KR20070062871A - 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조 - Google Patents
양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 웨이퍼의 양면을 연마하는 양면 연마장치에 있어서,상기 웨이퍼를 유지하기 위한 유지구멍에는 상기 웨이퍼와 상기 유지구멍 가장자리와의 접촉을 방지하여 상기 웨이퍼의 외주부(Edge)의 변형을 방지하기 위하여 홀더가 설치된 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제1항에 있어서,상기 홀더는 상기 캐리어 플레이트와 동일한 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제1항에 있어서,상기 홀더는 에폭시 글라스로 이루어진 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제1항에 있어서,상기 홀더는 도넛 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제4항에 있어서,상기 홀더의 폭은 20mm인 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제1항에 있어서,상기 홀더의 내주 형태는 상부가 하부보다 넓은 U자 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제1항에 있어서,상기 홀더 내의 가장자리에는 상기 웨이퍼 외주부의 손상을 방지하기 위한 고무패드가 부착 설치된 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
- 제7항에 있어서,상기 고무패드의 내주면은 라운드 형태를 이루며 형성된 것을 특징으로 하는 양면 연마장치의 캐리어 플레이트 구조.
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