CN109387773A - 加电机构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种加电机构,属于芯片测试加电技术领域。该加电机构包括:基座、静绝缘板、动绝缘板、弹性组件、及加电探针。其中,基座包括相连的支撑部和悬臂部;静绝缘板与支撑部相连,具有第一导电片;动绝缘板与支撑部相连,具有与第一导电片相对设置的第二导电片;且动绝缘板相对静绝缘板具有运动行程,以使第二导电片与第一导电片接触或分离;弹性组件与悬臂部相连,且力度可调地与动绝缘板抵接,使得第一导电片和第二导电片接触;加电探针与第二绝缘板远离支撑部的端部相连。本发明实施例提供的加电机构可在测试过程中对芯片提供保护,避免加电探针在芯片上产生压痕,保证芯片质量。
Description
技术领域
本发明涉及芯片测试加电技术领域,尤其涉及一种加电机构。
背景技术
半导体二极管(Laser Diode,LD)芯片是半导体激光器的核心部件,决定了半导体激光器的发光品质。因此,为了保障半导体激光器的品质,需对LD芯片进行测试筛选。通常利用加电探针作为加电机构,当加电探针接触LD芯片时,LD芯片通电发光,进而通过测试LD芯片的发光品质完成筛选。
相关技术中提供的加电机构在使用时,难以感知加电探针是否已接触LD芯片,导致加电探针与LD芯片的接触力度过大。在这种情况下,对于厚度为100μm的LD芯片而言,测试时加电探针极易在LD芯片上留下压痕,影响测试后LD芯片的外观品质。
发明内容
本发明提供一种加电机构,以解决相关技术中的缺陷。
本发明实施例提供的加电机构,包括:基座,静绝缘板,动绝缘板,弹性组件,及加电探针;
基座包括相连的支撑部和悬臂部;
静绝缘板与所述支撑部相连,具有第一导电片;
动绝缘板与所述支撑部相连,具有与所述第一导电片相对设置的第二导电片;且所述动绝缘板相对所述静绝缘板具有运动行程,以使所述第二导电片与所述第一导电片接触或分离;
弹性组件与所述悬臂部相连,且力度可调地与所述动绝缘板抵接,使得所述第一导电片和所述第二导电片接触;
加电探针与所述第二绝缘板远离所述支撑部的端部相连。
本发明所提供的加电机构至少具有以下有益效果:
本发明实施例提供的加电机构,通过弹性组件与动绝缘板抵接,保持第一导电片和第二导电片接触,使得分别接通电源的第一导电片和第二导电片之间导通形成电流信号。加电时移动基座,且可选移动方向与弹性组件施加给动绝缘板的抵接力的方向相同。当加电探针接触位置固定的芯片时,芯片的阻碍效果为加电探针提供与加电机构移动方向相反的作用力,以克服弹性组件对动绝缘板的抵接作用。进而动绝缘板朝向远离静绝缘板的方向移动,使得第一导电片和第二导电片分离,二者之间的电流信号中断。通过监测第一导电片和第二导电片之间的电流信号的有无,能够判断加电探针是否已接触芯片。并且弹性组件对于动绝缘板的作用力可调,能够降低第一导电片和第二导电片分离所需作用力,使得加电探针接触芯片时第一导电片和第二导电片可快速分离,实现在测试时保证芯片,避免加电探针在芯片上产生压痕,影响芯片外观品质。
应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本发明。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本发明的实施例,并与说明书一起用于解释本发明的原理。
图1是根据一示例性实施例示出的加电机构的立体图;
图2是根据一示例性实施例示出的加电机构的侧视图。
附图中各个标记意为:
1、基座;
11、支撑部;
12、悬臂部;
121、第一悬臂部;
122、第二悬臂部;
2、静绝缘板;
21、定位件;
3、动绝缘板;
31、弹性片;
32、限位件;
41、第一导电片;
42、第二导电片;
5、弹性组件;
51、力度调节件;
511、大径段;
512、小径段;
52、弹性件;
53、锁定件;
6、加电探针;
7、夹载组件。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明,其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时,除非另有表示,不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反,它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
图1是根据一示例性实施例示出的加电机构的立体图,图2是根据一示例性实施例示出的加电机构的侧视图。本发明实施例提供了一种加电机构,如图1、图2所示,该加电机构包括:基座1、静绝缘板2、动绝缘板3、弹性组件5、以及加电探针6。
其中,基座1包括相连的支撑部11和悬臂部12。静绝缘板2与支撑部11相连,具有第一导电片41。动绝缘板3与支撑部11相连,具有与第一导电片41相对设置的第二导电片42;且动绝缘板3具有相对静绝缘板2的运动行程,以使第二导电片42与第一导电片41接触或分离。弹性组件5与悬臂部12相连,且力度可调地抵接动绝缘板3使得第一导电片41和第二导电片42接触。加电探针6与第二绝缘板3远离支撑部11的端部相连。
其中,动绝缘板3相对静绝缘板2具有运动行程,使得第一导电片41可与第二导电片42接触或分离。可以理解的是,当弹性组件5未作用在动绝缘板3上时,第一导电片41和第二导电片42不接触;当弹性组件5抵接动绝缘板3时,弹性组件5为动绝缘板3提供靠近静绝缘板2的作用力,使得第一导电片41和第二导电片42相接触。并且,由于弹性组件5与悬臂部12相连,因此当克服弹性组件5对动绝缘板3的作用力时,可改变弹性组件5的形变程度,使得动绝缘板3以远离静绝缘板2的方向移动,第一导电片41和第二导电片42分离。
并且,该弹性组件5以力度可调的方式与动绝缘板3抵接,换言之,弹性组件5对动绝缘板3的作用力可调,进而分离第一导电片41和第二导电片42时所需的作用力大小可调。
综上,本发明实施例提供的加电机构的使用原理如下:
加电前,第一导电片41、第二导电片42及加电探针6通过导线与电源接通。通过弹性组件5与动绝缘板3抵接,保持第一导电片41和第二导电片42接触,此时第一导电片41和第二导电片42之间导通形成电流信号。加电时,移动基座1使得加电探针6逐步靠近设置在待加电固定位上的芯片,且移动方向与弹性组件5施加给动绝缘板3的抵接力的方向相同。在这样的情况下,当加电探针6接触芯片时,位置固定的芯片为加电探针6提供与加电机构移动方向相反的作用力。因此,加电探针6带动动绝缘板3克服弹性组件5的抵接作用,动绝缘板3朝向远离静绝缘板2的方向移动。此时第一导电片41和第二导电片42分离,二者之间的电流信号中断。
可以理解的是,通过监测第一导电片41和第二导电片42之间的电流信号的有无,能够判断加电探针6是否已接触芯片,实现对加电探针6与芯片的接触提示,避免在加电探针6接触芯片后依然移动基座1,造成加电探针6在芯片上产生压痕。
并且,弹性组件5对于动绝缘板3的作用力可调,即加电探针6接触芯片时的初始作用力可调,因此能够降低第一导电片41和第二导电片42分离所需作用力,使得加电探针6接触芯片时第一导电片41和第二导电片42可快速分离,避免加电探针6在芯片上产生压痕。
本发明实施例提供的加电机构,通过静绝缘板2和动绝缘板3的配合,实现第一导电片41和第二导电片42的导通与断开,进而实现监测加电探针6是否与芯片接触。并且,通过弹性组件5可调控加电探针6接触芯片的初始作用力,对芯片给予保护。在这样的情况下,当监测到加电探针6与芯片接触可立即停止移动加电机构,避免加电探针6在芯片上产生压痕,实现在测试的同时保证芯片质量的目的。
在一个实施例中,静绝缘板2、动绝缘板3及悬臂部12相对设置,且动绝缘板3位于悬臂部12和静绝缘板2之间。在这样的情况下,动绝缘板3的运动行程位于在静绝缘板2和悬臂部12之间,有助于保持动绝缘板3稳定,减少动绝缘板3受外界干扰移位的情况,保证加电机构稳定、有效工作。
在该实施例中,静绝缘板2上设置有定位件21,且定位件21穿过动绝缘板3与悬臂部12相连。由于静绝缘板2与悬臂部12的距离较远,因此,设置定位件21可增加静绝缘板2和基座1的连接处,以保证静绝缘板2与基座1的相对固定。其中可选地,在动绝缘板3上设置通孔,定位件21穿过设置在动绝缘板3上的通孔与悬臂部12相连,如此通过该定位件21还可避免动绝缘板3和静绝缘板2在出现偏移,保证第一导电片41与第二导电片42相对设置。
进一步地,动绝缘板3包括弹性片31,弹性片31与支撑部11相连。通过弹性片31使得动绝缘板3远离支撑部的部分具有以弹性片31与支撑部11连接处为中心摆动的运动行程。换言之,动绝缘板3可朝向悬臂部12或静绝缘板2摆动,实现第二导电片42与第一导电片41分离或接触。
关于弹性组件5实现方式,在一个实施例中,如图1、图2所示,在悬臂部12上设置有通孔;弹性组件5包括力度调节件51和弹性件52。其中,力度调节件51与悬臂部12上的通孔活动连接,且该力度调节件51的两端分别设置在悬臂部12的两侧。弹性件52与力度调节件51位于悬臂部12和静绝缘板2之间的端部相连,并且抵接动绝缘板3。
其中,通过弹性件52对动绝缘板3施加维持第一导电片41和第二导电片43相接的作用力,例如,弹性件52压缩抵压动绝缘板3使得第二导电片42与第一导电片41相接。通过力度调节件51调整弹性件52的形变程度,以调控弹性件52对动绝缘板3的作用力大小。
关于力度调节件51和弹性件52的具体实施方式,如图2所示,可选地,力度调节件51包括轴向相连的大径段511和小径段512,弹性件52为弹簧。其中大径段511与悬臂部12上的通孔相连,小径段512与弹性件52套接,并且弹性件52抵接大径段511连接小径段512的端面。通过大径段511相对悬臂部12上的通孔移动,以调节弹性件52的形变程度。通过小径段512避免弹性件52脱离力度调节件51。并且通过小径段512与弹性件52采用套接的方式,便于拆卸弹性件52。
使用时,可选弹性件52压缩抵接动绝缘板3,使得第一导电片41与第二导电片42相接。调节弹性组件5对动绝缘板3的作用力时,大径段511朝向靠近静绝缘板2的方向移动,弹性件52进一步压缩,增大其对动绝缘板3的作用力;大径段511朝向远离静绝缘板2的方向移动,弹性件52拉伸,减小其对动绝缘板3的作用力,第二导电片42与第一导电片41更易分离。
此外,可选地,在动绝缘板3上与小径段512相对的位置处设置限位件32,该限位件32同样与弹性件52套接。通过限位件32使得弹性件52始终抵接动绝缘板3,且套接的方式便于拆卸以进行维护或更换。
进一步可选地,悬臂部12上的通孔为螺纹孔,大径段511与悬臂部12螺纹连接,通过螺纹连接对力度调节件51具有锁定作用,实现弹性件52对动绝缘板3的稳定作用。
或者可选,弹性组件5还包括锁定件53,锁定件53用于保持力度调节件51与悬臂部12相对固定。通过该锁定组件53同样实现对力度调节件51的锁定效果,避免加电探针6还未接触芯片时,第一导电片41和第二导点片42分离。
可选地,悬臂部12上设置有连通通孔的安装孔;锁定件53与安装孔活动连接,一端限位于安装孔外,另一端抵靠力度调节件51位于通孔内的部分。通过锁定件53抵靠力度调节件51位于通孔内的部分,锁定力度调节件51;通过旋扭锁定件53置于安装孔外的端部,调控对力度调节件511的锁定效果。
此外,需要说明的是,在力度调节件51位于悬臂部12远离静绝缘板2一侧的端部设置旋钮;在锁定件53位于安装孔外的端部设置旋钮,以便操作人员使用。
在一个实施例中,如图1、图2所示,基座1的悬臂部12包括相连的第一悬臂部121和第二悬臂部122,且第二悬臂部122高于第一悬臂部121。可选地,静绝缘板2的定位件21与第一悬臂部121相连。第一悬臂部121到静绝缘板2的距离相对较小,有助于保持基座1和静绝缘板2的相对稳定。可选地,弹性组件5与第二悬臂部122相连。第二悬臂部122到静绝缘板2的距离较大,为弹性组件5中的弹性件52提供较大的形变空间,并且较大的空间也便于拆卸弹性件52。
在一个实施例中,加电机构还包括夹载组件7,夹载组件7与动绝缘板3的端部相连,用于夹载加电探针6。其中可选夹载组件7为导电材质制造,外部电源与夹载组件7连通即可为加电探针6通电。关于夹载组件7的结构,可选夹载组件7包括围合夹持加电探针6的两部分,且该两部分通过连接件实现稳定围合。
可选地,如图2所示,夹载组件7使加电探针6朝向动绝缘板3外部延伸,且加电探针6与动绝缘板3呈钝角设置。在这样的情况下,当加电机构朝向芯片移动时,加电探针6可先接触芯片,有助于视觉辅助判断加电探针6是否与芯片接触。且加电探针6与动绝缘板3呈钝角设置,使得加电探针6能够针对性地接触动绝缘板3,实现与芯片上加电接触点的准确对接。
在一个实施例中,加电机构还包括驱动组件,可选驱动组件与基座1相连,以驱动整体加电机构移动。驱动组件可选为机床、机械臂等,通过控制驱动组件可以实现整体加电机构匀速平稳移动,保证加电探针6对芯片的均匀作用力。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后,将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化,这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未发明的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的,本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。
Claims (10)
1.一种加电机构,其特征在于,包括:
基座,包括相连的支撑部和悬臂部;
静绝缘板,与所述支撑部相连,具有第一导电片;
动绝缘板,与所述支撑部相连,具有与所述第一导电片相对设置的第二导电片;且所述动绝缘板相对所述静绝缘板具有运动行程,以使所述第二导电片与所述第一导电片接触或分离;
弹性组件,与所述悬臂部相连,且力度可调地与所述动绝缘板抵接,使得所述第一导电片和所述第二导电片接触;及
加电探针,与所述第二绝缘板远离所述支撑部的端部相连。
2.根据权利要求1所述的加电机构,其特征在于,所述静绝缘板、所述动绝缘板、及所述悬臂部相对设置,且所述动绝缘板位于所述悬臂部和所述静绝缘板之间。
3.根据权利要求2所述的加电机构,其特征在于,在所述静绝缘板上设置有定位件,所述定位件穿过所述动绝缘板与所述悬臂部相连。
4.根据权利要求1所述的加电机构,其特征在于,所述动绝缘板包括弹性片,所述弹性片与所述支撑部相连,使得所述动绝缘板具有靠近或远离所述静绝缘板的运动行程。
5.根据权利要求1所述的加电机构,其特征在于,在所述悬臂部上设置有通孔;
所述弹性组件包括力度调节件和弹性件;
所述力度调节件与所述通孔活动连接,且所述力度调节件的两端分别限位于所述悬臂部的两侧;
所述弹性件与所述力度调节件位于所述悬臂部和所述静绝缘板之间的端部相连,并抵接所述动绝缘板。
6.根据权利要求5所述的加电机构,其特征在于,所述弹性组件还包锁定件,所述锁定件用于保持所述力度调节件与所述悬臂部的相对固定。
7.根据权利要求6所述的加电机构,其特征在于,所述悬臂部上设置有连通所述通孔的安装孔;
所述锁定件与所述安装孔活动连接,一端限位于所述安装孔外,另一端抵靠所述力度调节件位于所述通孔内的部分。
8.根据权利要求1所述的加电机构,其特征在于,还包括夹载组件,所述夹载组件与所述动绝缘板的端部相连,用于夹载所述加电探针。
9.根据权利要求8所述的加电机构,其特征在于,所述夹载组件使所述加电探针与所述动绝缘板呈钝角设置。
10.根据权利要求1所述的加电机构,其特征在于,还包括与所述基座相连的驱动组件。
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