KR860008003A - 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체 - Google Patents

양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체 Download PDF

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KR860008003A
KR860008003A KR1019850003972A KR850003972A KR860008003A KR 860008003 A KR860008003 A KR 860008003A KR 1019850003972 A KR1019850003972 A KR 1019850003972A KR 850003972 A KR850003972 A KR 850003972A KR 860008003 A KR860008003 A KR 860008003A
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KR
South Korea
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carrier assembly
drive ring
holder
workpiece
drive
Prior art date
Application number
KR1019850003972A
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English (en)
Inventor
디·부딩거 윌리엄
디·카베리 마이클
Original Assignee
제이·로렌스 킨
로델 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B24B37/28—Work carriers for double side lapping of plane surfaces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 캐리어 조립체의 한 가지 실시예의 평면도.
제2도는 점선으로 도식적으로 도시된 연마판을 갖는 제1도에서 선 2-2를 따라 취해본 제1도의 캐리어 조립체의 수직단면도.
제3도는 본 발명에 따른 캐리어 조립체의 제2실시예의 평면도.
-도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명-
10,110…캐리어조립체 12,112,212…구동링 14,114…이빨 16,116,216…구멍 18,20,22,24,26,118,218…작업편 호울더 28,30,32,34,36,228,230…기초 또는 작업편 117…돌출부 119…노치 128,130…작업편

Claims (18)

  1. 포리싱, 래핑 또는 그라인상 작업에 사용하기 위한 캐리어 조립체에 있어서, 구동링은 구동링을 구동원에 구동 가능하게 연결하기 위한 구동연결 수단을 포함하여 회전을 위해 적합히 설치되며, 상기 구동링은 작업편 호울더를 지지하기 위한 적어도 하나의 구멍을 포함하며, 작업편호울더는 구멍내에 보유됨과 아울러 작업편 호울더내에 형성된 공동내에서 적합하게 지지되며, 구동링은 작업편호울더를 형성하는 비교적 보다 부드러운 물질보다 비교적 더 단단한 물질로 이루어지며, 비교적 더 단단한 물질은 비교적 보다 부드러운 물질보다 구동링의 구동에 연합된 힘을 더욱 지탱할 수 있으며, 비교적 보다 부드러운 물질은 비교적 단단한 물질보다 그곳에서 형성된 작업편 호울더내에 보유된 작업편을 깎아내고 또 깨어지게 하는 것에 대항하여 쿠션으로 더욱 보호할 수 있도록 함을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어조립체.
  2. 제1항에 있어서, 상기 작업편호울더는 구멍내에 제거 가능하게 보유됨을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어조립체.
  3. 제2항에 있어서, 구동링은 복수개의 구멍을 가지며, 각 구멍은 작업편호울더를 보유함을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  4. 제2항에 있어서, 첫 번째 작업편 호울더는 첫 번째 작업편의 형상에 대응하도록 형성된 구멍 및 공동의 형상에 대응한 원주형상을 가지며, 상기 첫 번째 작업편 호울더는 두 번째 작업편의 형상에 대응하도록 첫 번째 작업편 호울더의 공동형상보다 다른 구멍 및 공동형상의 형상에 대응한 원주형상을 갖는 두 번째 작업편 호울더에 의해 교체가 가능하도록 함을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  5. 제4항에 있어서, 구동링은 금속으로 만들어지며 작업편 호울더는 합성 중합체 수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  6. 제5항에 있어서, 구동링은 강철, 스테인레스틸 및 니켈합금을 구성하는 그룹으로부터 선정된 금속으로 이루어지며, 작업편 호울더는 폴리우레탄, 포리에스터, 폴리에틸렌, 폴리카보나이트, 폴리비닐크로라이드 아세탈, 나이론, 에폭시, 페노릭, 메라민 및 아크릴레이트 중합체를 이루는 그룹으로부터 선정된 합성중합체수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  7. 제6항에 있어서, 합성중합체수지는 보강된 섬유인 것을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어조립체.
  8. 제1항에 있어서, 구동링은 금속으로 만들어지며 작업편 호울더는 합성중합체 수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어조립체.
  9. 제1항에 있어서, 구동링은 강철, 스테인레스 스틸 및 니켈합금을 구성하는 그룹으로부터 선정된 금속으로 만들어지며, 작업편호울더는 폴리우레탄, 포리에스터, 폴리에티렌, 폴리카보나이트, 폴리비닐크로라이드, 아세탈, 나이론, 에폭시, 페노릭, 메라민 및 아크리레이트 중합체를 구성하는 그룹으로부터 선정된 합성중합체수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  10. 제1항에 있어서, 합성중합체수지는 보강된 섬유인 것을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  11. 제1항에 있어서, 작업평 호울더의 구멍 및 외주부는 구멍내의 작업평 호울더의 회전을 방지하기 위해 보충적인 형상을 가짐을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  12. 제11항에 있어서, 구동링은 금속으로 이루어지며 작업편 호울더는 합성중합체 수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  13. 제11항에 있어서, 구동링은 강철, 스테인레스 스틸 및 니켈합금을 구성하는 그룹으로부터 선정된 금속으로 만들어지며, 작업편 호울더는 폴리우레탄, 포리에스터, 폴리에티렌, 폴리카보-나이트, 폴리비닐크로라이드, 아세탈, 나이론, 에폭시, 페노릭, 메라민 및 아크릴레이트 중합체를 구성하는 그룹으로부터 선정된 합성중합체수지로 만들어짐을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  14. 제11항에 있어서, 합성중합체수지는 보강된 섬유인 것을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  15. 제1항에 있어서, 구동연결 수단은 구동링의 외주부를 따라 형성된 구동 이빨을 구비함을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  16. 제1항에 있어서, 작업편 호울더는 작업평보다 더 얇고 구동링보다 더 두꺼운 것을 특징으로 하는 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  17. 제1항에 있어서, 작업편 호울더는 작업편과 구동링보다 더 얇은 것을 특징으로 하는 양면포리싱 작업용 캐리어 조립체.
  18. ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019850003972A 1985-04-08 1985-06-07 양면 포리싱 작업용 캐리어 조립체 KR860008003A (ko)

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US72064485A 1985-04-08 1985-04-08
US720644 1985-04-08

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ID=24894768

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EP0197214A2 (en) 1986-10-15
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