム１０は、ランプ１ａ、１ｂの光を通過する位置
にセットしておく。この状態で、露光装置を通常に稼働
させつつ、ランプ１ａ、１ｂの入力電力の変化を随時観
察しておく。入力電力観察方法は、ランプに加えている
電圧、電流をモニターし、Ａ／Ｄコンバータで、デジタ
ル信号に変換し、マイクロコンピュータ等で、演算処理
すればよい。
【００１１】例えば、露光装置の運用を続けていき、ラ
ンプ１ａが、そのランプの入力電力の定格すなわちラン
プの寿命と判断される電力の９５％に達したとする。こ
こで、使用しているランプの平均寿命を５００時間、ラ
ンプの点灯時間に対するランプの入力電力は、一次関数
で表されると仮定すれば、ランプ１ａの残りの寿命は、
５００時間の５％、すなわち２５時間程度と推測出来
る。従って、この時点から１日以内にランプ交換をする
必要があると判断出来る。そこで、マイクロコンピュー
タからの指示により、予備として消灯待機していたラン
プ１ｃを点灯させる。この時、露光装置は、稼働状態で
あるから、そのまま、遮光板９ｃは閉状態とし、ランプ
１ａ、１ｂの光にて、同条件のまま装置運用を続行す
る。マイクロコンピュータは、ランプ１ｃの点灯状態
が、安定領域に入ったと判断された後、露光装置の稼働
状況を観察し、装置の運用が休止するのを待機する。
ンプ１ａが、そのランプの入力電力の定格すなわちラン
プの寿命と判断される電力の９５％に達したとする。こ
こで、使用しているランプの平均寿命を５００時間、ラ
ンプの点灯時間に対するランプの入力電力は、一次関数
で表されると仮定すれば、ランプ１ａの残りの寿命は、
５００時間の５％、すなわち２５時間程度と推測出来
る。従って、この時点から１日以内にランプ交換をする
必要があると判断出来る。そこで、マイクロコンピュー
タからの指示により、予備として消灯待機していたラン
プ１ｃを点灯させる。この時、露光装置は、稼働状態で
あるから、そのまま、遮光板９ｃは閉状態とし、ランプ
１ａ、１ｂの光にて、同条件のまま装置運用を続行す
る。マイクロコンピュータは、ランプ１ｃの点灯状態
が、安定領域に入ったと判断された後、露光装置の稼働
状況を観察し、装置の運用が休止するのを待機する。
【００１２】露光装置の一般的な使われ方であれば、１
日の間であれば、生産ロットの種類の切り替わり時期等
で装置が一時的に休止するはずである。マイクロコンピ
ュータは、この装置の休止時間を判断し、ランプの交換
を指示する。具体的には、遮光板９ａを閉じ、プリズム
１０をランプ１ｂ、１ｃの光を通過する位置に移動し、
遮光板９ｃを開ける。ランプ１ｃは、すでに安定した点
灯を続けているわけであるから、この状態で、ランプ１
ｂ、１ｃの光で、露光が可能となり、すなわち、装置の
運用が可能となる。この後、ランプ１ａを消灯し、ラン
プが充分冷えた状態になったら、ランプ交換可能とし
て、装置運用者にアラーム等で交換作業を要求する。従
来例では、このランプ交換の作業は、装置の運用を休止
して行っていたが、本実施例では、装置を稼働したまま
ランプ交換が可能となり、その時期も次のランプの寿命
が来る前に交換すればよい。
日の間であれば、生産ロットの種類の切り替わり時期等
で装置が一時的に休止するはずである。マイクロコンピ
ュータは、この装置の休止時間を判断し、ランプの交換
を指示する。具体的には、遮光板９ａを閉じ、プリズム
１０をランプ１ｂ、１ｃの光を通過する位置に移動し、
遮光板９ｃを開ける。ランプ１ｃは、すでに安定した点
灯を続けているわけであるから、この状態で、ランプ１
ｂ、１ｃの光で、露光が可能となり、すなわち、装置の
運用が可能となる。この後、ランプ１ａを消灯し、ラン
プが充分冷えた状態になったら、ランプ交換可能とし
て、装置運用者にアラーム等で交換作業を要求する。従
来例では、このランプ交換の作業は、装置の運用を休止
して行っていたが、本実施例では、装置を稼働したまま
ランプ交換が可能となり、その時期も次のランプの寿命
が来る前に交換すればよい。
【００１３】［実施例２］本発明の実施例２として、図
２にランプを２本使用した場合の例を示す。同図におい
て２１ａ、２１ｂは複数の照明光源であるランプであ
り、２２ａ、２２ｂは前記ランプ光束を収束するミラー
である。２４はプリズム、２５はコンデンサレンズであ
り、このプリズム２４により複数の照明光源であるラン
プ２１ａ、２１ｂの光束を合成光学系であるコンデンサ
レンズ２５に導き、あるいはどちらかのランプの光路に
切り替えることができるように構成する。５１ａ、５１
ｂから５６ａ、５６ｂはランプの制御系、２８はレチク
ルまたはマスク、２９は投影光学系、５０はウェハーま
たはガラス基板である。５７ａ、５７ｂはハーフミラー
であり、２３ａ、２３ｂは前記ハーフミラー５７ａ、５
７ｂを通過したランプ２１ａ、２１ｂの合成前の光量を
測定する照度センサであり、また２７は合成後の光量を
測定する照度センサである。
２にランプを２本使用した場合の例を示す。同図におい
て２１ａ、２１ｂは複数の照明光源であるランプであ
り、２２ａ、２２ｂは前記ランプ光束を収束するミラー
である。２４はプリズム、２５はコンデンサレンズであ
り、このプリズム２４により複数の照明光源であるラン
プ２１ａ、２１ｂの光束を合成光学系であるコンデンサ
レンズ２５に導き、あるいはどちらかのランプの光路に
切り替えることができるように構成する。５１ａ、５１
ｂから５６ａ、５６ｂはランプの制御系、２８はレチク
ルまたはマスク、２９は投影光学系、５０はウェハーま
たはガラス基板である。５７ａ、５７ｂはハーフミラー
であり、２３ａ、２３ｂは前記ハーフミラー５７ａ、５
７ｂを通過したランプ２１ａ、２１ｂの合成前の光量を
測定する照度センサであり、また２７は合成後の光量を
測定する照度センサである。
【００１４】本実施例においては、これらの照度センサ
により複数個の照明光源のそれぞれの合成前の光量を測
定し、その光量の測定値に基づいてこれらの照明光源の
光量を調整するようにすることができる。また、ランプ
を複数本使用する目的は、露光照度の向上を目的として
いるが、例えば、レジストの感度が充分高く、露光照度
をそれほど必要としない場合、本実施例のように構成し
て、ランプ２１ａ、２１ｂを単独に点灯させ、プリズム
２４をどちらかのランプの光側に切り替えて、ランプの
自動切換を実現することが可能である。
により複数個の照明光源のそれぞれの合成前の光量を測
定し、その光量の測定値に基づいてこれらの照明光源の
光量を調整するようにすることができる。また、ランプ
を複数本使用する目的は、露光照度の向上を目的として
いるが、例えば、レジストの感度が充分高く、露光照度
をそれほど必要としない場合、本実施例のように構成し
て、ランプ２１ａ、２１ｂを単独に点灯させ、プリズム
２４をどちらかのランプの光側に切り替えて、ランプの
自動切換を実現することが可能である。
【００１５】また、上記した実施例１または実施例２の
露光装置を、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（Ｃ
ＣＤ等）又は薄膜磁気ヘッド等のデバイスを製造するリ
ソグラフィ工程中の投影露光に、用いることにより、稼
働率を向上させることが可能なデバイス製造方法を実現
することができる。
露光装置を、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（Ｃ
ＣＤ等）又は薄膜磁気ヘッド等のデバイスを製造するリ
ソグラフィ工程中の投影露光に、用いることにより、稼
働率を向上させることが可能なデバイス製造方法を実現
することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の照明光源を使用したときでも、ランプの寿命を判
断して、複数の照明光源中の寿命が達し交換を必要とす
る照明光源を、予備用照明光源に切り替え照明装置と照
明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらに
よるデバイス製造方法を実現することができる。
複数の照明光源を使用したときでも、ランプの寿命を判
断して、複数の照明光源中の寿命が達し交換を必要とす
る照明光源を、予備用照明光源に切り替え照明装置と照
明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらに
よるデバイス製造方法を実現することができる。
【図１】本発明の実施例１におけるランプの光を合成し
て、照明光源とする露光装置を示す図である。
て、照明光源とする露光装置を示す図である。
【図２】本発明の実施例２における露光装置を示す図で
ある。
ある。
【図３】従来例の照明系の構成図を示す図である。
１ａ、１ｂ、１ｃ：ランプ ２ａ、２ｂ、２ｃ：ミラー ３ａ、３ｂ、３ｃ から８ａ、８ｂ、８ｃ ：ランプの
制御系 ９ａ、９ｂ、９ｃ：遮光板 １０：プリズム １１：コンデンサレンズ １２：ミラー １３：照度センサ １４：レチクルまたは、マスク １５：投影光学系 １６：ウェハーまたは、ガラス基板 ２１ａ、２１ｂ：ランプ ２２ａ、２２ｂ：ミラー ２３ａ、２３ｂ：照度センサー ２４：プリズム ２５：コンデンサレンズ ２６：ミラー ２７：照度センサ ２８：レチクルまたは、マスク ２９：投影光学系、 ５０：ウェハーまたは、ガラス基板 ５１ａ、５１ｂから５６ａ、５６ｂ：ランプの制御系 ５７ａ、５７ｂ：ハーフミラー ３１：ランプ ３２：ミラー ３３：コンデンサレンズ ３４：ミラー ３５：照度センサ ３６：レチクルまたは、マスク ３７：投影光学系 ３８：ウェハーまたは、ガラス基板 ３９、４２、４３：ランプの制御系
制御系 ９ａ、９ｂ、９ｃ：遮光板 １０：プリズム １１：コンデンサレンズ １２：ミラー １３：照度センサ １４：レチクルまたは、マスク １５：投影光学系 １６：ウェハーまたは、ガラス基板 ２１ａ、２１ｂ：ランプ ２２ａ、２２ｂ：ミラー ２３ａ、２３ｂ：照度センサー ２４：プリズム ２５：コンデンサレンズ ２６：ミラー ２７：照度センサ ２８：レチクルまたは、マスク ２９：投影光学系、 ５０：ウェハーまたは、ガラス基板 ５１ａ、５１ｂから５６ａ、５６ｂ：ランプの制御系 ５７ａ、５７ｂ：ハーフミラー ３１：ランプ ３２：ミラー ３３：コンデンサレンズ ３４：ミラー ３５：照度センサ ３６：レチクルまたは、マスク ３７：投影光学系 ３８：ウェハーまたは、ガラス基板 ３９、４２、４３：ランプの制御系
フロントページの続き (72)発明者 新開 洋 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 川島 春名 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 5F046 CA01 CA02 CB22 DB01 DB11 DC02
Claims (6)
- 【請求項１】照明光源によって被照射面を照明する照明
装置において、 前記照明装置が、予備用照明光源を含む複数の照明光源
と、 前記複数の照明光源の光束を合成する光束合成光学系
と、 前記光束合成光学系に入射する前の前記複数の照明光源
の光束の光路を切替える光路切替手段と、 前記複数の照明光源における個々の光源の寿命を入力電
力の変化から測定する光源寿命測定手段と、 前記光源寿命測定手段の測定値に基づいて、前記複数の
照明光源中の寿命が達し交換を必要とする照明光源の光
路を、予備用照明光源の光路に切り替えるように前記光
路切替手段を作動させる手段と、 を有することを特徴とする照明装置。 - 【請求項２】前記照明装置が、前記複数の照明光源のそ
れぞれの光量を測定する合成前光量測定手段、または前
記複数の照明光源の合成された光量を測定するための合
成後光量測定手段を備え、これらの測定手段によって測
定された光量の測定値に基づいて前記複数の照明光源の
光量を調整するように構成されていることを特徴とする
請求項１に記載の照明装置。 - 【請求項３】照明光源によって被照射面を照明する照明
方法において、前記照明光源が予備用照明光源を含む複
数の照明光源と、該複数の照明光源の光束を合成する光
束合成光学系を備え、前記複数の照明光源における個々
の光源の寿命を入力電力の変化から予測し、該予測値に
基づいて予備用照明光源を点灯し、該予備用照明光源が
安定状態になった後、前記寿命が達し交換を必要とする
照明光源の前記光束合成光学系に入射する前の光束の光
路を、前記予備用照明光源の光路に切り替えて照明する
ことを特徴とする照明方法。 - 【請求項４】前記複数の照明光源のそれぞれの光量を測
定する合成前光量測定手段、または前記複数の照明光源
の合成された光量を測定するための合成後光量測定手段
とを備え、これらの測定手段によって測定された光量の
測定値に基づいて前記複数の照明光源の光量を調整する
ことを特徴とする請求項３に記載の照明方法。 - 【請求項５】請求項１〜２のいずれか１項に記載の照明
装置を用い、前記被照射面位置に配されたパターンの形
成されたレチクルまたはマスクを照明し、該レチクルま
たはマスクのパターンを投影光学系によって露光基板に
投影露光することを特徴とする露光装置。 - 【請求項６】請求項３〜４のいずれか１項に記載の照明
方法、または請求項５に記載の露光装置を用い、前記被
照射面位置に配されたパターンの形成されたレチクルま
たはマスクのパターンを照明し、該レチクルまたはマス
クのパターンを投影光学系によって露光基板に投影露光
した後、該露光基板を現像処理してデバイスを製造する
ことを特徴とするデバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000123143A JP2001307988A (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | 照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000123143A JP2001307988A (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | 照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001307988A true JP2001307988A (ja) | 2001-11-02 |
| JP2001307988A5 JP2001307988A5 (ja) | 2007-06-14 |
Family
ID=18633504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000123143A Withdrawn JP2001307988A (ja) | 2000-04-24 | 2000-04-24 | 照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイス製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001307988A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007333965A (ja) * | 2006-06-14 | 2007-12-27 | Adtec Engineeng Co Ltd | 露光用照明装置 |
| JP2008058899A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
| JP2008241876A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Phoenix Denki Kk | 光源装置ならびにこれを用いた露光装置 |
| CN108897198A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光机的光源更换系统以及曝光机 |
-
2000
- 2000-04-24 JP JP2000123143A patent/JP2001307988A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008058899A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 |
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| KR101360800B1 (ko) * | 2007-03-26 | 2014-02-11 | 피닉스 덴끼 가부시키가이샤 | 광원장치 및 이것을 사용한 노광장치 |
| CN108897198A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-11-27 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曝光机的光源更换系统以及曝光机 |
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