KR20070094350A

KR20070094350A - 프로브 검사장치

Info

Publication number: KR20070094350A
Application number: KR1020060024936A
Authority: KR
Inventors: 박준식; 조원일; 송태몽
Original assignee: 양 전자시스템 주식회사
Priority date: 2006-03-17
Filing date: 2006-03-17
Publication date: 2007-09-20
Also published as: KR100768914B1

Abstract

본 발명은 힌지 형태의 기구물과 근접 센서를 이용함으로써 기구물의 유격 및 마찰 저항을 최소화하여 프로브 핀의 위치 반복성을 유지하며 또한 프로브 핀의 오버 라이드 양 및 평형을 조절 함으로써 피검사체와 프로브핀의 정밀한 접촉이 가능하도록 한 평판표시장치의 프로브 검사장치에 관한 것이다.

이 평판표시장치의 프로브 검사장치는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 전방측과 상기 베이스 플레이트의 후방측 사이에서 상기 베이스 플레이트에 회동 가능하게 삽입된 힌지축과; 상기 베이스 플레이트의 일측에 배치되어 상기 힌지축의 일측 끝단과 점접촉하는 힌지블럭과; 상기 베이스 플레이트의 타측에 배치되어 상기 힌지축의 타측 끝단과 점접촉하는 힌지스크류와; 상기 베이스 플레이트의 전방측에 지지되는 프로브 핀과; 상기 베이스 플레이트의 후방측에 지지되는 에지블럭과; 상기 베이스 플레이트에 적층되는 마운트 플레이트와; 상기 마운트 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이의 간격을 조정하기 위한 가압력 조정나사와; 상기 마운트 플레이트에 설치되어 상기 베이스 플레이트의 선회운동에 의해 상기 에지블럭과 접촉하거나 상기 에지블럭으로부터 분리되는 에지센서를 구비한다.

Description

프로브 검사장치{PROBE TEST APPARATUS}

도 1은 종래의 프로브 검사장치를 나타내는 측면도.

도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치를 나타내는 분해 사시도.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치의 사시도.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치의 정면도.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치의 우측면도.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치의 좌측면도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

101 : 프로브 핀 102 : 프론트 블럭

103, 116 : 압축 스프링 104 : 힌지블럭

105 : 에지센서 106 : 에지블럭

107 : 스토퍼 핀 108 : 가압력 조정나사

109 : 힌지 틸트 조정나사 110 : 힌지축

111 : 제1 사이드 블럭 112 : 제2 사이드 블럭

113 : 베이스 플레이트 114 : 판스프링

115 : 백블럭 117 : 스프링 지지블럭

118 : 마운트 플레이트 119 : 힌지 스크류

120 : 고정핀

본 발명은 평판표시장치의 프로브 검사장치에 관한 것으로, 특히 힌지 형태의 기구물과 근접 센서을 이용하여 기구물의 유격을 최소화 하여 프로브 핀의 반복 위치를 유지 시키며 또한 프로브 핀의 오버 라이드 양 및 평형을 조절 함으로써 피검사체와 프로브핀의 정밀한 접촉이 가능하도록 한 평판표시장치의 프로브 검사장치에 관한 것이다.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들이 개발 및 시판되고 있다. 이러한 평판표시장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP) 및 유기발광다이오드소자(Organic Light Emitting Diode, OLED) 표시장치 등이 있다.

이러한 평판표시장치의 제조공정은 기판 상에 형성된 신호배선들에 대한 단락(short), 단선(open) 등을 검사하기 위하여 도 1과 같은 프로브 검사장치를 이용 하여 전기적 검사를 실시하는 검사공정을 포함한다. 이러한 프로브 검사장치는 신호배선들에 연결된 신호패드, 화소전극 등에 전기적으로 접촉하여 테스트 신호를 신호패드, 화소전극에 공급한다.

도 1을 참조하면, 종래의 프로브 검사장치는 탑 마운트(9), 탑 마운트(9)에 고정된 L자형 블럭(10), 상하 힌지 롤러(6)를 통해 탑 마운트(9)에 체결된 콘택핀 마운트(2), L자형 블록(10)을 관통하여 콘택핀 마운트(2)에 끝단이 삽입된 볼트(12), L자형 블록(10)의 아래에서 볼트(12)에 감겨진 압축 스프링(5), 판스프링(11)을 통해 콘택트 핀 마운트(2)에 연결된 프로브핀(1), 콘택핀 마운트(2)의 저면에 형성된 콘택핀(4), 탑 마운트(9)의 하단에 연결된 사이드 마운트(13), 사이드 마운트(13)의 하단에 고정되어 콘택핀(4)과 접촉 및 분리되는 콘택 플레이트(3), 사이드 마운트(13)에 설치되는 제1 콘택 체크 센서(7) 및 콘택핀 마운트(2)에 설치되는 제2 콘택 체크 센서(8)를 구비한다.

이러한 종래의 프로브 검사장치는 프로브핀(1)을 피검사체(14)에 접촉시키기 위하여 하강한다. 피검사체(14)는 평판표시장치의 신호패드 또는 화소전극이다. 하강 동작에서 프로브핀(1)과 피검사체(14)가 접촉된 후, 더 하강하게 되면 상하 힌지 롤러(6)를 회전축으로 하여 콘택핀 마운트(1), 판스프링(11) 및 프로브핀(1)이 들어 올려지면서 콘택핀 마운트(1)의 저면에 형성된 콘택핀(4)과 콘택 플레이트(3)가 분리된다. 제1 및 제2 콘택 체크 센서(8)는 콘택핀(4)과 콘택 플레이트(3) 사이에 흐르는 전류를 감지하여 콘택핀(4)과 콘택 플레이트(3)의 분리여부를 감지한다. 도시하지 않은 프로브 콘트롤러는 제1 및 제2 콘택 체크 센서(8)의 출력신 호를 입력 받아 콘택핀(4)과 콘택 플레이트(3)가 분리되면 프로브핀(1)이 피검사체(14) 상에 접촉되는 것으로 판단하고, 그 결과 테스트 신호를 프로브핀(1)에 공급한다.

그런데 도 1과 같은 종래의 프로브 검사장치는 상하 힌지 롤러(6)의 마찰저항 및 유격으로 인하여 정확한 위치에서 콘택 플레이트(3)와 콘택핀(4)이 접촉되지 않는 경우가 흔히 발생하며 또한, 시간이 지날수록 콘택 플레이트(3)와 콘택핀(4)의 표면 산화가 진행되어 그들 사이의 전기적 접촉 여부가 정확히 감지되지 않는 문제로 오버 라이드 양이 과도하게 걸림으로써 정확한 위치에서 프로브핀(1)이 피검사체(14)와 접촉되지 않는 문제점이 있다. 또한 오버라이드 양을 조절(12) 할수 있는 기능은 있으나 좌우 평형을 조절할 수 있는 장치가 없어 프로브 핀의 평형을 유지 할 수 없다. 여기서, 오버 라이드 양이란 프로브핀(1)의 하강에 의해 브로브핀(1)과 피검사체(14)이 접촉된 후에 미끄러지는 거리로 정의된다.

따라서, 본 발명의 목적은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 발명으로써 힌지 형태의 기구물과 근접 센서을 이용함으로써 기구물의 유격을 최소화 하여 프로브 핀의 반복 위치를 유지 시키며 또한 프로브 핀의 오버 라이드 양 및 평형을 조절 함으로써 프로브핀의 정밀한 접촉이 가능하도록 한 평판표시장치의 프로브 검사장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 전방측과 상기 베이스 플레이트의 후방측 사이에서 상기 베이스 플레이트에 회동 가능하게 삽입된 힌지축과; 상기 베이스 플레이트의 일측에 배치되어 상기 힌지축의 일측 끝단과 점접촉하는 힌지블럭과; 상기 베이스 플레이트의 타측에 배치되어 상기 힌지축의 타측 끝단과 점접촉하는 힌지스크류와; 상기 베이스 플레이트의 전방측에 지지되는 프로브 핀과; 상기 베이스 플레이트의 후방측에 지지되는 에지블럭과; 상기 베이스 플레이트에 적층되는 마운트 플레이트와; 상기 마운트 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이의 간격을 조정하기 위한 가압력 조정나사와; 상기 마운트 플레이트에 설치되어 상기 베이스 플레이트의 선회운동에 의해 상기 에지블럭과 접촉하거나 상기 에지블럭으로부터 분리되는 에지센서를 구비한다.

상기 프로브 검사장치는 상기 베이스 플레이트의 후방측에 고정된 백블럭과; 상기 백블럭의 일측에 고정되고 공간부에 상기 힌지블럭이 유동가능하게 배치되는 제1 사이드 블럭과; 상기 힌지블럭을 사이에 두고 제1 사이드 블럭의 공간부 아래에 고정되는 스프링 지지블럭과; 상기 제1 사이드 블럭을 관통하여 상기 힌지블럭과 접촉되고 회전에 의해 상기 힌지블럭의 높이를 조정하기 위한 힌지 틸트 조정나사와; 상기 힌지블럭과 상기 스프링 지지블럭 사이에서 상기 힌지 틸트 조정나사에 감겨지는 제1 압축 스프링을 더 구비한다.

상기 프로브 검사장치는 상기 백블럭의 타측에 고정된 제2 사이드 블럭과; 상기 제2 사이드 블럭의 측면과 대면하는 판스프링을 더 구비한다.

상기 힌지 스크류는 상기 판스프링 및 상기 제2 사이드 블럭을 관통하여 상기 힌지축의 타측과 점 접촉된다.

상기 프로브 검사장치는 상기 가압력 조정나사의 끝단과 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되는 제2 압축 스프링과; 상기 마운트 플레이트를 관통하여 상기 베이스 플레이트의 후방측 상면에 접촉되는 스토퍼 핀을 더 구비한다.

상기 에지센서는 상기 마운트 플레이트의 후방을 관통하여 상기 에지블럭의 끝단과 접촉 및 분리된다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 2 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치는 베이스 플레이트(113), 베이스 플레이트(113)의 중앙부에 회동 가능하게 삽입된 힌지축(110), 베이스 플레이트(113)의 전방측에 고정된 프론트 블럭(102), 프론트 블록(102)에 체결된 프로브 핀(101), 베이스 플레이트(113)의 후방측에 고정된 백블럭(115), 베이스 플레이트(113)의 후방측 상면에 고정된 에지블럭(106), 백블럭(115)의 일측에 고정된 제1 사이드 블럭(111), 제1 사이드 블럭(111)의 공간부 내에 유동 가능하게 삽입되고 힌지축(110)의 일측과 점 접촉되는 힌지블럭(104), 힌지블럭(104)을 사이에 두고 제1 사이드 블럭(111)의 공간부(111a) 아래 에 고정되는 스프링 지지블럭(117), 제1 사이드 블럭(111)을 관통하여 힌지블럭(104)과 접촉되는 힌지 틸트 조정나사(109), 힌지블럭(104)과 스프링 지지블럭(117) 사이에서 힌지 틸트 조정나사(109)에 감겨지는 제1 압축 스프링(116), 백블럭(115)의 타측에 고정된 제2 사이드 블럭(112), 제2 사이드 블럭(112)의 측면과 대면하는 판스프링(114), 판스프링(114) 및 제2 사이드 블럭(112)을 관통하여 힌지축(110)의 타측과 점 접촉되는 힌지 스크류(119), 베이스 플레이트(113)의 위에 적층되는 마운트 플레이트(118), 마운트 플레이트(118)의 전방에서 마운트 플레이트(118)를 관통하는 한 쌍의 가압력 조정나사(108), 가압력 조정나사(108)들의 끝단과 베이스 플레이트(113) 사이에 설치되는 한 쌍의 제2 압축 스프링(103), 마운트 플레이트(118)를 관통하여 베이스 플레이트(113)의 후방 상면에 접촉되는 스토퍼 핀(107), 및 마운트 플레이트(107)의 후방을 관통하여 에지블럭(106)의 끝단과 접촉 및 분리되는 에지센서(105)를 구비한다.

또한, 본 발명에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치는 도 2 및 도 3과 같은 프로브 검사장치를 포함한 프로브 카드, 프로브 카드를 XY 평면 상에서 2축 방향으로 이동시킴과 아울러 프로브 카드를 Z축 방향으로 승강시키기 위한 XYZ 로봇(또는 겐트리 로봇)을 구비한다. 도 2 및 도 3과 같은 프로브 검사장치는 마운트 플레이트(118)의 상단에 형성된 한 쌍의 스크류 블록을 관통하는 고정핀(120)에 의해 프로브 카드에 고정된다. 본 발명에 따른 프로브 카드는 XYZ 로봇에 의해 각각 원하는 지점으로 이동하고 승강되는 데이터 프로브 카드, 게이트 프로브 카드 및 화소전극 프로브 카드를 포함한다. 이러한 프로브 카드와 그 구동 장치에 대하여 는 본원 출원인에 의해 기출원된 특허출원 제 10-2004-0010447호에 상세히 기재되어 있으므로 그에 대한 상세한 설명을 생략하기로 한다.

힌지축(110)은 도 4의 원 내의 확대도와 같이 힌지블럭(104)과 힌지 스크류(119)에 점 접촉하여 피검사체(130)에 프로브핀(101)이 접촉할 때와, 피검사체(130)로부터 프로브핀(101)이 분리될 때 수반되는 베이스 플레이트(113)의 선회운동에서 회전축 역할을 한다. 이러한 힌지축(110)은 점 접촉에 의해 힌지축(110)의 양측 구심점이 정확하게 일치될 수 있고 마찰저항과 유격이 거의 없다. 이러한 점속촉을 위하여 힌지축(110)의 양측단 꼭지점부분보다 힌지블럭(104)과 힌지 스크류(119)에 형성된 삼각 단면의 홈이 더 크게 형성된다.

프론트 블럭(102)은 베이스 플레이트(113)의 전방측에 고정되어 프로브 핀(101a)의 가이드 블럭(101a)을 지지하는 역할을 한다.

백블럭(115)은 베이스 플레이트(113)의 후방측에 고정되어 제1 및 제2 사이드 블럭(111, 112)을 지지하는 역할을 한다.

에지블럭(106)은 베이스 플레이트(113)의 후방측 상면에 고정되어 베이스 플레이트(113)의 선회운동시에 에지센서(105)의 끝단에 접촉하거나 에지센서(105)로부터 분리된다. 프로브핀(101)이 피검사체(13)와 접촉한 후에 더 하강하게 되면 힌지축(110)을 회전축으로 하여 베이스 플레이트(113)의 전방이 반시계방향으로 회전하면서 상승하는 반면, 그와 동시에 베이스 플레이트(113)의 후방이 반시계방향으로 회전하면서 하강하게 된다. 따라서, 에지블럭(106)은 프로브핀(101)이 피검사체(130)와 전기적으로 접촉이 완료된 시점에서 에지센서(105)로부터 분리되는 반 면, 프로브핀(101)이 피검사체(130)와 분리된 기간 동안 에지센서(105)와 전기적으로 접촉된 상태를 유지한다. 이러한 에지블럭(106)과의 탈부착에 의해 변화되는 에지센서(105)의 출력을 감지하여 콘트롤러는 피검사체(130)에 대한 프로브핀(101)의 전기적 접촉여부를 판정하게 된다. 에지센서(105)의 출력에 따라 프로브핀(101)이 피검사체(130)에 접촉된 것으로 판정되면 콘트롤러는 XYZ 로봇(또는 겐트리로봇)을 정지시켜 프로브 카드가 더 이상 하강하지 않도록 제어하고 프로브핀(101)에 테스트 신호를 인가한다.

제1 사이드 블럭(111)은 백블럭(115)의 일측에 고정되고 스프링 지지블럭(117)은 제1 사이드 블록(111)의 공간부 아래를 차폐한다. 이 제1 사이드 블럭(111)과 스프링 지지블럭(117)은 힌지 틸트 조정나사(109), 힌지블럭(104) 및 제1 압축 스프링(116)을 지지하는 역할을 한다. 힌지 틸트 조정나사(109)은 나사산이 형성되어 있다. 힌지블럭(104)은 힌지 틸트 조정나사(109)에 의해 예압되고 제1 압축 스프링(116)은 힌지 틸트 조정나사(109)의 가압력만큼 발생되는 탄성 복원력으로 힌지블럭(104)을 예압한다. 따라서, 운용자는 힌지 틸트 조정나사(109)을 회전시켜 힌지 틸트 조정나사(109)을 승강시키면 그 만큼 힌지블럭(104)이 승강하게 되므로 힌지축(110)의 일측이 상하로 조정되므로 힌지핀(110)의 상하 틸트를 미세하게 조정할 수 있다. 다시 말하여, 프로브핀(110)의 좌우 평행은 힌지 틸트 조정나사(109)에 의해 조정된다.

제2 사이드 블럭(112)은 백블럭(115)의 타측에 고정되고 판스프링(114), 힌지 스크류(119)를 지지한다. 힌지 스크류(119)는 나사산이 형성되어 회전에 의해 제2 사이드 블럭(112) 내로 더 깊이 삽입되거나 더 얕은 깊이로 삽입된다. 따라서, 힌지 스크류(119)의 회전양을 조절하면 힌지축(110)의 양 끝단의 점 접촉점에서 힌지축(110)와 힌지블럭(104) 사이의 예압력과, 힌지축(110)과 힌지 스크류(119) 사이의 예압력을 미세하게 조정할 수 있다. 판스프링(114)은 힌지축(110)와 힌지블럭(104) 사이의 유격과, 힌지축(110)과 힌지 스크류(119) 사이의 유격을 일정하게 유지시키는 역할을 한다.

마운트 플레이트(118)는 에지센서(105), 스토퍼핀(107), 및 한 쌍의 가압력 조정나사(108)을 지지하는 역할을 한다. 스토퍼핀(107)은 마운트 플레이트(118)와 베이스 플레이트(118) 사이의 간격 조정이 가능하게 하여 에지센서(105)와 에지블럭(106)의 간격을 조정하는데 이용된다. 가압력 조정나사(108)은 마운트 플레이트(118)와 베이스 플레이트(118) 사이을 조정하며, 제2 압축 스프링(103)은 탄성 복원력으로 마운트 플레이트(118)와 베이스 플레이트(118)를 일정하게 예압한다. 이러한 가압력 조정나사(108)에 의해 피검사체(130)에 대한 프로브핀(110)의 오버라이드양을 조절할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 프로브 검사장치의 동작을 단계적으로 설명하면, 먼저, 전술한 실시예의 프로프 검사장치를 포함한 프로브 카드가 겐트리 로봇에 의해 원하는 위치로 이동한 후 모터 구동 장치에 의해 하강하면서 프로브핀(110)이 유리기판 상의 피검사체(130) 즉, 신호패드 혹은 화소전극과 접촉된다. 이어서 프로브 카드가 더 하강하면서 프로브핀(110)은 힌지축(110)과 좌우 힌지블럭(104, 119) 사이의 회전 슬라이딩 운동에 의해 위로 상승하는 동시에, 그와 반대측에 위 치하는 에지블럭(106)이 하강한다. 에지블럭(106)이 하강할 때, 에지블럭(106)은 에지센서(105)로부터 분리되고, 이 때의 에지센서(105)의 출력에 따라 콘트롤러는 프로브핀(110)이 피검사체(130)에 안정적으로 전기적 접촉되었다는 것으로 판단하여 상하 모터 구동 장치을 제어하여 프로브 카드를 정지시킨다. 이어서, 콘트롤러에 의해 프로브핀(110)에 테스트 신호가 인가되고 평판표시장치의 신호배선 및/또는 화소전극의 전기적 검사공정이 완료되고 프로브 카드가 상승하면 프로브핀(110)은 제2 압축 스프링(103)의 복원력으로 원위치로 초기화된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 평판표시장치의 프로브 검사장치는 힌지의 유격 및 마찰 저항을 최소화 하기 위해 기구물을 점접촉시키고 센서의 정확한 응답 신호로 프로브 핀의 접촉 위치의 반복을 유지시키며 프로브 핀의 좌우 평형 조절 및 가압력 조정 나사를 이용하여 오버 라이드 양을 최적화하여 피검사체와 프로브핀의 정밀한 접촉을 가능하게 한다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims

베이스 플레이트와;

상기 베이스 플레이트의 전방측과 상기 베이스 플레이트의 후방측 사이에서 상기 베이스 플레이트에 회동 가능하게 삽입된 힌지축과;

상기 베이스 플레이트의 일측에 배치되어 상기 힌지축의 일측 끝단과 점접촉하는 힌지블럭과;

상기 베이스 플레이트의 타측에 배치되어 상기 힌지축의 타측 끝단과 점접촉하는 힌지스크류와;

상기 베이스 플레이트의 전방측에 지지되는 프로브 핀과;

상기 베이스 플레이트의 후방측에 지지되는 에지블럭과;

상기 베이스 플레이트에 적층되는 마운트 플레이트와;

상기 마운트 플레이트와 상기 베이스 플레이트 사이의 간격을 조정하기 위한 가압력 조정나사와;

상기 마운트 플레이트에 설치되어 상기 베이스 플레이트의 선회운동에 의해 상기 에지블럭과 접촉하거나 상기 에지블럭으로부터 분리되는 에지센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 프로브 검사장치.
제 1 항에 있어서,

상기 베이스 플레이트의 후방측에 고정된 백블럭과;

상기 백블럭의 일측에 고정되고 공간부에 상기 힌지블럭이 유동가능하게 배치되는 제1 사이드 블럭과;

상기 힌지블럭을 사이에 두고 제1 사이드 블럭의 공간부 아래에 고정되는 스프링 지지블럭과;

상기 제1 사이드 블럭을 관통하여 상기 힌지블럭과 접촉되고 회전에 의해 상기 힌지블럭의 높이를 조정하기 위한 힌지 틸트 조정나사와;

상기 힌지블럭과 상기 스프링 지지블럭 사이에서 상기 힌지 틸트 조정나사에 감겨지는 제1 압축 스프링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 프로브 검사장치.
제 2 항에 있어서,

상기 백블럭의 타측에 고정된 제2 사이드 블럭과;

상기 제2 사이드 블럭의 측면과 대면하는 판스프링을 더 구비하는 평판표시장치의 프로브 검사장치.
제 3 항에 있어서,

상기 힌지 스크류는 상기 판스프링 및 상기 제2 사이드 블럭을 관통하여 상기 힌지축의 타측과 점 접촉되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 프로브 검사장치.
제 4 항에 있어서,

상기 가압력 조정나사의 끝단과 상기 베이스 플레이트 사이에 설치되는 제2 압축 스프링과;

상기 마운트 플레이트를 관통하여 상기 베이스 플레이트의 후방측 상면에 접촉되는 스토퍼 핀을 더 구비하고;

상기 에지센서는 상기 마운트 플레이트의 후방을 관통하여 상기 에지블럭의 끝단과 접촉 및 분리되는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 프로브 검사장치.