KR20070109904A

KR20070109904A - Probe and probe assembly

Info

Publication number: KR20070109904A
Application number: KR1020070045325A
Authority: KR
Inventors: 토모아키 쿠가; 타카오 야스다; 하루타다 데와; 쥬리 로꾸노헤
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-05-11
Filing date: 2007-05-10
Publication date: 2007-11-15
Also published as: JP4916766B2; JP2007303969A; TW200804828A; TWI325964B; KR100866644B1

Abstract

A probe and a probe assembly are provided to enable the probe to be positioned at a narrow pitch by keeping a distance between adjacent probes as much as a thickness of an insulating layer, and overlapping the two probes which can be exchanged. A plurality of probes are located facing the one side(22a) to the other side(22b), and supported by a supporter through a pair of support bars passing a guide hole. At this time, an insulating region covered with the insulating layer(56) of the one side of adjacent each probes(22) is faced to an exposed region of the insulating layer(58) of the other side of the adjacent each probes. The exposed region of the insulating region of the one side of the probe is faced to the insulating region covered with the insulating layer of the other side of the probe. Thus, the insulating regions(56,58) are located at a missed region(54a,54b) from the both sides.

Description

Probe and Probe Assembly

도1은 본 발명에 따른 프로브 조립체를 조립해 넣은 전기적 접속장치의 한 예를 나타내는 액정표시패널의 검사장치의 일부를 나타내는 평면도이다.1 is a plan view showing a part of an inspection apparatus of a liquid crystal display panel showing an example of an electrical connection apparatus in which a probe assembly according to the present invention is assembled.

도2는 도1에 나타낸 검사장치에 조립된 다수의 프로브 조립체의 하나를 나타내는 정면도이다.FIG. 2 is a front view showing one of a plurality of probe assemblies assembled to the inspection apparatus shown in FIG.

도3은 도2에 나타내어진 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 얻어진 프로브 조립체의 부분적인 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view of the probe assembly obtained along the III-III line shown in FIG.

도4는 도3에 개략적으로 나타낸 프로브를 상세하게 나타낸 정면도이다.4 is a front view showing in detail the probe schematically shown in FIG.

도5는 도4에 나타낸 프로브를 적층상태로 나타낸 평면도이다.FIG. 5 is a plan view showing the probe shown in FIG. 4 in a stacked state. FIG.

도6은 본 발명의 다른 예를 나타내는 도4와 동일한 도면이다.6 is the same view as FIG. 4 showing another example of the present invention.

도7은 도6에 나타낸 프로브에 대한 도5와 동일한 도면이다.FIG. 7 is the same view as FIG. 5 for the probe shown in FIG.

도8은 도6에 나타낸 프로브의 일부와 슬릿 바와의 관계를 나타내는 부분적인 단면도이다.FIG. 8 is a partial cross-sectional view showing a relationship between a part of the probe shown in FIG. 6 and a slit bar; FIG.

도9는 본 발명의 또 다른 예를 나타내는 도4와 동일한 도면이다.9 is the same as FIG. 4 showing still another example of the present invention.

도10은 도9에 나타낸 프로브에 대한 도5와 동일한 도면이다.FIG. 10 is the same view as FIG. 5 for the probe shown in FIG.

도11은 본 발명의 또 다른 예를 나타내는 도4와 동일한 도면이다.FIG. 11 is a view similar to FIG. 4 showing still another example of the present invention. FIG.

도12는 도11에 나타낸 프로브에 대한 도5와 동일한 도면이다.FIG. 12 is the same view as FIG. 5 for the probe shown in FIG.

도13은 본 발명의 또 다른 예를 나타내는 도4와 동일한 도면이다.13 is the same view as FIG. 4 showing still another example of the present invention.

도14는 도13에 나타낸 프로브에 대한 도5와 동일한 도면이다.FIG. 14 is the same view as FIG. 5 for the probe shown in FIG.

도15는 본 발명의 또 다른 예를 나타내는 도4와 동일한 도면이다.FIG. 15 is the same as FIG. 4 showing still another example of the present invention.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

10: 프로브 조립체 22: 프로브10: probe assembly 22: probe

22a, 22b: 프로브의 면(面) 24: 지지체22a, 22b: surface of probe 24: support

26(26a, 26b): 지지 바 28(28a, 28b): 슬릿 바26 (26a, 26b): support bar 28 (28a, 28b): slit bar

34: 설치부 36(36a, 36b): 침선부34: mounting portion 36 (36a, 36b): needle tip

54a: 프로브의 반(半) 54b: 프로브의 다른 반(半)54a: half of probe 54b: other half of probe

56, 58: 절연막56, 58: insulating film

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 액정표시패널과 같은 평판상 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체 및 그 프로브 조립체에 이용하는데 적절한 프로브에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a probe assembly for use in inspecting a flat object such as a liquid crystal display panel and a probe suitable for use in the probe assembly.

발명의 배경Background of the Invention

액정표시패널과 같은 평판상의 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 조립체의 하나로서, 판상의 도전판으로 이루어지는 각 접촉자의 한쪽 면에 세라믹 제의 절연체를 배치하고, 이들 도전판 및 절연체가 교대로 위치하도록 그것들을 서로 겹친 상태로, 각 접촉자의 양단을 제외한 영역에서 그것들을 수지재료로 일체화한 것이 있다(특허문헌 1).As one of the probe assemblies used for the inspection of a flat object such as a liquid crystal display panel, ceramic insulators are disposed on one surface of each contact made of a plate-shaped conductive plate, and the conductive plates and the insulators are alternately positioned. There exist some which integrated them by the resin material in the area | region except the both ends of each contactor in the state which overlapped with each other (patent document 1).

또, 동일한 프로브 조립체에, 띠 형상의 설치부(중앙영역) 및 상기 설치부의 선단 및 후단에서 각각 전방 및 후방으로 연장하는 제1 및 제2 침선부를 갖춘 블레이드 타입의 복수의 프로브(접촉자)를 일체화하지 않고, 지지 바를 통하여 각각 지지체에 지지한 것이 있다(특허문헌 2).In addition, a plurality of blade-type probes (contactors) having a band-shaped mounting portion (center region) and first and second needle portions extending forward and rearward at the front and rear ends of the mounting portion, respectively, are integrated in the same probe assembly. There is a thing supported by the support body through the support bar, respectively (patent document 2).

특허문헌 1 기재의 프로브 조립체에 의하면, 접촉자로 이루어지는 각 도전판은 세라믹 제의 절연체에 의해 전기적으로 서로 차단되고, 수지재료에 의해 일체화되어 있기 때문에, 각 접촉자 간의 전기적 절연성이 확보된 좁은 피치의 프로브 조립체가 제공된다. 그러나 각 프로브(접촉자)가 수지재료에 의해 일체화되어 있기 때문에, 각각의 프로브(접촉자)를 교환할 수 없다.According to the probe assembly described in Patent Literature 1, since each conductive plate made of a contactor is electrically isolated from each other by a ceramic insulator and is integrated with a resin material, a probe having a narrow pitch ensuring electrical insulation between the contactors An assembly is provided. However, since each probe (contactor) is integrated with the resin material, each probe (contactor) cannot be replaced.

다른 한편, 특허문헌 2 기재의 프로브 조립체에 의하면, 블레이드 타입의 각 프로브는 수지재료로 일체화되어 있지 않고, 상기 프로브를 관통하는 지지 바로 지지되어 있기 때문에, 파손한 프로브를 지지 바로부터 분리하고, 정상(正常) 프로브와 교환할 수 있다. 이들 판상의 각 프로브는 인접하는 프로브 간의 전기적 접촉을 방지하기 위해, 인접하는 프로브 사이에 절연막이 개재하도록, 상기 프로브의 양 측면을 전기절연성 수지로 이루어지는 절연막으로 피복하는 것이 시도되고 있다.On the other hand, according to the probe assembly described in Patent Document 2, since each blade-type probe is not integrated with a resin material and is supported by a support bar that penetrates the probe, the broken probe is separated from the support bar, and It can be replaced with a probe. In order to prevent electrical contact between adjacent probes, these plate-shaped probes have been attempted to cover both sides of the probes with an insulating film made of an electrically insulating resin so that an insulating film is interposed between adjacent probes.

그러나, 특허문헌 2 기재의 프로브 조립체에서는, 각 프로브에 설치되는 절연막의 두께는, 프로브의 편면(片面)에서 거의 10㎛의 두께에 달하기 때문에, 예를 들어 15㎛의 두께 치수를 갖는 프로브를 30㎛의 배열 피치에 대응하도록 배열할 때, 프로브의 양면을 덮는 절연막의 두께가 프로브의 좁은 배열 피치에의 대응에 방해가 되는 일이 있다.However, in the probe assembly described in Patent Literature 2, since the thickness of the insulating film provided on each probe reaches a thickness of almost 10 μm on one side of the probe, for example, a probe having a thickness dimension of 15 μm is used. When arrange | positioning so that it may correspond to an array pitch of 30 micrometers, the thickness of the insulating film which covers both surfaces of a probe may interfere with the response to a narrow array pitch of a probe.

그 때문에, 각 프로브의 양면을 절연막으로 덮지 않고, 서로 이웃하는 각 프로브가 정렬하는 한 쪽 편면을 보호막으로 덮는 것을 생각할 수 있다. 그러나 편면의 거의 전역을 보호막으로 덮으면, 다른쪽 면과의 사이에, 상기 보호막에 의한 큰 표면응력 차가 생기기 때문에, 각 프로브에 두께방향으로의 휨이 생겨버린다. 이 휨이 커지면, 각 프로브의 침선위치에 오차가 생겨, 정확한 측정이 곤란해질 우려가 있다.Therefore, it is conceivable to cover one side of each probe adjacent to each other with a protective film without covering both surfaces of each probe with an insulating film. However, if the entire surface of one side is covered with a protective film, a large surface stress difference caused by the protective film is generated between the other surface, so that warpage in the thickness direction occurs in each probe. If this warpage becomes large, an error occurs in the needle position of each probe, which may make accurate measurement difficult.

특허문헌 1: 일본 특개평6-174750호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-174750

특허문헌 2: 일본 특개평10-132853호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-132853

본 발명의 목적은, 좁은 배열 피치에 적당한 프로브 조립체를 위한 프로브 및 프로브의 교환이 가능하고 좁은 배열 피치에 적당한 프로브 조립체를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a probe assembly suitable for a narrow array pitch and for the exchange of probes and probes for a probe assembly suitable for a narrow array pitch.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명에 따른 프로브는, 띠 형상의 설치부 및 상기 설치부의 단부에서 연장하고 상기 설치부의 폭 치수보다 작은 폭 치수를 갖는 띠 형상의 침선부를 갖추고, 프로브의 한쪽 면에는 그 면의 일부를 덮는 절연막이 형성되어 있고, 상기 프로브의 다른쪽 면에는 상기 한쪽 면의 상기 절연막으로부터 노출된 영역에 대응하는 영역을 덮는 절연막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The probe according to the present invention has a strip-shaped mounting portion and a strip-shaped needle tip portion extending from an end of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion, and an insulating film covering one part of the surface on one side of the probe. And an insulating film covering a region corresponding to the region exposed from the insulating film on the one surface is formed on the other surface of the probe.

본 발명에 따른 프로브의 한쪽 면은, 그 전면에 걸쳐 절연막으로 덮이지 않고 부분적으로 덮이고, 그 외 영역이 상기 절연막으로부터 노출되어 있다. 또 다른쪽 면은 동일하게, 그 전면에 걸쳐 절연막으로 덮이지 않고 부분적으로 덮이고, 그 외 영역이 상기 절연막으로부터 노출되어 있다. 게다가, 상기 다른쪽 면의 절연막은 상기 한쪽 면의 상기 절연막으로부터 노출된 영역에 대응하는 영역을 덮도록 형성되어 있다.One surface of the probe according to the present invention is partially covered with the insulating film over its entire surface, and other regions are exposed from the insulating film. The other surface is similarly partially covered without covering the insulating film over its entire surface, and the other regions are exposed from the insulating film. In addition, the insulating film on the other side is formed so as to cover a region corresponding to the region exposed from the insulating film on the one side.

그 때문에, 본 발명에 따른 상기 프로브의 양면의 어느 한쪽 면만이 그 전면에 걸쳐 절연막으로 덮이는 일이 없다. 따라서 상기 절연막에 의해 상기 프로브에 휨이 생길 만큼 강한 표면응력이 상기 프로브의 어느 한쪽 면에 작용하는 일이 없고, 이 절연막에 의한 상기 프로브의 휨을 방지하여 프로브의 전기적 단락을 방지 할 수 있게 된다.Therefore, only one surface of both surfaces of the probe according to the present invention is not covered with the insulating film over the entire surface thereof. Therefore, the surface stress strong enough to cause warpage of the probe by the insulating film does not act on any one surface of the probe, and the bending of the probe by the insulating film can be prevented to prevent electrical short circuit of the probe.

게다가, 상기한 바와 같이, 상기 다른쪽 면의 절연막은 상기 한쪽 면의 상기 절연막으로부터 노출된 영역에 대응하는 영역을 덮도록 형성되어 있기 때문에, 상기 한쪽 면 및 다른쪽 면을 갖는 복수의 프로브 중, 한 프로브의 상기 한쪽 면과 다른 프로브의 상기 다른 면을 대향시키도록 근접하여 배치함으로써, 양 프로브의 대향면에 형성된 각 절연막을 대향시키지 않고, 서로 어긋나서 겹치게 할 수 있다. 그 결과, 양 프로브 사이에 실질적으로 단일의 상기 절연막의 두께치수 분(分)의 간격을 유지시켜, 양 프로브를 겹치게 할 수 있기 때문에, 양 프로브 사이에 대응한 좁은 피치로의 배치가 가능해진다.In addition, as described above, since the insulating film on the other side is formed to cover a region corresponding to the area exposed from the insulating film on the one side, among the plurality of probes having the one side and the other side, By arranging adjacently so that the one surface of one probe and the other surface of the other probe face each other, the insulating films formed on the opposing surfaces of both probes can be shifted to overlap each other without facing each other. As a result, since both probes can be overlapped by maintaining the interval of the thickness dimension of a single said insulating film substantially between both probes, it becomes possible to arrange | position with the corresponding narrow pitch between both probes.

상기 프로브의 한쪽 면의 반을 덮어 절연막을 형성하고, 또 그 다른쪽 면의 다른 반을 덮어 절연막을 형성할 수 있다. 이에 의해, 상기 프로브의 설치부의 한쪽 면에 그 면의 반을 덮는 절연막 영역을 구성하고, 그 한쪽 면의 다른 반에 대응하는 상기 다른쪽 면에 그 면의 다른 반을 덮는 절연막 영역을 구성할 수 있다.An insulating film may be formed by covering half of one side of the probe, and an insulating film may be formed by covering the other half of the other side of the probe. Thereby, the insulating film area | region which covers one half of the surface is formed in one surface of the installation part of the said probe, and the insulating film area | region which covers the other half of the surface can be comprised in the other surface corresponding to the other half of the one surface. have.

상기 절연막에 의해, 상기 한쪽 면의 반 및 상기 한쪽 면의 다른 반에 대응하는 상기 다른쪽 면의 다른 반의 각각에, 상기 설치부의 길이방향으로 서로 간격을 두고 각각 상기 설치부의 폭 치수 방향을 따라 연장하는 복수의 절연막 영역을 구성할 수 있다.The insulating film extends along the width dimension direction of the mounting portion, respectively, at a distance from each other in the longitudinal direction of the mounting portion, on each of the half of the one surface and the other half of the other surface corresponding to the other half of the one surface. It is possible to configure a plurality of insulating film regions.

또 상기 절연막에 의해, 상기 한쪽 면에, 상기 설치부의 길이방향으로 서로 간격을 두고 각각 상기 설치부의 폭 치수 방향을 따라 연장하는 복수의 띠 형상 절연막 영역을 구성하고, 상기 다른쪽 면에 상기 한쪽 면의 상기 절연막 영역 사이에 대응하는 영역에서 상기 설치부의 폭 치수를 따라 연장하는 띠 형상 절연막 영역을 구성할 수 있다.Moreover, the said insulating film forms the several strip | belt-shaped insulating film area | region which extends along the width dimension direction of the said installation part, respectively at the said one surface at intervals in the longitudinal direction of the said installation part, and said one surface is the said one surface A band-shaped insulating film region extending along the width dimension of the mounting portion may be formed in a region corresponding to the insulating film regions in.

또, 상기한 바와 같이 양면에 절연막을 형성하는 대신에, 상기 한쪽 면을 절연막에 의해 부분적으로 덮고, 다른쪽 면의 전면을 노출면으로 할 수 있다. 이 경우, 상기 한쪽 면은 그 전면에 걸쳐 절연막으로 덮여져 있지 않기 때문에, 그 전면을 절연막으로 덮은 경우와 같은 휨이 생기는 일은 없다.As described above, instead of forming the insulating film on both surfaces, the one surface may be partially covered by the insulating film, and the entire surface of the other surface may be the exposed surface. In this case, since the one side is not covered with the insulating film over the entire surface, the warpage does not occur as in the case where the entire surface is covered with the insulating film.

이 경우, 상기 절연막에 의해, 상기 한쪽 면에 상기 설치부의 길이방향으로 서로 간격을 두고 각각 상기 설치부의 폭 치수 방향을 따라 연장하는 복수의 띠 형상 절연막 영역을 구성할 수 있다.In this case, the said insulating film can comprise the several strip | belt-shaped insulating film area | region which extends along the width dimension direction of the said installation part, respectively at intervals mutually in the longitudinal direction of the said installation part on the said one surface.

또, 띠 형상의 절연막 영역을 형성하는 대신에, 상기 한쪽 면 위에서 점상(点狀)으로 분산된 절연막 영역을 구성할 수 있다.In addition, instead of forming a strip | belt-shaped insulating film area | region, the insulating film area | region distributed in the point shape on the said one surface can be comprised.

본 발명에 따른 프로브 조립체는, 지지체와, 띠 형상의 설치부 및 상기 설치부의 단부에서 연장하고 상기 설치부의 폭 치수보다 작은 폭 치수를 갖는 침선부를 갖춘 복수의 프로브로서 상기 설치부의 폭 방향이 상하방향이 되는 상태로 상기 지지체의 아래쪽에 상기 설치부를 대향시켜 병렬적으로 배치된 복수의 프로브와, 상기 각 프로브를 분리 가능하게 지지하도록 상기 프로브의 상기 설치부를 그 두께방향으로 관통하여 연장하고 상기 지지체에 지지된 가늘고 긴 지지 바를 포함하고, 인접하는 프로브의 최소한 상기 설치부에서의 서로 마주보는 면 부분에는, 서로 어긋난 영역에서 상기 프로브의 각 대향면 부분을 부분적으로 덮는 절연막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The probe assembly according to the present invention is a plurality of probes having a support, a strip-shaped mounting portion, and a needle portion extending from an end portion of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion. A plurality of probes arranged in parallel to face the mounting portion in the lower portion of the support in this state, and the mounting portion of the probe extends through the thickness direction so as to support each of the probes to be detachably An insulating film is formed which includes a supported elongated support bar and partially covers each opposing surface portion of the probe in a displaced region in at least the surface portions of the adjacent probes facing each other at the installation portion of the adjacent probe. .

본 발명에 따른 상기 프로브 조립체에 의하면, 인접하는 양 프로브의 대향면에 형성된 각 절연막을 대향시키지 않고, 서로 어긋나서 겹치게 할 수 있기 때문에, 양 프로브 간에 실질적으로 단일의 상기 절연막의 두께치수 분의 간격을 유지시켜, 양 프로브를 서로 겹치게 할 수 있다. 따라서 양 프로브 간에 대응한 좁은 피치로의 배치가 가능해진다.According to the probe assembly according to the present invention, since the insulating films formed on opposing surfaces of adjacent probes can be mutually shifted without being opposed to each other, the thickness dimension of the single insulating film is substantially equal between the two probes. It is possible to keep both probes overlapping each other. Therefore, the arrangement in the corresponding narrow pitch between both probes becomes possible.

또, 상기 프로브는 수지로 전체적으로 일체화되어 있지 않고, 각각의 상기 프로브가 지지 바에서 분리 가능하게 지지되어 있기 때문에, 예를 들어 결손된 프로브를 정상 프로브로 용이하게 교환할 수 있다.In addition, since the said probe is not integrated integrally with resin and each said probe is supported by the support bar so that detachment is possible, for example, a missing probe can be replaced easily with a normal probe.

이 프로브 조립체에 있어서도, 인접하는 프로브의 마주보는 한쪽 면을 절연막으로 부분적으로 덮고, 또 다른쪽 면의 전면을 노출면으로 할 수 있다.Also in this probe assembly, one of the opposing surfaces of adjacent probes may be partially covered with an insulating film, and the entire surface of the other surface may be an exposed surface.

상기 지지체의 가장자리에 상기 지지 바의 길이방향을 따라 배치되는 한 쌍의 슬릿 바를 배치하고, 상기 슬릿 바의 길이방향으로 서로 간격을 두고 각각 아래쪽으로 개방하고, 대응하는 상기 프로브의 상기 침선부를 그 침선이 슬릿 바로부터 돌출하도록 받아들이는 복수의 슬릿 홈을 형성할 수 있다. 이 슬릿 바의 배치에 의해, 인접하는 프로브의 침선부분의 직접적인 단락을 확실하게 방지할 수 있다. 따라서 이 경우, 프로브의 양면에서의 침선부분에서의 절연막의 형성을 필요로 하지 않을 수 있다.A pair of slit bars arranged along the longitudinal direction of the support bar at the edge of the support, and each opening in the longitudinal direction of the slit bar at intervals below each other, the needle portion of the corresponding probe is needle It is possible to form a plurality of slit grooves that receive to protrude from this slit bar. By arranging this slit bar, direct short circuit of the needle tip of an adjacent probe can be reliably prevented. In this case, therefore, it is not necessary to form the insulating film at the needle point portions on both sides of the probe.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

도1에는, 본 발명에 따른 다수의 프로브 조립체(10)를 조립한 검사장치(12) 의 평면도가 나타내어져 있다. 도1은 사각형의 액정표시패널(14)의 통전시험에 이용되는 검사장치(12)의 예를 나타낸다.1 shows a plan view of an inspection apparatus 12 incorporating a plurality of probe assemblies 10 according to the present invention. FIG. 1 shows an example of the inspection apparatus 12 used in the energization test of the rectangular liquid crystal display panel 14.

검사장치(12)는, 액정표시패널(14)의 외형과 서로 비슷한 이것보다 작은 사각형 개구(16a)가 설치된 검사대(16)를 갖는다. 액정표시패널(14)은 검사대(16)의 사각형 개구(16a)를 통하여 배면에서 백라이트 빛의 조사를 받도록, 사각형 개구(16a)를 덮어 검사대(16) 위에 배치된다. 검사대(16) 위에는, 그 사각형 개구(16a)의 한쪽 긴 변 및 한쪽 짧은 변의 각각을 따라 연장하는 프로브 베이스(18: 18a, 18b)가 배치되어 있고, 각 프로브 베이스(18) 위에는 액정표시패널(14)의 표면의 가장자리에 정렬하여 배치된 다수의 전극 패드(도시하지 않음)에 전기적으로 접속 가능한 프로브 조립체(10)가 지지기구(20)를 통하여 각각 지지되어 있다.The inspection apparatus 12 has an inspection table 16 provided with a rectangular opening 16a smaller than this, which is similar to the outer shape of the liquid crystal display panel 14. The liquid crystal display panel 14 is disposed on the inspection table 16 to cover the square opening 16a so that the backlight is irradiated from the back through the rectangular opening 16a of the inspection table 16. On the inspection table 16, probe bases 18: 18a, 18b extending along each of one long side and one short side of the rectangular opening 16a are disposed, and on each probe base 18, a liquid crystal display panel ( Probe assemblies 10, which are electrically connectable to a plurality of electrode pads (not shown) arranged in alignment with the edge of the surface of 14, are each supported through a support mechanism 20.

각 지지기구(20)는, 도2에 나타낸 바와 같이, 각각의 프로브 조립체(10)에 설치된 후술하는 다수의 프로브(22)의 침선을 액정표시패널(14)을 향해 돌출시키도록, 대응하는 각각의 프로브 조립체(10)를 분리 가능하게 지지한다. 이에 의해, 각 프로브 조립체(10)의 프로브(22)는 그 침선을 액정표시패널(14)의 가장자리에 배열된 각각에 대응하는 상기 전극 패드에 접촉하도록, 각 지지기구(20)를 통하여 액정표시패널(14)을 향해 하강 가능하게 유지된다. 이 지지기구(20)와 동일한 지지기구의 구성은, 예를 들어 일본 특개2004-191064호 공보에 기재되어 있다.As shown in FIG. 2, each support mechanism 20 corresponds to each of the corresponding needles so as to project the needle points of the plurality of probes 22, which will be described later, provided in the respective probe assemblies 10 toward the liquid crystal display panel 14, respectively. To detachably support the probe assembly 10. Thereby, the probe 22 of each probe assembly 10 contacts the liquid crystal display through each support mechanism 20 so that the needle line contacts the electrode pad corresponding to each of which is arranged at the edge of the liquid crystal display panel 14. It is kept lowerable toward the panel 14. The structure of the support mechanism similar to this support mechanism 20 is described, for example in Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-191064.

각 지지기구(20)에 의해 지지되는 프로브 조립체(10)는, 도2 및 도3에 나타나 있는 바와 같이, 지지기구(20)에 의해 탈착 가능하게 설치되는 프로브 블록(24)과, 상기 프로브 블록의 아래쪽에 배치되는 다수의 상기 프로브(22)를 갖춘다. 또, 프로브 조립체(10)는, 도3에 나타낸 바와 같이, 프로브(22)를 프로브 블록(24)에 지지하기 위한 한 쌍의 지지 바(26: 26a, 26b)와, 지지체인 상기 프로브 블록(24)의 아래면(24a)에 설치되는 한 쌍의 슬릿 바(28: 28a, 28b)를 갖춘다.As shown in FIGS. 2 and 3, the probe assembly 10 supported by each support mechanism 20 includes a probe block 24 detachably installed by the support mechanism 20, and the probe block. It has a plurality of said probes 22 arranged underneath. In addition, the probe assembly 10 includes a pair of support bars 26 (26a, 26b) for supporting the probe 22 to the probe block 24, as shown in FIG. It has a pair of slit bars 28: 28a, 28b which are installed on the lower surface 24a of 24.

프로브 블록(24)은 절연막으로 피복된 금속재료로 구성되어 있다. 또, 한 쌍의 슬릿 바(28: 28a, 28b)는 세라믹과 같은 절연재료로 구성되어 있다. 지지 바(26: 26a, 26b)도 종래에서와 동일하게, 봉 형상의 세라믹과 같은 절연재료로 구성되어 있다.The probe block 24 is made of a metal material covered with an insulating film. In addition, the pair of slit bars 28: 28a, 28b are made of an insulating material such as ceramic. The support bars 26: 26a and 26b are also made of an insulating material such as rod-shaped ceramics as in the prior art.

프로브 블록 즉 지지체(24)의 아래면(24a)은, 전체로 사각형 형상을 갖고, 그 앞 가장자리인 한 변(30a)이 액정표시패널(14) 위에서 상기 액정표시패널(14)의 가장자리를 따라 배치되어 있다. 한쪽 슬릿 바(28a)는 지지체(24)의 아래면(24a)의 앞 가장자리(30a)를 따라 배치되어 있고, 상기 슬릿 바의 윗면에서 지지체(24)의 아래면(24a)에 고정되어 있다. 또 다른쪽 슬릿 바(28b)는, 상기 한쪽 슬릿 바(28a)로부터 간격을 두도록, 지지체(24)의 아래면(24a)의 뒤 가장자리(30b)를 따라 배치되고, 그 윗면에서 지지체(24)의 아래면(24a)에 고정되어 있다.The lower surface 24a of the probe block, that is, the support 24, has a quadrangular shape as a whole, and one side 30a, the front edge thereof, is along the edge of the liquid crystal display panel 14 on the liquid crystal display panel 14. It is arranged. One slit bar 28a is disposed along the front edge 30a of the lower surface 24a of the support 24 and is fixed to the lower surface 24a of the support 24 at the upper surface of the slit bar. The other slit bar 28b is disposed along the rear edge 30b of the bottom surface 24a of the support 24 so as to be spaced from the one slit bar 28a, and the support 24 on the upper surface thereof. It is fixed to the lower surface 24a of.

각 슬릿 바(28a, 28b)의 각각의 아래면에는, 프로브(22)의 개수와 일치한 수의 슬릿 홈(32a, 32b)이, 각 슬릿 바(28a, 28b)의 길이방향으로 서로 간격을 두고 형성되어 있다. 각 슬릿 홈(32a, 32b)은, 대응하는 슬릿 바(28a, 28b)를 그 폭 방향으로 가로질러 연장하고, 아래쪽으로 각각 개방한다. 한 쌍의 슬릿 바(28a, 28b)의 대응하는 슬릿 홈(32a, 32b)은 대응하는 프로브(22)를 받아들이도록 상호 정렬하여 배치되어 있다.On each lower surface of each of the slit bars 28a and 28b, a number of slit grooves 32a and 32b corresponding to the number of probes 22 are spaced apart from each other in the longitudinal direction of each of the slit bars 28a and 28b. It is formed. Each slit groove 32a, 32b extends across the corresponding slit bar 28a, 28b in the width direction, and opens downward, respectively. The corresponding slit grooves 32a, 32b of the pair of slit bars 28a, 28b are arranged in mutual alignment to receive the corresponding probes 22.

지지체(24)의 아래면(24a)의 아래쪽에 배치되는 각 프로브(22)는, 도3에 나타내어져 있듯이, 그 길이방향으로 한결같은 폭 치수(W)를 갖고 중앙영역으로서 작용하는 띠 형상의 설치부(34)와, 상기 설치부의 선단 및 후단에서 각각 더 앞쪽 및 뒤쪽으로 신장하는 띠 형상의 한 쌍의 침선부(36: 36a, 36b)를 갖춘 판상의 도전부재로 이루어진다.Each probe 22 disposed below the lower surface 24a of the support 24 has a strip-shaped installation having a uniform width dimension W in its longitudinal direction and serving as a central region, as shown in FIG. And a plate-shaped conductive member having a portion 34 and a pair of strip-shaped needles 36: 36a and 36b extending further forward and backward at the front and rear ends of the installation portion, respectively.

각 프로브(22)의 설치부(34)에는, 한 쌍의 지지 바(26: 26a, 26b)를 위한 한 쌍의 가이드 구멍(38: 38a, 38b)이 형성되어 있다. 한 쌍의 가이드 구멍(38: 38a, 38b)은, 설치부(34)의 길이방향으로 상호 간격을 두고 배치되고, 각각 설치부(34)를 관통하도록 상기 설치부의 양 단부에 형성되어 있다.In the attachment part 34 of each probe 22, a pair of guide holes 38: 38a, 38b for a pair of support bars 26: 26a, 26b are formed. The pair of guide holes 38: 38a and 38b are arranged at intervals in the longitudinal direction of the mounting portion 34, and are formed at both ends of the mounting portion so as to penetrate the mounting portion 34, respectively.

각 한쪽 침선부(36a)는 설치부(34)의 길이방향의 일단에서의 아래 가장자리에서 앞쪽으로 연장하고, 또 각 다른쪽 침선부(36b)는 설치부(34)의 타단에서의 위 가장자리에서 뒤쪽으로 신장한다. 각 침선부(36: 36a, 36b)는 설치부(34)의 폭 치수(W)보다도 작은 폭 치수를 갖는다.Each one needle tip 36a extends forward from the lower edge at one end in the longitudinal direction of the mounting portion 34, and the other needle tip 36b is at the upper edge at the other end of the mounting portion 34. Elongate backwards. Each needle point portion 36: 36a, 36b has a width dimension smaller than the width dimension W of the mounting portion 34.

프로브(22)는, 그것들의 한쪽 침선부(36a)가 한쪽 슬릿 바(28a)의 대응하는 슬릿 홈(32a)에 받아들여지고, 또 그것들의 다른쪽 침선부(36b)가 다른쪽 슬릿 바(28b)의 대응하는 슬릿 홈(32b)에 받아들여지도록, 지지체(24)의 아래면(24a)으로부터 간격을 두고 그 아래면의 아래쪽에 배치된다. 이들 프로브(22)는, 각 설치부(34)의 폭 치수(W)의 방향이 상하방향이 되도록, 상호 간격을 두고 병렬적으로 정렬되어 있고, 또 각 설치부(34)의 각 가이드 구멍(38a, 38b)이 정렬한다. 정렬한 각 가이드 구멍(38: 38a, 38b)에는, 대응하는 각 지지 바(26: 26a, 26b)가 관통한 다. 각 지지 바(26: 26a, 26b)는 그 양단에서, 지지체(24)의 양측에 고정되는 한 쌍의 사이드 커버(40)(도2 참조)에 지지되어 있다. 이에 의해, 각 프로브(22)는, 슬릿 바(28: 28a, 28b)와 평행하게 배치된 각 지지 바(26: 26a, 26b)를 통하여, 지지체(24)의 아래쪽에 소정의 자세로 유지되어 있다.In the probe 22, one of the needle tips 36a is received in the corresponding slit groove 32a of the one slit bar 28a, and the other needle tip 36b is the other slit bar 28b. Is spaced apart from the bottom face 24a of the support body 24 so as to be received in the corresponding slit grooves 32b of the bottom face. These probes 22 are aligned in parallel with each other so that the direction of the width dimension W of each installation part 34 may be an up-down direction, and each guide hole of each installation part 34 ( 38a, 38b). Corresponding respective support bars 26: 26a, 26b penetrate through the aligned guide holes 38: 38a, 38b. Each support bar 26: 26a, 26b is supported by a pair of side covers 40 (see FIG. 2) fixed at both ends of the support 24 at both ends thereof. Thereby, each probe 22 is hold | maintained in the predetermined | prescribed position below the support body 24 through each support bar 26: 26a, 26b arrange | positioned in parallel with the slit bars 28: 28a, 28b. have.

프로브(22)의 상기 다른쪽 침선부(36b)는, 상기 침선부의 후단에 형성된 뒤쪽 침선(42b)을 슬릿 바(28b)에서 지지체(24)의 뒤쪽으로 돌출시킨다. 이 뒤쪽 침선(42b)은, 지지기구(20)에 지지된 지지 블록(44)의 아래면에 고정된 회로판(46)의 대응하는 접속 패드에 접속되기 때문에, 각 프로브(22)는 회로판(46)을 거쳐 도시하지 않은 테스터 본체에 접속된다. 침선(42b)은 도시한 예에서는, 회로판(46)에의 오(誤)접촉을 방지하기 위한 가이드 필름(48)의 구멍(48a)을 거쳐 상기 접속 패드에 접속되어 있다.The other needle tip portion 36b of the probe 22 projects the rear needle tip 42b formed at the rear end of the needle tip portion from the slit bar 28b to the back of the support 24. Since the rear needle bar 42b is connected to the corresponding connection pad of the circuit board 46 fixed to the bottom surface of the support block 44 supported by the support mechanism 20, each probe 22 is connected to the circuit board 46. Is connected to a tester body (not shown). The needle wire 42b is connected to the said connection pad via the hole 48a of the guide film 48 for preventing the erroneous contact with the circuit board 46 in the example shown in figure.

프로브(22)의 상기 한쪽 침선부(36a)는, 상기 침선부의 선단에 형성된 앞쪽 침선(42a)을 슬릿 바(28a)의 앞쪽에서 그 아래쪽으로 돌출시킨다. 또, 도시한 예에서는, 슬릿 바(28a)의 슬릿 홈(32a)의 뒤 가장자리에는, 평탄한 단차면(段差面)(50a)을 규정하는 단부(段部)(50)가 형성되어 있다. 또 단부(50)는, 슬릿 홈(32a)의 꼭대기면(頂面)보다도 위쪽에 위치하는 단차면(50a)을 규정한다.The one needle tip portion 36a of the probe 22 projects the front needle tip 42a formed at the tip of the needle tip portion downward from the front of the slit bar 28a. In the illustrated example, an end portion 50 defining a flat step surface 50a is formed at the rear edge of the slit groove 32a of the slit bar 28a. Moreover, the edge part 50 defines the step surface 50a located above the top surface of the slit groove 32a.

또, 프로브(22)의 설치부(34)와 한쪽 침선부(36a)와의 사이에는, 상기 단차면(50a)에 대향하는 평탄한 단차면(52a)을 규정하는 단부(52)가 형성되어 있다. 이 양면(50a, 52a)의 접촉 상태에서는, 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기면에 침선부(36a)가 접하는 일이 없고, 단차면(50a)을 제외한 영역과, 침선부(36a)와의 사이에는 간 격이 유지된 상태로, 상기 침선부의 침선(42a)이 슬릿 바(28a)의 앞 가장자리에서 비스듬히 아래쪽으로 돌출하여 유지되어 있다.Further, an end portion 52 defining a flat stepped surface 52a facing the stepped surface 50a is formed between the mounting portion 34 of the probe 22 and the one needle line portion 36a. In the contact state of both surfaces 50a and 52a, the needle tip portion 36a does not come into contact with the top surface of the slit groove 32a, and between the region except the step surface 50a and the needle tip portion 36a. In the state where the interval is maintained, the needle bar 42a of the needle bar portion protrudes obliquely downward from the front edge of the slit bar 28a.

따라서, 프로브 조립체(10)의 각 프로브(22)의 상기 한쪽 침선부(36a)가 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌리면, 각 프로브(22)의 침선(42a)에 작용하는 압력의 최소한 일부는, 그 침선부(36a)의 단차면(52a)에 대향하는 슬릿 바(28a)의 단부(50)의 단차면(50a)에서 반력(反力)이 작용하기 때문에, 상기 단차면이 강성(剛性) 지지점으로서 작용한다. 또, 각 침선부(36a)는 슬릿 홈(32a)의 상기 꼭대기부(頂部)에서의 단차면(50a)을 제외한 영역에 접할 때까지, 침선부(36a)에서의 탄성 변형이 허락된다.Therefore, when the one needle point 36a of each probe 22 of the probe assembly 10 is pressed against the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14, it acts on the needle point 42a of each probe 22. Since at least a part of the pressure acts on the step surface 50a of the end portion 50 of the slit bar 28a opposite the step surface 52a of the needle portion 36a, the step The car surface acts as a rigid support point. Moreover, each needle tip part 36a is allowed to elastically deform in the needle point part 36a until it contacts the area | region except the step surface 50a in the said top part of the slit groove 32a.

이에 의해, 각 프로브(22)는 이 탄성변형량에 따른 오버드라이브력으로, 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌린다. 이 강성 지지점(50a) 및 단부(52)를 필요로 하지 않을 수 있다. 그러나 한 쌍의 지지 바(26: 26a, 26b)에 작용하는 오버드라이브 힘의 경감을 도모하고, 이 지지 바(26: 26a, 26b)의 휨 변형에 따른 침선(42a)의 벗어남을 방지하는 데는, 상기한 바와 같은 강성 지지점을 설치하는 것이 바람직하다.Thereby, each probe 22 is pressed by the said electrode pad of the liquid crystal display panel 14 with the overdrive force according to this elastic deformation amount. This rigid support point 50a and the end 52 may not be required. However, in order to reduce the overdrive force acting on the pair of support bars 26: 26a and 26b, and to prevent the deviation of the needle bar 42a due to the bending deformation of the support bars 26: 26a and 26b. It is preferable to provide a rigid support point as described above.

본 발명에 따른 프로브 조립체(10)가 조립된 검사장치(12)에서는, 각 프로브 조립체(10)에 설치된 각 프로브(22)의 침선(42a)이 액정표시패널(14)의 대응하는 상기 전극 패드에 눌린다. 이 때, 각 프로브(22)는, 탄성을 동반하는 휨 변형을 일으키고, 이 휨 변형에 따른 오버드라이브력으로 대응하는 상기 전극 패드에 접속되기 때문에, 그 각 전극 패드는 프로브 조립체(10)를 거쳐 상기 테스터 본체에 확실 히 접속된다.In the inspection apparatus 12 in which the probe assembly 10 according to the present invention is assembled, the needle line 42a of each probe 22 installed in each probe assembly 10 has the corresponding electrode pad of the liquid crystal display panel 14. Pressed on. At this time, since each probe 22 causes bending deformation accompanied with elasticity and is connected to the corresponding electrode pad with an overdrive force according to the bending deformation, the respective electrode pads pass through the probe assembly 10. It is securely connected to the tester body.

이 때, 상호 인접하는 프로브(22) 사이에서의 전기적 단락을 방지하기 위해, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 판상의 각 프로브(22)의 양면(22a, 22b)(도5 참조)에는, 그 프로브의 길이방향에서 보아 그 반(半)에 위치하는 영역(54a)과, 프로브(22)의 길이방향에서 보아 상기 반과 반대쪽에 위치하는 다른 반에 위치하는 영역(54b)에 절연막(56, 58)으로 덮인 절연막 영역이 형성되어 있다. 또한, 도4 및 도5 및 이하에 나타낸 각 도면에는, 도면의 간소화를 위해 도3에서는 생략되어 있던 용량 저감용 구멍(60a, 60b)이 나타내어져 있다. 용량 저감용 구멍(60a, 60b)은 인접하는 프로브(22) 사이에서의 정전(靜電) 용량의 저감을 도모함으로써, 펄스상 신호의 누출로 인한 인접하는 프로브(22) 사이에서의 크로스 토크(cross-talk)를 저감한다.At this time, in order to prevent electrical short circuits between the adjacent probes 22, as shown in Figs. 4 and 5, both surfaces 22a and 22b (see Fig. 5) of each plate-shaped probe 22 are shown. The insulating film 56 in a region 54a positioned in the half thereof in the longitudinal direction of the probe and in a region 54b positioned in the other half positioned opposite to the half in the longitudinal direction of the probe 22. , An insulating film region covered with 58) is formed. 4, 5, and the following figures show the capacity reducing holes 60a and 60b, which are omitted in FIG. 3 for the sake of simplicity. The capacitance reducing holes 60a and 60b reduce cross capacitance between adjacent probes 22 and thereby cross talk between adjacent probes 22 due to leakage of pulsed signals. -talk).

도4 및 도5를 참조하면, 각 프로브(22)의 한쪽 면(22a)은, 도시한 예에서는, 앞쪽 침선(42a)을 제외하고, 상기 침선이 형성되는 한쪽 침선부(36a)를 포함하는 프로브(22)의 길이방향을 따라 본 반(半)(54a)이 절연막(56)에 의해 덮여 있다. 이 한쪽 면(22a)의 다른 반(54b)은 절연막(56)에 덮이지 않고, 따라서 뒤쪽 침선(42b)이 형성된 다른쪽 침선부(36b)를 포함하는 다른 반(54b)이 노출한다.4 and 5, one surface 22a of each probe 22 includes one needle portion 36a in which the needle needle is formed, except for the front needle needle 42a in the illustrated example. The half 54a seen along the longitudinal direction of the probe 22 is covered with the insulating film 56. The other half 54b of this one side 22a is not covered by the insulating film 56, and thus the other half 54b including the other needle portion 36b in which the rear needle line 42b is formed is exposed.

또, 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)은, 뒤쪽 침선(42b)을 제외하고, 상기 침선이 형성되는 다른쪽 침선부(36b)를 포함하는 프로브(22)의 길이방향을 따라 본 다른 반(54b)이 절연막(58)에 의해 덮여 있다. 이 다른쪽 면(22b)의 반(54a)은, 절연막(58)으로 덮이는 일이 없고, 따라서 앞쪽 침선(42a)이 형성된 상기 한쪽 침선 부(36a)를 포함하는 반(54a)이 노출한다.The other surface 22b of the probe 22 is the other side viewed along the longitudinal direction of the probe 22 including the other needle portion 36b on which the needle needle is formed, except for the rear needle needle 42b. Half 54b is covered with an insulating film 58. The half 54a of the other surface 22b is not covered with the insulating film 58, and thus the half 54a including the one needle tip portion 36a on which the front needle tip 42a is formed is exposed. do.

복수의 프로브(22)는, 도5에 나타낸 바와 같이, 각각의 한쪽 면(22a)을 다른 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)에 대향시켜 배치되고, 상기한 대로, 가이드 구멍(38: 38a, 38b)을 관통하는 한 쌍의 지지 바(26: 26a, 26b)를 통하여, 지지체(24)에 지지된다. 이 때, 인접하는 각 프로브(22)의 한쪽 면(22a)의 절연막(56)으로 덮인 절연막 영역이, 인접하는 각 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)의 절연막(58)으로부터의 노출영역에 대향한다. 또, 인접하는 각 프로브(22)의 한쪽 면(22a)의 절연막(56)으로부터의 노출영역이, 인접하는 각 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)의 절연막(58)으로 덮인 절연막 영역에 대향한다.As shown in Fig. 5, the plurality of probes 22 are disposed so that each one surface 22a faces the other surface 22b of the other probe 22, and as described above, the guide holes 38: It is supported by the support body 24 through a pair of support bars 26: 26a and 26b which penetrate through 38a and 38b. At this time, the insulating film region covered with the insulating film 56 of one surface 22a of each adjacent probe 22 is exposed from the insulating film 58 of the other surface 22b of each adjacent probe 22. Opposes. In addition, the exposed region from the insulating film 56 of one surface 22a of each adjacent probe 22 is formed in the insulating film region covered with the insulating film 58 of the other surface 22b of each adjacent probe 22. To face.

따라서 인접하는 프로브(22)는, 면(22a) 및 면(22b)을 서로 대향시켜 배치될 때, 각각의 대향면(22a, 22b)의 서로 어긋난 영역(54a, 54b)에 절연막(56, 58)이 위치하게 된다.Therefore, when the adjacent probes 22 are disposed to face the surface 22a and the surface 22b, the insulating films 56 and 58 are disposed in the mutually displaced regions 54a and 54b of the respective facing surfaces 22a and 22b. ) Will be located.

이에 의해, 상기 프로브 조립체(10)에 의하면, 인접하는 양 프로브(22)의 대향면(22a, 22b)에 형성된 각 절연막(56, 58)을 대향시키지 않고, 상호 어긋나게 겹치게 할 수 있기 때문에, 양 프로브(22) 사이에 실질적으로 단일의 상기 절연막(56 또는 58)의 두께치수 분의 간격을 유지시켜 양 프로브(22)를 겹치게 할 수 있다. 따라서 양 프로브(22) 간에 대응한 좁은 피치로의 배치가 가능해진다.As a result, according to the probe assembly 10, since the insulating films 56 and 58 formed on the opposing surfaces 22a and 22b of the adjacent probes 22 can be overlapped with each other without opposing each other, Both probes 22 can be overlapped by maintaining a distance between the probes 22 substantially equal to the thickness dimension of the single insulating film 56 or 58. Therefore, the arrangement | positioning with the corresponding narrow pitch between both probes 22 is attained.

이 좁은 피치화에 대해서, 도5 및 도6의 실시예에서는, 프로브(22)가 예를 들어 20㎛의 두께 치수를 갖고, 절연막(56, 58)이 각각 10㎛의 두께 치수를 가질 때, 도5에 나타낸 배치 피치(P)를 약 30㎛로 할 수 있다.For this narrow pitch, in the embodiment of Figs. 5 and 6, when the probe 22 has a thickness dimension of, for example, 20 mu m, and the insulating films 56 and 58 each have a thickness dimension of 10 mu m, Arrangement pitch P shown in FIG. 5 can be set to about 30 micrometers.

또, 프로브(22)는 그 어느 한쪽 면(22a 또는 22b)만이 그 전면에 걸쳐 절연막(56 또는 58)으로 덮여있지 않기 때문에, 상기 절연막에 의한 표면응력 차에 의한 큰 휘는 힘이 프로브(22)에 생기는 일은 없다. 게다가, 프로브(22)는 수지로 전체적으로 일체화되어 있지 않고, 각각의 프로브(22)가 지지 바(26a, 26b)로 분리 가능하게 지지되어 있기 때문에, 예를 들어 결손한 프로브(22)를 정상 프로브로 용이하게 교환할 수 있다.In addition, since only one surface 22a or 22b of the probe 22 is not covered with the insulating film 56 or 58 over its entire surface, a large bending force due to the difference in surface stress caused by the insulating film is applied to the probe 22. It does not happen to. In addition, since the probe 22 is not totally integrated with resin, and each probe 22 is detachably supported by the support bars 26a and 26b, for example, the missing probe 22 is a normal probe. Can be replaced easily.

도6 및 도7에 나타낸 바와 같이, 각 슬릿 바(28(28a, 28b))의 격벽(隔璧)(32c 및 32d)(도3 참조)에 대응하는 부분(56a, 58a)을 절연막(56 또는 58)으로부터 노출시킬 수 있다. 도8에는, 다른쪽 슬릿 바(28b)와, 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)의 다른 반(54b)에 형성된 절연막(58)으로부터 노출하는 부분(58a)과의 관계가 확대되어 나타내어져 있다. 인접하는 프로브(22)의 침선부(36b) 사이에는, 슬릿 바(28b)의 격벽부(32d)가 개재하기 때문에, 상기 격벽부에 대응하는 영역(58a)의 단락이 격벽부(32d)에 의해 방지되기 때문에, 이 영역(58a)의 절연막을 필요로 하지 않을 수 있다. 슬릿 바(28a)의 격벽(32c)에 대응하는 부분(56a)(도6 참조)에 대해서도 동일하게 절연막을 필요로 하지 않을 수 있다.6 and 7, the portions 56a and 58a corresponding to the partition walls 32c and 32d (see FIG. 3) of the respective slit bars 28 (28a and 28b) are formed by the insulating film 56. As shown in FIG. Or 58). 8 shows an enlarged relationship between the other slit bar 28b and the portion 58a exposed from the insulating film 58 formed on the other half 54b of the other surface 22b of the probe 22. It is. Since the partition wall portion 32d of the slit bar 28b is interposed between the needle points 36b of the adjacent probes 22, a short circuit in the region 58a corresponding to the partition wall portion is formed in the partition wall portion 32d. Since it is prevented by this, the insulating film of this area | region 58a may not be needed. Similarly, the insulating film may not be required for the portion 56a (see Fig. 6) corresponding to the partition wall 32c of the slit bar 28a.

또, 한 쌍의 슬릿 바(28: 28a, 28b)가 배치되는 경우, 침선부(36: 36a, 36b)의 각 절연막(56, 58)을 필요로 하지 않을 수 있다. 그러나 프로브(22) 간의 보다 확실한 절연성을 확보하는데, 한쪽 면(22a)의 반(54a) 및 다른쪽 면(22b)의 다른 반(54b)을 침선부(36(36a, 36b))를 포함시켜, 상기한 바와 같이, 각 절연막(56, 58)으로 덮는 것이 바람직하다.In addition, when the pair of slit bars 28: 28a and 28b are arranged, the insulating films 56 and 58 of the needle points 36: 36a and 36b may not be required. However, to ensure more reliable insulation between the probes 22, the half 54a of one side 22a and the other half 54b of the other side 22b include needles 36 (36a, 36b). As described above, it is preferable to cover each of the insulating films 56 and 58.

도9 및 도10에 나타낸 예에서는, 프로브(22)의 한쪽 면(22a)의 반(54a)에는, 절연막(56)으로 이루어지는 띠 형상의 복수의 절연막 영역이 형성되어 있다. 또, 다른쪽 면(22b)의 다른 반(54b)에는, 절연막(58)으로 이루어지는 띠 형상의 복수의 절연막 영역이 형성되어 있다. 띠 형상의 각 절연막 영역(56, 58)은 설치부(34)의 길이방향으로 상호 간격을 두고 형성되고, 각각 설치부(34)의 폭 방향(W)으로 신장한다.In the example shown in FIG. 9 and FIG. 10, the strip | belt-shaped several insulating film area | region which consists of the insulating film 56 is formed in the half 54a of the one surface 22a of the probe 22. As shown in FIG. Moreover, the strip | belt-shaped several insulating film area | region which consists of the insulating film 58 is formed in the other half 54b of the other surface 22b. Each of the strip-shaped insulating film regions 56 and 58 is formed at intervals in the longitudinal direction of the mounting portion 34 and extends in the width direction W of the mounting portion 34, respectively.

각 절연막(56, 58)을 띠 형상으로 형성함으로써, 절연막(56, 58)에 의해 프로브(22)에 도입되는 표면응력의 영향을 보다 저감할 수 있다. 또 절연막(56, 58)의 재료의 사용량을 저감할 수 있다.By forming the insulating films 56 and 58 in a band shape, the influence of the surface stress introduced into the probe 22 by the insulating films 56 and 58 can be further reduced. Moreover, the usage-amount of the material of the insulating films 56 and 58 can be reduced.

프로브(22)의 한쪽 면(22a)의 반(54a) 및 다른쪽 면(22b)의 다른 반(54b)에 절연막(56, 58)을 집합적으로 형성하는 대신에, 도11 및 도12에 나타낸 바와 같이, 한쪽 면(22a) 및 다른쪽 면(22b)에 띠 형상의 절연막(56, 58)을 설치부(34)의 길이방향으로 균등하게 분산시킬 수 있다.Instead of forming the insulating films 56 and 58 collectively on the half 54a of one side 22a and the other half 54b of the other side 22b of the probe 22, FIGS. As shown, the strip | belt-shaped insulating films 56 and 58 can be disperse | distributed uniformly to the longitudinal direction of the mounting part 34 on one surface 22a and the other surface 22b.

도11 및 도12에 나타낸 예에서는, 각 프로브(22)의 한쪽 면(22a)에는, 프로브(22)의 길이방향 즉 설치부(34)의 길이방향으로 서로 간격을 두고 복수의 띠 형상의 절연막(56)이 프로브(22)의 반(54a)에서 다른 반(54b)에 걸쳐 형성되어 있다. 또, 프로브(22)의 다른쪽 면(22b)에는, 동일하게 복수의 띠 형상의 절연막(58)이 프로브(22)의 반(54a)에서 다른 반(54b)에 걸쳐 형성되어 있다.In the example shown in Figs. 11 and 12, on one surface 22a of each probe 22, a plurality of band-shaped insulating films are spaced apart from each other in the longitudinal direction of the probe 22, that is, in the longitudinal direction of the mounting portion 34. 56 is formed from half 54a of the probe 22 to the other half 54b. Similarly, a plurality of strip-shaped insulating films 58 are formed on the other surface 22b of the probe 22 from the half 54a of the probe 22 to the other half 54b.

한쪽 면(22a)에 형성된 절연막(56)은, 다른쪽 면(22b)에 형성된 절연막(58) 사이의 영역에 형성되어 있고, 다른쪽 면(22b)에 형성된 절연막(58)은 한쪽 면(22a)에 형성된 절연막(58) 사이의 영역에 형성되어 있다. 이에 의해, 절연막(56)은, 한쪽 면(22a)에 설치부(34)의 폭 치수 방향을 따라 연장하는 복수의 띠 형상 절연막 영역을 구성하고, 다른쪽 면(22b)에 한쪽 면(22a)의 상기 절연막 영역 사이에 대응하는 영역에서 설치부(34)의 폭 방향(W)을 따라 연장하는 띠 형상 절연막 영역을 구성한다.The insulating film 56 formed on one side 22a is formed in a region between the insulating films 58 formed on the other side 22b, and the insulating film 58 formed on the other side 22b has one side 22a. Is formed in the region between the insulating films 58 formed on the back panel. Thereby, the insulating film 56 comprises the several strip | belt-shaped insulating film area | region which extends along the width dimension direction of the installation part 34 in one surface 22a, and the one surface 22a in the other surface 22b. The strip | belt-shaped insulating film area | region which extends along the width direction W of the installation part 34 is comprised in the area | region corresponding to the said insulating film area | region of the structure.

따라서, 도11에 나타낸 바와 같이, 인접하는 양 프로브(22)의 대향면(22a, 22b)에 형성된 각 절연막(56, 58)을 대향시키지 않고, 상호 어긋나서 겹치게 할 수 있다.Therefore, as shown in Fig. 11, the insulating films 56 and 58 formed on the opposing surfaces 22a and 22b of the adjacent probes 22 can be shifted and overlapped without being opposed to each other.

도13 및 도14에 나타낸 바와 같이, 프로브(22)의 양면(22a, 22b)의 어느 한쪽 면에 띠 형상의 절연막을 형성하고, 다른쪽 면에 절연체를 형성하지 않고 그 전면을 노출면으로 할 수 있다. 도시한 예에서는, 한쪽 면(22a)에 절연막이 형성되어 있지 않고, 그 전면이 노출한다. 이에 대하여, 다른쪽 면(22b)에는, 상기한 예에서와 동일한 띠 형상의 절연막(58)이 설치부(34)의 길이방향으로 간격을 두고 형성되어 있다.As shown in Figs. 13 and 14, a band-shaped insulating film is formed on one surface of both surfaces 22a and 22b of the probe 22, and the front surface thereof can be the exposed surface without forming an insulator on the other surface. Can be. In the example shown in figure, the insulating film is not formed in one surface 22a, and the whole surface is exposed. On the other hand, on the other surface 22b, the same strip | belt-shaped insulating film 58 similar to the above-mentioned example is formed in the longitudinal direction of the installation part 34 at intervals.

프로브(22)의 양면(22a, 22b)의 어느 한쪽 면에 절연막을 형성하지 않고, 그 다른쪽 면을 전면에 걸쳐 절연막으로 덮으면, 프로브의 편면에 그 편면을 덮는 절연막에 의해 강한 표면응력이 작용하고, 표면응력 차에 의해 프로브에 큰 휨이 생긴다. 그러나 도13 및 14에 나타낸 바와 같이, 다른쪽 면(22b)에 형성되는 절연막(58)을 띠 형상으로 함으로써, 이 절연막(58)으로 다른쪽 면(22b)의 전면을 덮는 일이 없기 때문에, 상기 면에 절연막(58)으로부터의 노출면을 확보할 수 있고, 프 로브(22)에 큰 휨이 생기는 것을 방지할 수 있다.If an insulating film is not formed on one side of both surfaces 22a and 22b of the probe 22 and the other side is covered with the insulating film over the entire surface, a strong surface stress is applied by the insulating film covering the one side of the probe. In addition, a large deflection occurs in the probe due to the difference in surface stress. However, as shown in Figs. 13 and 14, since the insulating film 58 formed on the other surface 22b has a band shape, the entire surface of the other surface 22b is not covered by the insulating film 58. The exposed surface from the insulating film 58 can be secured to the surface, and large warping of the probe 22 can be prevented.

따라서 이와 같은 절연막(58)에 의해서도, 프로브(22)에 휨을 발생시키지 않고, 인접하는 양 프로브(22) 사이에 실질적으로 단일의 절연막(58)의 두께치수 분의 간격을 유지시켜, 양 프로브(22)를 겹치게 할 수 있기 때문에, 양 프로브(22) 사이에 대응한 좁은 피치로의 배치가 가능해진다.Therefore, even with such an insulating film 58, the probe 22 is not warped, and the distance between the two probes 22 adjacent to each other is substantially maintained by the thickness dimension of the single insulating film 58. Since 22) can be overlapped, the arrangement | positioning at the narrow pitch corresponding to both probes 22 is attained.

또, 프로브(22)의 양면(22a, 22b)의 어느 한쪽 면에 절연막을 형성하지 않고, 그 다른쪽 면에 절연막을 형성하는데 대해, 도15에 나타낸 바와 같이, 그 한쪽 면(22b)에 절연막(58)을 점상으로 분산시킬 수 있다. 이와 같은 점상으로 분산된 절연막(58)에 의해서도, 프로브(22)에 휨을 발생시키지 않고, 인접하는 양 프로브(22) 간에 실질적으로 단일의 절연막(58)의 두께치수 분의 간격을 유지시켜, 양 프로브(22)를 겹치게 할 수 있다. 따라서 양 프로브(22) 사이에 대응한 좁은 피치로의 배치가 가능해진다.In addition, while forming an insulating film on the other surface without forming an insulating film on one surface of both surfaces 22a and 22b of the probe 22, as shown in FIG. 15, the insulating film is formed on the one surface 22b. (58) can be dispersed in a point shape. The insulating film 58 dispersed in such a point also does not cause warping in the probe 22, and maintains the thickness dimension of the single insulating film 58 substantially between the adjacent probes 22, The probes 22 can overlap. Therefore, the arrangement | positioning with the narrow pitch corresponding to both probes 22 is attained.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명에 의하면, 상기한 바와 같이, 프로브에 휨이 생길 만큼 강한 표면응력이 절연막에 의해 프로브에 작용하는 일이 없기 때문에, 이 절연막에 의한 상기 프로브의 휨을 확실하게 방지할 수 있다. 또, 이 절연막의 영역이 인접하는 프로브 사이에서의 전기적 단락을 확실하게 방지한다. 게다가 인접하는 프로브의 서로 마주보는 면에 중복하여 절연막 영역이 형성되는 일이 없다. 따라서, 인접하는 프로브 사이에 실질적으로 단일의 절연막의 두께치수 분의 간격을 유지시키고, 양 프로브를 교환 가능하게 겹치게 할 수 있기 때문에, 좁은 피치로의 프로브의 배치가 가능해진다.According to the present invention, as described above, since the surface stress strong enough to cause warping of the probe does not act on the probe by the insulating film, the warping of the probe by the insulating film can be reliably prevented. Moreover, the electrical short circuit between the adjacent probes of the region of the insulating film is reliably prevented. In addition, the insulating film region is not formed on the surfaces of the adjacent probes that face each other. Therefore, since the interval of the thickness dimension of a single insulating film is substantially maintained between adjacent probes, and both probes can be overlapped so that exchange | exchange, it becomes possible to arrange | position a probe to a narrow pitch.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

A probe having a band-shaped mounting portion and a band-shaped needle tip portion extending from an end portion of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion, wherein one side of the probe is formed with an insulating film covering a portion of the surface. And an insulating film formed on the other surface of the probe to selectively cover a region corresponding to a region exposed from the insulating film on the one surface.

The said insulating film comprises the insulating film area | region which covers half of the said surface, and the said other surface comprises the insulating film area | region which covers the other half corresponding to the other half of the said one surface on the said one surface. Probe, characterized in that.

The said insulating film is a width | variety of the said installation part each spaced apart from each other in the longitudinal direction of the said installation part in each of the half of the said one surface and the other half of the said other surface corresponding to the other half of the said one surface. And a plurality of insulating film regions extending along the dimensional direction.

The said insulating film comprises the several strip | belt-shaped insulating film area | region which extends along the width dimension direction of the said installation part, respectively at the said one surface at intervals mutually in the longitudinal direction of the said installation part, The said other surface And a band-shaped insulating film region extending along the width dimension of the mounting portion in a region corresponding to the insulating film region on the one side.

A probe having a band-shaped mounting portion and a band-shaped needle tip portion extending from an end of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion, wherein one side of the probe is covered by an insulating film partially covering the surface; The other side is a probe whose front surface is an exposed surface.

The probe according to claim 5, wherein the insulating film constitutes a plurality of band-shaped insulating film regions each extending along the width dimension direction of the mounting portion at intervals from each other in the longitudinal direction of the mounting portion.

The probe according to claim 1 or 5, wherein the insulating film constitutes an insulating film region dispersed in a point shape.

A plurality of probes having a support, a strip-shaped mounting portion, and a needle tip portion extending from an end portion of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion, wherein the width direction of the mounting portion is in a vertical direction; And a plurality of probes arranged in parallel to the mounting portion in parallel with each other, and an elongated support bar extending through the mounting portion of the probe in a thickness direction so as to detachably support the respective probes, and supported by the support. And an insulating film which partially covers each of the opposing surface portions in a region that is displaced from each other at least on a surface portion of the adjacent surfaces of the adjacent probes facing each other.

A plurality of probes having a support, a strip-shaped mounting portion, and a needle tip portion extending from an end portion of the mounting portion and having a width dimension smaller than the width dimension of the mounting portion, wherein the width direction of the mounting portion is in a vertical direction; And a plurality of probes arranged in parallel to the mounting portion in parallel with each other, and an elongated support bar extending through the mounting portion of the probe in a thickness direction so as to detachably support the respective probes, and supported by the support. And one surface of the surfaces facing each other of the adjacent probes is covered by an insulating film partially covering the surface, and the other surface thereof is an exposed surface.

A pair of slit bars arranged on the edge of the support along the longitudinal direction of the support bar, each of which is spaced apart from each other in the longitudinal direction of the slit bar, and correspondingly opened. And a slit bar having a plurality of slit grooves for receiving the needle portion of the probe such that the needle portion protrudes from the slit bar.