KR20060131087A - 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터 - Google Patents

수직 콤전극을 구비한 액츄에이터 Download PDF

Info

Publication number
KR20060131087A
KR20060131087A KR1020050051265A KR20050051265A KR20060131087A KR 20060131087 A KR20060131087 A KR 20060131087A KR 1020050051265 A KR1020050051265 A KR 1020050051265A KR 20050051265 A KR20050051265 A KR 20050051265A KR 20060131087 A KR20060131087 A KR 20060131087A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
comb electrode
driving
fixed
stage
fixed comb
Prior art date
Application number
KR1020050051265A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100695153B1 (ko
Inventor
고영철
조진우
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020050051265A priority Critical patent/KR100695153B1/ko
Priority to CNA2006100051719A priority patent/CN1881004A/zh
Priority to US11/341,460 priority patent/US20060284514A1/en
Priority to JP2006104419A priority patent/JP4206102B2/ja
Publication of KR20060131087A publication Critical patent/KR20060131087A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100695153B1 publication Critical patent/KR100695153B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
    • H02N1/008—Laterally driven motors, e.g. of the comb-drive type
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

수직 콤전극을 구비한 액츄에이터가 개시된다. 개시된 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지; 상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 및 상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 수직형 구동 콤전극과, 기판 상에서 상기 구동 콤전극과 교호적으로 배치되게 형성된 수직형 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;를 구비한다. 상기 고정콤전극은, 상기 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제1 고정콤전극과, 상기 제1 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제2 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

수직 콤전극을 구비한 액츄에이터{Laser scanner having multi-layered comb drive}
도 1은 종래의 수직형 액츄에이터의 평면도이다.
도 2은 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선단면도이다.
도 3은 구동콤전극 및 고정콤전극 사이의 갭에 따른 구동력을 도시한 그래프이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터의 개략적 사시도이다.
도 5는 도 4의 평면도이다.
도 6는 도 5의 Ⅵ-Ⅵ 선단면도이다.
도 7a 내지 도 7c는 종래의 액츄에이터와 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터에 300 V 구동전압을 인가하였을 때, 구동전극 및 고정전극 사이의 전기장을 도시한 도면이다.
도 8a 내지 도 8i는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터의 제조방법을 단계별로 보여주는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 광스캐너의 개략적 선단면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액츄에이터의 개략적 사시도이다.
도 11은 도 10의 평면도이다.
도 12는 도 11의 ?-? 선단면도이다.
본 발명은 MEMS(Micro Electro-Mechanical System)기술로 제조되는 수직형 콤전극을 구비한 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고정콤전극과 구동콤전극 사이의 겹치는 면적이 형성되고, 제조방법이 용이한 수직형 콤전극을 구비한 광스캐너에 관한 것이다.
수직형 콤전극을 구비한 액츄에이터는 광스캐너로서 대형 디스플레이 장치에서 광(레이저 광)을 주사하는 데 사용될 수 있다. 광스캐너인 액츄에이터의 구동속도는 디스플레이장치의 해상도와 관계가 있으며, 구동각도는 화면 크기와 관계가 있다. 즉, 마이크로 미러의 구동속도가 빠를수록 해상도는 높아지며, 구동각도가 클수록 대형 디스플레이 장치에 사용될 수 있다. 따라서, 대형 및 고해상도의 디스플레이 구현을 위해서는 고속으로 구동하면서도 큰 구동각도를 가지는 액츄에이터의 확보가 필수적이다.
한편, 디스플레이의 수직 구동에 사용되는 광스캐너는 선형적인 구동이 요구된다.
도 1은 종래의 액츄에이터의 평면도이며, 도 2은 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선단면도이다. 도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 파이렉스 유리 등으로 된 기판(5) 상방에 스테이지(stage, 1)가 그 양측을 지지하는 토션스프링(2) 및 앵커(6)에 의해서 현가되 어 있다. 상기 스테이지(1)의 양측에는 구동 콤전극(3)이 다수 나란하게 소정 길이로 형성되어 있다. 상기 기판(5)의 상면에는 상기 구동 콤전극(3)들과 교차되게 위치하는 고정 콤전극(4)이 다수 나란하게 형성되어 있다.
상기와 같은 구조의 액츄에이터는 구동 콤 전극(3) 및 고정 콤 전극(4) 사이의 정전기력에 의해 상기 스테이지(1)가 시이소 운동을 하게 된다. 예를 들어 토션스프링(2)을 중심축으로 하여 왼쪽에 위치하는 고정 콤 전극(4)에 소정의 전압(Vd1)을 인가하면, 구동 콤 전극(3) 및 고정 콤 전극(4)들 사이에 정전력이 발생되어서 구동콤전극(3)이 구동되며, 따라서 스테이지(1)가 왼쪽으로 움직인다. 그리고 오른쪽에 위치하는 고정콤전극(4)에 소정의 전압(Vd2)을 인가하면, 구동콤전극(3) 및 고정 콤 전극(4)들에 의해 인력이 작용하여 스테이지(1)가 오른쪽으로 움직인다. 제자리로 복귀하는 것은 토션스프링(2)의 탄성계수를 이용한 자체 복원력에 의한다. 왼쪽과 오른쪽에 반복적으로 구동전압을 인가하여 교대로 정전기력을 발생시킴으로써 상기 스테이지(1)의 시이소 운동이 발생하게 된다.
도 2에 도시된 액츄에이터는 구동콤전극(4)과 고정콤전극(4)이 서로 겹쳐지지 않게 형성되므로 제작시 SOI 기판의 하부 도전층으로 고정콤전극(4)을 형성하고 상부도전층으로 구동콤전극(3)을 형성하고 하부도전층 및 상부도전층 사이의 절연층을 식각하여 용이하게 수직형 콤전극 구조를 제작할 수 있다. 그러나, 2 ㎛ 두께의 절연층이 형성된 SOI 기판을 사용하는 경우, 구동력이 감소하고, 따라서 선형성이 감소되는 문제가 있다. 이러한 구동력 감소는 도 3의 종래의 구조(conventional)에서 보듯이 구동콤전극 및 고정콤전극 사이의 갭이 형성되었기 때 문이다.
또한, 구동콤전극의 제작시 구동콤전극의 하부가 에칭되는 노칭이 일어나서 고정콤전극 및 구동콤전극 사이의 갭이 더 벌어지며, 이에 따라서 도 3의 노칭이 형성된 종래 구조(conventional + notching)에서 보듯이 구동력이 더 감소하고 따라서 선형성이 더 감소된다.
본 발명의 목적은 SOI 기판으로 용이하게 수직형 콤전극 구조를 제조하면서 동시에 구동력을 향상시키도록 구동콤전극과 고정콤전극 사이의 서로 겹치는 영역에 새로운 전극을 형성한 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터를 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 및
상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 수직형 구동 콤전극과, 기판 상에서 상기 구동 콤전극과 교호적으로 배치되게 형성된 수직형 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;를 구비하며,
상기 고정콤전극은, 상기 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제1 고정콤전극과, 상기 제1 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제2 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2고정콤전극의 상부면은 상기 구동콤전극의 상부면 보나 낮게 형성된 다.
상기 지지부는:
상기 제1 방향과 수직방향에서 상기 스테이지의 마주보는 양측으로부터 나란하게 연장되는 한 쌍의 토션스프링; 및
상기 토션스프링이 상기 기판으로부터 현수되도록 상기 토션스프링의 일단을 고정하는 고정프레임;를 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 고정콤전극 및 상기 제2 고정콤전극에는 동일한 전압이 인가되는 것이 바람직하다.
상기 구동콤전극 및 상기 제2 고정콤전극은 제1도전층, 절연층, 제2도전층으로 이루어진 SOI 기판에서 상기 제1도전층으로 제조되며,
상기 제1 고정콤전극은 상기 제2도전층으로 제조되는 것이 바람직하다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터는: 기판 상에서 현수되어 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 및
상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 수직형 구동 콤전극과, 상기 기판 상에서 상기 구동 콤전극과 교호적으로 배치되게 형성된 수직형 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;를 구비하며,
상기 구동콤전극은, 상기 고정콤전극 보다 높게 형성된 제1 구동콤전극과, 상기 제1 구동콤전극의 하부 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 구동 콤전극의 상부면 보다 낮게 형성된 제2 구동콤전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터는: 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
상기 스테이지를 지지하는 제1 지지부;
상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;
상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부; 및
상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부;를 구비하며,
상기 제2 고정콤전극은, 상기 제2 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제3 고정콤전극과, 상기 제3 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제4 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 고정콤전극은, 상기 제1 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제5 고정콤전극과, 상기 제5 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제6 고정콤전극을 구비할 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터는: 제1 방제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
상기 스테이지를 지지하는 제1 지지부;
상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;
상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부; 및
상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부;를 구비하며,
상기 제2 구동콤전극은, 상기 제2 고정콤전극 보다 높게 형성된 제3 구동콤전극과, 상기 제3 구동콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 고정콤전극의 상부면 보다 높게 형성된 제6 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터의 바람직한 실시예를 설명한다. 이하의 실시예의 설명에서, 도면에 도시된 구성요소들은 필요에 따라 과장되게 표현되거나, 도면의 복잡성을 피하고 이해를 돕기 위해 특정 도면에서 생략될 수 있고, 이러한 변형된 도면 상의 표현은 본원 발명의 기술적 범위를 제한하지 않음을 밝힌다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터의 개략적 사시도이며, 도 5는 도 4의 평면도이며, 도 6는 도 5의 Ⅵ-Ⅵ 선단면도이다.
도 4 내지 도 6을 함께 참조하면, 파이렉스 유리 등으로 된 기판(110) 상방에 스테이지(stage, 120)가 그 양측을 지지하는 지지부에 의해서 현가되어 있다. 상기 지지부는, 상기 스테이지(120)의 양측 가장자리의 중간부분에 연결되어 상기 스테이지(120)의 시이소 운동을 지지하는 토션스프링(130)과, 이 토션스프링(130)을 기판(110) 상에 현가되도록 지지하는 사각 테두리형 고정프레임(140)을 구비한다.
상기 스테이지(110)의 양측에는 구동 콤전극(122)이 다수 나란하게 소정 길이로 형성되어 있다. 상기 고정프레임(140)에는 상기 구동 콤전극(122)들과 교차되게 위치하는 고정 콤전극(142)이 형성되어 있다. 상기 기판(110)에는 상기 구동콤전극(122)의 회동을 위한 공간(112)이 마련될 수 있다.
상기 고정콤전극(142)은 상기 구동콤전극(122) 보다 낮게 형성된 제1 고정콤전극(143)과, 상기 제1고정콤전극(143) 상에 형성된 절연층(144)과, 상기 절연층(144) 상에서 상기 구동콤전극(122)의 하부면 보다 높게 형성된 제2 고정콤전극(145)을 구비한다. 상기 제2고정콤전극(145)의 상부면은 상기 구동콤전극(122)의 상부면 보나 낮게 형성된다. 상기 제1 고정콤전극(143) 및 상기 제2고정콤전극(145)에는 동일한 전압이 인가된다.
상기 스테이지(110), 토션스프링(130), 구동콤전극(122), 제2고정콤전극(145)은 하나의 SOI 기판에서 상부 도전층으로 형성될 수 잇으며, 상기 제1고정콤전극(143)은 SOI 기판에서 하부 도전층으로 형성될 수 있다. 상기 SOI 기판은 도핑 된 폴리실리콘층과, 폴리실리콘층 사이의 절연층, 예컨대 SiO2 층으로 형성되어 있다.
상기 제2고정콤전극(145)의 상부면은 구동콤전극(122)의 하부면 보다 높게 형성되며, 또한 구동콤전극(122)의 하부면이 노칭으로 감소되더라도 제2고정콤전극(145)의 높이를 연장하여 고정콤전극(142)과 구동콤전극(122)이 수직 상에서 서로 겹치게 된다.
제1 실시예에 따른 액츄에이터의 작용을 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
구동콤전극(122)에 소정의 전압, 예컨대 그라운드 전압(Vg)을 인가한 상태에서, 토션스프링(130)을 중심으로 도 6에서 좌측의 제1고정콤전극(143) 및 제2고정콤전극(145)에 동일한 전압(Vd1)을 인가하면, 구동콤전극(122) 및 고정콤전극(142) 사이에 정전력이 발생되어서 구동콤전극(122)이 구동되며, 따라서 스테이지(120)가 왼쪽으로 움직인다. 그리고 오른쪽에 위치하는 고정콤전극(142)에 소정의 전압(Vd2)을 인가하면, 구동콤전극(122) 및 고정 콤 전극(142)들에 의해 인력이 작용하여 스테이지(120)가 오른쪽으로 움직인다. 스테이지(120)가 제자리로 복귀하는 것은 토션스프링(130)의 탄성계수를 이용한 자체 복원력에 의한다. 왼쪽과 오른쪽에 반복적으로 구동전압을 인가하여 교대로 정전기력을 발생시킴으로써 상기 스테이지(120)의 시이소 운동이 발생하게 된다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터는 고정콤전극(142) 및 구동 콤전극(122)이 겹쳐지게 수직으로 설치되어서 구동콤전극(122)이 도 3에서 보듯이 구동콤전극(122)의 하부면이 노칭되지 않은 경우(present) 및 노칭된 경우(present + notching) 에서 모두 고정콤전극들(142) 사이에서 위치하므로 구동력이 향상되고, 선형성이 증가한다.
도 7a 내지 도 7c는 종래의 액츄에이터와 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터에 300 V 구동전압을 인가하였을 때, 구동전극 및 고정전극 사이의 전기장을 도시한 도면이다.
도 7a를 참조하면, 종래의 액츄에이터에서는 고정콤전극 및 구동콤전극 사이의 갭이 2 ㎛ 인 경우, 등전위선의 간격이 넓으며, 시뮬레이션한 구동력은 9.14 ??N 이었다.
도 7b를 참조하면, 종래의 액츄에이터에서 노칭이 발생되어서 고정콤전극 및 구동콤전극 사이의 갭이 12 ㎛인 경우, 등전위선의 간격이 더 넓으며, 시뮬레이션한 구동력은 3.6 ??N 으로 더 낮아졌다.
반면에 도 7c를 참조하면, 본 발명에 따른 액츄에이터는 구동콤전극에 10 ㎛ 노칭이 발생되었지만, 제2 고정콤전극이 12 ㎛ 높이로 형성되어서 구동콤전극이 고정콤전극 사이에 배치되었다. 구동콤전극과 고정콤전극 사이의 등전위선은 간격이 좁게 형성되며, 시뮬레이션한 구동력은 11.15 ??N 으로 향상된 것을 볼 수 있다.
이하, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액츄에이터를 제조하는 방법을 단계별로 설명한다. 필요에 따라 도 4 내지 도 6에 도시된 구성요소가 참조번호와 함께 인용된다. 도 8a 내지 도 8i는 편의를 위해서 도 5의 Ⅷ-Ⅷ 선단면도로 도시하였다.
도 8a를 참조하면, 400 ㎛ 두께의 파이렉스 글래스(110)를 준비한 후, 글래스(110) 상에 대략 2000 ?? 깊이로 습식 식각하여 구동공간(112)를 형성한다.
도 8b를 참조하면, 약 500 ㎛ 정도의 두께를 가지는 것으로서, 식각 저지층(etch stop)으로 사용하기 위하여 제1실리콘층(501)과 제2실리콘층(503)의 사이에 2 ㎛ 두께로 SiO2 절연층(502)이 형성되어 있는 SOI(silicon on insulator) 기판(500)를 준비한다. 제2실리콘층(503) 위에 소정 형상의 포토레지스트 마스크(504)를 형성한다. 여기에서 마스크(504)에 덮힌 부분은 고정프레임 부분(W1), 제1 고정콤전극 부분(W2)이다.
도 8c를 참조하면, 제2실리콘층(503)에서 상기 마스크(504)에 덮히지 않은 부분을 ICPRIE(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching)법에 의해 에칭하여 상기 마스크(504)의 노출영역을 통하여 절연층(502)이 노출되게 한다. 에칭이 완료된 후 상기 마스크(504)를 스트립핑 등에 의해 제거한다.
도 8d를 참조하면, 절연층(502) 상에 고정프레임(140) 및 제1고정콤전극(143)이 형성된다.
도 8e를 참조하면, 전술한 과정을 통해 얻어진 글래스 기판(400)에 제2실리콘층(503)이 식각된 기판(500)을 본딩한다. 이때에 사용되는 접합법은 양극접합법(anodic bonding)이며 제2실리콘층(503)이 상기 글래스 기판(400)과 접촉되게 한다. 이어서, 제1실리콘층(501)의 상면(501a)을 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 제1실리콘층(501)을 대략 70 ㎛ 두께로 연마할 수도 있다.
도 8f를 참조하면, 제1실리콘층(501) 위에 소정 형상의 제1 마스크(506)를 형성한다. 여기에서 제1 마스크(506)에 덮힌 부분은 고정프레임 부분(W3), 구동콤전극 부분(W5)이며, 미도시된 스테이지 및 토션스프링 부분도 포함된다.
이어서 고정프레임 부분(W3), 구동콤전극 부분(W5), 스테이지 부분, 토션스프링 부분과 제2 고정콤전극 부분(W4)에 상기 제1 마스크(506)와 선택적으로 식각되는 제2 마스크(507)를 형성한다.
도 8g를 참조하면, 제1실리콘층(501)에서 상기 마스크들(506,507)에 덮히지 않은 부분을 ICPRIE(Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching)법에 의해 에칭하여 상기 마스크(506,507)의 노출영역을 통하여 절연층(502)이 노출되게 한다.
도 8h를 참조하면, 제2 마스크를 제거한 후, 제2 고정콤 전극 부분(W4)의 상부를 식각한다.
도 8i를 참조하면, 노출된 절연층(502)을 제거한다. 그리고, 상기 마스크(506)를 제거한다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 광스캐너의 개략적 선단면도이며, 제1 실시예와 실질적으로 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용하고 상세한 설명은 생략한다.
도 9를 참조하면, 고정콤전극(142)은 SOI 기판의 제1도전층(501)에서 형성되며, 구동콤전극(122)은 제2도전층(503)에서 형성된 제1구동콤전극(123)과, 상기 제1구동콤전극(123) 상에 형성된 절연층(124)과, 상기 절연층(124) 상에 형성된 제2 구동콤전극(125)을 구비한다. 이러한 구조의 구동콤전극(142)과 고정콤전극(122)은 수직면 상에서 서로 겹치게 형성되므로 제1 실시예에서 설명한 것과 같이 구동력이 향상되며 선형 구동을 하게 된다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 광스캐너의 개략적 사시도이며, 도 11는 도 10의 평면도, 도 12는 도 11의 ?-? 선단면도이다.
도 10 내지 도 12를 참조하면, 파이렉스 등으로된 기판(210) 상방에 스테이지(200)가 그 양측을 지지하는 제1지지부에 의해 현가되어 있다.
상기 스테이지(200)는 제1 토션스프링(310) 및 사각 테두리형 운동 프레임(300)을 포함하는 제1 지지부에 의해 제1 방향(X 방향)으로 시이소 운동이 가능하게 지지된다. 상기 제1토션스프링(310)은 꼬불꼬불한 멘더스프링(meander spring) 구조로 형성되는 것이 바람직하다.
제1 지지부는 제2 토션스프링(410) 및 사각 테두리형 고정 프레임(400)을 포함하는 제2 지지부에 의해 제1방향과 직교하는 방향인 제2 방향(Y방향)으로 시이소 운동이 가능하게 지지된다. 따라서, 상기 스테이지(200)는 상기 제1 지지부 및 제2 지지부에 의해 2축 방향으로의 움직임이 가능하게 지지된다.
좀더 구체적으로 살펴보면, 스테이지(200)가 제2 방향으로 형성된 두 개의 제1 토션스프링(310)에 의해 사각 테두리형 운동 프레임(300)에 연결되어 있다. 따라서, 상기 스테이지(300)는 제1 토션스프링(310)을 중심으로 시이소 운동이 가능하게 지지된다.
상기 사각 테두리형 운동 프레임(300)은 제1토션스프링(310)이 그 중앙에 연결되며, 제1 방향으로 나란한 두 개의 제1 부분(300x)과 후술하는 제2 토션스프링 (410)이 그 중앙에 연결되며 제2방향으로 나란한 제2 부분(300y)을 구비한다. 상기 사각 테두리형 운동 프레임(300)의 둘레에는 이를 에워싸는 것으로, 제1 방향으로 연장되는 제1 부분(400x)과 제2 방향으로 연장되는 제2 부분(400y)을 갖춘 사각 테두리형 고정 프레임(400)이 마련된다. 고정 프레임(400)과 운동 프레임(300)은 각각의 제2 부분(300y, 400y)들 사이의 중앙에 위치하는 전술한 제2 토션스프링(410)에 연결된다. 상기 제2 토션스프링(410)은 제1 방향으로 연장된다. 따라서 운동 프레임(300)은 제2 토션스프링(410)을 중심으로 시이소 운동할 수 있게 지지된다.
상기 스테이지(300)의 시이소 운동을 발생시키는 스테이지 구동부는, 스테이지(200)의 외측에 형성된 제1 구동 콤전극(220) 및 운동프레임(300)으로부터 상기 제1구동 콤전극(220)과 엇갈리게 연장된 제1고정콤전극(320)을 구비한다. 이들 콤전극들은 수직으로 형성된다.
상기 제1 고정콤전극(320)은 상기 제1 구동콤전극(220) 보다 낮게 형성된 제3 고정콤전극(321)과, 상기 제3 고정콤전극(321) 상에 형성된 절연층(322)과, 상기 절연층(322) 상에서 상기 제1 구동콤전극(220)의 하부면 보다 높게 형성된 제4 고정콤전극(323)을 구비한다. 상기 제4 고정콤전극(323)의 상부면은 상기 제1 구동콤전극(220)의 상부면 보나 낮게 형성된다. 상기 제3 고정콤전극(321) 및 상기 제4 고정콤전극(145)에는 동일한 전압이 인가된다.
한편, 운동 프레임(300)과 고정 프레임(400) 사이에 제1지지부 구동부가 마련된다. 제2토션스프링(410)의 양측에 운동 프레임(300)의 제2 부분(300y)으로부터 이에 대면하는 고정 프레임(400)의 제2 부분(400y)방향으로 연장된 제1연장부재 (330)가 형성되어 있다. 제1연장부재(330)에는 제2 구동 콤전극(340)이 형성되어 있다. 고정 프레임(400)으로부터 연장되어 상기 제1연장부재(330)에 대응되게 제2연장부재(440)가 형성되어 있다. 상기 제2연장부재(440)의 상기 제1연장부재(330)과 마주보는 측면에 상기 제2구동 콤전극(340)과 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극(450)이 형성되어 있다. 이들 콤전극들(340, 350)은 도 11에서 보듯이 상호 교호적으로 배치되어 있다.
상기 제2 고정콤전극(450)은 상기 제2 구동콤전극(340) 보다 낮게 형성된 제5 고정콤전극(451)과, 상기 제5 고정콤전극(451) 상에 형성된 절연층(452)과, 상기 절연층(452) 상에서 상기 제2 구동콤전극(340)의 하부면 보다 높게 형성된 제6 고정콤전극(453)을 구비한다. 상기 제6 고정콤전극(453)의 상부면은 상기 제2 구동콤전극(340)의 상부면 보나 낮게 형성된다. 상기 제5 고정콤전극(451) 및 상기 제6 고정콤전극(145)에는 동일한 전압이 인가된다.
상기 스테이지(200), 제1 및 제2 토션스프링(310, 410), 제1 및 제2 구동콤전극(220, 340), 제1연장부재(330), 제4 및 제6 고정콤전극(323, 453)은 하나의 SOI 기판에서 하부 도전층으로 형성될 수 있으며, 상기 제3 및 제4 고정콤전극(321, 451)은 SOI 기판에서 하부 도전층으로 형성될 수 있다. 상기 SOI 기판은 도핑된 폴리실리콘층과, 폴리실리콘층 사이의 절연층, 예컨대 SiO2 층으로 형성되어 있다.
상기와 같은 제3 실시예에 따른 2축 액츄에이터는 평면 디스플레이에 적용시 스테이지 구동부는 평면 주사에 사용될 수 있으며, 제1 지지부 구동부는 수직 주사에 사용될 수 있다. 본 발명의 특징부인 다층으로 형성된 고정콤전극을 구비하는 구동부는 수직주사에서는 선형성 향상에 기여할 수 있으며, 수평주사에서도 향상된 구동력으로 구동각도 향상에 기여할 수 있다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 액츄에이터의 작용은 실질적으로 제1 실시예의 액츄에이터와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기와 같은 본 발명의 액츄에이터는 수직형 구동콤전극과 고정콤전극이 겹쳐지게 형성되어서 스테이지의 선형 구동이 이루어진다. 또한, 구동력의 상승으로 구동각도의 증가에도 기여한다다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 고안의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (26)

  1. 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
    상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 및
    상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 수직형 구동 콤전극과, 기판 상에서 상기 구동 콤전극과 교호적으로 배치되게 형성된 수직형 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;를 구비하며,
    상기 고정콤전극은, 상기 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제1 고정콤전극과, 상기 제1 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제2 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2고정콤전극의 상부면은 상기 구동콤전극의 상부면 보나 낮게 형성된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 지지부는:
    상기 제1 방향과 수직방향에서 상기 스테이지의 마주보는 양측으로부터 나란하게 연장되는 한 쌍의 토션스프링; 및
    상기 토션스프링이 상기 기판으로부터 현수되도록 상기 토션스프링의 일단을 고정하는 고정프레임;를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 고정콤전극 및 상기 제2 고정콤전극에는 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동콤전극 및 상기 제2 고정콤전극은 제1도전층, 절연층, 제2도전층으로 이루어진 SOI 기판에서 상기 제1도전층으로 제조되며,
    상기 제1 고정콤전극은 상기 제2도전층으로 제조된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  6. 기판 상에서 현수되어 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
    상기 스테이지의 시이소 운동을 지지하는 지지부; 및
    상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 수직형 구동 콤전극과, 상기 기판 상에서 상기 구동 콤전극과 교호적으로 배치되게 형성된 수직형 고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;를 구비하며,
    상기 구동콤전극은, 상기 고정콤전극 보다 높게 형성된 제1 구동콤전극과, 상기 제1 구동콤전극의 하부 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 구동 콤전극의 상부면 보다 낮게 형성된 제2 구동콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제2구동콤전극의 하부는 상기 고정콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 지지부는:
    상기 제1 방향과 수직방향에서 상기 스테이지의 마주보는 양측으로부터 나란하게 연장되는 한 쌍의 토션스프링; 및
    상기 기판으로부터 상기 토션스프링이 현수되도록 상기 토션스프링의 일단을고정하는 고정프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 구동콤전극 및 상기 제2구동콤전극에는 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 제2 구동콤전극 및 상기 고정콤전극은 제1도전층, 절연층, 제2도전층으 로 이루어진 SOI 기판에서 상기 제1도전층으로 제조되며,
    상기 제1 구동콤전극은 상기 제2도전층으로 제조된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  11. 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
    상기 스테이지를 지지하는 제1 지지부;
    상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;
    상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부; 및
    상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부;를 구비하며,
    상기 제2 고정콤전극은, 상기 제2 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제3 고정콤전극과, 상기 제3 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제4 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 제1 지지부는:
    상기 스테이지의 양측으로부터 상기 제2 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제1 토션스프링; 및
    상기 제1 토션스프링 각각이 연결되는 상호 나란한 한 쌍의 제1 부분과, 상기 제2 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제2 부분을 구비하는 4각 테두리형 운동 프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 제2 지지부는:
    상기 제1 지지부의 제2 부분으로부터 상기 제1 방향으로 연장된 한 쌍의 제2 토션스프링과, 상기 제2 토션스프링이 연결되는 나란한 한 쌍의 제2 부분과 상기 제1 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제1 부분을 가진 4각 테두리형 고정 프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  14. 제 13 항에 있어서, 상기 제1지지부 구동부는:
    상기 운동프레임으로부터 상기 제2토션스프링과 나란하게 연장된 제1연장부재를 구비하며,
    상기 제2구동콤전극은 상기 제1연장부재로부터 마주보는 상기 제2지지부의 제1부분 방향으로 연장되며,
    상기 제2고정콤전극은 상기 제2 지지부로부터 상기 제1연장부재에 대응되게 연장된 제2연장부재로부터 연장되게 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제4 고정콤전극의 상부면은 상기 제2 구동콤전극의 상부면 보나 낮게 형성된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 제3 고정콤전극 및 상기 제4 고정콤전극에는 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 고정콤전극은, 상기 제1 구동콤전극 보다 낮게 형성된 제5 고정콤전극과, 상기 제5 고정콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 구동콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제6 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 구동콤전극 및 상기 제4 및 제6 고정콤전극은 제1도전층, 절연층, 제2도전층으로 이루어진 SOI 기판에서 상기 제1도전층으로 제조되며,
    상기 제3 및 제5 고정콤전극은 상기 제2도전층으로 제조된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  19. 제1 방향으로 시이소 운동하는 스테이지;
    상기 스테이지를 지지하는 제1 지지부;
    상기 스테이지의 상기 제1방향의 마주보는 양측에서 바깥쪽으로 연장된 제1구동 콤전극과, 상기 제1구동 콤전극과 대면하는 상기 제1지지부에서 상기 제1구동콤전극과 교호적으로 배치되게 연장된 제1고정콤전극을 구비하는 스테이지 구동부;
    상기 제1방향과 직교하는 제2방향으로 상기 제1 지지부가 시이소 운동하도록 상기 제1 지지부를 지지하는 제2 지지부; 및
    상기 제1 지지부에 설치된 제2 구동 콤전극과, 상기 제2 구동 콤전극에 대응되게 형성된 제2 고정 콤전극을 구비하는 제1 지지부 구동부;를 구비하며,
    상기 제2 구동콤전극은, 상기 제2 고정콤전극 보다 높게 형성된 제3 구동콤전극과, 상기 제3 구동콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 고정콤전극의 상부면 보다 높게 형성된 제6 고정콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  20. 제 19 항에 있어서, 상기 제1 지지부는:
    상기 스테이지의 양측으로부터 상기 제2 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제1 토션스프링; 및
    상기 제1 토션스프링 각각이 연결되는 상호 나란한 한 쌍의 제1 부분과, 상기 제2 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제2 부분을 구비하는 4각 테두리형 운동 프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 제2 지지부는:
    상기 제1 지지부의 제2 부분으로부터 상기 제1 방향으로 연장된 한 쌍의 제2 토션스프링과, 상기 제2 토션스프링이 연결되는 나란한 한 쌍의 제2 부분과 상기 제1 방향에 나란하게 연장되는 한 쌍의 제1 부분을 가진 4각 테두리형 고정 프레임;을 구비하는 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 제1지지부 구동부는:
    상기 운동프레임으로부터 상기 제2토션스프링과 나란하게 연장된 제1연장부재를 구비하며,
    상기 제2구동콤전극은 상기 제1연장부재로부터 마주보는 상기 제2지지부의 제1부분 방향으로 연장되며,
    상기 제2고정콤전극은 상기 제2 지지부로부터 상기 제1연장부재에 대응되게 연장된 제2연장부재로부터 연장되게 형성된 것을 특징으로 하는 광스캐너.
  23. 제 19 항에 있어서,
    상기 제4 구동콤전극의 하부면은 상기 제2 고정콤전극의 상부면 보나 높게 형성된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  24. 제 19 항에 있어서,
    상기 제3 구동콤전극 및 상기 제4 구동콤전극에는 동일한 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  25. 제 19 항에 있어서,
    상기 제1 구동콤전극은, 상기 제1 고정콤전극 보다 높게 형성된 제5 구동콤전극과, 상기 제5 구동콤전극 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 상에서 상기 제2 고정콤전극의 하부면 보다 높게 형성된 제6 구동콤전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 고정콤전극 및 상기 제4 및 제6 구동콤전극은 제1도전층, 절연층, 제2도전층으로 이루어진 SOI 기판에서 상기 제1도전층으로 제조되며,
    상기 제3 및 제5 구동콤전극은 상기 제2도전층으로 제조된 것을 특징으로 하는 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터.
KR1020050051265A 2005-06-15 2005-06-15 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터 KR100695153B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050051265A KR100695153B1 (ko) 2005-06-15 2005-06-15 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터
CNA2006100051719A CN1881004A (zh) 2005-06-15 2006-01-13 具有垂直梳状电极结构的致动装置
US11/341,460 US20060284514A1 (en) 2005-06-15 2006-01-30 Actuator having vertical comb electrode structure
JP2006104419A JP4206102B2 (ja) 2005-06-15 2006-04-05 垂直くし型電極を具備したアクチュエータ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050051265A KR100695153B1 (ko) 2005-06-15 2005-06-15 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060131087A true KR20060131087A (ko) 2006-12-20
KR100695153B1 KR100695153B1 (ko) 2007-03-14

Family

ID=37519260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050051265A KR100695153B1 (ko) 2005-06-15 2005-06-15 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20060284514A1 (ko)
JP (1) JP4206102B2 (ko)
KR (1) KR100695153B1 (ko)
CN (1) CN1881004A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343643B1 (ko) * 2021-04-23 2021-12-27 탈렌티스 주식회사 이중 soi를 이용한 광 스캐너 및 그의 제조 방법

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7863799B1 (en) * 2007-03-02 2011-01-04 AG Microsystems Inc. Micro electro mechanical system using comb and parallel plate actuation
US7535620B2 (en) * 2007-04-04 2009-05-19 Precisely Microtechnology Corp. Micro-electro-mechanical system micro mirror
US7986449B2 (en) * 2008-05-16 2011-07-26 Microvision, Inc. Induced resonance comb drive scanner
DE09770219T8 (de) * 2008-06-25 2013-04-25 Panasonic Electric Works Co., Ltd. Bewegliche struktur und lichtabtastspiegel damit
DE102008042964A1 (de) * 2008-10-20 2010-04-22 Robert Bosch Gmbh Elektrostatischer Antrieb, mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für einen elektrostatischen Antrieb und ein mikromechanisches Bauteil
DE102009000168B4 (de) * 2009-01-13 2017-03-23 Robert Bosch Gmbh Mikromechanische Strukturen und Verfahren zum Betrieb einer mikromechanischen Struktur
DE102009045428B4 (de) * 2009-10-07 2019-06-19 Robert Bosch Gmbh Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil und mikromechanisches Bauteil
US8134277B2 (en) * 2009-12-15 2012-03-13 Moidu Abdul Jaleel K Electrostatic comb actuator
TWI464105B (zh) * 2010-06-18 2014-12-11 Opus Microsystems Corp 二維梳形致動器及其製造方法
CN101907769B (zh) * 2010-07-01 2011-11-16 西北工业大学 一种基于soi晶圆双掩膜刻蚀的垂直梳齿驱动微扭转镜及其制作方法
TWI434802B (zh) * 2010-12-23 2014-04-21 Ind Tech Res Inst 具電性絕緣結構之微機電裝置及其製造方法
CN103086316B (zh) * 2011-10-28 2015-07-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 Mems垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法
US9606273B2 (en) 2012-01-11 2017-03-28 Lumentum Operations Llc Diffractive MEMS device
US20130181893A1 (en) * 2012-01-13 2013-07-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrostatically transduced sensors composed of photochemically etched glass
DE102013212095A1 (de) * 2013-06-25 2015-01-08 Robert Bosch Gmbh Mikro-elektromechanischer Reflektor und Verfahren zum Herstellen eines mikro-elektromechanischen Reflektors
WO2015019919A1 (ja) * 2013-08-08 2015-02-12 アオイ電子株式会社 アクチュエータ、シャッタ装置、流体制御装置、スイッチおよび２次元走査型センサ装置
JP2015093340A (ja) * 2013-11-11 2015-05-18 富士電機株式会社 半導体装置の製造方法
FI126508B (en) 2015-05-15 2017-01-13 Murata Manufacturing Co Method for manufacturing a multilevel micromechanical structure
US9764942B2 (en) 2015-05-15 2017-09-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multi-level micromechanical structure
US9989553B2 (en) 2015-05-20 2018-06-05 Lumedyne Technologies Incorporated Extracting inertial information from nonlinear periodic signals
WO2017004443A2 (en) * 2015-06-30 2017-01-05 Lumedyne Technologies Incorporated Z-axis physical proximity switch
US10234477B2 (en) 2016-07-27 2019-03-19 Google Llc Composite vibratory in-plane accelerometer
FR3063991B1 (fr) 2017-03-16 2019-05-03 Safran Micro-dispositif a plusieurs elements mobiles disposes au sein de plusieurs cavites imbriquees
DE102017215276B4 (de) 2017-08-31 2023-02-23 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Multidirektionale Übersetzungs- und Neigungsplattform unter Verwendung von Biegeaktuatoren als aktive Entität
CN107976871B (zh) * 2017-11-10 2020-09-11 无锡英菲感知技术有限公司 一种动态形变可控微镜镜面梳齿结构及其加工方法
CN207603919U (zh) * 2017-11-28 2018-07-10 瑞声声学科技(深圳)有限公司 Mems麦克风
US10730744B2 (en) * 2018-12-28 2020-08-04 Industrial Technology Research Institute MEMS device with movable stage
US10582100B1 (en) * 2019-01-04 2020-03-03 Faez Ba-Tis Five degrees of freedom MEMS actuator for autofocus, optical image stabilization, and super resolution imaging in miniature cameras
KR102088261B1 (ko) * 2019-12-20 2020-03-12 고려오트론(주) 수직 쉬프트 방식의 정전 구동기 및 그를 갖는 광 스캐너
CN113055556B (zh) * 2019-12-27 2022-07-08 中芯集成电路（宁波）有限公司 移动机构及其驱动方法、电子设备、成像模组
WO2022006910A1 (zh) * 2020-07-10 2022-01-13 瑞声声学科技(深圳)有限公司 一种具有初始位置偏置的梳齿结构及其制备方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6073484A (en) * 1995-07-20 2000-06-13 Cornell Research Foundation, Inc. Microfabricated torsional cantilevers for sensitive force detection
JP3011144B2 (ja) * 1997-07-31 2000-02-21 日本電気株式会社 光スキャナとその駆動方法
JP2001210688A (ja) * 2000-01-25 2001-08-03 Mitsubishi Electric Corp 検査マークを備えた半導体装置
US7079299B1 (en) * 2000-05-31 2006-07-18 The Regents Of The University Of California Staggered torsional electrostatic combdrive and method of forming same
JP2002335683A (ja) 2001-05-09 2002-11-22 Olympus Optical Co Ltd 静電アクチュエータおよびそれを用いた光ピックアップ
JP3827977B2 (ja) * 2001-08-20 2006-09-27 富士通株式会社 マイクロミラー素子の製造方法
US6713367B2 (en) * 2001-08-28 2004-03-30 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Self-aligned vertical combdrive actuator and method of fabrication
JP3987382B2 (ja) * 2002-06-11 2007-10-10 富士通株式会社 マイクロミラー素子およびその製造方法
US7031040B2 (en) * 2003-05-16 2006-04-18 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning apparatus, optical writing apparatus, image forming apparatus, and method of driving vibration mirror
JP2005088188A (ja) * 2003-08-12 2005-04-07 Fujitsu Ltd マイクロ揺動素子およびマイクロ揺動素子駆動方法
KR100940206B1 (ko) * 2003-10-24 2010-02-10 삼성전자주식회사 주파수 변조 가능한 공진형 스캐너

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102343643B1 (ko) * 2021-04-23 2021-12-27 탈렌티스 주식회사 이중 soi를 이용한 광 스캐너 및 그의 제조 방법
WO2022225104A1 (ko) * 2021-04-23 2022-10-27 탈렌티스 주식회사 이중 soi를 이용한 광 스캐너 및 그의 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN1881004A (zh) 2006-12-20
JP4206102B2 (ja) 2009-01-07
US20060284514A1 (en) 2006-12-21
KR100695153B1 (ko) 2007-03-14
JP2006353081A (ja) 2006-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100695153B1 (ko) 수직 콤전극을 구비한 액츄에이터
US7508111B2 (en) Biaxial actuators with comb electrodes having separated vertical positions
KR100682958B1 (ko) 2축 마이크로 스캐너
JP3065611B1 (ja) マイクロミラ―装置およびその製造方法
KR100707193B1 (ko) 복층 구조의 콤전극을 구비한 광스캐너
JP4880736B2 (ja) ミラー基板の製造方法
US7329930B2 (en) Micromechanical actuator with multiple-plane comb electrodes and methods of making
JP3921483B2 (ja) マイクロミラー及びその製造方法
KR20040035116A (ko) 2-ｄ 액튜에이터 및 그 제조방법
JP2018041085A (ja) 光の二次元偏向のためのマイクロメカニカル装置及び方法
JP4765840B2 (ja) チルトミラー素子
JP2007164170A (ja) ２軸駆動スキャナ
JP2003329945A (ja) 光デバイス
KR20060010421A (ko) 구동각도 향상을 위한 공간형 이중 콤전극 구조 및 이를이용한 마이크로 스캐너
JP4126308B2 (ja) 静電駆動型アクチュエータ
CN100414954C (zh) 扫描设备及其制造方法
JP2008172902A (ja) アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置
KR100485127B1 (ko) 마이크로미러
JP2006133387A (ja) 揺動体装置、及びその作製方法
KR100709325B1 (ko) 마이크로 미러 액튜에이터
JP2018072411A (ja) 光偏向器及びこれを用いた光偏向パッケージ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee