KR20070031403A - Inorganic powder-containing resin composition, transfer film and method for producing member for plasma display panel - Google Patents

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KR20070031403A KR1020077001356A KR20077001356A KR20070031403A KR 20070031403 A KR20070031403 A KR 20070031403A KR 1020077001356 A KR1020077001356 A KR 1020077001356A KR 20077001356 A KR20077001356 A KR 20077001356A KR 20070031403 A KR20070031403 A KR 20070031403A
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Abstract

본 발명의 과제는 보존 안정성이 우수한 무기 분체 함유 수지 조성물, 이 수지 조성물을 포함하는 층을 갖는 전사 필름 및 상기 전사 필름을 이용한 PDP용 부재의 제조 방법을 제공하는 데에 있다. 본 발명에 따른 무기 분체 함유 수지 조성물은 (A) 무기 분체, (B) 화학식 1로 표시되는 구성 단위를 갖는 중합체, (C) 다관능성 (메트)아크릴레이트 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 한다. The subject of this invention is providing the inorganic powder containing resin composition excellent in storage stability, the transfer film which has a layer containing this resin composition, and the manufacturing method of the member for PDP using the said transfer film. The inorganic powder-containing resin composition according to the present invention contains (A) an inorganic powder, (B) a polymer having a structural unit represented by the formula (1), (C) a polyfunctional (meth) acrylate, and (D) a photopolymerization initiator. It features.

무기 분체, 중합체, 다관능성 (메트)아크릴레이트, 광중합 개시제 Inorganic powder, polymer, polyfunctional (meth) acrylate, photoinitiator

Description

무기 분체 함유 수지 조성물, 전사 필름 및 플라즈마 디스플레이 패널용 부재의 제조 방법{INORGANIC POWDER-CONTAINING RESIN COMPOSITION, TRANSFER FILM AND METHOD FOR PRODUCING MEMBER FOR PLASMA DISPLAY PANEL}The manufacturing method of the inorganic powder containing resin composition, the transfer film, and the member for plasma display panels {INORGANIC POWDER-CONTAINING RESIN COMPOSITION, TRANSFER FILM AND METHOD FOR PRODUCING MEMBER FOR PLASMA DISPLAY PANEL}

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 부재의 제조에 적합한 무기 분체 함유 수지 조성물, 상기 조성물로부터 얻어지는 전사 필름 및 상기 전사 필름을 이용한 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 부재의 제조 방법에 관한 것이다. This invention relates to the inorganic powder containing resin composition suitable for manufacture of a member for plasma display panels, the transfer film obtained from the said composition, and the manufacturing method of the said member for plasma display panels using the said transfer film.

최근, 평판상의 형광 표시체로서 플라즈마 디스플레이 패널(이하, "PDP"라고도 함)이 주목받고 있다. PDP는 투명 전극을 형성하여 근접한 2장의 유리판 사이에 아르곤 또는 네온 등의 불활성 기체를 봉입하고, 플라즈마 방전을 일으켜 기체를 빛나게 함으로써, 형광체를 발광시켜 정보를 표시하는 디스플레이이다.In recent years, a plasma display panel (hereinafter also referred to as "PDP") has attracted attention as a flat fluorescent display. PDP is a display which displays information by forming a transparent electrode, sealing an inert gas, such as argon or neon, between two adjacent glass plates, making plasma discharge, and making a gas glow, and displaying information.

도 1은 종래 공지된 교류형 PDP의 단면 형상을 나타내는 모식도이다. 도 1에서 (101) 및 (102)는 대향 배치된 유리 기판, (103) 및 (111)은 격벽이고, 유리 기판(101), 유리 기판(102), 배면 격벽(103) 및 전면 격벽(111)에 의해 셀이 구획 형성되어 있다. (104)는 유리 기판(101)에 고정된 투명 전극이고, (105)는 투명 전극(104)의 저항을 낮출 목적으로 상기 투명 전극(104) 상에 형성된 버스 전극이며, (106)은 유리 기판(102)에 고정된 어드레스 전극이고, (107)은 셀 내에 유지된 형광 물질이며, (108)은 투명 전극(104) 및 버스 전극(105)을 피복하도록 유리 기판(101)의 표면에 형성된 유전체층이고, (109)는 어드레스 전극(106)을 피복하도록 유리 기판(102)의 표면에 형성된 유전체층이며, (110)은 예를 들면 산화마그네슘을 포함하는 보호막이다. 또한, 컬러 PDP에서는 콘트라스트가 높은 화상을 얻기 위해, 유리 기판과 유전체층 사이에 컬러 필터(적색·녹색·청색)나 블랙 매트릭스 등을 설치하는 경우가 있다.1 is a schematic diagram showing a cross-sectional shape of a conventionally known AC PDP. In FIG. 1, 101 and 102 are oppositely arranged glass substrates, 103 and 111 are partition walls, and the glass substrate 101, glass substrate 102, back partition 103 and front partition wall 111 The cell is partitioned by (). Numeral 104 is a transparent electrode fixed to the glass substrate 101, 105 is a bus electrode formed on the transparent electrode 104 for the purpose of lowering the resistance of the transparent electrode 104, and 106 is a glass substrate. An address electrode fixed to 102, 107 is a fluorescent material retained in the cell, and 108 is a dielectric layer formed on the surface of the glass substrate 101 to cover the transparent electrode 104 and the bus electrode 105. 109 is a dielectric layer formed on the surface of the glass substrate 102 so as to cover the address electrode 106, and 110 is a protective film containing magnesium oxide, for example. In addition, in a color PDP, a color filter (red, green, blue), a black matrix, or the like may be provided between the glass substrate and the dielectric layer in order to obtain a high contrast image.

이러한 PDP용 부재, 예를 들면 유전체층, 격벽, 전극, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스의 제조 방법으로는, 무기 분체를 함유하는 감광성 수지층을 기판 상에 형성하고, 이 수지층에 포토 마스크를 통해 자외선을 조사하여 현상하고, 기판 상에 형성된 패턴을 소성하는 공정을 포함하는 포토리소그래피법 등이 바람직하게 이용되고 있다(하기 특허 문헌 1 내지 3 참조).As a method for producing such a PDP member, for example, a dielectric layer, a partition, an electrode, a phosphor, a color filter, and a black matrix, a photosensitive resin layer containing inorganic powder is formed on a substrate, and the resin layer is formed through a photo mask. The photolithographic method etc. which include the process of irradiating an ultraviolet-ray and developing and baking the pattern formed on the board | substrate are used preferably (refer patent document 1-3 below).

무기 분체를 함유하는 감광성 수지층을 기판 상에 형성하는 방법으로는, 가요성을 갖는 지지 필름 상에 이 수지층을 형성한 전사 필름을 이용하여, 이 수지층을 전사하여 형성하는 방법이 바람직하게 이용되고 있다. 이와 같이, 전사 필름을 이용함으로써 두께의 균일성이 우수한 수지층이 얻어지는 동시에, 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다. As a method of forming the photosensitive resin layer containing an inorganic powder on a board | substrate, the method of transferring this resin layer and forming it using the transfer film which formed this resin layer on the flexible support film is preferable. It is used. Thus, by using a transfer film, the resin layer excellent in the uniformity of thickness can be obtained, and work efficiency can be improved.

그러나, 무기 분체를 함유하는 감광성 수지 조성물에 있어서, 다가 금속 및/또는 다가 금속 산화물을 함유하는 무기 분체를 사용하면, 이 수지 조성물이 겔화된다는 문제점이 있었다. 이는 조성물에 감광성과 알칼리 가용성을 부여하기 위해 통상적으로 결착 수지로서 불포화 이중 결합을 갖는 알칼리 가용성 중합체를 사용 하고 있기 때문에, 중합체 중의 산성 관능기(카르복실기 등)와 상기 무기 분체 표면의 다가 금속 수산화물이 반응하는 것에 기인한다. However, in the photosensitive resin composition containing an inorganic powder, when the inorganic powder containing a polyvalent metal and / or a polyvalent metal oxide is used, there existed a problem that this resin composition gelatinized. This is because alkali soluble polymers having unsaturated double bonds are usually used as binder resins to impart photosensitivity and alkali solubility to the composition, so that acidic functional groups (such as carboxyl groups) in the polymer and polyvalent metal hydroxides on the surface of the inorganic powder react. Due to

이와 같이 무기 분체를 함유하는 수지 조성물이 겔화되면, 필름화가 곤란해질 뿐만 아니라, 가령 필름화할 수 있었다 하더라도 현상 처리가 불안정해지는 등의 문제가 발생하기 때문에, 수지 조성물을 장기간 보존할 수 없었다. Thus, when the resin composition containing an inorganic powder gelatinizes, not only film | membrane becomes difficult but also a problem, such as developing which becomes unstable even if it could form into a film, could not be preserve | saved for a long time.

<특허 문헌 1> 일본 특허 공개 (평)9-102273호 공보<Patent Document 1> Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-102273

<특허 문헌 2> 일본 특허 공개 (평)11-144628호 공보<Patent Document 2> Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-144628

<특허 문헌 3> 일본 특허 공개 (평)11-162339호 공보<Patent Document 3> Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-162339

본 발명은 보존 안정성이 우수한 무기 분체 함유 수지 조성물, 이 수지 조성물을 포함하는 층을 갖는 전사 필름 및 상기 전사 필름을 이용한 PDP용 부재의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of this invention is to provide the inorganic powder containing resin composition excellent in storage stability, the transfer film which has a layer containing this resin composition, and the manufacturing method of the member for PDP using the said transfer film.

본 발명에 따른 무기 분체 함유 수지 조성물은The inorganic powder-containing resin composition according to the present invention

(A) 무기 분체, (A) inorganic powder,

(B) 하기 화학식 1로 표시되는 구성 단위를 갖는 중합체, (B) a polymer having a structural unit represented by the following formula (1),

(C) 다관능성 (메트)아크릴레이트, 및 (C) polyfunctional (meth) acrylates, and

(D) 광중합 개시제(D) photoinitiator

를 함유하는 것을 특징으로 한다. It is characterized by containing.

Figure 112007005587499-PCT00001
Figure 112007005587499-PCT00001

(화학식 1에서, R1은 수소 원자 또는 메틸기이고, R2는 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고, m 및 n은 1 내지 5의 정수이면서 m≠n이고, a는 1 내지 100의 정수이고, b는 0 내지 100의 정수이다.)(Formula 1, R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, R 2 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, m and n are integers of 1 to 5, m ≠ n, a is an integer of 1 to 100, b Is an integer from 0 to 100.)

본 발명에 따른 전사 필름은 상기 무기 분체 함유 수지 조성물을 이용하여 형성된 무기 분체 함유 수지층을 갖는 것을 특징으로 한다. The transfer film which concerns on this invention is characterized by having an inorganic powder containing resin layer formed using the said inorganic powder containing resin composition.

본 발명에 따른 PDP용 부재의 제조 방법은, 상기 전사 필름을 이용하여 상기 전사 필름을 구성하는 무기 분체 함유 수지층을 기판 상에 전사하는 공정, 상기 무기 분체 함유 수지층을 노광 처리하여 패턴의 잠상을 형성하는 공정, 상기 무기 분체 함유 수지층을 현상 처리하여 패턴을 형성하는 공정 및 상기 패턴을 소성 처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing method of the member for PDPs which concerns on this invention transfers the inorganic powder containing resin layer which comprises the said transfer film on a board | substrate using the said transfer film, and exposes the said inorganic powder containing resin layer by exposure process, and the latent image of a pattern And forming a pattern by developing the inorganic powder-containing resin layer and baking the pattern.

<발명의 효과>Effect of the Invention

본 발명에 따르면, 장기간 보존하더라도 겔화에 의한 점도의 상승을 억제할 수 있는 무기 분체 함유 수지 조성물을 함유하는 수지 조성물이 얻어진다.According to the present invention, a resin composition containing an inorganic powder-containing resin composition capable of suppressing a rise in viscosity due to gelation even after long-term storage is obtained.

상기 수지 조성물로 형성된 감광성 수지층을 갖는 본 발명의 전사 필름은 전사성이 우수하고, 상기 전사 필름을 이용함으로써, 패턴 형상이 우수한 PDP용 부재 를 형성할 수 있다. The transfer film of this invention which has the photosensitive resin layer formed from the said resin composition is excellent in transferability, and the member for PDP excellent in pattern shape can be formed by using the said transfer film.

도 1은 일반적인 PDP의 구성을 나타내는 설명용 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating the structure of a general PDP.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

101: 유리 기판 102: 유리 기판101: glass substrate 102: glass substrate

103: 배면 격벽 104: 투명 전극103: rear partition 104: transparent electrode

105: 버스 전극 106: 어드레스 전극105: bus electrode 106: address electrode

107: 형광체 108: 유전체층107: phosphor 108: dielectric layer

109: 유전체층 110: 보호막109: dielectric layer 110: protective film

111: 전면 격벽111: front bulkhead

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>Best Mode for Carrying Out the Invention

이하, 본 발명에 따른 무기 분체 함유 수지 조성물, 이 수지 조성물을 포함하는 층을 갖는 전사 필름 및 상기 전사 필름을 이용한 PDP용 부재의 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the inorganic powder containing resin composition concerning this invention, the transfer film which has a layer containing this resin composition, and the manufacturing method of the member for PDP using the said transfer film are demonstrated in detail.

<무기 분체 함유 수지 조성물> <Inorganic powder containing resin composition>

본 발명의 무기 분체 함유 수지 조성물은 (A) 무기 분체, (B) 특정 구성 단위를 갖는 중합체, (C) 다관능성 (메트)아크릴레이트 및 (D) 광중합 개시제를 함유하는 페이스트상 조성물이다. The inorganic powder containing resin composition of this invention is a paste composition containing (A) inorganic powder, (B) the polymer which has a specific structural unit, (C) polyfunctional (meth) acrylate, and (D) photoinitiator.

(A) 무기 분체(A) inorganic powder

본 발명의 무기 분체 함유 수지 조성물에 사용되는 무기 분체(A)는 형성하는 구성 부재의 종류에 따라 다르지만, 모두 금속 및/또는 금속 산화물을 함유하는 무기 분체이다.Although the inorganic powder (A) used for the inorganic powder containing resin composition of this invention differs according to the kind of structural member to form, all are inorganic powders containing a metal and / or a metal oxide.

예를 들면, PDP를 구성하는 "유전체층" 및 "격벽"을 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 유리 분말을 들 수 있다. 상기 유리 분말은 그 연화점이 400 내지 650 ℃의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 유리 분말의 연화점이 상기 범위에 있음에 따라, PDP용 부재를 제조할 때의 소성 공정을 양호하게 수행할 수 있다. 그 결과, 결착 수지 등의 유기 물질이 구성 부재 중에 잔류하지 않기 때문에, 아웃 가스가 패널 내로 확산됨에 따른 형광체의 수명 저하를 야기하지 않고, 또한 유리 기판의 변형 등을 발생시키지 않는다.For example, glass powder is mentioned as an inorganic powder used for the composition for forming the "dielectric layer" and the "partition wall" which comprise a PDP. It is preferable that the said soft powder has the softening point in the range of 400-650 degreeC. Since the softening point of glass powder exists in the said range, the baking process at the time of manufacturing the member for PDP can be performed favorably. As a result, since organic substances, such as a binder resin, do not remain in a structural member, it does not cause the lifetime reduction of the fluorescent substance by spreading outgas into a panel, and does not generate distortion of a glass substrate, etc.

본 발명의 수지 조성물에 바람직하게 사용되는 유리 분말로는 As a glass powder used preferably for the resin composition of this invention,

(1) 산화납, 산화붕소, 산화규소, 산화칼슘계(PbO-B2O3-SiO2-CaO계), (1) lead oxide, boron oxide, silicon oxide, calcium oxide type (PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -CaO type),

(2) 산화아연, 산화붕소, 산화규소계(ZnO-B2O3-SiO2계), (2) zinc oxide, boron oxide, silicon oxide type (ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 type ),

(3) 산화납, 산화붕소, 산화규소, 산화알루미늄계(PbO-B2O3-SiO2-Al2O3계), (3) lead oxide, boron oxide, silicon oxide, aluminum oxide type (PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -Al 2 O 3 type ),

(4) 산화납, 산화아연, 산화붕소, 산화규소계(PbO-ZnO-B2O3-SiO2계), (4) lead oxide, zinc oxide, boron oxide, silicon oxide type (PbO-ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 type ),

(5) 산화납, 산화아연, 산화붕소, 산화규소, 산화티탄계(PbO-ZnO-B2O3-SiO2-TiO2계), (5) lead oxide, zinc oxide, boron oxide, silicon oxide, titanium oxide type (PbO-ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 -TiO 2 type ),

(6) 산화비스무스, 산화붕소, 산화규소계(Bi2O3-B2O3-SiO2계), (6) bismuth oxide, boron oxide, silicon oxide type (Bi 2 O 3 -B 2 O 3 -SiO 2 type ),

(7) 산화아연, 산화인, 산화규소계(ZnO-P2O5-SiO2계), (7) zinc oxide, phosphorus oxide, silicon oxide type (ZnO-P 2 O 5 -SiO 2 type ),

(8) 산화아연, 산화붕소, 산화칼륨계(ZnO-B2O3-K2O계), (8) zinc oxide, boron oxide, potassium oxide type (ZnO-B 2 O 3 -K 2 O type),

(9) 산화인, 산화붕소, 산화알루미늄계(P2O5-B2O3-Al2O3계), (9) phosphorus oxide, boron oxide, aluminum oxide type (P 2 O 5 -B 2 O 3 -Al 2 O 3 type ),

(10) 산화아연, 산화인, 산화티탄계(ZnO-P2O5-TiO2계) 혼합물 등을 들 수 있다. 10, there may be mentioned zinc oxide, phosphorus oxide, titanium (type ZnO-P 2 O 5 -TiO 2 ) oxide mixtures.

상기 유리 분말에 예를 들면 산화알루미늄, 산화크롬, 산화망간 등의 무기 산화물 분말을 혼합하여 사용할 수도 있다.For example, inorganic oxide powders such as aluminum oxide, chromium oxide, and manganese oxide may be mixed and used with the glass powder.

상기 유리 분말은 다른 구성 부재, 예를 들면 전극, 저항체, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스를 형성하기 위한 조성물 중에 함유(병용)될 수 있다. 본 발명의 수지 조성물에 상기 유리 분말과 상기 유리 분말 이외의 무기 분체를 병용하는 경우, 상기 유리 분말은 무기 분체 전량에 대하여 통상 90 질량% 이하의 양으로 사용된다.The glass powder may be contained (combined) in another constituent member, such as an electrode, a resistor, a phosphor, a color filter, and a composition for forming a black matrix. When using together the said glass powder and inorganic powders other than the said glass powder to the resin composition of this invention, the said glass powder is normally used in the quantity of 90 mass% or less with respect to inorganic powder whole quantity.

PDP를 구성하는 "전극", 예를 들면 도 1에서의 투명 전극(104), 버스 전극(105), 어드레스 전극(106) 등을 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 Ag, Au, Al, Ni, Ag-Pd 합금, Cu, Cr 등을 포함하는 금속 분말을 들 수 있다.Inorganic powders used in the composition for forming the "electrodes" constituting the PDP, for example, the transparent electrode 104, the bus electrode 105, the address electrode 106, and the like, are Ag, Au, Al. And metal powder containing Ni, Ag-Pd alloy, Cu, Cr, and the like.

PDP를 구성하는 "저항체"를 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 RuO2 등의 무기 분체를 들 수 있다. Inorganic powder used in the composition for forming a "resistor" constituting a PDP, and inorganic powder such as RuO 2.

PDP를 구성하는 "형광체"를 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 Y2O3:Eu3 +, Y2SiO5:Eu3 +, Y3Al5O12:Eu3 +, YVO4:Eu3 +,(Y,Gd)BO3:Eu3 +, Zn3(PO4)2:Mn 등의 조 성을 갖는 적색용 형광 물질; Zn2SiO4:Mn, BaAl12O19:Mn, BaMgAl14O23:Mn, LaPO4:(Ce,Tb), Y3(Al,Ga)5O12:Tb 등의 조성을 갖는 녹색용 형광 물질; Y2SiO5:Ce, BaMgAl10O17:Eu2+, BaMgAl14O23:Eu2 +, (Ca,Sr,Ba)10(PO4)6C12:Eu2 +, (Zn,Cd)S:Ag 등의 조성을 갖는 청색용 형광 물질 등을 포함하는 무기 분체를 들 수 있다. Inorganic Powder used in the composition for forming a "fluorescent material" constituting a PDP are Y 2 O 3: Eu 3 + , Y 2 SiO 5: Eu 3 +, Y 3 Al 5 O 12: Eu 3 +, YVO 4 : Eu 3 +, (Y, Gd) BO 3: Eu 3 +, Zn 3 (PO 4) 2: a fluorescent material for red having a tank of the like Mn; Zn 2 SiO 4 : Mn, BaAl 12 O 19 : Mn, BaMgAl 14 O 23 : Mn, LaPO 4 : (Ce, Tb), Y 3 (Al, Ga) 5 O 12 : Green fluorescent substance with composition ; Y 2 SiO 5: Ce, BaMgAl 10 O 17: Eu 2+, BaMgAl 14 O 23: Eu 2 +, (Ca, Sr, Ba) 10 (PO 4) 6 C 12: Eu 2 +, (Zn, Cd) The inorganic powder containing the blue fluorescent substance etc. which have compositions, such as S: Ag, is mentioned.

PDP를 구성하는 "컬러 필터"를 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 Fe2O3, Pb3O4 등의 적색용 물질; Cr2O3 등의 녹색용 물질; 2(Al2Na2Si3O10)·Na2S4 등의 청색용 물질 등을 포함하는 무기 분체를 들 수 있다. Inorganic powder used in the composition for forming a "color filter" constituting a PDP are a red material for such as Fe 2 O 3, Pb 3 O 4; Green substances such as Cr 2 O 3 ; 2 (Al 2 Na 2 Si 3 O 10 ) Na 2 S 4 Inorganic powders containing blue substances, such as these, are mentioned.

PDP를 구성하는 "블랙 매트릭스"를 형성하기 위한 조성물에 사용되는 무기 분체로는 Mn, Fe, Cr 등을 포함하는 금속 분말을 들 수 있다.Examples of the inorganic powder used in the composition for forming the "black matrix" constituting the PDP include metal powders containing Mn, Fe, Cr and the like.

(B) 중합체(B) polymer

본 발명에서 사용되는 중합체(B)는 하기 화학식 1로 표시되는 구성 단위(이하 "구성 단위(1)"이라고도 함)를 갖는 수용성 중합체이며, 결착 수지로서의 역할을 갖는다. 한편, 본 발명에서의 "수용성"이란, 후술하는 본 발명의 PDP용 부재의 제조 방법에서의 현상 공정에 의해 목적으로 하는 현상 처리가 수행되는 정도로 용해성을 갖는 성질을 말한다. The polymer (B) used in the present invention is a water-soluble polymer having a structural unit represented by the following formula (1) (hereinafter also referred to as "structural unit (1)"), and has a role as a binder resin. In addition, "water solubility" in this invention means the property which has solubility to the extent that the target image development process is performed by the image development process in the manufacturing method of the member for PDPs of this invention mentioned later.

<화학식 1><Formula 1>

Figure 112007005587499-PCT00002
Figure 112007005587499-PCT00002

상기 화학식 1에서, R1은 수소 원자 또는 메틸기이고, R2는 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고, 예를 들면, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, i-프로필기, n-부틸기, i-부틸기, t-부틸기 등을 들 수 있고, 특히 메틸기가 바람직하다. 또한, m 및 n은 1 내지 5의 정수, 바람직하게는 1 내지 3의 정수이면서 m≠n이고, a는 1 내지 100의 정수, 바람직하게는 1 내지 20의 정수이고, b는 0 내지 100의 정수, 바람직하게는 0 내지 20의 정수이다. In Formula 1, R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, R 2 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, for example, methyl, ethyl, n-propyl, i-propyl, n-butyl, i- A butyl group, t-butyl group, etc. are mentioned, A methyl group is especially preferable. M and n are integers of 1 to 5, preferably integers of 1 to 3 and m ≠ n, a is an integer of 1 to 100, preferably an integer of 1 to 20, and b is 0 to 100 Integer, Preferably it is an integer of 0-20.

중합체(B)에 있어서의 상기 구성 단위(1)의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 바람직하게는 20 내지 99.9몰%, 보다 바람직하게는 25 내지 90몰%, 특히 바람직하게는 30 내지 80몰%이다. Although content in particular of the said structural unit (1) in a polymer (B) is not restrict | limited, Preferably it is 20-99.9 mol%, More preferably, it is 25-90 mol%, Especially preferably, it is 30-80 mol%. .

상기한 바와 같은 중합체(B)를 이용함으로써, 다른 수지에 비해 무기 분체와의 상호 작용이 지나치게 강하지 않기 때문에, 보존 안정성이 우수한 무기 분체 함유 수지 조성물이 얻어진다.By using the above-mentioned polymer (B), since the interaction with inorganic powder is not too strong compared with other resin, the inorganic powder containing resin composition excellent in storage stability is obtained.

상기 구성 단위(1)를 갖는 중합체(B)는 하기 화학식 2로 표시되는 화합물을 (공)중합시킴으로써 얻어진다. The polymer (B) having the structural unit (1) is obtained by (co) polymerizing the compound represented by the following formula (2).

Figure 112007005587499-PCT00003
Figure 112007005587499-PCT00003

화학식 2에서, R1은 수소 원자 또는 메틸기이고, R2는 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고, m 및 n은 1 내지 5의 정수이면서 m≠n이고, a는 1 내지 100의 정수이고, b는 0 내지 100의 정수이다. In formula (2), R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, R 2 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, m and n are integers of 1 to 5 and m ≠ n, a is an integer of 1 to 100, b is It is an integer of 0-100.

상기 화학식 2로 표시되는 화합물로는As the compound represented by Formula 2

메톡시폴리에틸렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트(m=2, b=0),Methoxy polyethylene glycol mono (meth) acrylate (m = 2, b = 0),

메톡시폴리프로필렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트(m=3, b=0),Methoxy polypropylene glycol mono (meth) acrylate (m = 3, b = 0),

메톡시폴리부틸렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트(m=4, b=0),Methoxypolybutylene glycol mono (meth) acrylate (m = 4, b = 0),

메톡시폴리(에틸렌글리콜-프로필렌글리콜)모노(메트)아크릴레이트(m=2, n=3), 및Methoxy poly (ethylene glycol-propylene glycol) mono (meth) acrylate (m = 2, n = 3), and

메톡시폴리(프로필렌글리콜-부틸렌글리콜)모노(메트)아크릴레이트(m=3, n=4) 등을 들 수 있다. 이 중에서는 메톡시폴리에틸렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트가 특히 바람직하다. Methoxy poly (propylene glycol butylene glycol) mono (meth) acrylate (m = 3, n = 4) and the like. Among these, methoxy polyethyleneglycol mono (meth) acrylate is especially preferable.

상기 화합물의 시판품으로는 닛본 유시(주) 제조의 "브렘머" 시리즈를 들 수 있고, 특히 "브렘머 PME-100", "동 PME-200", "동 PME-350" 등을 들 수 있다. Commercially available products of the above compounds include the "Bremmer" series manufactured by Nippon Yushi Co., Ltd., and particularly "Bremmer PME-100", "Breath PME-200", "Breath PME-350", and the like. .

본 발명에서 사용되는 중합체(B)에 있어서의 다른 구성 단량체로서는, 예를 들면, (메트)아크릴산2-히드록시에틸, (메트)아크릴산2-히드록시프로필, (메트)아크릴산3-히드록시프로필 등의 수산기 함유 단량체류; o-히드록시스티렌, m-히드록시스티렌, p-히드록시스티렌 등의 페놀성 수산기 함유 단량체류 등의 아크릴레이트류; (메트)아크릴아미드, N,N-디메틸아크릴아미드, N,N-디메틸아미노프로필아크릴아미드, N,N-디에틸아크릴아미드, N-이소프로필아크릴아미드, 아크릴로일모르폴린 등의 아미드기 함유 단량체류; 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 프로필(메트)아크릴레이트, 비닐아세테이트, 비닐프로피오네이트, 비닐부티레이트, 비닐트리메틸아세테이트, 비닐페닐아세테이트 등을 들 수 있다.As another structural monomer in the polymer (B) used by this invention, (meth) acrylic-acid 2-hydroxyethyl, (meth) acrylic-acid 2-hydroxypropyl, (meth) acrylic-acid 3-hydroxypropyl, for example. Hydroxyl group-containing monomers such as these; acrylates such as phenolic hydroxyl group-containing monomers such as o-hydroxy styrene, m-hydroxy styrene and p-hydroxy styrene; Amide groups, such as (meth) acrylamide, N, N-dimethyl acrylamide, N, N-dimethylaminopropyl acrylamide, N, N-diethyl acrylamide, N-isopropyl acrylamide, and acryloyl morpholine Monomers; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, vinyl acetate, vinyl propionate, vinyl butyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl phenyl acetate, etc. are mentioned.

상기 다른 구성 단량체 중에서는 수산기 함유 단량체류, 페놀성 수산기 함유 단량체류 및 아미드기 함유 단량체류가 바람직하고, 수산기 함유 단량체류 및 아미드기 함유 단량체류가 보다 바람직하고, 특히 수산기 함유 단량체류와 아미드기 함유 단량체류를 병용하는 것이 바람직하다.Among the other constituent monomers, hydroxyl group-containing monomers, phenolic hydroxyl group-containing monomers and amide group-containing monomers are preferable, and hydroxyl group-containing monomers and amide group-containing monomers are more preferable, and particularly hydroxyl group-containing monomers and amide groups It is preferable to use containing monomers together.

중합체(B)에 있어서의 상기 다른 구성 단량체 유래의 구성 단위의 함유량은 특별히 제한되지 않지만, 바람직하게는 0.1 내지 70몰%, 보다 바람직하게는 5 내지 65몰%, 특히 바람직하게는 10 내지 60몰%이다. 이러한 범위에서 상기 다른 구성 단량체 유래의 구성 단위를 함유함으로써, 전사 필름으로 했을 때의 취급성 및 기판에 대한 전사성이 모두 우수하고, 수현상성, 패턴 밀착성 및 필름의 보존 안정성이 양호한 전사 필름을 얻을 수 있다. Although content of the structural unit derived from the said other structural monomer in a polymer (B) is not specifically limited, Preferably it is 0.1-70 mol%, More preferably, it is 5-65 mol%, Especially preferably, it is 10-60 mol %to be. By containing the structural unit derived from the said other structural monomer in this range, the transfer film which is excellent in both the handleability at the time of making it as a transfer film and the board | substrate to a board | substrate, and is excellent in water developability, pattern adhesiveness, and storage stability of a film is obtained. Can be.

다른 구성 단량체로서 수산기 함유 단량체류를 이용하는 경우, 상기 단량체 유래의 구성 단위의 함유량은 바람직하게는 40몰% 이하, 보다 바람직하게는 10 내 지 30몰%이다. 이러한 범위에서 수산기 함유 단량체 유래의 구성 단위를 함유함으로써, 수현상성 및 패턴 밀착성이 우수한 조성물 및 전사 필름을 얻을 수 있다. When using hydroxyl group containing monomers as another structural monomer, content of the structural unit derived from the said monomer becomes like this. Preferably it is 40 mol% or less, More preferably, it is 10-30 mol%. By containing the structural unit derived from a hydroxyl-containing monomer in such a range, the composition and the transfer film which are excellent in water developability and pattern adhesiveness can be obtained.

또한, 다른 구성 단량체로서 아미드기 함유 단량체류를 이용하는 경우, 상기 단량체 유래의 구성 단위의 함유량은 바람직하게는 50몰% 이하, 보다 바람직하게는 10 내지 40몰%이다. 이러한 범위에서 아미드기 함유 단량체 유래의 구성 단위를 함유함으로써, 수현상성 및 해상성이 우수한 조성물 및 전사 필름을 얻을 수 있다. Moreover, when using amide group containing monomers as another structural monomer, content of the structural unit derived from the said monomer becomes like this. Preferably it is 50 mol% or less, More preferably, it is 10-40 mol%. By containing the structural unit derived from an amide group containing monomer in such a range, the composition and transfer film which are excellent in water developability and resolution are obtained.

또한, 상기 다른 구성 단량체로서 수산기 함유 단량체류와 아미드기 함유 단량체류를 병용하는 경우, 수산기 함유 단량체 유래의 구성 단위의 함유량과 아미드기 함유 단량체 유래의 구성 단위의 함유량과의 몰비(수산기:아미드기)는 1:5 내지 5:1, 바람직하게는 1:4 내지 4:1, 특히 바람직하게는 1:3 내지 3:1이다. 이러한 몰비로 수산기 함유 단량체류와 아미드기 함유 단량체류를 병용함으로써, 수현상성 및 패턴 밀착성이 우수한 조성물 및 전사 필름이 얻어지고, 또한 전사 필름으로 했을 때에 취급성이 우수하다는 이점이 있다.Moreover, when using hydroxyl group containing monomers and amide group containing monomers together as said other structural monomer, the molar ratio (content of a structural unit derived from a hydroxyl group containing monomer and content of a structural unit derived from an amide group containing monomer) (hydroxyl group: amide group) ) Is 1: 5 to 5: 1, preferably 1: 4 to 4: 1, particularly preferably 1: 3 to 3: 1. By using together hydroxyl group containing monomers and amide group containing monomers in such a molar ratio, the composition and the transfer film which are excellent in water developability and pattern adhesiveness are obtained, and there exists an advantage that handleability is excellent when it is set as a transfer film.

상기 중합체(B)의 중량 평균 분자량(Mw)은 바람직하게는 5,000 내지 5,000,000, 특히 바람직하게는 10,000 내지 300,000이다. Mw가 상기 범위에 있음으로써, 전사 필름으로 했을 때의 필름 형성성이 양호하고, 패터닝성도 우수하다. 한편, 상기 Mw는 GPC 측정에 의한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이다. The weight average molecular weight (Mw) of the polymer (B) is preferably 5,000 to 5,000,000, particularly preferably 10,000 to 300,000. When Mw exists in the said range, the film formation property at the time of setting it as a transfer film is excellent, and patterning property is also excellent. In addition, said Mw is the weight average molecular weight of polystyrene conversion by GPC measurement.

또한, 중합체(B)의 유리 전이 온도(Tg)는 바람직하게는 0 내지 70 ℃이고, 더욱 바람직하게는 10 내지 50 ℃이다. Tg가 이러한 범위에 있음으로써, 전사 필 름으로 했을 때의 취급성, 보존 안정성 및 기판에 대한 전사성이 양호해진다.In addition, the glass transition temperature (Tg) of the polymer (B) is preferably 0 to 70 ° C, more preferably 10 to 50 ° C. When Tg exists in such a range, the handleability, storage stability, and transferability with respect to a board | substrate at the time of making a transfer film become favorable.

본 발명의 조성물에 있어서의 상기 중합체(B)의 함유량은 상기 무기 분체 100 중량부에 대하여 통상 1 내지 50 중량부, 바람직하게는 10 내지 45 중량부, 특히 바람직하게는 20 내지 40 중량부이다. 중합체(B)의 함유량이 상기 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과가 충분히 발현된다. Content of the said polymer (B) in the composition of this invention is 1-50 weight part normally with respect to 100 weight part of said inorganic powders, Preferably it is 10-45 weight part, Especially preferably, it is 20-40 weight part. When content of a polymer (B) exists in the said range, the effect of this invention is fully expressed.

한편, 본 발명의 조성물에는 결착 수지로서 본 발명의 효과가 손상되지 않고, PDP용 부재 형성시에 수현상이 가능한 범위에서, 중합체(B) 이외의 중합체를 병용할 수 있다. On the other hand, the composition of this invention can use together polymers other than a polymer (B) in the range in which the effect of this invention is impaired as a binder resin, and a water development is possible at the time of forming a member for PDP.

(C) 다관능성 (메트)아크릴레이트(C) polyfunctional (meth) acrylates

본 발명의 조성물을 구성하는 다관능성 (메트)아크릴레이트(C)는 노광에 의해 중합화되어, 노광 부분이 현상액에 불용성 또는 난용성이 되는 성질을 갖는다. The polyfunctional (meth) acrylate (C) constituting the composition of the present invention is polymerized by exposure, so that the exposed portion is insoluble or poorly soluble in the developer.

본 발명에서 사용되는 다관능성 (메트)아크릴레이트(C)로는, 예를 들면 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류; 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜 등의 폴리알킬렌글리콜의 디(메트)아크릴레이트류; 양쪽 말단 히드록시폴리부타디엔, 양쪽 말단 히드록시폴리이소프렌, 양쪽 말단 히드록시폴리카프로락톤 등의 양쪽 말단 히드록실화 중합체의 디(메트)아크릴레이트류; 글리세린, 1,2,4-부탄트리올, 트리메틸올알칸, 테트라메틸올알칸, 펜타에리트리톨, 디펜타에리트리톨 등의 3가 이상의 다가 알코올의 폴리(메트)아크릴레이트류; 3가 이상의 다가 알코올의 폴리알킬렌글리콜 부가물의 폴리(메트)아크릴레이트류; 1,4-시클로헥산디올, 1,4-벤젠디올류 등의 환식 폴리올의 폴리(메트)아크릴레 이트류; 폴리에스테르(메트)아크릴레이트, 에폭시(메트)아크릴레이트, 우레탄(메트)아크릴레이트, 알키드 수지 (메트)아크릴레이트, 실리콘 수지 (메트)아크릴레이트, 스피란 수지 (메트)아크릴레이트 등의 올리고(메트)아크릴레이트류 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. As a polyfunctional (meth) acrylate (C) used by this invention, For example, Di (meth) acrylates of alkylene glycols, such as ethylene glycol and propylene glycol; Di (meth) acrylates of polyalkylene glycols such as polyethylene glycol and polypropylene glycol; Di (meth) acrylates of both terminal hydroxylated polymers such as both terminal hydroxypolybutadiene, both terminal hydroxypolyisoprene and both terminal hydroxypolycaprolactone; Poly (meth) acrylates of trivalent or higher polyhydric alcohols such as glycerin, 1,2,4-butanetriol, trimethylolalkane, tetramethylolalkane, pentaerythritol, dipentaerythritol; Poly (meth) acrylates of polyalkylene glycol adducts of trivalent or higher polyhydric alcohols; Poly (meth) acrylates of cyclic polyols such as 1,4-cyclohexanediol and 1,4-benzenediols; Oligos, such as polyester (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, alkyd resin (meth) acrylate, silicone resin (meth) acrylate, and spiran resin (meth) acrylate ( Meth) acrylates and the like. These may be used independently and may be used in combination of 2 or more type.

상기 다관능성 (메트)아크릴레이트(C)의 분자량은 100 내지 2,000인 것이 바람직하다.It is preferable that the molecular weight of the said polyfunctional (meth) acrylate (C) is 100-2,000.

본 발명의 조성물에 있어서의 상기 다관능성 (메트)아크릴레이트(C)의 함유량은 상기 무기 분체(A) 100 중량부에 대하여 통상 0.1 내지 50 중량부, 바람직하게는 1 내지 40 중량부이다. Content of the said polyfunctional (meth) acrylate (C) in the composition of this invention is 0.1-50 weight part normally with respect to 100 weight part of said inorganic powders (A), Preferably it is 1-40 weight part.

(D) 광중합 개시제(D) photoinitiator

본 발명의 조성물을 구성하는 광중합 개시제(D)로는, 벤질, 벤조인, 벤조페논, 캄파퀴논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-1-프로파논, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2,4,6-트리메틸벤조일-디페닐-포스핀옥시드 등의 카르보닐 화합물; 아조이소부티로니트릴, 4-아지드벤즈알데히드 등의 아조 화합물 또는 아지드 화합물; 머캅탄디술피드 등의 유기 황 화합물; 벤조일퍼옥시드, 디-tert-부틸퍼옥시드, tert-부틸히드로퍼옥시드, 쿠멘히드로퍼옥시드, 파라메탄히드로퍼옥시드 등의 유기 퍼옥시드; 1,3-비스(트리클로로메틸 )-5-(2'-클로로페닐)-1,3,5-트리아진, 2-[2-(2-푸라닐)에틸레닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-1,3,5-트리아진 등의 트리할로메탄류; 2,2'-비스(2-클로로페닐)4,5,4',5'-테트라페닐1,2'-비이미다졸 등의 이미다졸 이량체 등을 들 수 있다. As a photoinitiator (D) which comprises the composition of this invention, benzyl, benzoin, benzophenone, camphorquinone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl Ketone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propaneone, 2-benzyl-2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1- Carbonyl compounds such as on, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide; Azo compounds or azide compounds such as azoisobutyronitrile and 4-azide benzaldehyde; Organic sulfur compounds such as mercaptan disulfide; Organic peroxides such as benzoyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, tert-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide and paramethane hydroperoxide; 1,3-bis (trichloromethyl) -5- (2'-chlorophenyl) -1,3,5-triazine, 2- [2- (2-furanyl) ethylenyl] -4,6-bis Trihalo methanes such as (trichloromethyl) -1,3,5-triazine; And imidazole dimers such as 2,2'-bis (2-chlorophenyl) 4,5,4 ', 5'-tetraphenyl 1,2-biimidazole.

상기 광중합 개시제는 1종 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. 본 발명의 조성물에서의 상기 광중합 개시제(D)의 함유량은 상기 다관능성 (메트)아크릴레이트(C) 100 중량부에 대하여 통상 0.01 내지 100 중량부, 바람직하게는 0.1 내지 50 중량부이다. The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Content of the said photoinitiator (D) in the composition of this invention is 0.01-100 weight part normally with respect to 100 weight part of said polyfunctional (meth) acrylates (C), Preferably it is 0.1-50 weight part.

(E) 용해 촉진제(E) dissolution accelerator

본 발명의 조성물은 후술하는 현상액에 대한 충분한 용해성을 발현시킬 목적으로 용해 촉진제(E)를 함유하는 것이 바람직하다. 용해 촉진제(E)로는 계면활성제가 바람직하게 이용된다. 이러한 계면활성제로는, 예를 들면 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제, 비이온계 계면활성제 등을 들 수 있다. It is preferable that the composition of this invention contains a dissolution promoter (E) for the purpose of expressing sufficient solubility to the developing solution mentioned later. As the dissolution accelerator (E), a surfactant is preferably used. As such surfactant, a fluorine-type surfactant, silicone type surfactant, nonionic surfactant, etc. are mentioned, for example.

상기 불소계 계면활성제로서는, 예를 들면 베엠 케미(BM CHIMIE)사 제조의 "BM-1000", "BM-1100", 다이닛본 잉크 가가꾸 고교(주)사 제조의 "메가팩 F142D", "동 F172", "동 F173", "동 F183", 스미토모 쓰리엠(주)사 제조의 "플로라드 FC-135", "동 FC-170C", "동 FC-430", "동 FC-431", 아사히 가라스(주)사 제조의 "서프론 S-112", "동 S-113", "동 S-131", "동 S-141", "동 S-145", "동 S-382", "동 SC-101, "동 SC-102", "동 SC-103", "동 SC-104", "동 SC-105", "동 SC-106" 등의 시판품을 들 수 있다. As said fluorine-type surfactant, "BM-1000" by the BM CHIMIE company, "BM-1100", "Megapack F142D" by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd. F172 "," East F173 "," East F183 "," Florard FC-135 "," East FC-170C "," East FC-430 "," East FC-431 "by Sumitomo 3M Co., Ltd., Asahi Glass Co., Ltd. "Surfron S-112", "Dong S-113", "Dong S-131", "Dong S-141", "Dong S-145", "Dong S-382" And commercially available products such as "SC-101," SC-102 "," SC-103 "," SC-104 "," SC-105 ", and" SC-106 ".

상기 실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 도레이 다우코닝 실리콘(주)사 제조의 "SH-28PA", "SH-190", "SH-193", "SZ-6032", "SF-8428", "DC-57", "DC-190", 신에쓰 가가꾸 고교(주)사 제조의 "KP341", 신아끼다 가세이(주)사 제조의 "에프톱 EF301, "동 EF303", "동 EF352" 등의 시판품을 들 수 있다. As said silicone type surfactant, "SH-28PA", "SH-190", "SH-193", "SZ-6032", "SF-8428", "" made by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd., for example. DC-57 "," DC-190 "," KP341 "by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.," F-Top EF301, "EF E303", "EF352" by Shin-Kaida Kasei Co., Ltd., etc. Commercially available products are mentioned.

상기 비이온계 계면활성제로는, 예를 들면 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르 등의 폴리옥시에틸렌알킬에테르류; 폴리옥시에틸렌디스티렌화페닐에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌아릴에테르류; 폴리옥시에틸렌디라우레이트, 폴리옥시에틸렌 디스테아레이트 등의 폴리옥시에틸렌디알킬에스테르류 등을 들 수 있다.As said nonionic surfactant, For example, polyoxyethylene alkyl ether, such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether; Polyoxyethylene aryl ethers such as polyoxyethylene distylated phenyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether; Polyoxyethylene dialkyl ester, such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate, etc. are mentioned.

상기 비이온계 계면활성제의 시판품으로서는, 예를 들면 카오(주)사 제조의 "에멀겐 A-60", "A-90", "A-500", "B-66", "PP-290", 교에이샤 가가꾸(주)사 제조의 "(메트)아크릴산계 공중합체 폴리플로우 No.57", "동 No.90" 등을 들 수 있다. As a commercial item of the said nonionic surfactant, "Emulgen A-60", "A-90", "A-500", "B-66", "PP-290" by Kao Corporation, for example. "(Meth) acrylic-acid copolymer polyflow No. 57" by Kyosei Chemical Co., Ltd., "No. 90", etc. are mentioned.

상기 계면활성제 중에서는 현상시에 미노광부의 무기 분체 함유 수지층의 제거가 용이한 점에서, 비이온계 계면활성제, 구체적으로는 폴리옥시에틸렌아릴에테르류가 바람직하고, 특히 하기 화학식 i로 표시되는 화합물이 바람직하다. Among the above-mentioned surfactants, nonionic surfactants, specifically polyoxyethylene aryl ethers, are preferable in that the inorganic powder-containing resin layer of the unexposed portion is easily removed at the time of development. Compound is preferred.

Figure 112007005587499-PCT00004
Figure 112007005587499-PCT00004

상기 화학식 i에서, R3은 탄소수 1 내지 5의 알킬기, 바람직하게는 메틸기이 고, p는 1 내지 5의 정수이고, s는 1 내지 5의 정수, 바람직하게는 2이고, t는 1 내지 100의 정수, 바람직하게는 10 내지 20의 정수이다.In formula (I), R 3 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, preferably methyl group, p is an integer of 1 to 5, s is an integer of 1 to 5, preferably 2, t is 1 to 100 Integer, Preferably it is an integer of 10-20.

본 발명의 조성물에서의 용해 촉진제(E)의 함유량은 상기 결착 수지 100 중량부에 대하여, 바람직하게는 0.001 내지 20 중량부, 보다 바람직하게는 0.01 내지 15 중량부, 특히 바람직하게는 0.1 내지 10 중량부이다. 용해 촉진제(E)의 함유량이 상기 범위에 있음으로써, 현상액에 대한 용해성이 우수한 조성물이 얻어진다. The content of the dissolution accelerator (E) in the composition of the present invention is preferably 0.001 to 20 parts by weight, more preferably 0.01 to 15 parts by weight, particularly preferably 0.1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin. It is wealth. When content of a dissolution accelerator (E) exists in the said range, the composition excellent in the solubility to a developing solution is obtained.

(F) 기타 성분(F) other ingredients

본 발명의 조성물에는 통상적으로 적당한 유동성 또는 가소성 및 양호한 막 형성성을 부여하기 위해 용제가 함유된다. 본 발명에서 사용되는 용제로는 무기 분체와의 친화성 및 결착 수지의 용해성이 양호하고, 본 조성물에 적절한 점성을 부여할 수 있는 동시에, 건조에 의해 용이하게 증발 제거될 수 있는 용제인 것이 바람직하다.The composition of the present invention usually contains a solvent in order to impart proper fluidity or plasticity and good film formability. The solvent used in the present invention is preferably a solvent having good affinity with the inorganic powder and solubility of the binder resin, imparting suitable viscosity to the present composition, and being easily evaporated and removed by drying. .

본 발명에서 사용되는 용제는 상기 특성을 갖는 용제이면 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 에테르류, 에스테르류, 에테르에스테르류, 케톤류, 케톤에스테르류, 아미드류, 아미드에스테르류, 락탐류, 락톤류, 술폭시드류, 술폰류, 탄화수소류, 할로겐화탄화수소류 등을 들 수 있다. The solvent used in the present invention is not particularly limited as long as it is a solvent having the above characteristics. For example, ethers, esters, ether esters, ketones, ketone esters, amides, amide esters, lactams, lactones, Sulfoxides, sulfones, hydrocarbons, halogenated hydrocarbons and the like.

보다 구체적으로는, 테트라히드로푸란, 아니솔, 디옥산, 에틸렌글리콜모노알킬에테르류, 디에틸렌글리콜디알킬에테르류, 프로필렌글리콜모노알킬에테르류, 프로필렌글리콜디알킬에테르류, 아세트산에스테르류, 히드록시아세트산에스테르류, 알콕시아세트산에스테르류, 프로피온산에스테르류, 히드록시프로피온산에스테르류, 알콕시프로피온산에스테르류, 락트산에스테르류, 에틸렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류, 프로필렌글리콜모노알킬에테르아세테이트류, 알콕시아세트산에스테르류, 환식 케톤류, 비환식 케톤류, 아세토아세트산에스테르류, 피루브산에스테르류, N,N-디알킬포름아미드류, N,N-디알킬아세트아미드류, N-알킬피롤리돈류, γ-락톤류, 디알킬술폭시드류, 디알킬술폰류, 테르피네올, N-메틸-2-피롤리돈 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다. More specifically, tetrahydrofuran, anisole, dioxane, ethylene glycol monoalkyl ethers, diethylene glycol dialkyl ethers, propylene glycol monoalkyl ethers, propylene glycol dialkyl ethers, acetate esters and hydroxy Acetic acid esters, alkoxyacetic acid esters, propionic acid esters, hydroxypropionic acid esters, alkoxypropionic acid esters, lactic acid esters, ethylene glycol monoalkyl ether acetates, propylene glycol monoalkyl ether acetates, alkoxyacetic acid esters, cyclic compounds Ketones, acyclic ketones, acetoacetic acid esters, pyruvic acid esters, N, N-dialkylformamides, N, N-dialkylacetamides, N-alkylpyrrolidones, γ-lactones, dialkylsulfonates Foxids, dialkyl sulfones, terpineol, N-methyl-2-pyrrolidone, etc. are mentioned. These may be used independently and may be used in combination of 2 or more type.

본 발명의 조성물에서의 상기 용제의 함유량은 양호한 막 형성성(유동성 또는 가소성)이 얻어지는 범위 내에서 적절히 선택할 수 있다.Content of the said solvent in the composition of this invention can be suitably selected within the range from which favorable film formation property (fluidity or plasticity) is obtained.

본 발명의 조성물에는 추가로 자외선 흡수제가 함유되어 있는 것이 바람직하다. 자외선 흡수제로서는 소성 후의 부재 중에 잔존하지 않고 부재 특성을 저하시키지 않는 점에서, 유기계 염료를 포함하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 400 내지 500 nm 파장 범위에서 고 UV 흡수 계수를 갖는 유기계 염료가 바람직하게 이용된다. It is preferable that the composition of this invention contains the ultraviolet absorber further. As a ultraviolet absorber, since it does not remain in a member after baking, and does not reduce a member characteristic, it is preferable to include an organic type dye, and the organic type dye which has a high UV absorption coefficient in 400-500 nm wavelength range is especially used preferably. .

구체적으로는, 아조 화합물, 트리아진 화합물, 아미노케톤 화합물, 크산텐 화합물, 퀴놀린 화합물, 퀴논 화합물, 벤조페논 화합물, 벤조산 화합물, 시아노아크릴레이트 화합물, 스피로 화합물, 플루오레논 화합물, 풀자이드(fulgide) 화합물, 이미다졸 화합물, 페릴렌 화합물, 페나진 화합물, 페노티아진 화합물, 폴리엔 화합물, 디페닐메탄 화합물, 트리페닐메탄 화합물, 폴리메틴 화합물, 아크리딘 화합물, 아크리디논 화합물, 카르보스티릴 화합물, 쿠마린 화합물, 디페닐아민 화합 물, 퀴나크리돈 화합물, 퀴노프탈론 화합물, 페녹사진 화합물, 프탈로페리논 화합물, 프탈로시아닌 화합물 등을 사용할 수 있다. 그 중에서도 1-페닐아조-2-나프톨, 1-페닐-3-메틸-4-(4-메틸페닐아조)-5-옥시피라졸 등으로 대표되는 아조 화합물, 1,4-디아밀아미노안트라퀴논으로 대표되는 퀴논 화합물, 쿠르쿠민으로 대표되는 페놀 화합물이 특히 바람직하다.Specifically, azo compounds, triazine compounds, amino ketone compounds, xanthene compounds, quinoline compounds, quinone compounds, benzophenone compounds, benzoic acid compounds, cyanoacrylate compounds, spiro compounds, fluorenone compounds, and fulgide Compounds, imidazole compounds, perylene compounds, phenazine compounds, phenothiazine compounds, polyene compounds, diphenylmethane compounds, triphenylmethane compounds, polymethine compounds, acridine compounds, acridinone compounds, carbostyryls Compounds, coumarin compounds, diphenylamine compounds, quinacridone compounds, quinophthalone compounds, phenoxazine compounds, phthaloperinone compounds, phthalocyanine compounds and the like can be used. Among them, an azo compound represented by 1-phenylazo-2-naphthol, 1-phenyl-3-methyl-4- (4-methylphenylazo) -5-oxypyrazole, or the like, and 1,4-dimylaminoanthraquinone Representative quinone compounds and phenol compounds represented by curcumin are particularly preferred.

유기계 염료를 사용하는 경우, 그의 첨가량은 중합체(B), 다관능성 (메트)아크릴레이트(C) 및 광중합 개시제(D)의 합계 함유량에 대하여 0.05 내지 10 중량%, 바람직하게는 0.5 내지 5 중량% 정도이다. 첨가량이 상기 범위보다도 적으면, 자외선 흡수제의 첨가 효과가 그다지 없고, 상기 범위를 초과하면, 얻어지는 PDP용 부재의 특성을 저하시키는 경우가 있다. When using an organic dye, the addition amount thereof is 0.05 to 10% by weight, preferably 0.5 to 5% by weight based on the total content of the polymer (B), the polyfunctional (meth) acrylate (C) and the photopolymerization initiator (D). It is enough. When the addition amount is smaller than the above range, the effect of adding the ultraviolet absorber is not so low, and when the above range is exceeded, the characteristics of the member for PDP obtained may be lowered.

본 발명의 조성물에는 추가로, 임의 성분으로서 분산제, 가소제, 현상 촉진제, 접착 보조제, 헐레이션 방지제, 보존 안정제, 소포제, 산화 방지제, 충전제 등의 각종 첨가제가 함유될 수 있다.The composition of the present invention may further contain various additives such as a dispersant, a plasticizer, a development accelerator, an adhesion aid, an antihalation agent, a storage stabilizer, an antifoaming agent, an antioxidant, and a filler as an optional component.

<전사 필름><Transfer film>

본 발명의 전사 필름은 지지 필름 상에 본 발명의 무기 분체 함유 수지 조성물을 포함하는 층이 형성되어 이루어진다. 상기 무기 분체 함유 수지층(이하, 단순히 "수지층" 또는 "감광성 수지층"이라고도 함)은 상기 조성물을 지지 필름 상에 도포하여 도막을 형성하고, 상기 도막을 건조함으로써 얻어진다.In the transfer film of the present invention, a layer containing the inorganic powder-containing resin composition of the present invention is formed on a supporting film. The said inorganic powder containing resin layer (henceforth simply a "resin layer" or a "photosensitive resin layer") is obtained by apply | coating the said composition on a support film, forming a coating film, and drying the coating film.

전사 필름을 구성하는 지지 필름은 내열성 및 내용제성을 갖는 동시에 가요성을 갖는 수지 필름인 것이 바람직하다. 지지 필름이 가요성을 가짐으로써, 롤 코터에 의해 페이스트형 조성물을 도포할 수 있고, 무기 분체 함유 수지층을 롤형으로 감은 상태로 보존하고, 공급할 수 있다. 한편, 지지 필름의 두께는 사용에 적합한 범위일 수 있고, 예를 들면 20 내지 100 ㎛이다.It is preferable that the support film which comprises a transfer film is a resin film which has heat resistance and solvent resistance, and has flexibility. When a support film has flexibility, a paste composition can be apply | coated with a roll coater, and an inorganic powder containing resin layer can be preserve | saved in the state wound by roll shape, and can be supplied. On the other hand, the thickness of the support film may be in a suitable range for use, for example 20 to 100 ㎛.

지지 필름을 형성하는 수지로는, 예를 들면 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에스테르, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리스티렌, 폴리이미드, 폴리비닐알코올, 폴리염화비닐, 폴리플루오로에틸렌 등의 불소 함유 수지, 나일론, 셀룰로오스 등을 들 수 있다. Examples of the resin forming the support film include fluorine-containing resins such as polyethylene terephthalate, polyester, polyethylene, polypropylene, polystyrene, polyimide, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, and polyfluoroethylene, nylon, and cellulose. Etc. can be mentioned.

본 발명의 조성물을 지지 필름 상에 도포하는 방법으로서는 막 두께가 두꺼우면서(예를 들면, 10 ㎛ 이상) 균일성이 우수한 도막을 효율적으로 형성할 수 있는 방법이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 롤 코터에 의한 도포 방법, 닥터 블레이드에 의한 도포 방법, 커튼 코터에 의한 도포 방법, 다이 코터에 의한 도포 방법, 와이어 코터에 의한 도포 방법 등을 들 수 있다. The method of applying the composition of the present invention onto the support film is not particularly limited as long as it is a method capable of efficiently forming a coating film having a high film thickness (for example, 10 μm or more) and uniformity, for example, a roll The coating method with a coater, the coating method with a doctor blade, the coating method with a curtain coater, the coating method with a die coater, the coating method with a wire coater, etc. are mentioned.

한편, 본 발명의 조성물이 도포되는 지지 필름의 표면에는 이형 처리가 실시되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따라, PDP 구성 부재 형성시에 지지 필름의 박리 조작을 용이하게 행할 수 있다. On the other hand, it is preferable that the mold release process is given to the surface of the support film to which the composition of this invention is apply | coated. Thereby, peeling operation of a support film can be performed easily at the time of formation of a PDP structural member.

도막의 건조 조건은 건조 후에 있어서의 용제의 잔존 비율(수지층 중의 용제 함유율)이 2 질량% 이내가 되도록 적절히 조정할 수 있고, 예를 들면 50 내지 150 ℃의 건조 온도에서 0.5 내지 30분간 정도이다. The drying conditions of a coating film can be suitably adjusted so that the residual ratio (solvent content rate in a resin layer) of the solvent after drying may be less than 2 mass%, for example, it is about 0.5 to 30 minutes at the drying temperature of 50-150 degreeC.

상기한 바와 같이 하여 지지 필름 상에 형성되는 수지층의 두께는 무기 분체의 함유율이나 크기 등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 5 내지 500 ㎛이다. Although the thickness of the resin layer formed on a support film as mentioned above also changes with content rate, size, etc. of an inorganic powder, it is 5-500 micrometers, for example.

한편, 수지층의 표면에 설치될 수 있는 보호 필름층으로서는 폴리에틸렌 필름, 폴리비닐알코올계 필름 등을 들 수 있다. On the other hand, as a protective film layer which can be provided in the surface of a resin layer, a polyethylene film, a polyvinyl alcohol-type film, etc. are mentioned.

<PDP용 부재의 제조 방법><Method for Manufacturing PDP Member>

본 발명의 제조 방법은 PDP 구성 부재의 제조에 이용하는 것이 바람직하다. 이들 부재는 본 발명의 무기 분체 함유 수지 조성물 또는 본 발명의 전사 필름을 이용하여 무기 분체 함유 수지층을 기판 상에 형성하고, 이 수지층을 노광 처리하여 패턴의 잠상을 형성하고, 이 수지층을 현상 처리하여 패턴층을 형성하고, 상기 패턴층을 소성 처리함으로써 형성된다. It is preferable to use the manufacturing method of this invention for manufacture of a PDP structural member. These members form an inorganic powder containing resin layer on a board | substrate using the inorganic powder containing resin composition of this invention or the transfer film of this invention, and expose this resin layer to form a latent image of a pattern, It forms by developing and forming a pattern layer, and baking the said pattern layer.

(i) 무기 분체 함유 수지층의 형성 공정(i) Formation process of inorganic powder containing resin layer

무기 분체 함유 수지층은 본 발명의 무기 분체 함유 수지 조성물을 기판 상에 도포하거나, 본 발명의 전사 필름을 이용하여 상기 전사 필름의 무기 분체 함유 수지층을 전사함으로써 형성할 수 있다. An inorganic powder containing resin layer can be formed by apply | coating the inorganic powder containing resin composition of this invention on a board | substrate, or transferring the inorganic powder containing resin layer of the said transfer film using the transfer film of this invention.

전사 필름을 이용하는 방법에 따르면, 막 두께 균일성이 우수한 수지층을 용이하게 형성할 수 있고, 형성되는 패턴의 막 두께 균일화를 도모할 수 있다. 또한, 상기 전사 필름을 이용하여 n회 전사를 반복함으로써, n층(n은 2 이상의 정수를 나타냄)의 수지층을 갖는 적층체를 형성할 수 있다. 또는, n층의 수지층으로 이루어지는 적층체를 지지 필름 상에 형성된 전사 필름을 이용하여 기판 상에 일괄 전사함으로써, 상기 적층체를 형성할 수 있다. According to the method using a transfer film, the resin layer excellent in the film thickness uniformity can be easily formed, and the film thickness uniformity of the pattern formed can be aimed at. Moreover, by repeating n times transfer using the said transfer film, the laminated body which has a resin layer of n layer (n represents an integer of 2 or more) can be formed. Or the said laminated body can be formed by carrying out collective transfer of the laminated body which consists of n layer of resin layers on a board | substrate using the transfer film formed on the support film.

본 발명의 조성물을 기판 상에 도포하는 방법으로는 스크린 인쇄법, 롤 도포법, 회전 도포법, 유연 도포법 등 다양한 방법을 들 수 있다. 이러한 방법에 의해 조성물을 도포한 후, 도막을 건조함으로써 수지층을 형성할 수 있다. 한편, 상기 공정을 n회 반복함으로써 n층으로 이루어지는 적층체를 형성할 수 있다.As a method of apply | coating the composition of this invention on a board | substrate, various methods, such as the screen printing method, the roll coating method, the rotation coating method, the flexible coating method, are mentioned. After apply | coating a composition by such a method, a resin layer can be formed by drying a coating film. On the other hand, by repeating the above steps n times, a laminate composed of n layers can be formed.

전사 필름을 이용한 전사 공정의 일례를 나타내면 다음과 같다. 필요에 따라 사용되는 전사 필름의 보호 필름층을 박리한 후, 기판의 표면에 수지층의 표면이 접촉하도록 전사 필름을 중첩시키고, 이 전사 필름을 가열 롤러 등에 의해 열 압착한 후, 수지층으로부터 지지 필름을 박리 제거한다. 이에 따라, 기판의 표면에 수지층이 전사되어 밀착된 상태가 된다. An example of the transfer process using the transfer film is as follows. After peeling off the protective film layer of the transfer film used as needed, the transfer film is superposed so that the surface of a resin layer may contact the surface of a board | substrate, and this transfer film is thermocompression-bonded with a heating roller etc., and is then supported by a resin layer. The film is peeled off. As a result, the resin layer is transferred to and adhered to the surface of the substrate.

전사 조건으로는, 예를 들면 가열 롤러의 표면 온도가 40 내지 140 ℃, 가열 롤러에 의한 롤 압력이 0.1 내지 10 kg/㎠, 가열 롤러의 이동 속도가 0.1 내지 10 m/분이다. 또한, 기판은 예열되어 있을 수 있고, 예열 온도는, 예를 들면 40 내지 140 ℃이다.As transfer conditions, the surface temperature of a heating roller is 40-140 degreeC, the roll pressure by a heating roller is 0.1-10 kg / cm <2>, and the moving speed of a heating roller is 0.1-10 m / min. In addition, the board | substrate may be preheated and a preheating temperature is 40-140 degreeC, for example.

(ii) 노광 공정(ii) exposure process

무기 분체 함유 수지층의 표면에 노광용 마스크를 통해 자외선 등의 방사선을 선택적으로 조사(노광)하여 수지층에 패턴의 잠상을 형성한다. 노광시에 사용되는 방사선 조사 장치로는, 특별히 한정되지 않지만, 포토리소그래피법에서 일반적으로 사용되고 있는 자외선 조사 장치, 반도체 또는 액정 표시 장치를 제조할 때에 사용되고 있는 노광 장치 등을 들 수 있다.The surface of the inorganic powder-containing resin layer is selectively irradiated (exposed) with radiation such as ultraviolet rays through a mask for exposure to form a latent image of a pattern on the resin layer. Although it does not specifically limit as a radiation irradiation apparatus used at the time of exposure, The exposure apparatus etc. which are used at the time of manufacturing the ultraviolet irradiation apparatus, semiconductor, or liquid crystal display device which are generally used by the photolithographic method are mentioned.

한편, 무기 분체 함유 수지층을 전사에 의해 형성한 경우에는, 이 수지층 상에 피복되어 있는 지지 필름을 박리하지 않은 상태에서 노광을 행하는 것이 바람직하다. On the other hand, when an inorganic powder containing resin layer is formed by transfer, it is preferable to perform exposure in the state which has not peeled the support film coat | covered on this resin layer.

(iii) 현상 공정(iii) developing process

노광된 수지층을 현상하여 수지층의 패턴을 형성한다. 현상 방법(예를 들면, 침지법, 요동법, 샤워법, 분무법, 퍼들법 등) 및 현상 처리 조건(예를 들면, 현상액의 종류·조성·농도, 현상 시간, 현상 온도 등) 등은 무기 분체 함유 수지층의 종류에 따라서 적절히 선택, 설정할 수 있다.The exposed resin layer is developed to form a pattern of the resin layer. Developing methods (e.g., immersion method, rocking method, shower method, spray method, puddle method, etc.) and developing processing conditions (e.g., type, composition, concentration, developing time, developing temperature, etc. of the developer) It can select and set suitably according to the kind of containing resin layer.

(vi) 소성 공정(vi) firing process

현상 후의 수지층 잔류부에서의 유기 물질을 소실시키기 위해, 형성된 수지층의 패턴을 소성 처리한다. 소성 처리 조건은 무기 분체 함유 수지층(잔류부) 중의 유기 물질이 소실되는 것이 필요하고, 통상적으로 소성 온도가 400 내지 600 ℃, 소성 시간이 10 내지 90분간이다. In order to lose the organic substance in the resin layer residual part after image development, the pattern of the formed resin layer is baked. The firing treatment conditions require that the organic substance in the inorganic powder-containing resin layer (residual portion) disappear, and the firing temperature is usually 400 to 600 ° C. and the firing time is 10 to 90 minutes.

이상의 공정을 포함하는 본 발명의 제조 방법에 의해, 격벽, 전극, 저항체, 유전체, 형광체, 컬러 필터, 블랙 매트릭스 등의 PDP용 부재를 형성할 수 있다. 한편, 본 발명의 제조 방법은 이들 중에서도 격벽, 유전체 및 전극을 형성하는 방법으로서 바람직하고, 특히 전면 격벽을 형성하는 방법으로서 바람직하다. 본 발명에 의해 얻어지는 패턴의 막 두께로는 용도나 무기 분체의 함유율 등에 따라서도 다르지만, 예를 들면 1 내지 200 ㎛이다. By the manufacturing method of this invention including the above process, PDP members, such as a partition, an electrode, a resistor, a dielectric, fluorescent substance, a color filter, and a black matrix, can be formed. On the other hand, the manufacturing method of this invention is preferable as a method of forming a partition, a dielectric, and an electrode among these, and especially as a method of forming a front partition. Although the film thickness of the pattern obtained by this invention differs also according to a use, content rate of an inorganic powder, etc., it is 1-200 micrometers, for example.

다음으로, 상기 각 공정에서 이용되는 재료, 각종 조건 등에 대하여 설명한다.Next, the materials, various conditions, and the like used in the above steps will be described.

(기판)(Board)

본 발명에서 사용되는 기판 재료로서는, 예를 들면 유리, 실리콘, 폴리카보 네이트, 폴리에스테르, 방향족 아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드 등의 절연성 재료로 이루어지는 판형 부재를 들 수 있다. 이 판형 부재의 표면에는 필요에 따라 실란 커플링제 등에 의한 약품 처리; 플라즈마 처리; 이온 플레이팅법, 스퍼터링법, 기상 반응법, 진공 증착법 등에 의한 박막 형성 처리 등의 전처리가 실시될 수 있다.As a board | substrate material used by this invention, the plate-shaped member which consists of insulating materials, such as glass, silicone, polycarbonate, polyester, aromatic amide, polyamideimide, polyimide, is mentioned, for example. Chemical treatment by a silane coupling agent or the like on the surface of the plate member; Plasma treatment; Pretreatment, such as a thin film formation process by the ion plating method, sputtering method, vapor phase reaction method, vacuum deposition method, etc., can be performed.

한편, 본 발명에서는 기판으로서 내열성을 갖는 유리 기판을 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 유리 기판으로는, 예를 들면 아사히 가라스(주) 제조의 PD200을 들 수 있다. In addition, in this invention, it is preferable to use the glass substrate which has heat resistance as a board | substrate. As such a glass substrate, PD200 of Asahi Glass Co., Ltd. product is mentioned, for example.

(노광용 마스크)(Exposure mask)

본 발명의 제조 방법에서의 노광 공정에서 사용되는 노광용 마스크의 노광 패턴은 재료에 따라 다르지만, 일반적으로 10 내지 500 ㎛ 폭의 줄무늬이다.Although the exposure pattern of the exposure mask used at the exposure process in the manufacturing method of this invention changes with materials, it is generally 10-500 micrometers wide streaks.

(현상액)(developer)

본 발명의 제조 방법에서의 현상 공정에서 이용되는 현상액으로는 물, 특히 초순수가 바람직하게 이용된다. 상기 무기 분체 함유 수지층에 포함되는 무기 분체는 결착 수지에 의해 균일하게 분산되어 있기 때문에, 결착 수지를 구성하는 중합체(B)를 상기 현상액으로 용해시키고, 세정함으로써, 무기 분체도 동시에 제거된다. 또한, 현상액으로서는 알칼리 현상액을 이용할 수 있다. As the developing solution used in the developing step in the production method of the present invention, water, particularly ultrapure water, is preferably used. Since the inorganic powder contained in the said inorganic powder containing resin layer is disperse | distributed uniformly by binder resin, the inorganic powder is also removed simultaneously by melt | dissolving and wash | cleaning the polymer (B) which comprises binder resin with the said developing solution. As the developer, an alkaline developer can be used.

알칼리 현상액의 유효 성분으로는, 예를 들면 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 인산수소나트륨, 인산수소이암모늄, 인산수소이칼륨, 인산수소이나트륨, 인산이수소암모늄, 인산이수소칼륨, 인산이수소나트륨, 규산리튬, 규산나트륨, 규 산칼륨, 탄산리튬, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 붕산리튬, 붕산나트륨, 붕산칼륨, 암모니아 등의 무기 알칼리성 화합물; 테트라메틸암모늄히드록시드, 트리메틸히드록시에틸암모늄히드록시드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민, 에탄올아민 등의 유기 알칼리성 화합물 등을 들 수 있다. 알칼리 현상액에는 비이온계 계면활성제나 유기 용제 등의 첨가제가 함유될 수 있다. 한편, 알칼리 현상액에 의한 현상 처리가 이루어진 후에는 통상적으로 수세 처리가 실시된다. As an active ingredient of alkaline developing solution, lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, dipotassium hydrogen phosphate, disodium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, for example Inorganic alkaline compounds such as lithium silicate, sodium silicate, potassium silicate, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium borate, sodium borate, potassium borate and ammonia; Tetramethylammonium Hydroxide, Trimethylhydroxyethylammonium Hydroxide, Monomethylamine, Dimethylamine, Trimethylamine, Monoethylamine, Diethylamine, Triethylamine, Monoisopropylamine, Diisopropylamine, Ethanolamine Organic alkaline compounds, such as these, etc. are mentioned. The alkaline developer may contain additives such as nonionic surfactants and organic solvents. On the other hand, after the development process by alkaline developing solution is performed, the water washing process is performed normally.

이하, 실시예에 기초하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다. 한편, 이하에 있어서 "부"는 "중량부"를 나타내고, 중량 평균 분자량(Mw)은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)를 이용하여 이하의 조건으로 측정한 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이고, 얻어진 조성물의 보존 안정성의 평가 방법은 하기와 같다.Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example, this invention is not limited to these Examples. In addition, "part" shows a "weight part" below, and a weight average molecular weight (Mw) is the weight average molecular weight of polystyrene conversion measured on the following conditions using the gel permeation chromatography (GPC), The evaluation method of storage stability is as follows.

(GPC 측정 조건)(GPC measurement conditions)

GPC 측정 장치: 도소 가부시끼가이샤 제조의 HLC-8220GPCGPC measuring device: HLC-8220GPC manufactured by Tosoh Corp.

GPC 칼럼: 도소 가부시끼가이샤 제조의 TSKgelSuperHZN-MGPC column: TSKgelSuperHZN-M manufactured by Toso Kabushiki Kaisha

측정 용매: 테트라히드로푸란Measuring solvent: tetrahydrofuran

측정 온도: 40 ℃Measuring temperature: 40 ℃

(보존 안정성)(Preservation stability)

우선, 제조 직후의 조성물의 점도를, 회전식 점도계(도쿄 게이끼제 EMD-R형) 를 이용하여 25 ℃에서 측정하고, 이를 초기 점도로 하였다. 다음으로, 상기 조성물을 5 ℃, 차광 조건하에서 보존하면서 정기적으로 점도를 측정하고, 점도가 초기 점도보다 50% 증가할 때까지의 일수에 의해 보존 안정성을 평가하였다. First, the viscosity of the composition immediately after manufacture was measured at 25 degreeC using the rotational viscometer (EMD-R type by Tokyo Keiki), and made this an initial viscosity. Next, the viscosity was measured regularly while preserving the said composition at 5 degreeC and light-shielding conditions, and storage stability was evaluated by the number of days until a viscosity increases 50% from an initial viscosity.

<합성예 1>Synthesis Example 1

메톡시폴리에틸렌글리콜모노메타크릴레이트(닛본 유시(주) 제조의 "브렘머 PME-100", 화학식 2로 표시되는 m=2, a=2, b=0의 화합물) 80 mol, 메틸 메타크릴레이트 10 mol, 2-히드록시프로필메타크릴레이트 10 mol 및 N,N'-아조비스이소부티로니트릴 0.5부를, 교반기가 부착된 오토클레이브에 넣고, 질소 분위기하에서 실온에서 균일해질 때까지 교반하였다. 교반 후, 70 ℃에서 3 시간 중합시키고, 추가로 N,N'-아조비스이소부티로니트릴 0.25부를 가하여 1 시간 중합하고, 70 ℃에서 1 시간 중합 반응을 계속시킨 후, 실온까지 냉각하여 중합체 용액을 얻었다. 얻어진 중합체 용액은 중합률이 100%이고, 이 중합체 용액으로부터 석출된 공중합체[수지(1)]의 Mw는 160,000였다. 80 mol of methoxy polyethyleneglycol monomethacrylate ("Bremer PME-100" by Nippon Yushi Co., Ltd., the compound represented by General formula (2), a = 2, b = 0)), methyl methacrylate 10 mol, 10 mol of 2-hydroxypropyl methacrylate and 0.5 part of N, N'-azobisisobutyronitrile were placed in an autoclave with a stirrer and stirred until uniform at room temperature under a nitrogen atmosphere. After stirring, the mixture was polymerized at 70 ° C for 3 hours, further 0.25 parts of N, N'-azobisisobutyronitrile was polymerized for 1 hour, the polymerization reaction was continued at 70 ° C for 1 hour, and then cooled to room temperature to polymer solution. Got. Polymerization rate of the obtained polymer solution was 100%, and Mw of the copolymer [resin (1)] which precipitated from this polymer solution was 160,000.

<합성예 2>Synthesis Example 2

합성예 1에서의 단량체 조성을 하기 표 1에 나타내는 단량체 조성으로 변경한 것 이외에는, 합성예 1과 동일하게 하여 공중합체[수지(2) 내지 (10)]를 얻었다. 한편, 표 1 중, HPMA는 2-히드록시프로필메타크릴레이트, MMA는 메틸메타크릴레이트, ACMO는 아크릴로일모르폴린, MAm은 메타크릴아미드, DMAA는 N,N-디메틸아크릴아미드이다. A copolymer [resin (2) to (10)] was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that the monomer composition in Synthesis Example 1 was changed to the monomer composition shown in Table 1 below. In Table 1, HPMA is 2-hydroxypropyl methacrylate, MMA is methyl methacrylate, ACMO is acryloyl morpholine, MAm is methacrylamide, and DMAA is N, N-dimethylacrylamide.

Figure 112007005587499-PCT00005
Figure 112007005587499-PCT00005

<합성예 3>Synthesis Example 3

합성예 1에서의 단량체 조성을, 메틸-2-에틸헥실메타크릴레이트 40부, 메타크릴산 20부, n-부틸메타크릴레이트 30부, 2-히드록시프로필메타크릴레이트 10부로 변경한 것 이외에는, 합성예 1과 동일하게 하여 Mw가 100,000인 공중합체[수지(11)]를 얻었다. The monomer composition in Synthesis Example 1 was changed to 40 parts of methyl-2-ethylhexyl methacrylate, 20 parts of methacrylic acid, 30 parts of n-butyl methacrylate, and 10 parts of 2-hydroxypropyl methacrylate. In the same manner as in Synthesis example 1, a copolymer [resin (11)] having a Mw of 100,000 was obtained.

<실시예 1><Example 1>

(1) 무기 분체 함유 수지 조성물의 제조(1) Preparation of Inorganic Powder-Containing Resin Composition

무기 분체(A)로서 ZnO-B2O3-SiO2계 저융점 유리 프릿(부정형, 연화점 570 ℃) 100부, 100 parts of ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 based low melting glass frit (an amorphous type, a softening point of 570 ° C.) as the inorganic powder (A),

수용성 수지(B)로서 합성예 1에서 얻어진 수지(1) 35부, 35 parts of resin (1) obtained in Synthesis Example 1 as water-soluble resin (B),

다관능성 (메트)아크릴레이트 화합물(C)로서 에틸렌옥시드 변성 트리메틸올프로판 트리아크릴레이트(도아 고세이(주) 제조의 "알로닉스 M-360") 7부,7 parts of ethylene oxide modified trimethylolpropane triacrylate ("Alonix M-360" manufactured by Toagosei Co., Ltd.) as a polyfunctional (meth) acrylate compound (C),

광중합 개시제(D)로서 1-[4-(2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온 1.5부, 1.5 parts of 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one as a photoinitiator (D),

용제로서 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 40부, 40 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate as a solvent,

분산제로서 노르말데실트리메톡시실란 1.5부, 1.5 parts of normaldecyltrimethoxysilane as a dispersant,

용해 촉진제(계면 활성제)(E)로서 카오(주) 제조의 "에멀겐 A-60" 2부, 2 parts of "Emulgen A-60" manufactured by Cao Corporation as dissolution accelerator (surfactant) (E),

자외선 흡수제로서 1-페닐-3-메틸-4-(4-메틸페닐아조)-5-옥시피라졸 0.1부0.1 part of 1-phenyl-3-methyl-4- (4-methylphenylazo) -5-oxypyrazole as an ultraviolet absorber

를 비드밀로 혼련한 후, 스테인레스 메쉬(400 메쉬, 38 ㎛ 직경)로 필터링함으로써, 무기 분체 함유 수지 조성물을 제조하였다. 얻어진 조성물에 대하여 보존 안정성을 평가한 결과, 90일 이상의 보존 안정성이 얻어졌다. After kneading with a bead mill, an inorganic powder-containing resin composition was prepared by filtering with a stainless mesh (400 mesh, 38 μm diameter). As a result of evaluating storage stability of the obtained composition, storage stability of 90 days or more was obtained.

(2) 전사 필름의 제조(2) Preparation of Transfer Film

얻어진 무기 분체 함유 수지 조성물을 PET 필름으로 이루어지는 지지 필름(폭 200 mm, 길이 30 m, 두께 38 ㎛) 상에 블레이드 코터를 이용하여 도포하고, 도막을 100 ℃에서 5분간 건조하여 용제를 완전히 제거함으로써, 평균 막두께 46 ㎛의 무기 분체 함유 감광성 수지층을 형성하였다. 이어서, 상기 수지층 상에, 미리 이형 처리한 PET 필름으로 이루어지는 보호 필름을 열 압착하고, 지지 필름, 무기 분체 함유 감광성 수지층 및 보호 필름이 이 순으로 적층된 전사 필름을 제조하였다. The obtained inorganic powder-containing resin composition was applied onto a support film (200 mm wide, 30 m long, 38 μm thick) made of PET film using a blade coater, and the coating film was dried at 100 ° C. for 5 minutes to completely remove the solvent. And an inorganic powder-containing photosensitive resin layer having an average film thickness of 46 μm. Subsequently, the protective film which consists of PET films which carried out the mold release process previously on the said resin layer was thermo-compressed, and the transfer film which laminated | stacked the support film, the inorganic powder containing photosensitive resin layer, and the protective film in this order was produced.

(3) 부재의 형성(3) formation of members

(i) 무기 분체 함유 수지층의 전사 공정(i) Transfer process of inorganic powder containing resin layer

얻어진 전사 필름의 보호 필름을 박리 제거한 후, 6인치 패널용 유리 기판의 표면에 형성된 유전체층(막 두께 20 ㎛)에, 전사 필름을 수지층 표면이 접촉하도록 중첩시키고, 이 전사 필름을 가열 롤러에 의해 열 압착하였다. 이 때의 압착 조건은 가열 롤러의 표면 온도를 90 ℃, 롤 압력을 2 kg/㎠, 가열 롤러의 이동 속도를 0.5 m/분으로 하였다. 이에 따라, 유리 기판의 표면에 무기 분체를 함유하는 감광성 수지층이 전사되어 밀착된 상태가 되었다. After peeling off and removing the protective film of the obtained transfer film, the transfer film is superimposed on the dielectric layer (film thickness of 20 micrometers) formed in the surface of the glass substrate for 6-inch panels so that the resin layer surface may contact, and this transfer film is heated by a heating roller. Thermocompression. In the crimping conditions at this time, the surface temperature of the heating roller was 90 ° C, the roll pressure was 2 kg / cm 2, and the moving speed of the heating roller was 0.5 m / min. Thereby, the photosensitive resin layer containing inorganic powder was transferred to the surface of the glass substrate, and it was in the state in which it adhered.

(ii) 감광성 수지층의 노광 공정 및 현상 공정(ii) Exposure process and development process of photosensitive resin layer

상기한 바와 같이 하여 형성된 감광성 수지층에 대하여, 노광용 마스크(400 ㎛ 폭의 줄무늬 패턴)를 통해, 초고압 수은등에 의해 i선(파장 365 nm의 자외선)을 조사량 100 mJ/㎠로 조사하였다. With respect to the photosensitive resin layer formed as mentioned above, i line | wire (ultraviolet light of wavelength 365nm) was irradiated with the irradiation amount of 100 mJ / cm <2> by the ultrahigh pressure mercury lamp through the exposure mask (400 micrometers wide stripe pattern).

노광 공정 종료 후, 수지층으로부터 지지 필름을 박리 제거한 후, 노광 처리된 수지층에 대하여 초순수(30 ℃)를 현상액으로서 이용한 샤워법에 의한 현상 처리를 40초간 행하였다. 이에 따라, 자외선이 조사되지 않은 미경화 수지층이 제거되고, 무기 분체를 함유하는 수지층의 패턴을 형성하였다. After completion | finish of an exposure process, after peeling off the support film from the resin layer, the image development process by the shower method which used ultrapure water (30 degreeC) as a developing solution was performed for 40 second with respect to the exposed resin layer. Thereby, the uncured resin layer which was not irradiated with ultraviolet rays was removed, and the pattern of the resin layer containing inorganic powder was formed.

(iii) 수지층 패턴의 소성 공정(iii) Firing Process of Resin Layer Pattern

유전체층 상에 수지층 패턴이 형성된 유리 기판을 소성로 내에서 580 ℃의 온도 분위기하에서 50분 동안에 걸쳐 소성 처리를 행하였다. 얻어진 패널 재료에 있어서의 격벽의 단면 형상을 주사형 전자 현미경에 의해 관찰하고, 해당 단면 형상의 바닥면의 폭 및 높이를 측정한 결과, 바닥면의 폭이 400 ㎛, 높이가 15 ㎛로서, 양호한 형상의 소성 패턴이 얻어졌다. 이에 따라, 유전체층 상에 격벽이 형성된 패널 재료가 얻어졌다. The glass substrate in which the resin layer pattern was formed on the dielectric layer was baked over 50 minutes in the baking furnace in the temperature atmosphere of 580 degreeC. The cross-sectional shape of the partition wall in the obtained panel material was observed with a scanning electron microscope, and the width and height of the bottom surface of the cross-sectional shape were measured. As a result, the width of the bottom surface was 400 µm and the height was 15 µm. The firing pattern of the shape was obtained. As a result, a panel material having a partition formed on the dielectric layer was obtained.

<실시예 2 내지 10, 비교예 1><Examples 2 to 10, Comparative Example 1>

알칼리 가용성 수지(B)를 표 1에 나타낸 것으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 무기 분체 함유 수지 조성물을 제조하고, 보존 안정성을 평가하였다. 이어서, 상기 조성물을 이용하여 전사 필름을 제조하고, 그 전사 필름을 이용하여 현상 시간을 표 1에 나타낸 바와 같이 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하여 패널 재료를 제조하고, 현상성 및 패턴 형상을 평가하였다. 결과를 표 1에 나타내었다. 한편, 현상성 및 패턴 형상의 평가 방법 및 평가 기준은 다음과 같다. Except having changed alkali-soluble resin (B) into what was shown in Table 1, it carried out similarly to Example 1, and prepared the inorganic powder containing resin composition, and evaluated the storage stability. Subsequently, a transfer film was prepared using the composition, and a panel material was produced in the same manner as in Example 1 except that the developing time was changed as shown in Table 1 using the transfer film, and the developability and pattern were obtained. The shape was evaluated. The results are shown in Table 1. In addition, the evaluation method and evaluation criteria of developability and a pattern shape are as follows.

(현상성)(Developing)

평가 방법: 샤워법에 의해 30 내지 180초간의 범위에서 수현상을 행하였다. Evaluation method: The water image development was performed in the range for 30 to 180 second by the shower method.

평가 기준: 양호한 것을 AA, 미노광부의 용해 잔류물이 있는 것을 BB, 미노광부가 불용된 것을 CC로 하였다.Evaluation criteria: It was set as CC and the thing in which BB and the unexposed part were insoluble was AA and the thing which melt | dissolved residue of an unexposed part was made.

(패턴 형상)(Pattern shape)

평가 방법: 전자 현미경을 이용하여 패턴의 단면 형상을 관찰하였다. Evaluation method: The cross-sectional shape of the pattern was observed using the electron microscope.

평가 기준: 양호한 것(단면이 사다리꼴 형상, 순테이퍼 형상인 것)을 AA, 사이드 엣지가 있는 역테이퍼 형상의 것을 BB로 하였다.Evaluation Criteria: AA and an inverse taper shape with side edges were BB as good ones (cross section is trapezoidal shape and forward tapered shape).

Figure 112007005587499-PCT00006
Figure 112007005587499-PCT00006

Claims (10)

(A) 무기 분체, (A) inorganic powder, (B) 하기 화학식 1로 표시되는 구성 단위를 갖는 중합체, (B) a polymer having a structural unit represented by the following formula (1), (C) 다관능성 (메트)아크릴레이트, 및 (C) polyfunctional (meth) acrylates, and (D) 광중합 개시제(D) photoinitiator 를 함유하는 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.An inorganic powder-containing resin composition, comprising: <화학식 1><Formula 1>
Figure 112007005587499-PCT00007
Figure 112007005587499-PCT00007
(화학식 1에서, R1은 수소 원자 또는 메틸기이고, R2는 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고, m 및 n은 1 내지 5의 정수이면서 m≠n이고, a는 1 내지 100의 정수이고, b는 0 내지 100의 정수이다.)(Formula 1, R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, R 2 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, m and n are integers of 1 to 5, m ≠ n, a is an integer of 1 to 100, b Is an integer from 0 to 100.)
제1항에 있어서, 추가로 (E) 용해 촉진제를 함유하는 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 1, further comprising (E) a dissolution accelerator. 제2항에 있어서, 상기 용해 촉진제(E)가 폴리옥시에틸렌아릴에테르류인 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 2, wherein the dissolution accelerator (E) is polyoxyethylene aryl ether. 제1항에 있어서, 상기 무기 분체(A)가 400 내지 650 ℃의 연화점을 갖는 유리 분말인 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 1, wherein the inorganic powder (A) is a glass powder having a softening point of 400 to 650 ° C. 제1항에 있어서, 상기 중합체(B)가 추가로 아미드기 함유 단량체 유래의 구성 단위를 갖는 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 1, wherein the polymer (B) further has a structural unit derived from an amide group-containing monomer. 제1항에 있어서, 상기 중합체(B)가 추가로 수산기 함유 단량체 유래의 구성 단위를 갖는 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 1, wherein the polymer (B) further has a structural unit derived from a hydroxyl group-containing monomer. 제1항에 있어서, 상기 중합체(B)가 추가로 아미드기 함유 단량체 유래의 구성 단위와 수산기 함유 단량체 유래의 구성 단위를 갖는 것을 특징으로 하는 무기 분체 함유 수지 조성물.The inorganic powder-containing resin composition according to claim 1, wherein the polymer (B) further has a structural unit derived from an amide group-containing monomer and a structural unit derived from a hydroxyl group-containing monomer. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 무기 분체 함유 수지 조성물을 이용하여 형성된 무기 분체 함유 수지층을 갖는 것을 특징으로 하는 전사 필름.It has an inorganic powder containing resin layer formed using the inorganic powder containing resin composition of any one of Claims 1-7, The transfer film characterized by the above-mentioned. 제8항에 기재된 전사 필름을 이용하여, 상기 전사 필름을 구성하는 무기 분체 함유 수지층을 기판 상에 전사하는 공정,Transferring the inorganic powder containing resin layer which comprises the said transfer film on a board | substrate using the transfer film of Claim 8, 상기 무기 분체 함유 수지층을 노광 처리하여 패턴의 잠상을 형성하는 공정,Exposing the inorganic powder-containing resin layer to form a latent image of the pattern, 상기 무기 분체 함유 수지층을 현상 처리하여 패턴을 형성하는 공정, 및Developing the inorganic powder-containing resin layer to form a pattern, and 상기 패턴을 소성 처리하는 공정Firing the pattern 을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 부재의 제조 방법.Method of manufacturing a member for a plasma display panel comprising a. 제9항에 있어서, 상기 플라즈마 디스플레이 패널용 부재가 격벽, 전극, 저항체, 유전체, 형광체, 컬러 필터 및 블랙 매트릭스에서 선택되는 1종 이상의 부재인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널용 부재의 제조 방법.The method of manufacturing a member for a plasma display panel according to claim 9, wherein the member for a plasma display panel is at least one member selected from partitions, electrodes, resistors, dielectrics, phosphors, color filters, and black matrices.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2020076961A (en) * 2014-04-25 2020-05-21 日立化成株式会社 Photosensitive element, laminate, permanent mask resist, method for producing same, and method for producing semiconductor package

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