JP5417265B2 - Probe assembly - Google Patents
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Description
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いられるプローブ組立体に関する。 The present invention relates to a probe assembly used for an electrical test of a flat test object such as a liquid crystal display panel.
液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体の1つとして、特許文献1に記載されたものがある。 One probe assembly used for an electrical test of a flat test object such as a liquid crystal display panel is described in Patent Document 1.
特許文献1に記載されたプローブ組立体は、支持片と、それぞれが帯状の取付領域の前後方向(Y方向)の各端部からさらに先端側又は後端側へ延びる針先領域を備える複数のプローブであって、取付領域の幅方向(Z方向)が上下方向となる状態に支持片の下側に取付領域を対向させて並列的に配置された複数のプローブと、これらプローブの取付領域をその厚さ方向(X方向)に貫通して延びて両端部において支持片に支持された細長い支持バーと、支持片に配置されてプローブの配列方向(X方向)へ延びる一対のスリットバーとを含む。 The probe assembly described in Patent Document 1 includes a support piece and a plurality of needle tip regions each extending from the respective end portions in the front-rear direction (Y direction) of the belt-shaped attachment region to the front end side or the rear end side. A plurality of probes arranged in parallel with the mounting region facing the lower side of the support piece in a state where the width direction (Z direction) of the mounting region is the vertical direction, and mounting regions of these probes An elongated support bar that extends through the thickness direction (X direction) and is supported by support pieces at both ends, and a pair of slit bars that are arranged on the support piece and extend in the probe arrangement direction (X direction). Including.
各スリットバーは、その長手方向(X方向)に間隔をおいて先後方向へ延びかつ下方に開放する複数のスリットを備える。支持バーは、プローブの配列方向におけるブロックの各端部にねじ止めされた板状のサイドカバーに長手方向の端部を受け入れられている。これにより、プローブは、支持バー及びサイドカバーにより支持片に組み付けられている。 Each slit bar includes a plurality of slits extending in the front-rear direction and spaced downward in the longitudinal direction (X direction). The support bar has a longitudinal end received by a plate-like side cover screwed to each end of the block in the arrangement direction of the probes. Thus, the probe is assembled to the support piece by the support bar and the side cover.
各プローブは、その一方の面に、該面の一部を覆う絶縁膜を有しており、また各針先領域の先端側の針先領域の先端部を下方に曲げてその先端を被検査体の電極に押圧される針先としている。プローブは、さらに、先端側及び後端側の針先領域の一部を、それぞれ、一方及び他方のスリットバーのスリットに受け入れられている。これにより、各プローブの針先領域はスリットバーの長手方向に変位することを防止し、左右方向に隣り合うプローブの接触を防止している。 Each probe has an insulating film that covers a part of the surface on one surface, and the tip of the needle tip region on the tip side of each needle tip region is bent downward to inspect the tip. The needle tip is pressed against the body electrode. In the probe, a part of the needle tip region on the front end side and the rear end side is received in the slits of one and the other slit bars, respectively. As a result, the probe tip region of each probe is prevented from being displaced in the longitudinal direction of the slit bar, and contact between adjacent probes in the left-right direction is prevented.
しかし、機械的強度の関係上、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることに限度がある。しかるに、上記従来のプローブ組立体では、全てのプローブの針先領域を単一のスリットバーのスリットに受け入れているから、プローブの数と同数のスリットをスリットバーに設けなければならない。このため、上記従来のプローブ組立体では、狭ピッチのスリットをスリットバーに形成することができず、プローブを狭ピッチで配置することができない。 However, due to mechanical strength, there is a limit to reducing the slit pitch of the slit bar. However, in the above-described conventional probe assembly, since the needle tip regions of all probes are received in the slits of a single slit bar, the same number of slits as the number of probes must be provided in the slit bar. For this reason, in the conventional probe assembly, slits with a narrow pitch cannot be formed in the slit bar, and the probes cannot be arranged with a narrow pitch.
本発明の目的は、スリットバーのスリットのピッチを小さくすることなく、プローブを狭ピッチで配置することができるようにすることにある。 An object of the present invention is to make it possible to arrange probes with a narrow pitch without reducing the slit pitch of the slit bar.
本発明に係るプローブ組立体は、支持片と、帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる前部針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数のプローブと、前記支持片の先端部下側に配置された第1のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第1のスリットを備える第1のスリットバーと、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーであって、前記第2のスリットが前記第1のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第1のスリットバーに配置された第2のスリットバーとを含む。 The probe assembly according to the present invention is a plurality of probes including a support piece, a band-shaped attachment region, and a front needle tip region that extends further forward from the tip of the attachment region, and the width direction of the attachment region is vertically A plurality of probes arranged in parallel with a spacing in the left-right direction with the mounting region facing the lower side of the support piece in a state of being in a direction, and a first arranged at the lower side of the distal end portion of the support piece A first slit bar having a plurality of first slits opened downward at intervals in the left-right direction, and a plurality of second slits opened downward at intervals in the left-right direction A second slit bar disposed on the first slit bar such that the second slit is positioned in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the first slit. Including.
前記複数のプローブは、それぞれが前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第1のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、それぞれが左右方向に隣り合う前記第1のプローブの間に配置された複数の第2のプローブであって、前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第2のスリットに受け入れられた第2のプローブとを含む。 The plurality of probes each include a plurality of first probes in which at least a part of the front needle tip region is received in the first slit, and the first probes adjacent to each other in the left-right direction. A plurality of second probes arranged at the same position, wherein at least a part of the front needle tip region is received in the second slit.
前記第1及び第2のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。 Each of the first and second slits may extend in the front-rear direction and further open to one side and the other side in the front-rear direction.
各第1のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域であって、一部を前記第1のスリットに受け入れられた先端領域と、該先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備えることができ、また各第2のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域と、該先端領域から上方に突出して前後方向へ延びる板状の第1の突片部であって、一部を前記第2のスリットに受け入れられた第1の突片部と、前記先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備えることができる。 The front probe tip region of each first probe is a tip region that extends forward from the tip of the attachment region, a tip region that is partially received by the first slit, and a tip of the tip region A tip needle tip region extending downward from the tip portion, and a front needle tip region of each second probe projects forward from the tip portion of the attachment region and projects upward from the tip region. A plate-like first protruding piece portion extending in the front-rear direction, a first protruding piece portion partially received by the second slit, and a tip needle extending downward from the tip portion of the tip region The tip can be provided.
本発明に係るプローブ組立体は、さらに、前記支持片の後端部下側に配置された第3のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第3のスリットを備える第3のスリットバーと、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第4のスリットを備える第4のスリットバーであって、前記第4のスリットが前記第3のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第3のスリットバーに配置された第4のスリットバーとを含むことができる。この場合、各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる後部針先領域を備え、前記第1及び第2のプローブのいずれか一方は、前記後部針先領域の少なくとも一部が前記第3のスリットに受け入れられており、前記第1及び第2のプローブの他方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第4のスリットに受け入れられている。 The probe assembly according to the present invention further includes a third slit bar disposed below the rear end portion of the support piece, and a plurality of third slits opened downward at intervals in the left-right direction. A fourth slit bar having a third slit bar and a plurality of fourth slits that are opened downward at intervals in the left-right direction, the fourth slit being left and right with respect to the third slit And a fourth slit bar disposed on the third slit bar so as to be positioned in the direction and the front-rear direction. In this case, each probe further includes a rear needle tip region extending further rearward from the rear end of the attachment region, and one of the first and second probes is at least a part of the rear needle tip region . Is received in the third slit, and the other of the first and second probes receives at least a part of the rear needle tip region in the fourth slit.
前記第3及び第4のスリットのそれぞれは、前後方向に延びていると共に、前後方向における一方及び他方の側にさらに開放していてもよい。 Each of the third and fourth slits may extend in the front-rear direction and further open to one side and the other side in the front-rear direction.
前記第1及び第2のプローブの各後部針先領域は、前記取付領域の後端部から後方へ延びる後端領域と、該後端領域の先端部から上方へ延びる後端針先とを備えることができる。 Each rear needle tip region of the first and second probes includes a rear end region extending rearward from the rear end portion of the attachment region, and a rear end needle tip extending upward from the front end portion of the rear end region. be able to.
前記第1及び第2のプローブの各後部領域は、さらに、前記後端領域から上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の第2の突片部であって、一部を前記第3又は第4のスリットに受け入れられた第2の突片部を備えることができる。 Each of the rear regions of the first and second probes is a plate-like second projecting piece that protrudes upward from the rear end region and extends in the front-rear direction. The 2nd protrusion piece part received by the 4th slit can be provided.
本発明に係るプローブ組立体は、さらに、前記第1及び第2のプローブの取付領域の長手方向に間隔をおいた箇所を該箇所の厚さ方向に貫通して延びる一対のバー部材と、該バー部材の長手方向の端部を受け入れる板状のサイドカバーであって、前記支持片の側部に取り外し可能に組み付けられたサイドカバーとを含むことができる。 The probe assembly according to the present invention further includes a pair of bar members extending through a portion spaced in the longitudinal direction of the attachment region of the first and second probes in the thickness direction of the portion, A plate-like side cover that receives an end portion in the longitudinal direction of the bar member, and can include a side cover that is removably assembled to a side portion of the support piece.
本発明に係るプローブ組立体においては、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第1のスリットを備える第1のスリットバーを支持片の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーを、その第2のスリットが第1のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、第1のスリットバーに配置し、第1及び第2のプローブの前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第1及び第2のスリットに位置させている。 In the probe assembly according to the present invention, a first slit bar having a plurality of first slits opened downward with a spacing in the left-right direction is arranged below the tip of the support piece, and the spacing in the left-right direction is set. In the first slit bar, the second slit bar having a plurality of second slits opened downward is arranged in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the first slit. And at least a portion of the front needle tip region of the first and second probes is positioned in the first and second slits, respectively.
このため、第1及び第2のプローブの数と同数の第1及び第2のスリットを、それぞれ、第1及び第2のスリットバーに設ければよいから、各スリットバーのスリットのピッチを小さくする必要がない。その結果、隣り合う第1及び第2のプローブの相互の電気的干渉を招くことなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。 For this reason, since the same number of first and second slits as the number of the first and second probes may be provided in the first and second slit bars, the slit pitch of each slit bar is reduced. There is no need to do. As a result, the probes can be arranged at a narrow pitch without causing mutual electrical interference between the adjacent first and second probes.
[用語について] [Terminology]
本発明においては、図1において、上下方向を上下方向又はZ方向といい、左右方向をプローブの先端針先の側を前方とする前後方向又はY方向といい、紙背方向を左右方向又はX方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。 In the present invention, in FIG. 1, the up and down direction is referred to as the up and down direction or the Z direction, the left and right direction is referred to as the front and back direction or the Y direction with the tip end of the probe as the front, and the paper back direction is referred to as the left or right direction or the X direction That's it. However, these directions differ depending on the posture of the object to be inspected received by a panel receiver such as a work table.
それゆえに、プローブユニットは、本発明でいう上下方向(Z方向)が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。 Therefore, the probe unit is in a state in which the vertical direction (Z direction) in the present invention is actually in any direction, such as a state in which it is a vertical direction, a state in which it is upside down, or a state in which it is inclined. Used by attaching to the test equipment.
[プローブユニットの実施例] [Example of probe unit]
図1を参照するに、プローブユニット10は、一部を図1,6及び7に示す被検査体12とし、被検査体12の点灯検査に用いられる。被検査体12は、長方形の形状を有しており、また複数の電極14を少なくとも長方形の隣り合う2つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極14は、これが配置された縁部と直交する方向(X方向又はY方向)へ延びる帯状の形状を有している。
Referring to FIG. 1, a part of a
プローブユニット10は、本体フレーム(図示せず)に取り付けられる板状のプローブベース16と、プローブベース16の前端部上側に左右方向に延びる状態に配置された支持台18と、支持台18に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置20(図1においては、1つを示す。)と、プローブベース16の上に配置された板状の中継ベース22と、中継ベース22に載置された中継基板24とを含む。
The
プローブベース16は、被検査体12の電極14が配置された1つの縁部の長手方向(図示の例では、左右方向)へ延びる状態に及び厚さ方向を上下方向とした状態に、試験装置の上記した本体フレームに直接又は板状ベースのような適宜な部材を介して取り付けられる。
The
支持台18は、左右方向へ延びる板状の主体部18aと、主体部18aの左右方向における端部から下方へ延びる一対の脚部18b,18bとにより、門型の正面形状に形成されている。これにより、支持台18は、前方、後方及び下方に開放する空間26(図1参照)を有する。支持台18は、プローブベース16の左右方向に離間した箇所を下方から上方に貫通して、脚部18bに螺合された一対のねじ部材(図示せず)により、プローブベース16の上に取り付けられている。
The
図示の例では、支持台18は、複数のプローブ装置20で共通とされている。したがって、プローブ装置20は、左右方向に離間して、主体部18aの上に取り付けられている。しかし、1つ、2つ又は3つのプローブ装置20毎に支持台18を設けてもよい。
In the illustrated example, the
各プローブ装置20は、プローブ組立体30と、プローブ組立体30を支持する支持ブロック32と、支持ブロック32を支持する連結ブロック34と、支持ブロック32の下側に支持された結合ブロック36と、支持ブロック32と結合ブロック36の間に配置されて、支持ブロック32の下側に取り付けられた接続ブロック38とを含む。
Each
図2から図8に示すように、プローブ組立体30は、導電性材料により製作された複数の第1のプローブ40及び複数の第2のプローブ42を、一対のスリットバー組立体46及び48に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に、交互に配置している。スリットバー組立体46及び48は、ブロック状の支持片44の下側に前後方向に間隔をおいて組み付けられている。
As shown in FIGS. 2 to 8, the
第1及び第2のプローブ40及び42には、一対のバー部材50,50と他のバー部材52とが貫通状態に挿通されている。第1及び第2のプローブ40及び42は、バー部材50,50及び52と、それらバー部材の各端部を受け入れている板状のサイドカバー54と、サイドカバー54の外側に位置された板状の他のサイドカバー56とにより支持片44に組み付けられている。
A pair of
第1及び第2のプローブ40及び42は、図9(A)及び(B)に示すように、矩形をした板状の針主体部、すなわち取付領域58aと、取付領域58aの前端から前方へ片持ち梁状に一体的に延びる先端領域58bと、取付領域58aの後端から後方へ片持ち梁状に一体的に延びる後端領域58cと、先端領域58bの先端から下方へ一体的に延びる先端針先58dと、後端領域58cの後端から上方へ一体的に延びる後端針先58eとを備えるブレードタイプの針とされている。
As shown in FIGS. 9A and 9B, the first and
第2のプローブ42は、さらに、先端領域58bから上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の突片部58hを備える。第1及び第2のプローブ40及び42は、さらに、後端領域58cから上方へ突出すると共に前後方向へ延びる板状の突片部58iを備える。
The
先端領域58bと後端領域58cとは、取付領域58aの幅寸法より小さい幅寸法を有しており、また取付領域58aの対応する先端下部又は後端下部から片持ち梁状に延びている。先端針先58d及び後端針先58eは、三角形に形成されて、先鋭にされている。
The
第1のプローブ40及び第2のプローブ42のそれぞれは、バー部材50,50が貫通する円形の2つの貫通穴58f及び58fを取付領域58aの中央部に有すると共に、バー部材52が貫通しかつ貫通穴58fより小さい円形の貫通穴58gを取付領域58aの前部に有する。
Each of the
支持片44は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により製作されており、また下方、左方及び右方に開放する凹所60(図2参照)を有する。
The
前方に位置するスリットバー組立体46は、支持片44の先端部下側に配置された第1のスリットバー62と、第1のスリットバー62の下側に配置された第2のスリットバー64とを含む。第1及び第2のスリットバー62及び64は、それぞれ、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、T字状及び逆L字状の断面形状を有する形状に製作されている。
The
第1及び第2のスリットバー62及び64は、それぞれ、図4,図6、図7に示すように、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる複数の第1のスリット66及び複数の第2のスリット68を備える。第1及び第2のスリット66及び68のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放されている。
As shown in FIGS. 4, 6, and 7, the first and second slit bars 62 and 64 respectively include a plurality of
第1のスリットバー62は、支持片44の先端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第2のスリットバー64は、第1のスリットバー62の下側に、第2のスリット68が第1のスリット66に対し左右方向に2分の1ピッチずれると共に後方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。
The
後方に位置するスリットバー組立体48は、支持片44の後端部下側に配置された第3のスリットバー72と、第3のスリットバー72の下側に配置された第4のスリットバー74とを含む。第3及び第4のスリットバー72及び74は、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、逆L字状の断面形状を有する形状に製作されている。
The rear
第3及び第4のスリットバー72及び74は、それぞれ、図5から図8に示すように、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる複数の第3のスリット76及び複数の第4のスリット78を備える。第3及び第4のスリット76及び78のそれぞれは、前後方向両側及び下方に開放されている。
As shown in FIGS. 5 to 8, the third and fourth slit bars 72 and 74 respectively include a plurality of
第3のスリットバー72は、第4のスリットバー74の下側に、第4のスリット78が第3のスリット76に対し左右方向に2分の1ピッチずれると共に前方に位置するように、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。第4のスリットバー74は、支持片44の後端部下側に、ねじ止め、接着等の適宜な手段により取り付けられている。
The
バー部材50,50,52は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。しかし、それらのバー部材50,50,52は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。
The
各バー部材50は、プローブ40及び42の穴58fに挿し通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー54に設けられた穴54a(図2参照)に受け入れられて、そのサイドカバー54に支持されている。バー部材52も、プローブ40及び42の貫通穴58gに挿し通されていると共に、各端部を内側のサイドカバー54に設けられた穴54b(図2参照)に受け入れられて、そのサイドカバー54に支持されている。
Each
第1及び第2のプローブ40及び42は、取付領域58aの厚さ方向が左右方向となりかつ先端針先58d及び後端針先58eがそれぞれ支持片44から前方及び後方へ突出された状態に、スリットバー組立体46及び48に並列的に配置されている。第1及び第2のプローブ40及び42は、左右方向に交互に位置されている。
The first and
第1のプローブ40は、その先端領域58b及び突片部58iを第1及び第3のスリットバー62及び72のスリット66及び76に嵌合させており、第2のプローブ42はその突片部58h及び58iを第2及び第4のスリットバー64及び74のスリット68及び78に嵌合させている。
The
しかし、第1及び第2のプローブ40及び42は、いずれも、先端領域58b及び後端領域58cを対応するスリットに嵌合させてもよいし、第1のプローブ40にも突片部58hを設けてその突片部58hを対応するスリットに嵌合させてもよい。このため、スリットに嵌合されたプローブの部位を含む領域は、前部針先領域又は後部針先領域として作用する。
However, the first and
上記のようにプローブは、取付領域58aの幅方向が上下方向となりかつ取付領域58aが対向された状態に、プローブの厚さ方向に間隔をおいて並列的に揃えられている。このため、隣り合うプローブの取付領域58aの貫通穴58fは互いに整列されている。
As described above, the probes are aligned in parallel in the thickness direction of the probe so that the width direction of the
サイドカバー54,56は、電気絶縁材料または導電性材料で板状に製作されている。図2に示すように、内側に位置された各サイドカバー54は、プローブの貫通穴58f、58f及び58gに通されたバー部材50,50及び52の端部を貫通穴54a,54a及び54bに受け入れて、プローブを変位可能に支持している。
The side covers 54 and 56 are made into a plate shape with an electrically insulating material or a conductive material. As shown in FIG. 2, each side cover 54 located on the inner side has the end portions of the
サイドカバー54,56は、それらサイドカバー54,56及び支持片44の前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、他方側のサイドカバー54,56に達するボルトのようなピン状の複数のねじ部材75(図1及び3参照)とねじ部材75に螺合されたナット(図示せず)とにより、支持片44の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。
The side covers 54, 56 pass through portions spaced in the front-rear direction of the side covers 54, 56 and the
上記の結果、第1及び第2のプローブ40及び42は、バー部材50,50及び52、サイドカバー54及び56、ねじ部材75により、支持片44に分離可能に組み付けられて、左右方向及び前後方向の位置を決められている。
As a result, the first and
図7に示すように、第1のスリットバー62の一部は後方に突出する凸部80として作用し、また各プローブは凸部80を受け入れるべく前方に開放された凹部82を前端部に備える。凸部80及び凹部82は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。
As shown in FIG. 7, a part of the
凸部80及び凹部82は、それぞれ、下方側に位置する下向き縁部80a及び上向き縁部82aと、上方側に位置する上向き縁部80b及び下向き縁部82bとを有する。凹部82の上向き縁部82aの高さ位置は、凹部82の奥部の高さ位置より高くされている。これにより、凹部82の奥底部下側に付加的な凹部82cが形成されている。
The
各プローブは、凸部80及び凹部82が相互に嵌合され、かつバー部材50,50及び52が貫通穴58f,58f及び58gを貫通し、さらに先端領域58b、後端領域58c、又は突片部58h(58i)がスリット66又は68及び76又は78に嵌合された状態に、スリットバー組立体46又は48に配置される。
In each probe, the
各プローブは、また、そのようなスリットバー組立体46及び48が、支持片44に上記のように組み付けられると共に、サイドカバー54,56が支持片44に上記のように組み付けられることにより、支持片44に組み付けられて、保持される。
Each probe is also supported by such
図においては、隣り合うプローブが左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブの配列ピッチは小さい。プローブの数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバーのスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。 In the figure, adjacent probes are shown as being spaced apart in the left-right direction, but the probe pitch is actually small. The number of probes, the thickness dimension and the arrangement pitch, and the number of slits in the slit bar, the arrangement pitch and the width dimension vary depending on the type of the object to be inspected, particularly the arrangement pitch and width dimension of the electrodes.
プローブ組立体30は、両スリットバー組立体46,48を上記した状態に支持片44に取り付け、各プローブの先端領域58b及び後端領域58cをスリットバーの対応するスリットに挿し込むと共に、凸部80を凹部82に嵌合させ、バー部材50,50及び52をそれぞれプローブとサイドカバーの貫通穴に挿し通し、その後、サイドカバー54,56をねじ部材75で支持片44に取り付けることにより、組み立てることができる。
The
再度図1を参照するに、支持ブロック32は、板状の2つ支持部32a及び32bによりL字状の断面形状に製作されている。連結ブロック34は、支持台18に取り付けられる主体部34aと、主体部34aの上部から前方へ延びる延長部34bとにより、逆L字状の形状を有する。
Referring to FIG. 1 again, the
プローブ組立体30は、支持ブロック32の支持部32bを上方から下方に貫通して支持片44に螺合されたねじ部材のような適宜な結合具84で、支持片44が支持ブロック32の下側に組み付けられることにより、支持ブロック32の下側に維持されている。
The
支持ブロック32は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ延びる一対のガイドレール86と、両ガイドレール86の間を上下方向へ延びるガイド88とにより連結ブロック34の主体部34aの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト90により連結ブロック34の延長部34bに上下方向の位置を調整可能に連結されている。
The
両ガイドレール86及びガイド88は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール86は、支持ブロック32の支持部32aの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド88は、両ガイドレール86がガイド88に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール86の間に配置されており、また連結ブロック34の主体部34aの前端面に取り付けられている。
Both
ボルト90は、連結ブロック34の延長部34bを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック32に形成されたねじ穴(図示せず)に螺合されている。支持ブロック32は、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね92(図においては、その1つを示す)により下方に付勢されている。
The
各圧縮コイルばね92は、連結ブロック34の延長部34bの上に複数のねじ部材(図示せず)により取り付けられた板状のばね押え94と、支持ブロック32の支持部32aとの間に、連結ブロック34の延長部34bを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、連結ブロック34の延長部34bへのボルト90のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック32ひいてはプローブ組立体30の高さ位置を調整することができる。
Each
ばね押え94は、ドライバーのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト90の回転量を調整する貫通穴94aを有する。これにより、ばね押え94を連結ブロック34から取り外すことなく、支持ブロック32ひいてはプローブ組立体30の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。
The
連結ブロック34は、連結ブロック34の主体部34aを上方から下方に貫通して支持台18の主体部18aに螺合された複数のボルト(図示せず)により支持台18に取り外し可能に取り付けられている。
The
中継ベース22は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース16の上に配置されている。中継基板24は、それぞれがプローブ装置20のプローブに対応された複数の配線(図示せず)を有する配線基板である。中継基板24の配線は、プローブ装置20毎に備えられた電気的接続具96により、対応するプローブに電気的に接続されている。
The
接続ブロック38は、支持ブロック32の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック36の後端部と支持ブロック32との間に位置されている。接続ブロック38は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材(図示せず)により支持ブロック32の下側に分離可能に取り付けられている。
The
電気的接続具96は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置20から後方へ延びるシート状の第1の配線領域96aと、第1の配線領域96aから後方へ延びるシート状の第2の配線領域96bとを含む。第1及び第2の配線領域96a及び96bは、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第1の配線98a(図3,6,8参照)及び複数の第2の配線(図示せず)を有する。
The
第1の配線領域96aは、フレキシブル印刷配線回路(FPC)、タブ(TAB)、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第2の配線領域は、フレキシブル印刷配線回路(FPC)とされている。第1の配線領域96aは、結合ブロック36の下側に位置されており、また被検査体12を駆動する集積回路100(図1参照)を中間領域に配置しており、さらに結合ブロック36の下側を後方に延びている。
The
図6及び8に示すように、第1の配線領域96aの前端部は、第1の配線98aの先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック36の下面に維持されている。これにより、プローブ装置20が組み立てられた状態において、各プローブの後端針先58eは、第1の配線98aの先端部に押圧されて電気的に接続される。
As shown in FIGS. 6 and 8, the front end portion of the
図1に示すように、第1の配線領域96aの後端部は、第1の配線領域96aが結合ブロック36の後端部において上方及び前方に横U字状に折り返されていることにより、第1の配線96aの後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック36の上面に維持されている。
As shown in FIG. 1, the rear end portion of the
図1に示すように、第2の配線領域96bの先端部は、第1の配線領域96aの折り返し部の上方に位置する状態に、及び第2の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック38の下面に維持されている。これにより、プローブ装置20が組み立てられた状態において、第1の配線98aの後端部と第2の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。
As shown in FIG. 1, the tip of the
第2の配線領域96bは、接続ブロック38の後端とプローブベース16の前端との間から、プローブベース16の上側に導かれ、また支持台18の空間26に通され、さらにプローブベース16の上を後方に延びている。
The
第2の配線領域96bは、その後端に設けられたコネクタ102(図1参照)により、中継基板24に結合されている。コネクタ102は、電気的接続具96の配線を介して、対応するプローブ装置20のプローブに接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板24の前記した配線に接続される。
The
中継基板24の配線は、試験信号を発生する電気回路(図示せず)に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的接続具96を介してプローブに供給されて、被検査体12を駆動(点灯)させる。
The wiring of the
プローブ組立体30及び電気的接続具96の交換は、結合ブロック36を支持ブロック32から分離した状態で行うことができる。プローブ40,42の交換は、プローブ組立体30を結合ブロック36から分離した状態で行うことができる。電気的接続具96の交換は、結合ブロック36を支持ブロック32から分離し、接続ブロック38を支持ブロック32から分離した状態で行うことができる。
The
プローブユニット10においては、プローブ装置20が、前方、後方及び下方に開放する空間を備える支持台18を介してプローブベース16に支持されている。このため、配線通し穴をプローブベース16に設けることなく、電気的接続具96の後部側の領域を、プローブベース16の上側に導くことができると共に、支持台18の空間26を経るように延在させることができる。その結果、第1及び第2の配線領域96a,96bの配線の電気的有効長さ寸法が短くなり、その分信号の減衰量が低下し、有効な試験信号を被検査体12に供給することができる。
In the
プローブ組立体30は、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第1のスリット66を備える第1のスリットバー62を支持片44の先端部下側に配置し、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第2のスリット68を備える第2のスリットバー64を、その第2のスリット68が第1のスリット66に対し左右方向及び前後方向に位置するように、第1のスリットバー62に配置し、第1及び第2のプローブ40及び42の前部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、第1及び第2のスリット66及び68に位置させている。
The
このため、第1及び第2のプローブ40及び42の数と同数の第1及び第2のスリット66及び68を、それぞれ、第1及び第2のスリットバー62及び64に設ければよいから、各スリットバーのスリットのピッチを小さくする必要がない。その結果、隣り合う第1及び第2のプローブ40及び42の相互の電気的干渉を招くことなく、プローブを狭ピッチで配置することができる。
Therefore, the same number of first and
各プローブの後端側に関しても、上記のように2つのスリットバー72及び74を設けて、各プローブ40及び42の後部針先領域の少なくとも一部を、それぞれ、対応するスリット76及び78に位置させるならば、各プローブの先端側と同様に上記した効果を得ることができる。
Also on the rear end side of each probe, the two slit bars 72 and 74 are provided as described above, and at least a part of the rear needle tip region of each
しかし、各プローブの後端針先58eを受け入れるガイドフィルム104(図8参照)を第1の配線領域96aに設けてもよい。また、そのようなガイドフィルム104を用いる代わりに、スリットバー72及び74を省略してもよい。
However, a guide film 104 (see FIG. 8) for receiving the rear
本発明は、液晶表示パネルのみならず、多数の発光素子又は受光素子を用いた表示パネルのような他の平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ組立体にも適用することができる。 The present invention can be applied not only to a liquid crystal display panel but also to a probe assembly used for an electrical test of other flat-plate-like objects to be inspected such as a display panel using a large number of light emitting elements or light receiving elements.
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit described in the claims.
10 プローブユニット
12 被検査体
14 被検査体の電極
16 プローブベース
18 支持台
20 プローブ装置
30 プローブ組立体
40,42 第1及び第2のプローブ
44 支持片
46,48スリットバー組立体
50,52 バー部材
54,56 サイドカバー
58a 取付領域
58b 先端領域(前部針先領域)
58c 後端領域(後部針先領域)
58d 先端針先(前部針先領域)
58e 後端針先(後部針先領域)
58f,58g 貫通穴
58h 突片部(前部針先領域)
58i 突片部(後部針先領域)
62,64 第1及び第2のスリットバー
66,68 第1及び第2のスリット
72,74 第3及び第4のスリットバー
76,78 第3及び第4のスリット
DESCRIPTION OF
58c Rear end region (rear needle tip region)
58d Tip needle tip (front needle tip region)
58e Rear end needle tip (rear needle tip area)
58f, 58g Through
58i protrusion (rear needle tip area)
62, 64 First and second slit bars 66, 68 First and
Claims (8)
帯状の取付領域及び該取付領域の先端からさらに前方へ延びる前部針先領域を備える複数のプローブであって、前記取付領域の幅方向が上下方向となる状態に前記支持片の下側に前記取付領域を対向させて左右方向に間隔をおいて並列的に配置された複数のプローブと、
前記支持片の先端部下側に配置された第1のスリットバーであって、左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第1のスリットを備える第1のスリットバーと、
左右方向に間隔をおいて下方に開放する複数の第2のスリットを備える第2のスリットバーであって、前記第2のスリットが前記第1のスリットに対し左右方向及び前後方向に位置するように、前記第1のスリットバーに配置された第2のスリットバーとを含み、
前記複数のプローブは、それぞれが前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第1のスリットに受け入れられた複数の第1のプローブと、それぞれが左右方向に隣り合う前記第1のプローブの間に配置された複数の第2のプローブであって、前記前部針先領域の少なくとも一部が前記第2のスリットに受け入れられた第2のプローブとを含む、プローブ組立体。 A support piece;
A plurality of probes each having a belt-like attachment region and a front needle tip region extending further forward from the tip of the attachment region, wherein the attachment region is positioned below the support piece in a state where the width direction is the vertical direction. A plurality of probes arranged in parallel with an interval in the left-right direction facing the mounting region;
A first slit bar disposed below the front end of the support piece, the first slit bar having a plurality of first slits opened downward at intervals in the left-right direction;
A second slit bar having a plurality of second slits opened downward at intervals in the left-right direction, wherein the second slit is positioned in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the first slit. And a second slit bar disposed on the first slit bar,
The plurality of probes each include a plurality of first probes in which at least a part of the front needle tip region is received in the first slit, and the first probes adjacent to each other in the left-right direction. A plurality of second probes disposed on the second probe, wherein at least a portion of the front needle tip region is received in the second slit.
各第2のプローブの前部針先領域は、前記取付領域の先端部から前方へ延びる先端領域と、該先端領域から上方に突出して前後方向へ延びる板状の第1の突片部であって、一部を前記第2のスリットに受け入れられた第1の突片部と、前記先端領域の先端部から下方へ延びる先端針先とを備える、請求項1及び2のいずれか1項に記載のプローブ組立体。 The front probe tip region of each first probe is a tip region that extends forward from the tip of the attachment region, a tip region that is partially received by the first slit, and a tip of the tip region A tip needle tip extending downward from the portion,
The front probe tip region of each second probe is a tip region extending forward from the tip of the attachment region, and a plate-like first projecting piece projecting upward from the tip region and extending in the front-rear direction. 3. The method according to claim 1, further comprising: a first projecting piece part partially received in the second slit; and a tip needle tip extending downward from a tip part of the tip region. The probe assembly as described.
各プローブは、さらに、前記取付領域の後端からさらに後方へ延びる後部針先領域を備え、
前記第1及び第2のプローブのいずれか一方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第3のスリットに受け入れられており、前記第1及び第2のプローブの他方は、前記後部針先領域の少なくとも一部を前記第4のスリットに受け入れられている、請求項1から3のいずれか1項に記載のプローブ組立体。 A third slit bar disposed below the rear end of the support piece, the third slit bar including a plurality of third slits that open downward with a space in the left-right direction; A fourth slit bar having a plurality of fourth slits opened downward with a gap in the direction, wherein the fourth slit is positioned in the left-right direction and the front-rear direction with respect to the third slit. And a fourth slit bar disposed on the third slit bar,
Each probe further comprises a rear needle tip region extending further rearward from the rear end of the attachment region,
One of the first and second probes has at least a part of the rear needle tip region received in the third slit, and the other of the first and second probes has the rear needle. The probe assembly according to any one of claims 1 to 3, wherein at least a part of the tip region is received in the fourth slit.
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